JP2914296B2 - Seal structure - Google Patents
Seal structureInfo
- Publication number
- JP2914296B2 JP2914296B2 JP12504596A JP12504596A JP2914296B2 JP 2914296 B2 JP2914296 B2 JP 2914296B2 JP 12504596 A JP12504596 A JP 12504596A JP 12504596 A JP12504596 A JP 12504596A JP 2914296 B2 JP2914296 B2 JP 2914296B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic body
- seal structure
- fixing groove
- sealing
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、シール構造に関
し、特に平滑な対向する面の間に弾性体を嵌合させてシ
ールするシール構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a seal structure, and more particularly, to a seal structure in which an elastic body is fitted between smooth and opposing surfaces for sealing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シール部のシール性を確認することは、
減圧して使用する装置、例えばスパッタ，減圧ＣＶＤ装
置等において重要な課題である。また、配管においても
シール性が確実に行われていないと、大気の巻き込み，
配管からの漏れ等の問題を起こすこととなる。2. Description of the Related Art To check the sealing performance of a seal portion,
This is an important issue in an apparatus used under reduced pressure, for example, a sputtering apparatus and a reduced pressure CVD apparatus. Also, if the pipes are not properly sealed, the entrapment of air and
This will cause problems such as leakage from the piping.
【０００３】この点を解決するものとして実開昭６３−
１２６５６６号に示すようなものがある。これは、外筒
内に摺動可能にセットされているプランジャーを往復摺
動させることで、液体を所要量吸引し吐出するように構
成され、かつ上記外筒の内部には液漏れを防止するため
のシール材が介設されたポンプ装置において、プランジ
ャーの一端に圧電素子を取り付け、圧電素子によりシー
ル材のシール状態を判別するようにしたポンプ装置のシ
ール構造を意図したものである。In order to solve this problem, Japanese Utility Model Application Laid-Open No.
No. 126566 is known. This is configured so that a required amount of liquid is sucked and discharged by reciprocatingly sliding a plunger set slidably in the outer cylinder, and preventing liquid leakage inside the outer cylinder. The present invention is intended to provide a pump device in which a sealing element is provided and a piezoelectric element is attached to one end of a plunger, and the sealing state of the sealing material is determined by the piezoelectric element.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例は、シール性の確認をプランジャーの往復運動
を用いて間接的に測定するため、動作時のみしかシール
性が確認できないという問題がある。However, the conventional example described above has a problem that the sealing property can be confirmed only during operation because the sealing property is indirectly measured using the reciprocating motion of the plunger. .
【０００５】本発明の目的は、動作時及び停止時のシー
ル性を確認できるようにしたシール構造を提供すること
にある。It is an object of the present invention to provide a seal structure capable of confirming a sealing property at the time of operation and at the time of stop.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るシール構造は、圧力センサを有し、平
滑な対向する２つの面間に弾性体を介在させて対向面間
をシールするシール構造であって、前記平滑な面は、開
放，密閉が繰り返されるシール部に設けられたものであ
り、圧力センサは前記平滑な対向する２つの面間に介在
した前記弾性体に加わる圧力を測定するものである。In order to achieve the above object, a seal structure according to the present invention has a pressure sensor, and seals between opposing surfaces by interposing an elastic body between two opposing smooth surfaces. The smooth surface is open.
It is provided in the seal part where the release and sealing are repeated.
And the pressure sensor is interposed between the two opposing smooth surfaces.
The pressure applied to the elastic body is measured.
【０００７】また前記平滑な面の一方に固定溝を刻設
し、該固定溝の底部に前記弾性体の反発力を受けて歪む
支持部を設け、該支持部の歪みを前記圧力センサで測定
するようにしたものである。 [0007] A fixing groove is engraved on one of the smooth surfaces.
Then, the bottom of the fixing groove is distorted by the repulsive force of the elastic body.
Providing a support and measuring the distortion of the support with the pressure sensor
It is something to do.
【０００８】また前記支持部は、前記固定溝の底部側に
溝を設けて、前記弾性体の反発力により歪む構造とした
ものである。 [0008] Further, the support portion is provided on a bottom side of the fixing groove.
By providing a groove, it was configured to be distorted by the repulsive force of the elastic body
Things.
【０００９】[0009]
【作用】本発明によるシール部は弾性体によってシール
される部分に圧力センサを設け、弾性体の反発力を直接
感知することによりシールを確認する。In the seal portion according to the present invention, a pressure sensor is provided at a portion to be sealed by the elastic body, and the seal is confirmed by directly sensing the repulsive force of the elastic body.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】次に本発明の一実施形態について
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に
係るシール構造を縦型減圧ＣＶＤ装置に適用した場合を
示す断面図である。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a case where a seal structure according to an embodiment of the present invention is applied to a vertical reduced pressure CVD apparatus.
【００１１】図１において、本発明の実施形態に係るシ
ール構造を適用した縦型減圧ＣＶＤ装置は、内外２重に
配列した外炉芯管１及び内炉芯管２と、内炉芯管２内に
配置したウエハ４の支持用ウエハ保持ボート３と、外炉
芯管１の外周に取り付けたヒータ５と、反応ガスを炉芯
管１，２内に供給する反応ガス供給管６と、マニホール
ド７と、ハッチ８と、エレベータ９と、エレベータ用ボ
ールねじ１０と、モータ１１と、Ｏリング１２と、歪ゲ
ージ１３と、リード線１４と、真空センサ１５と、メイ
ンバルブ１６と、サブバルブ１７と、自動圧力調整機１
８と、真空ポンプ１９とを有している。Referring to FIG. 1, a vertical reduced pressure CVD apparatus to which a seal structure according to an embodiment of the present invention is applied includes an inner furnace core tube 1 and an inner furnace core tube 2 which are arranged in an inner and outer doubly manner. A wafer holding boat 3 for supporting a wafer 4 disposed therein, a heater 5 attached to the outer periphery of the outer furnace core tube 1, a reaction gas supply pipe 6 for supplying a reaction gas into the furnace core tubes 1 and 2, and a manifold. 7, a hatch 8, an elevator 9, an elevator ball screw 10, a motor 11, an O-ring 12, a strain gauge 13, a lead wire 14, a vacuum sensor 15, a main valve 16, a sub-valve 17, , Automatic pressure regulator 1
8 and a vacuum pump 19.
【００１２】図２は、図１に示したシール構造の拡大図
である。図２に示したセンサ構造は、平滑な面がマニホ
ールド７とハッチ８に向合わせに形成されており、ハッ
チ８に固定用溝（支持部）８ａが刻設され、ハッチ８に
刻設されたＯリング１２の固定用溝８ａの反対面から溝
８ｂを切って支持部としての固定溝８ａの底部がＯリン
グ１２の反発力を受けて歪むようになっており、その歪
を測定する歪ゲージ１３が溝８ｂに設けられた構造とな
っている。図３は、図１のハッチ８をＡ方向から見たと
きの矢視図である。歪ゲージ１３はハッチ８の下面に複
数個設け、歪を測定することにより、ハッチ８の傾き，
Ｏリング１２によるシール状態を確認するようになって
いる。FIG. 2 is an enlarged view of the seal structure shown in FIG. In the sensor structure shown in FIG. 2, a smooth surface is formed to face the manifold 7 and the hatch 8, and a fixing groove (support portion) 8 a is formed in the hatch 8, and the hatch 8 is formed. A groove 8b is cut from the surface opposite to the fixing groove 8a of the O-ring 12 so that the bottom of the fixing groove 8a as a supporting portion is distorted by the repulsive force of the O-ring 12, and a strain gauge 13 for measuring the distortion. Are provided in the groove 8b. FIG. 3 is an arrow view when the hatch 8 of FIG. 1 is viewed from the direction A. A plurality of strain gauges 13 are provided on the lower surface of the hatch 8, and by measuring the strain, the inclination of the hatch 8
The state of sealing by the O-ring 12 is checked.
【００１３】次に図１の動作について説明する。ウエハ
４をウエハ保持ボート３に移載するために内炉芯管２の
下方にハッチ８を、エレベータ９及びエレベータ用ボー
ルネジ１０並びにモータ１１により降下される。Next, the operation of FIG. 1 will be described. The hatch 8 is lowered by the elevator 9, the elevator ball screw 10, and the motor 11 below the inner furnace core tube 2 to transfer the wafer 4 to the wafer holding boat 3.
【００１４】ウエハ保持ボート３上にウエハ４を移載し
た後、エレベータ９により内炉芯管２内を上昇する。モ
ータ１１によりエレベータ９が予め設定されている距離
を移動してハッチ８に埋め込まれたＯリング１２とマニ
ホールド７が密着すると、歪ゲージ１３が変形し圧力を
感知する。After transferring the wafers 4 onto the wafer holding boat 3, the elevator 9 raises the inside of the inner furnace core tube 2. When the elevator 9 is moved by a predetermined distance by the motor 11 and the O-ring 12 embedded in the hatch 8 is brought into close contact with the manifold 7, the strain gauge 13 is deformed and senses pressure.
【００１５】圧力が全てのポイントにて予め定めておい
た規定圧に達したとき、炉心管１，２内を真空ポンプ１
９により真空引きを開始する。更に真空時、常に歪ゲー
ジ１３の歪を監視し、規定値以下になった場合、大気の
混入を防止するため、警報を発し、装置を安全サイドに
移行させる。When the pressure reaches a predetermined pressure at all points, a vacuum pump 1
9 starts the evacuation. Further, during vacuum, the strain gauge 13 is constantly monitored for strain, and when the strain gauge 13 falls below a specified value, an alarm is issued to prevent the contamination of the atmosphere and the apparatus is shifted to the safe side.
【００１６】このようにすることにより、ウエハ４への
パーティクルの付着を防止することができる。尚、シー
ル性の精度を向上させるために歪ゲージ１３の個数を増
加させれば良いことは明白である。By doing so, it is possible to prevent particles from adhering to the wafer 4. It is clear that the number of strain gauges 13 should be increased in order to improve the sealing accuracy.
【００１７】以上の説明は減圧ＣＶＤ装置で行ったが、
本発明は減圧ＣＶＤ装置に限るものではなく、図４の配
管部のシール部、或いは図５の容器密閉のシール部等に
適用してもよい。Although the above description has been made with a low pressure CVD apparatus,
The present invention is not limited to the low-pressure CVD apparatus, but may be applied to a sealing portion of a piping portion in FIG. 4 or a sealing portion of a container hermetically sealed in FIG.
【００１８】図４に示す配管部のシール部は、配管のフ
ランジ２３ａ，２３ｂの対向面に平滑な面が設けられ、
一方のフランジ２３ａに弾性体２０を受入れる固定用溝
（支持部）２３ｃ設け、かつ溝２３ａの反対側に溝２３
ｄに設けて固定用溝２３ａの底部が弾性体２０の反発力
を受けて歪むようになっており、その歪みを歪ゲージ２
１で測定するようになっている。２２は、歪ゲージ２１
からの信号を取り出すリード線である。In the seal portion of the pipe section shown in FIG. 4, a smooth surface is provided on the face opposite to the flanges 23a and 23b of the pipe.
A fixing groove (support portion) 23c for receiving the elastic body 20 is provided on one flange 23a, and a groove 23 is formed on the opposite side of the groove 23a.
d, the bottom of the fixing groove 23a is distorted by the repulsive force of the elastic body 20.
1 is used for measurement. 22 is a strain gauge 21
This is the lead wire for taking out the signal from.
【００１９】図５に示す密閉容器のシール部は、容器本
体２４ａと蓋部２４ｂの対向面に平滑な面が設けられ、
容器本体２４ａに弾性体２０を受入れる固定用溝（支持
部）２４ｃ設け、かつ溝２４ａの反対側に溝２４ｄに設
けて固定用溝２４ａの底部が弾性体２０の反発力を受け
て歪むようになっており、その歪みを歪ゲージ２１で測
定するようになっている。２２は、歪ゲージ２１からの
信号を取り出すリード線である。The seal portion of the closed container shown in FIG. 5 has a smooth surface provided on the opposing surface of the container body 24a and the lid portion 24b.
A fixing groove (support portion) 24c for receiving the elastic body 20 is provided in the container main body 24a, and a groove 24d is provided on the opposite side of the groove 24a so that the bottom of the fixing groove 24a is distorted by the repulsive force of the elastic body 20. The strain is measured by a strain gauge 21. Reference numeral 22 denotes a lead wire for extracting a signal from the strain gauge 21.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、直
接弾性体に加わる圧力を測定し、シール部として必要な
弾性体の反発力を感知することにより、シール状態を確
認することができる。As described above, according to the present invention, the sealing state can be confirmed by directly measuring the pressure applied to the elastic body and sensing the repulsive force of the elastic body required as a seal portion. .
【００２１】また本発明のシール構造を減圧ＣＶＤ装置
に適用した場合おいては、従来真空引きを行い、真空セ
ンサと時間で漏れを確認していたものが真空引き前に判
断できるため、大気の混入を防ぎ、ウエハの歩留り低下
をなくすことができる。In the case where the seal structure of the present invention is applied to a low pressure CVD apparatus, a vacuum is conventionally evacuated, and a leak which has been confirmed with a vacuum sensor and time can be determined before vacuuming. Mixing can be prevented, and a decrease in wafer yield can be prevented.
【００２２】また配管及び密閉容器等に用いた場合、弾
性体によるシール効果および腐食等の劣化による漏れを
事前に判断することができる。Further, when used in a pipe, a closed container, or the like, leakage due to deterioration such as a sealing effect and corrosion by an elastic body can be determined in advance.
【図１】本発明の一実施形態に係るシール構造を減圧Ｃ
ＶＤ装置に適用した場合を示す断面図である。FIG. 1 shows a decompression C of a seal structure according to an embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the case where it applies to a VD apparatus.
【図２】本発明の一実施形態に係るシール構造を示す拡
大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing a seal structure according to one embodiment of the present invention.
【図３】図１においてハッチをＡ方向から見たときの矢
視図である。FIG. 3 is an arrow view when the hatch is viewed from a direction A in FIG. 1;
【図４】本発明の応用例として、本発明の一実施形態に
係るシール構造を配管部のシールに用いた場合を示す断
面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a case where a seal structure according to an embodiment of the present invention is used for sealing a pipe section as an application example of the present invention.
【図５】本発明の応用例として、本発明の一実施形態に
係るシール構造を密閉容器のシールに用いた場合を示す
断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a case where a seal structure according to an embodiment of the present invention is used for sealing a closed container as an application example of the present invention.
１ 外炉芯管 ２ 内炉芯管 ３ ウエハ保持ボート ４ ウエハ ５ ヒータ ６ 反応ガス供給管 ７ マニホールド ８ ハッチ ８ａ 固定用溝（支持部） ９ エレベータ １０ エレベータ用ボールねじ １１ モータ １２ Ｏリング １３ 歪ゲージ １４ リード線 １５ 真空センサ １６ メインバルブ １７ サブバルブ １８ 自動圧力調整機 １９ 真空ポンプ ２０ 弾性体 ２１ 歪ゲージ ２２ リード線 Reference Signs List 1 outer furnace core tube 2 inner furnace core tube 3 wafer holding boat 4 wafer 5 heater 6 reaction gas supply tube 7 manifold 8 hatch 8a fixing groove (supporting portion) 9 elevator 10 elevator ball screw 11 motor 12 O-ring 13 strain gauge 14 Lead wire 15 Vacuum sensor 16 Main valve 17 Sub valve 18 Automatic pressure regulator 19 Vacuum pump 20 Elastic body 21 Strain gauge 22 Lead wire
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０５Ｄ 16/00 Ｇ０５Ｄ 16/00 Ｊ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01M 3/36 F04B 37/16 F04C 25/02 F16J 15/00 G01B 7/16 G05D 16/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 identification code FI G05D 16/00 G05D 16/00 J (58) Investigated field (Int.Cl. 6 , DB name) G01M 3/36 F04B 37 / 16 F04C 25/02 F16J 15/00 G01B 7/16 G05D 16/00
Claims (3)
の面間に弾性体を介在させて対向面間をシールするシー
ル構造であって、前記平滑な面は、開放，密閉が繰り返されるシール部に
設けられたものであり 、 圧力センサは前記平滑な対向する２つの面間に介在した
前記弾性体に加わる圧力を測定するものであることを特
徴とするシール構造。1. A seal structure having a pressure sensor and sealing an opposing surface by interposing an elastic body between two opposing smooth surfaces , wherein the smooth surface is repeatedly opened and closed. On the seal
Are those provided with a pressure sensor is interposed between two surfaces the smooth face
Seal structure which is characterized in that to measure the pressure applied to the elastic body.
該固定溝の底部に前記弾性体の反発力を受けて歪む支持
部を設け、該支持部の歪みを前記圧力センサで測定する
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載のシール構
造。 2. A fixing groove is engraved on one of the smooth surfaces,
A support that is distorted by the repulsive force of the elastic body at the bottom of the fixing groove
Part is provided, and the distortion of the support part is measured by the pressure sensor.
The seal structure according to claim 1, wherein
Build.
を設けて、前記弾性体の反発力により歪む構造としたも
のであることを特徴とする請求項２に記載のシール構
造。 3. The support portion has a groove on a bottom side of the fixing groove.
To provide a structure that is distorted by the repulsive force of the elastic body.
3. The seal structure according to claim 2, wherein
Build.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504596A JP2914296B2 (en) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | Seal structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504596A JP2914296B2 (en) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | Seal structure |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304219A JPH09304219A (en) | 1997-11-28 |
| JP2914296B2 true JP2914296B2 (en) | 1999-06-28 |
Family
ID=14900479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12504596A Expired - Fee Related JP2914296B2 (en) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | Seal structure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914296B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3575405B2 (en) * | 2000-07-25 | 2004-10-13 | 株式会社島津製作所 | Mobile X-ray equipment |
| KR100427330B1 (en) * | 2001-08-31 | 2004-04-14 | 현대자동차주식회사 | An apparatus for testing transformation of exhaust manifold |
| DE102004020915B4 (en) * | 2004-04-28 | 2008-12-11 | Centrotherm Photovoltaics Ag | Pressure measuring device for vacuum systems |
| JP5201004B2 (en) * | 2008-03-07 | 2013-06-05 | スズキ株式会社 | Plating method |
| CN106907523B (en) * | 2017-04-14 | 2022-12-13 | 福建开立通科技有限公司 | Method for predicting valve leakage |
-
1996
- 1996-05-20 JP JP12504596A patent/JP2914296B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09304219A (en) | 1997-11-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR19980702019A (en) | Test gas leak detector | |
| CN103998910A (en) | Method for leak detection on non-rigid test samples | |
| CN109655212B (en) | A metal extrusion seal leak rate detection device and method | |
| JP2914296B2 (en) | Seal structure | |
| CN114247660A (en) | Automatic detection equipment for air tightness of sensor | |
| CN217687749U (en) | Automatic detection equipment for air tightness of sensor | |
| JPH11214489A (en) | Vacuum processing equipment | |
| CN112629782A (en) | Self-sealing type vacuum detection system and vacuumizing leak detection method | |
| CN2539021Y (en) | Leakage-preventing flange sealer | |
| JPH11271165A (en) | Airtight test equipment | |
| CN110470437B (en) | Toilet pipeline leakage detection device and detection method | |
| CN214893897U (en) | Pressure sensor leakage testing device | |
| CN111060262A (en) | Sealing performance detection device and battery sealing performance detection method | |
| CN112539877B (en) | Distributed flexible pressure sensor calibration equipment and method | |
| JPH11281515A (en) | Helium leak test equipment | |
| CN221992913U (en) | Automobile sunroof sealing detection device | |
| CN221302637U (en) | Casting air tightness rapid detection device | |
| CN121595131A (en) | An apparatus and method for testing the airtightness of automotive sealing strips | |
| CN119469609B (en) | A gas valve sealing performance testing device and testing method | |
| CN217384606U (en) | Air tightness detection device for sealed bearing | |
| CN214224466U (en) | A standard sample for leak detection of air tightness | |
| CN218646522U (en) | Metal can air tightness detection device | |
| JP3129100B2 (en) | Differential pressure measuring device | |
| CN115165246B (en) | A vacuum decay leak detection device | |
| CN222733794U (en) | Soft bag package seal integrity leak detection instrument |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |