Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP2644044B2 - Correlation type flow meter - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP2644044B2 - Correlation type flow meter - Google Patents

Correlation type flow meter

Info

Publication number
JP2644044B2
JP2644044B2 JP1188340A JP18834089A JP2644044B2 JP 2644044 B2 JP2644044 B2 JP 2644044B2 JP 1188340 A JP1188340 A JP 1188340A JP 18834089 A JP18834089 A JP 18834089A JP 2644044 B2 JP2644044 B2 JP 2644044B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
value
correlation
flow
calculated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1188340A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0353130A (en
Inventor
ひさ乃 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TOKIKO KK
Original Assignee
TOKIKO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TOKIKO KK filed Critical TOKIKO KK
Priority to JP1188340A priority Critical patent/JP2644044B2/en
Publication of JPH0353130A publication Critical patent/JPH0353130A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2644044B2 publication Critical patent/JP2644044B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は流れの情報を流路の複数箇所で検出して、そ
の相互相関値から流量を測定する相関式流量計に関する
ものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a correlation type flow meter which detects flow information at a plurality of locations in a flow path and measures a flow rate from a cross-correlation value thereof.

「従来の技術」 従来より知られている相関式流量計には、例えば、本
出願人の先願にかかる特願昭62−10447号(特開昭63−1
79219号)に見られるように、流れの方向に間隔をおい
た複数箇所にセンサを切け、このセンサによって流れに
関する情報、例えば超音波の伝搬特性、あるいは、流体
の静電容量などを測定し、これら各センサの測定データ
の相関関係から、流体に生じた「流体の乱れ」が各セン
サに検出される時間差を演算し、この時間差から得られ
る流速データにより流量を算出する方式が採用されてい
る。
[Prior Art] Conventionally known correlation type flow meters include, for example, Japanese Patent Application No. 62-1047 (Japanese Patent Application Laid-Open No.
As shown in No. 79219), sensors are cut at a plurality of points spaced in the direction of flow to measure information about the flow, such as the propagation characteristics of ultrasonic waves or the capacitance of fluid. From the correlation of the measurement data of each of these sensors, a method is employed in which a time difference in which “turbulence of the fluid” generated in the fluid is detected by each sensor is calculated, and the flow rate is calculated based on the flow velocity data obtained from the time difference. I have.

そして、例えば上流側、下流側に二つのセンサを設け
た場合、これらのセンサから得られる流れの情報をF
(t)、g(t)なる時間の関数で表現すると、これら
の関数は、波形がほぼ同一でτなる位相差を持った波形
となり、これらの関数の間には、前記τを変数とする相
互相関関係が成立する。
For example, when two sensors are provided on the upstream side and the downstream side, flow information obtained from these sensors is
When these functions are represented by time functions of (t) and g (t), these functions are waveforms having substantially the same waveform and having a phase difference of τ, and between these functions, τ is a variable. A cross-correlation holds.

したがって、関数f(t)とg(t−τ)との積を一
定の区間[0,T]で積分した式 が最大となる場合のτを求めることにより、このτから
流速および流量を知ることができる。
Therefore, an equation obtained by integrating the product of the function f (t) and g (t−τ) in a fixed section [0, T] By obtaining τ when becomes maximum, the flow velocity and the flow rate can be known from τ.

「発明が解決しようとする課題」 ところで上記(I)式は、前記関数f(t)およびg
(t)の絶対値が大きい場合に最大値をとることになる
から、外部からのノイズなどの原因により、相関演算に
かかわるピーク(流れの乱れによる)と無関係なピーク
値がいずれかのセンサに検出されると、誤った相関値を
算出してしまう場合があり得る。
"Problem to be Solved by the Invention" By the way, the above-mentioned formula (I) expresses the functions f (t) and g
When the absolute value of (t) is large, the peak value takes a maximum value. Therefore, a peak value irrelevant to a peak related to the correlation calculation (due to turbulence of flow) due to external noise or the like is applied to one of the sensors. If detected, an erroneous correlation value may be calculated.

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、相関演算
の誤差の原因となるピーク値の影響を排除することを目
的とするものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to eliminate the influence of a peak value that causes an error in a correlation operation.

「課題を解決するための手段」 上記目的を達成するため、本発明は、 流体の流れ方向に相互に間隔をおいた複数箇所に、流れ
の変化に対応する検出信号を出力するセンサをそれぞれ
設け、これの各センサの検出信号の相互相関演算値から
前記流体の流量を測定する相関式流量計において、演算
された相互相関演算値のデータを時系列的に順次記憶す
る記憶手段と、該記憶手段に記憶された時系列的な相関
演算値に基づいて設定された基準値と新たに供給された
相関演算値とを比較する比較手段と、該比較手段により
基準外と判断された相関演算値を無効とする無効処理手
段とから構成してなるものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a sensor that outputs a detection signal corresponding to a change in flow at a plurality of locations spaced apart from each other in a flow direction of a fluid. A correlation means for measuring the flow rate of the fluid from the cross-correlation calculation value of the detection signal of each sensor, a storage means for sequentially storing data of the calculated cross-correlation calculation values in time series, Comparing means for comparing a reference value set based on the time-series correlation operation value stored in the means with a newly supplied correlation operation value, and a correlation operation value determined to be out of reference by the comparison means And invalidation processing means for invalidating.

「作用」 上記の構成であると、相関演算すべき流れの乱れと無
関係なピーク値が誤って相関演算された場合、その結果
得られたデータは、これまでに測定されたデータから得
られた基準値外の値となって、その旨が比較手段に判別
されることとなり、その結果、無効とされる。
[Operation] With the above configuration, when a peak value irrelevant to the turbulence of the flow to be correlated is erroneously correlated, the resulting data is obtained from the data measured so far. It becomes a value outside the reference value, and the comparison means determines that, and as a result, is invalidated.

「実施例」 以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明を超音波流量計に適用したものであ
り、図中符号10は流量の測定が行われる配管である。
FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to an ultrasonic flowmeter. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a pipe for measuring a flow rate.

この配管10の外周の上流側(図中左側)には上流側セ
ンサ11が設けられていると共に、その下流側(図中右
側)には、前記上流側センサ11から管軸方向に間隔をお
いて下流側センサ12が設けられている。これら上流側セ
ンサ11及び下流側センサ12は互いに同一の構成とされて
おり、配管10に配設されて超音波を発信する発信器11a
・12bと、該発信器11a・12aに対して配管10を挟んで対
向する位置に設けられて超音波信号を受信する受信器11
b・12bとから構成されている。
An upstream sensor 11 is provided on the upstream side (left side in the figure) of the outer periphery of the pipe 10, and on the downstream side (right side in the figure), an interval is provided in the pipe axis direction from the upstream sensor 11. In addition, a downstream sensor 12 is provided. The upstream sensor 11 and the downstream sensor 12 have the same configuration as each other, and are arranged in the pipe 10 and emit a ultrasonic wave transmitted by the transmitter 11a.
12b and a receiver 11 that is provided at a position facing the transmitters 11a and 12a with the pipe 10 interposed therebetween and receives an ultrasonic signal.
b and 12b.

前記各センサ11・12の発信器11a・12aには、超音波源
13が接続されており、この超音波源13がら出力される駆
動信号によって各発信器11a・12aから超音波が発信さ
れ、この超音波が管路を横断して各受信器11b・12bに受
信されて電気信号に変換されるようになっている。
The transmitters 11a and 12a of the sensors 11 and 12 have an ultrasonic source.
13 is connected, ultrasonic waves are transmitted from each of the transmitters 11a and 12a by a drive signal output from the ultrasonic source 13, and the ultrasonic waves are received by the receivers 11b and 12b across the pipeline. And converted into an electric signal.

