JP2801749B2 - Probe mechanism - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、所定の位置に保持した電子部品のリード線
に接続するため、電子部品から突出したリード線を臨み
配設されるプローブ機構に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe mechanism that is provided with a lead wire protruding from an electronic component facing the electronic component for connection to a lead wire of the electronic component held at a predetermined position. .
「従来の技術」 従来の位置決め機構としては、例えば第7図および第
8図に示すようなものがある。[Prior Art] Conventional positioning mechanisms include, for example, those shown in FIGS. 7 and 8.
図に示すものは小物ワークである電子部品Wの位置を
決めて検査をするためのものであり、ハ字形に開くアー
ム1a,1bから成るチャック1の基部に歯車2a,2bが固設さ
れ、エアシリンダ4で歯車2aを回転させてアーム1a,1b
を開閉させ、電子部品Wをアーム1a,1bの先端部に挾持
するものである。The one shown in the figure is for determining the position of the electronic component W which is a small work and inspecting it. Gears 2a and 2b are fixed to the base of the chuck 1 composed of arms 1a and 1b which open in a C shape, Rotate the gear 2a with the air cylinder 4 to arm 1a, 1b
Are opened and closed, and the electronic component W is clamped between the distal ends of the arms 1a and 1b.
そして、アーム1a,1bの下で電子部品Wの本体にアー
ス取り用の接触端子5を接触させ、また、圧縮コイルば
ね7で付勢されピン状のプローブ6a,6bをエアシリンダ
8により電子部品Wのリード線W1,W2に押し当てて検査
用の電流を流すようになっている。Then, the contact terminals 5 for grounding are brought into contact with the main body of the electronic component W under the arms 1a and 1b, and the pin-shaped probes 6a and 6b urged by the compression coil spring 7 are moved by the air cylinder 8 to the electronic components. The current for inspection is caused to flow by pressing against the W lead wires W1 and W2.
「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、このような従来の技術では、電子部品
Wのリード線W1,W2にピン状のプローブ6a,6bを正面から
押し当てているので、リード線W1,W2が曲がっていたよ
うな場合は接触不良を起しやすく、電子部品Wを供給す
るときリード線W1,W2の曲がりを管理する必要があるの
で能率が悪く、また、図示のごとき小さな圧縮コイルば
ね7でプローブ6a,6bを付勢しているので付勢力の管理
がしにくく、強すぎるとリード線W1,W2が曲がり、弱す
ぎると接触不良が起りやすいという問題点があった。However, in such a conventional technique, since the pin-shaped probes 6a and 6b are pressed against the lead wires W1 and W2 of the electronic component W from the front, the lead wires W1 and W2 When the electronic component W is supplied, it is necessary to manage the bending of the lead wires W1 and W2, which is inefficient, and the small compression coil spring 7 shown in FIG. Therefore, it is difficult to control the urging force because the probes 6a and 6b are urged. If the force is too strong, the lead wires W1 and W2 are bent. If the force is too weak, poor contact is likely to occur.
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、リード線へのプローブの接触が安定して確実
にできるプローブ機構を提供することを目的としてい
る。The present invention has been made in view of such conventional problems, and has as its object to provide a probe mechanism capable of stably and surely contacting a probe with a lead wire.
「課題を解決するための手段」 かかる目的を達成するための本発明の要旨とするとこ
ろは、 1 所定の位置に保持した電子部品のリード線に接続す
るため、電子部品から突出したリード線を臨み配設され
るプローブ機構において、 細長い板ばねより成り、先端にリード線に直交する直
線状の接触端が折曲形成されたプローブプレートおよ
び、該プローブプレートの弾性変形が上部から下部にわ
たってなだらかなものとなるよう該プローブプレートの
下部の背面に高さを低くして重なる付勢プレートおよ
び、該付勢プレートの背面に高さを低くして重なる補助
プレートを有するプローブユニットと、 前記プローブユニットの接触端をリード線に横から近
接させて弾撥的に当接させる接触駆動手段と、を設けて
成ることを特徴とするプローブ機構。"Means for Solving the Problems" The gist of the present invention for achieving the object is as follows: (1) In order to connect to a lead wire of an electronic component held at a predetermined position, a lead wire protruding from the electronic component is connected. In the probe mechanism to be provided, a probe plate which is formed of an elongated plate spring and has a bent linear contact end perpendicular to the lead wire at the tip thereof, and the elastic deformation of the probe plate is gentle from the upper part to the lower part. A biasing plate having a lower height and overlapping the lower back surface of the probe plate so as to have an auxiliary plate having a lower height and overlapping the back surface of the biasing plate; A contact drive means for causing the contact end to approach the lead wire from the side and resiliently contact the lead wire. .
2 プローブプレートに重畳して、先端にリード線への
接触端が折曲形成されたサブプローブプレートを設けた
ことを特徴とする項1記載のプローブ機構、に存する。(2) The probe mechanism according to item (1), further comprising a sub-probe plate having a contact end to a lead wire and a bent end formed at a tip thereof so as to overlap with the probe plate.
「作用」 電子部品を検査するような場合、電子部品を所定の位
置に保持するまでプローブユニットはリード線から離れ
た位置に保持しておく。電子部品の位置決めがなされた
プローブユニットを動作させて、電子部品から突出した
リード線に接触端を接触させる。[Operation] When an electronic component is inspected, the probe unit is held at a position away from the lead wire until the electronic component is held at a predetermined position. The probe unit on which the electronic component is positioned is operated to bring the contact end into contact with a lead wire protruding from the electronic component.
プローブ機構の接触駆動手段を動作させると、プロー
ブユニットは電子部品のリード線に横から近接し、プロ
ーブプレートの接触端がリード線に弾接する。接触端は
リード線に直交する直線状をしているので巾があり、リ
ード線が多少曲がっていても支障なく当接する。When the contact drive means of the probe mechanism is operated, the probe unit comes close to the lead wire of the electronic component from the side, and the contact end of the probe plate elastically contacts the lead wire. The contact end has a width because it has a linear shape perpendicular to the lead wire, and can be contacted without any trouble even if the lead wire is slightly bent.
プローブプレートの接触端が丁度リード線に当接した
位置から少しプローブを進めると、細長い板ばねである
プローブプレートの先端が弾撥的に変位し、背面に重な
った付勢プレートがプローブプレートの下部を弾撥的に
押して補助する。When the probe is advanced slightly from the position where the contact end of the probe plate just touches the lead wire, the tip of the probe plate, which is a long and thin plate spring, is resiliently displaced, and the biasing plate that overlaps the back is located at the bottom of the probe plate. Press resiliently to assist.
付勢プレートとプローブプレートとの付勢力により接
触端が程よい強さでリード線に横から弾接する。プロー
ブプレートの弾性変形は上部から下部にわたってなだら
かなものとなり、繰り返し荷重に対する疲労の少ないも
のとなっている。さらに、補助プレートが付勢プレート
の背面に高さを低くして重なることによりプローブプレ
ートのなだらかな変形が補助されている。Due to the urging force between the urging plate and the probe plate, the contact end elastically contacts the lead wire from the side with a moderate strength. The elastic deformation of the probe plate is gentle from the upper part to the lower part, so that the fatigue against repeated load is small. Further, the auxiliary plate has a lower height and overlaps with the back surface of the urging plate to assist the gentle deformation of the probe plate.
サブプローブプレートを設けた場合、プローブプレー
トとともにサブプローブプレートもリード線に近接して
その接触端が重ねてリード線に当接し、プローブとリー
ド線との確実な電気的接触がなされる。When the sub-probe plate is provided, the sub-probe plate as well as the probe plate is in close proximity to the lead wire and its contact end overlaps and comes into contact with the lead wire, so that reliable electrical contact between the probe and the lead wire is made.
「実施例」 以下、図面に基づき本発明の一実施例を説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図〜第6図は本発明の一実施例を示している。 1 to 6 show an embodiment of the present invention.
第5図および第6図はプローブ機構を備えた検査装置
10の概要を示しており、レーザー発光素子である電子部
品Wを所定の位置に保持して検査するためのものであ
る。5 and 6 show an inspection apparatus having a probe mechanism.
10 shows an outline, for inspecting an electronic component W which is a laser light emitting element while holding the electronic component W at a predetermined position.
検査装置10は、ベース11に枢軸12を介してテーブル20
が図示省略した送り機構により所定角度ピッチで回転さ
せて保持可能に枢支され、テーブル20の周縁を臨み各種
工程に応じて電子部品Wを保持する位置決め機構30,30
…が配設され、さらに位置決め機構30に対応してプロー
ブ機構40がベース11上に配設されている。The inspection device 10 is connected to a table 20 via a pivot 12 on a base 11.
Are pivotally supported by a feed mechanism (not shown) so as to be rotatable and held at a predetermined angle pitch, face the periphery of the table 20, and hold the electronic components W in accordance with various processes.
Are arranged, and a probe mechanism 40 is arranged on the base 11 corresponding to the positioning mechanism 30.
以下、第3図および第4図により位置決め機構30を詳
細に説明する。Hereinafter, the positioning mechanism 30 will be described in detail with reference to FIGS.
電子部品Wは、底からリード線W1,W2が延設され、頭
部W3の基部に鍔W4を有し、鍔W4には切欠W5が設けられて
成る。The electronic component W has lead wires W1 and W2 extending from the bottom, a flange W4 at the base of the head W3, and a notch W5 provided in the flange W4.
テーブル20の表面から底に貫通して小物ワークである
電子部品Wが嵌り込む保持孔21,21…が穿設されてい
る。The holding holes 21, 21... Are formed to penetrate from the surface of the table 20 to the bottom and into which the electronic components W, which are small works, fit.
保持孔21は、電子部品Wの鍔W4は通さない程度の内径
で、保持孔21の外周に座面板22が固設され、座面板22に
は鍔W4が嵌り込む陥入座22aが形成され、電子部品Wの
切欠W5に嵌合する位置決めピン23が陥入座22aに突出す
るよう座面板22にねじ23aにより固定されている。The holding hole 21 has an inner diameter that does not allow the flange W4 of the electronic component W to pass therethrough, a seat plate 22 is fixedly provided on the outer periphery of the holding hole 21, and an indentation seat 22a in which the flange W4 is fitted is formed in the seat plate 22. The positioning pin 23 that fits into the notch W5 of the electronic component W is fixed to the seat plate 22 by a screw 23a so as to protrude from the recess 22a.
テーブル22の厚さ乃至保持孔21の深さは、切欠W5が陥
入座22aに着座して電子部品Wが保持孔21に嵌り込んだ
ときリード線W1,W2が保持孔21の下方に突出する程度に
設定されている。The thickness of the table 22 or the depth of the holding hole 21 is such that when the notch W5 is seated on the indentation seat 22a and the electronic component W is fitted into the holding hole 21, the lead wires W1 and W2 project below the holding hole 21. Set to about.
位置決め機構30は、ベース11に立設した支柱枢軸12の
上端に保持されたエアシリンダである位置決め駆動手段
31と、位置決め駆動手段31により駆動される押え部材35
とにより構成されている。The positioning mechanism 30 is a positioning drive unit that is an air cylinder held on the upper end of the column pivot 12 erected on the base 11.
31 and a pressing member 35 driven by the positioning driving means 31
It is composed of
位置決め駆動手段31は押え部材35を第4図実線に示す
押え位置と想像線に示す開放位置とに変位させるもの
で、シリンダ32が枢軸12に固定して支持され、テーブル
20面に対し略45度程度の斜めの方向に直線的に変位する
ピストンロッド33を有している。The positioning drive means 31 is for displacing the holding member 35 between a holding position shown by a solid line in FIG. 4 and an opening position shown by an imaginary line.
It has a piston rod 33 that is displaced linearly in an oblique direction of about 45 degrees with respect to the 20 surfaces.
押え部材35はばね線材で形成され、ピストンロッド33
の先端に設けられた割溝33aに基部36を挿通し、締めね
じ34で割溝33aを狭めることによりピストンロッド33の
先端に固着されている。The holding member 35 is formed of a spring wire, and the piston rod 33
The base 36 is inserted into a split groove 33a provided at the end of the piston rod 33, and the split groove 33a is narrowed by a tightening screw 34, thereby being fixed to the end of the piston rod 33.
押え部材35の先端部は屈曲してテーブル20面に平行な
押え部37が形成されている。押え部37は、ピストンロッ
ド33が引っ込んだとき、電子部品Wの頭部W3と鍔W4との
コーナーに斜め上から当接して弾撥的に変位可能なよう
配設されている。The tip of the holding member 35 is bent to form a holding portion 37 parallel to the surface of the table 20. When the piston rod 33 is retracted, the pressing portion 37 is disposed so as to abut on the corner between the head W3 and the flange W4 of the electronic component W obliquely from above and resiliently displace.
押え部材35は電子部品Wのケーシングに弾接して電気
的に導通するアース取り用の接触端子を兼ねている。The holding member 35 also serves as a grounding contact terminal that is in elastic contact with the casing of the electronic component W and is electrically conductive.
プローブ機構40は位置決め機構30に対応し、保持孔21
の下に突出したリード線W1,W2を臨んで配設されてい
る。The probe mechanism 40 corresponds to the positioning mechanism 30, and the holding hole 21
It is arranged facing the lead wires W1 and W2 protruding below.
第1図および第2図に示すように、プローブ機構40
は、ベース11に固設された支持ブラケット40aに固定さ
れたエアシリンダである接触駆動手段41にプローブユニ
ット45,45を支持して成る。As shown in FIG. 1 and FIG.
The probe units 45, 45 are supported by contact driving means 41, which is an air cylinder fixed to a support bracket 40a fixed to the base 11.
接触駆動手段41は対象的に平行移動するハンド42,42
を有しており、ハンド42,42にそれぞれ、プローブ支持
ブラケット43がねじ43a,43aで固定され、プローブユニ
ット45の基部を保持する押えプレート44が設けられてい
る。The contact driving means 41 includes hands 42, 42 which are symmetrically moved in parallel.
A probe support bracket 43 is fixed to the hands 42, 42 with screws 43a, 43a, respectively, and a holding plate 44 for holding a base of the probe unit 45 is provided.
プローブユニット45は、先端にリード線W1,W2に直交
する直線状の端縁を有する接触端46aが折曲形成された
細長い板ばねより成るプローブプレート46と、プローブ
プレート46に重畳して、先端にリード線W1,W2への接触
端47aが折曲形成されたサププローブプレート47と、プ
ローブプレート46の下部の背面に重なる付勢プレート48
と、付勢プレート48の背後を支える補助プレート49とよ
り成る。The probe unit 45 includes a probe plate 46 formed of an elongated leaf spring having a bent contact end 46a having a linear edge perpendicular to the lead wires W1 and W2 at the tip, and a probe plate 46 overlapping the probe plate 46. A probe plate 47 having a bent contact end 47a with the lead wires W1 and W2, and a biasing plate 48 overlapping the rear surface of the lower portion of the probe plate 46.
And an auxiliary plate 49 that supports the back of the urging plate 48.
サブプローブプレート47,付勢プレート48,補助プレー
ト49はいずれも板ばねより成り、それらの基部とプロー
ブプレート46の基部とを重ねて押えプレート44で押え、
ねじ44a,44aによりプローブ支持ブラケット43に固定さ
れている。接触駆動手段41は、ハンド42,42がプローブ
ユニット45のプローブプレート46,47接触端46a,47aをリ
ード線W1,W2に横から近接させて弾撥的に当接させるよ
う配設されている。The sub-probe plate 47, the urging plate 48, and the auxiliary plate 49 are all made of leaf springs, and their bases and the base of the probe plate 46 are overlapped and held by the holding plate 44,
The probe 44 is fixed to the probe support bracket 43 by screws 44a. The contact driving means 41 is arranged such that the hands 42, 42 resiliently contact the probe plates 46, 47 contact ends 46a, 47a of the probe unit 45 with the lead wires W1, W2 in close proximity to the sides. .
次に作用を説明する。 Next, the operation will be described.
小物ワークである電子部品Wを供給するとき、位置決
め駆動手段31のピストンロッド33をシリンダ32から突き
出し、押え部材35を邪魔にならないよう開放位置に保持
しておく、電子部品Wは図示省略した供給機構によりテ
ーブル20の保持孔21に所定の姿勢で嵌め込んで座面板22
に供給される。When supplying the electronic component W which is a small work, the piston rod 33 of the positioning drive means 31 protrudes from the cylinder 32, and the holding member 35 is held at an open position so as not to be obstructed. By a mechanism, the seat plate 22 is fitted into the holding hole 21 of the table 20 in a predetermined posture.
Supplied to
供給されたとき、鍔W4が陥入座22aに嵌り込んで座面
板22上に電子部品Wが載置され、切欠W5に位置決めピン
23が嵌合し、リード線W1,W2は保持孔21から下方に突出
している。この状態では電子部品Wは単に載置されてい
るだけで、大まかには位置決めされているが、厳密には
まだ位置ずれがある。When supplied, the flange W4 fits into the indentation seat 22a, the electronic component W is placed on the seat plate 22, and the notch W5 is provided with a positioning pin.
23 are fitted, and the lead wires W1 and W2 protrude downward from the holding hole 21. In this state, the electronic component W is simply placed, and is roughly positioned, but strictly still has a displacement.
次に、位置決め駆動手段31を動作させ、ピストンロッ
ド33を引っ込み方向に変位させる。押え部材35はテーブ
ル20面に対し斜めに下降するよう変位し、押え部37が頭
部W3と鍔W4とのコーナーに押し当てられ、電子部品Wに
斜め上から当接する。当接してから少し進んだ押え位置
になったとき、押え部材35は弾撥的に変位し、電子部品
Wは無理なく弾撥的に保持孔21に押し付けられ、位置が
定まって保持される。Next, the positioning drive means 31 is operated to displace the piston rod 33 in the retracting direction. The pressing member 35 is displaced obliquely downward with respect to the surface of the table 20, and the pressing portion 37 is pressed against the corner between the head W3 and the flange W4, and comes into contact with the electronic component W obliquely from above. When the pressing position is slightly advanced after the contact, the pressing member 35 is resiliently displaced, and the electronic component W is pressed against the holding hole 21 without difficulty and the position is fixed and held.
電子部品Wを移送するときは、位置決め駆動手段31に
より押え部材35を斜めに上昇させて開放位置にする。電
子部品Wは押えるものがなくなり、テーブル20を回転さ
せても干渉することがなく、また電子部品Wをつまんで
取り出すことができる。When the electronic component W is transferred, the pressing member 35 is raised obliquely by the positioning drive means 31 to the open position. There is no pressing part of the electronic component W, and there is no interference even when the table 20 is rotated, and the electronic component W can be picked up and taken out.
電子部品Wを検査する場合、テーブル20の保持孔21か
ら下方に電子部品Wのリード線W1,W2が突出して位置決
めがなされるまで対向して配設されているプローブユニ
ット45,45は第2図(a)に示すようにリード線W1,W2か
ら離れた位置に保持されている。When inspecting the electronic component W, the probe units 45, 45 which are disposed to face each other until the lead wires W1, W2 of the electronic component W protrude downward from the holding hole 21 of the table 20 and are positioned. As shown in FIG. 7A, it is held at a position away from the lead wires W1 and W2.
押え部材35で電子部品Wを押えて位置決めがなされた
ら、プローブ機構40を動作させて、突出したリード線W
1,W2にプローブユニット45,45を近接させる。When the positioning is performed by pressing the electronic component W with the pressing member 35, the probe mechanism 40 is operated, and the protruding lead wire W
1. The probe units 45, 45 are brought close to W2.
プローブ機構40の接触駆動手段41を動作させると、ハ
ンド42,42が相互に近接するように移動し、プローブユ
ニット45,45は電子部品Wのリード線W1,W2に横から近接
し、先頭にあるプローブプレート46,46の接触端46a,46a
が先ずリード線W1,W2に当接する。接触端46a,46aはリー
ド線W1,W2に直交する直線状をしているので巾があり、
リード線W1,W2が多少曲がっていても支障なく当接す
る。When the contact driving means 41 of the probe mechanism 40 is operated, the hands 42, 42 move so as to approach each other, and the probe units 45, 45 approach the lead wires W1, W2 of the electronic component W from the side, and Contact ends 46a, 46a of certain probe plates 46, 46
Contacts the lead wires W1 and W2 first. The contact ends 46a, 46a have a width because they have a linear shape orthogonal to the lead wires W1, W2,
Even if the lead wires W1 and W2 are slightly bent, they come into contact without any trouble.
プローブユニット45,45をさらに進めると、サブプロ
ーブプレート47,47の接触端47a,47aが同様にリード線W
1,W2に当接する。When the probe units 45, 45 are further advanced, the contact ends 47a, 47a of the sub-probe plates 47, 47 are similarly connected to the lead wire W.
Abuts 1, W2.
プローブプレート46,サブプローブプレート47の接触
端46a,47aが丁度リード線W1,W2に当接した位置から少し
プローブ45を進めると、細長い板ばねであるプローブプ
レート46の先端が弾撥的に変位し、背面に重なった付勢
プレート48がプローブプレート46の下部を弾撥的に押し
て補助し、付勢プレート48とプローブプレート46および
サブプローブプレート47との付勢力により接触端46a,47
aが程よい強さでリード線W1,W2に横から弾接する。When the probe 45 is slightly advanced from the position where the contact ends 46a, 47a of the probe plate 46 and the sub-probe plate 47 just contact the lead wires W1, W2, the tip of the probe plate 46, which is an elongated plate spring, is resiliently displaced. Then, the urging plate 48 overlapping the back surface resiliently pushes the lower portion of the probe plate 46 to assist, and the urging force of the urging plate 48, the probe plate 46 and the sub-probe plate 47 causes the contact ends 46a and 47 to contact each other.
a makes elastic contact with the lead wires W1 and W2 from the side with moderate strength.
第2図(b)に示すように、プローブプレート46の接
触端46aとともにサブプローブプレート47の接触端47aも
リード線W1,W2に重ねて当接し、プローブユニット45と
リード線W1,W2との確実な電子的接触がなされる。As shown in FIG. 2B, the contact end 47a of the sub-probe plate 47 overlaps the contact end 46a of the probe plate 46 and the lead wires W1 and W2 so that the probe unit 45 and the lead wires W1 and W2 Reliable electronic contact is made.
プローブプレート46およびサブプローブプレート47は
上部から下部にかけてなだらかに変形するので、繰り返
し荷重に対する疲労が少ない。また、補助プレート49が
付勢プレート48の背面に高さを低くして重なることによ
りプローブプレート46のなだらかな変形が補助されてい
る。Since the probe plate 46 and the sub-probe plate 47 are gently deformed from the upper part to the lower part, the fatigue against repeated load is small. Further, the auxiliary plate 49 overlaps the back surface of the urging plate 48 with a reduced height, thereby assisting the gentle deformation of the probe plate 46.
押え部材35は電子部品Wの外装に弾接してアース用の
接触端子として機能している。そこでプローブユニット
45に電流を流し電圧をかけて電子部品Wを検査する。The holding member 35 elastically contacts the outer surface of the electronic component W and functions as a ground contact terminal. So the probe unit
A current is applied to 45 and a voltage is applied to inspect the electronic component W.
検査が終了したら、開始のときとは逆方向に接触駆動
手段41を作動させ、第2図(a)に示すようにプローブ
ユニット45を退避させる。When the inspection is completed, the contact drive means 41 is operated in the direction opposite to the direction at the start, and the probe unit 45 is retracted as shown in FIG. 2 (a).
なお、前記実施例では、押え部材の線材部分を小物ワ
ークのコーナーに当てるようにしたが、そのようなコー
ナーがない小物ワークであった場合は、押え部材の先に
小物ワークへの係合部を設けてもよいことはいうまでも
ない。In the above-described embodiment, the wire portion of the holding member is brought into contact with the corner of the small work. However, in the case of a small work without such a corner, an engaging portion for the small work is provided at the tip of the holding member. Needless to say, it may be provided.
「発明の効果」 本発明に係るプローブ機構によれば、位置決めに対応
して直線状の接触端がリード線に接触して確実に電気的
に接続するようにし、付勢プレートによりプローブプレ
ートが上部から下部にわたりなだらかに変形するものに
したから、リード線が曲がっていたような場合でも接触
不良を起しにくく、また、プローブを適度な弾力でリー
ド線に当接させることができるので、強すぎてリード線
が曲がったり、弱すぎて接触不良が起ったりすることが
ない。接触時のプローブプレートの変形がなだらかであ
るので、プローブプレートの疲労が少なく耐久性が高
い。[Effect of the Invention] According to the probe mechanism of the present invention, the linear contact end is brought into contact with the lead wire for reliable electrical connection in accordance with the positioning, and the probe plate is moved upward by the urging plate. From the lower part to the lower part, making it difficult for poor contact to occur even if the lead wire is bent.Also, the probe can be brought into contact with the lead wire with an appropriate elasticity, so it is too strong Therefore, the lead wire does not bend, and the contact failure due to being too weak does not occur. Since the deformation of the probe plate at the time of contact is gentle, the fatigue of the probe plate is small and the durability is high.
第1図〜第6図は本発明の一実施例を示しており、第1
図はプローブ機構の分解斜視図、第2図は各種動作状態
のプローブ機構の正面図、第3図は位置決め機構の分解
斜視図、第4図は同じく斜視図、第5図はプローブ機構
を備えた検査装置の正面図、第6図は同じく平面図、第
7図および第8図は従来例を示しており、第7図は位置
決め機構およびプローブ機構の平面図、第8図は第7図
VIII矢視図である。 10……検査装置、11……ベース 20……テーブル、21……保持孔 30……位置決め機構、31……位置決め駆動手段 35……押え部材、37……押え部 40……プローブ機構、41……接触駆動手段 45……プローブユニット 46……プローブプレート 47……サブプローブプレート 46a,47a……接触端、48……付勢プレート1 to 6 show one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the probe mechanism, FIG. 2 is a front view of the probe mechanism in various operation states, FIG. 3 is an exploded perspective view of the positioning mechanism, FIG. 4 is a perspective view of the same, and FIG. 6, FIG. 6 is a plan view of the same, FIG. 7 and FIG. 8 show a conventional example, FIG. 7 is a plan view of a positioning mechanism and a probe mechanism, and FIG. 8 is FIG.
It is a VIII arrow view. 10 inspection apparatus, 11 base 20 table, 21 holding hole 30 positioning mechanism 31, positioning driving means 35 holding member 37 holding part 40 probe mechanism 41 … Contact drive means 45… Probe unit 46… Probe plate 47… Sub-probe plate 46a, 47a… Contact end, 48… Biasing plate
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 1/073 G01R 31/26Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01R 1/073 G01R 31/26
Claims (2)
に接続するため、電子部品から突出したリード線を臨み
配設されるプローブ機構において、 細長い板ばねより成り、先端にリード線に直交する直線
状の接触端が折曲形成されたプローブプレートおよび、
該プローブプレートの弾性変形が上部から下部にわたっ
てなだらかなものとなるよう該プローブプレートの下部
の背面に高さを低くして重なる付勢プレートおよび、該
付勢プレートの背面に高さを低くして重なる補助プレー
トを有するプローブユニットと、 前記プローブユニットの接触端をリード線に横から近接
させて弾撥的に当接させる接触駆動手段と、を設けて成
ることを特徴とするプローブ機構。1. A probe mechanism for connecting a lead wire of an electronic component held at a predetermined position to a lead wire protruding from the electronic component, the probe mechanism comprising an elongated leaf spring, and a tip end orthogonal to the lead wire. A probe plate having a bent linear contact end,
An urging plate that overlaps the lower surface of the lower portion of the probe plate with a lower height so that the elastic deformation of the probe plate becomes gentler from the upper portion to the lower portion, and a height is reduced on the rear surface of the urging plate. A probe mechanism, comprising: a probe unit having an overlapping auxiliary plate; and contact drive means for causing a contact end of the probe unit to approach a lead wire sideways and resiliently contact the lead wire.
ド線への接触端が折曲形成されたサブプローブプレート
を設けたことを特徴とする請求項1記載のプローブ機
構。2. A probe mechanism according to claim 1, further comprising a sub-probe plate having a bent end at a contact end with a lead wire, which is superimposed on the probe plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2196519A JP2801749B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Probe mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2196519A JP2801749B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Probe mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481669A JPH0481669A (en) | 1992-03-16 |
| JP2801749B2 true JP2801749B2 (en) | 1998-09-21 |
Family
ID=16359091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2196519A Expired - Fee Related JP2801749B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Probe mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2801749B2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5893339A (en) * | 1981-11-27 | 1983-06-03 | デイマ−ク・コ−ポレイシヨン | Interface assembly for testing integrated circuit device |
| JPH03152948A (en) * | 1989-11-09 | 1991-06-28 | Fujitsu Ltd | Multilayered plate type contact jig |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP2196519A patent/JP2801749B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH0481669A (en) | 1992-03-16 |
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