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JP2598699B2 - Magnetic head tester - Google Patents
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JP2598699B2 - Magnetic head tester - Google Patents

Magnetic head tester

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JP2598699B2
JP2598699B2 JP11313089A JP11313089A JP2598699B2 JP 2598699 B2 JP2598699 B2 JP 2598699B2 JP 11313089 A JP11313089 A JP 11313089A JP 11313089 A JP11313089 A JP 11313089A JP 2598699 B2 JP2598699 B2 JP 2598699B2
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carriage
disk
measurement
magnetic
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浩 水澤
文雄 肥田
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日立電子エンジニアリング株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、磁気ヘッドテスターに関し、詳しくは、
ハード磁気ディスク等い使用される磁気ヘッドの検査が
短時間済むような磁気ヘッドテスターに関する。
The present invention relates to a magnetic head tester, and more particularly, to a magnetic head tester.
The present invention relates to a magnetic head tester that requires a short time to inspect a magnetic head used such as a hard magnetic disk.

[従来の技術] 従来の磁気ヘッドテスターとしては、その物理的な特
性である磁気ヘッドの浮上量を測定する試験装置と、そ
の電気的な特性である電磁変換特性を特性する試験装置
との2種類がある。
[Prior Art] Conventional magnetic head testers include a test device for measuring a flying height of a magnetic head, which is a physical characteristic, and a test device for measuring an electromagnetic conversion characteristic, which is an electrical characteristic. There are types.

通常、磁気ヘッドの特性は、これら2種類の測定装置
で検査が行われ、一般的には、まず、磁気ヘッドの浮上
特性が測定されてからそのうちの合格品について電磁変
換特性が測定される。
Usually, the characteristics of the magnetic head are inspected by these two types of measuring devices. In general, first, the flying characteristics of the magnetic head are measured, and then the electromagnetic conversion characteristics of the acceptable products are measured.

[解決しようとする課題] したがって、磁気ヘッドをテストするためには、2つ
の試験装置にそれぞれ磁気ヘッドを装着しなければなら
ず、その取付け、取り外し作業に手数がかかるのみか、
いずれか一方の測定結果についての磁気ヘッドの管理が
必要であって、1つの磁気ヘッドについてのテストに多
くの時間を要する。
[Problem to be Solved] Therefore, in order to test the magnetic head, it is necessary to mount the magnetic head on each of two test devices, and it takes time and effort to mount and remove the magnetic head.
It is necessary to manage the magnetic head with respect to one of the measurement results, and it takes a lot of time to test one magnetic head.

一方、ハード磁気ディスク装置は、近年、従来より一
層高密度な記録が要求されて来ており、かつ、高い信頼
性を確保することが要求されているために、磁気ヘッド
の特性測定に要求される精度も高くなって来ている。そ
こで、磁気ヘッド検査全体のスループットが低下する傾
向にある。このようなことから前述のように2つの試験
装置で異なるテストを行う場合には、磁気ヘッドの取付
け、この場合の磁気ヘッドの取外し作業時間が問題とな
る上、取付状態がテスト結果に与える影響も大きく、そ
れが歩留りを低下させる要因にもなる。
On the other hand, in recent years, hard magnetic disk devices have been demanded for higher density recording than before, and are required to ensure high reliability. Accuracy is also getting higher. Therefore, the overall throughput of the magnetic head inspection tends to decrease. For this reason, when different tests are performed by the two test devices as described above, it takes time to mount the magnetic head and to remove the magnetic head in this case, and furthermore, the influence of the mounting state on the test results. Which is also a factor that reduces the yield.

この発明は、このような従来技術の問題点を解決する
ものであって、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁
変換特性を測定することができ、かつ、測定効率を向上
させることができる磁気ヘッドテスターを提供すること
を目的とする。
The present invention solves such problems of the prior art, and can measure head flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics with a single test device, and can improve measurement efficiency. An object of the present invention is to provide a magnetic head tester.

[課題を解決するための手段] このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッ
ドテスターの構成は、磁気ヘッドの浮上特性を測定する
ための第1のディスクと、磁気ヘッドの電気的な特性を
測定するための第2のディスクと、第1のディスクと第
2のディスク間に配置され回転することにより浮上特性
を測定するために第1のディスクに対向して磁気ヘッド
を搭載するキャリッジが配置される第1のキャリッジ位
置と電気的な特性を測定するために第2のディスクに対
向して磁気ヘッドを搭載するキャリッジが配置される第
2のキャリッジ位置とに選択的に位置決めされる、試験
対象となる磁気ヘッドを搭載するキャリッジとを備える
ものである。
Means for Solving the Problems The configuration of the magnetic head tester of the present invention for achieving the above object includes a first disk for measuring the flying characteristics of the magnetic head, and an electric drive for the magnetic head. A second disk for measuring characteristics, and a carriage arranged between the first disk and the second disk and mounted with a magnetic head opposed to the first disk for measuring flying characteristics by rotation Are selectively positioned at a first carriage position at which a magnetic head is mounted and a second carriage position at which a magnetic head-mounted carriage is arranged facing the second disk to measure electrical characteristics. And a carriage on which a magnetic head to be tested is mounted.

[作用] このように、浮上量を測定するためのディスクと電気
的な特性を測定するためのディスクとを並設して、これ
らの間に1つのキャリッジを共通に設けてこれを回転さ
せてそれぞれのディスクをアクセスするようにすること
により、それぞれの測定に対して試験対象となる磁気ヘ
ッドを着脱する必要がなくなり、キャリッジを回転させ
るだけで済むことからそれぞれの測定におけるキャリッ
ジ等の機構に関係するモータの駆動やその停止、そし
て、各試験装置や関係回路の起動や制御をそれぞれ独立
に行う必要がなく、磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特
性のそれぞれのデータを試験をしている磁気ヘッド対応
に容易に得られる。
[Operation] As described above, the disk for measuring the flying height and the disk for measuring the electrical characteristics are juxtaposed, one carriage is provided in common between them, and the disk is rotated. By accessing each disk, it is not necessary to attach and detach the magnetic head to be tested for each measurement, and it is only necessary to rotate the carriage, which is related to the mechanism such as the carriage in each measurement. It is not necessary to independently drive and stop the motor to be activated, and to start and control each test device and related circuits independently.The magnetic head tests the data of the flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head. It is easy to obtain.

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮で
き、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を
短時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率
を向上させることができる。
As a result, the time required to perform each measurement can be reduced, the head flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics can be measured in a short time with one test apparatus, and the measurement efficiency of the entire measurement process can be improved. .

[実施例] 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳
細に説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、この発明の磁気ヘッドテスターを適用した
一実施例の概要図であり、第2図は、そのプラテン部分
の詳細図、第3図は、その他の一実施例の概要図であ
る。
FIG. 1 is a schematic diagram of one embodiment to which the magnetic head tester of the present invention is applied, FIG. 2 is a detailed diagram of a platen portion thereof, and FIG. 3 is a schematic diagram of another embodiment. .

第1図において、20は、磁気ヘッドテスターであっ
て、21はその測定機構部、22はその測定制御・データ処
理部であって、マイクロプロセッサとメモリ等を有して
いる。
In FIG. 1, reference numeral 20 denotes a magnetic head tester, reference numeral 21 denotes a measurement mechanism unit, and reference numeral 22 denotes a measurement control / data processing unit, which includes a microprocessor, a memory, and the like.

1は、測定機構部21に設けられた定盤テーブルであっ
て、定盤テーブル1の上には、図面の左側に示すよう
に、浮上特性を測定するためのガラスディスク2がスピ
ンドル3に固定されていて、図面右側に見るように電磁
変換特性を測定するための磁気ディスク4(ハードディ
スク)がスピンドル5に固定されている。そして、これ
らガラスディスク2及び磁気ディスク4の間には、これ
らディスクをアクセスするために回転して各ディスク専
用のキャリッジとなる位置に対向して位置付けられるキ
ャリッジ7が設けられている。なお、点線で示す23は、
ガラスディスク2の上部側に配置されている浮上量測定
用の光学系であって、レーザ光或は通常の光ビームを照
射して反射光を受け、ガラスディスク2とロード状態に
ある磁気ヘッド9との距離を測定し、測定結果を電気信
号に変換して前記の測定制御・データ処理部22へと送出
する。
Reference numeral 1 denotes a platen table provided in the measuring mechanism section 21. On the platen table 1, a glass disk 2 for measuring a floating characteristic is fixed to a spindle 3 as shown on the left side of the drawing. A magnetic disk 4 (hard disk) for measuring electromagnetic conversion characteristics is fixed to a spindle 5 as seen on the right side of the drawing. Between the glass disk 2 and the magnetic disk 4, there is provided a carriage 7 which is rotated to access these disks and is positioned opposite to a position which becomes a dedicated carriage for each disk. In addition, 23 shown by the dotted line is
A flying height measuring optical system disposed on the upper side of the glass disk 2 for irradiating a laser beam or a normal light beam to receive reflected light, and the magnetic head 9 in a loaded state with the glass disk 2 Is measured, the measurement result is converted into an electric signal, and sent to the measurement control / data processing unit 22.

ここで、スピンドル3とスピンドル5とはそれぞれ独
立のモータに結合されていて、それぞれの測定時に測定
制御・データ処理部22からの制御信号に応じて独立に駆
動される。
Here, the spindle 3 and the spindle 5 are connected to independent motors, respectively, and are independently driven at the time of each measurement in accordance with a control signal from the measurement control / data processing unit 22.

キャリッジ7は、定盤テーブル1の下側に設けられた
回転駆動機構6(点線で表示)により180度回転してガ
ラスディスク2或は磁気ディスク4に磁気ヘッド9がア
クセスする位置に選択的に位置付けられ、これらのキャ
リッジとして使用される。なお、図において実線で示す
位置は、キャリッジ7がガラスディスク2に対向して位
置付けられた状態であり、一点鎖線で示す位置は、キャ
リッジ7が磁気ディスク4に対向して位置付けられた状
態であって、回転駆動機構6により回転する軸6aがその
回転中心となっている。
The carriage 7 is rotated by 180 degrees by a rotation drive mechanism 6 (indicated by a dotted line) provided below the surface table 1 to selectively move to a position where the magnetic head 9 accesses the glass disk 2 or the magnetic disk 4. Positioned and used as these carriages. In the drawing, the position indicated by a solid line is a state in which the carriage 7 is positioned to face the glass disk 2, and the position indicated by a dashed line is a state in which the carriage 7 is positioned to face the magnetic disk 4. The shaft 6a rotated by the rotation drive mechanism 6 is the center of rotation.

8は、キャリッジ7上に爪機構やねじ止め等により正
確な位置に位置決めされ、これに着脱可能に固定された
プラテンであって、第2図に示されるように、このプラ
テン8上にテスト対象となる磁気ヘッド9が装着されて
いる。その状態を示す第2図を参照すると分かるよう
に、磁気ヘッド9は、プラテン8の上のホルダー10に着
脱可能に固定されている。
Reference numeral 8 denotes a platen which is positioned at an accurate position on the carriage 7 by a claw mechanism, a screw, or the like, and is detachably fixed to the platen. As shown in FIG. Is mounted. As can be seen from FIG. 2 showing this state, the magnetic head 9 is detachably fixed to the holder 10 on the platen 8.

ホルダー10は、ガイド兼ストッパーとなる直角方向に
2辺を持つ直角鈎型の固定部材11と、その内部に設けら
れた2つの位置決めピン12,12とで構成されていて、固
定部材11が斜め45度の方向で進退することでその直角の
各辺に磁気ヘッド9の基部の矩形部材9aが当接されるこ
とでXY方向の突当てが行われて2つの位置決めピン12,1
2との間で置決め固定がなされる。なお、位置決めピン1
2,12は、磁気ヘッド9の基部の矩形部材9aに設けられた
2つの位置決め孔にそれぞれ嵌合されることにより、プ
ラテン8上においてより正確な位置に磁気ヘッド9を位
置決めする。
The holder 10 includes a right-angle hook-shaped fixing member 11 having two sides in a right angle direction serving as a guide and a stopper, and two positioning pins 12 and 12 provided therein. By moving back and forth in the direction of 45 degrees, the rectangular member 9a at the base of the magnetic head 9 is brought into contact with each side at a right angle, and abutting in the XY direction is performed, so that the two positioning pins 12, 1
Positioning is fixed between the two. Note that positioning pin 1
The magnetic heads 2 and 12 are positioned in a more accurate position on the platen 8 by being fitted into two positioning holes provided in the rectangular member 9a at the base of the magnetic head 9, respectively.

13は、パドルであって、プローブが接触するコンタク
トストライプ13a,13bを有していて、磁気ヘッド9のリ
ード線9bがこのコンタクトストライプ13a,13bに接続さ
れる。これは、例えば、小さなセラミックス基板で構成
され、プラテン8に設けられた、一端が開放された函型
のパドルガイド14に装着されて、両側から回転爪15,15
の回転により着脱可能に固定される。
Reference numeral 13 denotes a paddle, which has contact stripes 13a and 13b with which the probe contacts, and the lead wire 9b of the magnetic head 9 is connected to the contact stripes 13a and 13b. This is, for example, a small ceramic substrate, which is mounted on a box-shaped paddle guide 14 having an open end provided on the platen 8 and having rotating claws 15, 15 from both sides.
It is detachably fixed by the rotation of.

そこで、試験対象となる磁気ヘッド9がホルダー10に
装着されたときに、このパドル13に磁気ヘッド9のリー
ド線9bが接続されるので、パドル13に設けられたコンタ
クトストライプ13a,13bにプローブ16(第1図参照)が
接触して定盤テーブル1上に配置されたリード・ライト
アンプ(R/Wアンプ)19aに接続される。このことにより
磁気ヘッド9は、リード・ライトアンプ19aを介して定
盤テーブル1の下側に配置されている測定制御・データ
処理部22の電気回路に接続される。
Therefore, when the magnetic head 9 to be tested is mounted on the holder 10, the lead wire 9b of the magnetic head 9 is connected to the paddle 13, so that the probe 16 is connected to the contact stripes 13a, 13b provided on the paddle 13. 1 (see FIG. 1) is contacted and connected to a read / write amplifier (R / W amplifier) 19a arranged on the base table 1. As a result, the magnetic head 9 is connected to the electric circuit of the measurement control / data processing unit 22 disposed below the base table 1 via the read / write amplifier 19a.

17a,17b,17c,17dは、それぞれそれぞれ、例えば、ホ
トインタラプタ、ホトセンサ等の位置検出センサであっ
て、回転駆動機構6によりキャリッジ7が回転駆動され
たときにキャリッジ7の位置をキャリッジ7に設けられ
た検出片や孔等を検出することによりそれらが位置決め
基準位置にあることの検出を行うものであって、これら
の検出出力が測定制御・データ処理部22に送出される。
17a, 17b, 17c, and 17d are position detecting sensors such as a photo interrupter and a photo sensor, respectively. The position of the carriage 7 is provided on the carriage 7 when the carriage 7 is rotationally driven by the rotation driving mechanism 6. By detecting the detected detection pieces, holes, and the like, it is detected that they are at the positioning reference position, and their detection outputs are sent to the measurement control / data processing unit 22.

そこで、これら位置検出センサ17aの位置検出により
キャリッジ7のプラテン8に載置された磁気ヘッド9の
アクセス移動軌跡がガラスディスク2の中心に対応する
ようにキャリッジ7が対向して配置されてその回転が停
止される。なお、このとき、キャリッジ7とガラスディ
スク2とは対向して配置され、磁気ヘッド9の中心線が
ガラスディスク4の回転中心と一致し、キャリッジ7が
ガラスディスク2のキャリッジとなる。また、この停止
位置にはストッパー等が設けられていてもよい。この位
置がガラスディスク2に対応して実線で示すキャリッジ
7の回転停止位置であって、浮上特性測定におけるガラ
スディスク2に対するそのキャリッジの位置決め位置で
ある。位置検出センサ17bは、キャリッジ7がガラスデ
ィスク2をアクセスする場合の基準位置に位置決めされ
たことを検出するものである。
Therefore, the carriage 7 is disposed so as to face the center of the glass disk 2 so that the access movement trajectory of the magnetic head 9 mounted on the platen 8 of the carriage 7 is detected by the position detection of the position detection sensor 17a. Is stopped. At this time, the carriage 7 and the glass disk 2 are arranged to face each other, the center line of the magnetic head 9 coincides with the rotation center of the glass disk 4, and the carriage 7 becomes the carriage of the glass disk 2. Further, a stopper or the like may be provided at this stop position. This position is the rotation stop position of the carriage 7 indicated by a solid line corresponding to the glass disk 2, and is the positioning position of the carriage with respect to the glass disk 2 in the measurement of the flying characteristics. The position detection sensor 17b detects that the carriage 7 has been positioned at a reference position when the glass disk 2 is accessed.

また、位置検出センサ17cの位置検出により磁気ヘッ
ド9のアクセス移動軌跡が磁気ディスク4の中心に対応
するようにキャリッジ7が対向して配置されてその回転
が停止される。なお、このとき、キャリッジ7と磁気デ
ィスク4とは対向して配置され、磁気ヘッド9の中心線
が磁気ディスク4の回転中心と一致し、キャリッジ7が
磁気ディスク4のキャリッジとなる。また、この停止位
置にもストッパー等が設けられていてもよい。この位置
が磁気ディスク4に対応して点線で示すキャリッジ7の
回転停止位置であって、電磁変換特性測定における磁気
ディスク4に対するそのキャリッジの位置決め位置であ
る。位置検出センサ17dは、キャリッジ7が磁気ディス
ク4をアクセスする場合の基準位置に位置決めされたこ
とを検出するものである。
In addition, the carriage 7 is disposed so as to oppose the access movement locus of the magnetic head 9 corresponding to the center of the magnetic disk 4 by the position detection of the position detection sensor 17c, and its rotation is stopped. At this time, the carriage 7 and the magnetic disk 4 are arranged to face each other, the center line of the magnetic head 9 coincides with the rotation center of the magnetic disk 4, and the carriage 7 becomes the carriage of the magnetic disk 4. Also, a stopper or the like may be provided at this stop position. This position is a rotation stop position of the carriage 7 indicated by a dotted line corresponding to the magnetic disk 4, and is a positioning position of the carriage with respect to the magnetic disk 4 in electromagnetic conversion characteristic measurement. The position detection sensor 17d detects that the carriage 7 has been positioned at a reference position for accessing the magnetic disk 4.

18,19は、それぞれがガラスディスク2,磁気ディスク
4に対応して設けられた磁気ヘッド9に対するヘッドロ
ード機構であって、磁気ディスク9側には、前述したよ
うに、磁気ヘッド9からの電気的な信号を増幅するリー
ド・ライトアンプ19aがヘッドロード機構19に隣接して
配設されている。
Reference numerals 18 and 19 denote head loading mechanisms for the magnetic head 9 provided respectively corresponding to the glass disk 2 and the magnetic disk 4, and the electric load from the magnetic head 9 is provided on the magnetic disk 9 side as described above. A read / write amplifier 19 a for amplifying a typical signal is provided adjacent to the head load mechanism 19.

次に、その動作を説明すると、試験する磁気ヘッド9
は、通常、パレット等に配置されていて、磁気ヘッドテ
スター20とは別に置かれている。その1つが、まず、プ
ラテン8のホルダー10に装着されて実装される。磁気ヘ
ッド9が実装されたプラテン8をキャリッジ7上に設定
されている所定の位置に位置決めしてキャリッジ7に実
装する。なお、このようにプラテン8を独立したユニッ
トとして磁気ヘッド9を交換可能にすれば、磁気ヘッド
9の形状,形態が変わってもプラテン8と磁気ヘッド9
との装着関係を変更するだけで済み、装置側の改造は不
要となる。
Next, the operation will be described.
Are usually arranged on a pallet or the like and are placed separately from the magnetic head tester 20. One of them is first mounted on the holder 10 of the platen 8 and mounted. The platen 8 on which the magnetic head 9 is mounted is positioned at a predetermined position set on the carriage 7 and mounted on the carriage 7. If the magnetic head 9 can be replaced by making the platen 8 an independent unit as described above, even if the shape and form of the magnetic head 9 change, the platen 8 and the magnetic head 9 can be replaced.
It is only necessary to change the mounting relationship with the device, and no modification on the device side is required.

まず、測定制御・データ処理部22によりプラテン8が
搭載されたキャリッジ7がガラスディスク2側の位置
か、磁気ディスク4側の位置かを位置検出センサ17a,17
cの出力によって確認する。磁気ディスク4側にあると
きには、測定制御・データ処理部22からの制御信号に応
じて回転駆動機構6が駆動され、ガラスディスク2側に
キャリッジ7が回転位置決めされ、位置決めがなされた
か否かが位置検出センサ17a,17cの出力によって同様に
確認される。なお、この場合の位置決め位置の検出は、
位置検出センサ17aが“ON"状態になっていて、ガラスデ
ィスク2に対する位置検出センサ17cが“OFF"状態にあ
ることによる。
First, the measurement control / data processing unit 22 determines whether the carriage 7 on which the platen 8 is mounted is located on the glass disk 2 side or the magnetic disk 4 side.
Confirm by the output of c. When it is located on the magnetic disk 4 side, the rotation drive mechanism 6 is driven in accordance with a control signal from the measurement control / data processing unit 22, and the carriage 7 is rotationally positioned on the glass disk 2 side. The same is confirmed by the outputs of the detection sensors 17a and 17c. In this case, the detection of the positioning position is performed as follows.
This is because the position detection sensor 17a is in the "ON" state and the position detection sensor 17c for the glass disk 2 is in the "OFF" state.

このガラスディスク2の測定位置に対するキャリッジ
7の位置決めが終了すると、浮上量の測定が開始され
る。まず、測定制御・データ処理部22は、キャリッジ7
が正規の位置にあるいか否かを位置検出センサ17bの信
号により確認してキャリッジ7を駆動し、ガラスディス
ク2の中心であるスピンドル3の方向に向かって磁気ヘ
ッド9を移動させる。そこで、ヘッドロード機構18によ
り磁気ヘッド9がガラスディスク2上にロードされてガ
ラスディスク2が回転駆動される。ここで、磁気ヘッド
9が浮上する。なお、これは、コンタクトスタートスト
ップの例であり、ヘッドロード前にガラスディスク2が
回転されてもよい。
When the positioning of the carriage 7 with respect to the measurement position of the glass disk 2 is completed, the measurement of the flying height is started. First, the measurement control / data processing unit 22
The carriage 7 is driven after confirming whether or not is at a regular position by the signal of the position detection sensor 17b, and the magnetic head 9 is moved in the direction of the spindle 3 which is the center of the glass disk 2. Then, the magnetic head 9 is loaded on the glass disk 2 by the head loading mechanism 18, and the glass disk 2 is driven to rotate. Here, the magnetic head 9 flies. Note that this is an example of a contact start / stop, and the glass disk 2 may be rotated before head loading.

次に、測定制御・データ処理部22によりキャリッジ7
が制御され、磁気ヘッド9は、浮上量測定の光学系23の
光照射ポイントである所定の測定ポイントまで移動す
る。そして、この位置で浮上量測定用の光学系23により
浮上量の測定が行われ、それが測定制御・データ処理部
22のメモリにその磁気ヘッドのデータ対応に記憶され
る。なお、浮上量測定の結果、不合格であれば、キャリ
ッジ7からプラテン8が取外されて、プラテンから磁気
ヘッド9が取外され、次の試験対象となる磁気ヘッド9
がプラテン8に実装されて前記と同様にして次の磁気ヘ
ッドの試験を行う。
Next, the measurement control / data processing unit 22 controls the carriage 7
Is controlled, and the magnetic head 9 moves to a predetermined measurement point which is a light irradiation point of the optical system 23 for measuring the flying height. At this position, the flying height is measured by the flying height measuring optical system 23, and the measurement is performed by the measurement control / data processing unit.
22 are stored in the memory corresponding to the data of the magnetic head. If the flying height measurement results in a failure, the platen 8 is removed from the carriage 7, the magnetic head 9 is removed from the platen, and the magnetic head 9 to be tested next is removed.
Is mounted on the platen 8, and the next magnetic head test is performed in the same manner as described above.

浮上量の測定が終了するとキャリッジ7は元の基準位
置である初期位置に戻る。そして、電磁変換特性測定の
測定に移る。これは、測定制御・データ処理部22からの
制御信号に応じて回転駆動機構6が駆動され、磁気ディ
スク4側にキャリッジ7が回転位置決めされ、位置決め
がなされたか否かが位置検出センサ17cの出力によって
同様に確認される。なお、この位置決め位置の検出は、
位置検出センサ17aが“OFF"状態になっていて、磁気デ
ィスク4に対する位置検出センサ17cが“ON"状態にある
ことによる。
When the measurement of the flying height is completed, the carriage 7 returns to the initial position, which is the original reference position. Then, the process proceeds to the measurement of the electromagnetic conversion characteristics. This is because the rotation drive mechanism 6 is driven in response to a control signal from the measurement control / data processing unit 22, the carriage 7 is rotationally positioned on the magnetic disk 4 side, and the output of the position detection sensor 17c determines whether or not the positioning has been performed. Is also confirmed by The detection of this positioning position
This is because the position detection sensor 17a is in the "OFF" state and the position detection sensor 17c for the magnetic disk 4 is in the "ON" state.

次に、測定制御・データ処理部22からの制御信号によ
りキャリッジ7が制御されて、まず、測定制御・データ
処理部22は、キャリッジ7が正規の位置にあるいか否か
を位置検出センサ17dの信号により確認し、これを基準
にしてさらにキャリッジ7を駆動し、磁気ディスク4の
中心であるスピンドル5の方向に向かって磁気ヘッド9
を移動させる。そこで、ヘッドロード機構18により磁気
ヘッド9が磁気ディスク4上にロードされて磁気ディス
ク4が回転駆動される。なお、これもコンタクト・スタ
ート・ストップの場合である。ついで、前述と同様に、
測定制御・データ処理部22によりキャリッジ7が制御さ
れて磁気ヘッド9は、電気的特性を測定する所定のトラ
ック位置まで移動させられ、そこで、リード・ライト
(R/W)試験が行われる。
Next, the carriage 7 is controlled by a control signal from the measurement control / data processing unit 22. First, the measurement control / data processing unit 22 determines whether the carriage 7 is at a regular position by the position detection sensor 17d. The carriage 7 is further driven based on the signal, and the magnetic head 9 is moved toward the spindle 5 which is the center of the magnetic disk 4.
To move. Then, the magnetic head 9 is loaded onto the magnetic disk 4 by the head loading mechanism 18, and the magnetic disk 4 is driven to rotate. This is also the case of contact start / stop. Then, as before,
The carriage 7 is controlled by the measurement control / data processing unit 22, and the magnetic head 9 is moved to a predetermined track position for measuring the electrical characteristics, where a read / write (R / W) test is performed.

R/W試験では、所定のトラック位置に磁気ヘッド9が
位置決めされた状態でパドルに設けられたコンタクトに
プローブ16が接触して、磁気ヘッド9の電気的な出力が
パドル13,プローブ16,リード・ライトアンプ19aを介し
て測定制御・データ処理部22に信号が送られ、それを測
定制御・データ処理部22が解析して、そのデータを前記
の浮上量の測定と同様にこの磁気ヘッドのデータに対応
させてメモリに記憶することで行われる。なお、浮上量
測定の場合と同様に、電磁変換特性測定の結果、不合格
であれば、キャリッジ7からプラテン8が取外されて、
プラテンから磁気ヘッド9が取外され、次の試験対象と
なる磁気ヘッド9がプラテン8に実装されて前記と同様
にして次の磁気ヘッドの試験を行う。
In the R / W test, the probe 16 comes into contact with the contact provided on the paddle with the magnetic head 9 positioned at a predetermined track position, and the electrical output of the magnetic head 9 is changed to the paddle 13, the probe 16, and the lead. A signal is sent to the measurement control / data processing unit 22 via the write amplifier 19a, and the signal is sent to the measurement control / data processing unit 22 for analysis.The data is analyzed by the data processing unit 22 in the same manner as the measurement of the flying height. This is performed by storing the data in a memory corresponding to the data. As in the case of the flying height measurement, if the result of the measurement of the electromagnetic conversion characteristics is unacceptable, the platen 8 is removed from the carriage 7 and
The magnetic head 9 is removed from the platen, the magnetic head 9 to be tested next is mounted on the platen 8, and the next magnetic head test is performed in the same manner as described above.

このようにして、浮上量の測定と電磁変換特性の測定
が終了すると、回転駆動機構6が駆動されて、キャリッ
ジ7は、初期位置である図面実線の位置に戻り、測定を
終了する。そして、キャリッジ7からプラテン8が取外
されて、試験が終了したプラテン8の磁気ヘッド9が取
外されて、次に試験対象となる磁気ヘッドがプラテン8
に取付けられる。
When the measurement of the flying height and the measurement of the electromagnetic conversion characteristics have been completed in this way, the rotation drive mechanism 6 is driven, and the carriage 7 returns to the initial position as indicated by the solid line in the drawing, and the measurement ends. Then, the platen 8 is removed from the carriage 7, the magnetic head 9 of the platen 8 for which the test is completed is removed, and the next magnetic head to be tested is the platen 8.
Attached to

第3図は、キャリッジ7の回転角度を180度から90度
にした場合の実施例であって、各部の動作は、キャリッ
ジ7が90度でそれぞれガラスディスク2と磁気ディスク
4とのキャリッジ位置に位置決めされることを除けば前
記実施例と同様であるので割愛する。
FIG. 3 shows an embodiment in which the rotation angle of the carriage 7 is changed from 180 degrees to 90 degrees, and the operation of each part is as follows. Except for the positioning, it is the same as the above-mentioned embodiment, and will not be described.

以上説明してきたが、実施例では、キャリッジの回転
角度は、180度や90度に限定されるものではないことは
もちろんである。また、磁気ヘッド9のアクセス行程の
軌跡が各ディスクの中心と一致するようになっている
が、このようにすることなく、磁気ヘッドのアクセス方
向は直角方向に配置されてもよい。
As described above, in the embodiment, it is needless to say that the rotation angle of the carriage is not limited to 180 degrees or 90 degrees. Further, the trajectory of the access process of the magnetic head 9 coincides with the center of each disk, but the access direction of the magnetic head may be arranged at right angles without doing so.

さらに、実施例では、定盤テーブルの上に各機器を載
置するようにしているが、これは、必ずしも定盤テーブ
ル上である必要はない。
Further, in the embodiment, each device is placed on the surface plate table, but this need not necessarily be on the surface plate table.

[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明では、浮
上量を測定するためのディスクと電気的な特性を測定す
るためのディスクとを並設して、これらの間に1つのキ
ャリッジを共通に設けてこれを回転させてそれぞれのデ
ィスクをアクセスするようにすることにより、それぞれ
の測定に対して試験対象となる磁気ヘッドを着脱する必
要がなくなり、キャリッジを回転させるだけで済むこと
からそれぞれの測定におけるキャリッジ等の機構に関係
するモータの駆動やその停止、そして、各試験装置や関
係回路の起動や制御をそれぞれ独立に行う必要がなく、
磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特性のそれぞれのデー
タを試験をしている磁気ヘッド対応に容易に得られる。
[Effects of the Invention] As can be understood from the above description, according to the present invention, a disk for measuring the flying height and a disk for measuring the electrical characteristics are juxtaposed, and one disk is provided between them. By providing a common carriage and rotating it to access each disk, it is not necessary to attach and detach the magnetic head to be tested for each measurement, just rotate the carriage. It is not necessary to independently drive and stop the motor related to the mechanism such as the carriage in each measurement, and to start and control each test device and related circuits independently,
The data of the flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head can be easily obtained in correspondence with the magnetic head being tested.

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮で
き、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を
短時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率
を向上させることができる。
As a result, the time required to perform each measurement can be reduced, the head flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics can be measured in a short time with one test apparatus, and the measurement efficiency of the entire measurement process can be improved. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、この発明の磁気ヘッドテスターを適用した一
実施例の概要図、第2図は、そのプラテン部分の詳細
図、第3図は、その他の一実施例の概要図である。 1……定盤テーブル、2……ガラスディスク、 3,5……スピンドル、3……測定位置、 4……磁気ディスク、6……回転駆動機構、 7……キャリッジ、8……プラテン、 9……磁気ヘッド、10……ホルダー、 11……固定部材、12……位置決めピン、 13……パドル。
FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment to which the magnetic head tester of the present invention is applied, FIG. 2 is a detailed diagram of a platen portion thereof, and FIG. 3 is a schematic diagram of another embodiment. Reference Signs List 1 ... Stable table, 2 ... Glass disk, 3,5 ... Spindle, 3 ... Measurement position, 4 ... Magnetic disk, 6 ... Rotation drive mechanism, 7 ... Carriage, 8 ... Platen, 9 ... magnetic head, 10 ... holder, 11 ... fixing member, 12 ... positioning pin, 13 ... paddle.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁気ヘッドの浮上特性を測定するための第
1のディスクと、前記磁気ヘッドの電気的な特性を測定
するための第2のディスクと、第1のディスクと第2の
ディスク間に配置され回転することにより浮上特性を測
定するために第1のディスクに対向して磁気ヘッドを搭
載するキャリッジが配置される第1のキャリッジ位置と
電気的な特性を測定するために第2のディスクに対向し
て磁気ヘッドを搭載するキャリッジが配置される第2の
キャリッジ位置とに選択的に位置決めされる、前記磁気
ヘッドを搭載するキャリッジとを備えることを特徴とす
る磁気ヘッドテスター。
A first disk for measuring a flying characteristic of a magnetic head; a second disk for measuring an electrical characteristic of the magnetic head; and a first disk for measuring an electrical characteristic of the magnetic head. And a second carriage for measuring an electrical characteristic and a first carriage position where a carriage on which a magnetic head is mounted is arranged opposite to the first disk to measure the flying characteristics by rotating. A magnetic head tester, comprising: a carriage for mounting the magnetic head, which is selectively positioned at a second carriage position where a carriage for mounting the magnetic head is disposed facing the disk.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6605916B1 (en) 1999-04-12 2003-08-12 Canon Kabushiki Kaisha Rotation position control apparatus of rotary element of filter

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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