また前記各受信器11b・12bには復調器14a・14bが接続
されて、これらの復調器14a・14bに各受信器11b・12bか
らの電気信号が入力されるようになっている。そして、
配管10内の流体の流れに乱れが生じてこの入力信号が変
調をきたすと、この乱れに対応する信号が復調器14a・1
4bから出力されるようになっている。
Further, demodulators 14a and 14b are connected to the receivers 11b and 12b, respectively, so that electric signals from the receivers 11b and 12b are input to the demodulators 14a and 14b. And
When a disturbance occurs in the flow of the fluid in the pipe 10 and the input signal is modulated, a signal corresponding to the disturbance is transmitted to the demodulators 14a and 14a.
Output from 4b.

さらに、前記各復調器14a・14bから出力された乱れ信
号は、信号記録器15a・15bに入力され、これらの信号記
録器15a・15bは、復調器14a・14bからの入力信号をA/D
変換の後、内蔵されたメモリ内に一時記憶するようにな
っている。また信号記録器15a・15bは、メモリコントロ
ーラ16a・16bによってその機能が制御されるようになっ
ており、前記メモリコントローラ16a・16bから供給され
る制御信号によって制御されて相関器17へデータを供給
するようになっている。
Furthermore, the turbulence signals output from the demodulators 14a and 14b are input to signal recorders 15a and 15b, and these signal recorders 15a and 15b convert the input signals from the demodulators 14a and 14b into A / D signals.
After the conversion, the data is temporarily stored in a built-in memory. The functions of the signal recorders 15a and 15b are controlled by the memory controllers 16a and 16b, and the data are supplied to the correlator 17 under the control of control signals supplied from the memory controllers 16a and 16b. It is supposed to.

前記相関器17は、前記信号記録器15a・15bから供給さ
れる乱れ信号データD1・D2を前記(1)式に基づいて相
互相関演算し、両センサ11・12間における流れの乱れの
時間遅れτを測定結果データS1として制御演算器18へ出
力している。
The correlator 17 performs a cross-correlation calculation on the turbulence signal data D 1 and D 2 supplied from the signal recorders 15 a and 15 b based on the equation (1), and calculates the turbulence of the flow between the two sensors 11 and 12. and outputs to the control arithmetic unit 18 a time delay τ as the measurement result data S 1.

前記制御演算器18は、測定結果データS1の正しさを判
断する機能と、この判断の基準となる過去数回分の測定
結果データS1を記憶する機能と、正しいと判断された測
定結果データS1に従って流量を計算して正規の流量デー
タS2として出力する機能と、エラーデータの発生回数を
記憶する機能とを持っている。また制御演算器18の測定
データ記憶領域には、所定時間(所定のサンプリング回
数)にわたる測定結果データS1が時系列的に記憶され、
これらのデータは、先入れ先出しの原則に従って順次書
き込みおよび読み出されるとともに、更新されるように
なっている。
The control arithmetic unit 18, the measurement results and the ability to determine the correctness of the data S 1, a function of storing the measurement result data S 1 for the past several times as a reference for this determination, measurement result data judged to be correct a function to calculate the flow rate output as flow data S 2 regular according S 1, and the function of storing the number of occurrences of error data. Also the measurement data storage area of the control arithmetic unit 18, the measurement result data S 1 over a predetermined time (predetermined number of sampling times) is chronologically stored,
These data are sequentially written and read in accordance with a first-in first-out principle, and are updated.

以下、前記制御演算器18による測定結果データS1の判
断処理の内容を説明する。
Hereinafter, explaining the contents of determination processing of the measurement result data S 1 by the control arithmetic unit 18.

STEP1:メモリコントローラ16a・16bにより信号記録器15
a・15bを制御し、流れの乱れの信号D1,D2を読み出し、
相関器17へ供給する。
STEP1: Signal recorder 15 by memory controllers 16a and 16b
a.15b is controlled, and the flow disturbance signals D 1 and D 2 are read out,
Supply to correlator 17.

STEP2:前記流れの乱れの信号D1,D2を相互相関演算して
時間τを求める。
STEP2: A time τ is obtained by performing a cross-correlation operation on the turbulence signals D 1 and D 2 .

