JP3070092B2 - Method and apparatus for producing oxide superconducting fine particles - Google Patents
Method and apparatus for producing oxide superconducting fine particlesInfo
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Description
本発明は、酸化物超電導微粒子の製造方法及び製造装
置に係り、特に、スプレードライ法の改良技術に関する
ものである。The present invention relates to a method and an apparatus for producing oxide superconducting fine particles, and more particularly to an improved technique of a spray drying method.
酸化物超電導体膜や線材を製造する場合には、予め構
成元素を所望の比率で配合した酸化物超電導微粒子を製
造しておいて、この酸化物超電導微粒子を塗布法や溶射
法等によって基材を付着させる方法が採られている。 従来、酸化物超電導微粒子を製造する方法の一つにい
わゆるスプレードライ法がある。該スプレードライ法
は、例えば、刊行物、[化学工業]第53巻、第7号(19
89)の512頁ないし514頁において、[噴霧熱分解法によ
る酸化物超電導微粒子の製造]という題で紹介されてい
るように、Y(NO3)2、Ba(NO3)2、Cu(NO3)2等
の構成元素を所望の比率で配合した水溶液を用意してお
いて、噴霧器等の手段によって構成元素を含む水溶液を
ミスト化し、この水溶液のミストを酸素ガス雰囲気で加
熱焼成することによって、目的とする酸化物超電導微粒
子を得ようとするものである。 該スプレードライ法によると、上述の材料を配合した
構成元素を含む水溶液をミスト化して加熱焼成すること
によって、配合比の均一な粒径の小さな微粒子を得るこ
とができ、かつ、粒径を小さくすることによって組成の
均一化を図り、酸化物超電導体の超電導特性向上の期待
が高くなる。When producing an oxide superconducting film or wire, oxide superconducting fine particles in which the constituent elements are blended in a desired ratio are manufactured in advance, and the oxide superconducting fine particles are coated on a substrate by a coating method, a thermal spraying method, or the like. Has been adopted. Conventionally, there is a so-called spray drying method as one of the methods for producing oxide superconducting fine particles. The spray drying method is described in, for example, a publication, [Chemical Industry], Vol. 53, No. 7 (19
89), pages 512 to 514, as introduced under the title of [Production of oxide superconducting fine particles by spray pyrolysis method], Y (NO 3 ) 2 , Ba (NO 3 ) 2 , Cu (NO 3 ) An aqueous solution containing constituent elements such as 2 in a desired ratio is prepared, an aqueous solution containing the constituent elements is mist-formed by means such as a sprayer, and the mist of the aqueous solution is heated and fired in an oxygen gas atmosphere. It is intended to obtain the desired oxide superconducting fine particles. According to the spray-drying method, a mist of an aqueous solution containing the constituent elements in which the above-mentioned materials are blended is heated and fired, so that fine particles having a uniform blending ratio and small particle size can be obtained, and the particle size can be reduced. By doing so, the composition can be made uniform, and the expectation for improving the superconducting properties of the oxide superconductor increases.
しかしながら、上述のスプレードライ法にあっても、
焼成された酸化物超電導微粒子の粒径が例えば1μmな
いし0.15μm程度止まりである。 超電導特性の改善を行なうためには、酸化物超電導微
粒子の粒径をさらに小さな粒径とすることや、純度を高
めることが有効であると考えられるが、従来技術では、
かかる要求への対応が困難なものとなるとともに、酸化
物超電導微粒子の製造工程中に、水分その他の共存ガス
の影響を受けて、酸化物超電導微粒子が変質する傾向が
認められる。 本発明は、このような課題を解決するものであり、
粒径をさらに小さくすること、粒径の制御を容易にす
ること、純度の高い酸化物超電導微粒子を得ること等
を目的とするものである。However, even in the spray drying method described above,
The particle size of the fired oxide superconducting fine particles is, for example, about 1 μm to 0.15 μm. In order to improve the superconducting properties, it is considered effective to reduce the particle size of the oxide superconducting fine particles to a smaller particle size or to increase the purity.
It is difficult to meet such demands, and it is recognized that the oxide superconducting fine particles tend to be deteriorated during the manufacturing process of the oxide superconducting fine particles under the influence of moisture and other coexisting gases. The present invention solves such a problem,
An object of the present invention is to further reduce the particle size, facilitate the control of the particle size, obtain high-purity oxide superconducting fine particles, and the like.
本発明は、上記課題を解決するために2つの手段を提
案している。 第1の手段は、構成元素を含む水溶液をO2等のキャリ
アガスによりミスト化する工程と、該ミストを分級して
粒径の小さなミストを選別する分級工程と、選別された
小径ミストの水分を除去する吸湿工程と、水分を除去し
た小径ミストを加熱して構成元素の酸化物を焼成する工
程とを有する酸化物超電導微粒子の製造方法において、
構成元素を含む水溶液が硝酸塩水溶液とされ、構成元素
の酸化物を焼成する工程の後に、NOxをアルカリ層に接
触させて拡散吸着させる工程が付加されることを特徴と
する酸化物超電導微粒子の製造方法としている。 第2の手段は、構成元素を含む水溶液をO2等のキャリ
アガスによりミスト化するミスト化手段と、該ミスト化
手段に接続されミストを分級して粒径の小さなミストを
選別する分級手段と、該分級手段に接続され分級された
小径ミストの水分を除去する吸湿手段と、該吸湿手段に
接続され水分を除去した小径ミストを加熱して構成元素
の酸化物を焼成する焼成手段とを具備する酸化物超電導
微粒子の製造装置において、ミスト化手段によってミス
ト化される構成元素を含む水溶液が硝酸塩水溶液とさ
れ、焼成手段に、NOxをアルカリ層に接触させて拡散吸
着させるNOx除去手段が接続されることを特徴とする酸
化物超電導微粒子の製造装置としている。The present invention proposes two means for solving the above problems. The first means includes a step of misting an aqueous solution containing the constituent elements with a carrier gas such as O 2 , a step of classifying the mist to select a mist having a small particle size, and a step of separating the mist of the selected small-diameter mist. In the method for producing oxide superconducting fine particles, comprising a step of removing the moisture and a step of heating the small-diameter mist from which water has been removed and baking the oxides of the constituent elements,
The method for producing oxide superconducting fine particles, wherein an aqueous solution containing constituent elements is a nitrate aqueous solution, and a step of contacting and diffusing and adsorbing NOx to an alkali layer is added after the step of baking the oxide of the constituent elements. And how to do it. The second means is a mist-forming means for converting an aqueous solution containing the constituent elements into mist with a carrier gas such as O 2 , and a classification means connected to the mist-forming means for classifying the mist and selecting a mist having a small particle diameter. A moisture absorbing means connected to the classifying means for removing moisture of the classified small-diameter mist; and a baking means connected to the moisture absorbing means for heating the small-diameter mist from which moisture has been removed and firing the oxide of the constituent element. In the apparatus for producing oxide superconducting fine particles, the aqueous solution containing the constituent element to be misted by the mist forming means is a nitrate aqueous solution, and the baking means is connected to the NOx removing means for bringing NOx into contact with the alkali layer to diffuse and adsorb the NOx. An apparatus for producing oxide superconducting fine particles.
第1の手段及び第2の手段にあっては、構成元素を含
む水溶液を作製してこれをミスト化することにより、粒
径のばらついたミストが生成されるものの、ミスト化に
よって水溶液における構成元素の配合がそのままの配合
比でミストに移される。多数の粒径のミストの中から粒
径の小さなミストだけを選別した場合も、選別された小
径の一つ一つのミストが所望の配合比を持つものとな
る。 ミストの水分が除去されると、ミスト粒の乾燥によっ
て乾燥された粒相互の吸着が生じにくくなるとともに、
各粒中の構成元素がO2ガスに接触し易くなり、酸素濃度
を高めた状態で焼成が行なわれて、均質な酸化物超電導
微粒子が生成される。 第1の手段及び第2の手段にあっては、さらに構成元
素を含む水溶液として硝酸塩水溶液が使用されることに
より構成元素の水溶性が高められ、かつ、焼成時におけ
る構成元素の酸化物生成反応が促進される。 また、硝酸塩の酸化によって生じたNOxが、アルカリ
層に拡散吸着されることにより、NOxが酸化物に吸着さ
れるのを防止して、酸化物超電導微粒子の純度を向上さ
せるものである。In the first means and the second means, although an aqueous solution containing the constituent elements is prepared and mist is formed, a mist having a varied particle size is generated. Is transferred to the mist at the same mixing ratio. Even when only small mist particles having a small particle size are selected from a large number of mist particles having a large particle size, each selected mist having a small particle size has a desired compounding ratio. When the water content of the mist is removed, the dried mist particles become less likely to be attracted to each other by the drying of the mist particles,
The constituent elements in each grain are easily brought into contact with the O 2 gas, and calcination is performed in a state where the oxygen concentration is increased, whereby uniform oxide superconducting fine particles are generated. In the first means and the second means, the aqueous solubility of the constituent elements is further increased by using an aqueous nitrate solution as the aqueous solution containing the constituent elements, and the oxide formation reaction of the constituent elements during firing is performed. Is promoted. In addition, NOx generated by oxidation of nitrate is diffused and adsorbed to the alkali layer, thereby preventing NOx from being adsorbed to the oxide and improving the purity of the oxide superconducting fine particles.
以下、本発明に係る酸化物超電導微粒子の製造方法及
び製造装置の実施例を第1図ないし第4図に基づいて説
明する。 第1図ないし第3図において、符号1は水溶液供給手
段、2はキャリアガス供給手段、3はミスト化手段(ネ
ブライザー)、4は分級手段(ミスト選別手段)、5は
水分蒸発手段(水分蒸発器)、6は吸湿手段(ディフュ
ージョンドライヤ)、7は保温手段、8は焼成手段(焼
成炉)、9はNOx除去手段である。 これらの詳細について説明すると、前記水溶液供給手
段1は、Y、Ba、Cu等の構成元素を所望の配合比で配合
し、例えば硝酸塩の形で含む硝酸塩水溶液(超電導溶
液)Rをミスト化手段3に供給するもので、該水溶液を
貯留している試料タンク11と、該試料タンク11の貯留液
をミスト化手段3に移送する移送ポンプ12及び噴霧液供
給配管13とからなるものである。 前記キャリアガス供給手段2は、ミスト化手段3に接
続されて酸素ガスをキャリアガスとして供給するもの
で、酸素ボンベ等の酸素ガス供給源21と、酸素ガス量を
調整する流量調整器22と、酸素ガス供給配管23とからな
るものである。 前記ミスト化手段3は、構成元素を含む水溶液をミス
ト化し、前記分級手段4はミスト化手段3に接続されか
つミストを分級して粒径の小さなミストを選別するもの
で、第2図に示すように、相互に拘わりを持つ構造とさ
れる。 つまり、ミスト化手段3は、キャリアガス供給配管23
に接続されかつ流路を例えば孔径10μm程度まで挟めた
状態のオリフス部31と、該オリフス部31及び噴霧液供給
配管13に連通し前述の水溶液をミスト化する合流部32
と、該合流部32でミスト化したミストを噴出する噴出部
33とからなるものである。 また、分級手段4は、ミスト化手段3に近接状態に設
置され、ミストを噴出させる空間Sを形成しているミス
ト分離用スリーブ41と、該ミスト分離用スリーブ41にお
ける噴出部33の上方近接位置に設けられてミストの上方
への噴出を妨げるガイド42と、ミスト分離用スリーブ41
の側壁における噴出部33の対向位置に設けられてミスト
を衝突させることにより粒径の大きなミストを液化しか
つ粒径の小さなミストを分散させる分級部43と、該分級
部43における上方近傍位置に設けられ粒径の大きなミス
トの上方への移動を妨げる衝突部44と、分級部43や衝突
部44に接触することによって液化した水溶液を下方に流
し落とす水溶液回収管45と、該水溶液回収管45に接続さ
れるトラップ46と、該トラップ46に貯留した水溶液を移
送する汲み上げポンプ47と、該汲み上げポンプ47及び試
料タンク11の間を接続する水溶液戻し配管48とを有する
構造とされる。 前記水分蒸発手段5は、ケーシング51の中に、分級手
段4のミスト分離用スリーブ41に接続される伝熱管52
と、該伝熱管52を加熱するためのヒータ53と、伝熱管52
の温度を検出するための温度センサ54とが設けられ、該
温度センサ54の温度検出データによりコントローラ55が
ヒータ53の熱量を調整するものである。 前記吸湿手段(ディフュージョンドライヤ)6は、水
分蒸発手段5における伝熱管52に接続されて、挿通する
ガス状流体中の水分を除去するもので、収納容器61の中
にメッシュ状等の通気スリーブ62が貫通状態に配され、
該通気スリーブ62の回りにシリカゲル粒を充填した吸湿
層63が設けられる構造である。 前記保温手段7は、吸湿手段6と焼成手段7との間を
連結するガス状流体移送管71の回りに保温層72を配して
なる構造である。 前記焼成手段8は、前段の予熱部(予熱炉)8Aと後段
の焼成部(焼成炉)8Bとによって構成され、脱湿状態の
ミストを加熱して構成元素の酸化物を焼成するもので、
保温手段7におけるガス状流体移送管71と後段のNOx除
去手段9との間に接続状態に配される加熱焼成管81と、
該加熱焼成管81を加熱するためのヒーター部82A・82B
と、加熱焼成管81の温度を検出するための温度センサ83
A・83Bとが設けられ、該温度センサ83A・83Bの温度検出
データによって、予熱温度コントローラ84と焼成温度コ
ントローラ85とが両ヒーター部82A・82Bの熱量を調整す
るものである。 前記NOx除去手段9は、焼成手段8の後段に接続され
てガス状流体中のNOx及び水蒸気を除去するもので、収
納容器91の中にメッシュ状等の通気スリーブ92が貫通状
態に配され、該通気スリーブ92の回りにNaOH粒を充填し
たアルカリ層93が設けられる構造である。 なお、NOx除去手段9の下段には、微粒器取り出し管9
4が接続され、該微粒子取り出し管94の下方位置に微粒
子収容容器95が配され、微粒子取り出し管94には、粒子
径測定装置96が接続される。An embodiment of a method and an apparatus for producing oxide superconducting fine particles according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4. 1 to 3, reference numeral 1 denotes an aqueous solution supply unit, 2 denotes a carrier gas supply unit, 3 denotes a mist generation unit (nebulizer), 4 denotes a classification unit (mist selection unit), and 5 denotes a water evaporation unit (water evaporation). , 6 is a moisture absorbing means (diffusion dryer), 7 is a heat retaining means, 8 is a firing means (firing furnace), and 9 is a NOx removing means. To explain these details, the aqueous solution supply means 1 mixes constituent elements such as Y, Ba, and Cu at a desired mixing ratio, and converts a nitrate aqueous solution (superconducting solution) R containing nitrate, for example, into a mist forming means 3. The apparatus comprises a sample tank 11 for storing the aqueous solution, a transfer pump 12 for transferring the stored liquid in the sample tank 11 to the mist generating means 3, and a spray liquid supply pipe 13. The carrier gas supply means 2 is connected to the mist generation means 3 and supplies oxygen gas as a carrier gas. The carrier gas supply means 2 includes an oxygen gas supply source 21 such as an oxygen cylinder, a flow controller 22 for adjusting the amount of oxygen gas, And an oxygen gas supply pipe 23. The mist forming means 3 converts the aqueous solution containing the constituent elements into a mist, and the classifying means 4 is connected to the mist forming means 3 and classifies the mist to select mist having a small particle size, as shown in FIG. Thus, the structure has mutual relations. That is, the mist generating means 3 is provided with the carrier gas supply pipe 23.
And an orifice portion 31 in which the flow path is sandwiched to, for example, a hole diameter of about 10 μm, and a merging portion 32 which communicates with the orifice portion 31 and the spray liquid supply pipe 13 to mist the aqueous solution.
And a spouting section for spouting the mist converted into mist at the merging section 32
33. Further, the classifying means 4 is installed in a state close to the mist generating means 3 and forms a mist separating sleeve 41 forming a space S for discharging the mist, and a position of the mist separating sleeve 41 above and close to the jetting portion 33. And a mist separating sleeve 41 provided on the
A classifying section 43 provided at a position facing the ejection section 33 on the side wall of the classifying section 43 for liquefying the mist having a large particle size by dispersing the mist and dispersing the mist having a small particle size. A collision unit 44 provided to prevent the mist having a large particle diameter from moving upward; an aqueous solution collection tube 45 for flowing down the aqueous solution liquefied by contacting the classification unit 43 and the collision unit 44; and an aqueous solution collection tube 45. , A pump 46 for transferring the aqueous solution stored in the trap 46, and an aqueous solution return pipe 48 connecting the pump 47 and the sample tank 11. The water evaporation means 5 includes a heat transfer tube 52 connected to the mist separation sleeve 41 of the classification means 4 in a casing 51.
A heater 53 for heating the heat transfer tube 52;
A temperature sensor 54 for detecting the temperature of the heater 53 is provided, and the controller 55 adjusts the amount of heat of the heater 53 based on the temperature detection data of the temperature sensor 54. The moisture absorbing means (diffusion dryer) 6 is connected to the heat transfer pipe 52 in the moisture evaporating means 5 to remove moisture in the gaseous fluid to be inserted. Are arranged in a penetrating state,
In this structure, a moisture absorbing layer 63 filled with silica gel particles is provided around the ventilation sleeve 62. The heat retaining means 7 has a structure in which a heat retaining layer 72 is arranged around a gaseous fluid transfer pipe 71 connecting the moisture absorbing means 6 and the firing means 7. The sintering means 8 is constituted by a pre-heating unit (pre-heating furnace) 8A in the former stage and a sintering unit (firing furnace) 8B in the latter stage, and heats the mist in a dehumidified state to sinter the oxides of the constituent elements.
A heating and firing tube 81 arranged in a connected state between the gaseous fluid transfer pipe 71 in the heat retaining means 7 and the NOx removing means 9 at the subsequent stage;
Heater units 82A and 82B for heating the heating and firing tube 81
And a temperature sensor 83 for detecting the temperature of the heating and firing tube 81
A and 83B are provided, and the preheating temperature controller 84 and the firing temperature controller 85 adjust the heat quantity of both heater sections 82A and 82B based on the temperature detection data of the temperature sensors 83A and 83B. The NOx removing means 9 is connected to the subsequent stage of the firing means 8 to remove NOx and water vapor in the gaseous fluid, and a mesh-shaped ventilation sleeve 92 is disposed in a storage container 91 in a penetrating state. In this structure, an alkali layer 93 filled with NaOH particles is provided around the ventilation sleeve 92. In addition, in the lower stage of the NOx removing means 9,
4 is connected, a particle storage container 95 is disposed below the particle take-out tube 94, and a particle diameter measuring device 96 is connected to the particle take-out tube 94.
このように構成されている酸化物超電導微粒子の製造
装置による酸化物超電導微粒子の製造例について説明す
る。 第3図は本発明に係る酸化物超電導微粒子の製造方法
の工程の概念を示すモデル図である。 <水溶液の作製> 従来技術で説明したように、構成元素を所望の比率で
配合した水溶液として、Y(NO3)2、Ba(NO3)2、Cu
(NO)2等の硝酸塩水溶液Rを用意する。構成元素を含
む硝酸塩の水溶液を作製することにより、第3図にモデ
ル化して示しているように、構成元素を所望の比率及び
濃度で含む水溶液を容易に得ることができる。 濃度例・XBa2Cu3Oxの濃度が第4図に示すように、溶
液1リットル当たり0.0033モルないし0.0714モルの範囲
のものを試料とした。 <水溶液の供給> 水溶液供給手段1における移送ポンプ12を作動させる
ことにより、試料タンク11に貯留している硝酸塩水溶液
Rを噴霧液供給配管13を経由してミスト化手段3に送り
込む。 <キャリアガスの供給> キャリアガス供給手段2の作動により、酸素ガス供給
源21から酸素ガスを流量調整器22及び酸素ガス供給配管
23を経由してミスト化手段3に送り込む。 この場合のキャリアガスはO2ガス100%、毎分2リッ
トルとした。 <ミストの発生> 酸素ガス供給配管23から送り込まれた酸素ガスを、オ
リフス部31からジェット流の状態で噴出させることによ
って、合流部32に供給された硝酸塩水溶液Rをミスト化
して、このミストを噴出部33からミスト分離用スリーブ
41の内部の空間Sに噴出させる。このミスト化によっ
て、硝酸塩水溶液Rにおける構成元素の配合が、そのま
まの比率でミストに移され、また、この場合のミスト
は、オリフス部31を小径とすることや噴出速度を大きく
することによって、粒径を小径化することができるもの
の、大小の粒径が混合した状態となる。 <ミストの分級> ミスト化手段3の噴出部33から、ミストがミスト分離
用スリーブ41の空間Sに送り込まれる際に、ミストをガ
イド42によって誘導することによって、ミストが水分蒸
発手段5に直接送り込まれることを防止しながら、全部
のミストを分級部43に当てて分散させるとともに、粒径
の大きなミストについては液化を促進させるとともに、
粒径の小さなミストについてはキャリアガスに浮遊させ
た状態とする。 また、ミストを分級部43に衝突させた際に、第2図の
上方に分散して水分蒸発手段5に直接送り込まれること
が起こり易くなるため、分散したミストを衝突部44に当
てることによって送り込みを防止する。 これらの分級によって、粒径の小さなミストのみを選
別して、キャリアガスに乗せて水分蒸発手段5に送り出
す。第3図に虫眼鏡の絵でモデル化して示すように、ミ
ストの粒径は概略0.3〜1μmであることが確認され
た。この場合にあって、選別された小径の一つ一つのミ
ストが、水溶液における構成元素の配合比率を引き継い
だ状態で、所望の配合比を持つものとなる。 <大粒径ミストの回収> 大小のミストが分級部43及び衝突部44に当たることに
よって、大粒径であるミストが液化すると、その液が水
溶液回収管45によって下方に流下し、トラップ46により
液が捕集されるとともに貯留され、この貯留液が汲み上
げポンプ47の作動によって水溶液戻し配管48を経由して
試料タンク11に戻される。 <ミストの水分蒸発> 分級された小径のミストが水分蒸発手段5の伝熱管52
に送り込まれるとともに、ヒータ53を作動させると、伝
熱管52からの熱伝達によって挿通するキャリアガスが10
0℃ないし120℃の温度に加熱され、硝酸塩溶液であるミ
ストの水分の蒸発が促進されて、水蒸気がミストから分
離した状態となる。 この場合の伝熱管52として、内径20mm、長さ600mmの
ものを使用した。 <ミストの乾燥> 加熱されたミストが吸湿手段6における通気スリーブ
62に送り込まれると、ミストから分離した水蒸気が吸湿
層63に拡散吸収されて、一つのミスト中に溶解されてい
た各構成元素のイオン及び硝酸塩は、一つのミストの単
位における構成元素等が固まった状態の乾燥ミストとな
る。そして、乾燥化によって乾燥ミスト相互の吸着が妨
げられた状態で、キャリアガスにより下段の保温手段7
に移送される。 この場合の乾燥ミストは、水溶液時の配合比率を引き
継いだ状態が維持され、また、水分が除去された分だけ
一つのミスト分の粒径が小さくなり、第3図に虫眼鏡の
絵でモデル化して示すように、粒径が概略0.1μmに縮
小し、かつ、水分は90%以上除去されていることが観測
された。 通気スリーブ62として、内径20mm、長さ600mmのもの
を使用した。 <乾燥ミストの保温> 保温手段7にあっては、その保温層72によって冷却を
妨げ、前述の乾燥ミストの状態を例えば120℃に保持し
て後段の焼成手段8に移送する。 <焼成(焼結)> 焼成手段8に送り込まれた乾燥ミストは、予熱部8Aと
焼成部8Bとを順次通過する間に、キャリアガス中の酸素
と反応する焼成により、構成元素の酸化物が生成され
る。 つまり、ヒータ部82A・82Bの作動によって、加熱焼成
管81を介してキャリアガス及びその中の乾燥ミストの焼
成を実施する。 予め乾燥ミストとした粒子を焼成すると、焼成工程ま
で移送される途中でのミスト相互の吸着現象が生じにく
いため、小粒経化されたままの状態を維持して予熱部8A
及び焼成部8Bに送り込まれる。また、水分が除去された
乾燥ミストであると、構成元素がO2ガスに接触し易くな
って酸素濃度が高い状態での焼成が行なわれるものとな
り、構成元素の酸化物生成反応が促進されて均質な酸化
物超電導微粒子が生成される。 この場合の予熱部8Aの雰囲気温度は1000℃、焼成部8B
の雰囲気温度は950℃等とされる。 また、加熱焼成管81として、内径35mm、長さ1200mmの
ものを使用した。 <NOx除去> 焼成手段8において焼成された酸化物が、NOx除去手
段9における通気スリーブ92に送り込まれると、硝酸塩
の酸化によって生じたNOx及び酸化物に吸着しているNOx
がアルカリ層93に接触し、拡散吸収によって酸化物から
除去される。このNOxの除去時において、酸化物に残留
水分が付着していた場合には、水分もアルカリ層93に吸
着され、NOxの除去とによって酸化物超電導微粒子Pが
生成され、その純度を向上させるものである。 この場合のアルカリ層93は、NaOH粒100%とした。 <粒子径の測定> このように、NOx及び水分が除去された酸化物、つま
り、酸化物超電導微粒子Pは、微粒子取り出し管94から
微粒子収容容器95に移送され、この移送の途中におい
て、粒子径測定装置96の作動によって酸化物超電導微粒
子Pの粒子径が計測される。 以上のような製造工程によって製造された酸化物超電
導微粒子Pは、第3図に虫眼鏡の絵でモデル化して示す
ように、粒径が例えば0.05μm程度であり、さらに詳し
くは、第4図に示すように、水溶液の濃度によってばら
つきが生じるものの、0.0333モル/リットルである場合
には、50%分布値を見ると、酸化物超電導微粒子Pの粒
径が0.05μmとなり、濃度を下げた場合には、さらに粒
径を小さくし得ることが観測された。 なお、実施例に代えて以下の実施態様を採用すること
ができる。 (1) 水溶液供給手段及び水溶液の作製工程におい
て、硝酸塩水溶液以外の炭酸塩水溶液、酢酸塩水溶液等
とすること。 (2) 水溶液供給手段1及び水溶液の作製工程におい
て、第5図に示すように、水溶液の作製時に構成元素を
個々に含む水溶液をポンプ12で汲み上げて所望の比率で
供給し、ミキサー14を経由して必要量をミスト化手段3
に供給することによって、微粒子の製造途中等において
組成比を変更すること。 (3) NOx除去手段及びNOx除去工程において、アルカ
リ層をNaOH以外アルカリによって構成すること。 (4) 第3図例に記載した以外の構成元素配合の溶液
によって超電導微粒子を製造すること。 (5) キャリアガスを空気等とすること。 (6) 予熱炉8A及び焼成炉8Bの配列方向並びにガス状
流体の挿通方向を任意とすること。An example of the production of oxide superconducting fine particles by the apparatus for producing oxide superconducting fine particles configured as described above will be described. FIG. 3 is a model diagram showing the concept of the steps of the method for producing oxide superconducting fine particles according to the present invention. <Preparation of Aqueous Solution> As described in the related art, as an aqueous solution containing constituent elements in a desired ratio, Y (NO 3 ) 2 , Ba (NO 3 ) 2 , Cu
(NO) A nitrate aqueous solution R such as 2 is prepared. By preparing an aqueous solution of a nitrate containing a constituent element, an aqueous solution containing the constituent element in a desired ratio and concentration can be easily obtained as shown by modeling in FIG. Example of Concentration As shown in FIG. 4, a sample having a concentration of XBa 2 Cu 3 Ox in the range of 0.0033 mol to 0.0714 mol per liter of solution was used. <Supply of aqueous solution> By operating the transfer pump 12 in the aqueous solution supply means 1, the nitrate aqueous solution R stored in the sample tank 11 is sent to the mist formation means 3 via the spray liquid supply pipe 13. <Supply of carrier gas> By the operation of the carrier gas supply means 2, the oxygen gas is supplied from the oxygen gas supply source 21 to the flow regulator 22 and the oxygen gas supply pipe.
It is sent to the mist generating means 3 via 23. In this case, the carrier gas was 100% O 2 gas and 2 liters per minute. <Generation of mist> The oxygen gas fed from the oxygen gas supply pipe 23 is jetted out of the orifice section 31 in a jet stream, thereby turning the nitrate aqueous solution R supplied to the junction section 32 into a mist. Mist separation sleeve from spout 33
Spout into the space S inside 41. By this mist formation, the composition of the constituent elements in the nitrate aqueous solution R is transferred to the mist at the same ratio, and the mist in this case is reduced by reducing the diameter of the orifice portion 31 or increasing the ejection speed. Although the diameter can be reduced, large and small particle sizes are mixed. <Classification of mist> When the mist is fed into the space S of the mist separating sleeve 41 from the ejection part 33 of the mist forming means 3, the mist is guided by the guide 42 so that the mist is directly sent to the water evaporation means 5. While preventing that, all the mist is applied to the classification part 43 and dispersed, and for the mist with a large particle size, liquefaction is promoted,
The mist having a small particle size is made to float in the carrier gas. Further, when the mist collides with the classifying section 43, it is likely to be dispersed upward in FIG. To prevent By these classifications, only the mist having a small particle size is selected and put on a carrier gas and sent to the water evaporation means 5. As shown in FIG. 3 by modeling with a magnifying glass, it was confirmed that the particle size of the mist was approximately 0.3 to 1 μm. In this case, each of the selected small-diameter mist has a desired mixing ratio in a state where the mixing ratio of the constituent elements in the aqueous solution is inherited. <Recovery of Large Particle Size Mist> When large and small mist hits the classification unit 43 and the collision unit 44, and the mist having a large particle size is liquefied, the liquid flows down by an aqueous solution recovery pipe 45 and is trapped by a trap 46. Is collected and stored, and the stored liquid is returned to the sample tank 11 via the aqueous solution return pipe 48 by the operation of the pump 47. <Moisture evaporation of mist> The classified small-sized mist is supplied to the heat transfer tube 52 of the moisture evaporation means 5.
When the heater 53 is actuated, the carrier gas inserted by heat transfer from the heat transfer tube 52
Heating to a temperature of 0 ° C. to 120 ° C. promotes evaporation of the water content of the mist, which is a nitrate solution, so that water vapor is separated from the mist. In this case, a heat transfer tube 52 having an inner diameter of 20 mm and a length of 600 mm was used. <Drying of the mist> The heated mist forms a ventilation sleeve in the moisture absorbing means 6.
When sent to the mist 62, the water vapor separated from the mist is diffused and absorbed by the moisture absorbing layer 63, and the ions and nitrates of the respective constituent elements dissolved in one mist are condensed into constituent elements and the like in one mist unit. It becomes a dried mist in a wet state. Then, in a state where mutual adsorption of the dry mist is hindered by the drying, the lower heat retaining means 7 is provided by the carrier gas.
Is transferred to In this case, the dried mist is maintained in a state of inheriting the mixing ratio in the aqueous solution, and the particle size of one mist is reduced by the amount of water removed. As shown, it was observed that the particle size was reduced to approximately 0.1 μm and that water was removed by 90% or more. As the ventilation sleeve 62, one having an inner diameter of 20 mm and a length of 600 mm was used. <Heat keeping of dry mist> In the heat keeping means 7, cooling is prevented by the heat keeping layer 72, and the state of the above-mentioned dry mist is kept at, for example, 120 ° C., and transferred to the subsequent baking means 8. <Firing (Sintering)> The dried mist sent to the firing means 8 is fired by reacting with oxygen in the carrier gas while sequentially passing through the preheating section 8A and the firing section 8B, whereby the oxides of the constituent elements are converted. Generated. That is, by the operation of the heaters 82A and 82B, the carrier gas and the dry mist therein are fired through the heating and firing tube 81. When the particles that have been dried mist in advance are fired, the mist mutual adsorption phenomenon during transfer to the firing step is unlikely to occur, so that the preheated section 8A is maintained while maintaining the state of small particles
And sent to the firing section 8B. In addition, when the dry mist has water removed, the constituent elements are easily brought into contact with the O 2 gas, and calcination is performed in a state where the oxygen concentration is high, and the oxide generation reaction of the constituent elements is promoted. Homogeneous oxide superconducting fine particles are produced. In this case, the ambient temperature of the preheating section 8A is 1000 ° C, and the firing section 8B
Is set to 950 ° C. or the like. The heating and firing tube 81 used had an inner diameter of 35 mm and a length of 1200 mm. <NOx removal> When the oxide fired in the firing means 8 is sent to the ventilation sleeve 92 in the NOx removing means 9, NOx generated by oxidation of nitrate and NOx adsorbed on the oxide are obtained.
Comes into contact with the alkali layer 93 and is removed from the oxide by diffusion absorption. If any residual moisture adheres to the oxide during the removal of NOx, the moisture is also adsorbed to the alkali layer 93, and the removal of NOx generates oxide superconducting fine particles P to improve the purity. It is. In this case, the alkali layer 93 was 100% NaOH particles. <Measurement of Particle Diameter> As described above, the oxide from which NOx and water have been removed, that is, the oxide superconducting fine particles P are transferred from the fine particle take-out tube 94 to the fine particle storage container 95. By operating the measuring device 96, the particle diameter of the oxide superconducting fine particles P is measured. The oxide superconducting fine particles P manufactured by the above-described manufacturing process have a particle size of, for example, about 0.05 μm as shown in FIG. 3 by modeling with a magnifying glass, and more specifically, FIG. As shown in the figure, although the dispersion is caused by the concentration of the aqueous solution, when the concentration is 0.0333 mol / liter, the particle size of the oxide superconducting fine particles P becomes 0.05 μm when the concentration is lowered when the 50% distribution value is observed. Was observed to be able to further reduce the particle size. Note that the following embodiments can be adopted instead of the embodiments. (1) In the aqueous solution supply means and the aqueous solution preparation step, a carbonate aqueous solution other than a nitrate aqueous solution, an acetate aqueous solution, or the like is used. (2) In the aqueous solution supply means 1 and the aqueous solution preparation step, as shown in FIG. 5, an aqueous solution containing individual constituent elements is pumped up by a pump 12 at the time of preparation of the aqueous solution, supplied at a desired ratio, and passed through a mixer 14 Mist conversion means 3
To change the composition ratio during the production of fine particles. (3) In the NOx removing means and the NOx removing step, the alkali layer is made of an alkali other than NaOH. (4) Production of superconducting fine particles using a solution containing constituent elements other than those described in the example of FIG. (5) The carrier gas is air or the like. (6) Arrangement direction of preheating furnace 8A and firing furnace 8B and insertion direction of gaseous fluid are arbitrary.
第1の発明及び第2の発明、つまり、請求項1及び請
求項2の発明によれば、以下のような効果を奏する。 (1) 構成元素を含む水溶液のミスト化時に分級して
粒径の小さなものを選別し、ミストの水分を除去した状
態で焼成することによって、従来のスプレードライ法に
よって製造された超電導微粒子と比較して、はるかに粒
径の小さな超電導微粒子を製造することができる。 (2) 上記の水溶液の濃度管理との組み合わせによ
り、超電導微粒子の粒径を任意に制御することができ
る。 (3) 水分を除去した状態で焼成するために、超電導
微粒子の変質を抑制することができる。 (4) 粒径を小さくかつ構成元素の配合を微粒子の状
態で管理した超電導微粒子を用いることによって、特性
の優れた超電導体の合成が期待される。 さらに、以下のような効果を奏する。 (1) 構成元素を含む水溶液として、硝酸塩水溶液を
使用することによって構成元素の水溶性が高くなり、超
電導微粒子の一つ一つの均質化を達成することができ
る。 (2) 硝酸塩水溶液の乾燥と焼成とにより、焼成時に
構成元素の酸化物生成反応を促進し、酸化物超電導微粒
子の純度を向上させることができる。According to the first invention and the second invention, that is, according to the first and second inventions, the following effects can be obtained. (1) Compared with superconducting fine particles manufactured by the conventional spray-drying method by classifying the aqueous solution containing the constituent elements during mist formation, selecting those having a small particle size, and sintering the mist while removing the water content of the mist. Thus, superconducting fine particles having a much smaller particle size can be produced. (2) The particle size of the superconducting fine particles can be arbitrarily controlled in combination with the above-mentioned concentration control of the aqueous solution. (3) Since the baking is performed in a state where water is removed, deterioration of the superconducting fine particles can be suppressed. (4) By using superconducting fine particles whose particle diameter is small and the composition of the constituent elements is controlled in the form of fine particles, it is expected that a superconductor having excellent characteristics will be synthesized. Further, the following effects are obtained. (1) By using a nitrate aqueous solution as the aqueous solution containing the constituent elements, the water solubility of the constituent elements is increased, and homogenization of each superconducting fine particle can be achieved. (2) By drying and baking the nitrate aqueous solution, it is possible to promote the oxide formation reaction of the constituent elements at the time of baking, and to improve the purity of the oxide superconducting fine particles.
第1図は本発明に係る酸化物超電導微粒子の製造装置の
概略構成例を示す一部を切欠した正面図である。 第2図は第1図における鎖線II部分の詳細構造を示す正
断面図である。 第3図は本発明に係る酸化物超電導微粒子の製造工程の
概念を示すモデル図である。 第4図は本発明に係る酸化物超電導微粒子の製造方法及
び製造装置によって製造された酸化物超電導微粒子にお
ける水溶液濃度と粒径との関係を示す分布図である。 第5図は第1図における水溶液供給手段の他の実施例を
示す正面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front view showing a schematic configuration example of an apparatus for producing oxide superconducting fine particles according to the present invention. FIG. 2 is a front sectional view showing a detailed structure of a chain line II portion in FIG. FIG. 3 is a model diagram showing a concept of a manufacturing process of the oxide superconducting fine particles according to the present invention. FIG. 4 is a distribution diagram showing the relationship between the aqueous solution concentration and the particle size in the oxide superconducting fine particles produced by the method and apparatus for producing oxide superconducting fine particles according to the present invention. FIG. 5 is a front view showing another embodiment of the aqueous solution supply means in FIG.
R……硝酸塩水溶液、P……酸化物超電導微粒子、S…
…空間、1……水溶液供給手段、2……キャリアガス供
給手段、3……ミスト化手段(ネブライザー)、4……
分級手段(ミスト選別手段)、5……水分蒸発手段(水
分蒸発器)、6……吸湿手段(ディフュージョンドライ
ヤ)、7……保温手段、8……焼成手段、8A……予熱部
(予熱炉)、8B……焼成部(焼成炉)、9……NOx除去
手段、11……試料タンク、12……移送ポンプ、13……噴
霧液供給配管、21……酸素ガス供給源、22……流量調整
器、23……酸素ガス供給配管、31……オリフス部、32…
…合流部、33……噴出部、41……ミスト分離用スリー
ブ、42……ガイド、43……分級部、44……衝突部、45…
…水溶液回収管、46……トラップ、47……汲み上げポン
プ、48……水溶液戻し配管、51……ケーシング、52……
伝熱管、53……ヒータ、54……温度センサ、55……コン
トローラ、61……収納容器、62……通気スリーブ、63…
…吸湿層、71……ガス状流体移送管、72……保温層、81
……加熱焼成管、82A・82B……ヒータ部、83A・83B……
温度センサ、84……予熱温度コントローラ、85……焼成
温度コントローラ、91……収納容器、92……通気スリー
ブ、93……アルカリ層、94……微粒子取り出し管、95…
…微粒子収容容器、96……粒子径測定装置。R: nitrate aqueous solution, P: oxide superconducting fine particles, S:
... space, 1 ... aqueous solution supply means, 2 ... carrier gas supply means, 3 ... mist generation means (nebulizer), 4 ...
Classification means (mist sorting means), 5 ... Moisture evaporating means (moisture evaporator), 6 ... Moisture absorbing means (Diffusion dryer), 7 ... Heat keeping means, 8 ... Baking means, 8A ... Preheating unit (Preheating furnace) ), 8B: firing section (firing furnace), 9: NOx removal means, 11: sample tank, 12: transfer pump, 13: spray liquid supply pipe, 21: oxygen gas supply source, 22 ... Flow regulator, 23 ... Oxygen gas supply pipe, 31 ... Orifice part, 32 ...
... Merging part, 33 ... Squirting part, 41 ... Mist separation sleeve, 42 ... Guide, 43 ... Classification part, 44 ... Collision part, 45 ...
... Aqueous solution collection pipe, 46 ... Trap, 47 ... Pumping pump, 48 ... Aqueous solution return pipe, 51 ... Casing, 52 ...
Heat transfer tube, 53 Heater, 54 Temperature sensor, 55 Controller, 61 Container, 62 Vent sleeve, 63
… Moisture absorbing layer, 71… gaseous fluid transfer pipe, 72… thermal insulation layer, 81
…… Heated firing tube, 82A ・ 82B …… Heater section, 83A • 83B ……
Temperature sensor, 84: Preheating temperature controller, 85: Firing temperature controller, 91: Storage container, 92: Vent sleeve, 93: Alkaline layer, 94: Particle extraction tube, 95:
... particle storage container, 96 ... particle size measuring device.
Claims (2)
スによりミスト化する工程と、該ミストを分級して粒径
の小さなミストを選別する分級工程と、選別された小径
ミストの水分を除去する吸湿工程と、水分を除去した小
径ミストを加熱して構成元素の酸化物を焼成する工程と
を有する酸化物超電導微粒子の製造方法において、 構成元素を含む水溶液が硝酸塩水溶液とされ、構成元素
の酸化物を焼成する工程の後に、NOxをアルカリ層に接
触させて拡散吸着させる工程が付加されることを特徴と
する酸化物超電導微粒子の製造方法。1. A step of converting an aqueous solution containing a constituent element into a mist with a carrier gas such as O 2 , a step of classifying the mist and selecting a mist having a small particle size, and a step of separating water of the selected small-diameter mist. A method for producing oxide superconducting fine particles, comprising: a moisture absorption step of removing, and a step of heating a small-diameter mist from which water has been removed and firing an oxide of a constituent element, wherein the aqueous solution containing the constituent element is an aqueous nitrate solution, A method for producing oxide superconducting fine particles, characterized in that a step of bringing NOx into contact with an alkali layer to diffuse and adsorb it is added after the step of baking the oxide.
スによりミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段
に接続されミストを分級して粒径の小さなミストを選別
する分級手段と、該分級手段に接続され分級された小径
ミストの水分を除去する吸湿手段と、該吸湿手段に接続
され水分を除去した小径ミストを加熱して構成元素の酸
化物を焼成する焼成手段とを具備する酸化物超電導微粒
子の製造装置において、 ミスト化手段によってミスト化される構成元素を含む水
溶液が硝酸塩水溶液とされ、焼成手段に、NOxをアルカ
リ層に接触させて拡散吸着させるNOx除去手段が接続さ
れることを特徴とする酸化物超電導微粒子の製造装置。2. A mist generating means for converting an aqueous solution containing a constituent element into a mist with a carrier gas such as O 2 , a classification means connected to the mist generating means for classifying the mist and selecting a mist having a small particle size. A moisture absorbing means connected to the classifying means for removing water from the classified small-diameter mist; and a firing means connected to the moisture absorbing means for heating the small-diameter mist from which the moisture has been removed and firing the oxides of the constituent elements. In the manufacturing apparatus of the oxide superconducting fine particles, the aqueous solution containing the constituent element to be misted by the mist forming means is a nitrate aqueous solution, and the baking means is connected to the NOx removing means for bringing NOx into contact with an alkali layer and diffusing and adsorbing the same. An apparatus for producing oxide superconducting fine particles, comprising:
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