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JP3073139B2 - Rubbing equipment - Google Patents
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JP3073139B2 - Rubbing equipment - Google Patents

Rubbing equipment

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JP3073139B2
JP3073139B2 JP32609994A JP32609994A JP3073139B2 JP 3073139 B2 JP3073139 B2 JP 3073139B2 JP 32609994 A JP32609994 A JP 32609994A JP 32609994 A JP32609994 A JP 32609994A JP 3073139 B2 JP3073139 B2 JP 3073139B2
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rubbing
liquid crystal
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static electricity
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータ端末、画
像表示装置、光シャッタ等に用いる液晶パネル装置の製
造工程において液晶パネルに配向膜を形成するために使
用するラビング装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rubbing device used for forming an alignment film on a liquid crystal panel in a process of manufacturing a liquid crystal panel device used for a computer terminal, an image display device, an optical shutter and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、TFT(薄
膜トランジスタ)素子が形成されたガラス基板上のポリ
イミドやポリビニルアルコール(PVA)などの高分子
フィルムの表面を、ナイロンなどの短い繊維を人工的な
植毛法で制御して作製したブラシや布で擦ることによ
り、液晶のプレティルトを生じさせて配向性を制御する
ラビング処理が不可欠である。
2. Description of the Related Art In a process of manufacturing a liquid crystal panel, a surface of a polymer film such as polyimide or polyvinyl alcohol (PVA) on a glass substrate on which a TFT (thin film transistor) element is formed is formed by artificially short fibers such as nylon. A rubbing treatment for controlling the orientation by generating a pretilt of the liquid crystal by rubbing with a brush or cloth manufactured by controlling by a flocking method is indispensable.

【0003】ラビング処理のプロセス中で生じる静電
気、とくにラビングローラに生じる静電電荷量はラビン
グ処理の進行に伴い蓄積・増加するため、液晶パネルの
絶縁膜中への電荷注入に伴う閾値電圧の変化などのTF
T特性の劣化、あるいはソース・ゲート間や蓄積電極と
ゲート間の部分的あるいは全面的な絶縁破壊を引き起こ
す原因となっていた。
Since the static electricity generated during the rubbing process, particularly the amount of electrostatic charge generated on the rubbing roller, accumulates and increases with the progress of the rubbing process, the change in the threshold voltage due to the charge injection into the insulating film of the liquid crystal panel. TF such as
This causes deterioration of the T characteristic or partial or complete dielectric breakdown between the source and the gate or between the storage electrode and the gate.

【0004】そこで、ラビングローラの除電対策とし
て、図4に示すように、支持台1の上に置かれた液晶パ
ネル2にラビングローラ3を当てて液晶パネル2を配向
処理する場合に、ラビングローラ3に蓄積される負の電
荷を中和させるために、カバー20に複数の除電バー2
1を設け、正にイオン化した空気をラビングローラ3に
吹き付けていた。
[0004] As a countermeasure against static electricity removal of the rubbing roller, as shown in FIG. 4, when the rubbing roller 3 is applied to the liquid crystal panel 2 placed on the support base 1 and the liquid crystal panel 2 is oriented, the rubbing roller is used. In order to neutralize the negative charge accumulated in the cover 3, a plurality of static elimination bars 2
1 was provided, and positively ionized air was blown against the rubbing roller 3.

【0005】また、他の方法として、特開平3−259
118号公報(発明の名称;液晶装置の製造方法)に開
示されているように、ラビングローラの表面に直接導電
性薄板を接触させ、発生する静電気を除去する方法が提
案されている。
Another method is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-259.
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 118 (name of the invention; a method of manufacturing a liquid crystal device), a method has been proposed in which a conductive thin plate is brought into direct contact with the surface of a rubbing roller to remove generated static electricity.

【0006】また、特開平5−218175号公報(発
明の名称;基板搬送装置)には、非導電性材質製のカセ
ット内に収納した半導体装置製造用のウェハやガラス板
等の基板に、導電性部材からなる回転ローラを接触さ
せ、この回転ローラをアースに接続することによって基
板の静電気をアースへ逃がすことで静電気を除去する装
置が提案されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-218175 (title of the invention; substrate transfer device) discloses a method of manufacturing a semiconductor device manufacturing wafer or glass plate housed in a non-conductive material cassette. There has been proposed a device for removing static electricity by contacting a rotating roller made of a conductive member and connecting the rotating roller to the ground to release the static electricity of the substrate to the ground.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、図4に示すよ
うな除電バーの能力は時間的遅延を伴い、除電が完了す
る前に次のラビング処理が行われるため、電荷を完全に
中和することが出来ないといった不都合がある。また、
前述した「液晶装置の製造方法」に係る従来技術は、摩
擦によってラビングローラの繊維が切断されたり、短い
時間で摩耗してしまうなどの不都合がある。
However, the capability of the static elimination bar as shown in FIG. 4 involves a time delay, and the next rubbing process is performed before the static elimination is completed, so that the charge is completely neutralized. There is an inconvenience that you cannot do it. Also,
The prior art relating to the above-mentioned "method of manufacturing a liquid crystal device" has disadvantages such as that the fibers of the rubbing roller are cut by friction or worn in a short time.

【0008】また、前述した「基板搬送装置」に係る従
来技術は、基板に帯電している静電気を一時的に除去す
るもので、静電気を完全に除去するものではなく静電気
の電圧を低下させるに過ぎないため、電荷の迅速な中和
処理には適さないといった不都合がある。
Further, the prior art relating to the above-mentioned "substrate transfer device" temporarily removes static electricity charged on a substrate, and does not completely remove static electricity but reduces the voltage of static electricity. This is not suitable for rapid neutralization of charges.

【0009】本発明の目的は、ラビングローラに発生し
た電荷を速やかに中和し、しかも部材の疲労の少ないラ
ビング装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a rubbing device for quickly neutralizing the electric charge generated in a rubbing roller and reducing the fatigue of members.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明によるラビング装
置は、液晶パネルを配向処理するラビングローラと、こ
のラビングローラに接触すると共にラビングローラと同
期して回転する静電気除去ローラとを設ける。
A rubbing device according to the present invention includes a rubbing roller for aligning a liquid crystal panel, and a static electricity removing roller that contacts the rubbing roller and rotates in synchronization with the rubbing roller.

【0011】また、本発明によるラビング装置は、液晶
パネルを配向処理するラビングローラと、このラビング
ローラと同期して回転すると共に液晶パネルの処理済み
部に接する静電気除去ローラとを設ける。
Further, the rubbing device according to the present invention includes a rubbing roller for aligning the liquid crystal panel, and a static electricity removing roller which rotates in synchronization with the rubbing roller and comes into contact with the processed portion of the liquid crystal panel.

【0012】[0012]

【作用】本発明の構成において、ラビングローラに接触
して同期回転する静電気除去ローラを用いれば、ラビン
グローラに発生した電荷は速やかに静電気除去ローラに
よって中和され、液晶パネルへの電荷の蓄積も緩和され
る。また、ローラ間の接触であるので摩耗疲労が少な
い。
In the structure of the present invention, if an electrostatic removing roller which rotates synchronously with the rubbing roller is used, the charge generated on the rubbing roller is immediately neutralized by the electrostatic removing roller, and the accumulation of the charge on the liquid crystal panel is also reduced. Be relaxed. Also, because of the contact between the rollers, wear fatigue is small.

【0013】また、液晶パネルの処理済み部に接してラ
ビングローラと同期回転する静電気除去ローラを用いれ
ば、液晶パネルを優先して中和し、ラビングローラの電
荷集中を緩和することができる。
Further, if a static electricity removing roller which rotates in synchronism with the rubbing roller in contact with the processed portion of the liquid crystal panel is used, the liquid crystal panel can be preferentially neutralized and the concentration of the electric charge of the rubbing roller can be reduced.

【0014】[0014]

【実施例】図1は、本発明によるラビング装置の第1の
実施例を示す構成図で、前述の図4に示す従来例と同一
構成要素には同一符号を付して説明する。本実施例は、
支持台1の上面に液晶パネル2を載置し、その上にラビ
ングローラ3の収納されたローラボックス4を配置した
構成を有する。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of a rubbing device according to the present invention. The same components as those of the conventional example shown in FIG. In this embodiment,
The liquid crystal panel 2 is mounted on the upper surface of the support 1, and the roller box 4 in which the rubbing roller 3 is stored is disposed thereon.

【0015】ローラボックス4内には、ラビングローラ
3の上方に静電気除去ローラ5が収納されている。ラビ
ングローラ3と静電気除去ローラ5とは、それぞれのプ
ーリ3aおよび5a間に掛けられたベルト6を介して互
いに反対方向に同期して回転するように動力的に接続さ
れている。
In the roller box 4, a static electricity removing roller 5 is housed above the rubbing roller 3. The rubbing roller 3 and the static electricity removing roller 5 are motively connected so as to rotate synchronously in opposite directions via belts 6 wrapped between the respective pulleys 3a and 5a.

【0016】また、静電気除去ローラ5の軸心部に支持
棒7を設け、ラビングローラ3の軸心部に支持棒8を設
け、両支持棒7,8間にスプリング9を設けて付勢する
ことで2つのローラ3,5が互いに反対方向に回転しな
がら相互に接触しあうように構成されている。本実施例
では、静電気除去ローラ5が支持棒7を介してアースさ
れている。なお、ベルト8による係合に代えて歯車係
合、チェーン係合などを用いてもよい。
Further, a support rod 7 is provided at the axis of the static electricity removing roller 5, a support rod 8 is provided at the axis of the rubbing roller 3, and a spring 9 is provided between the support rods 7 and 8 to urge it. Thus, the two rollers 3 and 5 are configured to contact each other while rotating in opposite directions. In this embodiment, the static elimination roller 5 is grounded via the support rod 7. Note that, instead of the engagement by the belt 8, a gear engagement, a chain engagement, or the like may be used.

【0017】このように構成されたラビング装置におい
て、例えばナイロン短繊維を人工植毛した布で覆ったラ
ビングローラ3を、液晶パネル2に押し付けながら回転
させて配向処理を施すと、ラビングローラ3に負の電荷
が生じる。しかし、この負の電荷はラビングローラ3と
同期回転しながら接触する静電気除去ローラ5および支
持棒7を介してアースに逃げるので、ラビングローラ3
に電荷集中を生ずることはない。
In the rubbing apparatus having the above-described configuration, for example, when the rubbing roller 3 covered with a cloth in which nylon short fibers are artificially planted is rotated while being pressed against the liquid crystal panel 2, the rubbing roller 3 is subjected to an alignment treatment. Charge is generated. However, the negative charge escapes to the ground via the static elimination roller 5 and the support rod 7 which comes into contact with the rubbing roller 3 while rotating synchronously with the rubbing roller 3.
There is no charge concentration on the surface.

【0018】また、静電気除去ローラ5の材料として
は、電荷誘導性のある絶縁物(例えば合成ゴムやフッ素
樹脂)と導電材料とが混在する高抵抗導電材料が用いら
れる。本実施例では、静電気除去ローラ5は主に電荷誘
導によって負の電荷を中和し、その除電時間は図2に示
すように、従来と比較して極めて短縮される。それによ
ってラビングローラ3の電荷は速やかに中和され、液晶
パネル2の帯電も緩和されるためTFT特性の劣化や絶
縁破壊が防止される。
As a material for the static electricity removing roller 5, a high-resistance conductive material in which an insulator (eg, synthetic rubber or fluororesin) having a charge inducing property and a conductive material are mixed is used. In this embodiment, the static elimination roller 5 neutralizes negative charges mainly by charge induction, and the charge elimination time is significantly shortened as compared with the related art, as shown in FIG. As a result, the charge of the rubbing roller 3 is quickly neutralized, and the charge of the liquid crystal panel 2 is also alleviated, so that deterioration of TFT characteristics and dielectric breakdown are prevented.

【0019】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。図3は、本発明によるラビング装置の第2の実施
例を示す構成図で、図1に示す構成と同一構成要素には
同一符号を付して説明する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a block diagram showing a second embodiment of the rubbing device according to the present invention. The same components as those shown in FIG.

【0020】本実施例は、ローラボックス4内に収納し
たラビングローラ3と静電気除去ローラ5とが横方向に
隣接して配置された構成を有し、静電気除去ローラ5が
液晶パネル2に接するように構成されている。このた
め、ローラボックス4は偏平で横長な形状を成してい
る。また、ラビングローラ3と静電気除去ローラ5と
は、それぞれのプーリ3aおよび5a間に掛けられたベ
ルト6を介して互いに同一方向に同期して回転するよう
に動力的に接続されている。
The present embodiment has a configuration in which the rubbing roller 3 and the static electricity removing roller 5 housed in the roller box 4 are arranged adjacent to each other in the horizontal direction, and the static electricity removing roller 5 contacts the liquid crystal panel 2. Is configured. For this reason, the roller box 4 has a flat and horizontally long shape. The rubbing roller 3 and the static electricity removing roller 5 are motively connected so as to rotate synchronously in the same direction with each other via a belt 6 wound between the respective pulleys 3a and 5a.

【0021】本実施例の場合、高抵抗導電材料からなる
静電気除去ローラ5は、液晶パネル2の配向処理した部
分に接しており、配向処理によって生じた正の電荷を、
図2に示すグラフのように速やかにアースに放出する。
したがって、静電気除去ローラ5は主に導電材料として
機能する。このようにして液晶パネル2の電荷が除去さ
れる結果、液晶パネル2へのパーティクルの付着が抑制
され、成膜時のギャップ不良などの発生が防止される。
In the case of this embodiment, the static electricity removing roller 5 made of a high-resistance conductive material is in contact with the aligned portion of the liquid crystal panel 2 and removes the positive charges generated by the alignment process.
As shown in the graph of FIG.
Therefore, the static electricity removing roller 5 mainly functions as a conductive material. As a result of the removal of the charges of the liquid crystal panel 2, the adhesion of particles to the liquid crystal panel 2 is suppressed, and the occurrence of a gap failure during film formation is prevented.

【0022】このように、静電気除去ローラ5はラビン
グローラ3と同期して回転し、電荷の発生量に比例した
量の電荷を中和または放出するので、迅速な中和処理を
行うことができる。また、高抵抗導電材料からなる静電
気除去ローラ5は電荷の種類に応じて機能的に作用す
る。
As described above, since the static elimination roller 5 rotates in synchronization with the rubbing roller 3 and neutralizes or discharges an amount of charge proportional to the amount of generated charge, a quick neutralization process can be performed. . Further, the static electricity removing roller 5 made of a high-resistance conductive material functions functionally according to the type of electric charge.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば、液晶パネルの配向処理
によって生ずる静電気が極めて迅速に中和される結果、
液晶パネルのTFT特性の変化や絶縁破壊、あるいは異
物の付着などを未然に防止することができる効果が得ら
れる。
According to the present invention, the static electricity generated by the alignment treatment of the liquid crystal panel is neutralized very quickly.
The effect is obtained that it is possible to prevent a change in the TFT characteristics of the liquid crystal panel, dielectric breakdown, adhesion of foreign substances, and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるラビング装置の第1の実施例を示
す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a rubbing device according to the present invention.

【図2】帯電比の特性図である。FIG. 2 is a characteristic diagram of a charging ratio.

【図3】本発明の第2の実施例を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】従来のラビング装置の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional rubbing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 支持台 2 液晶パネル 3 ラビングローラ 4 ローラボックス 5 静電気除去ローラ 6 ベルト 7,8 支持棒 9 スプリング DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support stand 2 Liquid crystal panel 3 Rubbing roller 4 Roller box 5 Static elimination roller 6 Belt 7,8 Support rod 9 Spring

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 液晶パネルを配向処理するラビングロー
ラと、このラビングローラに接触すると共にラビングロ
ーラと同期して回転する静電気除去ローラとを備えるこ
とを特徴とするラビング装置。
1. A rubbing device comprising: a rubbing roller for aligning a liquid crystal panel; and a static electricity removing roller that contacts the rubbing roller and rotates in synchronization with the rubbing roller.
【請求項2】 液晶パネルを配向処理するラビングロー
ラと、このラビングローラと同期して回転すると共に前
記液晶パネルの処理済み部に接する静電気除去ローラと
を備えることを特徴とするラビング装置。
2. A rubbing device comprising: a rubbing roller for aligning a liquid crystal panel; and a static electricity removing roller that rotates in synchronization with the rubbing roller and contacts a processed portion of the liquid crystal panel.
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