JP2826486B2 - 研削用テープ剥し機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、裏面を研削後のウ
ェーハの表面から保護用の研削用テープを剥し取る研削
用テープ剥し機に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、この研削用テープ剥し機は、半導
体装置の製造におけるウェーハ裏面研削工程で、裏面研
削時のウェーハ表面保護を目的とした研削用テープを裏
面研削終了後にその研削用テープを剥すことを目的とし
て使用される。

【０００３】図４は従来の一例を示す研削用テープ剥し
機の斜視図である。従来の研削用テープ剥し機は、図４
に示すように、研削済のウェーハ１１が搬送され収納さ
れるキャリアステーションＢ１２と、マニュプレータに
より研削済のウェーハ１１が取り出されオリフラの位置
合わせが行われるウェーハ位置決め部７と、研削済のウ
ェーハ１１を吸着するバキュームステージ６と、研削用
テープ４上に剥しテープ２を貼り付けるテープ貼り付け
用のローラ３と、剥しテープ２を巻き取る剥しテープ巻
取部１と、剥しテープ２を供給するロール８と、研削用
テープ４を剥したウェーハ１１をキャリアステーション
Ａ９に収納するウェーハ取り出し用のアーム１０とを有
している。

【０００４】次に、この研削用テープ剥し機の動作につ
いて説明する。まず、ウェーハの裏面が研削された研削
済のウェーハ１１を収納したキャリアステーションＢ１
２からウェーハ位置決め部７に研削済の一枚のウェーハ
１１を搬送し、オリフラ位置合わせを行う。次に、研削
済のウェーハ１１をテープ剥し部であるバキュームステ
ージ６上に搬送し吸着固定する。次に、テープ貼り付け
用のローラ３がバキュームステージ６上の研削済のウェ
ーハ１１上まで移動し、剥しテープ２を研削用テープ４
に貼り付ける。その後、剥しテープ巻取部１が回転し、
剥しテープ２を巻取るにつれ研削用テープ４がウェーハ
１１から剥されていき、研削用テープ４がウェーハ１１
から完全に剥されると、テープ貼り付け用のローラ３も
元の位置まで戻る。

【０００５】次に、研削用テープ４が剥されたウェーハ
１１は、バキュームステージ６からウェーハ取り出しア
ーム１０によりキャリアステーションＡ９に収納され一
連の動作が終了する。このような一連の動作を繰返して
行ない、キャリアスセーションＢ１２の研削済みのウェ
ーハの研削用テープ４を剥し、キャリアステーションＡ
に収納していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の研削用
テープ剥し機では、裏面研削工程で付着するＳｉ（シリ
コン）クズ等の付着物に起因する剥しテープと研削用テ
ープとの密着性がしばしば悪くなり、１回の剥し動作で
研削用テープをウェーハから剥すことができないという
問題点があった。その結果、剥しテープの張り直しなど
行なわなければならず作業効率（スループット）が悪く
なる。また、剥しテープの張り直しのために一部の長さ
を切捨てたりの消費量が多くなるという欠点がある。

【０００７】従って、本発明の目的は、剥しテープを無
駄にすることなく研削用テープに剥しテープをより強固
に貼り付けウェーハより研削テープを確実に剥し取る研
削用テープ剥し機を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、裏面を
研削されたウェーハの表面に貼り付けられた研削用テー
プの表面上を一方向に移動しながら該表面に付着する塵
埃を離脱させ吸取る真空掃除機構と、しかる後前記研削
用テープに剥し用テープを貼付け該剥しテープとともに
前記研削用テープを前記ウェーハの裏面より剥し取る研
削用テープ剥し機構とを備える研削用テープ剥し機であ
る。

【０００９】また、前記真空掃除機構は、真空排気管と
通ずる吸取り口を有し可とうな細管の複数本が前記移動
方向に対し平行および直交するように並べ配置されてい
ることが望ましい。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。

【００１１】図１は本発明の一実施の形態例を示す研削
用テープ剥し機の斜視図である。この研削用テープ剥し
機は、図１に示すように、裏面を研削されたウェーハ１
１の表面に貼り付けられた研削用テープ４の表面上を矢
印の方向に移動しながら該表面に付着する塵埃を吸取る
真空掃除機構５を設けたことである。それ以外は従来例
と同じように、研削用テープ４に剥しテープ２を貼付け
るローラ３と剥しテープ２とともに研削用テープ４をウ
ェーハ１１の裏面より剥し取り巻き取る剥しテープ巻取
部１とを具備する研削用テープ剥し機構と、剥しテープ
２を供給するロール８と、オリフラ位置を合わせるウェ
ーハ位置決め部７と、取出しアーム１０とが備えられて
いる。

【００１２】図２は図１の真空掃除機構を拡大して示す
図である。真空掃除機構は、図２に示すように、例え
ば、内径１〜３ｍｍ、長さ１０〜２０ｍｍ程度の塩化ビ
ニール等の可とう性の細管５ａをウェーハの直径（１０
０〜２００ｍｍ）に対応する本数を縦横に本体５ｂから
派生させた構造である。この細管５ａは、本体５ｂがウ
ェーハ面上を移動するとき、ウェーハ１１の研削用テー
プ４の面と接触し適宜に先端が曲げられその後の反発に
より研削用テープに付着する塵埃を表面から離脱させ、
本体５ｂと配管を介して接続される真空ポンプによって
離脱された塵埃を吸取る作用をもっている。

【００１３】また、この真空掃除機構５は、図１のバキ
ュームステージ６に対して右方向５〜１０ｍｍの部位に
取付けられる図示していない支持アームにより取り付け
られている。そして、この支持アームと真空掃除機構５
とは一体的に矢印方向にウェーハ径に合わせ１００〜２
００ｍｍの範囲で往復移動することができる。

【００１４】さらに、その際、図２の細管５ａは、研削
用テープ４の上面に軽く接触するように取り付ける。こ
れらにより、真空掃除機構５の細管５ａはバキュームス
テージ６上のウェーハ１１上の研削用テープ４の表面を
移動しながら研削用テープ４の表面に付着している付着
物を除去する動作を行なう。なお、研削用テープ４を剥
す動作のときは、真空掃除機構５はバキュームステージ
６の側方に退避させる動作を行うようになっている。

【００１５】図３は図１の研削用テープ剥し機の動作を
説明するためのフローチャートである。次に、この研削
用テープ剥し機の動作について説明する。まず、図３の
ステップＡで、研削済のウェーハ１１をキャリアステー
ションＢ１２からウェーハ位置決め部７まで搬送する。
次に、ステップＢで、ウェーハ位置決め部７において、
研削用テープ４を剥すのに必要な位置決めであるオリフ
ラ位置合わせを行う。その後、ステップＣで、研削済ウ
ェーハ１１をバキュームステージ６上に搬送しバキュー
ムにて吸着する。

【００１６】次に、ステップＤで、真空掃除機構５がウ
ェーハ１１の研削用テープ４の表面に図２の細管５ａの
先端を接触させながら矢印方向に左右に移動し、研削用
テープ４上の付着物を離脱させ吸取り除去する。次に、
ステップＥで、周囲を暗くしてウェーハ１１の研削用テ
ープ４上に単色光を投射し付着物の有無を検査する。こ
こで、Ｙｅｓなら、ステップＦに進み、真空掃除機構５
をバキュームステージ６の側方に退避させ、テープ貼り
付け用のローラ３が研削済のウェーハ１１上を移動し剥
しテープ２を研削用テープ４に貼り付ける。また、ステ
ップＥでＮｏならば、ステップＤに戻り研削テープ４を
清掃する。

【００１７】次に、ステップＧで、剥しテープ巻取部１
を回転させウェーハ１１から研削用テープ４を剥す。次
に、ステップＨで、バキュームステージ６のバキューム
を解除する。そして、ステップＩで、ウェーハ１１を取
り出しアーム１０にてバキュームステージ６から取り出
し、キャリアステーションＡ９に収納する。

【００１８】このように、テープ貼り付けローラー３に
よる剥しテープ２の貼り付け作業に先立って、真空掃除
機構５を作動させ研削用テープ４の表面に付着している
付着物を除去し異物の有無を確認してから、剥しテープ
２と研削用テープ４との密着させ確実に１回の剥し動作
で研削用テープ４をウェーハ５から剥すことが実現でき
た。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウェーハ
に貼付けられた研削用テープの表面をブラシングしなが
ら離脱する塵埃を吸取る真空掃除機構を設け、この真空
掃除機構により研削用テープの表面の汚れを除去してか
ら、研削用テープへの剥しテープを接着することによ
り、剥しテープと研削用テープとの密着性が向上し、１
回の動作で研削用テープをウェーハから確実に剥すこと
ができるという効果を有する。

【００２０】また、剥しテープの貼付けのやり直しが無
くなり、その結果、従来に比べ作業効率（スループッ
ト）が２０％向上し、かつ、やり直しによる剥しテープ
の無駄な消費を無くすこともできた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態例を示すの研削用テープ
剥し機の斜視図である。

【図２】図１の真空掃除機構を拡大して示す図である。

【図３】図１の研削用テープ剥し機の動作を説明するた
めのフローチャートである。

【図４】従来の一例を示す研削用テープ剥し機の斜視図
である。

【符号の説明】

１ 剥しテープ巻取部 ２ 剥しテープ ３ ローラ ４ 研削用テープ ５ 真空掃除機構 ５ａ 細管 ５ｂ 本体 ６ バキュームステージ ７ ウェーハ位置決め部 ８ ロール ９ キャリアステーションＡ １０ ウェーハ取り出しアーム １１ ウェーハ １２ キャリアステーションＢ

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 裏面を研削されたウェーハの表面に貼り
   付けられた研削用テープの表面上を一方向に移動しなが
   ら該表面に付着する塵埃を離脱させ吸取る真空掃除機構
   と、しかる後前記研削用テープに剥し用テープを貼付け
   該剥しテープとともに前記研削用テープを前記ウェーハ
   の裏面より剥し取る研削用テープ剥し機構とを備えるこ
   とを特徴とする研削用テープ剥し機。
2. 【請求項２】 前記真空掃除機構は、真空排気管と通ず
   る吸取り口を有し可とうな細管の複数本が前記移動方向
   に対し平行および直交するように並べ配置されているこ
   とを特徴とする請求項１記載の研削用テープ剥し機。