JP2885428B2 - Polishing film - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ポリッシング、ラッピング加工、特に、精
密機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研
磨フィルムに関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing film suitable for use in polishing and lapping, especially for finishing precision equipment and precision parts.
従来の技術 この種の研磨フィルムとしては、従来、PETのような
ポリエステル樹脂上に研磨材を分散させた塗料を塗布し
連続または不連続な研磨層を形成させたものがあり、そ
の研磨材として、α酸化鉄微粉を用いるものがあった。Conventional technology As this type of polishing film, conventionally, there is a film in which a coating material in which an abrasive is dispersed on a polyester resin such as PET is applied to form a continuous or discontinuous abrasive layer. And those using α-iron oxide fine powder.
発明が解決しようとする課題 前述したような従来の研磨フィルムにおける研磨材と
して用いられていたα酸化鉄微粉は、粒状であるが、そ
れらの粒子形状は必ずしも一定でなく、粒度分布も広い
範囲に亘っているものであった。ところで、研磨フィル
ムにおける研磨材の粒子形状および粒子サイズの均一性
は、被研磨物の最終仕上げ面状態に大きく影響を及ぼ
し、また、研磨フィルムとしての耐久性にも影響を及ぼ
す。すなわち、研磨材の粒子形状および粒子サイズが不
均一であると、仕上げ面粗さを精密に制御することは難
しい上、研磨フィルムとしての耐久性の低下にもつなが
る。したがって、従来の研磨フィルムに研磨材として含
まれている粒状酸化鉄の粒子形状および粒子サイズは、
前述したように必ずしも均一でないので、粒状酸化鉄を
用いた従来の研磨フィルムでは、仕上げ面を精密に制御
することは困難である上、耐久性の点でも充分であった
とは言えなかった。Problems to be Solved by the Invention α-iron oxide fine powder used as an abrasive in the conventional polishing film as described above is granular, but their particle shapes are not always constant, and the particle size distribution is in a wide range. It spanned. Meanwhile, the uniformity of the particle shape and particle size of the abrasive in the polishing film greatly affects the state of the final finished surface of the object to be polished, and also affects the durability of the polishing film. That is, if the particle shape and particle size of the abrasive are not uniform, it is difficult to precisely control the finished surface roughness, and the durability of the abrasive film is reduced. Therefore, the particle shape and particle size of the granular iron oxide contained as an abrasive in the conventional polishing film,
As described above, since it is not always uniform, it is difficult to precisely control the finished surface with a conventional polishing film using granular iron oxide, and it cannot be said that the durability is also sufficient.
本発明の目的は、前述したような従来の問題点を解消
しうるような研磨フィルムを提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a polishing film that can solve the conventional problems as described above.
課題を解決するための手段 本発明による研磨フィルムは、フィルム基体上に、立
方体状のα酸化鉄砥粒をバインダー樹脂中に分散させて
なる研磨層を形成したことを特徴とする。Means for Solving the Problems A polishing film according to the present invention is characterized in that a polishing layer formed by dispersing cubic α-iron oxide abrasive grains in a binder resin is formed on a film substrate.
実施例 次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例について
本発明をより詳細に説明する。Next, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
先ず、本発明者等は、研磨フィルムに用いて、研磨
量、仕上げ面精度を精密に制御できて、しかも耐久性も
あげることができるために、研磨材が備えていなければ
ならない必要条件について種々検討してみた。その結果
として、次のような条件を備えている研磨材砥粒を用い
るのがよいことを見出した。First, the present inventors use a polishing film to control the amount of polishing and the precision of the finished surface precisely, and also to increase the durability. I examined it. As a result, they have found that it is better to use abrasive grains having the following conditions.
(1)粒子形状が均一で揃っていること。(1) The particle shape is uniform and uniform.
(2)粒度分布が単分散に近いこと。(2) The particle size distribution is close to monodispersion.
そして、このような条件を兼ね備える研磨材砥粒とし
て、立方体状のα酸化鉄砥粒を用いるのがよいことを見
出し、本発明に至ったのである。The inventors have found that it is preferable to use cubic α-iron oxide abrasive grains as the abrasive grains having such conditions, and have reached the present invention.
第1図は、本発明の一実施例としての研磨フィルムの
部分拡大断面概略図である。この第1図に示されるよう
に、この実施例の研磨フィルムは、プラスチックフィル
ム1の上に、バインダー樹脂3A中に立方体状のα酸化鉄
(αFe2O3)砥粒2を分散させてなる研磨層を連続的に
形成したものである。FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional schematic view of a polishing film as one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the polishing film of this embodiment is obtained by dispersing cubic α-iron oxide (αFe 2 O 3 ) abrasive grains 2 in a binder resin 3A on a plastic film 1. The polishing layer is formed continuously.
第2図は、本発明の別の実施例としての研磨フィルム
の部分拡大断面概略図である。この第2図に示されるよ
うに、この実施例の研磨フィルムは、研磨層が不連続ま
たは島状にされている以外は、第1図の研磨フィルムと
同じである。すなわち、プラスチックフィルム1上に不
連続または島状に付与された研磨層は、バインダー樹脂
3B中に立方体状のα酸化鉄砥粒2が分散されてなってい
る。FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional schematic view of a polishing film as another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the polishing film of this embodiment is the same as the polishing film of FIG. 1 except that the polishing layer is discontinuous or island-shaped. That is, the polishing layer provided discontinuously or in an island shape on the plastic film 1
Cubic α-iron oxide abrasive grains 2 are dispersed in 3B.
第3図は、本発明のさらに別の実施例としての研磨フ
ィルムの部分拡大断面概略図である。この第3図に示さ
れるように、この実施例の研磨フィルムは、砥粒2がプ
ラスチックフィルム1上に単層で塗布されている以外
は、第1図の研磨フィルムと同じである。すなわち、プ
ラスチックフィルム1上に付与された研磨層は、バイン
ダー樹脂3Cにて単一の層をなすようにして塗布された立
方体状のα酸化鉄砥粒2を含んでいる。FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional schematic view of a polishing film as still another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the polishing film of this embodiment is the same as the polishing film of FIG. 1 except that the abrasive grains 2 are applied on the plastic film 1 in a single layer. That is, the polishing layer provided on the plastic film 1 includes the cubic α-iron oxide abrasive grains 2 applied in a single layer with the binder resin 3C.
これら実施例の研磨フィルムは、テープ、シート、デ
イスク状等任意の形に加工して使用できるものである。The polishing films of these examples can be processed into any shape such as a tape, a sheet, and a disk and used.
本発明の研磨フィルムにおいて、立方体状のα酸化鉄
砥粒として使用するのに適したものとしては、例えば、
バイエル社製α酸化鉄ER、粒径としては1μm〜0.1μ
mがある。In the polishing film of the present invention, as those suitable for use as cubic α-iron oxide abrasive grains, for example,
Bayer α-iron oxide ER, particle size 1μm ~ 0.1μ
m.
また、バインダー樹脂としては、熱可塑性および熱硬
化性樹脂が使用できる。熱可塑性樹脂としては、塩化ビ
ニル系樹脂、ポリエステル系樹脂、アルキット系ポリオ
レフィン系樹脂、純アクリル系樹脂、ニトロセルロース
系樹脂、ニトロセルロース−アクリル系樹脂、変形アク
リル系樹脂、ゴム系樹脂であるウレタンエラストマーニ
トリルゴム、シリコンゴム、エチレン酢ビゴム、フッ素
ゴム、その他の水溶性樹脂、エマルション系樹脂が使用
される。熱硬化性樹脂としては、ポリエステルまたはア
クリルポリオールウレタン系樹脂、塩素化ポリプロピレ
ン変性アクリルポリオールウレタン系樹脂、アクリル−
キレート硬化型樹脂、エポキシまたはエポキシペンダン
トアクリル樹脂およびアミンペンダントアクリル系樹
脂、ポリオルガノシロキサン系樹脂、各種UV硬化型樹
脂、ウレタン化油系樹脂、湿気硬化ポリウレタン系樹
脂、フッ素系樹脂等100℃以下で硬化反応が進行するも
のが適している。As the binder resin, thermoplastic and thermosetting resins can be used. The thermoplastic resin includes vinyl chloride resin, polyester resin, Alkit polyolefin resin, pure acrylic resin, nitrocellulose resin, nitrocellulose-acryl resin, deformed acrylic resin, and urethane elastomer which is a rubber resin. Nitrile rubber, silicone rubber, ethylene-vinyl acetate rubber, fluorine rubber, other water-soluble resins, and emulsion resins are used. As the thermosetting resin, polyester or acrylic polyol urethane-based resin, chlorinated polypropylene-modified acrylic polyol urethane-based resin, acrylic-
Chelate curable resin, epoxy or epoxy pendant acrylic resin and amine pendant acrylic resin, polyorganosiloxane resin, various UV curable resins, urethane oil resin, moisture curable polyurethane resin, fluorine resin, etc. Those in which the curing reaction proceeds are suitable.
基体であるプラスチックフィルムとしては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネートお
よびそれら表面処理したフィルム、ポリプロピレン発砲
ブチルゴム、発砲ネオプレン、発砲軟質ポリエチレン発
砲合成ゴム、その他合成紙、不織布、その他金属箔等が
用いられる。As the plastic film serving as the base, polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, and their surface-treated films, polypropylene foamed butyl rubber, foamed neoprene, foamed soft polyethylene foamed synthetic rubber, other synthetic papers, nonwoven fabrics, and other metal foils are used.
次に、本発明の具体的実験例について説明する。 Next, specific experimental examples of the present invention will be described.
具体的実験例 本実験例は、本発明による研磨フィルムを試験実験す
るため、研磨層のバインダー樹脂として熱硬化性樹脂を
使用した場合である。先ず、次の表に示すような組成の
塗工剤を準備する。Specific Experimental Example This experimental example is a case where a thermosetting resin was used as a binder resin of a polishing layer in order to perform a test experiment on a polishing film according to the present invention. First, a coating composition having the composition shown in the following table is prepared.
表 1 立方体状のα酸化鉄砥粒 100部 バインダー樹脂(VAGH) 15部 硬化剤(コロネートHL) 15部 溶剤(MEK/トルエン) 70部 200部 但し、数値は、重量部を示し、立方体状のα酸化鉄砥
粒の粒径は、d50=0.3μmである。Table 1 Cubic α-iron oxide abrasive grains 100 parts Binder resin (VAGH) 15 parts Hardener (Coronate HL) 15 parts Solvent (MEK / toluene) 70 parts 200 parts However, the numerical values indicate parts by weight and are cubic. The particle size of the α-iron oxide abrasive is d 50 = 0.3 μm.
表1の組成を有する塗工剤をグラビアコーター、リバ
ースロールコーター、ナイフコーター等で厚さ25μmの
ポリエチレンテレフタレートフィルム上に5〜12μmの
厚さに塗布し、溶剤を乾燥後、60℃にて48時間硬化し
て、本発明による研磨フィルムとした。この研磨フィル
ムの研磨層の表面を顕微鏡で拡大して見た図を、第4図
に示している。この第4図から明らかなように、研磨層
においてバイダー樹脂3中に分散している砥粒2は、形
状も粒度も比較的に均一である。このように、立方体状
酸化鉄は、電子顕微鏡写真からも明らかなように、粒度
分布が狭く、また、研磨フィルムの3次元表面粗さ測定
によって、その得られた研磨フィルムの表面粗さは、非
常に均一であることが確認された。A coating agent having the composition shown in Table 1 was applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm to a thickness of 5 to 12 μm using a gravure coater, a reverse roll coater, a knife coater, or the like. Time cured to give a polished film according to the invention. FIG. 4 shows an enlarged view of the surface of the polishing layer of the polishing film with a microscope. As is apparent from FIG. 4, the abrasive grains 2 dispersed in the binder resin 3 in the polishing layer are relatively uniform in shape and grain size. Thus, as is clear from the electron micrograph, the cubic iron oxide has a narrow particle size distribution, and by measuring the three-dimensional surface roughness of the polishing film, the surface roughness of the obtained polishing film is as follows: It was found to be very uniform.
比較例 前述の本発明による実施例に対する比較例として、立
方体状のα酸化鉄砥粒に代えて粒状のα酸化鉄砥粒(平
均粒径d50=0.3μm)を使用した以外、前述の実施例と
同様の組成の塗液を作製し、同様の基体上に同様の方法
にて研磨層を形成し、比較用の研磨フィルムとした。こ
の研磨フィルムの研磨層の表面を顕微鏡で拡大して見た
図を、第5図に示している。この第5図から明らかなよ
うに、研磨層においてバインダー樹脂3′中に分散して
いる砥粒2′は、形状が不均一で、また粒度も均一でな
い。このように、通常の粒状酸化鉄は、電子顕微鏡写真
からも明らかなように、粒度分布も広く、また、研磨フ
ィルムの3次元表面粗さ測定によって、その得られた研
磨フィルムの表面粗さも不均一であることが確認され
た。Comparative Example As a comparative example with respect to the above-described embodiment according to the present invention, the above-described embodiment was performed except that granular α-iron oxide abrasive grains (average particle diameter d 50 = 0.3 μm) were used instead of cubic α-iron oxide abrasive grains. A coating liquid having the same composition as in the example was prepared, and a polishing layer was formed on a similar substrate by a similar method to obtain a polishing film for comparison. FIG. 5 shows an enlarged view of the surface of the polishing layer of the polishing film with a microscope. As is clear from FIG. 5, the abrasive grains 2 'dispersed in the binder resin 3' in the polishing layer are not uniform in shape and grain size. Thus, ordinary granular iron oxide has a wide particle size distribution, as is clear from electron micrographs, and the three-dimensional surface roughness measurement of the polishing film shows that the obtained polishing film has a low surface roughness. The uniformity was confirmed.
以上の実施例と比較例の各研磨テープを用いて磁気ヘ
ッドを10秒間仕上げ研磨をした後、そのヘッド研磨面の
仕上げ面を光学顕微鏡で500倍観察した。その結果、比
較例の研磨テープによって研磨されたものにおいては、
ヘッド表面に多数の傷が生じていることが分かり、本発
明による実施例の研磨テープによって研磨されたものに
おいては、そのような傷の発生はなんら認められなかっ
た。また、本発明による実施例の研磨テープの方が、比
較例の研磨テープよりも、長時間の研磨作業に耐えうる
ものであることも確認された。The magnetic head was polished for 10 seconds using each of the polishing tapes of the above Examples and Comparative Examples, and the polished surface of the head was observed at 500 times with an optical microscope. As a result, in the one polished by the polishing tape of the comparative example,
It was found that a large number of scratches were formed on the head surface, and no such scratches were observed in the case where the head was polished with the polishing tape of the example according to the present invention. In addition, it was also confirmed that the polishing tape of the example according to the present invention can endure a longer polishing operation than the polishing tape of the comparative example.
次に、本発明によってバインダー樹脂として熱硬化性
のものを使用する場合と、熱可塑性のものを使用する場
合とで、そこに分散させる立方体状のα酸化鉄砥粒の砥
粒濃度の変化によって、形成された研磨フィルムの耐久
性等の諸特性がどのように変化するかについて実験して
みた結果について説明する。Next, in the case of using a thermosetting resin as the binder resin according to the present invention, and in the case of using a thermoplastic resin, the change in the abrasive grain concentration of the cubic α-iron oxide abrasive grains dispersed therein. The results of experiments on how various characteristics such as durability of the formed polishing film change will be described.
先ず、バインダー樹脂として熱硬化性樹脂であるVAGH
を使用し、立方体状のα酸化鉄α−Fe2O3の濃度を、1
0、20、30、40、50、60、70、80、90体積%とした9種
類の研磨フィルムを試作して、各研磨フィルムの破断応
力、破断伸度および耐久性を調べてみた結果を、表2に
まとめて示している。この表2に示す数値に基づいて、
砥粒濃度による破断応力の変化、砥粒濃度による破断伸
度の変化を示すグラフを、第6図に示している。第6図
において、曲線Aは、砥粒濃度による破断応力の変化を
示しており、曲線Bは、砥粒濃度による破断伸度の変化
を示している。これら表2および第6図の各グラフから
明らかなように、熱硬化型フィルムにおいては、酸化鉄
濃度の増加に伴い破断応力は増加し、50体積%付近で最
大値をとり再び減少する。一方、破断伸度は、酸化鉄濃
度の増加により数%の範囲で減少する。また、表2の
「耐久性」の欄に示す◎、○および×印は、これらの各
種砥粒濃度の異なる熱硬化型フィルムを圧力140g/cm2、
回転数200rpm、ワーク回転数125rpmでフェライトを5分
間研磨し塗膜の耐久性を検討した結果を表すもので、◎
印は、耐久性が非常に良好であったことを示し、○印
は、耐久性が良好であったことを示し、×印は、耐久性
が不良であったことを示す。この表2のこの欄から明ら
かなように、熱硬化型フィルムの耐久性は、砥粒濃度が
20体積%から70体積%の範囲で良く、40体積%から60体
積%で最も良好であることが認められた。First, VAGH which is a thermosetting resin as a binder resin
, The concentration of cubic α-iron oxide α-Fe 2 O 3 is adjusted to 1
Nine types of polishing films with 0, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, and 90% by volume were prototyped, and the results of examining the breaking stress, breaking elongation, and durability of each polishing film were determined. , And Table 2. Based on the numerical values shown in Table 2,
FIG. 6 is a graph showing a change in rupture stress depending on the abrasive grain concentration and a change in rupture elongation depending on the abrasive grain concentration. In FIG. 6, a curve A shows a change in rupture stress depending on the abrasive grain concentration, and a curve B shows a change in rupture elongation depending on the abrasive grain concentration. As is clear from these graphs in Table 2 and FIG. 6, in the thermosetting film, the rupture stress increases with an increase in the iron oxide concentration, reaches a maximum value near 50% by volume, and decreases again. On the other hand, the elongation at break decreases within a range of several% due to an increase in the iron oxide concentration. Further, in the column of “Durability” in Table 2, ○, お よ び, and × indicate that these thermosetting films having different abrasive particle concentrations were applied under a pressure of 140 g / cm 2 ,
It represents the result of examining the durability of the coating film by polishing the ferrite for 5 minutes at a rotation speed of 200 rpm and a work rotation speed of 125 rpm.
The mark indicates that the durability was very good, the mark ○ indicates that the durability was good, and the mark X indicates that the durability was poor. As is clear from this column of Table 2, the durability of the thermosetting film is determined by the concentration of abrasive grains.
A range of 20% to 70% by volume was good, with 40% to 60% being the best.
次に、バインダー樹脂として熱可塑性樹脂であるN-23
04を使用し、立方体状のα酸化鉄α−Fe2O3の濃度を、1
0、20、30、40、50、60、70、80、90体積%とした9種
類の研磨フィルムを試作して、各研磨フィルムの破断応
力、破断伸度および耐久性を調べてみた結果を、表3に
まとめて示している。この表3に示す数値に基づいて、
砥粒濃度による破断応力の変化、砥粒濃度による破断伸
度の変化を示すグラフを、第7図に示している。第7図
において、曲線Aは、砥粒濃度による破断応力の変化を
示しており、曲線Bは、砥粒濃度による破断伸度の変化
を示している。これら表2および第6図の各グラフから
明らかなように、熱可塑性フィルムにおいては、熱硬化
型フィルムと同様に、破断応力は、50体積%付近で最大
値を示している。但し、熱硬化型フィルムと比較し破断
応力は低いが、破断伸度は100倍近く大きな値を示して
いる。また、表3の「耐久性」の欄に示す◎、○および
×印は、前述した熱硬化型フィルムと同一の研磨条件
で、塗膜の耐久性を検討した結果を表すもので、同様
に、◎印は、耐久性が非常に良好であったことを示し、
○印は、耐久性が良好であったことを示し、×印は、耐
久性が不良であったことを示す。この表3のこの欄から
明らかなように、熱可塑性フィルムの耐久性は、砥粒濃
度が20体積%から80体積%の範囲で良く、50体積%から
60体積%で最も良好であることが認められた。 Next, N-23 which is a thermoplastic resin as a binder resin
04 using the concentration of cubic alpha iron oxide α-Fe 2 O 3, 1
Nine types of polishing films with 0, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, and 90% by volume were prototyped, and the results of examining the breaking stress, breaking elongation, and durability of each polishing film were determined. , And Table 3. Based on the numerical values shown in Table 3,
FIG. 7 is a graph showing a change in rupture stress depending on the abrasive grain concentration and a change in rupture elongation depending on the abrasive grain concentration. In FIG. 7, a curve A shows a change in rupture stress depending on the abrasive grain concentration, and a curve B shows a change in rupture elongation depending on the abrasive grain concentration. As is clear from the graphs in Table 2 and FIG. 6, in the case of the thermoplastic film, the breaking stress shows the maximum value at around 50% by volume, as in the case of the thermosetting film. Although the breaking stress is lower than that of the thermosetting film, the breaking elongation shows a value nearly 100 times larger. In addition, 、, お よ び, and × in the column of “Durability” in Table 3 represent the results of examining the durability of the coating film under the same polishing conditions as the thermosetting film described above. , ◎ mark indicates that the durability was very good,
A mark indicates that the durability was good, and a mark indicates that the durability was poor. As is clear from this column of Table 3, the durability of the thermoplastic film may be in the range of 20% by volume to 80% by volume, and 50% by volume.
The best results were found at 60% by volume.
発明の効果 本発明による研磨フィルムは、形状が均一で粒度分布
がシャープな立方体状のα酸化鉄砥粒を使用しているた
め、従来の粒状のα酸化鉄砥粒を使用した従来の研磨フ
ィルムに比較し、次のような効果が得られる。 Effect of the Invention Since the polishing film according to the present invention uses cubic α-iron oxide abrasive grains having a uniform shape and a sharp particle size distribution, a conventional polishing film using the conventional granular α-iron oxide abrasive grains The following effects can be obtained as compared with.
すなわち、立方体状のα酸化鉄砥粒は、1つ1つの粒
子形状が一定であり、且つ粒度分布もほぼ単分散である
ため、研磨フィルムの基体上の研磨層にてバインダー樹
脂中に分散され研磨層の表面に露出して研磨作用を果た
す場合において、研磨フィルムと比研磨物との間に不均
一な圧力差を生ずるようなことがなく、従って、被研磨
物表面にスクラッチのような傷や不均一な粗さのムラを
生ずることがなく、仕上げ面粗さを極めて精密に制御す
ることができる。このため、本発明の研磨フィルムは、
磁気ヘッド等の最終仕上げまたは金属ロールの磨き等に
適する。That is, since the cubic α-iron oxide abrasive grains have a uniform particle shape and a substantially monodispersed particle size distribution, they are dispersed in the binder resin in the polishing layer on the base of the polishing film. In the case where the polishing film is exposed to the surface of the polishing layer to perform a polishing action, there is no uneven pressure difference between the polishing film and the specific polishing object. Thus, the finished surface roughness can be controlled very precisely without causing unevenness in the roughness. Therefore, the polishing film of the present invention,
Suitable for final finishing of magnetic heads or polishing metal rolls.
また、本発明の研磨フィルムは、従来の粒状のα酸化
鉄砥粒を使用した研磨フィルムに比較して、短時間で所
望の表面粗さを得ることができ、耐久性も改善されてい
る。In addition, the polishing film of the present invention can obtain a desired surface roughness in a short time and has improved durability as compared with a polishing film using conventional granular α-iron oxide abrasive grains.
第1図は、本発明の一実施例としての研磨フィルムの部
分拡大断面概略図、第2図は、本発明の別の実施例とし
ての研磨フィルムの部分拡大断面概略図、第3図は、本
発明のさらに別の実施例としての研磨フィルムの部分拡
大断面概略図、第4図は、本発明による研磨フィルムの
研磨層の表面を顕微鏡にて拡大して見た図、第5図は、
従来の研磨フィルムの研磨層の表面を顕微鏡にて拡大し
て見た図、第6図は、表2に示す数値に基づくグラフを
示す図、第7図は、表3に示す数値に基づくグラフを示
す図である。 1……プラスチックフィルム、2……立方体状のα酸化
鉄砥粒、3A、3B、3C……バインダー樹脂。FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional schematic diagram of a polishing film as one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional schematic diagram of a polishing film as another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional schematic view of a polishing film as still another embodiment of the present invention, FIG. 4 is a diagram in which the surface of the polishing layer of the polishing film according to the present invention is enlarged by a microscope, and FIG.
FIG. 6 is an enlarged view of the surface of a polishing layer of a conventional polishing film with a microscope, FIG. 6 is a graph based on numerical values shown in Table 2, and FIG. 7 is a graph based on numerical values shown in Table 3. FIG. 1 ... Plastic film, 2 ... Cubic α iron oxide abrasive grains, 3A, 3B, 3C ... Binder resin.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−2874(JP,A) 特開 平1−109084(JP,A) 特開 昭63−57175(JP,A) 特開 昭49−78900(JP,A) 特開 昭54−79408(JP,A) 特開 平1−252366(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B24D 11/00 B24D 3/28 B24D 3/00 320 B24D 3/00 330 Continuation of the front page (56) References JP-A-64-2874 (JP, A) JP-A-1-109084 (JP, A) JP-A-63-57175 (JP, A) JP-A-49-78900 (JP) JP-A-54-79408 (JP, A) JP-A-1-252366 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B24D 11/00 B24D 3/28 B24D 3/00 320 B24D 3/00 330
Claims (3)
粒をバインダー樹脂中に分散させてなる研磨層を形成し
たことを特徴とする研磨フィルム。1. A polishing film comprising: a polishing layer formed by dispersing cubic α-iron oxide abrasive grains in a binder resin on a film substrate.
前記研磨層における前記立方体状のα酸化鉄砥粒の濃度
は、20体積%〜70体積%の範囲である請求項1記載の研
磨フィルム。2. The binder resin is thermosetting,
The polishing film according to claim 1, wherein the concentration of the cubic α-iron oxide abrasive grains in the polishing layer is in a range of 20% by volume to 70% by volume.
前記研磨層における前記立方体状のα酸化鉄砥粒の濃度
は、20体積%〜80体積%の範囲である請求項1記載の研
磨フィルム。3. The binder resin is thermoplastic,
2. The polishing film according to claim 1, wherein a concentration of the cubic α-iron oxide abrasive in the polishing layer is in a range of 20% by volume to 80% by volume.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20897989A JP2885428B2 (en) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | Polishing film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20897989A JP2885428B2 (en) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | Polishing film |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373275A JPH0373275A (en) | 1991-03-28 |
| JP2885428B2 true JP2885428B2 (en) | 1999-04-26 |
Family
ID=16565328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20897989A Expired - Lifetime JP2885428B2 (en) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | Polishing film |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2885428B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2017163565A1 (en) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | バンドー化学株式会社 | Polishing material |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP20897989A patent/JP2885428B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0373275A (en) | 1991-03-28 |
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