STEP3:記憶量域内に記憶された複数の測定結果データS1
の標準偏差を算出する。
STEP3: Multiple measurement result data S 1 stored in the storage area
Calculate the standard deviation of

STEP4:算出された標準偏差を、予め設定された基準値と
比較し、基準値外であった場合にはSTEP5以下のステッ
プへ、基準値内であった場合にはSTEP9以下のステップ
へ進む。
STEP4: The calculated standard deviation is compared with a preset reference value. If the standard deviation is out of the reference value, the process proceeds to STEP5 and below. If the standard deviation is within the reference value, the process proceeds to STEP9 and below.

STEP5:記憶領域内のデータS1の平均値を算出する。STEP5: calculating an average value of data S 1 in the storage area.

STEP6:算出された平均値と測定データS1との差が基準値
内にあるか否かを判断し、基準値内にあるならばSTEP7
へ、基準値外ならば後述するSTEP13へ進む。
STEP6: If the difference between the calculated average value and the measured data S 1 is judged whether it is within the reference value, it is within the reference value STEP7
If the value is outside the reference value, the process proceeds to STEP 13 described later.

STEP7:記憶領域内の時系列データを順次シフトするとと
もに、当該データを新たに書き込む。また、エラーゲー
タの発生回数を記憶するカウンタのカウント値Eをリセ
ットする。
STEP7: The time-series data in the storage area is sequentially shifted, and the data is newly written. Further, the count value E of the counter that stores the number of occurrences of the error gater is reset.

STEP8:測定データS1を流量に換算し、流量値として出力
する。
STEP 8: The measured data S 1 in terms of flow rate, and outputs it as a flow value.

一方、前記STEP4において、標準偏差値が基準より大
であると判断された場合には、測定データに変化かあっ
たことになるから、その変化の度合についてSTEP9以下
の処理が行われる。
On the other hand, if it is determined in STEP 4 that the standard deviation value is larger than the reference, it means that the measurement data has changed, and the processing of STEP 9 and the subsequent steps is performed on the degree of the change.

STEP9:記憶領域内の測定データの変化の状況を測定す
る。すなわち測定データS1の変化率を算出する。
STEP 9: Measure the state of change of the measurement data in the storage area. That calculates the change rate of the measurement data S 1.

STEP10:漸次増加しているか、あるいは、漸次減少して
いるかを判断し、いずれか一方に該当する場合にはSTEP
11へ、いずれにも該当しない場合にはSTEP13へ進む。
STEP10: Judge whether it is gradually increasing or gradually decreasing, and if any of them is applicable, STEP
Go to 11; if none of the above, go to STEP13.

STEP11:記憶領域内の記憶された測定データS1の変化量
を算出する。
STEP 11: Calculate the amount of change in the measurement data S1 stored in the storage area.

STEP12:算出された変化量と、今回および前回の測定デ
ータS1の間の変化量とを比較し、所定の基準内の差であ
る場合には、有効な測定データとして取り込むべく前記
STEP7へ進み、また、所定の基準外であった場合には、
測定エラーとして処理すべくSTEP13へ進む。
STEP 12: the calculated amount of change, to compare the variation between the measured data S 1 of this and the previous, in the case of a difference between a predetermined reference captures a valid measurement data the
Proceed to STEP7, and if it is outside the prescribed standard,
Proceed to STEP 13 to process as a measurement error.

すなわち、前記STEP6もしくはSTEP12において、測定
データが所定のバラツキあるいは変化率の基準外であっ
た場合には、このようなデータの測定に対して以下の各
ステップの処理を行う。
That is, in the above-described STEP 6 or STEP 12, when the measured data is out of the standard of the predetermined variation or the change rate, the following steps are performed for the measurement of such data.

STEP13:制御演算回路18内のエラー回数カウンタをカウ
ントアップする。
STEP13: Count up the error counter in the control arithmetic circuit 18.

STEP14:カウント値Eを基準値Nと比較し、エラー回数
が基準値以下の場合には前記STEP1に戻って測定、演算
を繰り返し、基準値を超える場合にはSTEP15へ進む。
STEP14: Compare the count value E with the reference value N. If the number of errors is less than the reference value, return to STEP1 to repeat the measurement and calculation, and if it exceeds the reference value, proceed to STEP15.

STEP15:異常データの連続的な検出により、正常な流量
データS2が出力されない状態が続くから、異常なデータ
が測定される原因、例えば流量計自身の故障、あるい
は、流量計への外乱要因の究明をうながすべく、アラー
ムなどを動作させる。
STEP 15: the abnormality by continuous detection of the data, since the subsequent state not output the normal flow data S 2, causes abnormal data is measured, for example, failure of the flow meter itself, or the disturbance factor to the flow meter Activate alarms, etc. to encourage inquiries.

以上の各ステップにより、ノイズの影響などによって
特異的な相関演算値が生じた場合にも、このデータを流
量測定データに反映されることなく正確な流量が算出さ
れる。
Through the above steps, even when a specific correlation operation value occurs due to the influence of noise or the like, an accurate flow rate is calculated without reflecting this data in the flow rate measurement data.

さらに実施例の場合、本出願人の先願にかかる特願昭
62−10447号に実施例として開示されたものと同様、演
算負荷の軽減やノイズの影響の排除のため、制御演算器
18から相関器17およびメモリコントローラ16a・16bへ制
御信号C1〜C3をそれぞれ供給し、この制御信号C1〜C3
基づいて制御演算器18への流れのデータの供給を制限す
るようになっている。
Further, in the case of the embodiment, a Japanese Patent Application No.
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-10447 as an embodiment, a control arithmetic unit is used to reduce the arithmetic load and eliminate the influence of noise.
18 correlator 17 and to the memory controller 16a · 16b control signals C 1 -C 3 was supplied from, to limit the delivery of the flow of data to the control computation unit 18 based on the control signal C 1 -C 3 It has become.

すなわち制御演算器18は、これに記憶されている過去
の流量データS2、すなわち流れの変化に対応する変化量
を参照し、前記両センサ11・12間における流れの時間遅
れの予想値τ′を演算する。この予想値の設定は任意で
あるが、例えば過去の流量データS2の平均値、あるい
は、前回、前々回にサンプリングされた流量データが用
いられる。そして、設定された時間遅れの予想値τ′の
前後に対して所定の幅Δτを持たせた時間遅れである
[τ′±Δτ]の範囲内において相互相関演算を行うよ
うに、前記相関器17およびメモリコントローラ16a・16b
に制御信号C1〜C3が供給されている。
That is, the control calculator 18 refers to the past flow rate data S2 stored therein, that is, the change amount corresponding to the flow change, and calculates the expected value τ ′ of the time delay of the flow between the two sensors 11 and 12. Calculate. The setting of the predicted value is arbitrary, but, for example, the average value of the past flow rate data S2 or the flow rate data sampled last time and two times before is used. The correlator is configured to perform a cross-correlation calculation within a range of [τ ′ ± Δτ] which is a time delay having a predetermined width Δτ before and after the set expected value τ ′ of the time delay. 17 and memory controllers 16a and 16b
The control signal C 1 -C 3 are supplied to the.

なお、上記実施例では流れの乱れを測定するセンサを
二カ所に設けるようにしたが、さらに多くの箇所を設け
るようにしてもよい。また、センサについても、実施例
に超音波式センサのみならず、静電容量式などの他の方
式のセンサを用いるようにしてもよいのはもちろんであ
る。
In the above embodiment, two sensors for measuring the turbulence of the flow are provided. However, more sensors may be provided. Also, as for the sensor, it goes without saying that not only an ultrasonic sensor but also other types of sensors such as a capacitance type may be used in the embodiment.

「発明の効果」 以上の説明で明らかなように、本発明によれば、流れ
に生じた乱れの位相差にもとづく相関演算に際して、過
去の演算結果についての時系列的データに基づく基準値
と新たな演算結果とを比較して、基準外にある場合にそ
の演算結果に基づく流量算出値を無効とするようにした
ものであるから、流量計自身の故障、あるいは、外乱の
影響による特異的な検出値による誤測定を防止して流量
計の信頼性を高めることができるという効果を奏する。
[Effects of the Invention] As is clear from the above description, according to the present invention, when performing a correlation operation based on a phase difference of a turbulence generated in a flow, a reference value based on time-series data of a past operation result and a new reference value are calculated. When the flow rate is out of the standard, the flow rate calculation value based on the calculation result is invalidated. This has the effect of preventing erroneous measurement due to the detected value and increasing the reliability of the flow meter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は全体の
ブロック図、第2図は制御演算器の処理内容を示すフロ
ーチャートである。 10……配管、11……上流側センサ(センサ)、12……下
流側(センサ)、18……制御演算器。
1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is an overall block diagram, and FIG. 2 is a flowchart showing the processing contents of a control arithmetic unit. 10 ... Piping, 11 ... Upstream sensor (sensor), 12 ... Downstream sensor (sensor), 18 ... Control arithmetic unit.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】流体の流れ方向に相互に間隔をおいた複数
箇所に、流れの変化に対応する検出信号を出力するセン
サをそれぞれ設け、これら各センサの検出信号の相互相
関演算値から前記流体の流量を測定する相関式流量計に
おいて、演算された相互相関演算値のデータを時系列的
に順次記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された時
系列的な相関演算値に基づいて設定された基準値と新た
に演算された相関演算値とを比較する比較手段と、該比
較手段により基準値外と判断された相関演算値を無効と
する無効処理手段とからなることを特徴とする相関式流
量計。
A sensor for outputting a detection signal corresponding to a change in flow is provided at a plurality of positions spaced from each other in a flow direction of a fluid, and the fluid is calculated from a cross-correlation calculation value of the detection signal of each sensor. In the correlation type flow meter for measuring the flow rate, a storage means for sequentially storing the data of the calculated cross-correlation calculation values in time series, and setting based on the time-series correlation calculation values stored in the storage means Comparing means for comparing the calculated reference value with the newly calculated correlation operation value, and invalidation processing means for invalidating the correlation operation value determined to be out of the reference value by the comparison means. Correlation type flow meter.
JP1188340A 1989-07-20 1989-07-20 Correlation type flow meter Expired - Fee Related JP2644044B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1188340A JP2644044B2 (en) 1989-07-20 1989-07-20 Correlation type flow meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1188340A JP2644044B2 (en) 1989-07-20 1989-07-20 Correlation type flow meter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0353130A JPH0353130A (en) 1991-03-07
JP2644044B2 true JP2644044B2 (en) 1997-08-25

Family

ID=16221905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1188340A Expired - Fee Related JP2644044B2 (en) 1989-07-20 1989-07-20 Correlation type flow meter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2644044B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0353130A (en) 1991-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0598720B1 (en) Nonintrusive flow sensing system
US5360268A (en) Ultrasonic temperature measuring apparatus
TWI354102B (en) Method and arrangement for determining rotational
JPWO2021152918A5 (en)
EP1231456B1 (en) Arrangement for and method of acoustic determination of fluid temperature
JP2009085769A (en) Apparatus for measuring fluid in pipe and clogging diagnosis system for pressure guiding pipe
JP2644044B2 (en) Correlation type flow meter
JP3157902B2 (en) Ultrasonic wind direction temperature measurement device
JP3469405B2 (en) Temperature measurement device
JP6405520B2 (en) Ultrasonic flow meter
JP7460351B2 (en) Fault detection device
CN223611711U (en) Obstacle detection device and system
JPS63256881A (en) Transmitter and receiver of acoustic position measuring instrument
JPH073348B2 (en) Method and apparatus for processing measured values of ultrasonic flowmeter
JP5328428B2 (en) Ultrasonic flow meter
JPH0682059B2 (en) Correlation type flow meter
JP2644043B2 (en) Correlation type flow meter
JPH022528B2 (en)
JP3672997B2 (en) Correlation flowmeter and vortex flowmeter
JPS6262218A (en) Ultrasonic flowmeter
JPH0336889Y2 (en)
JPS63234180A (en) Ultrasonic distance measuring instrument
JP2914784B2 (en) Sensor abnormality detection method and device
JP2014173897A (en) Object detector
JPH0682058B2 (en) Correlation type flow meter

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees