JP3136370B2 - サイズ分離ユニット - Google Patents
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Landscapes
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスの製造
に必要な各種の液体や気体の濾過等に使用されるシリカ
質多孔体の濾過体と、この濾過体を被包し、かつ流体供
給管及び流体排出管を設けた石英ガラスからなるハウジ
ングとを有するサイズ分離ユニットに関する。
に必要な各種の液体や気体の濾過等に使用されるシリカ
質多孔体の濾過体と、この濾過体を被包し、かつ流体供
給管及び流体排出管を設けた石英ガラスからなるハウジ
ングとを有するサイズ分離ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のサイズ分離ユニットは、
図１０に示すように、気孔（ポア）径の大きな多孔質シ
リカからなる支持体の表面に所要の気孔径の多孔質シリ
カからなる濾過層を積層して気孔径の制御された多孔質
シリカからなる一端封止のチューブ状（有底円筒状）の
濾過体３１と、石英ガラス（非晶質シリカ）からなり、
上記濾過体３１を気密に被包し、かつ濾過体３１に被濾
過流体を供給する流体供給体３２及び濾過流体を排出す
る流体排出管３３を設けたハウジング３４とを備えてい
る（特開平３−２０２１０６号広報（特願平１−３４３
７０２号）参照）。
図１０に示すように、気孔（ポア）径の大きな多孔質シ
リカからなる支持体の表面に所要の気孔径の多孔質シリ
カからなる濾過層を積層して気孔径の制御された多孔質
シリカからなる一端封止のチューブ状（有底円筒状）の
濾過体３１と、石英ガラス（非晶質シリカ）からなり、
上記濾過体３１を気密に被包し、かつ濾過体３１に被濾
過流体を供給する流体供給体３２及び濾過流体を排出す
る流体排出管３３を設けたハウジング３４とを備えてい
る（特開平３−２０２１０６号広報（特願平１−３４３
７０２号）参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のサイズ分離
ユニットでは、流体供給管及び流体排出管が石英ガラス
からなるため、ガラス製の配管系に繋いで使用する場合
には、そのままあるいは段継ぎ等の方法により直接溶接
できるので都合がよいものの、ステンレス鋼等の金属製
の配管系に繋いで使用する場合には、軟質ビニール管等
の柔軟なパイプを用いたり、あるいはＯリングを使った
コンプレッションシール等の方法によって気密に接続す
ることが行われているが、接続中や使用中に流体供給管
の破損等の事故が起こり易く、そのために十分な締め付
けができず、使用中に漏水やはずれが生じる問題があ
る。
ユニットでは、流体供給管及び流体排出管が石英ガラス
からなるため、ガラス製の配管系に繋いで使用する場合
には、そのままあるいは段継ぎ等の方法により直接溶接
できるので都合がよいものの、ステンレス鋼等の金属製
の配管系に繋いで使用する場合には、軟質ビニール管等
の柔軟なパイプを用いたり、あるいはＯリングを使った
コンプレッションシール等の方法によって気密に接続す
ることが行われているが、接続中や使用中に流体供給管
の破損等の事故が起こり易く、そのために十分な締め付
けができず、使用中に漏水やはずれが生じる問題があ
る。
【０００４】そこで、本発明は、金属配管系との信頼性
の高い接続を可能とする石英ガラス製のサイズ分離ユニ
ットの提供を目的とする。
の高い接続を可能とする石英ガラス製のサイズ分離ユニ
ットの提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明のサイズ分離ユニットは、気孔径の制御され
た多孔質シリカからなる一端封止のチューブ状の濾過体
と、石英ガラスからなり、上記濾過体を気密に被包し、
かつ濾過体に被濾過流体を供給する流体供給管及び濾過
流体を排出する流体排出管を設けたハウジングとを有す
るサイズ分離ユニットにおいて、前記流体供給管及び流
体排出管の少なくとも一方の端部に樹脂接合部によって
接合された金属管を備えている。
め、本発明のサイズ分離ユニットは、気孔径の制御され
た多孔質シリカからなる一端封止のチューブ状の濾過体
と、石英ガラスからなり、上記濾過体を気密に被包し、
かつ濾過体に被濾過流体を供給する流体供給管及び濾過
流体を排出する流体排出管を設けたハウジングとを有す
るサイズ分離ユニットにおいて、前記流体供給管及び流
体排出管の少なくとも一方の端部に樹脂接合部によって
接合された金属管を備えている。
【０００６】樹脂接合部によって接続された流体供給管
及び／又は流体排出管と金属管の接合端部は、同軸的に
重ね合わされていることが好ましい。又、樹脂接合部に
よって接続された流体供給管及び／又は流体排出管と金
属管は、少なくとも一方の接合端部に形成したフランジ
又は径大部を介して突き合わされていることが好まし
い。
及び／又は流体排出管と金属管の接合端部は、同軸的に
重ね合わされていることが好ましい。又、樹脂接合部に
よって接続された流体供給管及び／又は流体排出管と金
属管は、少なくとも一方の接合端部に形成したフランジ
又は径大部を介して突き合わされていることが好まし
い。
【０００７】樹脂接合部は、流体供給管及び／又は流体
排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又はハウ
ジングの外周にまで及んで形成されていることが好まし
い。又、接合端部からハウジングまで又はハウジングの
外周にまで及んで形成されている樹脂接合部の外周に
は、金属補強管が嵌装されていることが好ましい。
排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又はハウ
ジングの外周にまで及んで形成されていることが好まし
い。又、接合端部からハウジングまで又はハウジングの
外周にまで及んで形成されている樹脂接合部の外周に
は、金属補強管が嵌装されていることが好ましい。
【０００８】
【作用】上記手段においては、石英ガラス製のサイズ分
離ユニットが接続用の金属管を備えたものとなる。樹脂
接合部によって接続された流体供給管及び／又は流体排
出管と金属管の接合端部を同軸的に重ね合わせることに
より、合成樹脂が接合端部の外周に塗布され、非濾過流
体及び／又は濾過流体との接触が遮断される。又、樹脂
接合部によって接合された流体供給管及び／又は流体排
出管と金属管を、少なくとも一方の接合端部に形成した
フランジ又は径大部を介して突き合わせることにより、
その外周を覆う樹脂接合部との接合強度が大きくなる。
離ユニットが接続用の金属管を備えたものとなる。樹脂
接合部によって接続された流体供給管及び／又は流体排
出管と金属管の接合端部を同軸的に重ね合わせることに
より、合成樹脂が接合端部の外周に塗布され、非濾過流
体及び／又は濾過流体との接触が遮断される。又、樹脂
接合部によって接合された流体供給管及び／又は流体排
出管と金属管を、少なくとも一方の接合端部に形成した
フランジ又は径大部を介して突き合わせることにより、
その外周を覆う樹脂接合部との接合強度が大きくなる。
【０００９】樹脂接合部が、流体供給管及び／又は流体
排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又はハウ
ジングの外周にまで及んで形成されていることにより、
流体供給管及び／又は流体排出管のネック部が補強され
又はユニット全体が保護される。又、接合端部からハウ
ジングまで又はハウジングの外周にまで及んで形成され
た樹脂接合部の外周に金属補強管が嵌装されていること
により、流体供給管及び／又は流体排出管自体及びその
ネック部又はユニット全体が一層補強される。
排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又はハウ
ジングの外周にまで及んで形成されていることにより、
流体供給管及び／又は流体排出管のネック部が補強され
又はユニット全体が保護される。又、接合端部からハウ
ジングまで又はハウジングの外周にまで及んで形成され
た樹脂接合部の外周に金属補強管が嵌装されていること
により、流体供給管及び／又は流体排出管自体及びその
ネック部又はユニット全体が一層補強される。
【００１０】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１実施例のサイズ分離ユニットの
断面図である。図中１は気孔径の制御された多孔質シリ
カからなる一端封止のチューブ状の濾過体で、気孔径の
比較的大きな多孔質シリカからなる支持体の表面に、所
要の気孔径の多孔質シリカからなる濾過層を積層して構
成されており、濾過体１の開口端部には、石英ガラスか
らなり、濾過体１とほぼ同径にして、かつそれに被濾過
流体を供給する流体供給管２が一端部を介し融着して連
設されている。
る。図１は本発明の第１実施例のサイズ分離ユニットの
断面図である。図中１は気孔径の制御された多孔質シリ
カからなる一端封止のチューブ状の濾過体で、気孔径の
比較的大きな多孔質シリカからなる支持体の表面に、所
要の気孔径の多孔質シリカからなる濾過層を積層して構
成されており、濾過体１の開口端部には、石英ガラスか
らなり、濾過体１とほぼ同径にして、かつそれに被濾過
流体を供給する流体供給管２が一端部を介し融着して連
設されている。
【００１１】流体供給管２の一端部外周には、石英ガラ
スからなり、濾過体１より外径及び長さを適宜大きくし
た円筒状のハウジング３が、濾過体１を同軸的に被包す
るようにし、一端の透孔４を介して嵌装され、かつ気密
に融着されており、ハウジング３の他端部には、石英ガ
ラスからなり、流体供給管２とほぼ同外径を有し、かつ
濾過体１によって濾過された濾過流体を排出する流体排
出管５が一体に連設されている。そして、流体供給管２
の他端部及び流体排出管５の端部には、これらと同等の
外径を有し、ステンレス鋼からなる金属管６が、それぞ
れの突き合わせ部に介装したエポキシ樹脂やアクリル樹
脂等の接着性のある合成樹脂からなる樹脂接合部７によ
り気密に接合して連設されている。流体供給管２及び流
体排出管５と各金属管６との接合は、それぞれの突き合
わせ端面に合成樹脂を適宜に塗布し、それぞれ突き合わ
せて固化させることによって行う。
スからなり、濾過体１より外径及び長さを適宜大きくし
た円筒状のハウジング３が、濾過体１を同軸的に被包す
るようにし、一端の透孔４を介して嵌装され、かつ気密
に融着されており、ハウジング３の他端部には、石英ガ
ラスからなり、流体供給管２とほぼ同外径を有し、かつ
濾過体１によって濾過された濾過流体を排出する流体排
出管５が一体に連設されている。そして、流体供給管２
の他端部及び流体排出管５の端部には、これらと同等の
外径を有し、ステンレス鋼からなる金属管６が、それぞ
れの突き合わせ部に介装したエポキシ樹脂やアクリル樹
脂等の接着性のある合成樹脂からなる樹脂接合部７によ
り気密に接合して連設されている。流体供給管２及び流
体排出管５と各金属管６との接合は、それぞれの突き合
わせ端面に合成樹脂を適宜に塗布し、それぞれ突き合わ
せて固化させることによって行う。
【００１２】上記第１実施例のサイズが分離ユニットに
おいては、石英ガラス製のサイズ分離ユニットが接続用
の金属管６を備えたものとなるので、金属製の配管系と
の接続が金属管同志の接続となり、ねじ止め、溶接、フ
ランジ止め等の簡便で信頼性の高い接続を自由に行うこ
とができるものであり、図示矢印で示すように、一方の
金属管６から流体供給管２を経て濾過体１に供給された
被濾過体は、濾過体１の濾過層によって濾過され、濾過
流体は、流体排出管５を経て他方の金属６から排出され
る。
おいては、石英ガラス製のサイズ分離ユニットが接続用
の金属管６を備えたものとなるので、金属製の配管系と
の接続が金属管同志の接続となり、ねじ止め、溶接、フ
ランジ止め等の簡便で信頼性の高い接続を自由に行うこ
とができるものであり、図示矢印で示すように、一方の
金属管６から流体供給管２を経て濾過体１に供給された
被濾過体は、濾過体１の濾過層によって濾過され、濾過
流体は、流体排出管５を経て他方の金属６から排出され
る。
【００１３】図２、図３はそれぞれ本発明の第２実施
例、第３実施例のサイズ分離ユニットの要部の断面図で
ある。これらのサイズ分離ユニットは、流体供給管２及
び流体排出管５（両図においては流体排出管側のみ示
す）と各金属管６１、６２とを、口径を相対的に変え
（図２のものは金属管を流体排出管より大きくし、又図
３のものは金属管を流体排出管より小さくし）、一方を
他方に隙間無く差し込んで接合端部を同軸的に重ね合わ
せるようにし、この接合端部の外周を覆う樹脂接合部７
１、７２によって接合したものである。他の構成は、図
１のものと同様であるので、同一の部材等には同一の符
号を付してその説明を省略する。
例、第３実施例のサイズ分離ユニットの要部の断面図で
ある。これらのサイズ分離ユニットは、流体供給管２及
び流体排出管５（両図においては流体排出管側のみ示
す）と各金属管６１、６２とを、口径を相対的に変え
（図２のものは金属管を流体排出管より大きくし、又図
３のものは金属管を流体排出管より小さくし）、一方を
他方に隙間無く差し込んで接合端部を同軸的に重ね合わ
せるようにし、この接合端部の外周を覆う樹脂接合部７
１、７２によって接合したものである。他の構成は、図
１のものと同様であるので、同一の部材等には同一の符
号を付してその説明を省略する。
【００１４】上記第２、第３実施例のサイズ分離ユニッ
トにおいては、樹脂接合部７１、７２が被濾過流体及び
濾過流体と接触することが無くなり、エチレングリコー
ル等の濾過に際し、樹脂接合部７１、７２が溶解したり
するのを防止することができる。
トにおいては、樹脂接合部７１、７２が被濾過流体及び
濾過流体と接触することが無くなり、エチレングリコー
ル等の濾過に際し、樹脂接合部７１、７２が溶解したり
するのを防止することができる。
【００１５】図４は本発明の第４実施例のサイズ分離ユ
ニットの要部の断面図である。このサイズ分離ユニット
は、接合を簡便にするため、流体供給管２及び流体排出
管５（図においては流体排出側のみ示す）の接合端部外
周に、端部に近づくにつれて小外径となるテーパー面８
を形成する一方、各金属管６の接合端部内周に、上記テ
ーパー面８と係合可能なテーパー面９を形成し、流体供
給管２及び流体排出管５と各金属管６をそれぞれのテー
パー面８、９を係合させて当接した状態で、流体供給管
２及び流体排出管５と各金属管６の接合端部の外周を覆
う樹脂接合部７３をハウジング３の端部まで及ばせてモ
ールドして形成したものである。他の構成は、図１のも
のと同様であるので、同一の部材等には同一の符号を付
してその説明を省略する。
ニットの要部の断面図である。このサイズ分離ユニット
は、接合を簡便にするため、流体供給管２及び流体排出
管５（図においては流体排出側のみ示す）の接合端部外
周に、端部に近づくにつれて小外径となるテーパー面８
を形成する一方、各金属管６の接合端部内周に、上記テ
ーパー面８と係合可能なテーパー面９を形成し、流体供
給管２及び流体排出管５と各金属管６をそれぞれのテー
パー面８、９を係合させて当接した状態で、流体供給管
２及び流体排出管５と各金属管６の接合端部の外周を覆
う樹脂接合部７３をハウジング３の端部まで及ばせてモ
ールドして形成したものである。他の構成は、図１のも
のと同様であるので、同一の部材等には同一の符号を付
してその説明を省略する。
【００１６】上記第４実施例のサイズ分離ユニットにお
いては、金属製の配管系と接続作業中最も折れ易いネッ
ク部並びに流体供給管２及び流体排出管５自体の補強を
行い、その強度を高めることができる。
いては、金属製の配管系と接続作業中最も折れ易いネッ
ク部並びに流体供給管２及び流体排出管５自体の補強を
行い、その強度を高めることができる。
【００１７】図５、図６は本発明の第５実施例、第６実
施例のサイズ分離ユニットの要部の断面図である。これ
らのサイズ分離ユニットは、流体供給管２及び流体排出
管５（両図においては流体排出管例のみ示す）と各金属
管６のそれぞれの接合端部にフランジ１０、１１や径大
部１２、１３を形成し、これらを突き合わせた状態で、
各接合端部の外周を覆う樹脂接合部７３をハウジング３
の端部まで及ばせてモールドして形成したものである。
他の構成は、図１のものと同様であるので、同一の部材
等には同一の符号を付してその説明を省略する。
施例のサイズ分離ユニットの要部の断面図である。これ
らのサイズ分離ユニットは、流体供給管２及び流体排出
管５（両図においては流体排出管例のみ示す）と各金属
管６のそれぞれの接合端部にフランジ１０、１１や径大
部１２、１３を形成し、これらを突き合わせた状態で、
各接合端部の外周を覆う樹脂接合部７３をハウジング３
の端部まで及ばせてモールドして形成したものである。
他の構成は、図１のものと同様であるので、同一の部材
等には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００１８】上記第５、６実施例のサイズ分離ユニット
においては、樹脂接合部７３の合成樹脂が固化するとき
の収縮力により、フランジ１０、１１又は径大部１２、
１３同志が押圧されて隙間無く接触されると共に、流体
供給管２及び流体排出管５と各金属管６の接合端部と、
樹脂接合部７３との接合強度が大きくなる。
においては、樹脂接合部７３の合成樹脂が固化するとき
の収縮力により、フランジ１０、１１又は径大部１２、
１３同志が押圧されて隙間無く接触されると共に、流体
供給管２及び流体排出管５と各金属管６の接合端部と、
樹脂接合部７３との接合強度が大きくなる。
【００１９】図７は本発明の第７実施例のサイズ分離ユ
ニットの断面図である。このサイズ分離ユニットは、各
金属管６の接合端部にフランジ１４を形成すると共に、
フランジ１４より先端側に流体供給管２及び流体排出管
５に嵌挿可能な小径部１５を形成し、それぞれの小径部
１５を流体供給管２及び流体排出管５に嵌挿し、かつフ
ランジ１４を流体供給管２及び流体排出管５の端面に当
接させた状態で、各接合端部の外周を覆う樹脂接合部７
４をハウジング３の外周にまで及ばせ、全長に亘って同
径にモールドして形成したものである。他の構成は、図
１のものと同様であるので、同一の部材等には同一の符
号を付してその説明を省略する。
ニットの断面図である。このサイズ分離ユニットは、各
金属管６の接合端部にフランジ１４を形成すると共に、
フランジ１４より先端側に流体供給管２及び流体排出管
５に嵌挿可能な小径部１５を形成し、それぞれの小径部
１５を流体供給管２及び流体排出管５に嵌挿し、かつフ
ランジ１４を流体供給管２及び流体排出管５の端面に当
接させた状態で、各接合端部の外周を覆う樹脂接合部７
４をハウジング３の外周にまで及ばせ、全長に亘って同
径にモールドして形成したものである。他の構成は、図
１のものと同様であるので、同一の部材等には同一の符
号を付してその説明を省略する。
【００２０】上記第７実施例のサイズ分離ユニットにお
いては、第５、第６実施例のものと同様に、樹脂接合部
７４の合成樹脂が固化するときの収縮力により、双方の
フランジ１４が互いに接近する方向へ押圧されることに
よって、各フランジ１４が流体供給管２及び流体排出管
５の端面に押圧されて隙間が無くなると共に、ユニット
全体が保護される。
いては、第５、第６実施例のものと同様に、樹脂接合部
７４の合成樹脂が固化するときの収縮力により、双方の
フランジ１４が互いに接近する方向へ押圧されることに
よって、各フランジ１４が流体供給管２及び流体排出管
５の端面に押圧されて隙間が無くなると共に、ユニット
全体が保護される。
【００２１】図８は本発明の第８実施例のサイズ分離ユ
ニットの要部の断面図である。このサイズ分離ユニット
は、図４のものの樹脂接合部７３の外周に円筒形の金属
補強管１６を嵌装したものであり、このようにすること
により、ネック部並びに流体供給管２及び流体排出管５
自体の補強を一層高めることができる。他の構成は、図
４のものと同様であるので、同一の部材等には同一の符
号を付してその説明を省略する。
ニットの要部の断面図である。このサイズ分離ユニット
は、図４のものの樹脂接合部７３の外周に円筒形の金属
補強管１６を嵌装したものであり、このようにすること
により、ネック部並びに流体供給管２及び流体排出管５
自体の補強を一層高めることができる。他の構成は、図
４のものと同様であるので、同一の部材等には同一の符
号を付してその説明を省略する。
【００２２】図９は本発明の第９実施例のサイズ分離ユ
ニットの断面図である。このサイズ分離ユニットは、流
体供給管２及び流体排出管５の接合端部外周に、端部に
近づくにつれて小外径となるテーパー面１７を形成する
一方、各金属管６の接合端部内周に、上記テーパー面１
７と係合可能なテーパー面１８を形成し、かつ接合端部
外周にフランジ１９を形成し、流体供給管２及び流体排
出管５と各金属管６をそれぞれのテーパー面１７、１８
を係合させて当接した状態で、各接合端部の外周を覆う
樹脂接合部７５をハウジング３の外周にまで及ばせ、全
長に亘って同径にモールドして形成し、更に、樹脂接合
部７５の外周に円筒形の金属補強管２０を嵌装したもの
である。他の構成は、図１のものと同様であるので、同
一の部材等には同一の符号を付してその説明を省略す
る。
ニットの断面図である。このサイズ分離ユニットは、流
体供給管２及び流体排出管５の接合端部外周に、端部に
近づくにつれて小外径となるテーパー面１７を形成する
一方、各金属管６の接合端部内周に、上記テーパー面１
７と係合可能なテーパー面１８を形成し、かつ接合端部
外周にフランジ１９を形成し、流体供給管２及び流体排
出管５と各金属管６をそれぞれのテーパー面１７、１８
を係合させて当接した状態で、各接合端部の外周を覆う
樹脂接合部７５をハウジング３の外周にまで及ばせ、全
長に亘って同径にモールドして形成し、更に、樹脂接合
部７５の外周に円筒形の金属補強管２０を嵌装したもの
である。他の構成は、図１のものと同様であるので、同
一の部材等には同一の符号を付してその説明を省略す
る。
【００２３】上記第９実施例のサイズ分離ユニットにお
いては、樹脂接合部７５の形成に際し、流体供給管２及
び流体排出管５と各金属管６の接合部が動かず、その形
成が簡便になると共に、樹脂接合部７５の合成樹脂が固
化するときの収縮力により、双方のフランジ１９が互い
に接近する方向へ押圧されることによって、接合部のテ
ーパー面１７、１８に隙間が無くなると共に、ユニット
全体の補強を一層高めることができる。
いては、樹脂接合部７５の形成に際し、流体供給管２及
び流体排出管５と各金属管６の接合部が動かず、その形
成が簡便になると共に、樹脂接合部７５の合成樹脂が固
化するときの収縮力により、双方のフランジ１９が互い
に接近する方向へ押圧されることによって、接合部のテ
ーパー面１７、１８に隙間が無くなると共に、ユニット
全体の補強を一層高めることができる。
【００２４】ここで、上述した樹脂接合部７３、７４、
７５のモールド成形に際しては、合成樹脂にガラス粒等
のフィラーを添加し、その強度を向上させることが望ま
しい。なお、上記各実施例においては、金属管６、６
１、６２を流体供給管２及び流体排出管５の双方に接合
する場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、流体供給管２又は流体排出管５のいずれか一方
にのみ金属管６、６１、６２を接合するようにしてもよ
い。又、濾過体１の内部に被濾過体を供給し、濾過され
た濾過流体をその外部へ流出させる場合に限らず、濾過
体１の外部から被濾過流体を供給し、濾過された濾過流
体をその内部から流出させるようにしてもよい。
７５のモールド成形に際しては、合成樹脂にガラス粒等
のフィラーを添加し、その強度を向上させることが望ま
しい。なお、上記各実施例においては、金属管６、６
１、６２を流体供給管２及び流体排出管５の双方に接合
する場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、流体供給管２又は流体排出管５のいずれか一方
にのみ金属管６、６１、６２を接合するようにしてもよ
い。又、濾過体１の内部に被濾過体を供給し、濾過され
た濾過流体をその外部へ流出させる場合に限らず、濾過
体１の外部から被濾過流体を供給し、濾過された濾過流
体をその内部から流出させるようにしてもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のサイズ分
離ユニットによれば、石英ガラス製のサイズ分離ユニッ
トが接続用の金属管を備えたものとなるので、金属配管
系との接続が金属管同志の接続となり、ねじ止め、溶
接、フランジ止め等の簡便で信頼性の高い接続を行うこ
とができる。
離ユニットによれば、石英ガラス製のサイズ分離ユニッ
トが接続用の金属管を備えたものとなるので、金属配管
系との接続が金属管同志の接続となり、ねじ止め、溶
接、フランジ止め等の簡便で信頼性の高い接続を行うこ
とができる。
【００２６】樹脂接合部によって接続された流体供給管
及び／又は流体排出管と金属管の接合端部を同軸的に重
ね合わせることにより、合成樹脂が接合端部の外周に塗
布され、被濾過流体及び／又は濾過流体との接触が遮断
されるので、エチレングリコール等の濾過に際し、樹脂
接合部が溶解したりするのを防止することができる。
又、樹脂接合部によって接合された流体供給管及び／又
は流体排出管と金属管を、少なくとも一方の端部に形成
したフランジ部又は径大部を介して突き合わせることに
より、その外周を覆う樹脂接合部との接合強度が大きく
なるので、接合部の信頼性を高めることができる。
及び／又は流体排出管と金属管の接合端部を同軸的に重
ね合わせることにより、合成樹脂が接合端部の外周に塗
布され、被濾過流体及び／又は濾過流体との接触が遮断
されるので、エチレングリコール等の濾過に際し、樹脂
接合部が溶解したりするのを防止することができる。
又、樹脂接合部によって接合された流体供給管及び／又
は流体排出管と金属管を、少なくとも一方の端部に形成
したフランジ部又は径大部を介して突き合わせることに
より、その外周を覆う樹脂接合部との接合強度が大きく
なるので、接合部の信頼性を高めることができる。
【００２７】樹脂接合部が、流体供給管及び／又は流体
排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又はハウ
ジングの外周にまで及んで形成されていることにより、
流体供給管及び／又は流体排出管とそのネック部が補強
され又はユニット全体が保護されるので、金属配管系と
の接続作業中最も折れ易いネック部と流体供給管及び／
又は流体排出管又はユニット全体の強度を高めることが
できる。又、接合端部からハウジングまで又はハウジン
グの外周にまで及んで形成された樹脂接合部の外周に金
属補強管が嵌装されていることにより、流体供給管及び
／又は流体排出管とそのネック部が一層補強され又はユ
ニット全体が更に保護されるので、流体供給管及び／又
は流体排出管とそのネック部又はユニット全体の強度を
一層高めることができる。
排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又はハウ
ジングの外周にまで及んで形成されていることにより、
流体供給管及び／又は流体排出管とそのネック部が補強
され又はユニット全体が保護されるので、金属配管系と
の接続作業中最も折れ易いネック部と流体供給管及び／
又は流体排出管又はユニット全体の強度を高めることが
できる。又、接合端部からハウジングまで又はハウジン
グの外周にまで及んで形成された樹脂接合部の外周に金
属補強管が嵌装されていることにより、流体供給管及び
／又は流体排出管とそのネック部が一層補強され又はユ
ニット全体が更に保護されるので、流体供給管及び／又
は流体排出管とそのネック部又はユニット全体の強度を
一層高めることができる。
【図１】本発明の第１実施例のサイズ分離ユニットの断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の第２実施例のサイズ分離ユニットの要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図３】本発明の第３実施例のサイズ分離ユニットの要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図４】本発明の第４実施例のサイズ分離ユニットの要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図５】本発明の第５実施例のサイズ分離ユニットの要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図６】本発明の第６実施例のサイズ分離ユニットの要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図７】本発明の第７実施例のサイズ分離ユニットの断
面図である。
面図である。
【図８】本発明の第８実施例のサイズ分離ユニットの要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図９】本発明の第９実施例のサイズ分離ユニットの断
面図である。
面図である。
【図１０】従来のサイズ分離ユニットの断面図である。
１ 濾過体 ２ 流体供給管 ３ ハウジング ５ 流体排出管 ６ 金属管 ７ 樹脂接合部 １０ フランジ １１ フランジ １２ 径大部 １３ 径大部 １４ フランジ １６ 金属補強管 １９ フランジ ２０ 金属補強管 ６１ 金属管 ６２ 金属管 ７１ 樹脂接合部 ７２ 樹脂接合部 ７３ 樹脂接合部 ７４ 樹脂接合部 ７５ 樹脂接合部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 研司 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミ ックス株式会社 中央研究所内 (56)参考文献 特開 平１−202373（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−83415（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 35/02 B01D 39/20 B01D 46/24
Claims (5)
- 【請求項１】 気孔径の制御された多孔質シリカからな
る一端封止のチューブ状の濾過体と、石英ガラスからな
り、上記濾過体を気密にし被包し、かつ濾過体に被濾過
流体を供給する流体供給管及び濾過流体を排出する流体
排出管を設けたハウジングとを有するサイズ分離ユニッ
トにおいて、前記流体供給管及び流体排出管の少なくと
も一方の端部に樹脂接合部によって接合された金属管を
備えることを特徴とするサイズ分離ユニット。 - 【請求項２】 請求項１のサイズ分離ユニットにおい
て、前記樹脂接合部によって接合された流体供給管及び
／又は流体排出管との接合端部が同軸的に重ね合わせら
れていることを特徴とするサイズ分離ユニット。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のサイズ分離ユニッ
トにおいて、前記樹脂接合部によって接合された流体供
給管及び／又は流体排出管と金属管が少なくとも一方の
接合端部に形成したフランジ又は径大部を介して突き合
わされていることを特徴とするサイズ分離ユニット。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載のサイズ分離ユ
ニットにおいて、前記樹脂接合部が流体供給管及び／又
は流体排出管と金属管の接合端部からハウジングまで又
はハウジングの外周にまで及んで形成されていることを
特徴とするサイズ分離ユニット。 - 【請求項５】 請求項４記載のサイズ分離ユニットにお
いて、前記樹脂接合部の外周に金属補強管が嵌装されて
いることを特徴とするサイズ分離ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04100534A JP3136370B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | サイズ分離ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04100534A JP3136370B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | サイズ分離ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05269317A JPH05269317A (ja) | 1993-10-19 |
| JP3136370B2 true JP3136370B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=14276628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04100534A Expired - Fee Related JP3136370B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | サイズ分離ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3136370B2 (ja) |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP04100534A patent/JP3136370B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05269317A (ja) | 1993-10-19 |
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