JP2914296B2 - シール構造 - Google Patents
シール構造Info
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- JP2914296B2 JP2914296B2 JP12504596A JP12504596A JP2914296B2 JP 2914296 B2 JP2914296 B2 JP 2914296B2 JP 12504596 A JP12504596 A JP 12504596A JP 12504596 A JP12504596 A JP 12504596A JP 2914296 B2 JP2914296 B2 JP 2914296B2
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- Japan
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- elastic body
- seal structure
- fixing groove
- sealing
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シール構造に関
し、特に平滑な対向する面の間に弾性体を嵌合させてシ
ールするシール構造に関する。
し、特に平滑な対向する面の間に弾性体を嵌合させてシ
ールするシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】シール部のシール性を確認することは、
減圧して使用する装置、例えばスパッタ，減圧ＣＶＤ装
置等において重要な課題である。また、配管においても
シール性が確実に行われていないと、大気の巻き込み，
配管からの漏れ等の問題を起こすこととなる。
減圧して使用する装置、例えばスパッタ，減圧ＣＶＤ装
置等において重要な課題である。また、配管においても
シール性が確実に行われていないと、大気の巻き込み，
配管からの漏れ等の問題を起こすこととなる。
【０００３】この点を解決するものとして実開昭６３−
１２６５６６号に示すようなものがある。これは、外筒
内に摺動可能にセットされているプランジャーを往復摺
動させることで、液体を所要量吸引し吐出するように構
成され、かつ上記外筒の内部には液漏れを防止するため
のシール材が介設されたポンプ装置において、プランジ
ャーの一端に圧電素子を取り付け、圧電素子によりシー
ル材のシール状態を判別するようにしたポンプ装置のシ
ール構造を意図したものである。
１２６５６６号に示すようなものがある。これは、外筒
内に摺動可能にセットされているプランジャーを往復摺
動させることで、液体を所要量吸引し吐出するように構
成され、かつ上記外筒の内部には液漏れを防止するため
のシール材が介設されたポンプ装置において、プランジ
ャーの一端に圧電素子を取り付け、圧電素子によりシー
ル材のシール状態を判別するようにしたポンプ装置のシ
ール構造を意図したものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例は、シール性の確認をプランジャーの往復運動
を用いて間接的に測定するため、動作時のみしかシール
性が確認できないという問題がある。
た従来例は、シール性の確認をプランジャーの往復運動
を用いて間接的に測定するため、動作時のみしかシール
性が確認できないという問題がある。
【０００５】本発明の目的は、動作時及び停止時のシー
ル性を確認できるようにしたシール構造を提供すること
にある。
ル性を確認できるようにしたシール構造を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るシール構造は、圧力センサを有し、平
滑な対向する２つの面間に弾性体を介在させて対向面間
をシールするシール構造であって、前記平滑な面は、開
放，密閉が繰り返されるシール部に設けられたものであ
り、圧力センサは前記平滑な対向する２つの面間に介在
した前記弾性体に加わる圧力を測定するものである。
め、本発明に係るシール構造は、圧力センサを有し、平
滑な対向する２つの面間に弾性体を介在させて対向面間
をシールするシール構造であって、前記平滑な面は、開
放，密閉が繰り返されるシール部に設けられたものであ
り、圧力センサは前記平滑な対向する２つの面間に介在
した前記弾性体に加わる圧力を測定するものである。
【０００７】また前記平滑な面の一方に固定溝を刻設
し、該固定溝の底部に前記弾性体の反発力を受けて歪む
支持部を設け、該支持部の歪みを前記圧力センサで測定
するようにしたものである。
し、該固定溝の底部に前記弾性体の反発力を受けて歪む
支持部を設け、該支持部の歪みを前記圧力センサで測定
するようにしたものである。
【０００８】また前記支持部は、前記固定溝の底部側に
溝を設けて、前記弾性体の反発力により歪む構造とした
ものである。
溝を設けて、前記弾性体の反発力により歪む構造とした
ものである。
【０００９】
【作用】本発明によるシール部は弾性体によってシール
される部分に圧力センサを設け、弾性体の反発力を直接
感知することによりシールを確認する。
される部分に圧力センサを設け、弾性体の反発力を直接
感知することによりシールを確認する。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に本発明の一実施形態について
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に
係るシール構造を縦型減圧ＣＶＤ装置に適用した場合を
示す断面図である。
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に
係るシール構造を縦型減圧ＣＶＤ装置に適用した場合を
示す断面図である。
【００１１】図１において、本発明の実施形態に係るシ
ール構造を適用した縦型減圧ＣＶＤ装置は、内外２重に
配列した外炉芯管１及び内炉芯管２と、内炉芯管２内に
配置したウエハ４の支持用ウエハ保持ボート３と、外炉
芯管１の外周に取り付けたヒータ５と、反応ガスを炉芯
管１，２内に供給する反応ガス供給管６と、マニホール
ド７と、ハッチ８と、エレベータ９と、エレベータ用ボ
ールねじ１０と、モータ１１と、Ｏリング１２と、歪ゲ
ージ１３と、リード線１４と、真空センサ１５と、メイ
ンバルブ１６と、サブバルブ１７と、自動圧力調整機１
８と、真空ポンプ１９とを有している。
ール構造を適用した縦型減圧ＣＶＤ装置は、内外２重に
配列した外炉芯管１及び内炉芯管２と、内炉芯管２内に
配置したウエハ４の支持用ウエハ保持ボート３と、外炉
芯管１の外周に取り付けたヒータ５と、反応ガスを炉芯
管１，２内に供給する反応ガス供給管６と、マニホール
ド７と、ハッチ８と、エレベータ９と、エレベータ用ボ
ールねじ１０と、モータ１１と、Ｏリング１２と、歪ゲ
ージ１３と、リード線１４と、真空センサ１５と、メイ
ンバルブ１６と、サブバルブ１７と、自動圧力調整機１
８と、真空ポンプ１９とを有している。
【００１２】図２は、図１に示したシール構造の拡大図
である。図２に示したセンサ構造は、平滑な面がマニホ
ールド７とハッチ８に向合わせに形成されており、ハッ
チ８に固定用溝（支持部）８ａが刻設され、ハッチ８に
刻設されたＯリング１２の固定用溝８ａの反対面から溝
８ｂを切って支持部としての固定溝８ａの底部がＯリン
グ１２の反発力を受けて歪むようになっており、その歪
を測定する歪ゲージ１３が溝８ｂに設けられた構造とな
っている。図３は、図１のハッチ８をＡ方向から見たと
きの矢視図である。歪ゲージ１３はハッチ８の下面に複
数個設け、歪を測定することにより、ハッチ８の傾き，
Ｏリング１２によるシール状態を確認するようになって
いる。
である。図２に示したセンサ構造は、平滑な面がマニホ
ールド７とハッチ８に向合わせに形成されており、ハッ
チ８に固定用溝（支持部）８ａが刻設され、ハッチ８に
刻設されたＯリング１２の固定用溝８ａの反対面から溝
８ｂを切って支持部としての固定溝８ａの底部がＯリン
グ１２の反発力を受けて歪むようになっており、その歪
を測定する歪ゲージ１３が溝８ｂに設けられた構造とな
っている。図３は、図１のハッチ８をＡ方向から見たと
きの矢視図である。歪ゲージ１３はハッチ８の下面に複
数個設け、歪を測定することにより、ハッチ８の傾き，
Ｏリング１２によるシール状態を確認するようになって
いる。
【００１３】次に図１の動作について説明する。ウエハ
４をウエハ保持ボート３に移載するために内炉芯管２の
下方にハッチ８を、エレベータ９及びエレベータ用ボー
ルネジ１０並びにモータ１１により降下される。
４をウエハ保持ボート３に移載するために内炉芯管２の
下方にハッチ８を、エレベータ９及びエレベータ用ボー
ルネジ１０並びにモータ１１により降下される。
【００１４】ウエハ保持ボート３上にウエハ４を移載し
た後、エレベータ９により内炉芯管２内を上昇する。モ
ータ１１によりエレベータ９が予め設定されている距離
を移動してハッチ８に埋め込まれたＯリング１２とマニ
ホールド７が密着すると、歪ゲージ１３が変形し圧力を
感知する。
た後、エレベータ９により内炉芯管２内を上昇する。モ
ータ１１によりエレベータ９が予め設定されている距離
を移動してハッチ８に埋め込まれたＯリング１２とマニ
ホールド７が密着すると、歪ゲージ１３が変形し圧力を
感知する。
【００１５】圧力が全てのポイントにて予め定めておい
た規定圧に達したとき、炉心管１，２内を真空ポンプ１
９により真空引きを開始する。更に真空時、常に歪ゲー
ジ１３の歪を監視し、規定値以下になった場合、大気の
混入を防止するため、警報を発し、装置を安全サイドに
移行させる。
た規定圧に達したとき、炉心管１，２内を真空ポンプ１
９により真空引きを開始する。更に真空時、常に歪ゲー
ジ１３の歪を監視し、規定値以下になった場合、大気の
混入を防止するため、警報を発し、装置を安全サイドに
移行させる。
【００１６】このようにすることにより、ウエハ４への
パーティクルの付着を防止することができる。尚、シー
ル性の精度を向上させるために歪ゲージ１３の個数を増
加させれば良いことは明白である。
パーティクルの付着を防止することができる。尚、シー
ル性の精度を向上させるために歪ゲージ１３の個数を増
加させれば良いことは明白である。
【００１７】以上の説明は減圧ＣＶＤ装置で行ったが、
本発明は減圧ＣＶＤ装置に限るものではなく、図４の配
管部のシール部、或いは図５の容器密閉のシール部等に
適用してもよい。
本発明は減圧ＣＶＤ装置に限るものではなく、図４の配
管部のシール部、或いは図５の容器密閉のシール部等に
適用してもよい。
【００１８】図４に示す配管部のシール部は、配管のフ
ランジ２３ａ，２３ｂの対向面に平滑な面が設けられ、
一方のフランジ２３ａに弾性体２０を受入れる固定用溝
（支持部）２３ｃ設け、かつ溝２３ａの反対側に溝２３
ｄに設けて固定用溝２３ａの底部が弾性体２０の反発力
を受けて歪むようになっており、その歪みを歪ゲージ２
１で測定するようになっている。２２は、歪ゲージ２１
からの信号を取り出すリード線である。
ランジ２３ａ，２３ｂの対向面に平滑な面が設けられ、
一方のフランジ２３ａに弾性体２０を受入れる固定用溝
（支持部）２３ｃ設け、かつ溝２３ａの反対側に溝２３
ｄに設けて固定用溝２３ａの底部が弾性体２０の反発力
を受けて歪むようになっており、その歪みを歪ゲージ２
１で測定するようになっている。２２は、歪ゲージ２１
からの信号を取り出すリード線である。
【００１９】図５に示す密閉容器のシール部は、容器本
体２４ａと蓋部２４ｂの対向面に平滑な面が設けられ、
容器本体２４ａに弾性体２０を受入れる固定用溝（支持
部）２４ｃ設け、かつ溝２４ａの反対側に溝２４ｄに設
けて固定用溝２４ａの底部が弾性体２０の反発力を受け
て歪むようになっており、その歪みを歪ゲージ２１で測
定するようになっている。２２は、歪ゲージ２１からの
信号を取り出すリード線である。
体２４ａと蓋部２４ｂの対向面に平滑な面が設けられ、
容器本体２４ａに弾性体２０を受入れる固定用溝（支持
部）２４ｃ設け、かつ溝２４ａの反対側に溝２４ｄに設
けて固定用溝２４ａの底部が弾性体２０の反発力を受け
て歪むようになっており、その歪みを歪ゲージ２１で測
定するようになっている。２２は、歪ゲージ２１からの
信号を取り出すリード線である。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、直
接弾性体に加わる圧力を測定し、シール部として必要な
弾性体の反発力を感知することにより、シール状態を確
認することができる。
接弾性体に加わる圧力を測定し、シール部として必要な
弾性体の反発力を感知することにより、シール状態を確
認することができる。
【００２１】また本発明のシール構造を減圧ＣＶＤ装置
に適用した場合おいては、従来真空引きを行い、真空セ
ンサと時間で漏れを確認していたものが真空引き前に判
断できるため、大気の混入を防ぎ、ウエハの歩留り低下
をなくすことができる。
に適用した場合おいては、従来真空引きを行い、真空セ
ンサと時間で漏れを確認していたものが真空引き前に判
断できるため、大気の混入を防ぎ、ウエハの歩留り低下
をなくすことができる。
【００２２】また配管及び密閉容器等に用いた場合、弾
性体によるシール効果および腐食等の劣化による漏れを
事前に判断することができる。
性体によるシール効果および腐食等の劣化による漏れを
事前に判断することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るシール構造を減圧Ｃ
ＶＤ装置に適用した場合を示す断面図である。
ＶＤ装置に適用した場合を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るシール構造を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
【図３】図１においてハッチをＡ方向から見たときの矢
視図である。
視図である。
【図４】本発明の応用例として、本発明の一実施形態に
係るシール構造を配管部のシールに用いた場合を示す断
面図である。
係るシール構造を配管部のシールに用いた場合を示す断
面図である。
【図５】本発明の応用例として、本発明の一実施形態に
係るシール構造を密閉容器のシールに用いた場合を示す
断面図である。
係るシール構造を密閉容器のシールに用いた場合を示す
断面図である。
１ 外炉芯管 ２ 内炉芯管 ３ ウエハ保持ボート ４ ウエハ ５ ヒータ ６ 反応ガス供給管 ７ マニホールド ８ ハッチ ８ａ 固定用溝（支持部） ９ エレベータ １０ エレベータ用ボールねじ １１ モータ １２ Ｏリング １３ 歪ゲージ １４ リード線 １５ 真空センサ １６ メインバルブ １７ サブバルブ １８ 自動圧力調整機 １９ 真空ポンプ ２０ 弾性体 ２１ 歪ゲージ ２２ リード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０５Ｄ 16/00 Ｇ０５Ｄ 16/00 Ｊ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01M 3/36 F04B 37/16 F04C 25/02 F16J 15/00 G01B 7/16 G05D 16/00
Claims (3)
- 【請求項１】 圧力センサを有し、平滑な対向する２つ
の面間に弾性体を介在させて対向面間をシールするシー
ル構造であって、前記平滑な面は、開放，密閉が繰り返されるシール部に
設けられたものであり 、 圧力センサは前記平滑な対向する２つの面間に介在した
前記弾性体に加わる圧力を測定するものであることを特
徴とするシール構造。 - 【請求項２】 前記平滑な面の一方に固定溝を刻設し、
該固定溝の底部に前記弾性体の反発力を受けて歪む支持
部を設け、該支持部の歪みを前記圧力センサで測定する
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載のシール構
造。 - 【請求項３】 前記支持部は、前記固定溝の底部側に溝
を設けて、前記弾性体の反発力により歪む構造としたも
のであることを特徴とする請求項２に記載のシール構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504596A JP2914296B2 (ja) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | シール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504596A JP2914296B2 (ja) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | シール構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304219A JPH09304219A (ja) | 1997-11-28 |
| JP2914296B2 true JP2914296B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=14900479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12504596A Expired - Fee Related JP2914296B2 (ja) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | シール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914296B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3575405B2 (ja) * | 2000-07-25 | 2004-10-13 | 株式会社島津製作所 | 移動型ｘ線装置 |
| KR100427330B1 (ko) * | 2001-08-31 | 2004-04-14 | 현대자동차주식회사 | 배기 매니폴드 거동 측정 장치 |
| DE102004020915B4 (de) * | 2004-04-28 | 2008-12-11 | Centrotherm Photovoltaics Ag | Druckmessvorrichtung für Vakuumanlagen |
| JP5201004B2 (ja) * | 2008-03-07 | 2013-06-05 | スズキ株式会社 | めっき処理方法 |
| CN106907523B (zh) * | 2017-04-14 | 2022-12-13 | 福建开立通科技有限公司 | 一种预测阀门泄漏的方法 |
-
1996
- 1996-05-20 JP JP12504596A patent/JP2914296B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09304219A (ja) | 1997-11-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |