JP2832366B2 - 半導体ウエハの引き伸ばし装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体ウエハの引き伸ばし装置に関する。

［従来の技術］ 半導体ペレットは、半導体ウエハを可撓性シートに貼
着し、該ウエハをスクライビングした後に、ダイシング
することにより得られる。そして、このダイシングによ
り得られる多数のペレットは、ピックアップ装置により
上記シートから取り出されて、リードフレーム等の基板
上の所定位置にボンディングされる。

ところで、ピックアップ装置による上記ペレットの取
り出し作業は、ペレット認識部にてペレットの位置、良
否を検出してから、ピックアップ位置に設定されたペレ
ットを上記シートの裏面から突き上げ、突き上げられた
ペレットをコレットにて吸着することにてなされる。こ
のため、多数のペレットは、ペレット認識部により容易
に検出でき、更にコレットにて順次規則正しくかつ確実
に吸着出来るように、ペレット相互に所定の間隔をおく
ように配列されていなければならない。

そこで従来、上記ペレットを所定間隔に配列する手段
として、特公昭58-46859号公報に記載の如くの引き伸ば
し装置が提案されている。この引き伸ばし装置は、可撓
性シートに貼着されたウエハをダイシングし多数のペレ
ットに分割した状態で、加熱装置から吹き出される熱風
により該シートを加熱してから、該シートを引き伸ば
し、多数のペレットを所定間隔に配列させるように構成
されている。

［発明が解決しようとする課題］ 然しながら、上記従来の引き伸ばし装置では、加熱装
置から吹き出される熱風のシート各部に対する温度分布
が不均一であり、結果として上記シートの引き伸ばし量
が不均一となってペレット相互の間隔に差を生じてしま
う。このことは、各ペレットをペレット認識部により
容易に検出できない、コレットが今回吸着するペレッ
トが隣接する他のペレットに干渉してクラック等の疵を
与える、隣り合うペレット同士が互いに干渉してチッ
ピング等の疵を生ずる等の不都合を招くことを意味す
る。

本発明は、ウエハが貼着されているシートの全体を均
一に加熱し、結果として該シートの引き伸ばし量をシー
トの全域で均一とし、ペレット相互に所定の間隔をおく
ようにそれらペレットを配列することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、可撓性シートに貼着されたウエハをダイシ
ングし多数のペレットに分割した状態で、該シートを引
き伸ばすに際にし、加熱装置により該シートを加熱し、
該シートの引き伸ばしにより多数のペレットを所定間隔
に配列させる、半導体ウエハの引き伸ばし装置におい
て、前記可撓性シートと前記加熱装置とを前記可撓性シ
ートの面に沿う方向において相対移動させる移動手段を
設け、前記可撓性シートの加熱時、前記可撓性シートと
前記加熱装置とを上記方向にて相対移動させるようにし
たものである。

［作用］ 本発明によれば、可撓性シートの加熱時、可撓性シー
トの面に沿う方向において可撓性シートと加熱装置とを
相対移動させることから、加熱装置から可撓性シートに
及ぶ加熱エネルギは、可撓性シートの各部において均一
化される。これにより、加熱装置はシートの全体を均一
に加熱し、結果としてシートの引き伸ばし量をシートを
全域で均一とし、ペレット相互に所定の間隔をおくよう
にそれらペレットを配列できる。従って、各ペレット
をペレット認識部を用いて検出する場合には、その検出
を容易に行なうことができる、コレットを用いてシー
ト上からペレットを吸着する場合にも、今回吸着される
ペレットが隣接する他のペレットに干渉してクラック等
の疵を与えることがない、隣り合うペレット同士が互
いに干渉してチッピング等の疵を生じることがない等の
効果がある。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例に係る引き伸ばし装置を示
す模式図、第２図は加熱装置の要部を示す模式図、第３
図は本発明の他の実施例を示す模式図である。

引き伸ばし装置10は、第１図に示す如く、架台10A上
のXYテーブル11に設置された支持台12の上部に、円環状
の回転テーブル13を回転可能に保持するとともに、回転
テーブル駆動モータ14を固定されている。この時、モー
タ14の出力軸に固定のピニオン15は回転テーブル13の外
周部に設けられているギヤ16に噛合い、モータ14の駆動
により回転テーブル13を回転できるようにしている。

引き伸ばし装置10は、回転テーブル13の外周部にイン
ナーリング17と、アウターリング18とを組付けてある。

インナーリング17は、回転テーブル13の外周部に上下
スライドのみ可能に結合されている。この時、インナー
リング17は回転テーブル13との間に介装されるばね19、
及びばね19の弾発力に対して、インナーリング17の上昇
端レベルを規制するストッパボルト20を有し、ばね19の
弾発力に抗して上下動できる。

アウターリング18も、回転テーブル13の外周部に上下
スライドのみ可能に結合され、この上下方向において、
インナーリング17との間隔を拡縮できる。尚、引き伸ば
し装置10は、支持台12にアウターリング駆動シリンダ21
を固定するとともに、アウターリング操作フォーク22を
揺動可能に支持し、シリンダ21により上記フォーク22を
揺動できるようにしている。この時、フォーク22の先端
部に設けられているピン23はアウターリング18の外周部
に設けられている溝24に係合し、フォーク22の揺動によ
り、アウターリング18を上下動できる。

即ち、引き伸ばし装置10は、第１図（Ａ）に示す如く
アウターリング18が上昇端にある時、アウターリング18
が上下方向にてインナーリング17との間に形成する間隔
にウエハリング25を、第１図の紙面直角方向から挿入で
きる。この時、ウエハリング25は可撓性シート26を保持
し、シート26にはウエハ27が貼着されている。ウエハ27
はダイシングされ、多数のペレット28に分割されてい
る。そして、引き伸ばし装置10は、第１図（Ａ）から第
１図（Ｂ）に示す如く、シリンダ21の駆動によるフォー
ク22の揺動により、アウターリング18を下降させてアウ
ターリング18とインナーリング17との間に上記ウエハリ
ング25を挟持し、更にアウターリング18を下降させるこ
とにより、ウエハリング25に保持されている可撓性シー
ト26の周縁を回転テーブル13のまわりに引き伸ばすこと
ができる。

更に、引き伸ばし装置10は、支持台12に熱風発生装置
30を固定してある。熱風発生装置30は熱風吹き出しノズ
ル31を回転テーブル13の下方からその内周領域に熱風を
吹き込むように備えている。この時、ノズル31は、第２
図に示す如く、多数の小孔を備えた熱風拡散板32を有
し、熱風を拡散状態で吹き出し可能としている。

然るに、引き伸ばし装置10は、以上の装置構成により
以下の（１）〜（３）によりウエハ27を引き伸ばしす
る。

（１）可撓性シート26上でダイシングされ多数のペレッ
ト28に分割されたウエハ27を保持するウエハリング25
を、インナーリング17とアウターリング18の間に挿入す
る（第１図（Ａ）参照）。

（２）上記熱風発生装置30により上記シート26を加熱す
る。この時、引き伸ばし装置10は、回転テーブル駆動モ
ータ14を駆動して回転テーブル13を回転し、回転テーブ
ル13上にある上記可撓性シート26を熱風発生装置30のノ
ズル31による熱風吹き出し領域に対して該可撓性シート
26の面に沿う方向において相対移動させる。

（３）次に、アウターリング駆動シリンダ21を駆動し
て、インナーリング17とアウターリング18の間に上記ウ
エハリング25を挟持し、更にアウターリング18を下降さ
せ、上記（２）で加熱されたシート26の周縁を回転テー
ブル13のまわりに引き伸ばす（第１図（Ｂ）参照）。こ
れにより、引き伸ばし装置10は、多数のペレット28を所
定間隔に配列させることができる。

尚、第１図において、41と42はペレットピックアップ
装置を構成するニードルとコレット、43はペレット認識
部を構成するテレビカメラである。即ち、引き伸ばし装
置10にあっては、テレビカメラ43にて、ペレット28の位
置、良否を検出してから、ピックアップ位置に設定され
たペレット28をシート26の裏面からニードル41により突
き上げ、突き上げられたペレット28をコレット42により
吸着した後、該ペレット28を基板上に移載してボンディ
ングする。

次に、上記実施例の作用について説明する。

上記実施例によれば、熱風発生装置30のノズル31から
シート26に及ぶ加熱エネルギは、熱風発生装置30とシー
ト26との該シート26の面に沿う方向での相対移動によ
り、シート26の各部で相互に均一化される。これによ
り、熱風発生装置30はシート26を均一に加熱し、結果と
して該シート26の引き伸ばし量を均一とし、ペレット28
が相互に所定の間隔をおくようにそれらペレット28を配
列することができる。

又、上記実施例においては、熱風発生装置30のノズル
31が、熱風拡散板32を有し、かつ回転テーブル13の下方
からその内周領域に熱風を吹き込むように構成されてい
るから、熱風はシート26にて閉塞されているカップ状の
回転テーブル13内にて滞溜し、シート26の温度分布をよ
り均一化できる。

尚、本発明の実施において、加熱装置は熱風発生装置
に限らず、例えば遠赤外線等の放射加熱装置を用いるも
のであっても良い。

又、本発明の実施においては、加熱装置を例えば上記
引き伸ばし装置10の架台10Aの側に固定配置し、シート
を例えば上記引き伸ばし装置10のXYテーブル11及び回転
テーブル13によりXY移動及び回転するものであっても良
い。

又、本発明の実施においては、第３図に示す如く、加
熱装置50を回転テーブル51の上方に配置し、シート52の
ペレット53を備える側から加熱エネルギを供給するもの
であっても良い。この時、加熱装置50とシート52のいず
れを可動側とするものであっても良い。

又、本発明の実施において、加熱装置とシートの相対
移動はXY移動のみ、回転のみ、又はXY移動及び回転の複
合のいずれであっても良い。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、ウエハが貼着されてい
るシートを均一に加熱し、結果として該シートの引き伸
ばし量を均一とし、ペレット相互に所定の間隔をおくよ
うにそれらペレットを配列することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る引き伸ばし装置を示す
模式図、第２図は加熱装置の要部を示す模式図、第３図
は本発明の他の実施例を示す模式図である。 10……引き伸ばし装置、11……XYテーブル、13……回転
テーブル、26……可撓性シート、27……ウエハ、28……
ペレット、30……熱風発生装置、31……熱風吹き出しノ
ズル、50……加熱装置、51……回転テーブル、52……シ
ート、53……ペレット。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】可撓性シートに貼着されたウエハをダイシ
   ングし多数のペレットに分割した状態で、該シートを引
   き伸ばすに際し、加熱装置により該シートを加熱し、該
   シートの引き伸ばしにより多数のペレットを所定間隔に
   配列させる、半導体ウエハの引き伸ばし装置において、
   前記可撓性シートと前記加熱装置とを前記可撓性シート
   の面に沿う方向において相対移動させる移動手段を設
   け、前記可撓性シートの加熱時、前記可撓性シートと前
   記加熱装置とを上記方向にて相対移動させるようにした
   ことを特徴とする半導体ウエハの引き伸ばし装置。