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JP2890789B2 - Manufacturing method of diaphragm - Google Patents
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JP2890789B2 - Manufacturing method of diaphragm - Google Patents

Manufacturing method of diaphragm

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JP2890789B2 JP27399390A JP27399390A JP2890789B2 JP 2890789 B2 JP2890789 B2 JP 2890789B2 JP 27399390 A JP27399390 A JP 27399390A JP 27399390 A JP27399390 A JP 27399390A JP 2890789 B2 JP2890789 B2 JP 2890789B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は音響機器などに使用される炭素質の振動板に
関し、詳しくはスピーカ,マイクロホン等に最適な特性
を有する振動板の製造方法に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carbonaceous diaphragm used for audio equipment and the like, and more particularly to a method for manufacturing a diaphragm having characteristics optimal for a speaker, a microphone, and the like. .

従来の技術 近年、音響機器はほとんどデジタル化され、音質の飛
躍的な向上が図られてきており、これ以来、スピーカに
おける振動仮に対する要求性能はますます厳しくなって
いる。このような振動板には、外力による変形が少なく
て音の歪みが小さい事、再生音域が広くて明瞭な音質を
出す事が求められており、そのためには、軽くてしかも
弾性率、剛性にすぐれている事が要求されている。この
事を具体的な物性値の条件としてまとめると、 ヤング率(E)が大きい事。
2. Description of the Related Art In recent years, audio equipment has almost been digitized, and the quality of sound has been dramatically improved. Since then, the required performance of a speaker for provisional vibration has become increasingly severe. Such a diaphragm is required to have a small deformation due to external force and a small sound distortion, and to have a wide reproduction sound range and a clear sound quality. Excellent things are required. To summarize this as a condition for specific physical property values, the Young's modulus (E) is large.

密度(ρ)が小さい事。The density (ρ) is small.

音速(音波の伝搬速度V)が大きい事。High sound velocity (sound propagation velocity V).

振動の内部損失(tanδ)が適当である事。Appropriate internal loss of vibration (tanδ).

などである。ただし、V,E,ρの間には の関係がある。もちろん、これらの条件以外に、加工の
容易性,はんだ付け性,錆びにくさ,熱や湿度などの外
部条件に対して安定である事なども大切である事は言う
までもない。
And so on. Where V, E, and ρ There is a relationship. It goes without saying that, in addition to these conditions, ease of processing, solderability, rust resistance, stability against external conditions such as heat and humidity are also important.

さて、このような振動板材料としては、従来、紙,プ
ラスチック,アルミニウム,チタニウム,マグネシウ
ム,ベリリウム,ボロン,シリカ等がその素材として用
いられてきた。これらは単独に、あるいはガラス繊維や
炭素繊維などとの複合体として、さらには金属合金など
として多用な形で使用されてきた。しかしながら、紙や
プラスチックはヤング率や密度、音速等の特性が振動板
として十分でなく、特に高周波数帯域での周波数特性は
著しく劣るものであって、これらの材料からツイータ等
の振動板として明瞭な音質を得ることは困難であった。
また、アルミニウム,マグネシウム,チタニウムなどは
音速はかなり優れているものの、振動の内部損失が小さ
いため、高周波共振現象などが生じ、これもまた高周波
用振動板としては不十分な特性しか得られていなかっ
た。一方、ボロン,ベリリウム等は上記の素材に比べ優
れた物性値を有しているため、振動板として良好な音質
を発揮することができる。しかしながら、ボロンやベリ
リウムは極めて高価でしかも著しく加工性が劣っている
という欠点を有している。
Conventionally, as such a diaphragm material, paper, plastic, aluminum, titanium, magnesium, beryllium, boron, silica and the like have been used. These have been used in various forms, either alone or as a composite with glass fiber or carbon fiber, or as a metal alloy. However, paper and plastic do not have sufficient properties such as Young's modulus, density, and sound velocity as a diaphragm, and the frequency characteristics particularly in the high frequency band are extremely poor, and these materials are clearly used as diaphragms such as tweeters. It was difficult to obtain a good sound quality.
Although aluminum, magnesium, titanium and the like have a very high sound velocity, the internal loss of vibration is small, so that a high-frequency resonance phenomenon occurs, which also has insufficient characteristics as a high-frequency diaphragm. Was. On the other hand, boron, beryllium, and the like have excellent physical property values as compared with the above-mentioned materials, and can exhibit good sound quality as a diaphragm. However, boron and beryllium have the disadvantage that they are extremely expensive and have extremely poor workability.

以上述べたような従来の振動板材料のもつ欠点を克服
し、すぐれた高周波特性を有し、かつ良質の音色の再現
を目ざして、炭素材料を用いた振動板の開発が行われて
いる。これは、炭素および黒鉛(グラファイト)のもつ
優れた物性値を生かして、これを振動板として使用する
ものである。このような手法には、 (1)黒鉛粉末と高分子樹脂とから成る複合型。
A diaphragm using a carbon material has been developed with the aim of overcoming the above-mentioned drawbacks of the conventional diaphragm material, having excellent high-frequency characteristics, and reproducing a high-quality tone. This utilizes the excellent physical properties of carbon and graphite (graphite) and uses it as a diaphragm. Such techniques include: (1) a composite type comprising graphite powder and a polymer resin.

(2)黒鉛粉末と高分子樹脂とから成る複合材をさらに
焼結した黒鉛/炭素複合型。
(2) A graphite / carbon composite type in which a composite material composed of graphite powder and a polymer resin is further sintered.

(3)高分子フィルムを単独で炭化・黒鉛化する方法。(3) A method of carbonizing and graphitizing a polymer film alone.

などがある。and so on.

これらのうち、(1)の方法の代表的なものとして、
ポリ塩化ビニル樹脂をマトリックスとして、これに黒鉛
粉末を複合させた振動板がある。これは優れた性質を有
する振動板として知られているが、湿度,温度特性が劣
り、30℃以上ではその振動特性は著しく劣化してしま
う。
Among these, as a representative of the method (1),
There is a diaphragm in which a polyvinyl chloride resin is used as a matrix and a graphite powder is combined with the matrix. Although this is known as a diaphragm having excellent properties, its humidity and temperature characteristics are inferior, and its vibration characteristics are significantly deteriorated at 30 ° C. or higher.

(2)の方法としては、原油分解ピッチ液晶成分に黒
鉛粉末を混合させ、しかる後に熱処理し炭化する方法
や、黒鉛粉末にこれを結合する炭化バインダーの原料と
して熱硬化性樹脂のモノマーまたは、初期重合物と加熱
時に分解して相互に反応して架橋硬化する官能基を有す
る熱可塑性樹脂を用いて熱処理し炭化する方法などが知
られている。これらの方法は有機材料としての炭素収率
を高めて熱処理時における収縮、変形を防止することを
目的として開発されたものであって、優れた特性の振動
板を得ることができる。しかし、これらは製造工程が複
雑であるため、工業的な量産には著しく不利なものであ
った。さらにこの方法によって得られた振動板は、従来
にない極めて優れた特性を有しているとはいうものの、
その特性は、現在最高特性であると言われているベリリ
ウムよりはわずかに劣り、また黒鉛単結晶の理論弾性率
1020GPaには、はるかに及ばないものであった。
As the method (2), a graphite powder is mixed with a crude oil cracked pitch liquid crystal component and then heat-treated and carbonized, or a thermosetting resin monomer or an initial material is used as a raw material of a carbonized binder for binding the graphite powder to the graphite powder. There is known a method of carbonizing by heat treatment using a thermoplastic resin having a functional group which decomposes upon heating with a polymer and reacts with each other to crosslink and cure. These methods have been developed for the purpose of increasing the carbon yield as an organic material to prevent shrinkage and deformation during heat treatment, and can provide a diaphragm having excellent characteristics. However, these are extremely disadvantageous for industrial mass production due to the complicated manufacturing process. Furthermore, although the diaphragm obtained by this method has extremely excellent characteristics not found in the past,
Its properties are slightly inferior to beryllium, which is currently said to be the best, and the theoretical elastic modulus of graphite single crystals
That was far below 1020 GPa.

(3)の方法としては、いくつかの高分子フィルムが
検討されている。しかし、いずれも難黒鉛化材料である
ため、当初予想したほどの特性は得られず、しかも用い
られたプラスチック材の炭素収率が低いため、熱処理時
の寸法収縮が大きく、これにより、変形,ひび割れ等が
しばしば生じてしまうという欠点があった。
As the method (3), several polymer films have been studied. However, since all of them are non-graphitizable materials, the properties as expected at first cannot be obtained, and the carbon yield of the plastic material used is low, so that the dimensional shrinkage during heat treatment is large. There is a drawback that cracks and the like often occur.

そこで本発明者らは難黒鉛化材料に対し、易黒鉛化材
料となる高分子材料に着目して検討を重ねた結果、400
μm以下の厚さを有するポリオキサジアゾール,ポリベ
ンゾチアゾール,ポリベンゾビスチアゾール,ポリベン
ゾオキサゾール,ポリベンゾビスオキサゾール,芳香族
ポリイミド,芳香族ポリアミド,ポリフェニレンベンゾ
イミタゾール,ポリフェニレンベンゾビスイミタゾー
ル,ポリチアゾール,ポリパラフェニレンビニレンの高
分子フィルムが特定の温度で熱処理されるとき、従来よ
り知られているどのような高分子材料よりも容易にグラ
ファイト化率の高いグラファイトを得ることができるこ
とを確認した。このことによって、優れた特性を有する
炭素質およびグラファイト質の振動板を得ることかで
き、しかも短時間で製造できるということが明らかにな
ってきた。
Therefore, the present inventors have repeatedly studied the non-graphitizable material by focusing on a polymer material that is an easily graphitizable material.
Polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, aromatic polyimide, aromatic polyamide, polyphenylene benzoimidazole, polyphenylene benzobisimidazole having a thickness of μm or less When a polymer film of, polythiazole, and polyparaphenylene vinylene is heat-treated at a specific temperature, it is possible to obtain graphite having a higher graphitization ratio more easily than any conventionally known polymer material. confirmed. As a result, it has become clear that carbonaceous and graphite-based diaphragms having excellent properties can be obtained and that they can be manufactured in a short time.

発明が解決しようとする課題 しかしなから、前述した特殊な高分子フィルムによ
り、炭素質およびグラファイト質の振動板を得る方法は
容易で非常に優れた方法であるが、この方法にもその後
いろいろな検討を加えた結果、次のような問題点がある
ことが明らかになった。
Problems to be Solved by the Invention However, a method of obtaining a carbonaceous and graphite-based diaphragm using the special polymer film described above is an easy and very excellent method. As a result of the examination, it became clear that there were the following problems.

その問題点とは、第一に、高分子フィルムを熱処理す
ることによって生じる歪み、あるいは表面の不均一性で
ある。この歪みや表面の不均一性は、熱処理によって得
られる優れた特性を悪化させるだけでなく、外観を損な
わせる。また、歪みが大きいものになると、振動板の表
面が発泡し、さらには破壊に至るものもある。
The first problem is distortion caused by heat treatment of the polymer film or unevenness of the surface. This distortion and surface non-uniformity not only degrade the excellent properties obtained by the heat treatment, but also impair the appearance. In addition, when the distortion becomes large, the surface of the diaphragm foams, and in some cases, it is broken.

またその問題点の第二は高分子フィルムの熱処理には
1600℃以上の、さらに好ましくは2500℃以上の高温が必
要であるため、振動板の価格が高価になると言う点であ
る。
The second problem is that the heat treatment of polymer film
Since a high temperature of 1600 ° C. or more, more preferably 2500 ° C. or more, is required, the price of the diaphragm becomes high.

本発明は、このような従来の振動板の持つ問題点を改
良するもので、非常に簡単で量産性に優れ、しかも従来
のどのような振動板よりも優れた特性を有する炭素質お
よびグラファイト質の振動板の製造方法を安価に提供す
ることを目的とするものである。
The present invention solves such problems of the conventional diaphragm, and is very simple and excellent in mass productivity, and furthermore, has a carbonaceous and graphite material having characteristics superior to any conventional diaphragm. It is an object of the present invention to provide an inexpensive method for manufacturing a diaphragm.

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明の振動板の製造方
法は、複数枚の高分子フィルムを積層し、これらを真空
中または不活性ガス中において1600℃以上の温度範囲で
のみ0.1kg/cm2から10kg/cm2の圧力を印加しなから熱処
理し、その後、複数枚の高分子フィルムを一枚毎に剥離
して振動板を得るようにしたものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, a method of manufacturing a diaphragm of the present invention is a method of laminating a plurality of polymer films, these are heated at a temperature of 1600 ° C. or more in a vacuum or an inert gas. the pressure of 10 kg / cm 2 and heat treated from the application Shinano from 0.1 kg / cm 2 only to the extent, then, is obtained so as to obtain a diaphragm separating the plurality of polymer film one by one.

作用 上記製造方法によれば、一度に優れた特性を有する大
量の高分子フィルムよりなる振動板の製造が可能となる
ため、従来の製造方法に比べ、非常に安価な製造が可能
となるものである。
Action According to the above-described production method, it becomes possible to produce a diaphragm made of a large amount of polymer film having excellent properties at one time, and therefore, it becomes possible to produce a very inexpensive production compared to the conventional production method. is there.

実施例 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。Examples Hereinafter, examples of the present invention will be described in detail.

本発明者らは、理想の炭素質およびグラファイト質の
振動板を得る目的で、高分子フィルムを複数枚積層し、
その炭化,グラファイト化を試みた。その結果、1600℃
以上の温度範囲でのみ圧力を印加することにより、室温
において一枚毎に剥離が可能であることを見い出した。
また、この時に印加する圧力は高分子フィルムの積層枚
数および厚さに密接に関係していることが明らかになっ
た。
The present inventors, for the purpose of obtaining an ideal carbonaceous and graphite-based diaphragm, laminated a plurality of polymer films,
The carbonization and graphitization were attempted. As a result, 1600 ° C
By applying pressure only in the above temperature range, it has been found that peeling can be performed one by one at room temperature.
It was also found that the pressure applied at this time was closely related to the number and thickness of the polymer films laminated.

第1表は、例として50μmの厚さのポリピロメリット
イミドよりなる高分子フィルムを複数枚積層し、これら
を2000℃以上においてのみ圧力を印加しながら2900℃で
熱処理を行い、その圧力を変えたときの音速値を示した
ものである。
Table 1 shows that, as an example, a plurality of polymer films made of polypyromellitimide having a thickness of 50 μm are laminated, and these are heat-treated at 2900 ° C. while applying pressure only at 2000 ° C. or higher, and the pressure is changed. It shows the sound speed value when the sound is turned on.

第1表から明らかなように、高分子フィルムの積層枚
数が多くなる程、最適な圧力値が大きくなることがわか
る。また、高分子フィルムの積層枚数が500枚の時の最
適圧力は200kg/cm2であり、以後、枚数を増やした場合
でも、最適圧力は200kg/cm2であった。また、反対に枚
数が1枚の時の最適圧力は0.1kg/cm2であり、したがっ
て、この最適圧力には特定の範囲があることがわかっ
た。
As is evident from Table 1, the optimum pressure value increases as the number of polymer film layers increases. The optimum pressure when the number of laminated polymer films was 500 was 200 kg / cm 2 , and the optimum pressure was 200 kg / cm 2 even when the number of polymer films was increased thereafter. On the other hand, when the number of sheets is one, the optimum pressure is 0.1 kg / cm 2 , and therefore, it has been found that this optimum pressure has a specific range.

第2表は、例として各種類の厚さのポリピロメリット
イミドよりなる高分子フィルムを10枚積層し、これらを
1800℃以上においてのみ圧力を印加しながら2900℃で熱
処理を行ったときの音速値を示したものである。
Table 2 shows an example of laminating 10 polymer films made of polypyromellitimide of various thicknesses.
It shows the sound velocity value when heat treatment is performed at 2900 ° C. while applying pressure only at 1800 ° C. or higher.

第2表から明らかなように、高分子フィルムの厚さが
増すにつれ、最適な圧力値が大きくなることがわかる。
さらに原料である高分子フィルムの厚さが薄い程、音速
特性が良くなっていくこともわかる。原料である高分子
フィルムは薄ければ薄い程、良い特性を示すが、取扱い
性、振動板としての強度、耐久性を考慮すると、好まし
くは厚さ12.5〜75μmの間が最適である。
As is apparent from Table 2, the optimum pressure value increases as the thickness of the polymer film increases.
Further, it can be seen that the sound velocity characteristics are improved as the thickness of the polymer film as the raw material is reduced. The thinner the polymer film as a raw material, the better the properties are. However, in consideration of handleability, strength as a diaphragm, and durability, the thickness is preferably 12.5 to 75 μm.

また本発明に使用される高分子フィルムは、400μm
以下の厚さを有するポリオキサジアゾール,ポリベンゾ
チアゾール,ポリベンゾビスチアゾール,ポリベンゾオ
キサゾール,ポリベンゾビスオキサゾール,芳香族ポリ
イミド,芳香族ポリアミド,ポリフェニレンベンゾイミ
タゾール,ポリフェニレンベンゾビスイミタゾール,ポ
リチアゾール,ポリパラフェニレンビニレンのうちから
選択される。ここで各種芳香族ポリイミドとは下記の一
般式で示されるポリイミドである。
The polymer film used in the present invention is 400 μm
Polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, aromatic polyimide, aromatic polyamide, polyphenylene benzoimidazole, polyphenylene benzobisimidazole having the following thickness: It is selected from polythiazole and polyparaphenylenevinylene. Here, various aromatic polyimides are polyimides represented by the following general formula.

ただし、R1 R2 である。 Where R 1 is R 2 It is.

また、各種芳香族ポリアミドとは下記の一般式で示さ
れるポリアミドである。
The various aromatic polyamides are polyamides represented by the following general formula.

ただし、R3R4である。 Where R 3 is R 4 It is.

以下に具体的な実施例によって本発明を説明するが、
本発明がこれらに限定されるものではないことは言うま
でもない。
Hereinafter, the present invention will be described by specific examples,
It goes without saying that the present invention is not limited to these.

(実施例1) 25μmの厚さを有するデュボン社製のポリイミドフィ
ルム(商品名カプトンHフィルム)を100枚積層したも
のをグラファイト板にはさんで、窒素ガス中において、
毎分5℃の速度で昇温させ、1000℃で1時間熱処理し
た。こうして得られた熱処理フィルムを黒鉛基板でサン
ドイッチし、アルゴンガスの気流中で室温より毎分10℃
の速度で昇温させ、そして3000℃で1時間処理し、毎分
20℃の速度で降温させた。その際、2500℃以上でのみ10
kg/cm2の圧力の印加を行った。そして室温まで冷却した
後、試料を取り出し、100枚を一度に直径27mmに打ち抜
き、一枚毎に剥離した。その特性は、音速17.8km/sec、
内部損失0.17であった。
(Example 1) A laminate of 100 polyimide films (trade name: Kapton H film) manufactured by Dubon Co. having a thickness of 25 µm is sandwiched between graphite plates, and in a nitrogen gas,
The temperature was raised at a rate of 5 ° C. per minute, and heat treatment was performed at 1000 ° C. for 1 hour. The heat-treated film thus obtained is sandwiched between graphite substrates, and is heated at a rate of 10 ° C./min.
And heat at 3000 ° C. for 1 hour, every minute
The temperature was lowered at a rate of 20 ° C. At that time, only at 2500 ℃ or higher
A pressure of kg / cm 2 was applied. After cooling to room temperature, the samples were taken out, 100 sheets were punched at a time to a diameter of 27 mm, and peeled off one by one. Its characteristics are sound speed 17.8km / sec,
The internal loss was 0.17.

(実施例2) 75μmの厚さを有するデュポン社製のポリイミドフィ
ルム(商品名カプトンHフィルム)10枚を直径90mmにカ
ットし、圧力を1kg/cm2として実施例1と同様の熱処理
を行ったところ、表面の所々にしわがみられ、音速値は
3km/secという低い値であった。そこで、圧力を10kg/cm
2に変えて同様の熱処理を行ったところ、表面性が著し
く向上し、音速は15.4km/secであった。
Example 2 Ten polyimide films (Kapton H film, manufactured by DuPont) having a thickness of 75 μm were cut to a diameter of 90 mm, and the same heat treatment as in Example 1 was performed at a pressure of 1 kg / cm 2 . However, wrinkles are seen in various places on the surface, and the sound velocity value is
The value was as low as 3 km / sec. Therefore, the pressure is 10kg / cm
When the same heat treatment was performed in place of 2, the surface properties were remarkably improved, and the sound speed was 15.4 km / sec.

なお、上記実施例においては、熱処理を窒素ガス,ア
ルゴンガス等の不活性ガス中において行うものについて
説明したが、真空中で熱処理を行ってもよいものであ
る。
In the above embodiment, the heat treatment is performed in an inert gas such as a nitrogen gas or an argon gas. However, the heat treatment may be performed in a vacuum.

発明の効果 上記実施例の説明から明らかなように、本発明の振動
板の製造方法は、複数枚の高分子フィルムを積層し、こ
れらを真空中または不活性ガス中において1600℃以上の
温度範囲でのみ0.1kg/cm2から10kg/cm2の圧力を印加し
ながら熱処理し、その後、複数枚の高分子フィルムを一
枚毎に剥離して振動板を得るようにしているため、従来
の方法によって作成された振動板よりもはるかに優れた
特性を有する高分子フィルムよりなる振動板を一度に大
量に製造することができ、かつコスト的にも安価にして
量産化を行うことができるもので、この製造方法によっ
て得られた振動板はスピーカ,マイクロホン等の音響機
器に最適となるものである。
Advantages of the Invention As is clear from the description of the above embodiment, the method for manufacturing a diaphragm according to the present invention comprises stacking a plurality of polymer films, and lining them in a vacuum or in an inert gas at a temperature range of 1600 ° C. or more. the pressure of 10 kg / cm 2 while heat treatment applied from 0.1 kg / cm 2 only, then, since to obtain a diaphragm separating the plurality of polymer film one by one, traditional method A diaphragm made of a polymer film with properties far superior to those made by a diaphragm can be mass-produced at a time, and it can be mass-produced at a low cost. The diaphragm obtained by this manufacturing method is optimal for audio equipment such as a speaker and a microphone.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 睦明 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番 1号 松下技研株式会社内 (72)発明者 渡辺 和廣 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番 1号 松下技研株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H04R 7/00 H04R 31/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Mutsumi Murakami, Inventor 3-10-1, Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki, Kanagawa Prefecture Inside Matsushita Giken Co., Ltd. (72) Inventor Kazuhiro Watanabe 3 Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa No. 10-1 Matsushita Giken Co., Ltd. (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H04R 7/00 H04R 31/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数枚の高分子フィルムを積層し、これら
を真空中または不活性ガス中において1600℃以上の温度
範囲でのみ0.1kg/cm2から10kg/cm2の圧力を印加しなが
ら熱処理し、その後、複数枚の高分子フィルムを一枚毎
に剥離して振動板を得るようにしたことを特徴とする振
動板の製造方法。
1. A stacking a plurality of polymer films, a heat treatment while applying a pressure from 0.1 kg / cm 2 for 10 kg / cm 2 only these in a temperature range above 1600 ° C. In or in an inert gas vacuo Then, a diaphragm is obtained by peeling a plurality of polymer films one by one to obtain a diaphragm.
【請求項2】高分子フィルムが、400μm以下の厚さを
有するポリオキサジアゾール,ポリベンゾチアゾール,
ポリベンゾビスチアゾール,ポリベンゾオキサゾール,
ポリベンゾビスオキサゾール,芳香族ポリイミド,芳香
族ポリアミド,ポリフェニレンベンゾイミタゾール,ポ
リフェニレンベンゾビスイミタゾール,ポリチアゾー
ル,ポリパラフェニレンビニレンのうちから選ばれた少
なくとも一種類である請求項1記載の振動板の製造方
法。
2. A polymer film having a thickness of 400 μm or less, such as polyoxadiazole, polybenzothiazole,
Polybenzobisthiazole, polybenzoxazole,
2. The vibration according to claim 1, wherein the vibration is at least one selected from polybenzobisoxazole, aromatic polyimide, aromatic polyamide, polyphenylene benzoimidazole, polyphenylene benzobisimidazole, polythiazole, and polyparaphenylene vinylene. Plate manufacturing method.
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