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JP2844640B2 - Variable resistance element - Google Patents
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JP2844640B2 - Variable resistance element - Google Patents

Variable resistance element

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JP2844640B2
JP2844640B2 JP5531689A JP5531689A JP2844640B2 JP 2844640 B2 JP2844640 B2 JP 2844640B2 JP 5531689 A JP5531689 A JP 5531689A JP 5531689 A JP5531689 A JP 5531689A JP 2844640 B2 JP2844640 B2 JP 2844640B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、可変抵抗素子に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a variable resistance element.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第3図は従来の可変抵抗素子の一例の平面図である。 FIG. 3 is a plan view of an example of a conventional variable resistance element.

絶縁体の基板の上に電気抵抗材料として炭素、金属、
金属酸化物、もしくはそれらの混合物などで構成された
薄膜抵抗体11を円弧状に印刷、めっき、蒸着、スパッタ
などの種々の方法を用いて形成する。薄膜抵抗体11の端
部には外部に接続するためのリード17と電極12とを取り
付ける。可変抵抗を得るための第三の電極として薄膜抵
抗体11に対して接触が保たれるように金属から成るブラ
シ13を設ける。ブラシの抵抗体に対する位置を移動させ
るため、摘み14を取り付け、ブラシ13に接続する。通
常、摘みはブラシとの間にテフロンなどで出来たスペー
サ15をかませて何等かの電気的絶縁がブラシに対して施
してあるような構造をしている。これに取り付け台座16
およびカバー(図示せず)を取り付ける。
Carbon, metal, as an electric resistance material on an insulating substrate
The thin film resistor 11 made of a metal oxide or a mixture thereof is formed in an arc shape by using various methods such as printing, plating, vapor deposition, and sputtering. At the end of the thin film resistor 11, a lead 17 and an electrode 12 for external connection are attached. A brush 13 made of metal is provided as a third electrode for obtaining a variable resistance so as to maintain contact with the thin film resistor 11. To move the position of the brush with respect to the resistor, a knob 14 is attached and connected to the brush 13. Usually, the knob has a structure in which a spacer 15 made of Teflon or the like is interposed between the knob and the brush to provide some electrical insulation to the brush. Mounting pedestal 16
And a cover (not shown).

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

従来の可変抵抗器においては、特に微小な電圧もしく
は電流を扱うような場合に、可変抵抗素子の第三の電極
であるブラシと薄膜抵抗体の間の接触による好ましくな
い雑音が生じるという問題があった。この雑音は、ブラ
シと薄膜抵抗体とが単に力学的に押えられて接触してい
るだけであって、接触金属同志の合金化による接合など
の強い結び付きが無いために起こると考えられる。特
に、接触が実際に起こるブラシと薄膜抵抗体とは何等表
面を保護されていない状態で使用されるのが通常の使用
方法であるために、酸化雰囲気など水分の多い場所であ
るとか、酸やアルカリの存在するような場所では、非常
に抵抗素子の信頼性が低くなってしまうという問題があ
った。
The conventional variable resistor has a problem that undesired noise is generated due to contact between the brush, which is the third electrode of the variable resistance element, and the thin film resistor, especially when a minute voltage or current is handled. Was. This noise is considered to occur because the brush and the thin-film resistor are merely pressed mechanically and are in contact with each other, and there is no strong connection such as joining by alloying of the contact metals. In particular, the brush and the thin-film resistor where the contact actually occurs are usually used in a state where the surface is not protected at all. In a place where an alkali is present, there is a problem that the reliability of the resistance element becomes extremely low.

更に、以上の様な環境に置かれた場合には、ブラシ、
薄膜抵抗体の表面に酸化膜などの絶縁層が発生し、抵抗
値可変のために摘みを廻したり移動させたりしてブラシ
を動かすと、オーディオ装置の場合にはガリガリという
様な接触不良による大きな雑音が生じるという問題もあ
った。
Furthermore, when placed in the above environment, brush,
When an insulating layer such as an oxide film is generated on the surface of the thin film resistor and the brush is moved by turning or moving the knob to change the resistance value, in the case of an audio device, a large contact failure such as rattling occurs. There was also a problem that noise was generated.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の可変抵抗素子は、絶縁体基板上に設けられた
少なくとも一つの磁気抵抗素子と磁気抵抗素子に磁場を
加えるための磁石を有し、かつ、その磁石は絶縁体基板
表面との距離が垂直に可変に成るように支持されている
ことを特徴とする。
The variable resistance element of the present invention has at least one magnetoresistance element provided on an insulator substrate and a magnet for applying a magnetic field to the magnetoresistance element, and the magnet has a distance from the surface of the insulation substrate. It is characterized by being supported vertically variable.

また、本発明の可変抵抗素子は、絶縁体の基板と、前
記基板の中心から所定距離だけ間隔をおいて前記基板の
表面に設けられた少なくとも一つの磁気抵抗素子と、前
記磁気抵抗素子の両端に接続し外部引出し用端子に接続
する二本一組のリードを少なくとも一組と、前記磁気抵
抗素子を含む前記基板表面を覆うカバーと、前記基板の
中心に中心が整合するように前記カバーに刻みこまれた
ねじ穴と、前記ねじ穴にねじこまれるねじと、前記ねじ
の先端に設けられた磁石とを含んで構成される。
The variable resistance element according to the present invention may further include an insulating substrate, at least one magnetoresistive element provided on a surface of the substrate at a predetermined distance from a center of the substrate, and both ends of the magnetoresistive element. At least one set of two leads connected to the external lead-out terminal and a cover for covering the surface of the substrate including the magnetoresistive element, and the cover so that the center is aligned with the center of the substrate. It is configured to include an inscribed screw hole, a screw screwed into the screw hole, and a magnet provided at the tip of the screw.

〔作用〕[Action]

シリコンなどの半導体には、磁場を加えることによっ
てその電気抵抗値が変化するという一般的な性質磁気抵
抗効果が存在する。この効果は、シリコン的での電流の
担い手である電子や正孔が掛けられた磁界の影響を受け
て空間的にその濃度が変調されるためと半導体のバンド
構造が外から加えられた磁界によって変化することに起
因していると説明される。磁気抵抗効果は、不純物濃度
が低いような時に大きな値を示す。但し、大きなピエゾ
抵抗効果を持つ抵抗体は、温度の変化に対しても感度が
敏感に変化するため、通常は何等かの温度補正を行って
用いる。磁気に対する抵抗率の変化は非常に直線的であ
るため、正確に磁気量を電気抵抗の変化に比例して変換
できる特徴がある。
Semiconductors such as silicon have a general property of a magnetoresistance effect in which the electric resistance changes when a magnetic field is applied. This effect is due to the spatial modulation of the concentration under the influence of the magnetic field in which electrons and holes, which are the carriers of current in silicon, are applied. It is described as being caused by the change. The magnetoresistance effect shows a large value when the impurity concentration is low. However, since a resistor having a large piezoresistive effect changes its sensitivity sensitively to a change in temperature, it is usually used after performing some kind of temperature correction. Since the change in resistivity to magnetism is very linear, there is a characteristic that the amount of magnetism can be accurately converted in proportion to the change in electric resistance.

上記のセンサでは、外部からの力学信号を動的に電気
信号に変換することを目的としているが、一旦加えられ
た物理学的な信号を何等かの方法で一時的、あるいは恒
久的に一定の値に固定する構造を新たに付加することに
よって可変抵抗素子、又は半固定抵抗素子として用いる
ことが出来る。
The above-mentioned sensor aims to dynamically convert an external dynamic signal into an electric signal, but temporarily or permanently converts a once applied physical signal into a temporarily or permanently fixed signal. By newly adding a structure for fixing to a value, it can be used as a variable resistance element or a semi-fixed resistance element.

〔実施例〕〔Example〕

第1図(a),(b)は本発明の第1の実施例の正面
図及びA−A′線断面図である。
1 (a) and 1 (b) are a front view and a sectional view taken along line AA 'of a first embodiment of the present invention.

絶縁体の基板7の表面の中心より少し離れた位置に磁
気抵抗素子1を設ける。基板7に取付けられている端子
5と磁気抵抗素子1の両端とをリード8で接続する。中
央にねじ穴を有するカバー4を覆せて固着する。先端に
磁石2を取付けたねじ3をカバー4のねじ穴に入れる。
この磁石2の作る磁界によって磁気抵抗素子1の抵抗値
が変化する。従って、ねじ3を廻して磁石2の位置を変
えることにより磁気抵抗素子1の抵抗値を所望の値に調
整することができ、本発明の可変抵抗素子が得られる。
The magnetoresistive element 1 is provided at a position slightly away from the center of the surface of the insulating substrate 7. The terminals 5 attached to the substrate 7 and both ends of the magnetoresistive element 1 are connected by leads 8. A cover 4 having a screw hole in the center is covered and fixed. The screw 3 with the magnet 2 attached to the tip is inserted into the screw hole of the cover 4.
The resistance value of the magnetoresistive element 1 changes according to the magnetic field generated by the magnet 2. Therefore, by changing the position of the magnet 2 by turning the screw 3, the resistance value of the magnetoresistive element 1 can be adjusted to a desired value, and the variable resistance element of the present invention can be obtained.

この可変抵抗素子の電気抵抗値は、磁気抵抗素子を製
造する際に用いられる不純物の濃度に依存している。磁
気抵抗効果および抵抗値の温度係数も不純物濃度の関数
として変化する為に、それらの値を必要とされる値に調
節して用いる。所で、同じ不純物濃度であっても磁気抵
抗素子の幅、深さを増減させたり、その長さを変化させ
ることによって任意の用途に適合した電気抵抗値を持た
せることが可能である。電気抵抗値の調節は、ねじを廻
すことによってねじの先端に設けられた磁石と磁気抵抗
素子の距離を変化させることによって行われる。電気抵
抗値の可変範囲は、磁石の移動量を調節することにより
抵抗抵抗素子に接しない近傍まで可変可能である。よっ
て、ねじの動きは制限することが必要であり、何等かの
ストッパを設けてもよい。ねじの大きさや形は任意であ
り、ねじ以外にも適当な磁界を磁気抵抗素子に与えた状
態で止められる機能を持つものならば何でも同様の効果
を果たすことが可能である。
The electric resistance value of the variable resistance element depends on the concentration of impurities used when manufacturing the magnetoresistance element. Since the magnetoresistance effect and the temperature coefficient of the resistance value also change as a function of the impurity concentration, these values are adjusted to the required values and used. Here, even if the impurity concentration is the same, it is possible to provide an electric resistance value suitable for an arbitrary application by increasing or decreasing the width and depth of the magnetoresistive element or changing the length. The adjustment of the electric resistance value is performed by changing the distance between the magnet provided at the tip of the screw and the magnetoresistive element by turning the screw. The variable range of the electric resistance value can be changed to the vicinity not in contact with the resistive resistance element by adjusting the moving amount of the magnet. Therefore, it is necessary to restrict the movement of the screw, and some stopper may be provided. The size and shape of the screw are arbitrary, and any effect other than the screw can be used as long as it has a function of stopping the application of an appropriate magnetic field to the magnetoresistive element.

第2図は本発明の第2の実施例の断面図である。 FIG. 2 is a sectional view of a second embodiment of the present invention.

この実施例においては、複数の磁気抵抗素子が同一磁
界を受けるように、絶縁体の基板7の表面の中心に対し
て同一距離だけ離れるように磁気抵抗素子1を4個設
け、各磁気抵抗素子1の両端にリード8を接続し、端子
5に接続する。図示していないが、第1の実施例と同じ
カバーと磁石付きねじとを取付ける。
In this embodiment, four magnetoresistive elements 1 are provided at the same distance from the center of the surface of the insulating substrate 7 so that the plurality of magnetoresistive elements receive the same magnetic field. Leads 8 are connected to both ends of 1 and terminals 5. Although not shown, the same cover and magnet screw as in the first embodiment are attached.

この様な構成を採ることによって多数の抵抗素子を一
度に変化させる事が可能である。この様な可変抵抗素子
は、多チャネルの入出力を持つような装置における集合
可変抵抗体として非常に便利である。
By adopting such a configuration, it is possible to change many resistance elements at once. Such a variable resistance element is very convenient as a collective variable resistor in a device having multi-channel input / output.

上記実施例においては、磁気抵抗効果のみを用いたも
のについて説明したが、磁気電気抵抗変換素子として磁
気トランジスタなどの素子を用いても同様の効果を期待
できる。この場合には、磁気抵抗効果素子のみでは得ら
れない程度の大きな可変抵抗素子として用いることが可
能となる。
In the above-described embodiment, the case where only the magnetoresistive effect is used has been described. However, the same effect can be expected even when an element such as a magnetic transistor is used as the magneto-resistance converting element. In this case, it can be used as a large variable resistance element that cannot be obtained only with the magnetoresistance effect element.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の可変抵抗素子を用いれば、従来の可変抵抗器
では問題になったような接触による新たな雑音発明、あ
るいは接触不良による異常雑音、ブラシと薄膜抵抗素子
とが異った物質から出来ていることに起因する熱電気発
生によるドリフト等の種々の雑音発生によるS/N比の低
下という問題を解決することが出来る。
If the variable resistance element of the present invention is used, a new noise due to contact, which was a problem in the conventional variable resistor, or abnormal noise due to poor contact, the brush and the thin film resistance element can be made of different materials. It is possible to solve the problem that the S / N ratio is lowered due to generation of various noises such as drift due to the generation of thermoelectricity.

更に、従来では接触抵抗を小さくするために種々の方
法が用いられてきたが、本質的にデバイスが抵抗体に対
して接触しない状態で使用されるために、それらの方法
なくして安く信頼性の高い可変低抗体が得られる。磁気
抵抗素子は、半導体の製造プロセスによって作製できる
ため、容易に大量生産が可能であり、また品質も安定し
たものが得られる。従来では剥き出しの状態になってい
た可変抵抗体のブラシ部分や薄膜抵抗部分の表面は存在
しなく、磁気抵抗素子の表面は十分に保護することが可
能であり、従来ではパッケージに工夫をしなくては十分
なパッシベーションが得られなかったが、本発明によれ
ば任意の環境に対するパッシベーションを磁気抵抗素子
の表面に設ける薄膜を変化させるだけで簡単に実行する
ことが出来る。従来からデジタル方式によるアナログス
イッチを用いた擬連続的アッテネーターは存在したが、
連続的に変化する電気抵抗の制御には大がかりな回路を
必要とするため、単体の部品としてはその機能を発現さ
せることは不可能であった。本発明においては、個々の
部品として場所を採らずに設置することが可能である。
Further, conventionally, various methods have been used to reduce the contact resistance. However, since the device is used in a state where the device is not in contact with the resistor, it is cheap and reliable without such a method. High variable low antibodies are obtained. Since the magnetoresistive element can be manufactured by a semiconductor manufacturing process, it can be easily mass-produced, and a stable quality can be obtained. Conventionally, the surface of the brush or thin-film resistance of the variable resistor, which was exposed in the past, does not exist, and the surface of the magnetoresistive element can be sufficiently protected. However, according to the present invention, passivation for an arbitrary environment can be easily performed only by changing the thin film provided on the surface of the magnetoresistive element. Conventionally, there has been a pseudo-continuous attenuator using an analog switch by a digital method,
Since a large-scale circuit is required to control the continuously changing electric resistance, it is impossible to realize the function as a single component. In the present invention, individual components can be installed without taking up space.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図(a),(b)は本発明の第1の実施例の正面図
およびA−A′線断面図、第2図は本発明の第2の実施
例の断面図、第3図は従来の可変抵抗素子の一例の平面
図である。 1……磁気抵抗素子、2……磁石、3……ねじ、4……
カバー、5……端子、7……基板、8……リード、11…
…薄膜抵抗体、12……電極、13……ブラシ、14……摘
み、15……スペーサ、16……撮り付け台座、17……リー
ド。
1 (a) and 1 (b) are a front view and a sectional view taken along line AA 'of the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of the second embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 2 is a plan view of an example of a conventional variable resistance element. 1 ... Magnetic resistance element, 2 ... Magnet, 3 ... Screw, 4 ...
Cover, 5 ... Terminal, 7 ... Substrate, 8 ... Lead, 11 ...
... thin film resistor, 12 ... electrode, 13 ... brush, 14 ... knob, 15 ... spacer, 16 ... shooting base, 17 ... lead.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】絶縁体基板上に設けられた少なくとも一つ
の磁気抵抗素子と、磁気抵抗素子に磁場を加えるための
磁石を有し、前記磁石は絶縁体基板表面との距離が垂直
に可変に成るように支持されていることを特徴とする可
変抵抗素子。
1. A semiconductor device comprising: at least one magnetoresistive element provided on an insulator substrate; and a magnet for applying a magnetic field to the magnetoresistive element. A variable resistance element characterized in that it is supported in such a manner that:
【請求項2】絶縁体の基板と、前記基板の中心から所定
距離だけ間隔をおいて前記基板の表面に設けられた少な
くとも一つの磁気抵抗素子と、前記磁気抵抗素子の両端
に接続し外部引出し用端子に接続する二本一組のリード
を少なくとも一組と、前記磁気抵抗素子を含む前記基板
表面を覆うカバーと、前記基板の中心に中心が整合する
ように前記カバーに刻みこまれたねじ穴と、前記ねじ穴
にねじこまれるねじと、前記ねじの先端に設けられた磁
石とを含むことを特徴とする可変抵抗素子。
2. An insulating substrate, at least one magnetoresistive element provided on a surface of the substrate at a predetermined distance from the center of the substrate, and externally connected to both ends of the magnetoresistive element. At least one set of two leads to be connected to the terminal, a cover covering the substrate surface including the magnetoresistive element, and a screw cut into the cover so that the center is aligned with the center of the substrate. A variable resistance element comprising: a hole; a screw screwed into the screw hole; and a magnet provided at a tip of the screw.
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