Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3035754B2 - Warm-up operation method of laser beam machine - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3035754B2 - Warm-up operation method of laser beam machine - Google Patents

Warm-up operation method of laser beam machine

Info

Publication number
JP3035754B2
JP3035754B2 JP4061958A JP6195892A JP3035754B2 JP 3035754 B2 JP3035754 B2 JP 3035754B2 JP 4061958 A JP4061958 A JP 4061958A JP 6195892 A JP6195892 A JP 6195892A JP 3035754 B2 JP3035754 B2 JP 3035754B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
warm
temperature
laser
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4061958A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH05261574A (en
Inventor
清一 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
Priority to JP4061958A priority Critical patent/JP3035754B2/en
Publication of JPH05261574A publication Critical patent/JPH05261574A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3035754B2 publication Critical patent/JP3035754B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は寒冷時でも短時間で加
工が開始できるようにしたレーザ加工機の暖機運転方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for warming up a laser beam machine, which can start machining in a short time even in cold weather.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来レーザを利用して加工を行うレーザ
加工機には、レーザ発振器が設けられていて、このレー
ザ発振器により発振されたレーザ光を光学系を使用して
加工ヘッドへ導き、加工ヘッドのノズルより加工すべき
ワークへ照射することにより、ワークの加工を行うよう
になっている。またレーザ発振器内には共振器が設けら
れていて、発振中の発熱により光学系を保持しているフ
レームに撓みが生じないよう水や油などの冷媒により一
定温度となるようこの共振器を冷却していると共に、レ
ーザを発振していないときには、共振器が冷え過ぎてフ
レームに逆の撓みが生じないよう比較的低い出力(予備
放電)で発振されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a laser processing machine that performs processing by using a laser is provided with a laser oscillator, and a laser beam oscillated by the laser oscillator is guided to a processing head using an optical system, and is processed. By irradiating the work to be processed from the nozzle of the head, the work is processed. In addition, a resonator is provided in the laser oscillator, and the resonator holding the optical system is cooled by a coolant such as water or oil so that the temperature is kept constant so that the frame holding the optical system does not bend due to heat generated during oscillation. In addition, when the laser is not oscillating, the resonator is oscillated at a relatively low output (pre-discharge) so that the frame does not bend so much that the resonator is too cold.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このため長時間停止し
ていて冷却状態にあるレーザ加工機を運転すべく運転開
始スイッチを入れても、レーザ発振器内の共振器の温度
が一定温度になるまでモードや出力が安定しないことか
ら加工が開始できなかった。特に寒冷時では、モードや
出力が安定するまでに長い時間を要し、その間加工が開
始できないため、生産性が低下するなどの不具合があっ
た。この発明はかかる不具合を改善するためになされた
もので、寒冷時でも短時間で加工が開始できようにした
レーザ加工機の暖機運転方法を提供することを目的とす
るものである。
For this reason, even if the operation start switch is turned on to operate the laser processing machine which has been stopped for a long time and is in a cooled state, the temperature of the resonator in the laser oscillator is kept at a constant temperature. Processing could not be started because the mode and output were not stable. Particularly in cold weather, it takes a long time for the mode and output to stabilize, and processing cannot be started during that time, resulting in problems such as reduced productivity. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a warm-up operation method for a laser beam machine in which machining can be started in a short time even in cold weather.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために、レーザ発振器により発振されたレーザを
加工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射し
てワークの加工を行うようにしたレーザ加工機におい
て、上記レーザ発振器内に設けられた共振器のフレーム
温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場合に
予備放電時より高い出力で共振器を放電させて暖機運転
を行うようにしたものである。
According to the present invention, in order to achieve the above object, a laser oscillated by a laser oscillator is guided to a processing head, and the work is processed by irradiating the work from the processing head. In the laser beam machine, the frame temperature of the resonator provided in the laser oscillator is measured, and when the frame temperature is lower than the set value, the resonator is discharged at a higher output than in the preliminary discharge to perform the warm-up operation. It is like that.

【0005】[0005]

【作 用】上記構成により寒冷時でも短時間でフレー
ム温度が加工可能温度にまで達するため、少ない待ち時
間で加工が開始でき、生産性の向上が図れるようにな
る。
[Operation] Since the frame temperature reaches the processable temperature in a short time even in a cold state by the above configuration, the process can be started with a short waiting time and the productivity can be improved.

【0006】[0006]

【実 施 例】この発明の一実施例を図面を参照して詳
述する。図1はこの発明方法を実施するレーザ加工機に
設けられたレーザ発振器1を示すもので、ケース1a内
に共振器2が設けられていて、この共振器2の近傍にこ
れを冷却するオイルクーラ3が設けられている。上記オ
イルクーラ3内にはオイルポンプ4により油が循環され
ていると共に、レーザ管2を冷却することにより熱せら
れた油は共振器ラジエータ5により放熱されるようにな
っている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a laser oscillator 1 provided in a laser processing machine for carrying out the method of the present invention. A resonator 2 is provided in a case 1a, and an oil cooler for cooling the resonator 2 is provided near the resonator 2. 3 are provided. Oil is circulated in the oil cooler 3 by an oil pump 4, and the oil heated by cooling the laser tube 2 is radiated by a resonator radiator 5.

【0007】上記共振器2は出力鏡や終段鏡及び折返し
鏡などの光学系と、陰極、陽極を有する放電管より構成
されていて、各光学部品を種々の環境条件下でも常に安
定して動作させるために、内部温度が一定(例えば約2
5℃)となるように調整されており、オイルクーラ3内
の油温を検出する油温検出器(図示せず)からの信号に
応じて共振器ラジエータ5を流れる冷却水の流量を制御
することにより一定温度約25℃を維持している。また
上記レーザ発振器1のケース1a内には、真空ポンプ7
やインバータ8、インバータ電源9、ガスクーラ10、
メカニカルブースタ11などが設けられている。
[0007] The resonator 2 is composed of an optical system such as an output mirror, a final stage mirror, and a folding mirror, and a discharge tube having a cathode and an anode. In order to operate, the internal temperature is constant (for example, about 2
5 ° C.), and controls the flow rate of the cooling water flowing through the resonator radiator 5 according to a signal from an oil temperature detector (not shown) for detecting the oil temperature in the oil cooler 3. As a result, a constant temperature of about 25 ° C. is maintained. In the case 1a of the laser oscillator 1, a vacuum pump 7 is provided.
And inverter 8, inverter power supply 9, gas cooler 10,
A mechanical booster 11 and the like are provided.

【0008】次に上記構成されたレーザ発振器1を有す
るレーザ加工機の運転方法を図2に示すフローチャート
を参照して説明すると、まずレーザ加工機の運転を開始
すべくステップ(1)で運転開始スイッチ(図示せず)
を入れると、ステップ(2)で図示しない冷却装置より
冷却水がレーザ発振器1内へ供給されると同時に、レー
ザ発振器1内のオイルポンプ4や真空ポンプ7などが動
作を開始する。真空ポンプ7は共振器2内のガスを排出
するように動作すると共に、ステップ(3)では共振器
2内の真空度がチェックされて、ステップ(4)で予め
設定された真空度、例えば約5Torrと比較され、共
振器2内の真空度が約5Torrになるまで真空ポンプ
7が動作される。
Next, an operation method of the laser beam machine having the laser oscillator 1 constructed as described above will be described with reference to a flow chart shown in FIG. 2. First, in order to start the operation of the laser beam machine, the operation is started in step (1). Switch (not shown)
In step (2), cooling water is supplied into the laser oscillator 1 from a cooling device (not shown) in step (2), and at the same time, the oil pump 4 and the vacuum pump 7 in the laser oscillator 1 start operating. The vacuum pump 7 operates so as to discharge the gas in the resonator 2, and in step (3), the degree of vacuum in the resonator 2 is checked, and in step (4), a predetermined degree of vacuum, for example, about As compared with 5 Torr, the vacuum pump 7 is operated until the degree of vacuum in the resonator 2 becomes about 5 Torr.

【0009】そして共振器2内の真空度が約5Torr
に達すると、図示しないレーザガスバルブが開放され
て、ステップ(5)でメカニカルブースタ11によりレ
ーザガスが共振器2内へチャージされる。そしてステッ
プ(6)で共振器2内のガス圧が測定されて、ステップ
(7)で予め設定されたガス圧、例えば60Torr±
1Torrと比較され、この値になるまでガスチャージ
が行われる。共振器2内のガス圧が規定の60Torr
±1Torrに達したらステップ(8)へ進んで操作盤
(図示せず)上の準備完了のランプが点灯する。
The degree of vacuum in the resonator 2 is about 5 Torr
Is reached, the laser gas valve (not shown) is opened, and the laser gas is charged into the resonator 2 by the mechanical booster 11 in step (5). In step (6), the gas pressure in the resonator 2 is measured, and in step (7), a preset gas pressure, for example, 60 Torr ±
It is compared with 1 Torr, and gas charging is performed until this value is reached. Gas pressure in the resonator 2 is regulated to 60 Torr
When the pressure reaches ± 1 Torr, the process proceeds to step (8), and the ready lamp on the operation panel (not shown) is turned on.

【0010】これを見て作業者が放電スイッチ(図示せ
ず)入れると、ステップ(9)で共振器2のフレーム2
aに取付けられた温度検出器12によりフレーム2aの
温度Tが測定され、ステップ(10)で予め設定された
温度約25℃と比較される。そしてフレーム2aの温度
Tが約25℃に達していないときにはステップ(11)
へ進んで暖機運転が開始される。暖機運転は共振器2の
出力を加工時の400Wに対して1500Wに上げるこ
とにより行われる。一方暖機運転中は図3に示すように
共振器2より発振されるレーザビームの光路13上にロ
ータリソレノイドなどのアクチュエータ14によりメカ
ニカルシャッタ15が突出されるため、レーザビームは
ビームアブソーバ16側に反射されて、ビームアブソー
バ16により吸収され、加工ヘッド側へは供給されな
い。暖機運転中もフレーム2aの温度Tが設定値約25
℃と比較され、フレーム2aの温度が約25℃に達する
とステップ(12)へ進んで共振器2の出力が400W
にまで低下され、暖機運転が終了すると共に、共振器2
は予備放電状態になる。
When the operator turns on a discharge switch (not shown) upon seeing this, the frame 2 of the resonator 2 is
The temperature T of the frame 2a is measured by the temperature detector 12 attached to a, and is compared with a preset temperature of about 25 ° C. in step (10). When the temperature T of the frame 2a has not reached about 25 ° C., step (11)
Then, the warm-up operation is started. The warm-up operation is performed by increasing the output of the resonator 2 to 1500 W from 400 W during processing. On the other hand, during the warm-up operation, as shown in FIG. 3, the mechanical shutter 15 is projected by the actuator 14 such as a rotary solenoid onto the optical path 13 of the laser beam oscillated by the resonator 2, so that the laser beam is directed toward the beam absorber 16. The light is reflected and absorbed by the beam absorber 16 and is not supplied to the processing head. During the warm-up operation, the temperature T of the frame 2a is set to about 25.
When the temperature of the frame 2a reaches about 25 ° C., the process proceeds to step (12) and the output of the resonator 2 becomes 400 W
, The warm-up operation ends, and the resonator 2
Is in a preliminary discharge state.

【0011】すなわち従来では図4の曲線Bに示すよう
にフレーム2aの温度が例えば5℃のときに運転開始ス
イッチをいれた場合、フレーム温度が約25℃に達して
加工が開始できる状態になるまで約30分かかったのに
対して、この発明の暖機運転方法を採用することによ
り、図4の曲線Aで示すように約5分で加工が開始でき
る状態となり、待ち時間の大幅な短縮が図れるようにな
る。またフレーム温度とモード形状の関係は図5に示す
ようになっているが、フレーム温度が短時間で所定温度
に達するため、モードが安定するまでの時間も短縮する
ことができるようになる。
That is, conventionally, as shown by a curve B in FIG. 4, when the operation start switch is turned on when the temperature of the frame 2a is, for example, 5 ° C., the frame temperature reaches about 25 ° C., and the processing can be started. By using the warm-up operation method of the present invention, the processing can be started in about 5 minutes as shown by the curve A in FIG. Can be achieved. Although the relationship between the frame temperature and the mode shape is as shown in FIG. 5, since the frame temperature reaches the predetermined temperature in a short time, the time until the mode is stabilized can be shortened.

【0012】[0012]

【発明の効果】この発明は以上詳述したように共振器の
フレーム温度が所定値より低い場合手動または自動的に
暖機運転を開始して、短時間で加工が開始できる温度に
まで上昇させるため、寒冷時であっても短時間で加工が
開始でき、生産性の向上が図れるようになる。
According to the present invention, as described in detail above, when the frame temperature of the resonator is lower than a predetermined value, the warm-up operation is started manually or automatically, and the temperature is raised to a temperature at which machining can be started in a short time. Therefore, processing can be started in a short time even in cold weather, and productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明方法を実施するレーザ加工機に設けら
れたレーザ発振器の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a laser oscillator provided in a laser processing machine that performs a method of the present invention.

【図2】この発明方法の一実施例を示すフローチャート
である。
FIG. 2 is a flowchart showing an embodiment of the method of the present invention.

【図3】暖機運転中のレーザビームを遮断する構成を示
す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration for blocking a laser beam during a warm-up operation.

【図4】フレーム温度とレーザ発振器の立上り特性を示
す線図である。
FIG. 4 is a diagram showing a frame temperature and a rise characteristic of a laser oscillator.

【図5】フレーム温度とモード形状の関係を示す説明図
である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a relationship between a frame temperature and a mode shape.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…レーザ発振器、2…共振器。 1 ... laser oscillator, 2 ... resonator.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レーザ発振器1により発振されたレーザ
を加工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射
してワークの加工を行うようにしたレーザ加工機におい
て、上記レーザ発振器1内に設けられた共振器2のフレ
ーム温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場
合に予備放電時より高い出力で共振器2を放電させて暖
機運転を行うことを特徴とするレーザ加工機の暖機運転
方法。
1. A laser beam machine which guides a laser oscillated by a laser oscillator 1 to a machining head and irradiates the workpiece with the workpiece from the machining head to machine the workpiece. A warm-up operation of a laser beam machine, wherein a frame temperature of the resonator 2 is measured, and when the frame temperature is lower than a set value, a warm-up operation is performed by discharging the resonator 2 with a higher output than at the time of preliminary discharge. how to drive.
【請求項2】 暖機運転を手動または自動的に行うよう
にしてなる請求項1記載の暖機運転方法。
2. The warm-up operation method according to claim 1, wherein the warm-up operation is performed manually or automatically.
JP4061958A 1992-03-18 1992-03-18 Warm-up operation method of laser beam machine Expired - Fee Related JP3035754B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4061958A JP3035754B2 (en) 1992-03-18 1992-03-18 Warm-up operation method of laser beam machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4061958A JP3035754B2 (en) 1992-03-18 1992-03-18 Warm-up operation method of laser beam machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05261574A JPH05261574A (en) 1993-10-12
JP3035754B2 true JP3035754B2 (en) 2000-04-24

Family

ID=13186211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4061958A Expired - Fee Related JP3035754B2 (en) 1992-03-18 1992-03-18 Warm-up operation method of laser beam machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3035754B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5156244B2 (en) * 2007-03-23 2013-03-06 株式会社松浦機械製作所 Galvo system focus lens cooling system
JP2010109289A (en) * 2008-10-31 2010-05-13 Sunx Ltd Excited state deciding method of laser oscillating device, laser oscillating device and laser processing device
CN103167928B (en) * 2010-10-19 2015-01-21 三菱电机株式会社 Laser processing machine control device and laser processing machine control method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05261574A (en) 1993-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4689467A (en) Laser machining apparatus
US5182434A (en) Laser beam machining method
JP3083688B2 (en) Solid-state laser device
JP3035754B2 (en) Warm-up operation method of laser beam machine
EP1747837B1 (en) Gas laser processing device with control means for adapting the laser gas pressure to the work to be processed
US5793012A (en) Fresnel reflection termination system for high powered laser systems
JP2000357835A (en) Laser oscillator
JPH037477B2 (en)
JP3697036B2 (en) Exposure apparatus and semiconductor manufacturing method using the same
JPH07227688A (en) Gas laser beam machine
JP2690184B2 (en) Laser processing equipment
JP2698678B2 (en) Blower control device for laser device
US4608272A (en) Method of reducing optical coating absorptance
CN117613646B (en) Self-checking method and device of solid-state laser oscillator and solid-state laser oscillator
JP3006772B2 (en) Exhaust method of gas laser
JP2524449B2 (en) Laser processing apparatus and method
JPH03246982A (en) Gas laser apparatus
JP2741439B2 (en) Laser oscillator
JP2645051B2 (en) Solid state laser oscillator
JPS6364377A (en) Laser oscillator
JPS6342533Y2 (en)
JPS6310232Y2 (en)
JP2924423B2 (en) Laser processing apparatus and its condensing lens height control method
JPH058080A (en) Laser beam processing method
JPH0275487A (en) Controlling method for laser power

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090225

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees