JP3064756B2 - Manufacturing method of ceramic laminated electronic component - Google Patents
Manufacturing method of ceramic laminated electronic componentInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、複数枚のセラミックグ
リーンシートを積層し、焼成することにより得られた焼
結体を用いたセラミック積層電子部品の製造方法に関
し、特に、得られた焼結体中におけるセラミック層の厚
みを高精度に制御し得るセラミック積層電子部品の製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic laminated electronic component using a sintered body obtained by laminating and firing a plurality of ceramic green sheets, and more particularly, to a method for producing a ceramic laminated electronic component. The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic laminated electronic component capable of controlling the thickness of a ceramic layer in a body with high accuracy.
【0002】[0002]
【従来の技術】積層コンデンサなどのセラミック積層電
子部品の製造に際しては、複数枚のセラミックグリーン
シートを積層し、得られた積層体を焼成することにより
焼結体が得られている。例えば、積層コンデンサの製造
に際しては、内部電極が一方主面に形成された複数枚の
セラミックグリーンシートを積層し、さらに必要に応じ
て上下に内部電極の形成されていないセラミックグリー
ンシートを積層し、積層体を得る。しかる後、得られた
積層体を厚み方向に加圧した後、焼成することにより、
内部電極が厚み方向にセラミック層を介して重なり合う
ように隔てられた焼結体が得られる。2. Description of the Related Art When manufacturing ceramic multilayer electronic components such as multilayer capacitors, a sintered body is obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets and firing the obtained laminate. For example, in manufacturing a multilayer capacitor, a plurality of ceramic green sheets having internal electrodes formed on one main surface are laminated, and further, if necessary, ceramic green sheets having no internal electrodes formed thereon are laminated. Obtain a laminate. Then, after pressing the obtained laminate in the thickness direction, by firing,
A sintered body is obtained in which the internal electrodes are separated so as to overlap in the thickness direction via the ceramic layer.
【0003】ところで、積層コンデンサの取得容量は、
使用するセラミック材料、内部電極間のセラミック層の
厚み、内部電極同士の対向面積等によって決定される。
より小型かつ大容量の積層コンデンサを得るには、内部
電極間のセラミック層の厚みを薄くすることが必要であ
り、従って、より厚みの薄いセラミックグリーンシート
を用いなければならない。また、特性の安定な積層コン
デンサを量産するには、上記セラミックグリーンシート
の厚みは高精度に制御されねばならない。[0003] The acquisition capacity of a multilayer capacitor is as follows.
It is determined by the ceramic material used, the thickness of the ceramic layer between the internal electrodes, the facing area between the internal electrodes, and the like.
In order to obtain a smaller and larger-capacity multilayer capacitor, it is necessary to reduce the thickness of the ceramic layer between the internal electrodes, and therefore, a thinner ceramic green sheet must be used. In order to mass-produce a multilayer capacitor having stable characteristics, the thickness of the ceramic green sheet must be controlled with high precision.
【0004】積層コンデンサ以外の他のセラミック積層
電子部品においても、内部電極により隔てられるセラミ
ック層の厚みが高精度に制御されねば、同様に、特性の
安定な部品を得ることができず、従って、使用するセラ
ミックグリーンシートの厚みを高精度に制御し、目的と
する厚みのセラミック層を形成することが強く求められ
ている。In ceramic multilayer electronic components other than the multilayer capacitor, similarly, if the thickness of the ceramic layer separated by the internal electrodes is not controlled with high precision, a component having similarly stable characteristics cannot be obtained. There is a strong demand for controlling the thickness of a ceramic green sheet to be used with high precision and for forming a ceramic layer having a desired thickness.
【0005】セラミックグリーンシートの従来の製造方
法の一例を図1を参照して説明する。供給リール1に
は、ポリエチレンもしくはポリプロピレンフィルムなど
からなる支持フィルム2が巻回されている。支持フィル
ム2は、供給リール1から繰り出され、ローラー3を介
してセラミックスラリー4内に浸漬される。セラミック
スラリー4は、セラミック粉末、バインダー及び水等を
混練して得られるものである。セラミックスラリー4内
において、支持フィルム2はローラー5により方向を変
えられ、上方に引き上げられる。その結果、支持フィル
ム2の両主面にセラミックスラリーが付着する。しかる
後、セラミックスラリーの付着した支持フィルム2は、
ローラー6を介して引き出され、セラミックスラリーを
乾燥させることにより、支持フィルム2の両主面にセラ
ミックグリーンシート7,8が成形される。しかる後、
支持フィルム2からセラミックグリーンシート7,8を
剥離し、上記セラミック積層電子部品の製造に供する。An example of a conventional method for manufacturing a ceramic green sheet will be described with reference to FIG. A support film 2 made of a polyethylene or polypropylene film is wound around the supply reel 1. The support film 2 is unreeled from the supply reel 1 and immersed in the ceramic slurry 4 via the rollers 3. The ceramic slurry 4 is obtained by kneading a ceramic powder, a binder, water and the like. In the ceramic slurry 4, the support film 2 is turned by a roller 5 and pulled up. As a result, the ceramic slurry adheres to both main surfaces of the support film 2. Thereafter, the support film 2 to which the ceramic slurry is attached is
The ceramic green sheets 7 and 8 are formed on both main surfaces of the support film 2 by being pulled out through the rollers 6 and drying the ceramic slurry. After a while
The ceramic green sheets 7 and 8 are peeled off from the support film 2 and are used for manufacturing the ceramic laminated electronic component.
【0006】前述したように、安定な特性のセラミック
積層電子部品を得るには、内部電極間に介在されるセラ
ミック層の厚み、すなわち焼成前のセラミックグリーン
シートの厚みを高精度に制御する必要があった。そこ
で、従来、上記のようにして成形されたセラミックグリ
ーンシート7,8の厚みをダイヤルゲージを用いて測定
し、所望通りの厚みのセラミックグリーンシートが得ら
れているか否かを確認して、セラミックグリーンシート
7,8の製造を行っていた。As described above, in order to obtain a ceramic laminated electronic component having stable characteristics, it is necessary to precisely control the thickness of the ceramic layer interposed between the internal electrodes, that is, the thickness of the ceramic green sheet before firing. there were. Therefore, conventionally, the thickness of the ceramic green sheets 7, 8 formed as described above is measured using a dial gauge, and it is confirmed whether or not the ceramic green sheet having a desired thickness is obtained. The production of the green sheets 7 and 8 was performed.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
セラミックグリーンシートの製造方法では、支持フィル
ム2をセラミックスラリー4内にて移動させる速度が変
動したり、セラミックスラリー4の組成の変動等によ
り、支持フィルム2の両主面に形成されるセラミックグ
リーンシート7,8の厚みがばらつくことがあった。そ
の結果、上記セラミックグリーンシートを用いて構成さ
れた焼結体中における該セラミックグリーンシートに対
応するセラミック層の平均厚みが目標とする値から外れ
易いという問題があった。However, in the conventional method for manufacturing a ceramic green sheet, the speed at which the support film 2 is moved in the ceramic slurry 4 fluctuates or the composition of the ceramic slurry 4 fluctuates. The thickness of the ceramic green sheets 7 and 8 formed on both main surfaces of the film 2 may vary. As a result, there is a problem that the average thickness of the ceramic layer corresponding to the ceramic green sheet in the sintered body formed using the ceramic green sheet easily deviates from a target value.
【0008】そこで、ダイヤルゲージによるセラミック
グリーンシートの厚みの測定ポイントをより多くし、そ
れによって目的とする厚みのセラミック層を得ることが
試みられている。しかしながら、非常に多数の測定ポイ
ントにおいてセラミックグリーンシートの厚みを測定し
なければならず、測定作業が非常に煩雑であり、かつ測
定に余分な時間を必要とする問題があった。Therefore, it has been attempted to increase the number of measuring points of the thickness of the ceramic green sheet using a dial gauge to thereby obtain a ceramic layer having a desired thickness. However, the thickness of the ceramic green sheet has to be measured at a very large number of measurement points, so that the measurement operation is very complicated, and there is a problem that extra time is required for the measurement.
【0009】本発明の目的は、セラミックグリーンシー
トにより構成される焼結後のセラミック層の厚みを高精
度に制御し得る工程を備えたセラミック積層電子部品の
製造方法を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a ceramic laminated electronic component having a process capable of controlling the thickness of a sintered ceramic layer constituted by ceramic green sheets with high accuracy.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のセラミ
ックグリーンシートを積層し、焼成することにより得ら
れた焼結体を用いたセラミック積層電子部品の製造方法
であって、セラミックグリーンシートの製造にあたり、
目的とする焼結体中のセラミック層の厚みに応じた重量
となるようにセラミックグリーンシートの重量を制御し
つつセラミックグリーンシートを得る工程と、得られた
セラミックグリーンシートを用いて、複数のセラミック
グリーンシートが積層された積層体を得る工程と、前記
積層体を焼成することにより焼結体を得る工程とを備え
る、セラミック積層電子部品の製造方法である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic laminated electronic component using a sintered body obtained by laminating and firing a plurality of ceramic green sheets. In manufacturing
A step of obtaining a ceramic green sheet while controlling the weight of the ceramic green sheet so as to have a weight corresponding to the thickness of the ceramic layer in the target sintered body; and using the obtained ceramic green sheet, a plurality of ceramics. A method for manufacturing a ceramic multilayer electronic component, comprising: a step of obtaining a laminate in which green sheets are laminated; and a step of obtaining a sintered body by firing the laminate.
【0011】[0011]
【作用】ダイヤルゲージにより厚みを直接測定する場合
には、セラミックグリーンシートの厚みの測定に煩雑な
作業及び時間が強いられることに鑑み、本発明では、セ
ラミックグリーンシートの重量を基準としてセラミック
グリーンシート、ひいては焼成後の焼結体中におけるセ
ラミック層の厚みが制御される。すなわち、本発明は、
ある一定面積のセラミックグリーンシートの重量が、焼
成後における焼結体中の該セラミックグリーンシートに
基づくセラミック層の厚みと一定の関係にあることを見
出し、該関係に基づき目的とする厚みのセラミック層の
形成を可能としたことに特徴を有する。According to the present invention, when measuring the thickness of a ceramic green sheet directly using a dial gauge, in view of the complicated work and time required for measuring the thickness of the ceramic green sheet, the present invention uses the weight of the ceramic green sheet as a reference. Thus, the thickness of the ceramic layer in the sintered body after firing is controlled. That is, the present invention
The weight of the ceramic green sheet having a certain area is found to have a certain relationship with the thickness of the ceramic layer based on the ceramic green sheet in the sintered body after firing, and the ceramic layer having the target thickness is determined based on the relationship. The feature is that the formation of is possible.
【0012】[0012]
【発明の効果】本発明では、焼成後の焼結体中のセラミ
ック層の厚みに応じた重量となるように、セラミックグ
リーンシートの重量を制御することにより、最終的なセ
ラミック層の厚みが制御される。従って、セラミックグ
リーンシートを製造するにあたって、その重量のみを管
理すればよく、1枚のセラミックグリーンシートについ
ては重量を1回測定するだけでよい。よって、従来のダ
イヤルゲージによる厚みの管理に比べて、作業を簡略化
することができ、かつ厚みの管理に必要な時間を短縮す
ることができる。しかも、後述の実施例から明らかなよ
うに、セラミックグリーンシートの重量と焼成後のセラ
ミック層の厚みとに一定の関係が存在するため、目的と
する厚みのセラミック層を高精度に形成することができ
る。According to the present invention, the final thickness of the ceramic layer is controlled by controlling the weight of the ceramic green sheet so as to have a weight corresponding to the thickness of the ceramic layer in the sintered body after firing. Is done. Therefore, in manufacturing the ceramic green sheet, only the weight of the ceramic green sheet needs to be controlled, and the weight of one ceramic green sheet need only be measured once. Therefore, the operation can be simplified and the time required for the thickness management can be reduced as compared with the conventional thickness management using a dial gauge. Moreover, as is apparent from the examples described later, since there is a certain relationship between the weight of the ceramic green sheet and the thickness of the fired ceramic layer, it is possible to form a ceramic layer having a desired thickness with high precision. it can.
【0013】よって、特性のばらつきの少ないセラミッ
ク積層電子部品を比較的簡単な工程を経て提供すること
が可能となる。Therefore, it is possible to provide a ceramic laminated electronic component having a small variation in characteristics through a relatively simple process.
【0014】[0014]
【実施例の説明】以下、本発明の非限定的な実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing non-limiting embodiments of the present invention.
【0015】本実施例は、積層コンデンサを製造する方
法について適用したものである。焼成後の焼結体中にお
けるセラミック層の厚みが14μmの場合、そのような
厚みのセラミック層を形成するためのセラミックグリー
ンシートの平均厚みは、従来より経験則により、20〜
30μm程度であることがわかっている。This embodiment is applied to a method for manufacturing a multilayer capacitor. When the thickness of the ceramic layer in the sintered body after firing is 14 μm, the average thickness of the ceramic green sheet for forming the ceramic layer having such a thickness is conventionally 20 to 20 by an empirical rule.
It is known that it is about 30 μm.
【0016】いま、厚み15、20、30及び37μm
の厚みのセラミックグリーンシートを成形し、一定の面
積を有するように加工し、各セラミックグリーンシート
の重量を測定した。得られた各セラミックグリーンシー
トにつき、それぞれ20〜50の枚数の重量を測定し、
その平均重量を求めた。Now, the thickness is 15, 20, 30, and 37 μm
Was formed and processed to have a certain area, and the weight of each ceramic green sheet was measured. For each of the obtained ceramic green sheets, the weight of 20 to 50 sheets was measured,
The average weight was determined.
【0017】次に、上記4種類のセラミックグリーンシ
ートのそれぞれを用いて焼結体を得た。すなわち、各セ
ラミックグリーンシート複数枚を約2mmの厚みの積層
体となるように積層し、しかる後静水圧プレスなどによ
り圧着した後、平面形状が5mm×5mmの矩形となる
ように切断し、積層体生チップを得た。Next, a sintered body was obtained using each of the above four types of ceramic green sheets. That is, a plurality of ceramic green sheets are laminated so as to form a laminate having a thickness of about 2 mm, and then pressed by a hydrostatic press or the like, and then cut so that the planar shape becomes a rectangle of 5 mm × 5 mm. A body chip was obtained.
【0018】得られた積層体生チップを、所定の焼成条
件で焼成し、焼結体を得た。得られた焼結体の厚みを測
定し、かつ積層されているセラミックグリーンシートの
枚数をもとに、各セラミックグリーンシートに起因する
セラミック層の厚み(焼結体の厚み/積層枚数)を算出
した。The obtained green chip was fired under predetermined firing conditions to obtain a sintered body. The thickness of the obtained sintered body is measured, and the thickness of the ceramic layer (thickness of the sintered body / number of laminated bodies) caused by each ceramic green sheet is calculated based on the number of ceramic green sheets laminated. did.
【0019】ある一定面積のセラミックグリーンシート
の上述した平均重量と、焼成後の焼結体中におけるセラ
ミック層の厚みとをX−Y座標にプロットし、回帰式を
求めた。一例を図2に示す。The above average weight of the ceramic green sheet having a certain area and the thickness of the ceramic layer in the sintered body after firing were plotted on XY coordinates to obtain a regression equation. An example is shown in FIG.
【0020】図2において、縦軸は焼成後の焼結体中に
おけるセラミック層の厚みを、横軸は使用したセラミッ
クグリーンシートの重量を示す。図2の結果から、セラ
ミック層の平均厚みY(μm)と、セラミックグリーン
シートの重量X(g)との間には、In FIG. 2, the vertical axis indicates the thickness of the ceramic layer in the sintered body after firing, and the horizontal axis indicates the weight of the used ceramic green sheet. From the results of FIG. 2, the average thickness Y (μm) of the ceramic layer and the weight X (g) of the ceramic green sheet are:
【0021】[0021]
【数1】 (Equation 1)
【0022】の関係のあることがわかった。従って、平
均14μmのセラミック層を実現するためのセラミック
グリーンシート重量がわかる。よって、このようにして
算出されたセラミックグリーンシートの重量を管理する
ことにより、平均14μmの厚みのセラミック層を有す
る焼結体を得ることができる。It has been found that the following relationship is satisfied. Therefore, the weight of the ceramic green sheet for realizing a ceramic layer having an average of 14 μm can be determined. Therefore, by managing the weight of the ceramic green sheet calculated in this way, a sintered body having a ceramic layer having an average thickness of 14 μm can be obtained.
【0023】従来例では、セラミックグリーンシートの
厚みを多数のポイントにおいて測定することにより、最
終的に得られるセラミック層の厚みを管理していたが、
本実施例では、上記のようにして求められたセラミック
グリーンシートの重量によりセラミック層の厚みを管理
することができる。他方、セラミックグリーンシートの
重量の測定については、ある一定面積のセラミックグリ
ーンシートの重さを一度測定するだけでよい。従って、
セラミック層の厚みの管理に要する作業を、極めて簡単
にかつ短時間に行うことができる。In the conventional example, the thickness of the ceramic layer finally obtained is controlled by measuring the thickness of the ceramic green sheet at a number of points.
In this embodiment, the thickness of the ceramic layer can be controlled by the weight of the ceramic green sheet obtained as described above. On the other hand, when measuring the weight of the ceramic green sheet, it is only necessary to measure the weight of the ceramic green sheet having a certain area once. Therefore,
The work required for controlling the thickness of the ceramic layer can be performed extremely easily and in a short time.
【0024】また、上記実施例において、焼結体中のセ
ラミック層の厚みを14±0.3μmとし、セラミック
グリーンシートの重量幅を上記範囲に応じて設定してセ
ラミックグリーンシートの成形を行った。しかる後、得
られたセラミックグリーンシートを用いて積層体を得、
かつ上記と同様にして多数のセラミック焼結体を得た。
1ロットあたり50個のセラミック焼結体を上記のよう
にして作製したところ、第1〜第3のロットにおける焼
結体中のセラミック層の厚みは、第1のロット…14.
1μm、第2のロット…14.2μm、第3のロット…
14.1μmであった。従って、上記のようにセラミッ
クグリーンシートの重量を測定することにより、得られ
る焼結体中のセラミック層の厚みを高精度に制御し得る
ことがわかる。In the above embodiment, the ceramic green sheet was formed by setting the thickness of the ceramic layer in the sintered body to 14 ± 0.3 μm and setting the weight width of the ceramic green sheet according to the above range. . Thereafter, a laminate is obtained using the obtained ceramic green sheet,
And many ceramic sintered bodies were obtained in the same manner as above.
When 50 ceramic sintered bodies were produced per lot as described above, the thickness of the ceramic layers in the sintered bodies in the first to third lots was the first lot ... 14.
1 μm, second lot ... 14.2 μm, third lot ...
It was 14.1 μm. Therefore, it is understood that the thickness of the ceramic layer in the obtained sintered body can be controlled with high accuracy by measuring the weight of the ceramic green sheet as described above.
【0025】なお、本発明は、上述したようにセラミッ
クグリーンシートの重量により焼結体中のセラミック層
の厚みを管理することに特徴を有するものであり、その
他の工程、例えば焼結体を得た後の外部電極の形成等
は、従来より周知のセラミック積層電子部品の製造方法
に従って行い得る。また、セラミックグリーンシートの
成形、積層体を得る具体的な工程等についても、従来よ
り周知のセラミック積層電子部品の製造方法に従って行
い得る。The present invention is characterized in that the thickness of the ceramic layer in the sintered body is controlled by the weight of the ceramic green sheet as described above. After that, the formation of the external electrodes and the like can be performed according to a conventionally known method of manufacturing a ceramic laminated electronic component. Also, the forming of the ceramic green sheet, the specific steps of obtaining the laminate, and the like can be performed according to a conventionally known method of manufacturing a ceramic laminated electronic component.
【図1】従来のセラミックグリーンシートの製造工程を
説明するための断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining a process for manufacturing a conventional ceramic green sheet.
【図2】セラミックグリーンシートの重量と、焼結体中
のセラミック層の厚みとの関係を示す図。FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the weight of a ceramic green sheet and the thickness of a ceramic layer in a sintered body.
Claims (1)
し、焼成することにより得られた焼結体を用いたセラミ
ック積層電子部品の製造方法であって、 セラミックグリーンシートの製造にあたり、目的とする
焼結体中のセラミック層の厚みに応じた重量となるよう
にセラミックグリーンシートの重量を制御しつつセラミ
ックグリーンシートを得る工程と、 得られたセラミックグリーンシートを用いて、複数のセ
ラミックグリーンシートが積層された積層体を得る工程
と、 前記積層体を焼成することにより焼結体を得る工程とを
備える、セラミック積層電子部品の製造方法。1. A method for producing a ceramic laminated electronic component using a sintered body obtained by laminating and firing a plurality of ceramic green sheets, the method comprising: A step of obtaining a ceramic green sheet while controlling the weight of the ceramic green sheet so as to have a weight corresponding to the thickness of the ceramic layer in the body; and using the obtained ceramic green sheet, a plurality of ceramic green sheets are laminated. A method for manufacturing a ceramic multilayer electronic component, comprising: a step of obtaining a laminated body; and a step of obtaining a sintered body by firing the laminated body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5235179A JP3064756B2 (en) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | Manufacturing method of ceramic laminated electronic component |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5235179A JP3064756B2 (en) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | Manufacturing method of ceramic laminated electronic component |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0788820A JPH0788820A (en) | 1995-04-04 |
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|---|---|---|---|---|
| JP5021014B2 (en) * | 2009-10-30 | 2012-09-05 | 日本碍子株式会社 | Method for forming laminate |
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1993
- 1993-09-21 JP JP5235179A patent/JP3064756B2/en not_active Expired - Lifetime
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| JPH0788820A (en) | 1995-04-04 |
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