JP2821799B2 - 微粒子粉体の生成・回収方法とその装置 - Google Patents
微粒子粉体の生成・回収方法とその装置Info
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Landscapes
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- Glanulating (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子写真感光体の製造に当って用いる有機
光導電体微粒子粉体などを得る場合における微粒子粉体
の生成・回収方法と装置に係り、特にガス中蒸発法によ
り微粒子粉体を生成させこれを回収する方法とその装置
に関する。
光導電体微粒子粉体などを得る場合における微粒子粉体
の生成・回収方法と装置に係り、特にガス中蒸発法によ
り微粒子粉体を生成させこれを回収する方法とその装置
に関する。
ガス中蒸発法とは、真空容器内に導入された不活性ガ
ス雰囲気中で種々の物質を加熱・蒸発・昇華させ、得ら
れる蒸気分子が不活性ガス分子と衝突しながら徐々に冷
却され分子同士が凝集し、微粒子粉体を形成させ、その
微粒子粉体を回収する方法である。
ス雰囲気中で種々の物質を加熱・蒸発・昇華させ、得ら
れる蒸気分子が不活性ガス分子と衝突しながら徐々に冷
却され分子同士が凝集し、微粒子粉体を形成させ、その
微粒子粉体を回収する方法である。
電子写真感光体は、導電性基体上に感光層を形成した
基本構造をもっている。この感光層を形成するための光
導電物質としては、従来、セレンを用いたものが一般的
であり、その他無機光導電物質として硫化カドミウムや
酸化亜鉛等も知られている。
基本構造をもっている。この感光層を形成するための光
導電物質としては、従来、セレンを用いたものが一般的
であり、その他無機光導電物質として硫化カドミウムや
酸化亜鉛等も知られている。
しかし、近年では有機光導電物質を用いることによっ
て、成膜性の向上を図り、塗工によって生産することに
より生産性を高める試みがなされている。また、有機光
導電物質を用いると、使用する染料や顔料等の増感剤を
選択すると、感色性を自在にコントロールできる利点が
ある。有機光導電物質としては、ポリ−N−ビニルカル
バゾールや2,5−ビス(P−ジエチルアミノフェニル)
−1,3,4−オキサジアゾール等が知られている。
て、成膜性の向上を図り、塗工によって生産することに
より生産性を高める試みがなされている。また、有機光
導電物質を用いると、使用する染料や顔料等の増感剤を
選択すると、感色性を自在にコントロールできる利点が
ある。有機光導電物質としては、ポリ−N−ビニルカル
バゾールや2,5−ビス(P−ジエチルアミノフェニル)
−1,3,4−オキサジアゾール等が知られている。
他方、近年、μmまたはÅオーダーの微粒子粉体に関
しての研究が種々なされている。かかる微粒子粉体は、
その比表面積が増大することによって、高い活性度を示
すことに着目して生成させるものである。
しての研究が種々なされている。かかる微粒子粉体は、
その比表面積が増大することによって、高い活性度を示
すことに着目して生成させるものである。
この場合、中でもガス中蒸発法が注目を浴びている。
従来、この方法は専ら無機または金属材料の微粒子粉体
を得る場合について研究の指向性があったが、たとえば
「機能材料」1987年6月号、44〜49頁に記載のように、
有機物微粒子粉体を得る場合にも研究がなされている。
従来、この方法は専ら無機または金属材料の微粒子粉体
を得る場合について研究の指向性があったが、たとえば
「機能材料」1987年6月号、44〜49頁に記載のように、
有機物微粒子粉体を得る場合にも研究がなされている。
何れにしても、従来、ガス中蒸発し被付着体に付着し
た微粒子粉体の回収に際しては、第7図または第8図の
ようにしていた。
た微粒子粉体の回収に際しては、第7図または第8図の
ようにしていた。
すなわち、その第1の方法は、第7図(a)のよう
に、蒸発性材料Mを収容する容器50、被付着体としての
平板または曲板51および必要により落下粉体の回収容器
52を真空チャンバー(図示せず)内に配設し、この真空
チャンバー内に不活性ガスを送入するとともに、その内
部を真空状態に減圧している状態で、容器50およびまた
は蒸発性材Mを加熱して蒸発させ、この蒸発した材料を
前記曲板51に付着させ、その後(b)のように、曲板51
表面の付着材料層をブラシ53などにより掻き落として回
収箱54に回収するものである。
に、蒸発性材料Mを収容する容器50、被付着体としての
平板または曲板51および必要により落下粉体の回収容器
52を真空チャンバー(図示せず)内に配設し、この真空
チャンバー内に不活性ガスを送入するとともに、その内
部を真空状態に減圧している状態で、容器50およびまた
は蒸発性材Mを加熱して蒸発させ、この蒸発した材料を
前記曲板51に付着させ、その後(b)のように、曲板51
表面の付着材料層をブラシ53などにより掻き落として回
収箱54に回収するものである。
第2の方法は、第8図(a)のように、被付着体とし
てプラスチックウェブ60をリール61から繰り出しながら
リール62に巻き取る過程で、そのウェブ60の表面に、第
1の方法と同様な蒸発態様で、蒸発性材料Mを付着さ
せ、その回収に際しては、(b)のように、ウェブ60を
巻き取ったリール62からウェブ60を逆に巻き出し、その
過程で表面の付着した蒸発性材料Mをブラシなどにより
掻き取り回収箱54に回収するものである。
てプラスチックウェブ60をリール61から繰り出しながら
リール62に巻き取る過程で、そのウェブ60の表面に、第
1の方法と同様な蒸発態様で、蒸発性材料Mを付着さ
せ、その回収に際しては、(b)のように、ウェブ60を
巻き取ったリール62からウェブ60を逆に巻き出し、その
過程で表面の付着した蒸発性材料Mをブラシなどにより
掻き取り回収箱54に回収するものである。
また、従来、蒸発性材料Mの容器50と被付着体、すな
わち曲板51またはウェブ60との間には、壁類などにより
規制するものはなかった。
わち曲板51またはウェブ60との間には、壁類などにより
規制するものはなかった。
しかし、従来のように、蒸発源から蒸発した材料Mを
自由に被付着体に付着させる場合、被付着体以外の個所
に飛散することが多く、蒸発源の温度より真空チャンバ
ー壁やその内部に配設される部材は低温であるため、飛
散した材料が真空チャンバーの内壁に、あるいは他の内
部部材に熱沈着(付着)して、製品として回収できず、
もって微粒子粉体の回収率が悪いことが判明した。ま
た、真空チャンバー壁や内部部材に付着した微粒子粉体
は、次のバッチの生産を開始する前に、これを清掃、除
去する必要があり、その清掃に多大な手間を要し、生産
性の低下を招いていた。
自由に被付着体に付着させる場合、被付着体以外の個所
に飛散することが多く、蒸発源の温度より真空チャンバ
ー壁やその内部に配設される部材は低温であるため、飛
散した材料が真空チャンバーの内壁に、あるいは他の内
部部材に熱沈着(付着)して、製品として回収できず、
もって微粒子粉体の回収率が悪いことが判明した。ま
た、真空チャンバー壁や内部部材に付着した微粒子粉体
は、次のバッチの生産を開始する前に、これを清掃、除
去する必要があり、その清掃に多大な手間を要し、生産
性の低下を招いていた。
したがって、本発明の課題は、微粒子粉体の飛散およ
び熱沈着に伴う回収性の悪化を防止して、回収率を高め
るとともに、真空チャンバー内壁の清掃負担を低減する
ことにある。
び熱沈着に伴う回収性の悪化を防止して、回収率を高め
るとともに、真空チャンバー内壁の清掃負担を低減する
ことにある。
上記課題は、方法的には、ガス中蒸発法により蒸発源
から蒸発した微粒子粉体を被付着体に付着させ、その被
付着体に付着した微粒子粉体を除去して回収する方法に
おいて、 前記蒸発源から被付着体に向かって蒸発した微粒子粉
体の被付着体へ向かう方向の周りに飛散防止壁を設け、
かつ不活性ガスの導路を前記飛散防止壁内に連通させた
ことで解決できる。
から蒸発した微粒子粉体を被付着体に付着させ、その被
付着体に付着した微粒子粉体を除去して回収する方法に
おいて、 前記蒸発源から被付着体に向かって蒸発した微粒子粉
体の被付着体へ向かう方向の周りに飛散防止壁を設け、
かつ不活性ガスの導路を前記飛散防止壁内に連通させた
ことで解決できる。
この場合、前記飛散防止壁の少なくとも内面の温度は
微粒子粉体の熱沈着温度を超える温度とし、また、被付
着体の温度は、蒸発源温度および飛散防止壁温度未満で
あり、かつ微粒子粉体の熱沈着を充分生じる温度である
ことが好ましい。さらに好ましくは、可能なかぎり低温
であるのが良く、たとえば液体窒素温度まで冷却するの
が望ましい。
微粒子粉体の熱沈着温度を超える温度とし、また、被付
着体の温度は、蒸発源温度および飛散防止壁温度未満で
あり、かつ微粒子粉体の熱沈着を充分生じる温度である
ことが好ましい。さらに好ましくは、可能なかぎり低温
であるのが良く、たとえば液体窒素温度まで冷却するの
が望ましい。
さらに、装置的には、ガス中蒸発法により蒸発源から
蒸発した微粒子粉体を連続的に移動する被付着体に付着
させ、その被付着体に付着した微粒子粉体を除去して回
収する装置において、 前記蒸発源から被付着体に向かう方向の周りに飛散防
止壁が設けられ、その端縁と被付着体との離間距離が、
被付着体と蒸発性材料との距離の1/2以下であり、他方
で不活性ガスの導路が飛散防止壁内に連通されているこ
とで解決できる。
蒸発した微粒子粉体を連続的に移動する被付着体に付着
させ、その被付着体に付着した微粒子粉体を除去して回
収する装置において、 前記蒸発源から被付着体に向かう方向の周りに飛散防
止壁が設けられ、その端縁と被付着体との離間距離が、
被付着体と蒸発性材料との距離の1/2以下であり、他方
で不活性ガスの導路が飛散防止壁内に連通されているこ
とで解決できる。
本発明に従って、蒸発源から被付着体に向かって蒸発
した微粒子粉体の被付着体へ向かう方向の周りに飛散防
止壁を設けると、微粒子粉体の被付着体以外への方向へ
の飛散が防止されるので、真空チャンバーの内壁面や他
の部材への熱沈着を防止できるので、専ら蒸発した微粒
子粉体が被付着体表面のみに付着するようになり、微粒
子粉体の回収率(回収した微粒子粉体の量/仕込んだ原
料量)が高まる。たとえば、後述の実施例にも示すよう
に、従来の回収率は20〜50%程度であったのに対して、
本発明によると、約95%程度まで大幅に高まる。
した微粒子粉体の被付着体へ向かう方向の周りに飛散防
止壁を設けると、微粒子粉体の被付着体以外への方向へ
の飛散が防止されるので、真空チャンバーの内壁面や他
の部材への熱沈着を防止できるので、専ら蒸発した微粒
子粉体が被付着体表面のみに付着するようになり、微粒
子粉体の回収率(回収した微粒子粉体の量/仕込んだ原
料量)が高まる。たとえば、後述の実施例にも示すよう
に、従来の回収率は20〜50%程度であったのに対して、
本発明によると、約95%程度まで大幅に高まる。
また、本発明においては、不活性ガスの導路を飛散防
止壁内に連通させてあるので、導入した不活性ガスの被
付着体に向かう流れに微粒子粉体が乗るので、一層被付
着体への付着割合が高まる。
止壁内に連通させてあるので、導入した不活性ガスの被
付着体に向かう流れに微粒子粉体が乗るので、一層被付
着体への付着割合が高まる。
かくして、真空チャンバー内壁への微粒子粉体の付着
量がきわめて少なくなるので、バッチ毎清掃する必要が
なくなるか、もしくは清掃するにしても、きわめて容易
に清掃することができ、生産性が高まる。
量がきわめて少なくなるので、バッチ毎清掃する必要が
なくなるか、もしくは清掃するにしても、きわめて容易
に清掃することができ、生産性が高まる。
以下本発明をさらに詳説する。
第1図および第2図は本発明の第1実施例を示したも
ので、真空チャンバー1内に、蒸発性材料Mの収容容器
2、外面円筒の回転ドラム3およびこれに臨む一部が開
口した回収箱4が配設されている。真空チャンバー1に
はアルゴンやヘリウムなどの不活性ガスGの供給管5、
真空ポンプ6に連なる排気管7がそれぞれ連通してお
り、真空チャンバー1には真空度を検出するための圧力
計8が取付られている。回転ドラム3は収容容器2の上
方に位置して配置されている。また、回収箱4は熱遮蔽
材料により形成され、収容容器2および回転ドラム3へ
の蒸発性材料Mの付着部と熱的に遮断されている。
ので、真空チャンバー1内に、蒸発性材料Mの収容容器
2、外面円筒の回転ドラム3およびこれに臨む一部が開
口した回収箱4が配設されている。真空チャンバー1に
はアルゴンやヘリウムなどの不活性ガスGの供給管5、
真空ポンプ6に連なる排気管7がそれぞれ連通してお
り、真空チャンバー1には真空度を検出するための圧力
計8が取付られている。回転ドラム3は収容容器2の上
方に位置して配置されている。また、回収箱4は熱遮蔽
材料により形成され、収容容器2および回転ドラム3へ
の蒸発性材料Mの付着部と熱的に遮断されている。
他方、回収箱4内には、ブラシロール9Aの周囲に多数
のブラシ毛9Bを有する外面円筒ブラシ9が、回収箱4の
開口を介して回転ドラム3表面に接触するように、回転
ドラム3の回転軸と平行な回転軸をもって配設されてい
る。さらに、回転ドラム3は実施例では時計方向に図示
しない駆動モータにより回転されるようになっていると
ともに、ブラシ9はブラシロール9Aが図示しない駆動モ
ータにより同時計方向に回転するようになっており、こ
の場合は、回転ドラム3とブラシ9とが向流に接触す
る。ブラシ9の回転方向は逆にすることも可能である。
のブラシ毛9Bを有する外面円筒ブラシ9が、回収箱4の
開口を介して回転ドラム3表面に接触するように、回転
ドラム3の回転軸と平行な回転軸をもって配設されてい
る。さらに、回転ドラム3は実施例では時計方向に図示
しない駆動モータにより回転されるようになっていると
ともに、ブラシ9はブラシロール9Aが図示しない駆動モ
ータにより同時計方向に回転するようになっており、こ
の場合は、回転ドラム3とブラシ9とが向流に接触す
る。ブラシ9の回転方向は逆にすることも可能である。
また、ブラシ9のブラシ毛9Bの回転域において、振り
落とし板10が回収箱4に固定された状態で設けられてい
る。
落とし板10が回収箱4に固定された状態で設けられてい
る。
さらに、蒸発性材料Mの収容容器2はセラミックなど
の耐熱性材料で形成しておくのが好ましく、この収容容
器2およびまたは直接蒸発性材料Mがヒーター加熱、誘
導加熱、レーザー加熱、抵抗加熱あるいは電子銃加熱な
どによりその材料Mが充分蒸発する温度に加熱される。
また、その際、回転ドラム3は真空チャンバー1内の温
度にしておく他、好ましくは冷却、たとえば10℃以下に
冷却しておく。この冷却には、回転ドラム3内に冷却用
熱媒体たとえば冷却水を通すことで可能である。また、
液体窒素により冷却することがより好適である。
の耐熱性材料で形成しておくのが好ましく、この収容容
器2およびまたは直接蒸発性材料Mがヒーター加熱、誘
導加熱、レーザー加熱、抵抗加熱あるいは電子銃加熱な
どによりその材料Mが充分蒸発する温度に加熱される。
また、その際、回転ドラム3は真空チャンバー1内の温
度にしておく他、好ましくは冷却、たとえば10℃以下に
冷却しておく。この冷却には、回転ドラム3内に冷却用
熱媒体たとえば冷却水を通すことで可能である。また、
液体窒素により冷却することがより好適である。
一方、本発明においては、収容容器2から被付着体す
なわち回転ドラム3に延在して蒸発した微粒子粉体の回
転ドラム3へ向かう方向以外の飛散を防止するための飛
散防止壁11が設けられている。第1図の飛散防止壁11の
上端は、回転ドラム3に近接している。また、この飛散
防止壁11に、加熱ヒータ12が取り付けられ、飛散防止壁
11を加熱するようにしてある。
なわち回転ドラム3に延在して蒸発した微粒子粉体の回
転ドラム3へ向かう方向以外の飛散を防止するための飛
散防止壁11が設けられている。第1図の飛散防止壁11の
上端は、回転ドラム3に近接している。また、この飛散
防止壁11に、加熱ヒータ12が取り付けられ、飛散防止壁
11を加熱するようにしてある。
さらに、不活性ガスGの吹込み管5は飛散防止壁11で
囲まれる部分の内部に連通しており、この内部に吹き込
まれた不活性ガスGは、下方より蒸発してきた材料Mの
蒸気分子と衝突を繰り返しながら微粒子を形成するとと
もに、真空ポンプ6の吸引力により、蒸発して上昇して
いる微粒子粉体を同伴しながら、回転ドラム3近傍まで
到り、自らは飛散防止壁11の上端と回転ドラム3との隙
間から真空チャンバー1内に逃げた後、その外部に排出
される。
囲まれる部分の内部に連通しており、この内部に吹き込
まれた不活性ガスGは、下方より蒸発してきた材料Mの
蒸気分子と衝突を繰り返しながら微粒子を形成するとと
もに、真空ポンプ6の吸引力により、蒸発して上昇して
いる微粒子粉体を同伴しながら、回転ドラム3近傍まで
到り、自らは飛散防止壁11の上端と回転ドラム3との隙
間から真空チャンバー1内に逃げた後、その外部に排出
される。
このように構成された装置において、真空チャンバー
1内を真空ポンプ6により減圧して高真空にした後、飛
散防止壁11内に不活性ガスを送入し、好ましくは0.01〜
50Torrに保つ。この状態で、蒸発性材料Mに対して加熱
すると、そのガス中蒸発が生じ、蒸発した材料Mは、回
転している回転ドラム3の表面に連続的に付着する。こ
のとき、実施例のように、不活性ガスが飛散防止壁11内
に吹き込まれるので、蒸発してわずかな時点で不活性ガ
スによる冷却作用を受けるとともに、不活性ガスの上昇
に同伴することにより、回転ドラム3表面への指向性が
増す。
1内を真空ポンプ6により減圧して高真空にした後、飛
散防止壁11内に不活性ガスを送入し、好ましくは0.01〜
50Torrに保つ。この状態で、蒸発性材料Mに対して加熱
すると、そのガス中蒸発が生じ、蒸発した材料Mは、回
転している回転ドラム3の表面に連続的に付着する。こ
のとき、実施例のように、不活性ガスが飛散防止壁11内
に吹き込まれるので、蒸発してわずかな時点で不活性ガ
スによる冷却作用を受けるとともに、不活性ガスの上昇
に同伴することにより、回転ドラム3表面への指向性が
増す。
かくして、回転ドラム3表面に付着した材料Mは、接
触部において向流的に接触するブラシ9により掻き取ら
れ回収箱4内に回収される。また、ブラシ毛9Bに付着し
た材料Mについては、掻き落とし板10に毛先が接触する
ので、同様に掻き取られる。材料Mが掻き取られ裸にな
った回転ドラム3の表面には次の新たな材料が付着され
る。このようにして、回転ドラム3の表面において、材
料Mの付着および掻き取りが連続的になされる。
触部において向流的に接触するブラシ9により掻き取ら
れ回収箱4内に回収される。また、ブラシ毛9Bに付着し
た材料Mについては、掻き落とし板10に毛先が接触する
ので、同様に掻き取られる。材料Mが掻き取られ裸にな
った回転ドラム3の表面には次の新たな材料が付着され
る。このようにして、回転ドラム3の表面において、材
料Mの付着および掻き取りが連続的になされる。
したがって、回転ドラム3の表面に付着した材料は速
やかに、再び材料加熱用熱源からの輻射熱を受けること
なく掻き取られるので、従来の第1法のように、熱によ
る劣化(熱ダメージ)がなく、良質な微粒子粉体を得る
ことができる。蒸発付着から掻き取りまでの時間は、た
とえば回転ドラム3の回転速度を調節することで設定で
きる。
やかに、再び材料加熱用熱源からの輻射熱を受けること
なく掻き取られるので、従来の第1法のように、熱によ
る劣化(熱ダメージ)がなく、良質な微粒子粉体を得る
ことができる。蒸発付着から掻き取りまでの時間は、た
とえば回転ドラム3の回転速度を調節することで設定で
きる。
回収箱4に回収された微粒子粉体は、ある程度の量と
なった時点で、ガス中蒸発操作を終了して、真空チャン
バー1を開放して取り出される。
なった時点で、ガス中蒸発操作を終了して、真空チャン
バー1を開放して取り出される。
第3図は変形例を示したもので、回転ドラム3に対し
て、複数図示例では2つのブラシ9X、9Yを配設したもの
である。この場合、ブラシ9Yによる掻き取り力をブラシ
9Xの掻き取り力より大きくすることができる。
て、複数図示例では2つのブラシ9X、9Yを配設したもの
である。この場合、ブラシ9Yによる掻き取り力をブラシ
9Xの掻き取り力より大きくすることができる。
ブラシ毛9Bの材料、植設密度、高さ、太さなどは適宜
選定できる。材質としては、通常金属繊維を用いるが、
カーボン繊維なども用いることができる。回転ドラム3
の材質としては、適宜のものを用いることができるが、
通常、金属製のものを用いることができる。
選定できる。材質としては、通常金属繊維を用いるが、
カーボン繊維なども用いることができる。回転ドラム3
の材質としては、適宜のものを用いることができるが、
通常、金属製のものを用いることができる。
他方、回転ドラム3に付着した微粒子粉体を回転ドラ
ム3の表面から除去して回収する手段としては、上記例
のように、ブラシ方式によることなく、たとえば第4図
に示す掻き落としブレード91による方式や、第5図に示
す拭き落としウェブ92による方式なども採用できる。拭
き落としウェブ92による場合、ウェブ92に付着した微粒
子粉体は、巻取後にウェブ92から回収される。
ム3の表面から除去して回収する手段としては、上記例
のように、ブラシ方式によることなく、たとえば第4図
に示す掻き落としブレード91による方式や、第5図に示
す拭き落としウェブ92による方式なども採用できる。拭
き落としウェブ92による場合、ウェブ92に付着した微粒
子粉体は、巻取後にウェブ92から回収される。
また、被付着体としては、上記例のように、回転ドラ
ムのように、被付着体を連続的に回転させながら微粒子
粉体を付着させ、一方で連続的に除去するのが、微粒子
粉体の熱劣化を少なくする上で好ましいが、第7図や第
8図に示す従来例の被付着体をそのまま用いることがで
きる。
ムのように、被付着体を連続的に回転させながら微粒子
粉体を付着させ、一方で連続的に除去するのが、微粒子
粉体の熱劣化を少なくする上で好ましいが、第7図や第
8図に示す従来例の被付着体をそのまま用いることがで
きる。
本発明において、飛散防止壁11の上端は、被付着体、
実施例では回転ドラム3に必ずしも近接していることを
必須とするものでない。すなわち、第2図のように、飛
散防止壁11の上端と回転ドラム3との離間距離lが、回
転ドラム3と材料Mとの離間距離Lに対して、1/2を超
えるものであるときは、蒸発した微粒子粉体が飛散防止
壁11の存在により指向性を示し、飛散する割合がきわめ
て少なくなるからである。しかし、一般にはその離間距
離lは、20mm以下が望ましい。
実施例では回転ドラム3に必ずしも近接していることを
必須とするものでない。すなわち、第2図のように、飛
散防止壁11の上端と回転ドラム3との離間距離lが、回
転ドラム3と材料Mとの離間距離Lに対して、1/2を超
えるものであるときは、蒸発した微粒子粉体が飛散防止
壁11の存在により指向性を示し、飛散する割合がきわめ
て少なくなるからである。しかし、一般にはその離間距
離lは、20mm以下が望ましい。
ところで、飛散防止壁11の少なくとも内面の温度は、
たとえば加熱ヒータ12により微粒子粉体の熱沈着温度を
超える温度とすることが熱沈着を防止する上で好まし
い。熱沈着(TheramalPrecipitation)とは、熱泳動現
象により蒸発微粒子が壁近傍における温度勾配により壁
に付着(沈着)する現象である。
たとえば加熱ヒータ12により微粒子粉体の熱沈着温度を
超える温度とすることが熱沈着を防止する上で好まし
い。熱沈着(TheramalPrecipitation)とは、熱泳動現
象により蒸発微粒子が壁近傍における温度勾配により壁
に付着(沈着)する現象である。
また、被付着体の温度は、蒸発源温度(蒸発性材料温
度)および飛散防止壁11の温度未満であり、かつ微粒子
粉体が充分熱沈着する温度以下である範囲内において、
可能な限り低温であり、もって蒸発源温度と被付着体と
の間に大きな熱勾配を採るのが望まれる。
度)および飛散防止壁11の温度未満であり、かつ微粒子
粉体が充分熱沈着する温度以下である範囲内において、
可能な限り低温であり、もって蒸発源温度と被付着体と
の間に大きな熱勾配を採るのが望まれる。
このような温度の設定は、基本的には、対象の材料の
種類に依存するので、これに応じて適切に設定される。
種類に依存するので、これに応じて適切に設定される。
上記各例では、蒸発性材料を収容容器にバッチ的に供
給したが、真空チャンバー内の加熱容器へスクリューフ
ィーダーなどにより連続的に供給するなどすれば大量の
蒸発処理が可能である。
給したが、真空チャンバー内の加熱容器へスクリューフ
ィーダーなどにより連続的に供給するなどすれば大量の
蒸発処理が可能である。
本発明において、目的の微粒子粉体としては、10〜数
万Å、特に10〜数千Åの超微粒子を得る場合において好
適に適用できる。また、微粒子粉体の種類としては、無
機材料、金属材料の他、有機材料であってもよい。特
に、本発明者らは、有機感光体を得る場合の有機顔料、
とりわけアンスアンスロン系顔料を得る場合に最適であ
ることを確認済である。
万Å、特に10〜数千Åの超微粒子を得る場合において好
適に適用できる。また、微粒子粉体の種類としては、無
機材料、金属材料の他、有機材料であってもよい。特
に、本発明者らは、有機感光体を得る場合の有機顔料、
とりわけアンスアンスロン系顔料を得る場合に最適であ
ることを確認済である。
有機感光体は、導電性基体上に、有機光導電体粒子
を、分散機によってバインダー樹脂中に分散したものや
その他の層を塗布することにより一般的に得ることがで
きる。
を、分散機によってバインダー樹脂中に分散したものや
その他の層を塗布することにより一般的に得ることがで
きる。
この場合、最終的に得ようとする感光体としては、導
電性基体上に、有機光導電体粒子(顔料)を電荷発生材
料として電荷輸送材料中に分散させた単一層型感光体
と、導電性基体上に、電荷発生材料層を形成しその上に
電荷輸送材料層を形成した機能分離型感光体とがある。
本発明は、これら両者の形態の感光体の製造における微
粒子粉体を得る場合に適している。
電性基体上に、有機光導電体粒子(顔料)を電荷発生材
料として電荷輸送材料中に分散させた単一層型感光体
と、導電性基体上に、電荷発生材料層を形成しその上に
電荷輸送材料層を形成した機能分離型感光体とがある。
本発明は、これら両者の形態の感光体の製造における微
粒子粉体を得る場合に適している。
次に実施例を示し本発明の効果を明らかにする。
(実施例1) 第1図の装置により、ガス中蒸発を行った。
電子写真用有機感光体を製造するために用いる有機顔
料微粒子粉体を生成・回収した。この有機顔料として
は、4,10−ジブロモアンスアンスロンを用い、真空チャ
ンバーをヘリウムガス雰囲気下に置き、かつ10-1Torrに
減圧し、材料を300〜350℃に加熱し真空蒸発させ第1図
法に従って微粒子粉体を得た。なお、材料Mと回転ドラ
ム3表面との離間距離Lは、95mm、飛散防止壁11と回転
ドラム3との離間距離lは10mmとした。
料微粒子粉体を生成・回収した。この有機顔料として
は、4,10−ジブロモアンスアンスロンを用い、真空チャ
ンバーをヘリウムガス雰囲気下に置き、かつ10-1Torrに
減圧し、材料を300〜350℃に加熱し真空蒸発させ第1図
法に従って微粒子粉体を得た。なお、材料Mと回転ドラ
ム3表面との離間距離Lは、95mm、飛散防止壁11と回転
ドラム3との離間距離lは10mmとした。
その結果、熱劣化がない微粒子粉体を約95%の回収率
をもって回収できた。
をもって回収できた。
他方、1バッチ毎、真空チャンバー内の清掃を行うこ
となく、単に蒸発源の残渣の片付けおよび新原料の仕込
みのみを行い、5回以上の連続的操作を繰り返したが、
回収した各操作回ごとの微粒子粉体の品位に差異は認め
られなかった。
となく、単に蒸発源の残渣の片付けおよび新原料の仕込
みのみを行い、5回以上の連続的操作を繰り返したが、
回収した各操作回ごとの微粒子粉体の品位に差異は認め
られなかった。
(比較例1) 飛散防止壁が設けないことを除いて、実施例と同一に
して微粒子粉体の回収率を調べたところ、約45%であっ
た。さらに、一回の操作の後に、真空チャンバー内を点
検してみたところ、その内壁に多量の微粒子粉体の付着
がみられ、次回の操作に移るためには、これを除去清掃
することが必要であることが明らかに認められた。
して微粒子粉体の回収率を調べたところ、約45%であっ
た。さらに、一回の操作の後に、真空チャンバー内を点
検してみたところ、その内壁に多量の微粒子粉体の付着
がみられ、次回の操作に移るためには、これを除去清掃
することが必要であることが明らかに認められた。
(比較例2) 他方、比較例1と同一の条件で、材料Mと回転ドラム
3表面との離間距離Lを種々変更したところ、第6図の
ように、回収率が離間距離Lに大きく依存することが判
明した。
3表面との離間距離Lを種々変更したところ、第6図の
ように、回収率が離間距離Lに大きく依存することが判
明した。
なお、逆に離間距離Lを極短くすれば、回収率が高ま
るが、たとえば30mmとした場合、回収した粉体は糸状と
なり、かつその内部は、オレンジ色、表面は深紅色とな
っており、熱劣化の影響が明らかに認められた。
るが、たとえば30mmとした場合、回収した粉体は糸状と
なり、かつその内部は、オレンジ色、表面は深紅色とな
っており、熱劣化の影響が明らかに認められた。
以上の通り、本発明によれば、回収率が高まるととも
に、真空チャンバー内壁の清掃負担が少なくなり、生産
性が高まる。
に、真空チャンバー内壁の清掃負担が少なくなり、生産
性が高まる。
第1図は本発明の第1実施例の概要図、第2図はその変
形例の要部拡大図、第3図〜第5図は変形例の概要図、
第6図は回収率の変化グラフ、第7図および第8図はそ
れぞれ従来技術の概要説明図である。 1……真空チャンバー、2……収容容器、3……回転ド
ラム、4……回収箱、6……真空ポンプ、9……ブラ
シ、11……飛散防止壁、12……加熱ヒータ、M……蒸発
性材料、G……不活性ガス
形例の要部拡大図、第3図〜第5図は変形例の概要図、
第6図は回収率の変化グラフ、第7図および第8図はそ
れぞれ従来技術の概要説明図である。 1……真空チャンバー、2……収容容器、3……回転ド
ラム、4……回収箱、6……真空ポンプ、9……ブラ
シ、11……飛散防止壁、12……加熱ヒータ、M……蒸発
性材料、G……不活性ガス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B01J 19/00 B22F 9/12 G03G 5/00
Claims (4)
- 【請求項1】ガス中蒸発法により蒸発源から蒸発した微
粒子粉体を被付着体に付着させ、その被付着体に付着し
た微粒子粉体を除去して回収する方法において、 前記蒸発源から被付着体に向かって蒸発した微粒子粉体
の被付着体へ向かう方向の周りに飛散防止壁を設け、か
つ不活性ガスの導路を前記飛散防止壁内に連通させたこ
とを特徴とする微粒子粉体の生成・回収方法。 - 【請求項2】前記飛散防止壁の少なくとも内面の温度は
微粒子粉体の熱沈着温度を超える温度とする請求項1記
載の方法。 - 【請求項3】被付着体の温度は、蒸発源温度および飛散
防止壁温度未満であり、かつ微粒子粉体の熱沈着を充分
生じる温度である請求項1記載の方法。 - 【請求項4】ガス中蒸発法により蒸発源から蒸発した微
粒子粉体を連続的に移動する被付着体に付着させ、その
被付着体に付着した微粒子粉体を除去して回収する装置
において、 前記蒸発源から被付着体に向かう方向の周りに飛散防止
壁が設けられ、その端縁と被付着体との離間距離が、被
付着体と蒸発性材料との距離の1/2以下であり、他方で
不活性ガスの導路が飛散防止壁内に連通されていること
を特徴とする微粒子粉体の生成・回収装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17212590A JP2821799B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 微粒子粉体の生成・回収方法とその装置 |
| DE4121119A DE4121119A1 (de) | 1990-06-29 | 1991-06-26 | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung und sammlung von ultrafeinen partikeln |
| US07/722,973 US5186872A (en) | 1990-06-29 | 1991-06-28 | Method for generation and collection of ultra fine particles without scatter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17212590A JP2821799B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 微粒子粉体の生成・回収方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463129A JPH0463129A (ja) | 1992-02-28 |
| JP2821799B2 true JP2821799B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=15936024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17212590A Expired - Fee Related JP2821799B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 微粒子粉体の生成・回収方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2821799B2 (ja) |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17212590A patent/JP2821799B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0463129A (ja) | 1992-02-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |