JP3405604B2 - Polishing equipment - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば配管内面周面の
金属組織またはタービンロータ等の大型回転体の軸芯部
に穿設される検査孔の内面の金属組織を検査するための
レプリカを採取するために用いる研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、蒸気タービンのロータ、水車等
の大型回転体の軸芯部にはその構成部材の材質検査、溶
接部検査等を実施するために検査孔が設けられている。
この検査孔を利用して磁粉探傷検査、浸透探傷検査、超
音波探傷検査、渦流探傷検査等の被破壊検査がその目的
に応じて適宜組み合わされて目視検査とともに実施され
ている。
【0003】近年、機器の安全性をより向上させるため
に、高度の品質管理が要求される傾向にあり、従来大型
回転体等に対して部分的に一定期間毎に実施されていた
上記の検査に加えて、部材の経年劣化の傾向をより正確
かつ早期に把握するために、機器全体にわたる高度な品
質管理を実施することが望まれている。
【0004】例えば、蒸気タービン用ロータにおいては
高温度で長時間にわたって運転されるため、構成部材中
の炭化物の粗大化やクリープ損傷によるボイドの発生な
どが懸念される。そのため適宜回転体の全長にわたって
金属組織を、例えば顕微鏡により観察し、部材の健全性
の確認および欠陥の早期発見を行うことが要請されてい
る。
【0005】ところで、金属組織を精細に観察するには
周知のように種々の方法があるが、その中でレプリカ法
が一般的に採用されている。このレプリカ法は被検査部
の金属組織表面に溶液状の膜材料をスプレーし、形成さ
れたレプリカ被膜に金属組織を転写し、得られたレプリ
カを電子顕微鏡に供して金属組織を観察する方法があ
る。
【0006】上記レプリカ法により被検査体からレプリ
カを採取するためには表面粗さが3.5〜5.0μm 以
下に研き上げられた一様な研磨面の存在が不可欠であ
る。その研磨面から得られたレプリカを電子顕微鏡で観
察することにより、金属組織の変化が容易に把握され、
被検査体の構成部材の劣化状況および欠陥の有無等につ
いて高い信頼性をもって判定することが可能である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この金
属組織を観察するために行われる研磨作業は、従来全て
検査員の手作業によって実施されており、研磨箇所が限
定されたり、作業性、作業時間、研磨精度に難点があ
り、その結果レプリカ採取箇所が限定されてしまうこと
になる。すなわち、研磨可能範囲は構成部材に穿設した
検査孔の開口部または配管の開口部から作業員の手の届
く範囲、例えば開口部からせいぜい500mm程度の狭い
範囲に限定されるため、大型の構成部材の全体にわたっ
てレプリカを採取することができず、このため全体にわ
たる経年劣化状況を把握することが困難である。
【0008】また、作業員の手作業により行っているた
め作業性が低いうえに、研磨精度にバラツキを生じ、検
査結果の再現性および信頼性に影響を与える可能性があ
る。こうした作業性の改善、精度の向上をめざすために
レプリカを採取する装置が例えば特開昭57−1540
38号公報に開示されている。
【0009】しかしながら、従来の装置は個々機器の構
造が複雑であることから操作が必ずしも容易でなく、さ
らに保守管理も煩雑になる傾向があり、より好ましい装
置が求められている。
【0010】そこで、本発明の目的は被検査体の深部か
ら金属組織のレプリカを容易に採取でき、かつ狭小な作
業空間のもとでも効率よく作業できるようにした研磨装
置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、被検査体の外部に保持される端部から前記
被検査体の検査孔の深部に達するように本体部を長く延
ばして形成される位置決めロッドと、この位置決めロッ
ドの本体部の先端部にあって該位置決めロッドとともに
前記検査孔内を軸方向に移動可能に設けられ、研磨材を
該検査孔の被研磨部に押し付けて研磨する駆動装置を備
えた研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの前端面および後端
面に設けられ、該研磨ヘッドを前記検査孔内面に固定す
る一対のヘッド押圧装置とを備えた研磨装置において、
前記研磨ヘッドが、被研磨部の周方向に沿って前記研磨
材を揺動させる偏芯シャフトと、この偏芯シャフトを回
転させる駆動装置とを備えることを特徴とするものであ
る。
【0012】
【作用】上記構成の研磨装置において、まず検査孔の内
部に挿入した研磨ヘッドを検査対象位置である披研磨部
まで移動する。検査孔に対する研磨ヘッドの軸方向およ
び周方向位置を駆動装置を用いて位置決めロッドにより
調整する。
【0013】研磨ヘッドを被研磨部と対向する位置に位
置決めした後に、研磨ヘッドを検査孔の内面に押付けて
固定する。その後、研磨材を駆動装置により回転させ、
被研磨部を研磨する。望ましくは、このとき研磨材を軸
方向ならびに周方向に一定の振幅をもって揺動させる。
【0014】
【実施例】以下、本発明の一実施例について添付図面を
参照して説明する。図2は本発明に係る研磨装置の一実
施例を示す全体構成図である。本実施例に係る研磨装置
は蒸気タービン等の大型回転体等の被検査体1の軸芯に
沿う検査孔2内または配管内に軸方向および周方向に移
動自在に設けられる研磨ヘッド3を有する。この研磨ヘ
ッド3はそれぞれ同心に設けられる位置決めロッド4に
より保持されている。また、研磨ヘッド3を所定の位置
に位置決めする駆動装置5を設けている。この駆動装置
5は制御装置6によって制御される。
【0015】また、駆動装置5は研磨ヘッド3と位置決
めロッド4とともに検査孔2の軸方向に設置されたレー
ル7に沿って前進後退させることが可能であり、これに
より研磨ヘッド3の検査孔2内における後記の被研磨部
への軸方向の位置決めが行われる。また、研磨ヘッド3
はこれに連結された位置決めロッド4の回転により被研
磨部に対する周方向の位置決めが行われる。
【0016】図1に研磨ヘッド3の詳細を示している。
中空円筒形のケーシング8内の軸芯に沿って偏芯シャフ
ト9が設けられている。この偏芯シャフト9は中央支持
板10によって保持されると共に、その先端は偏芯板1
1に穿たれた長孔12と係合させている。偏芯板11は
中央支持板10とケーシング8の前端面に装着される前
部支持板13との間に延びる補助シャフト14によって
支持されている。
【0017】また、偏芯板11の下部には駆動モータ1
5が設けられ、この駆動モータ15に直結したスピンド
ル16に研磨材16aが装着されている。図3はこの偏
芯シャフト9、偏芯板11および駆動モータ15の配置
関係を示している。偏芯板11が補助シャフト14を中
心として回動すると、これに従って研磨材16aが揺動
する。
【0018】また、駆動モータ15は図4に示すように
エアシリンダ17と連結されている。このエアシリンダ
17は補助シャフト14を中心として回動するシリンダ
支持板18によって支持されている。さらに、ケーシン
グ8の後端面を覆う後部囲い板19および内側囲い板2
0によって囲われた部屋に偏芯シャフト9を駆動する駆
動モータ21を設けている(図1参照)。
【0019】一方、この研磨ヘッド3は図5に示すよう
に周方向に等間隔に並ぶ各保持器22a、22b、22
cによって支えられた3個のローラ23を備えている。
上方に向けられたローラ23を支える保持器22aはエ
キスパンション24を介して前部支持板13に固定され
たエアシリンダ25と連結され、一方、下方に向けられ
た各ローラ23を支える保持器22b、22cはケーシ
ング8に直接固定されている。
【0020】図5は研磨ヘッド3の前端面からみた図で
あるが、同じ3個のローラ23は研磨ヘッド3の後端面
にも同様な支持手段を用いて設けられる(図1参照)。
なお、図中、符号26はエアチューブであり、各エアシ
リンダ17、25に圧縮空気を導く。また、符号27は
電気ケーブルであり、外部の電源から各駆動モータ1
5、21に電気を供給する。
【0021】上記研磨装置を用いて被研磨部G(図1参
照)を研磨するには、初めに、研磨ヘッド3を検査孔2
内に挿入し、駆動装置5を動作させて研磨ヘッド3を所
定位置に位置決めする。次に、エアチューブ26を通し
て各エアシリンダ25に圧縮空気を送り、半径方向に伸
長させて前端面および後端面の各ローラ23を検査孔2
内面に押付け、研磨ヘッド3をその位置で固定する。
【0022】次に、エアチューブ26を通してエアシリ
ンダ17に圧縮空気を送り、半径方向に伸長させて研磨
材16aを被研磨部Gに押付けながら駆動モータ15を
始動させる。こうして、被研磨部Gを研磨材16aによ
って研磨することができる。研磨加工は荒加工から始め
て順次研磨材16aを交換しつつ、仕上げ加工まで進め
る。
【0023】周方向に研磨領域を広げるには駆動モータ
21を始動して偏芯シャフト9を回転させる。このと
き、偏芯板11が回動して研磨材16aが周方向に揺動
し、研磨領域を広げることができる。
【0024】検査孔2の軸方向に研磨領域を拡げるには
駆動装置5を動作させて調節する。エキスパンション2
4は上方に向けられたローラ23の位置を変えるために
組込まれており、被検査体1が変わるたびに検査孔2の
内径寸法に合わせて長さを調節することができる。
【0025】このように本実施例の研磨装置によれば、
研磨ヘッド3を検査孔2内を軸方向に移動しながら、端
部近くから深部にかけて研磨することができる。このた
め、長大なプラント配管の内部、大型回転体の検査孔の
深部においても被検査体の金属組織のレプリカを採取す
ることが可能である。
【0026】また、作業の大部分が遠隔操作によって行
われるので、狭小な作業空間のもとでも、効率よく作業
することが可能である。特に放射線管理区域など危険を
伴う作業環境のもとでは作業の安全性を高めることがで
きる。さらに、研磨加工が全て自動的に行われるので、
研磨精度にバラツキが少なくなり、検査結果の再現性お
よび信頼性を高めることができる。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように本発明は被検査体の
中心孔の深部に達する長さの位置決めロッドの先端部に
研磨ヘッドを設け、研磨ヘッドをヘッド押圧装置を用い
て中心孔内面に固定し、研磨材を中心孔の被研磨部に押
付けて研磨するようにしたので、被検査体の深部から金
属組織のレプリカを容易に採取することができ、被検査
体の全域にわたり材質劣化状況および欠陥の有無を判定
することが可能になる。
【0028】また、遠隔操作によって作業が行われ、狭
小な作業空間のもとでも効率よく作業することができ、
作業性の向上により検査に要する時間を大幅に短縮する
ことが可能になる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, a metal structure on the inner peripheral surface of a pipe or an inner surface of an inspection hole formed in a shaft core of a large rotating body such as a turbine rotor. The present invention relates to a polishing apparatus used for collecting a replica for inspecting a metal structure of a polishing apparatus. 2. Description of the Related Art Generally, an inspection hole is provided in a shaft portion of a large rotating body such as a rotor of a steam turbine or a water turbine for inspecting a material of a component thereof, an inspection of a welded portion, and the like. .
Using these inspection holes, destructive inspections such as magnetic particle inspection, penetrant inspection, ultrasonic inspection, and eddy current inspection are appropriately combined according to the purpose, and are performed together with visual inspection. In recent years, in order to further improve the safety of equipment, a high level of quality control tends to be required, and the above-mentioned inspection which has been partially performed at regular intervals on a large rotating body or the like in the past. In addition, in order to more accurately and early grasp the tendency of the members to deteriorate over time, it is desired to perform advanced quality control over the entire device. [0004] For example, since a rotor for a steam turbine is operated at a high temperature for a long time, there is a concern that carbides in the constituent members may become coarse or voids may be generated due to creep damage. Therefore, it is required that the metal structure be appropriately observed over the entire length of the rotating body using, for example, a microscope to check the soundness of the member and to detect defects early. By the way, there are various well-known methods for observing a metal structure finely, and among them, a replica method is generally adopted. The replica method involves spraying a solution-like film material on the surface of the metal structure of the part to be inspected, transferring the metal structure to the formed replica film, and subjecting the obtained replica to an electron microscope to observe the metal structure. is there. In order to collect a replica from an object to be inspected by the above-mentioned replica method, it is essential to have a uniform polished surface having a surface roughness of 3.5 to 5.0 μm or less. By observing the replica obtained from the polished surface with an electron microscope, changes in the metal structure can be easily grasped,
It is possible to determine with high reliability the deterioration state of the constituent members of the inspection object and the presence / absence of defects. [0007] However, the polishing operation for observing the metallographic structure is conventionally all performed manually by an inspector, and the polishing portion is limited or the workability is limited. However, there are difficulties in working time and polishing accuracy, and as a result, the locations where replicas are collected are limited. That is, the polishing range is limited to a range that can be reached by an operator from the opening of the inspection hole or the opening of the pipe formed in the component member, for example, a narrow range of at most about 500 mm from the opening, so that a large-sized configuration is required. A replica cannot be collected over the entire member, and it is difficult to grasp the aging state of the entire member. In addition, since the work is manually performed by a worker, the workability is low, and the polishing accuracy varies, which may affect the reproducibility and reliability of the inspection result. An apparatus for collecting a replica in order to improve the workability and the accuracy is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-1540.
No. 38 discloses this. However, the conventional apparatus is not always easy to operate due to the complicated structure of each device, and tends to be complicated in maintenance and management. Therefore, more preferable apparatuses are required. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a polishing apparatus capable of easily collecting a replica of a metal structure from a deep part of an object to be inspected and capable of efficiently working even in a narrow working space. . In order to achieve the above object, the present invention is directed to a main body part which extends from an end held outside the object to be inspected to a deep part of an inspection hole of the object to be inspected. A positioning rod formed by extending the rod, and provided at the tip of the main body of the positioning rod so as to be movable in the inspection hole in the inspection hole together with the positioning rod, and to polish the abrasive material in the inspection hole. a polishing head having a drive apparatus for polishing against the parts, provided on the front surface and rear surface of the polishing head, a polishing apparatus having a pair of head pressing device for fixing the polishing head to the inspection hole inner surface At
The polishing head is configured to perform the polishing along a circumferential direction of a portion to be polished.
An eccentric shaft that swings the material and the eccentric shaft
It is characterized in Rukoto and a driving device for rolling. In the polishing apparatus having the above-described structure, the polishing head inserted into the inspection hole is first moved to the polishing portion, which is the inspection target position. The position of the polishing head in the axial direction and the circumferential direction with respect to the inspection hole is adjusted by a positioning rod using a driving device. After the polishing head is positioned at a position facing the portion to be polished, the polishing head is pressed against the inner surface of the inspection hole and fixed. Then, the abrasive is rotated by a driving device,
The part to be polished is polished. Preferably, at this time, the abrasive is oscillated with a constant amplitude in the axial direction and the circumferential direction. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 2 is an overall configuration diagram showing one embodiment of the polishing apparatus according to the present invention. The polishing apparatus according to the present embodiment has a polishing head 3 provided movably in an axial direction and a circumferential direction in an inspection hole 2 or a pipe along an axis of a test object 1 such as a large rotating body such as a steam turbine. . The polishing heads 3 are held by positioning rods 4 provided concentrically. Further, a driving device 5 for positioning the polishing head 3 at a predetermined position is provided. The driving device 5 is controlled by a control device 6. The driving device 5 can move forward and backward along the rail 7 installed in the axial direction of the inspection hole 2 together with the polishing head 3 and the positioning rod 4, whereby the inspection hole 2 of the polishing head 3 can be moved. Axial positioning is performed on a portion to be polished, which will be described later. Polishing head 3
The rotation of the positioning rod 4 connected thereto is used to perform circumferential positioning with respect to the portion to be polished. FIG. 1 shows the details of the polishing head 3.
An eccentric shaft 9 is provided along an axis in a hollow cylindrical casing 8. The eccentric shaft 9 is held by a central support plate 10 and the tip thereof is
1 is engaged with the long hole 12 drilled. The eccentric plate 11 is supported by an auxiliary shaft 14 extending between the central support plate 10 and a front support plate 13 mounted on the front end face of the casing 8. A drive motor 1 is provided below the eccentric plate 11.
5 is provided, and an abrasive 16a is mounted on a spindle 16 directly connected to the drive motor 15. FIG. 3 shows the positional relationship between the eccentric shaft 9, the eccentric plate 11, and the drive motor 15. When the eccentric plate 11 rotates about the auxiliary shaft 14, the abrasive 16a swings accordingly. The drive motor 15 is connected to an air cylinder 17 as shown in FIG. The air cylinder 17 is supported by a cylinder support plate 18 that rotates about the auxiliary shaft 14. Further, the rear shroud 19 and the inner shroud 2 covering the rear end face of the casing 8
A drive motor 21 for driving the eccentric shaft 9 is provided in a room surrounded by 0 (see FIG. 1). On the other hand, as shown in FIG. 5, the polishing head 3 has holders 22a, 22b, 22 arranged at equal intervals in the circumferential direction.
c and three rollers 23 supported by the rollers.
A retainer 22a supporting the upwardly directed roller 23 is connected to an air cylinder 25 fixed to the front support plate 13 via an expansion 24, while a retainer 22b supporting each downwardly directed roller 23, 22c is directly fixed to the casing 8. FIG. 5 is a view as seen from the front end face of the polishing head 3. The same three rollers 23 are also provided on the rear end face of the polishing head 3 by using similar supporting means (see FIG. 1).
In the drawing, reference numeral 26 denotes an air tube, which guides compressed air to each of the air cylinders 17 and 25. Reference numeral 27 denotes an electric cable, which is connected to each drive motor 1 from an external power supply.
Supply electricity to 5, 21. In order to polish the portion G to be polished (see FIG. 1) using the above-mentioned polishing apparatus, first, the polishing head 3 is connected to the inspection hole 2.
The polishing head 3 is positioned at a predetermined position by operating the driving device 5. Next, compressed air is sent to each of the air cylinders 25 through the air tube 26 and is extended in the radial direction so that each of the rollers 23 on the front end face and the rear end face is inserted into the inspection hole 2.
Pressing against the inner surface fixes the polishing head 3 at that position. Next, compressed air is sent to the air cylinder 17 through the air tube 26, and the drive motor 15 is started while extending in the radial direction and pressing the abrasive 16a against the portion G to be polished. Thus, the polished portion G can be polished by the polishing material 16a. The polishing process starts from the roughing process and proceeds to the finishing process while sequentially replacing the abrasive 16a. To widen the polishing area in the circumferential direction, the drive motor 21 is started to rotate the eccentric shaft 9. At this time, the eccentric plate 11 rotates and the abrasive 16a swings in the circumferential direction, so that the polishing area can be expanded. In order to expand the polishing area in the axial direction of the inspection hole 2, the driving device 5 is operated and adjusted. Expansion 2
Numeral 4 is incorporated to change the position of the roller 23 facing upward, and the length can be adjusted in accordance with the inner diameter of the inspection hole 2 each time the inspection object 1 changes. As described above, according to the polishing apparatus of this embodiment,
While moving the polishing head 3 in the inspection hole 2 in the axial direction, the polishing can be performed from near the end to the deep portion. For this reason, it is possible to collect a replica of the metal structure of the object to be inspected even in the inside of a long plant pipe and deep in the inspection hole of the large rotating body. Further, since most of the work is performed by remote control, it is possible to work efficiently even in a small work space. In particular, work safety can be enhanced in a dangerous work environment such as a radiation control area. In addition, since all polishing processing is performed automatically,
Variations in polishing accuracy are reduced, and reproducibility and reliability of inspection results can be improved. As described above, according to the present invention, a polishing head is provided at the distal end of a positioning rod having a length reaching the depth of the center hole of the test object, and the polishing head is moved to the center by using a head pressing device. It is fixed to the inner surface of the hole and the abrasive is pressed against the polished part of the center hole and polished, so that a replica of the metallographic structure can be easily collected from the deep part of the inspected object, and over the entire area of the inspected object It is possible to determine the state of material deterioration and the presence or absence of a defect. Further, work is performed by remote control, and work can be performed efficiently even in a small work space.
The improvement in workability can greatly reduce the time required for inspection.
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る研磨装置の研磨ヘッドを示す断面
図。
【図2】本発明に係る研磨装置の全体構成図。
【図3】図1に示される研磨ヘッドの断面図。
【図4】図1に示される研磨ヘッドの断面図。
【図5】図1に示される研磨ヘッドの断面図。
【符号の説明】
2………検査孔
3………研磨ヘッド
4………位置決めロッド
8………ケーシング
11………偏芯板
15、21…駆動モータ
16a……研磨材
17、25…エアシリンダ
23………ローラBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a sectional view showing a polishing head of a polishing apparatus according to the present invention. FIG. 2 is an overall configuration diagram of a polishing apparatus according to the present invention. FIG. 3 is a sectional view of the polishing head shown in FIG. 1; FIG. 4 is a cross-sectional view of the polishing head shown in FIG. FIG. 5 is a sectional view of the polishing head shown in FIG. 1; [Description of Signs] 2 ... Inspection hole 3 ... Polishing head 4 ... Positioning rod 8 ... Casing 11 ... Eccentric plates 15 and 21 ... Drive motor 16a ... Abrasives 17 and 25 ... Air cylinder 23 Roller
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−302875(JP,A) 特開 平1−263532(JP,A) 特開 平2−105036(JP,A) 特開 平6−180275(JP,A) 特開 昭57−154038(JP,A) 実開 平5−56350(JP,U) 実開 平1−9050(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 1/00 - 1/36 JICSTファイル(JOIS)────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-5-302875 (JP, A) JP-A-1-263532 (JP, A) JP-A-2-105036 (JP, A) JP-A-6-302 180275 (JP, A) JP-A-57-154038 (JP, A) Japanese Utility Model Laid-Open No. 5-56350 (JP, U) Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 1-9050 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. 7 , DB name) G01N 1/00-1/36 JICST file (JOIS)
Claims (1)
記被検査体の検査孔の深部に達するように本体部を長く
延ばして形成される位置決めロッドと、この位置決めロ
ッドの本体部の先端部にあって該位置決めロッドととも
に前記検査孔内を軸方向に移動可能に設けられ、研磨材
を該検査孔の被研磨部に押し付けて研磨する駆動装置を
備えた研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの前端面および後
端面に設けられ、該研磨ヘッドを前記検査孔内面に固定
する一対のヘッド押圧装置とを備えた研磨装置におい
て、 前記研磨ヘッドは、被研磨部の周方向に沿って前記研磨
材を揺動させる偏芯シャフトと、この偏芯シャフトを回
転させる駆動装置とを備えることを特徴とする 研磨装
置。(1) A positioning rod formed by extending a main body from an end held outside the test object to a deep portion of an inspection hole of the test object. And a driving device that is provided at the distal end of the main body of the positioning rod and is provided so as to be movable in the axial direction in the inspection hole together with the positioning rod, and presses and polishes an abrasive against a polished portion of the inspection hole. a polishing head having, provided on the front surface and rear surface of the polishing head, a polishing apparatus odor and a pair of head pressing device for fixing the polishing head to the inspection hole inner surface
The polishing head is configured to polish the polishing head along a circumferential direction of a portion to be polished.
An eccentric shaft that swings the material and the eccentric shaft
A polishing device, comprising: a driving device for rotating the polishing device.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030218 |
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