JP3346845B2 - Semiconductor memory device - Google Patents
Semiconductor memory deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は半導体メモリ装置に関
し、特に、メモリセルから読出された小振幅の複数の読
出データを中振幅差動信号を経てCMOSレベルの大振
幅信号に徐々に増幅して出力部に出力するデータバスを
備え、このデータバスをテストするためのテストモード
を備えたような半導体メモリ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a method for gradually amplifying a plurality of read data of small amplitude read from a memory cell to a large amplitude signal of CMOS level through a medium amplitude differential signal. The present invention relates to a semiconductor memory device having a data bus for outputting to an output unit and having a test mode for testing the data bus.
【0002】[0002]
【従来の技術】図8は従来のテストモードを備えた半導
体メモリ装置の入出力線からリードデータバスを通り、
読出データが外部ピンに出力されるまでの経路を示した
図である。図8において、入出力データ線IO1,ZI
O1,IO2,ZIO2…IOn,ZIOnは差動増幅
器P1,P2…Pnに与えられる。これらの差動増幅器
P1,P2…Pnは入出力データ線に入力された数百m
Vの小振幅差動信号を600mV〜1V未満の中振幅差
動信号に増幅するものであり、差動増幅器P1,P2…
Pnの出力は相補構成されたリードデータバス線R1,
ZR1,R2,ZR2…Rn,ZRnを介して差動増幅
器PP1,PP2…PPnに与えられる。差動増幅器P
P1,PP2…PPnは中振幅の差動信号を「H」レベ
ル=Vcc,「L」レベル=0VのCMOSレベルの大
振幅差動信号に増幅する。差動増幅器PP1,PP2…
PPnの出力はデータ線RR1,ZRR1,RR2,Z
RR2…RRn,ZRRnを介してセレクタ53に与え
られる。セレクタ53はデータ線RR1,ZRR1,R
R2,ZRR2…RRn,ZRRnのうちのいずれかを
選択して、出力制御回路60の入力OD,ZODに出力
する。2. Description of the Related Art FIG. 8 shows a conventional semiconductor memory device having a test mode.
FIG. 7 is a diagram showing a path until read data is output to an external pin. In FIG. 8, input / output data lines IO1, ZI
OOn, ZIO2... IOn, ZIOn are supplied to differential amplifiers P1, P2. These differential amplifiers P1, P2,... Pn are several hundred meters input to the input / output data lines.
A small-amplitude differential signal of V is amplified to a medium-amplitude differential signal of 600 mV to less than 1 V, and the differential amplifiers P1, P2,.
The output of Pn is the read data bus lines R1,
Are supplied to differential amplifiers PP1, PP2,..., PPn via ZR1, R2, ZR2,. Differential amplifier P
.., PPn amplify the middle-amplitude differential signal into a CMOS-level large-amplitude differential signal with “H” level = Vcc and “L” level = 0 V. Differential amplifiers PP1, PP2 ...
The output of PPn is the data line RR1, ZRR1, RR2, Z
RR2... RRn and ZRRn are provided to the selector 53. The selector 53 is connected to the data lines RR1, ZRR1, R
One of R2, ZRR2,... RRn, ZRRn is selected and output to the inputs OD, ZOD of the output control circuit 60.
【0003】出力制御回路60は、電源電圧+Vccと
接地間に直列接続されたMOSトランジスタ54と55
とを含む。NANDゲート56は、テストモード時にリ
ードバスが正常に動作しているか否かを検出するもので
あって、差動増幅器PP1,PP2…PPnの出力が与
えられる。さらに、NANDゲート56には、テストモ
ード時に「L」レベルになるZTE信号がインバータ6
3で反転されて与えられる。NANDゲート56の出力
のZT信号はセレクタ53に与えられるとともに、イン
バータ64で反転され、T信号としてセレクタ53に与
えられる。An output control circuit 60 includes MOS transistors 54 and 55 connected in series between a power supply voltage + Vcc and ground.
And The NAND gate 56 detects whether or not the read bus operates normally in the test mode, and receives the outputs of the differential amplifiers PP1, PP2,. Further, the NAND gate 56 is supplied with a ZTE signal which goes to “L” level in the test mode by the inverter 6.
It is inverted at 3 and given. The ZT signal output from the NAND gate 56 is supplied to the selector 53, is inverted by the inverter 64, and is supplied to the selector 53 as a T signal.
【0004】次に、図8に示したリードデータバスの動
作について説明する。まず、ノーマルリード時には、Z
TE信号は「H」レベルに設定されている。このため、
NANDゲート56が閉じられる。n組の入出力データ
線のうち、入出力データ線IO1に読出データが入力さ
れると、この入出力データ線IO1に図示しないメモリ
セルから読出されたデータが小振幅差動信号として与え
られる。この小振幅差動信号が初段の差動増幅器P1で
中振幅差動信号に増幅されてリードデータバスR1,Z
R1に出力される。差動増幅器PP1は、リードデータ
バスR1,ZR1の中振幅差動信号を大振幅差動信号に
増幅して、次のデータバスRR1,ZRR1に出力す
る。そして、セレクタ53はこのデータバスRR1,Z
RR1を選択して、出力制御回路60の入力OD,ZO
Dに出力する。このOD,ZODを受けたnチャネルM
OSトランジスタ54,55で構成された出力制御回路
60は外部に読出データを出力する。すなわち、ノーマ
ルリード時では、小振幅差動信号である読出データが差
動増幅器P1で高速に中振幅の差動信号に増幅され、次
段の差動増幅器PP1で中振幅差動信号から大振幅差動
信号へと増幅することによって、MOS RAM回路の
全体として高速に読出データを出力する。ここで、読出
データに無関係の他の差動増幅器P2…PnおよびPP
2…PPnは動作せず、差動増幅器P1とPP1の2個
のみが動作している。Next, the operation of the read data bus shown in FIG. 8 will be described. First, during normal read, Z
The TE signal is set to “H” level. For this reason,
NAND gate 56 is closed. When read data is input to the input / output data line IO1 of the n sets of input / output data lines, data read from a memory cell (not shown) is supplied to the input / output data line IO1 as a small-amplitude differential signal. This small-amplitude differential signal is amplified by a first-stage differential amplifier P1 into a medium-amplitude differential signal, and read data buses R1, Z
Output to R1. The differential amplifier PP1 amplifies the medium-amplitude differential signal of the read data buses R1 and ZR1 into a large-amplitude differential signal and outputs the amplified signal to the next data bus RR1 and ZRR1. The selector 53 supplies the data buses RR1 and Z
RR1 is selected, and the input OD, ZO of the output control circuit 60 is selected.
Output to D. N channel M receiving this OD and ZOD
An output control circuit 60 composed of the OS transistors 54 and 55 outputs read data to the outside. That is, at the time of normal reading, the read data, which is a small-amplitude differential signal, is amplified to a medium-amplitude differential signal by the differential amplifier P1 at high speed, and the next-stage differential amplifier PP1 converts the medium-amplitude differential signal into a large-amplitude differential signal. By amplifying to a differential signal, the read data is output at high speed as a whole of the MOS RAM circuit. Here, other differential amplifiers P2... Pn and PP unrelated to read data
2 ... PPn does not operate, and only two differential amplifiers P1 and PP1 operate.
【0005】次に、テストモード時の動作について説明
する。nビット縮退のテストモードでは、入出力データ
線IO1からnまでのn組のデータが入力される。ここ
で、nビットに「H」レベルのデータを書込んで「H」
レベルデータを読出すテストモードを考える。すべて正
しく「H」レベルデータが読出される場合、n個の差動
増幅器P1〜Pnが動作し、この出力を受け、n個の差
動増幅器PP1〜PPnが動作してその出力がNAND
回路56に入力される。ここで、テストモード時はZT
E信号は「L」レベルになっている。mビット全部から
正しく「H」レベルデータが読出されると、NANDゲ
ート56の出力のZT信号は「L」レベルになり、T信
号は「H」レベルとなり、セレクタ回路53によって
T,ZTが出力制御回路60の入力OD,ZODに出力
され、出力制御回路60の出力Doutが「H」レベル
になって正常動作のフラグが立つことになる。しかし、
1ビットでも誤動作して、「L」レベルデータが読出さ
れると、NANDゲート56の出力であるZT信号は
「H」レベルになり、T信号は「L」レベルになり、出
力制御回路60の出力Doutには「L」レベルデータ
が出力されて誤動作のフラグが立つ。Next, the operation in the test mode will be described. In the n-bit compression test mode, n sets of data from the input / output data lines IO1 to IOn are input. Here, “H” level data is written into n bits to “H”.
Consider a test mode for reading level data. When the "H" level data is all correctly read, n differential amplifiers P1 to Pn operate and receive this output, and n differential amplifiers PP1 to PPn operate to output NAND.
The signal is input to the circuit 56. Here, in the test mode, ZT
The E signal is at the “L” level. When "H" level data is correctly read from all m bits, the ZT signal output from NAND gate 56 goes to "L" level, the T signal goes to "H" level, and selector circuit 53 outputs T and ZT. The signals are output to the inputs OD and ZOD of the control circuit 60, and the output Dout of the output control circuit 60 becomes "H" level, and a normal operation flag is set. But,
When even one bit malfunctions and the "L" level data is read, the ZT signal output from the NAND gate 56 goes to the "H" level, the T signal goes to the "L" level, and the output control circuit 60 "L" level data is output to the output Dout, and a malfunction flag is set.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、従来の
半導体メモリ装置では、ノーマルモード時に動作する差
動増幅器はP1とPP1の2個のみであるが、nビット
縮退のテストモードではP1〜Pnまでのn個の差動増
幅器と、PP1〜PPnまでのn個の差動増幅器のすべ
てを動作させる必要があり、ノーマルモードのn倍個の
差動増幅器が動作することになり、テストモードでの消
費電流が激増する。消費電流が増加すると、回路動作に
よって発生する接地や電源線のノイズが大きくなり、回
路が誤動作し、ノーマルモード時のリードとの相関が取
りにくくなるという欠点があった。As described above, in the conventional semiconductor memory device, only two differential amplifiers P1 and PP1 operate in the normal mode. However, in the n-bit degenerate test mode, P1 to Pn are used. It is necessary to operate all of the n differential amplifiers up to n and the n differential amplifiers PP1 to PPn, and n times as many differential amplifiers as the normal mode operate. Current consumption increases sharply. When the current consumption increases, the noise of the ground and the power supply line generated by the circuit operation increases, the circuit malfunctions, and it is difficult to correlate with the lead in the normal mode.
【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、テ
ストモード時における消費電流を抑制でき、ノイズによ
る誤動作を少なくし、ノーマルモード時のリードとの相
関を取ることのできるような半導体メモリ装置を提供す
ることである。Therefore, a main object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of suppressing current consumption in a test mode, reducing malfunction due to noise, and correlating with a read in a normal mode. It is to be.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体メ
モリ装置は、複数のメモリ回路が正常か否かをテストす
るテストモードを有する半導体メモリ装置であって、そ
れぞれ複数のメモリ回路に対応して設けられ、各々が、
ノーマルモード時は対応のメモリ回路から読出されたデ
ータ信号を増幅して第1の振幅電圧を有するデータ信号
を出力し、テストモード時は対応のメモリ回路から読出
されたデータ信号を増幅して第1の振幅電圧よりも大き
な第2の振幅電圧を有するデータ信号を出力する複数の
第1の増幅回路と、それらの一方端がそれぞれ複数の第
1の増幅回路の出力データ信号を受ける複数のデータ線
と、テストモード時に活性化され、複数のデータ線の電
圧に基づいて複数のメモリ回路が正常か否かを判定する
判定回路と、それぞれ複数のデータ線の他方端に接続さ
れ、各々が、ノーマルモード時は対応のデータ線を介し
て与えられたデータ信号を増幅して第1の振幅電圧より
も大きな第3の振幅電圧のデータ信号を出力し、テスト
モード時は非活性化される複数の第2の増幅回路とを備
えたものである。A semiconductor memory according to the present invention is provided.
Memory device tests whether multiple memory circuits are normal.
Semiconductor memory device having a test mode
Each is provided corresponding to a plurality of memory circuits.
In normal mode, data read from the corresponding memory circuit
Data signal having a first amplitude voltage by amplifying the data signal
Output from the corresponding memory circuit in the test mode
The amplified data signal is amplified to be larger than the first amplitude voltage.
A plurality of data signals having different second amplitude voltages are output.
A first amplifier circuit and one end of each of the first
A plurality of data lines for receiving output data signals of one amplifier circuit;
Is activated in the test mode, and the power of multiple data lines is
Determine if multiple memory circuits are normal based on pressure
The judgment circuit is connected to the other end of each of the plurality of data lines.
Each is connected via a corresponding data line in normal mode.
And amplifies the given data signal from the first amplitude voltage.
Also outputs a data signal with a large third amplitude voltage, and tests
A plurality of second amplifier circuits that are deactivated in the mode.
Ru Der thing was painting.
【0009】好ましくは、第1の増幅回路は、対応のメ
モリ回路から読出されたデータ信号を増幅して第2の振
幅電圧を有するデータ信号を出力する差動増幅器と、ノ
ーマルモード時は対応の信号伝達線の振幅電圧を第1の
振幅電圧に制限し、テストモード時は非活性化される振
幅制限回路とを含む。 Preferably, the first amplifier circuit has a corresponding
The data signal read from the memory circuit is amplified and the second signal is amplified.
A differential amplifier for outputting a data signal having a width voltage;
In the normal mode, the amplitude voltage of the corresponding signal transmission line is set to the first
Amplitude voltage is limited, and in the test mode,
And a width limiting circuit.
【0010】[0010]
【作用】この発明に係る半導体メモリ装置では、複数の
メモリ回路と、それぞれ複数のメモリ回路に対応して設
けられ、各々が、ノーマルモード時は対応のメモリ回路
から読出されたデータ信号を増幅して第1の振幅電圧を
有するデータ信号を出力し、テストモード時は対応のメ
モリ回路から読出されたデータ信号を増幅して第1の振
幅電圧よりも大きな第2の振幅電圧を有するデータ信号
を出力する複数の第1の増幅回路と、それらの一方端が
それぞれ複数の第1の増幅回路の出力データ信号を受け
る複数のデータ線と、テストモード時に活性化され、複
数のデータ線の電圧に基づいて複数のメモリ回路が正常
か否かを判定する判定回路と、それぞれ複数のデータ線
の他方端に接続され、各々が、ノーマルモード時は対応
のデータ線を介して与えられたデータ信号を増幅して第
1の振幅電圧よりも大きな第3の振幅電圧のデータ信号
を出力し、テストモード時は非活性化される複数の第2
の増幅回路とが設けられる。したがって、テストモード
時は複数の第2の増幅回路が非活性化されるので、消費
電流が小さくてすみ、ノイズによる誤動作が少なくな
り、ノーマルモード時のリードとの相関を取ることがで
きる。また、ノーマルモード時はデータ線の振幅電圧を
小さく抑えるので、データ信号を高速に伝達することが
できる。 好ましくは、第1の増幅回路は、対応のメモリ
回路から読出されたデータ信号を増幅して第2の振幅電
圧を有するデータ信号を出力する差動増幅器と、ノーマ
ルモード時は対応の信号伝達線の振幅電圧を第1の振幅
電圧に制限し、テストモード時は非活性化される振幅制
限回路とを含む。この場合は、第1の増幅回路を容易に
構成することができる。 [Action] In the semiconductor memory device according to the present invention, a plurality of
Memory circuits and multiple memory circuits
Each of them has a corresponding memory circuit in normal mode.
Amplifies the data signal read from
Output a data signal that has
The data signal read from the memory circuit is amplified and the first signal is amplified.
A data signal having a second amplitude voltage greater than the width voltage
And a plurality of first amplifier circuits that output
Receiving output data signals of a plurality of first amplifier circuits, respectively;
Activated in the test mode and multiple data lines
Multiple memory circuits are normal based on the voltage of data lines
A judgment circuit for judging whether or not a plurality of data lines
Are connected to the other end of the
Amplify the data signal given via the data line of
A data signal having a third amplitude voltage larger than the first amplitude voltage
And outputs a plurality of second signals that are deactivated in the test mode.
Amplifying circuit is provided. Therefore, test mode
At this time, since the plurality of second amplifier circuits are inactivated,
Smaller current and less malfunction due to noise
Can be correlated with the lead in normal mode.
Wear. In the normal mode, the amplitude voltage of the data line is
Since it is kept small, data signals can be transmitted at high speed.
it can. Preferably, the first amplifier circuit includes a corresponding memory
Amplifying the data signal read from the circuit to generate a second amplitude signal;
Differential amplifier for outputting a data signal having a voltage
Mode, the amplitude voltage of the corresponding signal transmission line is set to the first amplitude
Voltage control, which is limited to voltage and deactivated in test mode
Limit circuit. In this case, the first amplifier circuit can be easily provided.
Can be configured.
【0011】[0011]
【実施例】図1はこの発明の一実施例の半導体メモリ装
置における入出力線から外部ピンに至る経路の結線図で
ある。図1において、データバスは、差動増幅器P1,
P2…PnとPP1,PP2…PPnとの間に振幅制限
回路101,102…10nが接続されている以外は前
述の図8と同様にして構成される。FIG. 1 is a connection diagram of a path from an input / output line to an external pin in a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the data bus includes differential amplifiers P1,
.. 10n are connected between P2... Pn and PP1, PP2.
【0012】さらに、図1に示した半導体メモリ装置
は、行デコーダ1と列デコーダ31,32…3nとセン
スアンプ21,22…とを含む。行デコーダ1はワード
線WL1a,WL1b…を活性化する。ワード線WL1
aにはnチャネルのセルトランジスタ41,42…のゲ
ートが接続され、セルトランジスタ41,42…のソー
スにはメモリセルキャパシタ51,52…が接続されて
いる。セルトランジスタ41,42…のドレインはビッ
ト線BL1,BL2…に接続され、ビット線対BL1と
ZBL1,BL2とZBL2にはセンスアンプ21,2
2…が接続されている。さらに、ビット線対BL1とZ
BL1,BL2とZBL2はnチャネルトランジスタ1
11,112,113,114…を介して入出力線IO
1,ZIO1,IO2,ZIO2…に接続されている。
これらのトランジスタ111,112,113,114
…のゲートには列デコーダ31,32…からコラム信号
CSL1,CSL2…が与えられている。Further, the semiconductor memory device shown in FIG. 1 includes a row decoder 1, column decoders 31, 32... 3n, and sense amplifiers 21, 22,. Row decoder 1 activates word lines WL1a, WL1b. Word line WL1
are connected to the gates of the n-channel cell transistors 41, 42,..., and the memory cell capacitors 51, 52,. The drains of the cell transistors 41, 42 are connected to bit lines BL1, BL2,..., And sense amplifiers 21, 22, are connected to the bit line pairs BL1, ZBL1, BL2, ZBL2.
2 are connected. Further, the bit line pairs BL1 and Z
BL1, BL2 and ZBL2 are n-channel transistors 1
Input / output lines IO via 11, 112, 113, 114...
1, ZIO1, IO2, ZIO2,.
These transistors 111, 112, 113, 114
Are supplied with column signals CSL1, CSL2,... From column decoders 31, 32,.
【0013】図2は図1に示した振幅制限回路の一例を
示す回路図である。図2において、振幅制限回路はリー
ドデータバスR1とZR1との間に直列接続されたnチ
ャネルトランジスタ8,9を含み、nチャネルトランジ
スタ8,9の各ドレインには電源電圧Vccが与えら
れ、それぞれのゲートにはZTE信号が与えられる。n
チャネルトランジスタ8,9はZTE信号が「H」レベ
ルになるとオンし、クランプ回路として動作し、リード
データバスR1,ZR1の電位がVcc−Vth以下に
なろうとすると、電源電圧Vccから正の電荷を供給
し、Vcc−Vth以下になるのを防止する。ここで、
Vthはnチャネルトランジスタ8,9のしきい値電圧
である。FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the amplitude limiting circuit shown in FIG. In FIG. 2, the amplitude limiting circuit includes n-channel transistors 8, 9 connected in series between read data buses R1 and ZR1, and the drains of n-channel transistors 8, 9 are supplied with power supply voltage Vcc. Are supplied with a ZTE signal. n
The channel transistors 8 and 9 are turned on when the ZTE signal goes to "H" level and operate as a clamp circuit. When the potentials of the read data buses R1 and ZR1 are going to be lower than Vcc-Vth, positive charges are applied from the power supply voltage Vcc. To prevent the voltage from falling below Vcc-Vth. here,
Vth is the threshold voltage of the n-channel transistors 8 and 9.
【0014】図3は図1に示したセレクタの具体的な回
路図である。セレクタ53はpチャネルトランジスタと
nチャネルトランジスタとをそれぞれ組合わせたスイッ
チング回路531〜536を含み、制御信号S1…S
n,ZS1…ZSn信号に応じて、これらのスイッチン
グ回路531〜534がオンし、リードデータバスRR
1,ZRR1…RRn,ZRRnに出力された読出デー
タをOD,ZODに出力する。ZTE信号が「L」レベ
ルになると、スイッチング回路535,536がオン
し、NAND回路56の出力信号T,ZTがOD,ZO
Dに出力される。なお、制御信号S1,ZS1信号は後
述の図4に示す列デコーダから出力される。FIG. 3 is a specific circuit diagram of the selector shown in FIG. The selector 53 includes switching circuits 531 to 536 each having a combination of a p-channel transistor and an n-channel transistor.
n, ZS1... ZSn signals, these switching circuits 531 to 534 turn on, and read data bus RR
1, ZRR1... RRn, read data output to ZRRn are output to OD and ZOD. When the ZTE signal goes to “L” level, the switching circuits 535 and 536 are turned on, and the output signals T and ZT of the NAND circuit 56 become OD and ZO.
D is output. The control signals S1 and ZS1 are output from a column decoder shown in FIG.
【0015】図4は、図1に示した列デコーダから出力
される制御信号を説明するための図である。図4におい
て、Yアドレス信号はYアドレスバッファ200にスト
アされ、Yアドレス信号が列デコーダ31,32…3n
に与えられ、デコード出力CSL1,CSL2…CSL
n、S1,S2…Sn、ZS1,ZS2…ZSnが出力
される。FIG. 4 is a diagram for explaining a control signal output from the column decoder shown in FIG. In FIG. 4, a Y address signal is stored in a Y address buffer 200, and Y address signals are stored in column decoders 31, 32,.
, And the decoded outputs CSL1, CSL2,.
n, S1, S2... Sn, ZS1, ZS2.
【0016】図5は図1に示した差動増幅器の一例を示
す電気回路図である。この図1に示した差動増幅器は、
pチャネルトランジスタ27と28およびnチャネルト
ランジスタ23と24からなるカレントミラー回路と、
pチャネルトランジスタ29と30およびnチャネルト
ランジスタ25と26とからなるカレントミラー回路と
によって構成されている。そして、nチャネルトランジ
スタ24,25のゲートとpチャネルトランジスタ2
3,26のゲートに、たとえばリードデータバスIO
1,ZIO1が接続され、nチャネルトランジスタ2
7,29のソースから出力が取出される。FIG. 5 is an electric circuit diagram showing an example of the differential amplifier shown in FIG. The differential amplifier shown in FIG.
a current mirror circuit including p-channel transistors 27 and 28 and n-channel transistors 23 and 24;
It is constituted by a current mirror circuit including p-channel transistors 29 and 30 and n-channel transistors 25 and 26. The gates of the n-channel transistors 24 and 25 and the p-channel transistor 2
For example, the read data bus IO
1, ZIO1 are connected, and n-channel transistor 2
The output is taken from 7,29 sources.
【0017】図6は図1の動作を説明するためのタイム
チャートであり、図7はリードデータバスの電位変化を
説明するための図である。FIG. 6 is a time chart for explaining the operation of FIG. 1, and FIG. 7 is a diagram for explaining a potential change of the read data bus.
【0018】次に、図1〜図7を参照して、この発明の
一実施例の具体的な動作について説明する。まず、ノー
マルモード時の読出動作について説明する。図6(a)
に示す時刻t1において行デコーダ1で選択されたワー
ド線WL1aが「H」レベルになるとビット線対BLi
(i=1,2…n),ZBLiに図6(b)に示すよう
にメモリセルのデータが読出され、センスアンプ2iで
増幅される。このとき、図4に示すようにYアドレスバ
ッファ200にYアドレス信号がストアされ、図6
(c)に示すアドレス信号に応じて、列デコーダ3iか
らデコード信号として図6(d)に示すコラム選択信号
CSLiと制御信号Si,ZSiが発生される。Next, a specific operation of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, a read operation in the normal mode will be described. FIG. 6 (a)
When the word line WL1a selected by the row decoder 1 attains the "H" level at the time t1 shown in FIG.
(I = 1, 2,..., N), data of the memory cell is read out to ZBLi as shown in FIG. 6B, and is amplified by the sense amplifier 2i. At this time, the Y address signal is stored in the Y address buffer 200 as shown in FIG.
In response to the address signal shown in (c), a column selection signal CSLi and control signals Si and ZSi shown in FIG. 6D are generated from the column decoder 3i as decode signals.
【0019】図6では、内部アドレスY0を受けて、n
個のデコーダのうち、列デコーダ31が動作して、時刻
t1にコラム選択信号CSL1が「H」レベル,制御信
号S1が「H」レベル,ZS1が「L」レベルになる動
作を示している。時刻t1において列デコーダ31でコ
ラム選択信号CSL1が出力されると、nチャネルトラ
ンジスタ111,112が導通し、ビット線BL1,Z
BL1のデータが図6(e)に示すように、入出力線対
IO1,ZIO1に数百mV程度の小振幅差動信号とし
て伝わる。n対の入出力線対のうち、IO1,ZIO1
にデータが読出され、差動増幅器P1によって、入出力
線対IO1,ZIO1の小振幅の「L」レベルまたは
「H」レベルの読出データが増幅され、図6(f)に示
すように、リードデータバスR1,ZR1に中振幅差動
信号として出力される。In FIG. 6, when an internal address Y0 is received, n
Among the decoders, the column decoder 31 operates, and at time t1, the column selection signal CSL1 is at the “H” level, the control signal S1 is at the “H” level, and ZS1 is at the “L” level. When column select signal CSL1 is output from column decoder 31 at time t1, n-channel transistors 111 and 112 are turned on and bit lines BL1 and Z1 are turned on.
As shown in FIG. 6E, the data of BL1 is transmitted to the input / output line pair IO1 and ZIO1 as a small-amplitude differential signal of about several hundred mV. Of the n input / output line pairs, IO1, ZIO1
And the differential amplifier P1 amplifies the low amplitude "L" level or "H" level read data of the input / output line pair IO1 and ZIO1. As shown in FIG. It is output to the data buses R1 and ZR1 as a medium amplitude differential signal.
【0020】ここで、ノーマルモード時には、ZTE信
号が「H」レベルであるので、相補構成されているリー
ドデータバスR1,ZR1に接続されている振幅制限回
路101のnチャネルトランジスタ8,9がオンする。
これらの2つのトランジスタ8,9はクランプとして働
き、リードデータバスR1およびZR1の電位がVcc
−Vth以下になろうとすると、nチャネルトランジス
タ8,9から正の電荷が供給され、リードデータバスR
1,ZR1の電位はVcc−Vth以下にならない。こ
のときのリードデータバスの電位変化は図7に示すよう
になる。In the normal mode, since the ZTE signal is at "H" level, the n-channel transistors 8, 9 of the amplitude limiting circuit 101 connected to the complementary read data buses R1, ZR1 are turned on. I do.
These two transistors 8, 9 function as clamps, and the potentials of read data buses R1 and ZR1 are set to Vcc.
-Vth, positive charges are supplied from the n-channel transistors 8 and 9 and the read data bus R
1, the potential of ZR1 does not become lower than Vcc-Vth. The potential change of the read data bus at this time is as shown in FIG.
【0021】図7(a)においては、読出データが
「H」レベルの場合を示しているが、入出力線対IO
1,ZIO1の100mVの小振幅の「H」レベルのデ
ータが振幅制限回路101に与えられると、リードデー
タバスR1,ZR1にnチャネルトランジスタ8,9の
しきい値電圧(600〜800mV)の中振幅の「H」
レベルのデータが読出される。次に、差動増幅器PP1
が動作し、リードデータバスR1,ZR1の中振幅の
「H」レベル信号を受けて、リードデータバスRR1,
ZRR1に、RR1=Vcc,ZRR1=0VのCMO
Sレベルの大振幅の「H」レベルデータが出力される。
ここで、セレクタ53は制御信号S1が「H」レベルに
なり、ZS1が「L」レベルになると、スイッチング回
路531,532が導通し、読出経路に関与するリード
データバスRR1,ZRR1のみが図6(h)に示すよ
うに、出力制御回路60の入力OD,ZODに与えられ
る。このようにセレクタ53で選択されたリードデータ
バスのデータが伝わり、図6(i)に示すように、出力
制御回路60に「H」レベルのデータが外部に出力され
る。FIG. 7A shows the case where the read data is at "H" level.
When data of "H" level having a small amplitude of 100 mV of ZIO1 and ZIO1 are applied to amplitude limiting circuit 101, read data buses R1 and ZR1 have threshold voltages of n-channel transistors 8 and 9 (600 to 800 mV). "H" for amplitude
Level data is read. Next, the differential amplifier PP1
Operates, receives a medium-amplitude "H" level signal of read data buses R1 and ZR1, and receives read data buses RR1 and ZR1.
CRR of RR1 = Vcc, ZRR1 = 0V is applied to ZRR1.
"H" level data having a large amplitude of S level is output.
Here, when the control signal S1 becomes "H" level and the ZS1 becomes "L" level, the selector 53 conducts the switching circuits 531 and 532, and only the read data buses RR1 and ZRR1 involved in the read path are shown in FIG. As shown in (h), it is given to the inputs OD and ZOD of the output control circuit 60. Thus, the data of the read data bus selected by the selector 53 is transmitted, and the “H” level data is output to the output control circuit 60 to the outside as shown in FIG.
【0022】図1において、リードデータバスRi,Z
Riはメモリセルアレイ周辺から出力制御回路60にま
で長くなっているので配線容量が大きくなる。ここで、
もしリードデータバスRi,ZRiの振幅を抑えること
なく大振幅させると、配線容量の大きいリードデータバ
スを充放電するために遅延が生じる。このため、この発
明の一実施例では、振幅制限回路10を設けることによ
って、リードデータバスの振幅を抑え、それによってリ
ードデータバスの配線容量充放電量を小さくし、その結
果高速に読出データを伝えることができる。すなわち、
メモリセルアレイから出力制御回路60までの読出経路
が長い場合においては、小振幅差動信号から中振幅差動
信号へと高速に増幅し、次段の差動増幅回路PPiで中
振幅差動信号から大振幅差動信号へと増幅することによ
って、半導体メモリ回路の全体としての読出を高速化す
ることができる。In FIG. 1, read data buses Ri, Z
Since Ri extends from the periphery of the memory cell array to the output control circuit 60, the wiring capacity increases. here,
If the amplitude of the read data buses Ri and ZRi is increased without suppressing the amplitude, a delay occurs because the read data bus having a large wiring capacity is charged and discharged. Therefore, in one embodiment of the present invention, by providing the amplitude limiting circuit 10, the amplitude of the read data bus is suppressed, thereby reducing the charge / discharge amount of the wiring capacitance of the read data bus, and as a result, the read data can be read at a high speed. Can tell. That is,
When the read path from the memory cell array to the output control circuit 60 is long, the small-amplitude differential signal is amplified to the medium-amplitude differential signal at a high speed. By amplifying the signal into a large-amplitude differential signal, the reading speed of the entire semiconductor memory circuit can be increased.
【0023】次に、テストモードについて説明する。ワ
ード線WL1aが行デコーダ1によって選択され、列デ
コーダ31…3nが動作し、n組の入出力線IO1…I
Onにメモリセルの読出データが伝わるようなnビット
縮退のテストモード時について考える。ノーマルリード
時と同様にして、入出力線IO1,ZIO1…IOn,
ZIOnの小振幅差動信号が差動増幅器P1…Pnによ
って増幅される。このとき、ZTE信号は「L」レベル
になっている。このため、振幅制限回路101…10n
におけるリードデータバスの電位レベルをクランプする
トランジスタ8,9がオフになる。それによって、差動
増幅器P1…Pnで増幅された差動振幅信号が、図7
(b)に示すように、ノーマルモード時の場合よりも大
きくなり、差動振幅が電源電圧+Vccのレベルにまで
振れる。大振幅になったリードデータバスの信号がNA
ND回路56に入力される。テストモード時には、差動
増幅器PP1…PPnは動作しない。たとえば、すべて
のメモリセルに「H」レベル信号が書込まれている場
合、「H」レベルのデータが読出されるかのテストをす
る場合について考える。読出の誤りがなく、すべて
「H」レベルの読出データが出力されると、NAND回
路56の出力信号ZTが「H」レベルになり、T信号が
「L」レベルになる。「H」レベルのデータがメモリセ
ルに書込まれず、読出データが「L」レベルのビットが
1つでもあれば、NAND回路56の出力が「H」レベ
ルになってエラーフラグが立てられる。そして、T,Z
Tはセレクタ53によって出力制御回路60の入力O
D,ZODに与えられ、テスト結果が出力制御回路60
から出力される。Next, the test mode will be described. The word line WL1a is selected by the row decoder 1, the column decoders 31... 3n operate, and n sets of input / output lines IO1.
Consider a test mode of n-bit compression in which read data of a memory cell is transmitted to On. The input / output lines IO1, ZIO1... IOn,
The ZIOn small-amplitude differential signal is amplified by the differential amplifiers P1 to Pn. At this time, the ZTE signal is at "L" level. Therefore, the amplitude limiting circuits 101... 10n
The transistors 8 and 9 for clamping the potential level of the read data bus at the time are turned off. As a result, the differential amplitude signals amplified by the differential amplifiers P1.
As shown in (b), the amplitude becomes larger than in the normal mode, and the differential amplitude swings to the level of the power supply voltage + Vcc. The read data bus signal with large amplitude is NA
The signal is input to the ND circuit 56. In the test mode, the differential amplifiers PP1 to PPn do not operate. For example, consider a case where an "H" level signal is written in all memory cells and a test is performed to determine whether "H" level data is read. When there is no reading error and all the read data at "H" level is output, output signal ZT of NAND circuit 56 attains "H" level and T signal attains "L" level. If "H" level data is not written to the memory cell and the read data has at least one "L" level bit, the output of NAND circuit 56 goes to "H" level and an error flag is set. And T, Z
T is the input O of the output control circuit 60 by the selector 53.
D, ZOD, and the test result is output to the output control circuit 60.
Output from
【0024】ここで、ノーマルリード時にはリードデー
タバスRi,ZRiの差動振幅をしきい値電圧Vthま
で増幅するだけで十分であり、差動増幅器P1…Pnの
利得は小さくされている。この利得が小さいと、テスト
モード時にリードデータバスRi,ZRiの差動振幅を
電源電圧Vccレベルまで増幅されるのに時間がかかる
が、NAND回路56が「H」レベルまたは「L」レベ
ルを感知できるレベルまで増幅すれば十分であるため、
実際にはNAND回路56から信号出力されるまでの時
間は、NAND回路56が「H」レベルまたは「L」レ
ベルを感知できるレベルに増幅されるまでの時間で済
み、遅延時間は少なくて済む。In normal reading, it is sufficient to amplify the differential amplitude of read data buses Ri and ZRi to threshold voltage Vth, and the gain of differential amplifiers P1... Pn is reduced. If this gain is small, it takes time to amplify the differential amplitude of read data buses Ri and ZRi to the level of power supply voltage Vcc in the test mode, but NAND circuit 56 senses "H" level or "L" level. It is enough to amplify to the level that you can,
Actually, the time until the signal is output from the NAND circuit 56 is the time until the NAND circuit 56 is amplified to a level at which the "H" level or the "L" level can be sensed, and the delay time is short.
【0025】このように図1に示したこの発明の一実施
例によるテストモード回路では、テストモード時におい
て振幅制限回路101…10nが動作しないようにして
いるため、n組の入出力線対の小振幅差動信号がn個の
差動増幅器p1…pnによって増幅され、リードデータ
バスRi,ZRiの振幅がノーマルリード時よりも大き
くなり、電源電圧+Vccレベル近くまで振幅するた
め、リードデータバスR1…RnをNAND回路56で
受けることができ、テストモード回路CMOSロジック
で簡単に構成できる。また、テストモード時には、差動
増幅器PP1…PPnが動作しないため、リードデータ
バスRi,ZRiの読出データがNAND回路56に入
力され、データの一致,不一致を出力することにより、
図8に示した従来例より差動増幅器PP1…PPnの回
路動作分の差だけ消費電流を少なくできる。As described above, in the test mode circuit according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, since the amplitude limiting circuits 101... 10n are not operated in the test mode, n sets of input / output line pairs Since the small-amplitude differential signal is amplified by n differential amplifiers p1... Pn and the amplitudes of read data buses Ri and ZRi become larger than those in the normal read operation, and swings to near power supply voltage + Vcc level, read data bus R1 .., Rn can be received by the NAND circuit 56, and can be easily configured by the test mode circuit CMOS logic. In the test mode, since the differential amplifiers PP1 to PPn do not operate, the read data of the read data buses Ri and ZRi is input to the NAND circuit 56, and the data match / mismatch is output.
The current consumption can be reduced by the difference between the circuit operations of the differential amplifiers PP1 to PPn as compared with the conventional example shown in FIG.
【0026】このように、この実施例では、ノーマルモ
ード時には、入出力線IOi,ZIOiの小振幅差動信
号を差動増幅器P1…Pnで中振幅差動信号に増幅し、
次段の差動増幅器PP1…PPnでさらに中振幅差動信
号を大振幅差動信号に増幅してデータを転送し、テスト
モード時には入出力線IOi,ZIOiの小振幅差動信
号である読出データを初段の差動増幅器P1…Pnでリ
ードデータバスRi,ZRiをノーマルリード時の中振
幅より大きな振幅を持つ差動信号に増幅することによ
り、NAND回路56でデータの一致,不一致を検出で
きる。As described above, in this embodiment, in the normal mode, the small-amplitude differential signals of the input / output lines IOi and ZIOi are amplified by the differential amplifiers P1.
The next-stage differential amplifiers PP1 to PPn further amplify the medium-amplitude differential signal to a large-amplitude differential signal and transfer the data. In the test mode, read data that is a small-amplitude differential signal of the input / output lines IOi and ZIOi. Amplify the read data buses Ri and ZRi into differential signals having an amplitude larger than the medium amplitude during normal read by the first-stage differential amplifiers P1... Pn, so that the NAND circuit 56 can detect data match / mismatch.
【0027】なお、上述の実施例においては、ノーマル
リード時には、振幅制限回路101…10nのnチャネ
ルトランジスタ8,9をクランプトランジスタとして機
能させてリードデータバスRi,ZRiの差動信号の振
幅を抑え、テストモード時にはトランジスタ8,9をオ
フすることによってリードデータバスRi,ZRiの振
幅を大きくするようにしたが、ノーマルリード時にリー
ドデータバスRi,ZRiの差動信号振幅を小さくし、
テストモード時に大振幅となるような動作を備える回路
であればどのようなものであってもよい。In the above-described embodiment, during normal reading, the n-channel transistors 8 and 9 of the amplitude limiting circuits 101... 10n function as clamp transistors to suppress the amplitude of differential signals on the read data buses Ri and ZRi. In the test mode, the amplitudes of the read data buses Ri and ZRi are increased by turning off the transistors 8 and 9, but the differential signal amplitudes of the read data buses Ri and ZRi are reduced during a normal read operation.
Any circuit may be used as long as it has a large amplitude operation in the test mode.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上のように、この発明に係る半導体メ
モリ装置では、複数のメモリ回路と、それぞれ複数のメ
モリ回路に対応して設けられ、各々が、ノーマルモード
時は対応のメモリ回路から読出されたデータ信号を増幅
して第1の振幅電圧を有するデータ信号を出力し、テス
トモード時は対応のメモリ回路から読出されたデータ信
号を増幅して第1の振幅電圧よりも大きな第2の振幅電
圧を有するデータ信号を出力する複数の第1の増幅回路
と、それらの一方端がそれぞれ複数の第1の増幅回路の
出力データ信号を受ける複数のデータ線と、テストモー
ド時に活性化され、複数のデータ線の電圧に基づいて複
数のメモリ回路が正常か否かを判定する判定回路と、そ
れぞれ複数のデータ線の他方端に接続され、各々が、ノ
ーマルモード時は対応のデータ線を介して与えられたデ
ータ信号を増幅して第1の振幅電圧よりも大きな第3の
振幅電圧のデータ信号を出力し、テストモード時は非活
性化される複数の第2の増幅回路とが設けられる。した
がって、テストモード時は複数の第2の増幅回路が非活
性化されるので、消費電流が小さくてすみ、ノイズによ
る誤動作が少なくなり、ノーマルモード時のリードとの
相関を取ることができる。また、ノーマルモード時はデ
ータ線の振幅電圧を小さく抑えるので、データ信号を高
速に伝達することができる。 好ましくは、第1の増幅回
路は、対応のメモリ回路から読出されたデータ信号を増
幅して第2の振幅電圧を有するデータ信号を出力する差
動増幅器と、ノーマルモード時は対応の信号伝達線の振
幅電圧を第1の振幅電圧に制限し、テストモード時は非
活性化される振幅制限回路とを含む。この場合は、第1
の増幅回路を容易に構成することができる。 As described above, the semiconductor memory according to the present invention is provided.
Memory devices have multiple memory circuits and multiple memory
Are provided corresponding to the memory circuits, each of which is in normal mode
When amplifying data signal read from corresponding memory circuit
And outputs a data signal having the first amplitude voltage.
In read mode, the data signal read from the corresponding memory
To a second amplitude voltage larger than the first amplitude voltage.
Plurality of first amplifier circuits for outputting a data signal having a voltage
And one end of each of the plurality of first amplifier circuits
A plurality of data lines for receiving output data signals and a test mode;
Is activated when the data line is
A determination circuit for determining whether or not a number of memory circuits are normal;
Each of the plurality of data lines is connected to the other end, and each is connected to a node.
In normal mode, data given via the corresponding data line
Amplifying the data signal to obtain a third signal which is larger than the first amplitude voltage.
Outputs an amplitude voltage data signal and is inactive in test mode.
And a plurality of second amplifier circuits to be implemented. did
Therefore, in the test mode, the plurality of second amplifier circuits are inactive.
Current consumption, the current consumption is small and noise
Error in normal mode
Correlation can be taken. In the normal mode,
The data voltage is high because the amplitude voltage of the
Can be transmitted quickly. Preferably, the first amplification cycle
Path increases the data signal read from the corresponding memory circuit.
Difference for outputting a data signal having a second amplitude voltage by width
Of the signal amplifier and the corresponding signal transmission line in normal mode.
The width voltage is limited to the first amplitude voltage,
And an amplitude limiting circuit to be activated. In this case, the first
Can easily be configured.
【図1】この発明の一実施例の半導体メモリにおける入
出力線から外部ピンに出力されるまでの経路の結線図で
ある。FIG. 1 is a connection diagram of a path from an input / output line to an output to an external pin in a semiconductor memory according to an embodiment of the present invention;
【図2】図1に示した振幅制限回路の一例を示す回路図
である。FIG. 2 is a circuit diagram illustrating an example of an amplitude limiting circuit illustrated in FIG. 1;
【図3】図1に示したセレクタの具体的な回路図であ
る。FIG. 3 is a specific circuit diagram of the selector shown in FIG. 1;
【図4】図1に示した列デコーダから出力される制御信
号を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for describing a control signal output from a column decoder shown in FIG.
【図5】図1に示した差動増幅器の一例を示す電気回路
図である。FIG. 5 is an electric circuit diagram showing an example of the differential amplifier shown in FIG.
【図6】図1の動作を説明するためのタイムチャートで
ある。FIG. 6 is a time chart for explaining the operation of FIG. 1;
【図7】リードデータバスの電位変化を説明するための
図である。FIG. 7 is a diagram for explaining a potential change of a read data bus.
【図8】従来のテストモードを備えた半導体メモリの入
出力線からリードデータバスを通り、読出データが外部
ピンに出力されるまでの結線を示した図である。FIG. 8 is a diagram showing connections from input / output lines of a semiconductor memory having a conventional test mode through read data buses until read data is output to external pins.
1 行デコーダ 21,22 センスアンプ 31,32…3n 列デコーダ 41,42 メモリセルトランジスタ 51,52 メモリセルキャパシタ 53 セレクタ 60 出力制御回路 P1…Pn,PP1…PPn 差動増幅器 101…10n 振幅制限回路 IO1,ZIO1…IOn,ZIOn 入出力線 R1,ZR1…Rn,ZRn,RR1…RRn,ZRR
1…ZRRn リードデータバス 200 Yアドレスバッファ1 row decoder 21, 22 sense amplifier 31, 32... 3n column decoder 41, 42 memory cell transistor 51, 52 memory cell capacitor 53 selector 60 output control circuit P1... Pn, PP1... PPn differential amplifier 101. , ZIO1 ... IOn, ZIOn I / O lines R1, ZR1 ... Rn, ZRn, RR1 ... RRn, ZRR
1 ... ZRRn read data bus 200 Y address buffer
Claims (2)
するテストモードを有する半導体メモリ装置であって、 それぞれ前記複数のメモリ回路に対応して設けられ、各
々が、ノーマルモード時は対応のメモリ回路から読出さ
れたデータ信号を増幅して第1の振幅電圧を有するデー
タ信号を出力し、前記テストモード時は対応のメモリ回
路から読出されたデータ信号を増幅して前記第1の振幅
電圧よりも大きな第2の振幅電圧を有するデータ信号を
出力する複数の第1の増幅回路、 それらの一方端がそれぞれ前記複数の第1の増幅回路の
出力データ信号を受ける複数のデータ線、 前記テストモード時に活性化され、前記複数のデータ線
の電圧に基づいて前記複数のメモリ回路が正常か否かを
判定する判定回路、および それぞれ前記複数のデータ線
の他方端に接続され、各々が、前記ノーマルモード時は
対応のデータ線を介して与えられたデータ信号を増幅し
て前記第1の振幅電圧よりも大きな第3の振幅電圧のデ
ータ信号を出力し、前記テストモード時は非活性化され
る複数の第2の増幅回路を備え る、半導体メモリ装置。 Testing whether a plurality of memory circuits are normal or not
A semiconductor memory device having a test mode that is provided for each of the plurality of memory circuits.
Are read from the corresponding memory circuit in normal mode.
The amplified data signal is amplified to obtain the data having the first amplitude voltage.
Output the corresponding memory circuit in the test mode.
Amplifying the data signal read from the path to produce the first amplitude
A data signal having a second amplitude voltage greater than
A plurality of first amplifying circuits for outputting , one ends of which are respectively connected to the plurality of first amplifying circuits;
A plurality of data lines receiving an output data signal, the plurality of data lines being activated during the test mode;
Whether the plurality of memory circuits are normal based on the voltage of
A determination circuit for determining, and each of the plurality of data lines;
Are connected to each other at the time of the normal mode.
Amplify the data signal given via the corresponding data line
And a third amplitude voltage larger than the first amplitude voltage.
Output in the test mode.
That Ru comprising a plurality of second amplifier circuits, the semiconductor memory device.
前記第2の振幅電圧を有するデータ信号を出力する差動
増幅器、および ノーマルモード時は対応の信号伝達線の
振幅電圧を前記第1の振幅電圧に制限し、前記テストモ
ード時は非活性化される振幅制限 回路を含む、請求項1
に記載の半導体メモリ装置。2. The first amplifier circuit amplifies a data signal read from a corresponding memory circuit.
A differential for outputting a data signal having the second amplitude voltage
Amplifier and corresponding signal transmission line in normal mode
Limiting the amplitude voltage to the first amplitude voltage;
2. An amplitude limiting circuit , which is deactivated at the time of loading.
Semiconductor memory device according to.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20761293A JP3346845B2 (en) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP20761293A JP3346845B2 (en) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | Semiconductor memory device |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH0765600A JPH0765600A (en) | 1995-03-10 |
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Family Applications (1)
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| JP20761293A Expired - Lifetime JP3346845B2 (en) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | Semiconductor memory device |
Country Status (1)
| Country | Link |
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3331109B2 (en) * | 1996-01-23 | 2002-10-07 | 株式会社アドバンテスト | Semiconductor test equipment comparator |
-
1993
- 1993-08-23 JP JP20761293A patent/JP3346845B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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| JPH0765600A (en) | 1995-03-10 |
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