Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3333640B2 - Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3333640B2 - Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion - Google Patents

Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion

Info

Publication number
JP3333640B2
JP3333640B2 JP19201994A JP19201994A JP3333640B2 JP 3333640 B2 JP3333640 B2 JP 3333640B2 JP 19201994 A JP19201994 A JP 19201994A JP 19201994 A JP19201994 A JP 19201994A JP 3333640 B2 JP3333640 B2 JP 3333640B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
polyimide film
coupling agent
agent solution
adhesion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP19201994A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0834869A (en
Inventor
雅郎 中田
孝介 片岡
義秀 大成
広作 永野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaneka Corp
Original Assignee
Kaneka Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaneka Corp filed Critical Kaneka Corp
Priority to JP19201994A priority Critical patent/JP3333640B2/en
Publication of JPH0834869A publication Critical patent/JPH0834869A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3333640B2 publication Critical patent/JP3333640B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミドフィルムの
接着性改善方法及び接着性を改善したポリイミドフィル
ムに関し、更に詳しくは接着剤に影響を与えず、安定的
に優れた接着性改善効果が得られるポリイミドフィルム
の接着性改善方法及びかかる接着性改善方法により接着
性を改善したポリイミドフィルムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for improving the adhesiveness of a polyimide film and a polyimide film having an improved adhesiveness. More particularly, the present invention relates to a polyimide film having an improved adhesiveness without affecting the adhesive. The present invention relates to a method for improving the adhesion of a polyimide film to be obtained and a polyimide film having improved adhesion by the method for improving the adhesion.

【0002】[0002]

【従来の技術】通常、ポリイミドフィルムは、接着剤を
用いて金属箔(主に銅箔)と張り合わせたり、蒸着法、
メッキ法、又はスパッタ法によりフィルム層と金属層か
らなる積層板に加工したりして、FPC(フレキシブル
プリント配線板)のベースフィルムとして使用される。
ところが、従来のポリイミドフィルムは表面の接着性に
乏しいことが問題になっており、そのままでは製品の不
良を生じる原因となる。このため、ポリイミドフィルム
の表面の接着性を改善することを目的に、プラズマ処理
を施して使用することが一般的になっている。
2. Description of the Related Art Usually, a polyimide film is bonded to a metal foil (mainly a copper foil) using an adhesive, or is formed by a vapor deposition method.
It is used as a base film of an FPC (Flexible Printed Wiring Board) by being processed into a laminated board composed of a film layer and a metal layer by a plating method or a sputtering method.
However, the problem is that the conventional polyimide film has poor surface adhesiveness, and as it is, it causes a product failure. Therefore, in order to improve the adhesiveness of the surface of the polyimide film, it is common to use it after performing a plasma treatment.

【0003】すなわち、ポリイミドフィルムの表面の接
着性が乏しいのは、フィルム表面の溌水性が高いためで
あると考えられることから、フィルム表面にプラズマ処
理を施すことにより、表面に親水性を付与し接着性を改
善するのである。プラズマ処理によって表面の親水性が
上がる理由は、フィルム表面に水酸基、カルボン酸基、
カルボニル基等の親水性を示す官能基が新たに生じるた
めとされている。
That is, the poor adhesion of the polyimide film surface is considered to be due to the high water repellency of the film surface. Therefore, the film surface is subjected to plasma treatment to impart hydrophilicity to the surface. It improves the adhesion. The reason that the plasma treatment increases the hydrophilicity of the surface is that hydroxyl groups, carboxylic acid groups,
This is because a hydrophilic functional group such as a carbonyl group is newly generated.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ポリイミド
フィルムは溶液キャスト法で縮合重合により得られる
が、その表面は安定剤、添加剤等を混入した場合には、
これらが優先的にブリードし、表面脆弱層(WBL;We
ak Boundary Layer )を形成することや、この他にもW
BL形成物としてオリゴマー等の低分子重合体の表面へ
の移行が加速される場合があることが学術的に知られて
いる。また、製膜工程中の設備から発生したり、大気中
に存在する油分等の汚染物質がフィルムに付着し、汚染
層を形成する場合も考えられる。
By the way, a polyimide film is obtained by condensation polymerization by a solution casting method. However, when a surface thereof is mixed with a stabilizer, an additive, etc.,
These bleed preferentially, and the surface fragile layer (WBL; We
ak Boundary Layer), and also W
It is scientifically known that the transfer to the surface of a low-molecular polymer such as an oligomer may be accelerated as a BL-formed product. It is also conceivable that a contaminant such as oil generated from equipment during the film forming process or present in the air adheres to the film to form a contaminated layer.

【0005】これらの層の形成がポリイミドフィルムの
表面特性を決定し、その接着性を阻害する要因となるケ
ースが考えられる。また、このようにポリイミドフィル
ムの表面にWBLや汚染層が形成されていると、かかる
層の上からプラズマ処理を施したところで、プラズマ処
理により親水性の付与された表面は脆く剥離しやすいた
め、本質的に接着力を向上させることはできない。
It is considered that the formation of these layers determines the surface characteristics of the polyimide film and may be a factor that hinders the adhesion. In addition, if a WBL or a contaminant layer is formed on the surface of the polyimide film as described above, when a plasma treatment is performed on such a layer, the surface provided with hydrophilicity by the plasma treatment is brittle and easily peels off. Essentially, the adhesion cannot be improved.

【0006】特に、ポリイミドフィルムの表面は製膜時
の条件によって表面特性が著しく変化するものであり、
例えば、同時に製造した同じ特性のフィルムであって
も、製膜時の条件によってWBLや汚染層の形成が著し
くなる場合とそうでない場合がある。すなわち、ポリイ
ミドフィルムの表面性状は不均一となり、ポリイミドフ
ィルムの表面にプラズマ処理を施しても、充分な処理効
果が得られない場合があり、安定した表面改質を達成す
ることは難しいという問題がある。
In particular, the surface characteristics of a polyimide film vary significantly depending on the conditions at the time of film formation.
For example, even if films having the same characteristics are manufactured at the same time, the formation of WBL or a contaminated layer may or may not be significant depending on the conditions at the time of film formation. In other words, the surface properties of the polyimide film become non-uniform, and even if plasma treatment is performed on the surface of the polyimide film, a sufficient treatment effect may not be obtained, and it is difficult to achieve stable surface modification. is there.

【0007】そこで、本発明者らは、上記問題点を解決
し、安定して優れた接着性改善効果を得ることのできる
ポリイミドフィルムの接着性改善方法及び接着性を改善
したポリイミドフィルムを提供することを目的に鋭意研
究を重ねた結果、本発明に至ったのである。
Therefore, the present inventors have solved the above-mentioned problems and provided a method for improving the adhesion of a polyimide film and a polyimide film with improved adhesion which can stably obtain an excellent effect of improving the adhesion. As a result of intensive research for the purpose, the present invention has been achieved.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に係るポリイミド
フィルムの接着性改善方法の要旨とするところは、ポリ
イミドフィルムの表面にカップリング剤溶液を付着させ
た後、該溶液を乾燥させ、該乾燥させられたフィルムに
プラズマ処理を行うことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the method for improving the adhesion of a polyimide film according to the present invention is to deposit a coupling agent solution on the surface of a polyimide film, and then drying the solution. It is to perform a plasma treatment on the film thus made.

【0009】また、かかるポリイミドフィルムの接着性
改善方法において、前記カップリング剤溶液の濃度が、
0.005〜30wt%、更に好ましくは0.01〜5wt
%であることにある。
In the method for improving the adhesion of a polyimide film, the concentration of the coupling agent solution may be as follows:
0.005 to 30 wt%, more preferably 0.01 to 5 wt%
%.

【0010】次に、本発明に係る接着性を改善したポリ
イミドフィルムの要旨とするところは、上記のいずれか
に記載するポリイミドフィルムの接着性改善方法を用い
表面処理することにより、該フィルム表面に親水基が
導入されて得られることにある。
[0010] Next, the gist of the polyimide film having improved adhesion according to the present invention is to use the method for improving adhesion of polyimide film described in any of the above.
By performing the surface treatment, a hydrophilic group is formed on the film surface.
It is something that can be obtained by being introduced .

【0011】[0011]

【作用】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法は、ポリイミドフィルムの表面にカップリング剤溶
液を付着させた後、該溶液を乾燥させてからプラズマ処
理を行うことを特徴とし、この方法による接着強度向上
の機構は明らかではないが、カップリング剤を付着させ
ることにより表面性状が均一化され、該均一化されたフ
ィルム表面にプラズマ処理を行うことにより親水基の導
入が安定し、接着強度が向上するものと考えられる。
The method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to the present invention is characterized in that after a coupling agent solution is adhered to the surface of a polyimide film, the solution is dried and then subjected to plasma treatment. Although the mechanism for improving the adhesive strength is not clear, the surface properties are made uniform by attaching the coupling agent, and the introduction of the hydrophilic group is stabilized by performing the plasma treatment on the uniformed film surface, and the adhesive strength is improved. Is considered to be improved.

【0012】詳しくは、カップリング剤溶液を付着させ
る方法として、例えばフィルム表面にカップリング剤溶
液を塗布する、フィルム表面をカップリング剤溶液でラ
ビングする、フィルム表面にカップリング剤溶液を吹き
付ける、フィルムをカップリング剤溶液に浸漬させるな
どの方法を挙げることができる。また、本発明でいうカ
ップリング剤としては、例えば、シラン系、チタネート
系、アルミニウム系、又はジルコアルミニウム系のカッ
プリング剤が挙げられる。これらカップリング剤は、分
子中にフィルムと反応性を持つ官能基と接着剤と反応性
を持つ官能基を合わせ持っており、フィルムと接着剤と
の親和性を高めるための仲介を努めるものである。従っ
て、フィルム表面にカップリング剤溶液を付着させるこ
とによりカップリング剤はフィルムの表面成分と反応
し、接着剤と反応性を持つ官能基を有するカップリング
剤の皮膜がフィルム表面に均一に形成され、表面性状を
均一化させることができる。
More specifically, as a method of adhering the coupling agent solution, for example, applying the coupling agent solution to the film surface, rubbing the film surface with the coupling agent solution, spraying the coupling agent solution on the film surface, Can be immersed in a coupling agent solution. Examples of the coupling agent in the present invention include silane-based, titanate-based, aluminum-based, and zirconium-based coupling agents. These coupling agents have both a functional group reactive with the film and a functional group reactive with the adhesive in the molecule, and strive to mediate to increase the affinity between the film and the adhesive. is there. Therefore, by attaching the coupling agent solution to the film surface, the coupling agent reacts with the surface components of the film, and a film of the coupling agent having a functional group reactive with the adhesive is uniformly formed on the film surface. The surface properties can be made uniform.

【0013】その後、該溶液を乾燥させてから、このよ
うに表面性状が均一化されたポリイミドフィルムの表面
にプラズマ処理を行うことにより、フィルム表面に安定
して親水基を導入することができ、優れた接着性改善効
果を得ることができる。
Thereafter, after the solution is dried, the surface of the polyimide film having the uniform surface properties is subjected to plasma treatment, whereby a hydrophilic group can be stably introduced into the film surface. An excellent adhesiveness improving effect can be obtained.

【0014】なお、前記カップリング剤溶液の濃度を、
0.005〜30wt%、更に好ましくは0.01〜5wt
%とすることにより、フィルム表面にむらなく均一にカ
ップリング剤を付着させることができ、カップリング剤
の効果も充分に発現させることができる。
The concentration of the coupling agent solution is
0.005 to 30 wt%, more preferably 0.01 to 5 wt%
%, The coupling agent can be evenly and uniformly attached to the film surface, and the effect of the coupling agent can be sufficiently exhibited.

【0015】[0015]

【実施例】以下に、本発明に係るポリイミドフィルムの
接着性改善方法を、図面に基づいて詳細に説明する。こ
こでいうポリイミドフィルムは、厚み数μmの薄膜か
ら、厚み数百μmのシート状物も含めて広義のフィルム
を意味し、ポリイミドフィルムの分子構造は問わない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The method for improving the adhesion of a polyimide film according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The polyimide film mentioned here means a film in a broad sense including a thin film having a thickness of several μm to a sheet having a thickness of several hundred μm, and the molecular structure of the polyimide film does not matter.

【0016】かかるポリイミドフィルムの接着性改善方
法は、ポリイミドフィルム表面にカップリング剤溶液を
付着させた後、該溶液を乾燥させてからプラズマ処理を
行うことを特徴とし、例えば、図1に示す表面処理装置
10を用いて実施することができる。この表面処理装置
10は、カップリング剤溶液を塗布するための装置1
2、乾燥炉14、及びプラズマ処理装置16を備えて構
成されている。そして、繰り出し装置18から送り出さ
れたポリイミドフィルム20は、カップリング剤溶液を
塗布するための装置12においてカップリング剤溶液が
塗布され、その後乾燥炉14においてフィルム表面に付
着した該溶液を乾燥させてから、引き続いてプラズマ処
理装置16内に導入されてプラズマ処理が行われ、表面
処理の施されたポリイミドフィルム20が巻取り装置2
2に巻き取られるように構成されている。
The method for improving the adhesiveness of a polyimide film is characterized in that after a coupling agent solution is applied to the surface of the polyimide film, the solution is dried and then subjected to a plasma treatment. The processing can be performed using the processing apparatus 10. This surface treatment apparatus 10 is an apparatus 1 for applying a coupling agent solution.
2, a drying furnace 14 and a plasma processing apparatus 16. Then, the polyimide film 20 sent out from the feeding device 18 is coated with the coupling agent solution in the device 12 for applying the coupling agent solution, and then the solution adhered to the film surface is dried in the drying furnace 14. Subsequently, the polyimide film 20 is introduced into the plasma processing apparatus 16 and subjected to plasma processing, and the surface-treated polyimide film 20 is taken up by the winding apparatus 2.
2.

【0017】詳しくは、カップリング剤溶液を塗布する
ための装置12は、カップリング剤溶液を塗布するバー
コーター24、カップリング剤溶液を入れておくカップ
リング剤槽26、押さえロール28を備え、バーコータ
ー24はカップリング剤槽26内の溶液にその一部が浸
漬されている。また、乾燥炉14及びプラズマ処理装置
16は従来公知の装置が用いられ、プラズマ処理装置1
6は、装置16内にガスを導入するためのガス導入部3
0、装置16内に電流を流して放電を開始させるための
電源32を備えており、装置16内のガス雰囲気を一定
組成・一定圧力に保ってプラズマ処理を行うことができ
るように構成されている。なお、符号34は搬送ロール
であり、該装置10においてポリイミドフィルム20を
良好に走行させるものである。
More specifically, the apparatus 12 for applying the coupling agent solution includes a bar coater 24 for applying the coupling agent solution, a coupling agent tank 26 for storing the coupling agent solution, and a holding roll 28. Part of the bar coater 24 is immersed in the solution in the coupling agent tank 26. As the drying furnace 14 and the plasma processing apparatus 16, conventionally known apparatuses are used, and the plasma processing apparatus 1 is used.
6 is a gas introduction unit 3 for introducing gas into the device 16.
0, a power supply 32 for starting a discharge by flowing a current into the device 16 is provided so that plasma processing can be performed while maintaining the gas atmosphere in the device 16 at a constant composition and a constant pressure. I have. In addition, reference numeral 34 denotes a transport roll, which makes the polyimide film 20 run well in the apparatus 10.

【0018】さらに詳しくは、カップリング剤溶液を塗
布するための装置12において、ポリイミドフィルム2
0は押さえロール28によりバーコーター24に接触す
るように調整されており、従って、ポリイミドフィルム
20を繰り出し装置18から巻取り装置22へ一定張力
で走行させ、バーコーター24を回転させると、フィル
ム表面にカップリング剤溶液を塗布することができる。
このとき、バーコーター24を回転させる方向はフィル
ムの進行方向であっても、フィルムの進行方向とは逆向
きに回転させてもよい。また、バーコーター24の基材
は特に制限されず、不織布等の基材で作製したロール
や、ゴムロール、網目ロールなどを用いることができる
が、フィルム表面に実用上有害な傷を付けないものが好
ましい。
More specifically, in the apparatus 12 for applying a coupling agent solution, the polyimide film 2
0 is adjusted so as to come into contact with the bar coater 24 by the holding roll 28. Therefore, when the polyimide film 20 is run from the feeding device 18 to the winding device 22 with a constant tension and the bar coater 24 is rotated, the film surface Can be coated with a coupling agent solution.
At this time, the direction in which the bar coater 24 rotates may be the traveling direction of the film, or may be rotated in the direction opposite to the traveling direction of the film. The base material of the bar coater 24 is not particularly limited, and a roll made of a base material such as a nonwoven fabric, a rubber roll, a mesh roll, or the like can be used. preferable.

【0019】なお、かかる表面処理装置10において
は、カップリング剤溶液を付着させる手段としてバーコ
ーター24により塗布する方法を用いているが、その
他、例えば、図2に示す表面処理装置36のように、ポ
リイミドフィルム20を2本のロール38、40で挟む
ようにし、ロール38に沿わせてポリイミドフィルム2
0を走行させ、ロール40を回転させてカップリング剤
溶液を塗布させる方法を用いてもよい。また、塗布方式
にはこのようなロールを用いるロールコータ方式の他に
もドクタナイフを用いるスプレッダ方式をはじめ、マイ
ヤーバーコティンググラビアロールコーティング、リバ
ースロールコーティング、ブラッシコータ方式、エアブ
レート方式、スプレーコータ方式、カーテンコータ方
式、浸漬コータ方式などその他種々の方式を挙げること
ができ、いかなる塗布方式により塗布してもよい。
In the surface treatment apparatus 10, a method of applying the coupling agent solution by using a bar coater 24 is used, but other methods such as a surface treatment apparatus 36 shown in FIG. , The polyimide film 20 is sandwiched between two rolls 38 and 40, and the polyimide film 2 is
Alternatively, a method in which the coupling agent solution is applied by rotating the roller 40 and rotating the roll 40 may be used. In addition, in addition to the roll coater method using such rolls, the spreader method using a doctor knife, Meyer bar coating gravure roll coating, reverse roll coating, brush coater method, air plate method, spray coater method, curtain Various other methods such as a coater method and an immersion coater method can be used, and the coating may be performed by any coating method.

【0020】また、本発明でいうカップリング剤として
は、例えば、シラン系、チタネート系、アルミニウム
系、又はジルコアルミニウム系のカップリング剤が挙げ
られ、これらカップリング剤は単独で用いても、また数
種を混合して用いても良く、経験的に設定することがで
きるが、特にはシラン系のカップリング剤を用いること
が好ましい。中でも、アミノシラン系のカップリング剤
が更に好ましい。これらは、分子中にポリイミドフィル
ムの表面成分と結合性を持つ反応性基(メトキシ基、エ
トキシ基など)と接着剤成分と結合性を持つ反応性基
(アクリル基、アミノ基、エポキシ基など)を合わせも
っており、フィルムと接着剤の結合を仲介(カップリン
グ)し、両者間の親和性を高めることができる。
Examples of the coupling agent in the present invention include silane-based, titanate-based, aluminum-based, and zirconium-based coupling agents. These coupling agents can be used alone or in combination. A mixture of several types may be used and can be set empirically, but it is particularly preferable to use a silane coupling agent. Among them, aminosilane-based coupling agents are more preferable. These are reactive groups (methoxy group, ethoxy group, etc.) that have a bond with the surface component of the polyimide film and reactive groups (acrylic group, amino group, epoxy group, etc.) that have a bond with the adhesive component in the molecule. And mediate (coupling) the bonding between the film and the adhesive, thereby increasing the affinity between the two.

【0021】かかるカップリング剤を具体的に列挙する
と、シラン系カップリング剤においては、アクリルシラ
ン系では、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシ
ラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラ
ン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラ
ン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等を挙
げることができる。
When such coupling agents are specifically enumerated, among silane coupling agents, acryl-silane-based γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyl Methyldimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ
-Acryloxypropylmethyldimethoxysilane and the like.

【0022】また、アミノシラン系では、γ−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N
−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、
N−(フェニルメチル)−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン、N−メチル−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン、N,N,N−トリメチル−γ−アミノプロ
ピルトリメトキシシラン、N,N,N−トリブチル−γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノ
エチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−
β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキ
シシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、N−ω(アミノヘキシル)γ−ア
ミノプロピルトリメトキシシラン、N{N’−β(アミ
ノエチル)}−β(アミノエチル)γ−アミノプロピル
トリメトキシシラン等を挙げることができる。
In the aminosilane type, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, N
-Phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane,
N- (phenylmethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-methyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N, N, N-trimethyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N, N, N-tributyl −γ
-Aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-
β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, N-ω (aminohexyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N {N′-β ( Aminoethyl)}-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane.

【0023】エポキシシラン系では、β−(3,4−エ
ポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキ
シプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシ
プロピルメチルジメトキシシラン等を挙げることができ
る。
In the epoxysilane system, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ
-Glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, and the like.

【0024】又、チタネート系カップリング剤において
は、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イ
ソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネー
ト、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェー
ト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホ
スファイト)チタネート、テトライソプロピルビス(ジ
オクチルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2-ジア
リルオキシメチル-1- ブチル)ビス(ジ- トリデシル)
ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチル パイロホ
スフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオ
クチル パイロホスフェート)エチレンチタネート、イ
ソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピル
ジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピ
ルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピ
ルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプ
ロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルト
リ(N-アミノエチル- アミノエチル)チタネート、ジク
ミフェニルオキシアセテートチタネート、ジイソステア
ロイルエチレンチタネート等を挙げることができる。
As the titanate-based coupling agent, isopropyl triisostearoyl titanate, isopropyl tridodecylbenzenesulfonyl titanate, isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, tetraoctyl bis (ditridecyl phosphite) titanate, tetraisopropyl bis ( Dioctyl phosphite) titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (di-tridecyl)
Phosphite titanate, bis (dioctyl pyrophosphate) oxyacetate titanate, bis (dioctyl pyrophosphate) ethylene titanate, isopropyltrioctanoyl titanate, isopropyl dimethacrylisostearoyl titanate, isopropyl isostearyl diacryl titanate, isopropyl tri (dioctyl phosphate) titanate Isopropyl tricumylphenyl titanate, isopropyl tri (N-aminoethyl-aminoethyl) titanate, dicumiphenyloxyacetate titanate, diisostearoylethylene titanate, and the like.

【0025】その他、アルミニウム系カップリング剤に
おいては、アルキルアセトアセテート- アルミニウム-
ジイソプロピレートを、ジルコアルミニウム系カップリ
ング剤においては、メタクリラトジルコアルミネートを
挙げることができる。
Other aluminum-based coupling agents include alkyl acetoacetate-aluminum-
Diisopropylate is a methacrylate zircoaluminate as a zirconium-based coupling agent.

【0026】なお、上記カップリング剤は溶媒に溶解さ
せて溶液として用いるが、該溶媒としてはメタノール、
エタノール、プロパノール、イソプロパノール又はこれ
らの混合溶媒であるソルミクッス等のアルコール系溶
媒、アセトン、MEK、2−ペンタノン、3−ペンタノ
ン等のケトン系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭
化水素系溶媒等が挙げられる。これらは単独で用いて
も、数種を混合させて用いてもよく、また水と混合して
用いてもよい。特にはメタノールが好ましく用いられ
る。
The above-mentioned coupling agent is used as a solution by dissolving it in a solvent.
Examples thereof include alcohol solvents such as ethanol, propanol, isopropanol or a mixed solvent thereof such as Solmix, ketone solvents such as acetone, MEK, 2-pentanone and 3-pentanone, and aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene. Can be These may be used alone, may be used by mixing several kinds, or may be used by mixing with water. Particularly, methanol is preferably used.

【0027】また、カップリング剤溶液の濃度は、0.
005wt%〜30wt%であることが好ましく、更には
0.01wt%〜5wt%であることが好ましい。カップリ
ング剤の濃度が高過ぎるとポリイミドフィルム表面にむ
らが観られ外観上好ましくなくなり、逆にカップリング
剤の濃度が低過ぎると充分な効果が発現されなくなるか
らである。
The concentration of the coupling agent solution is 0.1.
It is preferably from 005 wt% to 30 wt%, more preferably from 0.01 wt% to 5 wt%. If the concentration of the coupling agent is too high, unevenness is observed on the surface of the polyimide film, which is not preferable in appearance. Conversely, if the concentration of the coupling agent is too low, a sufficient effect is not exhibited.

【0028】このようにしてカップリング剤溶液をフィ
ルム表面に均一に付着させることにより、フィルムの表
面成分とカップリング剤とが反応し、フィルム表面にカ
ップリング剤の皮膜が形成され、フィルムの表面性状を
均一化させることができるのである。
In this way, the coupling agent solution is uniformly attached to the surface of the film, whereby the surface components of the film react with the coupling agent to form a film of the coupling agent on the surface of the film. The properties can be made uniform.

【0029】次いで、上記処理工程によりカップリング
剤溶液が塗布されて表面性状が均一化されたポリイミド
フィルム20は乾燥炉14に導かれ、乾燥炉14におい
てフィルム表面に付着した溶液を乾燥させる工程が行わ
れる。乾燥条件としては特に制限はなく、経験的に適宜
設定して行われる。そして乾燥工程を経たポリイミドフ
ィルム20は、プラズマ処理装置16に導入され、該プ
ラズマ処理装置16内でプラズマ処理が施される。プラ
ズマ処理装置16はフィルムの導入口及び導出口がシー
ルされていて、ガス導入部30から適当な組成のガスが
導入され、所定のガス圧力に保持される。そして電源3
2のスイッチを入れると、放電が開始し、装置16内に
プラズマが発生するように構成されている。このときグ
ロー放電が得られるよう、ガス組成、ガス圧力を適宜選
択する。
Next, the polyimide film 20 to which the coupling agent solution has been applied in the above-described processing step and the surface properties of which have been made uniform is led to the drying furnace 14, and the solution attached to the film surface is dried in the drying furnace 14. Done. The drying conditions are not particularly limited, and are appropriately set empirically. Then, the polyimide film 20 that has undergone the drying step is introduced into the plasma processing apparatus 16 and subjected to plasma processing in the plasma processing apparatus 16. In the plasma processing apparatus 16, the inlet and outlet of the film are sealed, and a gas having an appropriate composition is introduced from the gas inlet 30 and is maintained at a predetermined gas pressure. And power supply 3
When the switch 2 is turned on, discharge is started and plasma is generated in the device 16. At this time, a gas composition and a gas pressure are appropriately selected so that a glow discharge is obtained.

【0030】ここで、プラズマ処理を行う雰囲気のガス
圧力は特に限定されないが、100〜1000Torrの範
囲の圧力下で行うことが好ましい。100Torr以下では
真空装置などが必要となるし、1000Torr以上では放
電がしにくくなるためである。特には、大気圧下で行う
ことによりプラズマ処理の作業性が良くなり、本発明に
係る接着性改善方法により表面処理して得られる、優れ
た接着性を有するポリイミドフィルムを生産性良く得ら
れるので好ましい。また、プラズマ処理のガス組成は特
に限定されないが、100〜1000Torr中での放電も
グロー放電(火花放電ではない)するよう、希ガス元素
の単独ガス又は混合ガス雰囲気下で行うのが好ましい。
なお、装置内の空気を該希ガス元素で置換した状態が特
に好ましいが、グロー放電を阻害しない程度の空気が混
入していても構わない。
Here, the gas pressure of the atmosphere in which the plasma processing is performed is not particularly limited, but it is preferable to perform the plasma processing under a pressure in the range of 100 to 1000 Torr. At a pressure of 100 Torr or less, a vacuum device or the like is required, and at a pressure of 1000 Torr or more, discharge becomes difficult. In particular, the workability of the plasma treatment is improved by performing the treatment under the atmospheric pressure, and the polyimide film having excellent adhesion obtained by performing the surface treatment by the adhesion improvement method according to the present invention can be obtained with high productivity. preferable. Although the gas composition of the plasma treatment is not particularly limited, it is preferable to perform the plasma treatment in a single gas or mixed gas atmosphere of a rare gas element so that the discharge at 100 to 1000 Torr also performs a glow discharge (not a spark discharge).
It is particularly preferable that the air in the apparatus is replaced with the rare gas element, but air may be mixed in such a degree that glow discharge is not hindered.

【0031】かかる処理工程により、フィルム表面を化
学修飾して親水性官能基(水酸基、カルボン酸基、カル
ボニル基等)を導入することができ、フィルム表面の親
水性が向上される。
By such a treatment step, a hydrophilic functional group (hydroxyl group, carboxylic acid group, carbonyl group, etc.) can be introduced by chemically modifying the film surface, and the hydrophilicity of the film surface is improved.

【0032】このようにして、カップリング剤溶液を付
着させた後、連続してプラズマ処理を行うことにより、
フィルム表面にカップリング剤の皮膜が形成されて表面
性状が均一化されたフィルム表面にプラズマ処理を行う
ことができ、フィルム表面に親水基(水酸基、カルボン
酸基、カルボニル基等)を安定して導入することができ
る。すなわち、フィルム表面にはカップリング剤の分子
中の接着剤と親和性を示すアミノ基、アクリル基、エポ
キシ基などと共に、親水基(水酸基、カルボン酸基、カ
ルボニル基等)も安定して導入され、更に優れた接着性
改善効果を安定して得ることができるのである。
After the coupling agent solution is applied in this manner, the plasma treatment is performed continuously,
A film of a coupling agent is formed on the surface of the film, and plasma treatment can be performed on the surface of the film having a uniform surface property, and a hydrophilic group (hydroxyl group, carboxylic acid group, carbonyl group, etc.) can be stably formed on the film surface. Can be introduced. That is, a hydrophilic group (hydroxyl group, carboxylic acid group, carbonyl group, etc.) is stably introduced into the film surface along with an amino group, an acrylic group, an epoxy group, etc., which have an affinity for the adhesive in the molecule of the coupling agent. In addition, it is possible to stably obtain a further excellent adhesiveness improving effect.

【0033】以上、本発明に係るポリイミドフィルムの
接着性改善方法の実施例を説明したが、上述のようにし
てカップリング剤溶液を付着させる前に、有機溶剤存在
下でフィルム表面に物理的機械力を加えたり、フィルム
表面をアルカリ処理することにより、予めWBLや汚染
層を除去する工程を設けてもよい。予めWBLや汚染層
を除去しておくことにより、フィルムの表面性状を更に
均一化させることができる。
The embodiment of the method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to the present invention has been described above. Before attaching the coupling agent solution as described above, a physical mechanical A step of removing WBL and a contaminated layer in advance by applying force or treating the film surface with alkali may be provided. By previously removing the WBL and the contaminated layer, the surface properties of the film can be made more uniform.

【0034】また、カップリング剤溶液を付着させる手
段として、上述したように塗布する方法、浸漬させる方
法、吹き付ける方法などを用いてもよく、またカップリ
ング剤溶液でラビングする方法を用いてもよい。なお、
カップリング剤溶液でラビングするとは、カップリング
剤溶液存在下でフィルム表面に物理的機械力を加えるこ
とをいい、具体的にはカップリング剤溶液を含浸させた
布等でフィルム表面を擦る(又は拭く)ことや、カップ
リング剤溶液中でフィルム表面を擦ること、またカップ
リング剤溶液を付着させたフィルム表面を擦ることなど
が挙げられる。
As a means for attaching the coupling agent solution, a coating method, a dipping method, a spraying method, or the like may be used as described above, or a rubbing method using a coupling agent solution may be used. . In addition,
Rubbing with a coupling agent solution refers to applying physical mechanical force to the film surface in the presence of the coupling agent solution. Specifically, rubbing the film surface with a cloth or the like impregnated with the coupling agent solution (or Wiping), rubbing the film surface in a coupling agent solution, and rubbing the film surface to which the coupling agent solution is attached.

【0035】例えば、図3に示す表面処理装置42は、
搬送ロール34によってカップリング剤槽26内にフィ
ルム20を導入して浸漬させ、フィルム20を不織布等
の基材で作製されたラビング用ロール44でニップし、
ラビング用ロール44を回転させてフィルム表面を擦る
ように構成されており、フィルム表面をカップリング剤
溶液でラビングすることができる。なお、図3において
はスキーズロール46を設けて塗布面に均一性を出すこ
とができるように構成されており、このようにフィルム
をカップリング剤溶液に浸漬して処理する場合は、スキ
ーズロール46を設けた方が好ましい。このようにフィ
ルム表面をカップリング剤溶液でラビングしてカップリ
ング剤溶液を付着させることにより、カップリング剤を
フィルム表面に導入すると同時にフィルム表面のWBL
や汚染槽を除去することができ、表面性状をより均一化
させることができる。
For example, the surface treatment device 42 shown in FIG.
The film 20 is introduced and dipped into the coupling agent tank 26 by the transport roll 34, and the film 20 is nipped by a rubbing roll 44 made of a base material such as a nonwoven fabric.
The rubbing roll 44 is rotated to rub the film surface, so that the film surface can be rubbed with a coupling agent solution. In FIG. 3, a squeeze roll 46 is provided so that uniformity can be obtained on the coated surface. In the case where the film is immersed in a coupling agent solution for processing, the squeeze roll 46 is used. It is preferable to provide the roll 46. By rubbing the surface of the film with the coupling agent solution and attaching the coupling agent solution in this manner, the coupling agent is introduced onto the film surface, and at the same time, the WBL on the film surface is
And the contamination tank can be removed, and the surface properties can be made more uniform.

【0036】また、上述のようにカップリング剤溶液を
付着させる処理とプラズマ処理を連続的に行わずに、別
工程で実施するようにしてもよい。その他、本発明はこ
れらの実施例のみに限定されるものではなく、本発明は
その趣旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき、
種々なる改良、変更、修正を加えた態様で実施しうるも
のである。
In addition, as described above, the treatment for attaching the coupling agent solution and the plasma treatment may not be continuously performed, but may be performed in separate steps. In addition, the present invention is not limited to only these examples, and the present invention is based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit thereof.
The present invention can be implemented with various improvements, changes, and modifications.

【0037】なお、かかるポリイミドフィルムの接着性
改善方法により表面処理されたポリイミドフィルムは、
フィルム表面にカップリング剤の皮膜が形成されて表面
性状が均一化され、カップリング剤の分子中の接着剤と
親和性を示すアミノ基、アクリル基、エポキシ基などを
有するとともに、更にプラズマ処理によって安定的に親
水化されたフィルム表面を有しており、従来のプラズマ
処理のみによって表面処理されたポリイミドフィルムに
比べて優れた接着性を示し、接着剤を用いてフィルムと
金属箔(銅箔等)と強固に張り合わせることができる。
また、蒸着法、メッキ法、又はスパッタ法によってもフ
ィルム表面に均一に金属層を形成することができる。す
なわち、本発明に係る接着性を改善したポリイミドフィ
ルムは、FPC(フレキシブルプリント配線板)のベー
スフィルムとして好適に使用することができるものであ
る。
The polyimide film surface-treated by the method for improving the adhesion of the polyimide film is as follows:
A film of the coupling agent is formed on the film surface, the surface properties are made uniform, and it has an amino group, an acrylic group, an epoxy group, etc., which have an affinity for the adhesive in the molecule of the coupling agent, and furthermore, by a plasma treatment It has a stable hydrophilized film surface and exhibits superior adhesion compared to conventional polyimide films surface-treated only by plasma treatment. ).
Further, a metal layer can be uniformly formed on the film surface by a vapor deposition method, a plating method, or a sputtering method. That is, the polyimide film having improved adhesiveness according to the present invention can be suitably used as a base film of an FPC (flexible printed wiring board).

【0038】以下に実施例により本発明をより具体的に
説明するが、本発明はこれら実施例によって限定される
ものではない。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0039】実施例 1 図1に示す装置を用い、4,4’−ジアミノジフェニル
エーテルに代表される芳香族ジアミンとピロメリット酸
二無水物に代表される芳香族テトラカルボン酸二無水物
とから公知の方法で得られた25μm厚のポリイミドフ
ィルムを用いて、カップリング剤溶液を塗布した後、連
続的にプラズマ処理を行い、ポリイミドフィルムの表面
処理を行った。処理条件はラインスピードを2m/min
とし、カップリング剤溶液としてγ−アミノプロピルト
リエトキシシラン(シランカップリング剤KBE90
3;信越化学工業(株)製)の0.1wt%メタノール溶
液をフィルムの進行方向と逆方向に250rpm で回転す
るバーコーターで塗布し、80℃で1分間乾燥させた。
そしてプラズマ処理条件を、装置内のガス組成がAr/
He =6/4となるように置換し、圧力を760Torrと
し、電力密度を1500w・min /m2 としてフィルム
の表面処理を行った。
Example 1 Using an apparatus shown in FIG. 1, an aromatic diamine represented by 4,4'-diaminodiphenyl ether and an aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by pyromellitic dianhydride were known. After a coupling agent solution was applied using the polyimide film having a thickness of 25 μm obtained by the method described above, plasma treatment was continuously performed to perform surface treatment of the polyimide film. Processing speed is 2m / min line speed
And γ-aminopropyltriethoxysilane (silane coupling agent KBE90) as a coupling agent solution.
3: A 0.1 wt% methanol solution of Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was applied by a bar coater rotating at 250 rpm in a direction opposite to the direction of film advance, and dried at 80 ° C. for 1 minute.
Then, the plasma processing conditions were changed such that the gas composition in the apparatus was Ar /
Substitution was performed so that He = 6/4, the pressure was set to 760 Torr, and the power density was set to 1500 w · min / m 2 , and the film was subjected to surface treatment.

【0040】このように処理したポリイミドフィルムに
ついて、以下の方法で接着強度の評価を行った。アクリ
ル系接着剤(デュポン(株)製 "パイララックス”)を
用いて上記処理フィルムと銅箔(三井金属鉱業(株)製
電解銅箔 "3EC”35μm厚)とをラミネートし、1
85℃×1時間で接着剤の硬化反応を行い、FCCL
(フィルム・銅箔積層板)を作製した。得られたFCC
Lの銅パターン幅が3mmとなるようサンプルを切り出
し、引張試験器(島津製作所(株)製 "S−100−
C”)によりピールテストスピード50mm/min で90
°剥離の引張試験を行った。n=5の平均値による測定
結果を表1に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、す
べてフィルム/接着剤界面で発生した。
The polyimide film thus treated was evaluated for adhesive strength by the following method. The treated film and copper foil (electrolytic copper foil “3EC” manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. “3EC” 35 μm thick) were laminated using an acrylic adhesive (“Pilalux” manufactured by DuPont).
A curing reaction of the adhesive is performed at 85 ° C for 1 hour, and FCCL
(Film / copper foil laminate). Obtained FCC
A sample was cut out so that the copper pattern width of L became 3 mm, and a tensile tester (S-100 manufactured by Shimadzu Corporation)
C "), 90 at a peel test speed of 50 mm / min
° Peeling tensile test was performed. Table 1 shows the measurement results based on the average value of n = 5. In addition, all the fracture surfaces after peeling occurred at the film / adhesive interface.

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】実施例 2 カップリング剤溶液として、チタネート系のイソプロピ
ルトリイソステアロイルチタネートの0.1wt%メタノ
ール溶液を用いた以外は、実施例1と同様の処理を行
い、その接着強度を評価した。n=5の平均値による測
定結果を表1に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、
すべてフィルム/接着剤界面で発生した。
Example 2 The same treatment as in Example 1 was carried out except that a 0.1 wt% methanol solution of titanate-based isopropyl triisostearoyl titanate was used as a coupling agent solution, and the adhesive strength was evaluated. Table 1 shows the measurement results based on the average value of n = 5. In addition, the fracture surface after peeling is
All occurred at the film / adhesive interface.

【0043】比較例 1 比較のために、実施例1で使用した25μm厚のポリイ
ミドフィルムについて、表面処理を施さずに用い、実施
例1と同様にして接着強度を評価した。n=5の平均値
による測定結果を表1に示す。なお、引き剥がし後の破
壊面は、すべてフィルム/接着剤界面で発生した。
Comparative Example 1 For comparison, the adhesion strength of the polyimide film having a thickness of 25 μm used in Example 1 was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film was not subjected to a surface treatment. Table 1 shows the measurement results based on the average value of n = 5. In addition, all the fracture surfaces after peeling occurred at the film / adhesive interface.

【0044】比較例 2 比較のために、実施例1で使用した25μm厚のポリイ
ミドフィルムについて、プラズマ処理のみを施して用
い、実施例1と同様にして接着強度を評価した。プラズ
マ処理は実施例1と同様の条件(ガス組成;Ar /He
=6/4、圧力;760Torr、電力密度;1500w・
min /m2 )で行った。n=5の平均値による測定結果
を表1に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、すべて
フィルム/接着剤界面で発生した。
Comparative Example 2 For comparison, the adhesive strength was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film having a thickness of 25 μm used in Example 1 was subjected to only the plasma treatment and used. The plasma treatment was performed under the same conditions as in Example 1 (gas composition; Ar / He).
= 6/4, pressure; 760 Torr, power density; 1500 w ·
min / m 2 ). Table 1 shows the measurement results based on the average value of n = 5. In addition, all the fracture surfaces after peeling occurred at the film / adhesive interface.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明に係るポリイミドフィルムの接着
性改善方法は、カップリング剤溶液を付着させた後、プ
ラズマ処理を行うことを特徴とし、かかる方法によりフ
ィルム表面にカップリング剤の皮膜が形成されて表面性
状が均一化されたフィルム表面にプラズマ処理を行うこ
とができる。その結果、フィルム表面には、接着剤と親
和性を示す親和性基とともに親水基が安定して導入され
ており、優れた接着性改善効果を得ることができる。
The method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to the present invention is characterized in that a plasma treatment is performed after a coupling agent solution is applied, and a film of the coupling agent is formed on the film surface by such a method. The plasma treatment can be performed on the film surface whose surface properties have been made uniform. As a result, a hydrophilic group is stably introduced into the film surface together with an affinity group exhibiting an affinity for the adhesive, and an excellent effect of improving adhesiveness can be obtained.

【0046】また、かかるポリイミドフィルムの接着性
改善方法により接着性を改善したポリイミドフィルム
は、フィルム表面に接着剤と親和性を示す親和性基を有
すると同時にフィルム表面が安定的に親水化されている
ため、優れた接着性を示し、FPCのベースフィルムと
して好適に使用することができる。
The polyimide film having improved adhesion by such a method for improving the adhesion of a polyimide film has an affinity group exhibiting an affinity for an adhesive on the film surface, and at the same time, the film surface is stably hydrophilized. Therefore, it exhibits excellent adhesiveness and can be suitably used as a base film for FPC.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための表面処理装置を示した説明図であ
る。
FIG. 1 is an explanatory view showing a surface treatment apparatus for carrying out a method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to the present invention.

【図2】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための他の表面処理装置を示した説明図
である。
FIG. 2 is an explanatory view showing another surface treatment apparatus for carrying out the method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to the present invention.

【図3】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための他の表面処理装置を示した説明図
である。
FIG. 3 is an explanatory view showing another surface treatment apparatus for performing the method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、36、42;表面処理装置 12;カップリング剤溶液を塗布するための装置 14;乾燥炉 16;プラズマ処理装置 18;繰り出し装置 20;ポリイミドフィルム 22;巻取り装置 24;バーコーター 26;カップリング剤槽 28;押さえロール 30;ガス導入部 32;電源 34;搬送ロール 10, 36, 42; surface treatment device 12; device for applying coupling agent solution 14; drying furnace 16; plasma treatment device 18; feeding device 20; polyimide film 22; winding device 24; Ring agent tank 28; press roll 30; gas inlet 32; power supply 34; transport roll

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−243627(JP,A) 特開 昭63−68641(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08J 7/00 - 7/18 C08J 5/12 Continuation of the front page (56) References JP-A-62-243627 (JP, A) JP-A-63-68641 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08J 7 / 00-7/18 C08J 5/12

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ポリイミドフィルムの表面にカップリン
グ剤溶液を付着させた後、該溶液を乾燥させ、該乾燥さ
せられたフィルムにプラズマ処理を行うことを特徴とす
るポリイミドフィルムの接着性改善方法。
1. A method for improving the adhesiveness of a polyimide film, comprising: attaching a coupling agent solution to the surface of a polyimide film, drying the solution, and performing a plasma treatment on the dried film.
【請求項2】 前記カップリング剤溶液の濃度が、0.
005〜30wt%、更に好ましくは0.01〜5wt%で
あることを特徴とする請求項1に記載するポリイミドフ
ィルムの接着性改善方法。
2. The method according to claim 1, wherein the concentration of the coupling agent solution is 0.
The method for improving the adhesiveness of a polyimide film according to claim 1, wherein the content is 005 to 30 wt%, more preferably 0.01 to 5 wt%.
【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載するポリイ
ミドフィルムの接着性改善方法を用いて表面処理するこ
とにより、該フィルム表面に親水基が導入されたことを
特徴とする接着性を改善したポリイミドフィルム。
3. A surface treatment using the method for improving adhesion of a polyimide film according to claim 1 or 2 .
A polyimide film having improved adhesiveness , wherein a hydrophilic group is introduced into the film surface .
JP19201994A 1994-07-23 1994-07-23 Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion Expired - Lifetime JP3333640B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19201994A JP3333640B2 (en) 1994-07-23 1994-07-23 Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19201994A JP3333640B2 (en) 1994-07-23 1994-07-23 Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0834869A JPH0834869A (en) 1996-02-06
JP3333640B2 true JP3333640B2 (en) 2002-10-15

Family

ID=16284251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19201994A Expired - Lifetime JP3333640B2 (en) 1994-07-23 1994-07-23 Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3333640B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3309654B2 (en) * 1994-09-20 2002-07-29 宇部興産株式会社 Modified polyimide film and laminate
KR100629360B1 (en) * 2005-05-30 2006-10-02 한국화학연구원 Surface modification method of polyimide film using ethyleneimine coupling agent, manufacturing method of copper foil laminated film using same, and copper foil laminated film of two layer structure

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0834869A (en) 1996-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4297187A (en) Surface treatment of plastic material
JPH0841625A (en) Metallic substrate having vapor-deposited layer and adhesionaccelerating layer
US20050238896A1 (en) Polyimide film and method for production thereof, and polyimide/metal laminate using polyimide
JPH03159737A (en) Preparation of metallized polyimide film
US20080241497A1 (en) Process for producing polyimide film, and polyimide film
JP2001329088A (en) Silicon dioxide coated polyolefin resin and its manufacturing method
US6194076B1 (en) Method of forming adherent metal components on a polyimide substrate
CN112237053A (en) Manufacturing method of printed wiring board
CN112205088A (en) Method for manufacturing printed wiring board
JP3333640B2 (en) Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion
WO2020130071A1 (en) Method for manufacturing printed wiring board
JP3395640B2 (en) Metal layer laminated film
US5861192A (en) Method of improving adhesive property of polyimide film and polymidefilm having improved adhesive property
CN112930421B (en) Device and method for producing resin film with metal film
JP3292421B2 (en) Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion
JPH07330930A (en) Surface treatment method for polymer film
JP5129111B2 (en) LAMINATE MANUFACTURING METHOD AND CIRCUIT WIRING BOARD MANUFACTURING METHOD
WO2006059845A1 (en) Method of surface modification of polyimide film using silanes coupling agent, manufacturing method of flexible copper clad laminate and its product thereby
JP3256379B2 (en) Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion
JP3528109B2 (en) Method for improving adhesion of polyimide film
JPH0841227A (en) Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion
JPH09511193A (en) Barrier film with carbon-coated high energy surface
JP3256380B2 (en) Method for improving adhesion of polyimide film and polyimide film having improved adhesion
JP2004087548A (en) Manufacturing method of printed wiring board
TW584595B (en) Process for preparing metal-coated aromatic polyimide film

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020618

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090726

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100726

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100726

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110726

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120726

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130726

Year of fee payment: 11

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130726

Year of fee payment: 11

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term