JP3214275B2 - 自動外観検査装置の感度補正方法 - Google Patents
自動外観検査装置の感度補正方法Info
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- JP3214275B2 JP3214275B2 JP01275595A JP1275595A JP3214275B2 JP 3214275 B2 JP3214275 B2 JP 3214275B2 JP 01275595 A JP01275595 A JP 01275595A JP 1275595 A JP1275595 A JP 1275595A JP 3214275 B2 JP3214275 B2 JP 3214275B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被対象物からの反射光
を取り込んで、その明暗により対象物の外観検査を行う
自動外観検査装置において、対象物の表面状態や照明の
状態に応じて検出感度の安定化を図る自動外観検査装置
の感度補正方法に関するものである。
を取り込んで、その明暗により対象物の外観検査を行う
自動外観検査装置において、対象物の表面状態や照明の
状態に応じて検出感度の安定化を図る自動外観検査装置
の感度補正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】鏡面鋼板、積層板、半導体ＩＣ用のウエ
ハ基板、磁気ディスクや液晶パネルのガラス基板等は、
その表面が平滑で、凹凸がないことが重要である。
ハ基板、磁気ディスクや液晶パネルのガラス基板等は、
その表面が平滑で、凹凸がないことが重要である。
【０００３】これらの表面に凹凸などの欠陥があると製
品の本来の機能を果たすことができなくなり、品質的な
異常とされるため、外観検査が行われている。
品の本来の機能を果たすことができなくなり、品質的な
異常とされるため、外観検査が行われている。
【０００４】上記自動外観検査装置の一例として、照明
光により被検査対象物の表面に光を照射し、被検査対象
物の表面形状に応じて反射した反射光を撮像手段に取り
込んで、その反射光の明暗により外観検査を行う自動外
観検査装置が知られている。
光により被検査対象物の表面に光を照射し、被検査対象
物の表面形状に応じて反射した反射光を撮像手段に取り
込んで、その反射光の明暗により外観検査を行う自動外
観検査装置が知られている。
【０００５】被検査対象物の表面に欠陥が生じると、欠
陥部分に照射した照明光は乱反射、他の平滑な部分に照
射した照明光は正反射を行い、その結果、撮像手段に取
り込まれた反射光は入光量の差により明部と暗部が生ず
る。
陥部分に照射した照明光は乱反射、他の平滑な部分に照
射した照明光は正反射を行い、その結果、撮像手段に取
り込まれた反射光は入光量の差により明部と暗部が生ず
る。
【０００６】例えば、撮像手段としてＣＣＤカメラを使
用して得られた反射光の入力波形は、図４（ａ）に示す
如く、被検査対象物の表面に凹凸が生じた欠陥部分で入
力レベルが低下した波形を得ることができる。
用して得られた反射光の入力波形は、図４（ａ）に示す
如く、被検査対象物の表面に凹凸が生じた欠陥部分で入
力レベルが低下した波形を得ることができる。
【０００７】この入力波形を用いて、例えば、微分処理
や積分処理を行って得られた処理波形をスライスレベル
と比較して欠陥を認識していた。図４（ｂ）は、図４
（ａ）の入力波形の処理波形である。
や積分処理を行って得られた処理波形をスライスレベル
と比較して欠陥を認識していた。図４（ｂ）は、図４
（ａ）の入力波形の処理波形である。
【０００８】ところが、入力波形のレベルが異なると、
入力波形を処理して得られた処理波形のレベルも異なる
ものとなり、一定のレベルに制御する必要があった。
入力波形を処理して得られた処理波形のレベルも異なる
ものとなり、一定のレベルに制御する必要があった。
【０００９】つまり、入力波形を用いて検査を行うに
は、照明光を制御して、予め設定された第１の基本入光
量に入力波形の平均値を合わせたのち、検査の判断に使
用する設定値（以下、スライスレベルＳとする。）と比
較して欠陥を認識する必要があった。
は、照明光を制御して、予め設定された第１の基本入光
量に入力波形の平均値を合わせたのち、検査の判断に使
用する設定値（以下、スライスレベルＳとする。）と比
較して欠陥を認識する必要があった。
【００１０】したがって、図４（ａ）に示された入力波
形では、図中一点鎖線ａで示された第１の基本入光量に
比べ、入力波形のレベルが高いため、照明光の光量を減
少して入力波形のレベルを低下させ、第１の基本入光量
と同じレベルに入力波形を制御し、図５（ａ）に示す如
く、その入力波形の平均値が第１の基本入光量と同じレ
ベルに調整していた。
形では、図中一点鎖線ａで示された第１の基本入光量に
比べ、入力波形のレベルが高いため、照明光の光量を減
少して入力波形のレベルを低下させ、第１の基本入光量
と同じレベルに入力波形を制御し、図５（ａ）に示す如
く、その入力波形の平均値が第１の基本入光量と同じレ
ベルに調整していた。
【００１１】そして、図５（ｂ）に示す如く、この調整
された入力波形を基に各処理を施して処理波形を求め、
この処理波形をスライスレベルＳと比較して欠陥を認識
していた。
された入力波形を基に各処理を施して処理波形を求め、
この処理波形をスライスレベルＳと比較して欠陥を認識
していた。
【００１２】しかし、上述のように、照明光を制御して
入力波形の平均値のレベルを調整できるのは、図４
（ａ）に示す二つの破線Ａに挟まれた制御領域に入力波
形がある時で、図６（ａ）に示す如く、入力波形が制御
領域外にある場合は、照明光を制御しても、図６（ｂ）
に示す如く、その入力波形の平均値が第１の基本入光量
と同じレベルに調整することができなかった。
入力波形の平均値のレベルを調整できるのは、図４
（ａ）に示す二つの破線Ａに挟まれた制御領域に入力波
形がある時で、図６（ａ）に示す如く、入力波形が制御
領域外にある場合は、照明光を制御しても、図６（ｂ）
に示す如く、その入力波形の平均値が第１の基本入光量
と同じレベルに調整することができなかった。
【００１３】したがって、この入力波形より処理波形を
求め、スライスレベルと比較して行う外観検査は、入力
波形の平均値が第１の基本入光量と同じレベルにならな
いため、同じ基準で比較することができず、安定して欠
陥を検出できないため、検査の信頼性が低いという問題
があった。
求め、スライスレベルと比較して行う外観検査は、入力
波形の平均値が第１の基本入光量と同じレベルにならな
いため、同じ基準で比較することができず、安定して欠
陥を検出できないため、検査の信頼性が低いという問題
があった。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事情に
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
被検査対象物の表面状態が変動しても、外観検査装置が
安定した欠陥検出の感度を維持できる自動外観検査装置
の感度補正方法を提供することにある。
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
被検査対象物の表面状態が変動しても、外観検査装置が
安定した欠陥検出の感度を維持できる自動外観検査装置
の感度補正方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
自動外観検査装置の感度補正方法は、照明光を被検査対
象物の表面に照射し、その反射光を撮像手段に取り込
み、撮像手段で得られた対象物からの反射光の入光量
を、予め設定された第１の基本入光量になるように照明
光を制御して、被検査対象物の表面上の外観形状を検査
する外観検査において、上記反射光の入光量が照明光の
制御により第１の基本入光量に制御できない際に、設定
レベルの異なる第２の基本入光量になるように照明光を
制御し、それに伴って検査の判断に使用する設定値を変
更して検出感度の補正を行うことを特徴とする。
自動外観検査装置の感度補正方法は、照明光を被検査対
象物の表面に照射し、その反射光を撮像手段に取り込
み、撮像手段で得られた対象物からの反射光の入光量
を、予め設定された第１の基本入光量になるように照明
光を制御して、被検査対象物の表面上の外観形状を検査
する外観検査において、上記反射光の入光量が照明光の
制御により第１の基本入光量に制御できない際に、設定
レベルの異なる第２の基本入光量になるように照明光を
制御し、それに伴って検査の判断に使用する設定値を変
更して検出感度の補正を行うことを特徴とする。
【００１６】
【作用】本発明に係る自動外観検査装置の感度補正方法
によると、照明光を被検査対象物の表面に照射し、その
反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた対象
物からの反射光の入光量を、予め設定された第１の基本
入光量になるように照明光を制御して、被検査対象物の
表面上の外観形状を検査する外観検査において、上記反
射光の入光量が照明光の制御により第１の基本入光量に
制御できない際に、設定レベルの異なる第２の基本入光
量になるように照明光を制御し、それに伴って検査の判
断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行うの
で、被検査対象物の表面状態の変動や照明器具の電気特
性の変動により、ＣＣＤセンサが対象物から取り込む反
射光が変動しても、取り込んだ入光量に応じた設定値を
反映させることができ、安定して検出感度の補正をする
ことができる。
によると、照明光を被検査対象物の表面に照射し、その
反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた対象
物からの反射光の入光量を、予め設定された第１の基本
入光量になるように照明光を制御して、被検査対象物の
表面上の外観形状を検査する外観検査において、上記反
射光の入光量が照明光の制御により第１の基本入光量に
制御できない際に、設定レベルの異なる第２の基本入光
量になるように照明光を制御し、それに伴って検査の判
断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行うの
で、被検査対象物の表面状態の変動や照明器具の電気特
性の変動により、ＣＣＤセンサが対象物から取り込む反
射光が変動しても、取り込んだ入光量に応じた設定値を
反映させることができ、安定して検出感度の補正をする
ことができる。
【００１７】本発明に用いられる自動外観検査装置は、
撮像手段であるＣＣＤセンサと証明光を発する光源を有
する装置で、ＣＣＤセンサとしては、ＣＣＤラインセン
サ及びＣＣＤエリアセンサ等の複数のＣＣＤ素子で構成
されたＣＣＤセンサが使用される。これらＣＣＤセンサ
は、制御信号により、任意のＣＣＤ素子の出力信号を抽
出することができる。
撮像手段であるＣＣＤセンサと証明光を発する光源を有
する装置で、ＣＣＤセンサとしては、ＣＣＤラインセン
サ及びＣＣＤエリアセンサ等の複数のＣＣＤ素子で構成
されたＣＣＤセンサが使用される。これらＣＣＤセンサ
は、制御信号により、任意のＣＣＤ素子の出力信号を抽
出することができる。
【００１８】上記光源としては、例えば、白熱灯や蛍光
灯等が用いられ、各々の灯の劣化により光度が低下した
り、周囲の温度変化により、その光度は変化するが、そ
の光度を調整する制御機器を有するものであれば、特に
限定するものではない。
灯等が用いられ、各々の灯の劣化により光度が低下した
り、周囲の温度変化により、その光度は変化するが、そ
の光度を調整する制御機器を有するものであれば、特に
限定するものではない。
【００１９】以下、本発明を添付した図１〜図６を参照
し詳細に説明する。
し詳細に説明する。
【００２０】
実施例１ 図１は本発明の自動外観検査装置の感度補正方法が用い
られる自動外観検査装置の一実施例を示す構成図であ
る。図１に示す如く、この自動外観検査装置は、照明光
を発する光源２と、この光源２を点灯するための照度コ
ントロールユニット５と、被検査対象物３の表面より反
射した光源２の反射光を取り込む撮像手段であるＣＣＤ
センサ１と、ＣＣＤセンサ１が取り込んだ反射光の入力
画像の入光量と予め設定された基本入光量とを比較し、
さらに、この比較した結果により上記照度コントロール
ユニット５に指示を出す検査処理ユニット４から構成さ
れている。
られる自動外観検査装置の一実施例を示す構成図であ
る。図１に示す如く、この自動外観検査装置は、照明光
を発する光源２と、この光源２を点灯するための照度コ
ントロールユニット５と、被検査対象物３の表面より反
射した光源２の反射光を取り込む撮像手段であるＣＣＤ
センサ１と、ＣＣＤセンサ１が取り込んだ反射光の入力
画像の入光量と予め設定された基本入光量とを比較し、
さらに、この比較した結果により上記照度コントロール
ユニット５に指示を出す検査処理ユニット４から構成さ
れている。
【００２１】以上のように構成された自動外観検査装置
について、その動作を説明する。自動外観検査装置の一
例として、被検査対象物３として積層板を用い、照度コ
ントロールユニット５として高周波点灯電源を用いて光
源２である蛍光灯を点灯し、積層板の反射光を取り込む
撮像手段としてＣＣＤセンサ１を用いて撮像して外観検
査を行う装置について説明する。光源は特に限定はしな
いが、蛍光灯や白熱灯で、その光度が調整できるもので
あればよい。上記蛍光灯は、高周波点灯電源により点灯
されているので、蛍光灯固有のチラツキが少なくなって
いる。
について、その動作を説明する。自動外観検査装置の一
例として、被検査対象物３として積層板を用い、照度コ
ントロールユニット５として高周波点灯電源を用いて光
源２である蛍光灯を点灯し、積層板の反射光を取り込む
撮像手段としてＣＣＤセンサ１を用いて撮像して外観検
査を行う装置について説明する。光源は特に限定はしな
いが、蛍光灯や白熱灯で、その光度が調整できるもので
あればよい。上記蛍光灯は、高周波点灯電源により点灯
されているので、蛍光灯固有のチラツキが少なくなって
いる。
【００２２】上記ＣＣＤセンサ１は、積層板３より反射
した反射光を入力波形として取り込みむ。この入力波形
はアナログデータで反射光の光量によりその入力レベル
が変動する。したがって、図２に示す如く、上記積層板
の表面に欠陥が存在すると、欠陥部分では乱反射が生
じ、周囲と比較して著しく異なる入力レベルとなる。
した反射光を入力波形として取り込みむ。この入力波形
はアナログデータで反射光の光量によりその入力レベル
が変動する。したがって、図２に示す如く、上記積層板
の表面に欠陥が存在すると、欠陥部分では乱反射が生
じ、周囲と比較して著しく異なる入力レベルとなる。
【００２３】検査処理ユニット４では、得られた入力波
形を予め設定された第１の基本入光量と比較し、照度コ
ントロールユニットに電送する補正信号を算出する。
形を予め設定された第１の基本入光量と比較し、照度コ
ントロールユニットに電送する補正信号を算出する。
【００２４】例えば、第１の基本入光量が図３（ａ）中
の一点鎖線ａであり、積層板３の入力波形が第１の基本
入光量ａと異なると、上記検査処理ユニット４により、
それらの差を演算して補正信号を算出し、入力波形の入
光量が一点鎖線ａに近づくように補正信号を照度コント
ロールユニット５に伝送し、蛍光灯の照度コントローラ
である高周波点灯電源を制御する。
の一点鎖線ａであり、積層板３の入力波形が第１の基本
入光量ａと異なると、上記検査処理ユニット４により、
それらの差を演算して補正信号を算出し、入力波形の入
光量が一点鎖線ａに近づくように補正信号を照度コント
ロールユニット５に伝送し、蛍光灯の照度コントローラ
である高周波点灯電源を制御する。
【００２５】上記光源２である蛍光灯を増幅する補正信
号を受信した高周波点灯電源は、蛍光灯への出力電圧を
上昇し、第１の基本入光量ａと同等の入力波形を得るこ
とができる。
号を受信した高周波点灯電源は、蛍光灯への出力電圧を
上昇し、第１の基本入光量ａと同等の入力波形を得るこ
とができる。
【００２６】そして、この検査処理ユニット４は、図３
（ｂ）にように上記第１の基本入光量ａと同じレベルに
制御された入力波形を、欠陥と良品を識別するために設
定されたスライスレベルＳと比較し、欠陥Ｘを検出す
る。
（ｂ）にように上記第１の基本入光量ａと同じレベルに
制御された入力波形を、欠陥と良品を識別するために設
定されたスライスレベルＳと比較し、欠陥Ｘを検出す
る。
【００２７】また、例えば、入力波形が図２（ａ）で示
された破線Ａで挟まれた領域外のレベルを有する波形で
あるとすると、従来の方法であれば、照度コントロール
ユニット５を用いても、入力波形を第１の基本入光量ａ
と同じになるように制御することができなかった。
された破線Ａで挟まれた領域外のレベルを有する波形で
あるとすると、従来の方法であれば、照度コントロール
ユニット５を用いても、入力波形を第１の基本入光量ａ
と同じになるように制御することができなかった。
【００２８】本実施例では、検査処理ユニット４によ
り、入力波形が上記破線Ａで挟まれた第１の制御領域外
であると認識すると、第１の基本入光量ａとは異なるレ
ベルで設定された第２の基本入光量ｂに設定値を変更
し、さらに、この第２の基本入光量ｂに準じた破線Ｂで
挟まれた第２の制御領域を設定する。
り、入力波形が上記破線Ａで挟まれた第１の制御領域外
であると認識すると、第１の基本入光量ａとは異なるレ
ベルで設定された第２の基本入光量ｂに設定値を変更
し、さらに、この第２の基本入光量ｂに準じた破線Ｂで
挟まれた第２の制御領域を設定する。
【００２９】この第２の制御領域は、第１の制御領域と
同様に、その領域内に設定された基本入光量ｂに入力波
形を制御できる範囲である。
同様に、その領域内に設定された基本入光量ｂに入力波
形を制御できる範囲である。
【００３０】すなわち、図２（ａ）で示された入力波形
は、検査処理ユニット４により、第２の基本入光量ｂに
レベル制御することが確認され、この検査処理ユニット
４により照度コントロールユニット５に対して、上記入
力波形を第２の基本入光量ｂになるように補正指令が出
される。この補正指令により、照度コントロールユニッ
ト５は光源２を制御して、図３（ａ）のように、入力波
形の平均値が第２の基本入光量ｂにほぼ同じになるよう
にすることができる。
は、検査処理ユニット４により、第２の基本入光量ｂに
レベル制御することが確認され、この検査処理ユニット
４により照度コントロールユニット５に対して、上記入
力波形を第２の基本入光量ｂになるように補正指令が出
される。この補正指令により、照度コントロールユニッ
ト５は光源２を制御して、図３（ａ）のように、入力波
形の平均値が第２の基本入光量ｂにほぼ同じになるよう
にすることができる。
【００３１】そして、上記検査処理ユニット４は、入力
波形を第２の基本入光量ｂと同じになるように補正指令
を出すとともに、欠陥を検出するためのスライスレベル
Ｓを第２の基本入光量ｂに対応したスライスレベルＳｂ
に変更する。
波形を第２の基本入光量ｂと同じになるように補正指令
を出すとともに、欠陥を検出するためのスライスレベル
Ｓを第２の基本入光量ｂに対応したスライスレベルＳｂ
に変更する。
【００３２】このように、スライスレベルを変更するこ
とにより、上述したように、第１の基本入光量ａに入力
波形を制御してスライスレベルＳにより欠陥を検出する
厳しさと同じ厳しさで、欠陥を検出することができる。
とにより、上述したように、第１の基本入光量ａに入力
波形を制御してスライスレベルＳにより欠陥を検出する
厳しさと同じ厳しさで、欠陥を検出することができる。
【００３３】また、図２（ａ）で示された入力波形は、
第１の制御領域より入力レベルが低いものを例とした
が、入力レベルが第１の制御領域より高いものでも同様
にして第２の基本入光量を設定して、入力波形を制御す
ることができる。
第１の制御領域より入力レベルが低いものを例とした
が、入力レベルが第１の制御領域より高いものでも同様
にして第２の基本入光量を設定して、入力波形を制御す
ることができる。
【００３４】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明の自動外観
検査装置の感度補正方法によると、被検査対象物の表面
状態が変動しても、照度コントロールユニットによって
光源の光度を制御して予め設定された第１の基本入光量
と同じレベルの入力波形を得ることができるので、常に
安定した入力波形を得ることができる。また、上記照度
コントロールユニットによる制御領域外に入力波形が存
在する場合は、第２の基本入光量を設定して、この第２
の基本入光量に入力波形のレベルが同じになるように制
御し、さらにこの第２の基本入光量に応じたスライスレ
ベルを設定する。このように安定した入力波形あるい
は、入力波形に応じた設定値を得ることができるので、
真の欠陥を確実に検出し、信頼性の高い外観検査を行う
ことができる。
検査装置の感度補正方法によると、被検査対象物の表面
状態が変動しても、照度コントロールユニットによって
光源の光度を制御して予め設定された第１の基本入光量
と同じレベルの入力波形を得ることができるので、常に
安定した入力波形を得ることができる。また、上記照度
コントロールユニットによる制御領域外に入力波形が存
在する場合は、第２の基本入光量を設定して、この第２
の基本入光量に入力波形のレベルが同じになるように制
御し、さらにこの第２の基本入光量に応じたスライスレ
ベルを設定する。このように安定した入力波形あるい
は、入力波形に応じた設定値を得ることができるので、
真の欠陥を確実に検出し、信頼性の高い外観検査を行う
ことができる。
【図１】本発明に係る自動外観検査装置の感度補正方法
を用いた一実施例の自動外観検査装置の構成図である。
を用いた一実施例の自動外観検査装置の構成図である。
【図２】（ａ）本発明に係る一実施例の自動外観検査装
置の入力波形である。 （ｂ）上記入力波形を検査処理ユニットで処理した処理
波形である。
置の入力波形である。 （ｂ）上記入力波形を検査処理ユニットで処理した処理
波形である。
【図３】（ａ）図２で示した入力波形を本発明の補正方
法で補正した入力波形である。 （ｂ）上記入力波形を検査処理ユニットで処理した処理
波形である。
法で補正した入力波形である。 （ｂ）上記入力波形を検査処理ユニットで処理した処理
波形である。
【図４】（ａ）本発明に係る一実施例の自動外観検査装
置の標準入力波形である。 （ｂ）上記標準入力波形を検査処理ユニットで処理した
処理波形である。
置の標準入力波形である。 （ｂ）上記標準入力波形を検査処理ユニットで処理した
処理波形である。
【図５】（ａ）図４で示した標準入力波形を補正した入
力波形である。 （ｂ）上記入力波形を検査処理ユニットで処理した処理
波形である。
力波形である。 （ｂ）上記入力波形を検査処理ユニットで処理した処理
波形である。
【図６】（ａ）本発明に係る一実施例の自動外観検査装
置の入力波形である。 （ｂ）従来の補正方法により上記入力波形を補正した入
力波形である。
置の入力波形である。 （ｂ）従来の補正方法により上記入力波形を補正した入
力波形である。
１ 撮像手段 ２ 光源 ３ 被検査対象物 ４ 検査処理ユニット ５ 照度コントロールユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958
Claims (1)
- 【請求項１】 照明光を被検査対象物の表面に照射し、
その反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた
対象物からの反射光の入光量を、予め設定された第１の
基本入光量になるように照明光を制御して、被検査対象
物の表面上の外観形状を検査する外観検査において、上
記反射光の入光量が照明光の制御により第１の基本入光
量に制御できない際に、設定レベルの異なる第２の基本
入光量になるように照明光を制御し、それに伴って検査
の判断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行
うことを特徴とする自動外観検査装置の感度補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01275595A JP3214275B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 自動外観検査装置の感度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01275595A JP3214275B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 自動外観検査装置の感度補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201046A JPH08201046A (ja) | 1996-08-09 |
| JP3214275B2 true JP3214275B2 (ja) | 2001-10-02 |
Family
ID=11814230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01275595A Expired - Fee Related JP3214275B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 自動外観検査装置の感度補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3214275B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005337725A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Yamaha Motor Co Ltd | 撮像装置用照明装置、表面実装機および部品検査装置 |
| CN115069325B (zh) * | 2021-03-12 | 2023-10-31 | 平湖莱顿光学仪器制造有限公司 | 一种用于自动取放玻片盘的设备 |
-
1995
- 1995-01-30 JP JP01275595A patent/JP3214275B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08201046A (ja) | 1996-08-09 |
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