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JP3152607B2 - Micro sample collection apparatus and method - Google Patents
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JP3152607B2 - Micro sample collection apparatus and method - Google Patents

Micro sample collection apparatus and method

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JP3152607B2
JP3152607B2 JP02678396A JP2678396A JP3152607B2 JP 3152607 B2 JP3152607 B2 JP 3152607B2 JP 02678396 A JP02678396 A JP 02678396A JP 2678396 A JP2678396 A JP 2678396A JP 3152607 B2 JP3152607 B2 JP 3152607B2
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electrode
discharge machining
electric discharge
mold
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  • Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、放電加工によって
発電プラントなどの構造材料の表面から微小な部材を採
取したり、所望の形状の試料を採取する微小試料採取装
置および微小試料採取方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micro-sample collecting apparatus and a micro-sample collecting method for collecting minute members from the surface of a structural material such as a power plant by electric discharge machining, and for collecting a sample of a desired shape.

【0002】[0002]

【従来の技術】金属材料の表層を採取するための従来の
技術として、例えば特開昭63−231238に記載さ
れているように、予め切削しておいた溝にU字状の放電
加工電極を下ろし、それを金属表面に平行に移動させる
手段によって、材料を採取するもが知られている。この
例では加工部の回りに堰を設け、その中に加工液を満た
すようになっていた。
2. Description of the Related Art As a conventional technique for collecting a surface layer of a metal material, as described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-231238, a U-shaped electric discharge machining electrode is inserted into a previously cut groove. It is also known to extract the material by means of lowering it and moving it parallel to the metal surface. In this example, a weir is provided around the processing part, and the processing liquid is filled therein.

【0003】また、他の金属材料の表層を採取するため
の従来の技術として、「火力原子力発電、Vol.4
3,No.4」に示されているように、型放電による溝
加工と型放電によるサンプル切断加工を行ない、材料を
採取するものも知られている。この例では、構造物の健
全性評価用の試験片の作製は、材料を採取した後に溶接
と加工によって行なうようになっていた。
[0003] As a conventional technique for collecting a surface layer of another metal material, there is disclosed a thermal nuclear power generation, Vol.
3, No. As shown in No. 4 ", there is also known a method in which a groove is formed by die discharge and a sample is cut by die discharge to collect a material. In this example, the production of a test piece for evaluating the soundness of a structure was performed by welding and working after the material was sampled.

【0004】さらに、他の公知例として特開平7−15
9295号公報に記載された発明も知られている。この
発明は、内面が窪んだ舟形形状をした型電極を回転可能
に支持し、絶縁性の液中で前記型電極を回転させ、金属
材料の表面から内部に放電加工によって前記電極を進入
させて金属材料の一部を切り取るように構成されてい
る。
Further, as another known example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
The invention described in No. 9295 is also known. The present invention rotatably supports a boat-shaped mold electrode having a concave inner surface, rotates the mold electrode in an insulating liquid, and allows the electrode to enter from the surface of the metal material to the inside by electric discharge machining. It is configured to cut out a part of the metal material.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
においては、全ての加工に型電極を使用していたため
に、採取対象となる金属(構造物)から型電極の肉厚分
だけ余分に試料を採取しなければならなかった。また、
型電極による採取試料はワイヤ放電加工によって採取さ
れた試料に比べて試料表面に非常に厚い変質層を含んで
いるため、実質的に使用出来る健全な試料部分が少な
く、そのため変質層の量をさらに見越して余分にサンプ
リングしなければならなかった。加えて、材料採取の最
終段階において採取部が固定されていないことから、放
電が不安定となり、放電加工が進まなくなるということ
があった。
However, in the above-mentioned prior art, since the mold electrode is used for all the processing, an extra sample is added from the metal (structure) to be collected by the thickness of the mold electrode. Had to be collected. Also,
Since the sample collected by the mold electrode contains a very thick altered layer on the sample surface compared to the sample collected by wire electric discharge machining, there is substantially less usable healthy sample part, and therefore the amount of the altered layer is further increased. Extra sampling had to be done in anticipation. In addition, since the sampling portion is not fixed in the final stage of material sampling, the discharge becomes unstable and the discharge machining may not proceed.

【0006】また、これらの方法を原子炉などのプラン
トに適用する場合、採取された材料を保持する機構を備
えていないため、材料の取り出しが行なえないという問
題が生じていた。さらに、この方法を原子炉内構造物の
健全性評価用試験片採取に適用する場合には、原子炉内
で放射化した材料を採取した後に、試験片形状にするた
めの切断、切削等の加工をする必要があり、作業員の被
爆低減と放射化した加工紛の処理に対する配慮が必要と
なるとともに、原子炉内構造物からの材料採取のよう
に、遠隔操作が必要となる部位へ適用するためには、装
置全体の一体化、小型化をさらに進める必要もあった。
Further, when these methods are applied to a plant such as a nuclear reactor, there is no problem that a mechanism for holding the collected material is not provided, so that the material cannot be taken out. Furthermore, when this method is applied to the collection of test pieces for evaluating the integrity of reactor internals, after collecting the material activated in the reactor, cutting, cutting, etc. It is necessary to process, and it is necessary to consider the reduction of exposure of workers and the processing of activated processing powder, and to apply to parts that require remote operation such as material sampling from reactor internals In order to achieve this, it was necessary to further promote integration and miniaturization of the entire apparatus.

【0007】本発明はこのような従来技術の実情に鑑み
てなされたもので、その目的は、型放電加工により生じ
る加工むだ部分をできるだけ少なくすることができる微
小試料採取装置および方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances of the prior art, and an object of the present invention is to provide an apparatus and a method for collecting a micro sample capable of minimizing a dead portion caused by electric discharge machining. It is in.

【0008】他の目的は、型放電加工により生じる加工
むだ部分をできるだけ少なくし、同じ大きさの被加工部
位加工痕に対してできるだけ体積の大きい材料の採取が
できる微小試料採取装置および方法を提供することにあ
る。
Another object of the present invention is to provide a micro sample collecting apparatus and method capable of collecting a material having as large a volume as possible with respect to a machining mark of a portion to be machined having the same size by minimizing a machining waste portion caused by the electric discharge machining. Is to do.

【0009】さらに他の目的は、加工中に、採取部の材
料が動かないようにして、放電加工が最後までスムーズ
に行なえる微小試料採取装置および方法を提供すること
にある。
It is still another object of the present invention to provide an apparatus and a method for sampling a micro-sample, in which electric discharge machining can be performed smoothly to the end by preventing the material of the sampling section from moving during machining.

【0010】さらに他の目的は、採取された材料を落す
ことなく外部に取り出すことができる微小試料採取装置
および方法を提供することにある。
It is still another object of the present invention to provide an apparatus and a method for collecting a micro sample which can take out the collected material to the outside without dropping the material.

【0011】さらに他の目的は、例えば原子炉内で放射
化したような取り扱いにくい材料を採取して試験片を作
製する必要がある場合に、試験片作製の工数を低減させ
るこができる微小試料採取装置および方法を提供するこ
とにある。
[0011] Still another object is to provide a small sample which can reduce the man-hour for preparing a test piece when it is necessary to prepare a test piece by collecting a material which is difficult to handle such as activated in a nuclear reactor. It is an object of the present invention to provide a sampling device and a method.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第1の手段は、純水あるいは油中に浸漬された金属
の表面から微小な試験片を採取する微小試料採取装置に
おいて、放電加工用の型電極と、この型電極を移動さ
せ、当該型電極に対応した溝を前記金属表面に形成する
手段と、放電加工用のワイヤと、このワイヤを支持する
とともに、前記金属表面に形成された溝内を移動させて
前記ワイヤによって対向する溝間の金属部分を切り取る
手段とを備えていることを特徴とする。
Means for Solving the Problems To achieve the above object, a first means is to provide a small sample collecting apparatus for collecting a small test piece from the surface of a metal immersed in pure water or oil. A mold electrode for machining, a means for moving the mold electrode and forming a groove corresponding to the mold electrode on the metal surface, a wire for electric discharge machining, and supporting the wire and forming the wire on the metal surface Means for moving in the formed groove to cut out a metal portion between the opposing grooves by the wire.

【0013】この場合、前記ワイヤによって切り取られ
て形成された溝を、再度放電加工する後処理電極を設け
るとよい。また、後処理電極に加えて、前記ワイヤによ
って切り取られた面を仕上げる手段をさらに設けること
もできる。また、試料採取面に装置全体を固定する手段
を備えていることが望ましい。また、試料採取部位で採
取材料の保持と、採取後の採取材料の取り出しを行う手
段をさらに設けてもよい。前記切り取る手段は、新しい
ワイヤを供給するワイヤ供給機構と一度加工に使用した
ワイヤを巻取るワイヤ巻取り機構とを含んで構成でき
る。
In this case, it is preferable to provide a post-processing electrode for re-discharge machining a groove formed by cutting the wire. Further, in addition to the post-processing electrode, a means for finishing a surface cut by the wire may be further provided. Further, it is desirable to provide a means for fixing the entire apparatus to the sample collection surface. Further, means for holding the sampled material at the sample collection site and taking out the sampled material after sampling may be further provided. The cutting means may include a wire supply mechanism for supplying a new wire and a wire winding mechanism for winding the wire once used for processing.

【0014】上記目的を達成するため、第2の手段は、
純水あるいは油中に浸漬された金属の表面から微小な試
験片を採取する微小試料採取方法において、採取対象部
位の表面に保持のための吸着手段を取り付ける第1の工
程と、吸着手段を中心にして2枚の放電加工用型電極を
間をあけて平行に配置する第2の工程と、前記型電極に
電流を供給しながら当該型電極を下方に駆動して金属内
部に進入させる第3の工程と、前記型電極が目的の深さ
まで達したら放電加工を停止する第4の工程と、前記型
電極を上方に引き上げる第5の工程と、放電加工によっ
て作成された溝にワイヤ支持送り部材を下げて放電加工
用の当該ワイヤに電流を供給しながらワイヤ支持送り部
材を構造物表面の溝に入れ、スリット端部がつながるよ
うな新たなスリットを形成する第6の工程と、ワイヤが
所定の深さに達したらワイヤの駆動方向を構造物表面に
平行な方向に変え、ワイヤ支持送り部材を型電極で形成
したスリットに沿って駆動させ、採取部位の下面をワイ
ヤ放電加工によって切り取る第7の工程と、ワイヤ支持
送り部材がスリット端面まで来たらワイヤ支持送り部材
を上方に駆動して最後に残った面の切断を行なう第8の
工程とを含んでいることを特徴とする。
[0014] To achieve the above object, the second means comprises:
In a micro sample collecting method for collecting a small test piece from a surface of a metal immersed in pure water or oil, a first step of attaching a suction means for holding to a surface of a sampling target site, and focusing on the suction means A second step of arranging two EDM electrodes in parallel with a gap therebetween, and a third step of driving the mold electrodes downward to enter the metal by supplying current to the mold electrodes. A fourth step of stopping electric discharge machining when the mold electrode reaches a target depth, a fifth step of lifting the mold electrode upward, and a wire supporting and feeding member in a groove created by electric discharge machining. A sixth step in which the wire support feed member is inserted into the groove on the structure surface while supplying a current to the wire for electric discharge machining by lowering the wire, and a new slit is formed so that the slit end is connected; The depth of A seventh step of changing the driving direction of the wire to a direction parallel to the surface of the structure, driving the wire supporting and feeding member along the slit formed by the mold electrode, and cutting the lower surface of the sampling site by wire electric discharge machining, An eighth step of driving the wire supporting / feeding member upward when the supporting / feeding member reaches the slit end surface to cut the last remaining surface.

【0015】その際、前記第5と第6の工程の間に、さ
らに、前記2枚の型電極によって形成された溝間の金属
表面から試料として所望の形状の例えば円筒状の放電加
工用型電極を下方に駆動して、当該円筒状の型電極の形
状の溝を形成する工程を設け、前記第7工程で円柱状の
微小試料を得るようにすることもできる。また、前記放
電加工用型電極を、採取材料の使用目的となる試験片の
平面2次元形状に沿った形状に形成し、この型電極を用
いて、スリットあるいはドーナツ状の溝を形成し、前記
ワイヤ支持送り部材を試験片の厚さ方向の形状に合わせ
て駆動制御して微小試料を採取するようにすることもで
きる。さらに、前記第8の工程の後に、応力集中を緩和
させる形状の後処理電極を用いて試料を採取した面を放
電加工したり、前記後処理電極によって放電加工した部
分を、さらに熱処理を施してもよい。なお、前記型電極
およびワイヤ支持送り部材は油圧ピストンあるいはモー
タによって駆動され、遠隔操作によって制御するように
構成することが望まれる。
At this time, between the fifth and sixth steps, a cylindrical shape of the electric discharge machining mold having a desired shape as a sample is further obtained from the metal surface between the grooves formed by the two mold electrodes. It is also possible to provide a step of driving the electrode downward to form a groove having the shape of the cylindrical mold electrode, and obtain a columnar micro sample in the seventh step. Further, the electric discharge machining mold electrode is formed in a shape along the planar two-dimensional shape of the test piece to be used for the sampled material, and a slit or a donut-shaped groove is formed using the mold electrode, The driving of the wire supporting and feeding member in accordance with the shape of the test piece in the thickness direction may be controlled to collect a minute sample. Further, after the eighth step, the surface on which the sample was sampled was subjected to electric discharge machining using a post-processing electrode having a shape that alleviates stress concentration, or the portion subjected to electric discharge machining by the post-processing electrode was further subjected to heat treatment. Is also good. It is desired that the mold electrode and the wire supporting feed member are driven by a hydraulic piston or a motor and controlled by remote control.

【0016】上記の構成によれば、まず、採取対象部位
の表面に吸着手段を取り付け、当該吸着手段を中心にし
て、2枚の型電極を間をあけて採取部位の上面に配置す
る。2枚の型電極間の距離は、必要な採取材料の大きさ
に合わせる。型電極の上部には電極駆動機構があり、型
電極を上下方向に駆動させることができる。型電極に電
流を供給しながら、型電極を下方に駆動し、放電加工の
サーボ駆動を行ないながら、電極を材料内部に進入させ
ていく。電極が採取深さまで達したら放電加工を停止
し、電極を上方に引き上げる。このとき、構造物の表面
にはスリット状の溝ができている。この溝に、ワイヤ支
持送り部材を下げていく。ワイヤ支持送り部材は少なく
とも2個あり、放電加工用ワイヤの支持と供給のため
の、例えば滑車のような機構をもっている。2枚の平行
スリットからの採取では、ワイヤに電流を供給しながら
ワイヤ支持送り部材を構造物表面の溝中に入れていくこ
とで、スリット端部がつながるような新たなスリットが
形成される。ワイヤが所定の深さに達したらワイヤの駆
動方向を、構造物表面に平行な方向に変える。ワイヤ支
持送り部材を、型電極で形成したスリットに沿って駆動
させると、採取部位の下面をワイヤ放電加工によって切
り取ることができる。
According to the above configuration, first, the suction means is attached to the surface of the sampling target site, and two mold electrodes are arranged on the upper surface of the sampling site with the gap centered on the suction device. The distance between the two mold electrodes is adapted to the size of the required sampling material. An electrode driving mechanism is provided above the mold electrode, and can drive the mold electrode vertically. While supplying a current to the mold electrode, the mold electrode is driven downward, and the electrode is made to enter the inside of the material while performing a servo drive of electric discharge machining. When the electrode reaches the sampling depth, the electric discharge machining is stopped and the electrode is pulled up. At this time, a slit-shaped groove is formed on the surface of the structure. The wire support feed member is lowered into this groove. There are at least two wire supporting feed members, each having a mechanism such as a pulley for supporting and supplying the electric discharge machining wire. In sampling from two parallel slits, a new slit that connects the slit ends is formed by inserting the wire support feed member into the groove on the structure surface while supplying current to the wire. When the wire reaches a predetermined depth, the driving direction of the wire is changed to a direction parallel to the structure surface. When the wire supporting and feeding member is driven along the slit formed by the mold electrode, the lower surface of the sampling site can be cut by wire electric discharge machining.

【0017】従来の方法では、この下面も型電極で切り
取っていたが、ワイヤ放電とすることにより、切断代を
大幅に少なくすることができる。ワイヤ支持送り部材が
スリット端面まで来たら、ワイヤ支持送り部材を上方に
駆動し、最後に残った面の切断を行なう。採取材料の保
持部材がない場合には、未切断部がわずかに残った状態
のとき、採取部位の揺れを生じ、放電が不安定となって
もはや加工ができなくなる。しかし、採取部位の保持を
しているために、切断終了まで放電が安定して進み、確
実な材料採取が可能となる。材料が採取されたときに、
材料が保持されていない場合には、採取された材料が落
ちてしまい、適用場所によっては回収が不可能となる。
しかし、本方法では保持をしているために、切断終了後
の確実な材料採取が可能である。
In the conventional method, this lower surface is also cut off by the mold electrode. However, by using wire discharge, the cutting allowance can be greatly reduced. When the wire support feed member reaches the slit end surface, the wire support feed member is driven upward to cut the last remaining surface. When there is no holding member for the sampled material, when the uncut portion slightly remains, the sampled portion is shaken, the electric discharge becomes unstable, and machining can no longer be performed. However, since the collection site is held, the discharge proceeds stably until the cutting is completed, and the material can be reliably collected. When the material is collected,
If the material is not retained, the collected material will fall and cannot be recovered depending on the application location.
However, in this method, since the holding is performed, the material can be reliably collected after the cutting is completed.

【0018】このように上記方法では、最初に、ワイヤ
支持送り部材の駆動用の溝を型電極を用いて作製し、使
用目的の試験片の平面2次元形状の型電極を用いて、ド
ーナツ状の溝をワイヤ支持送り部材の駆動用の溝と溝の
間に形成する。次に、ワイヤ支持送り部材の駆動を試験
片の厚さ方向の形状に合わせて制御して行なうと、これ
ら一連の、型放電、ワイヤ放電によって、直ちにドーナ
ツ状の試験片ができる。表面粗さの低減や、放電加工影
響層の除去が必要な場合には、得られた試験片の表面を
研磨するだけで目的のものが得られる。
As described above, in the above method, first, a groove for driving the wire supporting / feeding member is formed using the mold electrode, and the doughnut-like shape is formed using the planar two-dimensional mold electrode of the test piece to be used. Are formed between the driving grooves of the wire supporting and feeding member. Next, when the driving of the wire supporting and feeding member is controlled in accordance with the shape in the thickness direction of the test piece, a donut-shaped test piece is immediately formed by the series of mold discharge and wire discharge. When it is necessary to reduce the surface roughness or to remove the electric discharge machining affected layer, the desired object can be obtained only by polishing the surface of the obtained test piece.

【0019】最初のワイヤ支持送り部材の駆動用の溝を
作製する型電極を、例えば引張り試験片の形状に合わせ
た形状にして、ワイヤ支持送り部材の駆動用の溝を作製
し、ワイヤ支持送り部材の駆動を試験片の厚さ方向の形
状に合わせて制御して行なうと、これら一連の、型放
電、ワイヤ放電によって、直ちに引張試験片形状の試験
片ができる。
The first electrode for forming a groove for driving the wire supporting and feeding member is formed into a shape corresponding to, for example, the shape of a tensile test piece, and a groove for driving the wire supporting and transmitting member is formed. When the driving of the member is controlled in accordance with the shape in the thickness direction of the test piece, a test piece in the form of a tensile test piece can be immediately formed by a series of such mold discharge and wire discharge.

【0020】[0020]

【0021】構造物に形成された変質層を含む放電加工
溝にレーザービーム等で熱処理を施す。表面の変質層を
一度溶解させることにより、表面の変質層は未使用材の
状態に改質される。
The electric discharge machining groove including the altered layer formed on the structure is subjected to a heat treatment with a laser beam or the like. By dissolving the altered layer on the surface once, the altered layer on the surface is modified into an unused material state.

【0022】型電極とワイヤ支持送り部材の駆動を油圧
ピストン方式とすれば、油圧ホースを遠方に引くだけで
簡便に遠隔操作を行なうことができる。また、駆動機構
を比較的小型化できるとともに、機構が簡単であること
から故障の心配がない。
If the mold electrode and the wire support feed member are driven by a hydraulic piston system, remote control can be easily performed simply by pulling the hydraulic hose far away. In addition, the drive mechanism can be made relatively small, and since the mechanism is simple, there is no fear of failure.

【0023】型電極とワイヤ支持送り部材の駆動を油圧
ピストン方式にかわってモーター式にすることもでき
る。この場合には、電源ワイヤを遠方まで引き、遠隔操
作をすることになる。
The drive of the mold electrode and the wire supporting feed member may be of a motor type instead of the hydraulic piston type. In this case, the power supply wire is pulled far and remote control is performed.

【0024】型電極と型電極の駆動機構、ワイヤの供給
機構、ワイヤ支持送り部材とワイヤ支持送り部材駆動機
構、さらに採取材料の保持機構を一つの容器内に納め、
一体化、小型化する。これを例えばロボットの先端に取
り付けることにより、例えば原子炉内のような、スペー
スが限られており、また遠隔操作が必要なところで用い
ることができるようになる。
The mold electrode, the drive mechanism for the mold electrode, the wire supply mechanism, the wire support / feed member, the wire support / feed member drive mechanism, and the holding mechanism for the collected material are housed in one container.
Integration and miniaturization. By attaching this to the tip of a robot, for example, it can be used where space is limited and remote control is required, such as in a nuclear reactor.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照し、本発明の一
実施形態について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0026】図1はこの実施形態に係る微小試料採取装
置を正面から見た断面図、第2図は微小試料採取装置を
側面から見た断面図である。これらの図から分かるよう
に微小試料採取装置の全ての機構は、装置容器14に納
められている。微小試料採取装置はロボット接続部15
を有し、ロボットに取り付けることができる。ロボット
を駆動し、原子炉内の純水中に装置容器14を浸漬し、
材料採取の目的の構造物4に装置容器14を押し付け
る。このとき装置容器14はロボット接続部15を介し
てロボットにより荷重をかけられており、構造物4に安
定に保持される。構造物4の表面部の採取対象部位19
には吸着式保持機構3を配置し、真空チューブ17を介
して前記吸着式保持機構3を真空引きすることにより、
吸着式保持機構3は採取対象部位19に完全に密着す
る。
FIG. 1 is a sectional view of the micro sample collecting apparatus according to this embodiment as viewed from the front, and FIG. 2 is a cross sectional view of the micro sample collecting apparatus as viewed from the side. As can be seen from these figures, all the mechanisms of the micro sample collection device are contained in the device container 14. The micro sample collection device is a robot connection unit 15
And can be attached to a robot. Driving the robot, immersing the equipment container 14 in pure water in the reactor,
The apparatus container 14 is pressed against the target structure 4 for collecting the material. At this time, the apparatus container 14 is loaded by the robot via the robot connection unit 15 and is stably held by the structure 4. Sampling target site 19 on the surface of structure 4
Is provided with a suction type holding mechanism 3, and the suction type holding mechanism 3 is evacuated through a vacuum tube 17.
The suction type holding mechanism 3 is completely in close contact with the sampling target site 19.

【0027】装置容器14の内部には、型電極1、半球
形の後処理電極22、型電極1と後処理電極22を入れ
替える電極切り換えスイッチ23、および型電極1と後
処理電極22と電極切り換えスイッチ23とを保持して
駆動させる型電極駆動機構6が設けられている。その他
に使用目的に応じて円孔状電極24、引張り試験型電極
25が電極切り換えスイッチ23に接続されている。ま
た、加工目的に応じて電極切り換えスイッチ23によっ
て切り換えられる電極の代わりに加工仕上げ機構37
(図7)を取り付けることもできる。
Inside the apparatus container 14, a mold electrode 1, a hemispherical post-treatment electrode 22, an electrode changeover switch 23 for exchanging the mold electrode 1 with the post-treatment electrode 22, and an electrode changeover between the mold electrode 1, the post-treatment electrode 22 and the electrode A type electrode driving mechanism 6 for holding and driving the switch 23 is provided. In addition, a circular electrode 24 and a tensile test type electrode 25 are connected to an electrode switch 23 according to the purpose of use. Also, instead of the electrodes switched by the electrode changeover switch 23 according to the processing purpose, a processing finishing mechanism 37 is used.
(FIG. 7) can also be attached.

【0028】型電極駆動機構6は油圧シリンダを使用し
たもので、油圧ホース用チューブ16を通った油圧ホー
ス20の油圧制御により、型電極1の上下移動を正確に
行なうことができる。また、装置容器14の内部にはワ
イヤ放電加工用の放電加工ワイヤ13を駆動させるため
のワイヤ支持送り部材2と、ワイヤ支持送り部材2を駆
動させるための油圧式のワイヤ支持送り部材駆動機構5
とが設けられ、ワイヤ支持送り部材2を正確に垂直方向
および水平方向に駆動させることができるようになって
いる。さらに、前記ワイヤ支持送り部材駆動機構5と図
1において型電極駆動機構6を挟んで反対側に位置する
部分には、放電加工ワイヤ13を供給するためのワイヤ
供給軸11と、加工部を通過した放電加工ワイヤ13を
巻き取っておくワイヤ巻き取り軸21とが設けられてい
る(図2)。放電加工ワイヤ13の張力は、ワイヤ張力
調整機構12で下方に所定の弾性力で引っ張って一定に
保つことができるようになっている。型電極1と後処理
電極22には、電極電流供給用ワイヤ7によって電流が
供給され、放電加工ワイヤ13には、ワイヤ放電加工電
流供給用ワイヤ8から給電板10を介して電流が供給さ
れる。また、導体である装置容器14には、接地ワイヤ
9が接続されている。型電極電流供給用ワイヤ7、放電
加工ワイヤ電流供給用ワイヤ8、および接地ワイヤ9
は、電源ケーブル18の中を通って原子炉外部にある電
源に接続されている。
The mold electrode drive mechanism 6 uses a hydraulic cylinder, and the vertical movement of the mold electrode 1 can be accurately performed by controlling the hydraulic pressure of the hydraulic hose 20 through the hydraulic hose tube 16. A wire support feed member 2 for driving the electric discharge machining wire 13 for wire electric discharge machining and a hydraulic wire support feed member driving mechanism 5 for driving the wire support feed member 2 are provided inside the apparatus container 14.
Are provided so that the wire supporting and feeding member 2 can be accurately driven in the vertical and horizontal directions. In addition, a wire supply shaft 11 for supplying an electric discharge machining wire 13 and a wire feed shaft 11 for passing through a machining portion are provided on the opposite side of the wire support feed member drive mechanism 5 and the mold electrode drive mechanism 6 in FIG. And a wire take-up shaft 21 for taking up the electric discharge machining wire 13 (FIG. 2). The tension of the electric discharge machining wire 13 can be kept constant by being pulled downward by a predetermined elastic force by the wire tension adjusting mechanism 12. A current is supplied to the mold electrode 1 and the post-processing electrode 22 by the electrode current supply wire 7, and a current is supplied to the electric discharge wire 13 from the wire electric discharge current supply wire 8 via the power supply plate 10. . Further, the ground wire 9 is connected to the device container 14 which is a conductor. Mold electrode current supply wire 7, EDM wire current supply wire 8, and ground wire 9
Are connected to a power source outside the reactor through a power cable 18.

【0029】図3は微小試験片を採取するときの処理手
順を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a processing procedure when a minute test piece is collected.

【0030】同図において、まず、採取位置に前述に微
小体積採取装置を固定し(ステップ101)、微小試験
片の形状が決まっているかどうかを判断する(ステップ
102)。微小試験片形状が決まっていない場合の例を
図4に示し、この図を参照しながらフローチャートに示
された手順について説明する。すなわち、微小試験片形
状が決まっていない場合には、始めに装置容器14を構
造物(採取材料)4の目的位置に固定する。採取対象部
位19に吸着式保持機構3を配置し、真空チューブ17
を介して真空引きをし、採取対象部位19に完全に密着
させる。次に、電極切り換えスイッチ23により型電極
1を採取材料4に対向させる(ステップ103)。
In the figure, first, the small volume sampling device is fixed at the sampling position as described above (step 101), and it is determined whether or not the shape of the small test piece is determined (step 102). FIG. 4 shows an example in which the shape of the minute test piece is not determined, and the procedure shown in the flowchart will be described with reference to FIG. That is, when the shape of the minute test piece is not determined, first, the apparatus container 14 is fixed to the target position of the structure (collected material) 4. The suction type holding mechanism 3 is arranged at the collection target site 19 and the vacuum tube 17
Is evacuated to completely contact the sampling target site 19. Next, the pattern electrode 1 is made to face the sampling material 4 by the electrode changeover switch 23 (step 103).

【0031】そして、板状の型電極1に電極電流供給用
ワイヤ7より電流を供給し、型電極駆動機構6により型
電極1を構造物4の内部に進入させる。このとき、放電
加工が安定に進むように型電極1のサーボ駆動を行な
う。放電加工が進むに連れて型電極溝26が形成される
(ステップ104)。所定の深さまで型電極溝26が導
入されたら、型電極1の駆動を一旦停止した後、逆方向
に移動させる(ステップ105−図4(a))。型電極
1はワイヤ支持送り部材2よりも上方まで戻され、型電
極電流供給用ワイヤ7からの型電極1への電流の供給を
停止する。型電極1がワイヤ支持送り部材2よりも上方
まで戻った後、ワイヤ支持送り部材2をワイヤ支持送り
部材駆動機構5によって、型電極溝26の端部の上部に
まで移動させ、ワイヤ放電加工電流供給用ワイヤ8およ
び給電板10を介して放電加工用ワイヤ13に電流を供
給する。同時にワイヤ供給軸11およびワイヤ巻取り軸
21が回転し、放電加工用ワイヤ13はワイヤ供給軸1
1からワイヤ巻取り軸21の方向へ移動する。そして、
ワイヤ支持送り部材駆動機構5によってワイヤ支持送り
部材2を型電極溝26に挿入する(ステップ106−図
4(b))。放電加工用ワイヤ13は2つの型電極溝2
6の間に押し付けられる。
Then, a current is supplied to the plate-shaped mold electrode 1 from the electrode current supply wire 7, and the mold electrode driving mechanism 6 causes the mold electrode 1 to enter the inside of the structure 4. At this time, servo drive of the mold electrode 1 is performed so that electric discharge machining proceeds stably. The mold electrode groove 26 is formed as the electric discharge machining proceeds (step 104). When the mold electrode groove 26 is introduced to a predetermined depth, the driving of the mold electrode 1 is temporarily stopped, and then the mold electrode 1 is moved in the opposite direction (step 105-FIG. 4A). The mold electrode 1 is returned to a position higher than the wire supporting and feeding member 2, and the supply of current from the mold electrode current supply wire 7 to the mold electrode 1 is stopped. After the mold electrode 1 has returned above the wire support feed member 2, the wire support feed member 2 is moved by the wire support feed member driving mechanism 5 to an upper portion of the end of the mold electrode groove 26, and the wire electric discharge machining current is reduced. An electric current is supplied to the electric discharge machining wire 13 via the supply wire 8 and the power supply plate 10. At the same time, the wire supply shaft 11 and the wire take-up shaft 21 rotate, and the electric discharge wire 13 is connected to the wire supply shaft 1.
1 moves in the direction of the wire winding shaft 21. And
The wire support / feed member 2 is inserted into the mold electrode groove 26 by the wire support / feed member drive mechanism 5 (step 106-FIG. 4B). The electric discharge machining wire 13 has two mold electrode grooves 2
Pressed between 6.

【0032】放電加工用ワイヤ13はワイヤ張力調整機
構12によって一定の張力を保ちながら、両型電極溝2
6の間にワイヤ放電加工溝27を形成していく。その
際、ワイヤ供給軸11およびワイヤ巻取り軸21によっ
てワイヤが供給されながら巻き取られる。これにより、
ワイヤ放電加工面の放電加工用ワイヤ13が常に新しく
なるので、ワイヤ放電加工速度が大きく、放電加工面を
きれいにできる。また、ワイヤ放電加工の際に発生する
切り粉は、放電加工用ワイヤ13が動いていることによ
り、移動と同時に取り除かれるため、ワイヤ放電加工が
スムーズに行える。放電加工用ワイヤ13が型電極溝2
6の底まで到達したら(ステップ107)、ワイヤ支持
送り部材駆動機構5によってワイヤ支持送り部材2の走
査方向を構造物4の表面に対して垂直方向から水平方向
へと変化させる(ステップ108−図4(c))。放電
加工用ワイヤ13が型電極溝26の反対側の端に到達し
たら、ワイヤ支持送り部材駆動機構5によってワイヤ支
持送り部材2の走査方向を構造物4の表面に対して水平
方向から垂直方向へと変化させる(ステップ109−図
4(d))。垂直上方へのワイヤ放電加工を継続する
と、採取材28と構造物4とがごく一部の面積でつなが
っている状態になる。このとき採取材28は放電加工の
熱や圧力変動の影響を受けて不安定に振動しようとする
が、吸着式保持機構3によって採取材28が完全に保持
されているため、振動は起こさない。したがって、放電
加工が安定に進み、採取材28を確実に切り取ることが
できる。構造物4には、平行な2本の型電極溝26と、
コの字型のワイヤ放電加工溝3が形成され、採取材28
が切断される。
While maintaining a constant tension by the wire tension adjusting mechanism 12, the electric discharge machining wire 13 is used for both electrode grooves 2.
6, wire electric discharge machining grooves 27 are formed. At this time, the wire is wound while being supplied by the wire supply shaft 11 and the wire winding shaft 21. This allows
Since the electric discharge machining wire 13 on the wire electric discharge machining surface is always new, the wire electric discharge machining speed is high and the electric discharge machining surface can be cleaned. In addition, since the cutting chips generated during wire electric discharge machining are removed at the same time as the electric discharge machining wire 13 is moved, the wire electric discharge machining can be performed smoothly. The wire for electric discharge machining 13 is the mold electrode groove 2
6 (step 107), the scanning direction of the wire support / feed member 2 is changed from the direction perpendicular to the surface of the structure 4 to the horizontal direction by the wire support / feed member driving mechanism 5 (step 108-FIG. 4 (c)). When the electric discharge machining wire 13 reaches the opposite end of the mold electrode groove 26, the scanning direction of the wire supporting and feeding member 2 is changed from the horizontal direction to the vertical direction with respect to the surface of the structure 4 by the wire supporting and feeding member driving mechanism 5. (Step 109-FIG. 4D). When the wire electric discharge machining is continued vertically upward, the sampling material 28 and the structure 4 are connected to each other with only a small area. At this time, the sampling material 28 tends to unstablely vibrate under the influence of heat and pressure fluctuations of the electric discharge machining. However, since the sampling material 28 is completely held by the suction-type holding mechanism 3, no vibration occurs. Therefore, the electric discharge machining proceeds stably, and the sampling material 28 can be reliably cut off. The structure 4 has two parallel mold electrode grooves 26,
The U-shaped wire electric discharge machining groove 3 is formed, and the sampling material 28 is formed.
Is disconnected.

【0033】図5は採取材28の取り出し方法を示す説
明図で、放電加工中の採取対象部位19の保持に用いて
いた吸着式保持機構3によって当該吸着式保持機構3に
密着させたまま、採取材28を外部に取り出す(ステッ
プ110)。例えば原子炉内で採取加工を行なう場合に
は、この方法で、原子炉内に採取材28を落すことなく
確実に炉外に搬出することができる。
FIG. 5 is an explanatory view showing a method of taking out the sampling material 28. The suction holding mechanism 3 used for holding the sampling target portion 19 during the electric discharge machining is in close contact with the suction holding mechanism 3. The collected material 28 is taken out (step 110). For example, in the case of performing a sampling process in a nuclear reactor, this method can reliably carry out the sampling material 28 out of the reactor without dropping the sampled material 28 into the reactor.

【0034】図6は後処理電極22による型電極溝26
の補修の方法を示す説明図で、電極切り換えスイッチ2
3により構造物4に対向する電極を型電極1から後処理
電極22に切り換える。この実施形態では、図1から分
かるように型電極1と後処理電極22は上下に180°
回転させて切り換える。その後、後処理電極22に電極
電流供給用ワイヤ7より電流を供給し、型電極駆動機構
6により後処理電極22を型電極溝26の内部に進入さ
せる(図6(a))。このときも、放電加工が安定に進
むように、後処理電極22のサーボ駆動を行なう。放電
加工が進むに連れて、後処理電極溝34が形成される。
所定の深さまで後処理電極溝34が導入されたら、後処
理電極22の駆動を停止し、逆方向に移動させる(ステ
ップ120)。後処理の放電加工によって形成される後
処理電極溝34は半球形をしている(図6(b))。そ
のため、応力集中係数が小さく,微小試験片を採取後も
構造物に与える影響が小さくてすむ。また、表面の放電
加工による変質層が問題となるときには、電極切り替え
スイッチ23によって切り換え制御される治具の取り付
け部に図7に示すように加工仕上げ機構36を取り付け
ておき、後処理電極22による加工の後、前記スイッチ
23により切り換えて変質層の熱処理を行う。この熱処
理にはレーザビームが使用される。具体的には、前記後
処理電極溝34の表面に沿ってレーザビームを照射して
金属表面を熱処理する。このようにして補修が終了する
と、前記ロボットによる荷重を解除して装置容器14を
構造物4の試料採取面から取り外し(ステップ12
1)、原子炉外に取り出して処理を終了する(ステップ
122)。
FIG. 6 shows a mold electrode groove 26 formed by the post-processing electrode 22.
FIG. 4 is an explanatory view showing a method of repairing the electrode.
3 switches the electrode facing the structure 4 from the pattern electrode 1 to the post-processing electrode 22. In this embodiment, as can be seen from FIG. 1, the mold electrode 1 and the post-processing electrode 22 are vertically
Rotate to switch. Thereafter, a current is supplied to the post-processing electrode 22 from the electrode current supply wire 7, and the post-processing electrode 22 is caused to enter the inside of the pattern electrode groove 26 by the pattern electrode driving mechanism 6 (FIG. 6A). Also at this time, the servo drive of the post-processing electrode 22 is performed so that the electric discharge machining proceeds stably. As the electric discharge machining proceeds, the post-processing electrode grooves 34 are formed.
When the post-processing electrode groove 34 is introduced to a predetermined depth, the driving of the post-processing electrode 22 is stopped and the post-processing electrode 22 is moved in the opposite direction (step 120). The post-processing electrode groove 34 formed by the post-processing electric discharge machining has a hemispherical shape (FIG. 6B). Therefore, the stress concentration coefficient is small, and the influence on the structure even after collecting the minute test piece is small. When a deteriorated layer due to electric discharge machining on the surface becomes a problem, a machining finish mechanism 36 is attached to the attachment portion of the jig which is controlled by the electrode changeover switch 23 as shown in FIG. After the processing, the heat treatment of the affected layer is performed by switching with the switch 23. A laser beam is used for this heat treatment. Specifically, the metal surface is heat-treated by irradiating a laser beam along the surface of the post-treatment electrode groove 34. When the repair is completed in this manner, the load applied by the robot is released, and the apparatus container 14 is removed from the sampling surface of the structure 4 (step 12).
1) Take it out of the reactor and end the process (step 122).

【0035】また、試験片形状が決まっていない場合、
図8に示す升型電極29を用いることにより、放電加工
による削り代は大きくなるが、放電加工用ワイヤ13に
よる構造物4の垂直方向への加工の工程を削減すること
ができる。また、図9に示す円弧型電極30を用い、平
行な一対の円弧型電極溝31を形成し、ワイヤ支持送り
部材駆動機構5をコの字型ではなく円弧型電極30の円
弧型電極溝31に沿って動かすことにより、後処理電極
22による後処理電極溝の形成が短時間で可能になる。
なお、図7ないし図9において特に説明しない各部には
図1および図2と同一の符号を付し、重複する説明は省
略する。
When the shape of the test piece is not determined,
By using the square electrode 29 shown in FIG. 8, the machining allowance by electric discharge machining is increased, but the process of machining the structure 4 by the electric discharge wire 13 in the vertical direction can be reduced. Further, a pair of parallel arc-shaped electrode grooves 31 are formed by using the arc-shaped electrode 30 shown in FIG. 9, and the wire supporting / feeding member driving mechanism 5 is not formed in a U-shape but in the arc-shaped electrode groove 31 of the arc-shaped electrode 30. , The post-processing electrode groove can be formed by the post-processing electrode 22 in a short time.
In FIGS. 7 to 9, parts that are not particularly described are denoted by the same reference numerals as in FIGS. 1 and 2, and redundant description is omitted.

【0036】次に、図3のフローチャートのステップ1
02で微小試験片形状が決まっていると判断された場合
について説明する。
Next, step 1 in the flowchart of FIG.
The case where it is determined that the shape of the minute test piece is determined in 02 will be described.

【0037】このように微小試験片形状が決まっている
場合、例えば図10に示すように円孔状の試験片を採取
する場合には、まず、装置容器14を採取材料4の目的
位置に固定し、電極切り換えスイッチ23により型電極
1を採取材料4に対向させる。板状の型電極1に電極電
流供給用ワイヤ7より電流を供給し、型電極駆動機構6
により型電極1を構造物4の内部に進入させる。このと
き、放電加工が安定に進むように、型電極1のサーボ駆
動を行なう。放電加工が進むに連れて、型電極溝26が
形成される。所定の深さまで型電極溝26が導入された
ら、型電極1の駆動を一旦停止した後、逆方向に移動さ
せる(図10(a))。ここで、採取対象部位19に吸
着式保持機構3を配置し、真空チューブ17を介して真
空引きをし、採取対象部位19に完全に密着させる。次
いで、電極切り換えスイッチ23により構造物4に対向
させる電極を、円筒状電極24に替える。円筒状電極2
4に電極電流供給用ワイヤ7より電流を供給し、型電極
駆動機構6により円筒状電極24を構造物4の内部に進
入させる。このとき、放電加工が安定に進むように、円
筒状電極24のサーボ駆動を行なう。放電加工が進むに
連れて、円孔状電極溝32が形成される(ステップ11
1)。
When the shape of the minute test piece is determined as described above, for example, when a test piece having a circular hole shape as shown in FIG. 10 is collected, first, the apparatus container 14 is fixed to the target position of the sample material 4. Then, the pattern electrode 1 is made to face the sampling material 4 by the electrode changeover switch 23. A current is supplied to the plate-shaped mold electrode 1 from an electrode current supply wire 7, and a mold electrode driving mechanism 6 is provided.
The mold electrode 1 is caused to enter the inside of the structure 4. At this time, servo drive of the mold electrode 1 is performed so that electric discharge machining proceeds stably. As the electric discharge machining progresses, the mold electrode groove 26 is formed. When the mold electrode groove 26 is introduced to a predetermined depth, the drive of the mold electrode 1 is temporarily stopped and then moved in the opposite direction (FIG. 10A). Here, the suction-type holding mechanism 3 is arranged at the collection target site 19, and is evacuated through the vacuum tube 17, so as to be completely adhered to the collection target site 19. Next, the electrode facing the structure 4 is changed to the cylindrical electrode 24 by the electrode changeover switch 23. Cylindrical electrode 2
Current is supplied to the electrode 4 from the electrode current supply wire 7, and the cylindrical electrode 24 is caused to enter the inside of the structure 4 by the pattern electrode drive mechanism 6. At this time, the cylindrical electrode 24 is servo-driven so that the electric discharge machining proceeds stably. As the electric discharge machining progresses, a circular electrode groove 32 is formed (step 11).
1).

【0038】所定の深さまで円孔状電極溝32が形成さ
れたら、円筒状電極24の駆動を一旦停止し、逆方向に
移動させる(ステップ112−図10(b))。円筒状
電極24の寸法が小さく、円孔状電極溝32が型電極溝
26の間に収まるのであれば、円孔状電極溝32は必要
に応じて多数形成可能である。円筒状電極24は、ワイ
ヤ支持送り部材2よりも上方まで戻され、型電極電流供
給用ワイヤ7からの円筒状電極24への電流の供給を停
止する。
When the circular electrode groove 32 is formed to a predetermined depth, the driving of the cylindrical electrode 24 is temporarily stopped, and the cylindrical electrode 24 is moved in the opposite direction (step 112-FIG. 10 (b)). As long as the cylindrical electrode 24 is small in size and the circular electrode groove 32 fits between the mold electrode grooves 26, a large number of circular electrode grooves 32 can be formed as necessary. The cylindrical electrode 24 is returned to a position higher than the wire support feed member 2, and stops supplying current to the cylindrical electrode 24 from the mold electrode current supply wire 7.

【0039】円筒状電極24がワイヤ支持送り部材2よ
りも上方まで戻った後、ワイヤ支持送り部材2は、ワイ
ヤ支持送り部材駆動機構5の駆動によって、型電極溝2
6の端部の上部にまで移動する。次いで、微小試験片採
取部位19に微小試験片の保持機構3を取り付け、真空
に引いて固定する。ワイヤ放電加工電流供給用ワイヤ
8、給電板10を介して放電加工用ワイヤ13に電流を
供給し、同時にワイヤ供給軸11、ワイヤ巻取り軸21
を回転させ、放電加工用ワイヤ13をワイヤ供給軸11
からワイヤ巻取り軸21の方向へ移動させながら、ワイ
ヤ支持送り部材駆動機構5によってワイヤ支持送り部材
2を型電極溝26に挿入する(ステップ114−図10
(c))。放電加工用ワイヤ13は2つの型電極溝26
の間に押し付けられ、ワイヤ張力調整機構12によって
一定の張力を保ちながら、型電極溝26の間にワイヤ放
電加工溝27を形成していく。放電加工用ワイヤ13が
目的の深さまで到達したら(ステップ115)、ワイヤ
支持送り部材駆動機構5によってワイヤ支持送り部材2
の走査方向を構造物4の表面に対して垂直方向から水平
方向へと変化させる(ステップ116−図10
(d))。放電加工用ワイヤ13が型電極溝26の反対
側の端に到達したら、ワイヤ支持送り部材駆動機構5に
よってワイヤ支持送り部材2の走査方向を構造物4の表
面に対して水平方向から垂直方向へと変化させる(ステ
ップ117)。構造物4には、平行な2本の型電極溝2
6と、コの字型のワイヤ放電加工溝3、さらに円孔状電
極溝32が形成され、円柱状の試験片33が採取され
る。その際、放電加工中の採取対象部位19の保持に用
いている吸盤式保持機構3に密着させたまま、円柱状試
験片33を外部に取り出す(ステップ118)。これを
必要な個数採取するまで繰り返す(ステップ119)。
後処理に関しては試験片形状が決まっていない場合と同
じである(ステップ120,121,122)。
After the cylindrical electrode 24 has returned to a position above the wire support feed member 2, the wire support feed member 2 is driven by the wire support feed member driving mechanism 5 to cause the die electrode groove 2 to move.
6 to the top of the end. Next, the micro test piece holding mechanism 3 is attached to the micro test piece collection site 19, and is fixed by vacuuming. A current is supplied to the electric discharge machining wire 13 through the wire 8 for supplying electric current for wire electric discharge and the power supply plate 10, and at the same time, the wire supply shaft 11 and the wire winding shaft 21 are provided.
Is rotated to connect the electric discharge wire 13 to the wire supply shaft 11.
The wire support / feed member 2 is inserted into the mold electrode groove 26 by the wire support / feed member drive mechanism 5 while moving from the direction of the wire winding shaft 21 (step 114-FIG. 10).
(C)). The electric discharge wire 13 has two mold electrode grooves 26.
The wire electric discharge machining groove 27 is formed between the mold electrode grooves 26 while maintaining a constant tension by the wire tension adjusting mechanism 12. When the electric discharge machining wire 13 reaches the target depth (step 115), the wire supporting / feeding member 2 is driven by the wire supporting / feeding member driving mechanism 5.
Is changed from the vertical direction to the horizontal direction with respect to the surface of the structure 4 (step 116-FIG. 10).
(D)). When the electric discharge machining wire 13 reaches the opposite end of the mold electrode groove 26, the scanning direction of the wire supporting and feeding member 2 is changed from the horizontal direction to the vertical direction with respect to the surface of the structure 4 by the wire supporting and feeding member driving mechanism 5. (Step 117). The structure 4 has two parallel mold electrode grooves 2.
6, a U-shaped wire electric discharge machining groove 3 and a circular electrode groove 32 are formed, and a cylindrical test piece 33 is collected. At this time, the columnar test piece 33 is taken out to the outside while being kept in close contact with the suction cup holding mechanism 3 used for holding the sampling target portion 19 during the electric discharge machining (step 118). This is repeated until a necessary number is collected (step 119).
The post-processing is the same as the case where the test piece shape is not determined (steps 120, 121, 122).

【0040】次に,図3のフローチャートの中の微小試
験片形状が決まっている場合の他の例について、図11
を参照して説明する。この例は、引張型試験片を採取す
る例である。図11において、装置容器14を採取材料
4の目的位置に固定する。採取対象部位19に吸着式保
持機構3を配置し、真空チューブ17を介して真空引き
をし、採取対象部位19に完全に密着させる。電極切り
換えスイッチ23により構造物4に対向させる電極を、
引張り型電極25に替える。引張り型電極25に電極電
流供給用ワイヤ7より電流を供給し、型電極駆動機構6
により引張り型電極25を構造物4の内部に進入させ
る。このとき、放電加工が安定に進むように、引張り型
電極25のサーボ駆動を行なう。放電加工が進むに連れ
て、引張り型電極溝35が形成される(ステップ111
−図11(a))。所定の深さまで引張り型電極溝28
が挿入されたら、引張り型電極25の駆動を一旦停止
し、逆方向に移動させる(ステップ112)。引張り型
電極25は、ワイヤ支持送り部材2よりも上方まで戻さ
れ、型電極電流供給用ワイヤ7からの引張り型電極25
への電流の供給を停止する。引張り型電極25がワイヤ
支持送り部材2よりも上方まで戻った後、円孔状試験片
の時と同様に放電加工用ワイヤ13で引張試験用試験片
37を切り出し、吸着式保持機構3によって取り出す
(ステップ113,114,115,116,117,
118−図11(b),(c))。
Next, another example in which the shape of the minute test piece in the flowchart of FIG. 3 is determined is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. In this example, a tensile test piece is collected. In FIG. 11, the device container 14 is fixed to the target position of the sampled material 4. The suction-type holding mechanism 3 is arranged at the collection target site 19, and is evacuated via the vacuum tube 17, so as to be completely adhered to the collection target site 19. The electrode facing the structure 4 by the electrode changeover switch 23 is
It replaces with the tension type electrode 25. An electric current is supplied to the tension type electrode 25 from the electrode current supply wire 7 and the type electrode driving mechanism 6
Thereby, the tension type electrode 25 enters the inside of the structure 4. At this time, servo drive of the tension type electrode 25 is performed so that the electric discharge machining proceeds stably. As the electric discharge machining progresses, the tension type electrode groove 35 is formed.
FIG. 11 (a)). Pull-type electrode groove 28 to a predetermined depth
Is inserted, the driving of the tension type electrode 25 is temporarily stopped, and the tension type electrode 25 is moved in the opposite direction (step 112). The pull-type electrode 25 is returned to a position above the wire supporting / feeding member 2, and the pull-type electrode 25 from the wire 7
Stop supplying current to the After the tension type electrode 25 returns to above the wire supporting and feeding member 2, the tensile test specimen 37 is cut out by the electric discharge machining wire 13 in the same manner as in the case of the circular test specimen, and is taken out by the suction holding mechanism 3. (Steps 113, 114, 115, 116, 117,
118-FIG. 11 (b), (c)).

【0041】このように、試験片形状が決まっている場
合には、その形状に合わせた、例えば引張り型電極2
5、例えばコンパクトテンション試験片形状の電極、例
えば円型コンパクトテンション試験片形状の電極、例え
ば矩形電極等を用いることにより、試験片加工の工数を
削減することができる。
As described above, when the shape of the test piece is determined, for example, the tension type electrode 2 is adjusted to the shape.
5. For example, by using an electrode having a compact tension test piece shape, for example, an electrode having a circular compact tension test piece shape, for example, a rectangular electrode or the like, the number of steps for processing the test piece can be reduced.

【0042】このように本実施形態によれば、従来は型
放電加工で行なっていた採取材料の切断を大部分ワイヤ
放電加工に置き換えたことで、材料採取のむだ肉部を最
小限に抑えることが可能になる。また、後処理によって
試験片採取面を球状にすることによって、構造物の健全
性に影響を与えることなく、信頼性評価に有効な試験片
を得ることができる。この方法を用いることにより、精
度の高い健全性診断が可能となり、プラントの信頼性を
高めることができる。また、一次的な採取加工で試験片
形状ができてしまうことから、放射化した材料を採取す
る必要があるような原子炉内構造物への適用に当たって
は、試験片製作の手間を軽減することができ、作業者の
被爆を全く必要としないかあるいは最小限度に押さえる
ことができる。また、放射化した加工粉の除去と言う問
題からも解放される。
As described above, according to the present embodiment, the cutting of the sampled material, which has been conventionally performed by the mold electric discharge machining, is mostly replaced by the wire electric discharge machining, thereby minimizing the waste portion of the material sampling. Becomes possible. In addition, by making the specimen sampling surface spherical by post-processing, a specimen effective for reliability evaluation can be obtained without affecting the soundness of the structure. By using this method, a highly accurate soundness diagnosis can be performed, and the reliability of the plant can be improved. In addition, since the specimen shape can be formed by the primary sampling process, it is necessary to reduce the time and effort required to manufacture the specimen when applying it to reactor internal structures where it is necessary to collect activated material. And no or minimal worker exposure is required. Also, the problem of removing activated processing powder is released.

【0043】[0043]

【発明の効果】これまでの説明で明らかように、本発明
によれば、ワイヤによる放電加工を併用することによっ
て型放電加工により生じる加工むだ部分を可能な限り少
なくすることができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, by using the electric discharge machining with the wire together, it is possible to reduce the machining waste caused by the electric discharge machining as much as possible.

【0044】また、型放電加工により生じる加工むだ部
分を可能な限り少なくすることができるので、同じ大き
さの被加工部位加工痕に対してできるだけ体積の大きい
材料の採取が可能となる。
In addition, since the machining wasted portion generated by the electric discharge machining can be reduced as much as possible, it is possible to collect a material having as large a volume as possible with respect to a machining mark of a portion to be machined having the same size.

【0045】また、固定する手段によって加工中に採取
部の材料が動かないようにしたので、放電加工が最後ま
でスムーズに、精度よく行える。
Further, since the material of the sampling portion is kept from moving during machining by the fixing means, electric discharge machining can be performed smoothly and accurately to the end.

【0046】また、採取材料の保持と採取後の採取材料
の取り出しを行う手段を設けたので、採取された材料を
落すことなく確実に外部に取り出すことができる。
Further, since the means for holding the collected material and taking out the collected material after the collection is provided, the collected material can be reliably taken out without dropping.

【0047】さらに、所望の試験片形状に沿った形状に
形成された型電極によって溝を形成し、当該溝を利用し
て放電加工用ワイヤによって切り出すので、例えば原子
炉内で放射化したような取り扱いにくい材料を採取して
試験片を作製する必要がある場合にも、ほとんど後工程
を必要としない程度に試験片を切り出すことが可能とな
り、試験片作製の工数を削減することができる。
Further, a groove is formed by a mold electrode formed in a shape conforming to a desired test piece shape, and the groove is cut out by an electric discharge machining wire using the groove. Even when it is necessary to produce a test piece by collecting a material that is difficult to handle, the test piece can be cut out to the extent that almost no post-process is required, and the man-hour for producing the test piece can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る微小試料採取装置の
内部構造を示す正面から見た断面図である。
FIG. 1 is a front sectional view showing the internal structure of a micro sample collecting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の側面から見た断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view as viewed from the side of FIG.

【図3】微小試料を採取するときの処理手順を示すフロ
ーチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a processing procedure when a minute sample is collected.

【図4】試験片の形状が決まっていないときの試験片採
取の手順を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a procedure for collecting a test piece when the shape of the test piece is not determined.

【図5】採取した試験片を吸盤式保持機構を用いて取り
上げるときの状態を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a state in which a collected test piece is picked up using a suction cup type holding mechanism.

【図6】後処理電極を用いて構造物の表面を補修すると
きの状態を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a state when the surface of a structure is repaired using a post-treatment electrode.

【図7】熱処理するレーザビーム照射機構を備えた微小
試料採取装置の断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a micro sample collecting apparatus provided with a laser beam irradiation mechanism for performing a heat treatment.

【図8】升型電極を用いて試験片を採取するときの状態
を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a state when a test piece is collected using a square electrode.

【図9】円弧型電極を用いて試験片を採取するときの状
態を示す模式図である。
FIG. 9 is a schematic diagram showing a state when a test piece is collected using an arc-shaped electrode.

【図10】円孔型試験片を採取するときの状態を示す模
式図である。
FIG. 10 is a schematic diagram showing a state when a circular test piece is collected.

【図11】引張り試験片型の試験片を採取するときの状
態を示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic diagram showing a state when a tensile test specimen is collected.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 型電極 2 ワイヤ支持送り部材 3 吸着式保持機構 4 構造物 5 ワイヤ支持送り部材駆動機構 6 型電極駆動機構 7 型電極電流供給用ワイヤ 8 放電加工ワイヤ電流供給用ワイヤ 9 接地ワイヤ 10 給電板給電板 11 ワイヤ供給軸 12 ワイヤ張力調整機構 13 放電加工ワイヤ 14 装置容器 15 ロボット接続部 16 油圧ホース用チューブ 17 真空チューブ 18 電源ケーブル 19 採取対象部位 20 油圧ホース 21 ワイヤ巻き取り軸 22 後処理電極 23 電極切り換えスイッチ 24 円筒状電極 25 引張試験型電極 26 型電極溝 27 ワイヤ放電加工溝 28 採取材 29 升型電極 30 円弧型電極 31 円弧型電極溝 32 円孔電極溝 33 円柱状試験片 34 後処理電極溝 35 引張り型電極溝 36 加工仕上げ機構 37 引張試験用試験片 Reference Signs List 1 type electrode 2 wire support feed member 3 suction type holding mechanism 4 structure 5 wire support feed member drive mechanism 6 type electrode drive mechanism 7 type electrode current supply wire 8 discharge machining wire current supply wire 9 ground wire 10 power supply plate power supply Plate 11 Wire supply shaft 12 Wire tension adjustment mechanism 13 Electric discharge machining wire 14 Equipment container 15 Robot connection 16 Hydraulic hose tube 17 Vacuum tube 18 Power cable 19 Sampling target site 20 Hydraulic hose 21 Wire winding shaft 22 Post-processing electrode 23 Electrode Changeover switch 24 Cylindrical electrode 25 Tensile test type electrode 26 Type electrode groove 27 Wire electric discharge machining groove 28 Collecting material 29 Square type electrode 30 Circular electrode 31 Circular electrode groove 32 Circular electrode groove 33 Cylindrical test piece 34 Post-processing electrode Groove 35 Tension type electrode groove 36 Finishing mechanism 37 Tension test Test specimen

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 服部 成雄 茨城県日立市幸町三丁目1番1号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (72)発明者 加藤 隆彦 茨城県日立市幸町三丁目1番1号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (56)参考文献 特開 昭63−231238(JP,A) 特開 平6−160251(JP,A) 特開 平9−150318(JP,A) 特開 平7−159295(JP,A) 特開 平5−332896(JP,A) 特開 平4−286935(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 1/00 - 1/34 G01N 3/00 - 3/62 G21C 17/00 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Nario Hattori 3-1-1, Sachimachi, Hitachi-shi, Ibaraki Pref. Hitachi, Ltd. Hitachi Plant (72) Inventor Takahiko Kato 3-1-1, Sachimachi, Hitachi-shi, Ibaraki No. 1 Hitachi, Ltd. Hitachi Plant (56) References JP-A-63-231238 (JP, A) JP-A-6-160251 (JP, A) JP-A-9-150318 (JP, A) 7-159295 (JP, A) JP-A-5-332896 (JP, A) JP-A-4-286935 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 1/00 -1/34 G01N 3/00-3/62 G21C 17/00 JICST file (JOIS)

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 純水あるいは油中に浸漬された金属の表
面から微小な試験片を採取する微小試料採取装置におい
て、 放電加工用の型電極と、 この型電極を移動させ、当該型電極に対応した溝を前記
金属表面に形成する手段と、 放電加工用のワイヤと、 このワイヤを支持するとともに、前記金属表面に形成さ
れた溝内を移動させて前記ワイヤによって対向する溝間
の金属部分を切り取る手段と、 を備えていることを特徴とする微小試料採取装置。
1. A micro sample collecting apparatus for collecting a small test piece from a surface of a metal immersed in pure water or oil, comprising: a mold electrode for electric discharge machining; moving the mold electrode; Means for forming a corresponding groove in the metal surface; a wire for electric discharge machining; and a metal portion between the grooves which support the wire and move in the groove formed in the metal surface to be opposed by the wire. And a means for cutting out a micro sample.
【請求項2】 前記ワイヤによって切り取られて形成さ
れた溝を、再度放電加工する後処理電極をさらに備えて
いることを特徴とする請求項1記載の微小試料採取装
置。
2. The micro sample collecting apparatus according to claim 1, further comprising a post-processing electrode for re-discharge machining a groove formed by cutting the wire.
【請求項3】 前記ワイヤによって切り取られた面を仕
上げる手段をさらに備えていることを特徴とする請求項
1または2に記載の微小試料採取装置。
3. The micro-sampler according to claim 1, further comprising means for finishing a surface cut by the wire.
【請求項4】 前記仕上げる手段は、放電加工によって
形成された金属表面の変質層を熱処理する装置からなる
ことを特徴とする請求項3記載の微小試料採取装置。
4. The micro-sampler according to claim 3, wherein said finishing means comprises a device for heat-treating the altered layer on the metal surface formed by electric discharge machining.
【請求項5】 試料採取部位で採取材料の保持と、採取
後の採取材料の取り出しを行う手段をさらに備えている
ことを特徴とする請求項1記載の微小試料採取装置。
5. The micro sample collecting apparatus according to claim 1, further comprising means for holding the sample material at the sample collection site and taking out the sample material after the sample collection.
【請求項6】 前記切り取る手段が、新しいワイヤを供
給するワイヤ供給機構と、一度加工に使用したワイヤを
巻取るワイヤ巻取り機構とを含んでなることを特徴とす
る請求項1記載の微小試料採取装置。
6. The micro sample according to claim 1, wherein said cutting means includes a wire feeding mechanism for feeding a new wire and a wire winding mechanism for winding a wire once used for processing. Sampling equipment.
【請求項7】 純水あるいは油中に浸漬された金属の表
面から微小な試験片を採取する微小試料採取方法におい
て、 採取対象部位の表面に保持のための吸着手段を取り付け
る第1の工程と、 前記吸着手段を中心にして2枚の放電加工用型電極を間
をあけて平行に配置する第2の工程と、 前記型電極に電流を供給しながら当該型電極を下方に駆
動して金属内部に進入させる第3の工程と、 前記型電極が目的の深さまで達したら放電加工を停止す
る第4の工程と、 前記型電極を上方に引き上げる第5の工程と、 放電加工によって作成された溝にワイヤ支持送り部材を
下げて放電加工用のワイヤに電流を供給しながらワイヤ
支持送り部材を構造物表面の溝に入れ、スリット端部が
つながるような新たなスリットを形成する第6の工程
と、 前記ワイヤが所定の深さに達したらワイヤの駆動方向を
構造物表面に平行な方向に変え、前記ワイヤ支持送り部
材を型電極で形成した前記スリットに沿って駆動させ、
採取部位の下面をワイヤ放電加工によって切り取る第7
の工程と、 前記ワイヤ支持送り部材がスリット端面まで来たら当該
ワイヤ支持送り部材を上方に駆動して最後に残った面の
切断を行なう第8の工程と、 を含んでなることを特徴とする微小試料採取方法。
7. A method for collecting a minute test piece from a surface of a metal immersed in pure water or oil, comprising: a first step of attaching a suction means for holding to a surface of a collection target portion; A second step of arranging two electric discharge machining mold electrodes in parallel with a gap centered on the suction means, and driving the mold electrodes downward while supplying current to the mold electrodes to form a metal. A third step of entering the inside, a fourth step of stopping electric discharge machining when the mold electrode reaches a target depth, a fifth step of pulling up the mold electrode, A sixth step of lowering the wire support feed member into the groove and inserting the wire support feed member into the groove on the surface of the structure while supplying current to the wire for electric discharge machining, and forming a new slit to connect the slit end. And the wa Ya is changed in a direction parallel to the driving direction of the wire reaches the predetermined depth in the structure surface, said wire support feed members the driven along the slit formed in the mold electrode,
7th cutout of the lower surface of the sampling site by wire electric discharge machining
And an eighth step of, when the wire support / feed member reaches the slit end face, driving the wire support / feed member upward to cut the last remaining surface. Micro sampling method.
【請求項8】 前記第5と第6の工程の間に、さらに、
前記2枚の型電極によって形成された溝間の金属表面か
ら円筒状の放電加工用型電極を下方に駆動して、当該円
筒状の型電極の形状の溝を形成する工程を備え、前記第
7の工程で円柱状の微小試料を得ること特徴とする制御
装置7記載の微小試料採取方法。
8. The method according to claim 5, further comprising the steps of:
A step of driving a cylindrical electric discharge machining mold electrode downward from a metal surface between the grooves formed by the two mold electrodes to form a groove having the shape of the cylindrical mold electrode; 7. A method of collecting a micro sample according to the control device 7, wherein a column-shaped micro sample is obtained in the step of 7.
【請求項9】 前記第8の工程の後に、応力集中を緩和
させる形状の後処理電極を用いて試料を採取した面を放
電加工することを特徴とする請求項7記載の微小試料採
取方法。
9. The method according to claim 7, wherein after the eighth step, the surface on which the sample has been sampled is subjected to electrical discharge machining using a post-treatment electrode having a shape for alleviating stress concentration.
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