JP2746062B2 - How to attach film to lead frame - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は絶縁性または導電性の接
着剤付フィルム,或いは接着剤のみで構成したフィルム
(以下、フィルムという)をリードフレームに貼付ける
リードフレームへのフィルム貼付け方法に関し、特に、
接着剤付フィルムの特性が異なっても、良好なフィルム
貼付け状態を安定して提供できるようにしたリードフレ
ームへのフィルム貼付け方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for attaching a film to a lead frame by attaching an insulating or conductive film with an adhesive or a film composed of only an adhesive (hereinafter referred to as a film) to a lead frame. Especially,
The present invention relates to a method for attaching a film to a lead frame, which can stably provide a good attached state of a film even if the properties of the film with an adhesive differ.
【0002】[0002]
【従来の技術】高密度実装を可能にしたCOL(Chip o
n Lead)やLOC(Lead on Chip)構造のリードフレー
ムには、予め半導体チップ搭載用に高耐熱ポリイミド系
フィルムの片面又は両面に接着剤(熱可塑性及び熱硬化
性接着剤等)が塗布された接着剤付フィルムを貼り付
け、プレハブリードフレームとして実用化されているも
のがある。2. Description of the Related Art A COL (Chip O
Adhesives (thermoplastic and thermosetting adhesives, etc.) are previously applied to one or both sides of a high heat-resistant polyimide film for mounting semiconductor chips on lead frames with n Lead) or LOC (Lead on Chip) structures. There is a film that has been put into practical use as a prefabricated lead frame by attaching a film with an adhesive.
【0003】このようなリードフレームにおいて、フィ
ルムを貼付ける場合には、例えば、図5に示すようなフ
ィルム貼付け装置が使用されている。[0003] When a film is to be attached to such a lead frame, for example, a film attaching device as shown in FIG. 5 is used.
【0004】このフィルム貼付け装置は、ダイ5と共働
してフィルム2を所定の形状に打抜き剪断する昇降自在
のパンチ3と、下降したパンチ3と共働してフィルム2
とリードフレーム1をパンチ3の圧下力で挟み込むと共
に、リードフレーム1を所定の温度まで加熱するヒータ
ブロック6と、打ち抜いた後のフィルム2をパンチ1か
ら剥離するストリッパ4を備え、ダイ5上に位置するフ
ィルム2をパンチ3で所定の形状に打抜き剪断した後、
図6に示すように、打ち抜いたフィルム2をそのまま下
降させ、その下のリードフレーム1と共にヒートブロッ
ク6に押し付けて挟み込むことにより、リードフレーム
1の所定の位置に熱圧着により貼着している。この熱圧
着方法において、フィルム2をリードフレーム1に押し
付けるとき、ヒータブロック6を下側から一定圧力で押
し付ける定圧貼付け法を採用している。[0004] This film sticking apparatus cooperates with a die 5 to punch and shear the film 2 into a predetermined shape.
And a heater block 6 for heating the lead frame 1 to a predetermined temperature, and a stripper 4 for peeling the punched film 2 from the punch 1. After punching and shearing the located film 2 into a predetermined shape with a punch 3,
As shown in FIG. 6, the punched film 2 is lowered as it is, and is pressed against the heat block 6 together with the lead frame 1 thereunder, whereby the film 2 is adhered to a predetermined position of the lead frame 1 by thermocompression bonding. In this thermocompression bonding method, when the film 2 is pressed against the lead frame 1, a constant pressure bonding method in which the heater block 6 is pressed at a constant pressure from below is employed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のリード
フレームへのフィルム貼付け方法によると、使用するフ
ィルムの接着剤の製造条件等によって接着剤の高温時粘
度は一定でないため、フィルムの貼付け状態にバラツキ
が生じるという問題がある。この問題を防ぐためには、
フィルムの製造ロットによって圧力条件をその都度設定
しなければならなかった。例えば、熱可塑性接着剤の場
合、その分子量,及びガラス転移温度が高温時粘度に及
ぼす影響が大きい。パッケージに使用するフィルムの要
求特性上、高温時粘度(ガラス転移温度)をできるだけ
高くする必要があるため、フィルム製造時の現状として
はこの分子量を制御することは極めて困難と考えられ
る。However, according to the conventional method of attaching a film to a lead frame, the viscosity of the adhesive at a high temperature is not constant due to the manufacturing conditions of the adhesive of the film to be used. There is a problem that variation occurs. To prevent this problem,
Pressure conditions had to be set for each production lot of film. For example, in the case of a thermoplastic adhesive, its molecular weight and glass transition temperature have a large effect on the viscosity at high temperature. Due to the required characteristics of the film used for the package, it is necessary to increase the viscosity at high temperature (glass transition temperature) as much as possible. Therefore, it is considered that it is extremely difficult to control the molecular weight at the time of producing a film.
【0006】従って、以下のように問題点を整理するこ
とができる。 (1) 使用するフィルムの接着剤の製造条件,或いはワニ
スの固有物性によって高温時粘度が大幅に異なるため、
接着状態にバラツキが生じ、製品の品質管理が困難にな
る。また、安定した接着状態にするためにはフィルムの
製造ロットによって圧力条件をその都度設定しなければ
ならない。 (2) 接着層のみで構成されたフィルムでは貼付け部のフ
ィルム残存厚さにばらつきが生じ、電気特性(絶縁性)
を損なう恐れがある。 (3) フィルム接着部の厚さにバラツキがあると、パッケ
ージとして組み立てた場合、パッケージ内でのチップの
垂直方向位置がばらつくことになるため、TSOP等の
薄型パッケージでは、チップ上下のレジンの厚さに裕度
がなくなり、チップ露出の原因となる。Accordingly, the problems can be arranged as follows. (1) Since the viscosity at high temperature differs greatly depending on the manufacturing conditions of the adhesive used for the film or the inherent physical properties of the varnish,
Variations occur in the state of adhesion, making quality control of the product difficult. Further, in order to obtain a stable bonding state, the pressure condition must be set each time depending on the film production lot. (2) In the film composed only of the adhesive layer, the residual thickness of the film at the affixed part varies, and the electrical characteristics (insulation)
May be damaged. (3) If the thickness of the film bonding part varies, the vertical position of the chip in the package will vary if assembled as a package. In this case, the tolerance is lost, which causes chip exposure.
【0007】従って、本発明の目的はフィルムの特性が
異なっても、煩雑な作業を行うことなく健全な接着状態
が得られ、製品の品質管理を容易にすることができるリ
ードフレームへのフィルム貼付け方法を提供することで
ある。[0007] Accordingly, an object of the present invention is to attach a film to a lead frame which can provide a sound adhesion state without complicated work and facilitate product quality control even if the film characteristics are different. Is to provide a way.
【0008】本発明の他の目的は接着層のみで構成され
たフィルムの残存厚さを一定にすることができるリード
フレームへのフィルム貼付け方法を提供することであ
る。Another object of the present invention is to provide a method of attaching a film to a lead frame, which can keep the remaining thickness of a film composed of only an adhesive layer constant.
【0009】本発明の更に他の目的はフィルム接着部の
厚さにバラツキをなくして、パッケージ内でのチップの
垂直方向位置を安定させることができるリードフレーム
へのフィルム貼付け方法を提供することである。Still another object of the present invention is to provide a method for attaching a film to a lead frame, which can stabilize the vertical position of a chip in a package by eliminating variations in the thickness of a film bonding portion. is there.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、フィルムの特性が異なっても、煩雑な作業を行うこ
となく健全な接着状態が得られ、製品の品質管理を容易
にすることができ、且つ、接着層のみで構成されたフィ
ルムの残存厚さを一定にでき、更に、フィルム接着部の
厚さにバラツキをなくして、パッケージ内でのチップの
垂直方向位置を安定させるため、パンチの上下方向の変
位量を制御することにより、接着剤付フィルムを常に一
定の肉厚だけ減じさせて圧し潰すようにし、これにより
接着剤付フィルムをリードフレームに接着するようにし
たリードフレームへのフィルム貼付け方法を提供するも
のである。すなわち、従来の圧力制御に代えて変位量制
御に基づくリードフレームへのフィルム貼付け方法を提
供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a sound bonding state without complicated work and facilitates quality control of products, even if the film characteristics are different. In order to stabilize the vertical position of the chip in the package, the remaining thickness of the film composed of only the adhesive layer can be made constant, and furthermore, the thickness of the film bonding portion can be made uniform and the vertical position of the chip in the package can be stabilized. by controlling the amount of vertical displacement of the punches, always with an adhesive film-
Reduce it by a certain thickness and crush it.
There is provided a film sticking method to the lead frame so as to bond the attached adhesive film to the lead frame. That is, the present invention provides a method for attaching a film to a lead frame based on displacement control instead of conventional pressure control.
【0011】上記所定の肉厚は、3〜5μm程度が最も
好ましい。これは、3μmより少ないと部分的な未接着
部が生じ、5μmより多いと接着層に押しすぎ剥がれ、
つまり、貼付け圧力を解除したとき、リードの中央部に
比べて面圧の高かったリードの周囲部の接着層において
急激に軟化した接着剤が流動し、流動中に硬化してこの
部分に真空の空隙ができるからである。特に、押しすぎ
剥がれは、パッケージを樹脂封止した後も残存する場合
があり、水分を吸収するとパッケージクラックの原因と
なるため製造時に防止しなければならない。また、リー
ドフレームに接着するとき、ヒータでリードフレームを
下側から一定圧力で押し付けるようにする、すなわち、
定圧貼付け法を併用すると、更に安定した接着状態を確
保することができる。The predetermined thickness is most preferably about 3 to 5 μm. This is because if it is less than 3 μm, a partial non-adhered portion occurs, and if it is more than 5 μm, it is excessively pushed by the adhesive layer and peeled off.
In other words, when the bonding pressure is released, the rapidly softened adhesive flows in the adhesive layer around the lead where the surface pressure is higher than the central part of the lead, hardens during the flow, and a vacuum is applied to this part. This is because voids are formed. In particular, peeling due to excessive pushing may remain even after the package is sealed with a resin, and absorption of moisture causes a package crack, so that it must be prevented during manufacturing. When bonding the lead frame to the lead frame, the heater presses the lead frame at a constant pressure from below, that is,
When the constant pressure bonding method is used together, a more stable bonding state can be secured.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明のリードフレームへのフィルム
貼付け方法について添付図面を参照しながら詳細に説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method for attaching a film to a lead frame according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
【0013】図1には、本発明に適用されるリードフレ
ームへのフィルム貼付け装置が示されている。この図に
おいて、図5と同一の部分には同一の引用数字を付した
ので重複する説明は省略する。FIG. 1 shows an apparatus for attaching a film to a lead frame applied to the present invention. In this figure, the same parts as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and a duplicate description will be omitted.
【0014】このリードフレームへのフィルム貼付け装
置は、パンチ3を昇降させるエアシリンダー10と、ヒ
ータブロック6を昇降させるエアシリンダー11と、バ
ルブ8,9を介してエアシリンダー10,11と接続さ
れた空圧源7と、リードフレーム1に接触してからのパ
ンチ3の下降変位量を検出する変位センサ13と、バル
ブ8,9を通じてエアシリンダー10,11を制御する
制御部12を備えている。The apparatus for attaching a film to a lead frame is connected to an air cylinder 10 for raising and lowering the punch 3, an air cylinder 11 for raising and lowering the heater block 6, and air cylinders 10 and 11 via valves 8 and 9. The apparatus includes a pneumatic pressure source 7, a displacement sensor 13 for detecting the amount of downward displacement of the punch 3 after coming into contact with the lead frame 1, and a control unit 12 for controlling the air cylinders 10 and 11 through valves 8 and 9.
【0015】変位センサ13は、前述したように、リー
ドフレーム1に接触してからのパンチ3の下降変位量、
つまり、フィルム2の圧し潰し量(肉厚)を検出するよ
うになっている。As described above, the displacement sensor 13 detects the amount of downward displacement of the punch 3 from the contact with the lead frame 1,
That is, the crushing amount (thickness) of the film 2 is detected.
【0016】制御部12は、バルブ8,9を通じてエア
シリンダー10,11を制御するようになっており、バ
ルブ8の制御によってパンチ3を昇降させ、バルブ9の
制御によってヒータブロック6による下側からの押し付
け力、すなわち、貼付け圧力を一定に制御すると共に、
変位センサ13で検出されたフィルム2の圧し潰し量が
予め設定した値(3〜5μm)に達したとき、バルブ8
を通じてエアシリンダー10を制御してパンチ3の下降
を停止するようになっている。The control unit 12 controls the air cylinders 10 and 11 through the valves 8 and 9. The control of the valve 8 raises and lowers the punch 3, and the control of the valve 9 controls the heater block 6 from below. Pressing force, that is, while controlling the sticking pressure constant,
When the crushing amount of the film 2 detected by the displacement sensor 13 reaches a preset value (3 to 5 μm), the valve 8
To stop the lowering of the punch 3 by controlling the air cylinder 10.
【0017】以下、本発明のリードフレームへのフィル
ム貼付け方法を図2のフローチャートを参照しつつ説明
する。Hereinafter, a method for attaching a film to a lead frame according to the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG.
【0018】まず、パンチ3の下降に先立ち、エアーシ
リンダー11でヒータブロック6を上昇させ、リードフ
レーム1を所定の温度まで加熱する。次に、エアシリン
ダー10を作動させてパンチ3を下降させ、パンチ3と
ダイ5の共働によりフィルム2を所定の形状に打抜き剪
断した後、ダイ5の下方のリードフレーム1まで打ち抜
いたフィルム2を押し下げ、リードフレーム1の所定の
位置に接触させる。First, prior to the lowering of the punch 3, the heater block 6 is raised by the air cylinder 11 to heat the lead frame 1 to a predetermined temperature. Next, the air cylinder 10 is operated to lower the punch 3, and the film 2 is punched and sheared into a predetermined shape by the cooperation of the punch 3 and the die 5, and then the film 2 punched to the lead frame 1 below the die 5. Is pressed down to contact a predetermined position of the lead frame 1.
【0019】そして、パンチ3を更に押し下げると、図
3,及び図4に示すように、リードフレーム1でフィル
ム2が圧し潰され、ベースフィルム2の表面に形成され
た接着層12の肉厚が圧し潰し量δだけ減少すると共
に、それに伴ってリードフレーム1の周囲に接着層12
が幅bにわたってはみ出る。フィルム2の圧し潰し量δ
は変位センサ13で検出しており、この圧し潰し量δが
予め設定した所定の肉厚(3〜5μm)に達すると、制
御部12はバルブ8を通じてエアシリンダー10を制御
してパンチ3の下降を停止させる。このようにしてパン
チ3の下降によって打ち抜いたフィルム2とリードフレ
ーム1をヒータブロック6に押し付けて挟み込むことに
より、リードフレーム1の所定の位置に熱圧着によりフ
ィルム2を貼着する。When the punch 3 is further pushed down, the film 2 is crushed by the lead frame 1 as shown in FIGS. 3 and 4, and the thickness of the adhesive layer 12 formed on the surface of the base film 2 is reduced. The amount of crushing δ is reduced and the adhesive layer 12
Protrudes over the width b. Film 2 crushing amount δ
Is detected by the displacement sensor 13, and when the crushing amount δ reaches a predetermined thickness (3 to 5 μm), the control unit 12 controls the air cylinder 10 through the valve 8 to lower the punch 3. To stop. The film 2 and the lead frame 1 punched out by the downward movement of the punch 3 are pressed into the heater block 6 and sandwiched, so that the film 2 is adhered to a predetermined position of the lead frame 1 by thermocompression.
【0020】ここで、圧し潰し量δを3〜5μm程度と
する理由は、3μmより少ない場合には部分的な未接着
部が生じ、5μmより多い場合には接着層12に押しす
ぎ剥がれ、つまり、貼付け圧力を解除したとき、リード
の中央部に比べて面圧の高かったリードの周囲部の接着
層において急激に軟化した接着剤が流動し、流動中に硬
化してこの部分に真空の空隙ができるからである。押し
すぎ剥がれはパッケージを樹脂封止した後も残存する場
合があり、水分を吸収するとパッケージクラックの要因
となるため、製造時に防止しなければならない。Here, the reason why the crushing amount δ is set to about 3 to 5 μm is that if the crushing amount is smaller than 3 μm, a partial unbonded portion occurs. When the application pressure was released, the rapidly softened adhesive flowed in the adhesive layer around the lead where the surface pressure was higher than the central part of the lead, hardened during the flow, and a vacuum gap Because it can be. Excessive peeling may remain even after the package is sealed with a resin. Absorption of moisture may cause cracking of the package and must be prevented during manufacturing.
【0021】また、リードフレーム1の周囲にはみ出た
接着層12の幅bを利用することにより、製品の貼付け
状態の管理を容易に行うことができる。The use of the width b of the adhesive layer 12 protruding from the periphery of the lead frame 1 makes it possible to easily manage the state of affixed products.
【0022】尚、本発明ではパンチの変位を検出して接
着状態を制御したが、貼付け圧力の制御と併用すれば、
更に安定した貼付け状態を確保することができ、また、
フィルム物性の異常をも検知することができる。In the present invention, the displacement of the punch is detected to control the bonding state.
Furthermore, it is possible to secure a stable attachment state,
Abnormalities in film physical properties can also be detected.
【0023】また、所定変位まで押し付ける力に垂直方
向の加振力を付加することによって高温時における接着
剤の流動性を促進することができ、貼付けの安定化を図
ることができると共に、貼付け時間を短縮することがで
きる。Further, by applying a vertical exciting force to the force for pressing to a predetermined displacement, the fluidity of the adhesive at a high temperature can be promoted, and the stabilization of the bonding can be achieved, and the bonding time can be improved. Can be shortened.
【0024】また、本発明はLOC/COL構造のリー
ドフレームへのフィルム貼付け限定するものではなく、
リード固定用テープの貼付けにも適用することができ
る。The present invention is not limited to affixing a film to a lead frame having a LOC / COL structure.
The present invention can also be applied to attaching a lead fixing tape.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリードフ
レームへのフィルム貼付け方法によると、パッケージ内
でのチップの垂直方向位置のバラツキをなくすため、パ
ンチが上下方向の変位量を制御されることにより、接着
剤付フィルムを所定の肉厚だけ減ずるように圧し潰して
リードフレームに接着するようにしたため、フィルムの
特性が異なっても、煩雑な作業を行うことなく健全な接
着状態が得られ、製品の品質管理を容易にすることがで
き、且つ、接着層のみで構成されたフィルムの残存厚さ
を一定にでき、更に、フィルム接着部の厚さにバラツキ
をなくしてチップの垂直方向位置を安定化させることが
できる。As described above, according to the method for affixing a film to a lead frame according to the present invention, the amount of vertical displacement of the punch is controlled in order to eliminate variations in the vertical position of the chip in the package. In this way, the adhesive-attached film is crushed so as to reduce by a predetermined thickness and adhered to the lead frame, so that even if the film characteristics are different, a sound adhesive state can be obtained without performing complicated work. In addition, the quality control of the product can be facilitated, the remaining thickness of the film composed only of the adhesive layer can be kept constant, and the thickness of the film bonding portion can be made uniform, and the vertical position of the chip can be reduced. Can be stabilized.
【図1】本発明に適用されるフィルム貼付け装置を示す
断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a film sticking apparatus applied to the present invention.
【図2】本発明の一実施例を示すフローチャート。FIG. 2 is a flowchart showing one embodiment of the present invention.
【図3】一実施例に係るフィルムの接着状態を示す断面
図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a bonded state of a film according to one embodiment.
【図4】一実施例に係るフィルムの接着状態を示す上面
図。FIG. 4 is a top view showing a bonded state of a film according to one embodiment.
【図5】従来のフィルム貼付け装置を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional film sticking apparatus.
【図6】従来のフィルム貼付け装置を示す断面図。FIG. 6 is a sectional view showing a conventional film sticking apparatus.
1 リードフレーム 2 フ
ィルム 3 パンチ 4 ス
トリッパ 5 ダイ 6 ヒ
ータブロック 7 空圧源 8,9
バルブ 10,11 エアシリンダー 12 制
御部 13 変位センサDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame 2 Film 3 Punch 4 Stripper 5 Die 6 Heater block 7 Pneumatic source 8, 9
Valve 10, 11 Air cylinder 12 Control unit 13 Displacement sensor
Claims (3)
電性の接着剤付フィルムを所定の形状に打ち抜いて、前
記ダイの下方に位置するヒータ上のリードフレームの所
定の位置に接着するリードフレームへのフィルム貼付け
方法において、 前記パンチの上下方向の変位量を制御することにより、
前記接着剤付フィルムを常に一定の肉厚だけ減じさせて
圧し潰すようにし、これにより前記接着剤付フィルムを
前記リードフレームに接着することを特徴とするリード
フレームへのフィルム貼付け方法。1. A lead for punching an insulating or conductive film with an adhesive positioned on a die into a predetermined shape with a punch, and bonding the film to a predetermined position of a lead frame on a heater positioned below the die. In the method of attaching a film to a frame, by controlling the amount of vertical displacement of the punch,
Always reduce the film with adhesive by a certain thickness
A method for attaching a film to a lead frame, wherein the film with the adhesive is adhered to the lead frame by crushing .
請求項1のリードフレームへのフィルム貼付け方法。2. The method according to claim 1, wherein said predetermined thickness is about 3 to 5 μm.
ムに接着するとき、前記ヒータで前記リードフレームを
下側から一定圧力で押し付ける請求項1のリードフレー
ムへのフィルム貼付け方法。3. The method for attaching a film to a lead frame according to claim 1, wherein when the film with adhesive is adhered to the lead frame, the heater presses the lead frame from below under a constant pressure.
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| JPH0714977A (en) | 1995-01-17 |
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