JP3385976B2 - 有軌道台車用の床構造、床部品、床ユニット及び搬送システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有軌道台車を走行
させるためにクリーンルーム等のグレーチング床にレー
ルを敷設するための有軌道台車用の床構造、床部品、床
ユニット及び搬送システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、クリーンルームでは、底床（コ
ンクリート面等）から所定高さに複数枚のグレーチング
を敷き詰めることで床が形成されている。グレーチング
でできた床は、クリーンルーム内で天井からダウンフロ
ーされる空気流を通気させ、床の裏面側の排気ダクトに
空気流を送り込むことで、クリーンルーム内の清浄化に
寄与する。一方、工場などでは、物品の搬送に無人搬送
車（以下、単に搬送車という）が使用される場合があ
る。搬送車にはレールなどの軌道に沿って走行する有軌
道台車がある。例えばクリーンルームにおける物品の搬
送に有軌道台車を利用すれば、半導体製造工程において
搬送作業の無人化を図ることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】有軌道台車を走行させ
るには、有軌道台車が走行するレールを床面に敷設する
工事が必要となる。しかしながら、クリーンルームの床
は上述のようにグレーチングが敷き詰められて形成され
ているため、グレーチングに切断等の加工や溶接等を伴
なう工事が必要となる。また、レールとグレーチングと
の接合部分の強度が不足するためにレールの支持補強が
必要であったり、レールが床からの突起物となって作業
者の歩行の妨げとならないようにレールを床に埋め込み
状態に敷設したい場合などは、底床からレール専用の支
柱を建てるなど、レールを敷設する工事が大がかりとな
るという問題があった。

【０００４】本発明は前記課題を解決するためになされ
たものであって、その第１目的は、有軌道台車のレール
をグレーチング床に敷設する工事を簡単に済ませられる
有軌道台車用の床構造、床部品、床ユニット及び搬送シ
ステムを提供することにある。また、第２の目的は、有
軌道台車がベルト走行駆動方式である場合、レールの敷
設工事と共にベルトの敷設工をも簡単に済ませることに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るため請求項１に記載の発明では、有軌道台車の走行軌
道をなすレールをグレーチング床に敷設するための有軌
道台車用の床構造であって、グレーチングを支持するた
めに設けられた支柱に直接または間接的に支持させた状
態で、複数のブリッジを前記走行軌道と交差する向きに
多数列架け渡し、該多数列のブリッジ上には、前記レー
ルを構成するレール部品が載置されるとともに、前記ブ
リッジの配列エリアにおける前記レール部品の間隙を埋
めるように複数枚の床板が載置され、前記ブリッジは前
記支柱間に架け渡された状態で前記支柱に直接支持され
ており、前記床板は、前記レールの長手方向において前
記グレーチングの一辺長さの自然数倍の長さを有してい
る。

【０００６】請求項２に記載の発明では、有軌道台車の
走行軌道をなすレールをグレーチング床に敷設するため
の有軌道台車用の床構造であって、グレーチングを支持
するために設けられた支柱に直接または間接的に支持さ
せた状態で、複数のブリッジを前記走行軌道と交差する
向きに多数列架け渡し、該多数列のブリッジ上には、前
記レールを構成するレール部品が載置されるとともに、
前記ブリッジの配列エリアにおける前記レール部品の間
隙を埋めるように複数枚の床板が載置され、前記ブリッ
ジには前記レール部品を位置決めするため係合部が形成
されている。

【０００７】請求項３に記載の発明では、有軌道台車の
走行軌道をなすレールをグレーチング床に敷設するため
の有軌道台車用の床構造であって、グレーチングを支持
するために設けられた支柱に直接または間接的に支持さ
せた状態で、複数のブリッジを前記走行軌道と交差する
向きに多数列架け渡し、該多数列のブリッジ上には、前
記レールを構成するレール部品が載置されるとともに、
前記ブリッジの配列エリアにおける前記レール部品の間
隙を埋めるように複数枚の床板が載置され、前記ブリッ
ジは前記支柱間に架け渡された状態で前記支柱に直接支
持されており、前記床板は、前記レールの長手方向にお
いて前記グレーチングの一辺長さの自然数倍の長さを有
し、前記ブリッジには前記レール部品を位置決めするた
め係合部が形成されている。

【０００８】請求項４に記載の発明では、請求項１〜３
のいずれか一項の発明において、前記レールは前記グレ
ーチングの配列方向に直線状に延びるとともに、前記ブ
リッジの配列エリアの幅方向において幅端部位置と幅等
分割位置のうち少なくともいずれかに位置し、前記床板
は全て同サイズとなっている。請求項５に記載の発明で
は、請求項１〜４のいずれか一項の発明において、前記
有軌道台車は前記レールに沿って張られたベルトを使っ
て走行するベルト走行駆動方式であって、前記レールの
長手方向両側には該ベルトの両端部を位置決めする位置
決め機構が設けられている。

【０００９】請求項６に記載の発明では、請求項５に記
載の有軌道台車のベルトを前記レールに沿って敷設する
ため該レールの長手方向一端側に配置される床部品であ
って、前記ベルトを巻き掛けるための駆動プーリと、該
駆動プーリを回転駆動させるための動力源とが、前記グ
レーチングと同サイズで四隅で前記支柱に支持し得る床
材に組付けられている。

【００１０】請求項７に記載の発明では、請求項５に記
載の有軌道台車のベルトを前記レールに沿って敷設する
ため該レールの長手方向一端側に配置される床部品であ
って、前記ベルトを巻き掛けるための被動プーリが、前
記グレーチングと同サイズで前記支柱に支持し得る床材
に組付けられている。

【００１１】請求項８に記載の発明では、床ユニット
は、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の前記床
構造の構成部品である前記ブリッジ、レール部品及び床
板と、請求項６及び請求項７に記載の前記両床部品とを
備えている。

【００１２】請求項９に記載の発明では、搬送システム
では、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の前記
床構造によって敷設された前記レール上に前記有軌道台
車が走行可能に配備されている。

【００１３】請求項１０に記載の発明では、請求項９の
発明において、搬送システムでは、前記有軌道台車がベ
ルト走行駆動方式で、請求項８に記載の前記床ユニット
を用いてその走行床が敷設されている。

【００１４】請求項１１に記載の発明では、請求項９又
は１０の発明において、搬送システムには、前記有軌道
台車の走行エリアを覆うハウジングと、該ハウジング内
を清浄にするための清浄装置とが設けられている。

【００１５】（作用） 従って、請求項１に記載の発明によれば、複数のブリッ
ジがグレーチング用の支柱に直接または間接的に支持さ
れることで、走行軌道と交差する向きに多数列架け渡さ
れる。レール部品が多数列のブリッジ上に走行軌道を描
くように載置されることでレールが形成される。レール
部品の間隙はブリッジ上に載置された床板によって埋め
られる。また、ブリッジは支柱間に架け渡される。床板
はレールの長手方向においてグレーチングの一辺長さの
自然数倍の長さであるため、両端部でブリッジに支持さ
れる。

【００１６】請求項２に記載の発明によれば、複数のブ
リッジがグレーチング用の支柱に直接または間接的に支
持されることで、走行軌道と交差する向きに多数列架け
渡される。レール部品が多数列のブリッジ上に走行軌道
を描くように載置されることでレールが形成される。レ
ール部品の間隙はブリッジ上に載置された床板によって
埋められる。また、レール部品はブリッジに形成された
係合部と係合することにより、走行軌道を描く正しい位
置に位置決めされる。

【００１７】請求項３に記載の発明によれば、複数のブ
リッジがグレーチング用の支柱に直接または間接的に支
持されることで、走行軌道と交差する向きに多数列架け
渡される。レール部品が多数列のブリッジ上に走行軌道
を描くように載置されることでレールが形成される。レ
ール部品の間隙はブリッジ上に載置された床板によって
埋められる。また、ブリッジは支柱間に架け渡される。
床板はレールの長手方向においてグレーチングの一辺長
さの自然数倍の長さであるため、両端部でブリッジに支
持される。さらに、レール部品はブリッジに形成された
係合部と係合することにより、走行軌道を描く正しい位
置に位置決めされる。

【００１８】請求項４に記載の発明によれば、ブリッジ
の配列エリアはレールが直線状であることからグレーチ
ングの配列方向に延びることになる。レールはその配列
エリアに対し、その幅方向に幅端部位置と幅等分割位置
のうち少なくともいずれかに位置する。このため、全て
同サイズの床板を使用してレールの間隙を埋めることが
可能になる。請求項５に記載の発明によれば、ベルト走
行駆動方式である有軌道台車が走行のために使うベルト
は、レールの長手方向両側に設けられた位置決め機構に
両端部が位置決めされることでレールに沿って張られ
る。

【００１９】請求項６に記載の発明によれば、床部品を
レールの長手方向一端側のエリアに、グレーチングと同
じ要領で床材の四隅にて支柱に組付けることにより、床
材に予め組付けられた駆動プーリとその動力源とがレー
ルの長手方向一端側の所定位置に配置される。

【００２０】請求項７に記載の発明によれば、床部品を
レールの長手方向一端側のエリアに、グレーチングと同
じ要領で床材の四隅にて支柱に組付けることにより、床
材に予め組付けられた被動プーリがレールの長手方向一
端側の所定位置に配置される。

【００２１】請求項８に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項５のいずれか一項に記載のブリッジ、レール部
品及び床板を用いることで、グレーチング用の支柱を利
用してレールが敷設される。ベルト走行駆動方式の有軌
道台車の走行に使うベルトを巻き掛けて回転させるため
に必要なプーリや動力源などの各種部品は、請求項６及
び請求項７に記載の両床部品をレールの長手方向両側に
支柱に支持させた状態で配置することで所定位置に正し
く配置される。

【００２２】請求項９に記載の発明によれば、搬送シス
テムは請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の床構
造によってレールが敷設された走行床と、走行床のレー
ル上に配備された有軌道台車とによって構成される。グ
レーチング床に搬送システムを配備するための工事が簡
単である。

【００２３】請求項１０に記載の発明によれば、有軌道
台車がベルト走行駆動方式である搬送システムをグレー
チング床に配備する場合、その走行床の工事は請求項８
に記載の床ユニットを用いて行われ、レールの敷設工事
およびベルトの敷設工事が簡単である。

【００２４】請求項１１に記載の発明によれば、有軌道
台車は、清浄装置により清浄に保たれたハウジング内の
走行エリアを走行する。よって、この搬送システムで
は、有軌道台車によって搬送される荷が清浄に保たれ
る。

【００２５】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下、本発明
を具体化した第１の実施形態を図１〜図１３に従って説
明する。

【００２６】図１２は、クリーンルームの平面図を示
す。クリーンルーム１の床２は、多数枚のグレーチング
３がほぼ一面に敷き詰められたグレーチング床である。
クリーンルーム１内には半導体製造に使用する各種設備
４，５が床面上に設置されている。２つの設備４，５間
で半導体ウェハ等の荷６を搬送するため、クリーンルー
ム１内には搬送システム７が配備されている。

【００２７】図１３，図１４に示すように、搬送システ
ム７は、有軌道台車としての搬送車８（図１３に図示）
の走行エリア全体を囲う直方体形のハウジング９を備え
る。ハウジング９は側面が透明な板材（例えば透明樹脂
板またはガラス板）で構成され、搬送車８の位置やその
作業状況が外部から見えるようになっている。ハウジン
グ９は複数のハウスユニット１０を長手方向に接続して
構成され、その上部には各ハウスユニット１０毎に配設
された清浄装置としてのファンフィルタユニット１１が
一定間隔毎に複数配置されている。ファンフィルタユニ
ット１１は、ファンによりフィルタ（いずれも図示せ
ず）を通して清浄なエアをハウジング９内に送り込み、
荷６が搬送される走行エリアの清浄度をハウジング９の
外部のクリーンルーム１内の清浄度よりも高く保つ役目
をする。なお、一つのハウスユニット１０の長さはグレ
ーチング３の一辺の長さの二倍となっている。

【００２８】ハウジング９の長手方向中央部付近には走
行エリアを横切るための通路１２が設けられ、通路１２
のドア１３を開くことにより作業者は通路１２を通って
ハウジング９を通り抜けできるようになっている。ハウ
ジング９の長手方向一端部には操作盤１４が設置され、
操作盤１４のパネルを操作することにより搬送車８の運
行制御やその設定を行うことができる。

【００２９】各グレーチング３はコンクリート面１５に
立設された多数本の支柱１６に対して四隅で支持され
（図１１を参照）、床２はコンクリート面１５から所定
高さに形成されている。支柱１６はグレーチング３の四
隅に相当する位置にその一辺の長さにほぼ等しい間隔で
コンクリート面１５の全域に立設されている。

【００３０】図１０に示すように、搬送車８は、走行エ
リア両端位置に配置された各プーリ１７，１８，１９，
２０に巻き掛けられることで走行軌道に沿って張られた
ベルトとしての走行用ベルト（タイミングベルト）２１
の両端部を走行台２２の底部にて固定する。走行用ベル
ト２１は床面側に配設された動力源としての走行用モー
タ２３が駆動されて駆動プーリ１７が回転駆動すること
で回転する。つまり、搬送車８は走行用ベルト２１が正
転または逆転するとその回転方向に応じた所定方向へ軌
道に沿って走行するベルト走行駆動方式を採用する。図
９，図１０に示すように、走行台２２には底部四隅に４
つの走行輪２４が回転可能に設けられ、その底部幅中心
線に沿って前後一対のガイドローラ２５が前後の走行輪
２３に挟まれた位置において回転可能に設けられてい
る。なお、各プーリ１７〜２０により位置決め機構が構
成される。

【００３１】図９，図１１に示すように、走行エリアに
は凹型のガイドレール２６が中央に１本敷設されるとと
もに、２本の走行用レール２７がガイドレール２６の両
側等距離の位置に敷設されている。搬送車８は、４つの
走行輪２４を走行用レール２７に載置するとともに、ガ
イドローラ２５をガイドレール２６の凹部に嵌め込む状
態で走行可能に配備されている。なお、ガイドレール２
６と走行用レール２７によりレールがそれぞれ構成され
る。

【００３２】図１０に示すように、走行用ベルト２１の
高さは、２つのガイドプーリ１８，１９と被動プーリ２
０とに案内されることで位置決めされている。走行用ベ
ルト２１は、上側のガイドプーリ１８と被動プーリ２０
との間に案内された上側部分が、ガイドレール２５の凹
部（図９を参照）に収容された状態で床２とほぼ面一の
高さに配置されている。また、下側のガイドプーリ１９
と被動プーリ２０との間に案内された走行用ベルト２１
の下側部分は床２の裏面側を通っている（図１３を参
照）。

【００３３】図９，図１０に示すように、走行台２２に
は荷受台２８が立設されている。荷受台２８は枠組構造
で上部に荷６を載置する載置台２９が形成されている。
図１３に示すように、ハウジング９内の両端部には走行
エリア内の作業者や異物を検知するセンサ３０が設けら
れているが、荷受台２８が枠組構造であるため、センサ
３０から投光された検知光は荷受台２８の隙間を通って
遮られることがない。

【００３４】この実施形態では、走行エリアの床面構造
に特徴がある。以下、その構造について図１〜図８，図
１１を用いて説明する。図１１に示すように、走行エリ
アの床構造は、走行エリアの部分にグレーチング３の替
わりに床ユニット３１の構成部品を組み付けることで、
グレーチング用に予め用意されている支柱１６を利用し
てレール２６，２７を備えた走行床３２を敷設してい
る。

【００３５】床ユニット３１は、レール２６，２７が敷
設される軌道エリアを組み立てるための部品群と、走行
用ベルト２１の取付けのために軌道エリアの両側に配置
される一組の床部品３３，３４とから構成される。床部
品３３は、走行用モータ２３および駆動プーリ１７等の
必要部品が予めグレーチングと同サイズの床材３５に一
体に組付けられて構成される。また、床部品３４は、被
動プーリ２０が予めグレーチングと同サイズの床材３６
に一体に組付けられて構成される。つまり、各床部品３
３，３４はグレーチング３と同サイズの床材３５，３６
に必要な部品類が予めユニット化されている。一方、軌
道エリアを組み立てるのに使う部品群は、ブリッジ（橋
渡し材）３７、ガイドレール部品３８、走行用レール部
品３９および床板４０を、それぞれ軌道エリアの長さに
応じた必要数備える。なお、ガイドレール部品３８と走
行用レール部品３９によりレール部品がそれぞれ構成さ
れる。

【００３６】本実施形態で使用されるグレーチング３
は、一辺の長さＬが約６０ｃｍの正四角形である。この
ため、コンクリート面１５には支柱１６が約６０ｃｍの
間隔で立設されている。また、支柱１６の上端部には４
本のピン１６ａが上方に突出するように形成されてい
る。本例のグレーチング３はその四隅にあるピン穴（図
示省略）にピン１６ａを嵌挿させることで位置決めさ
れ、表面側からピン１６ａの中心部のネジ穴にボルトを
螺着させることで支柱１６に固定される。

【００３７】まず、軌道エリアの床構造を図１〜図３を
用いて説明する。グレーチング３の一辺とほぼ等しい長
さであるブリッジ３７は、図１，図１１に示すように軌
道エリアにおいてその幅方向で対となる全て支柱１６間
に架け渡され、軌道エリアの長手方向に一定間隔で多数
列配置されている。各ブリッジ３７は走行軌道と交差す
る向き（本例では走行軌道と直角の向き）で配列されて
いる。そして、多数列の各ブリッジ３７に対し、各レー
ル部品３８，３９および床板４０が下面にて支持された
状態で取り付けられている。

【００３８】床板４０はその長手方向（レールの長手方
向）の長さが、グレーチング３の一辺の長さＬの自然数
倍、特に本例は二倍の長さ２Ｌとなるように形成されて
いる。このように長辺をグレーチング３の一辺の自然数
倍の長さｎ・Ｌ（但し、ｎは自然数）とすることで、長
手方向両端部でブリッジ３７に対してネジ等を用いて固
定できる。また、短辺は、３本のレール部品３８，３９
の間隙を埋めるように配置できるように、グレーチング
３の一辺の長さから、３本のレール部品３８，３９の各
幅の合計長を差し引いた値の半分の長さとなっている。

【００３９】各レール部品３８，３９の長さは、グレー
チング３の一辺の長さの自然数倍となっている。本例で
は、各レール部品３８，３９の長さが床板４０の長辺長
さ２Ｌより長く形成され、例えばその二倍の長さ４Ｌに
設定されている。レール部品３８とレール部品３９は長
さが同じでも異なっていてもよい。各レール部品３８，
３９は、組付工事の手間や接続箇所での搬送車８のがた
つきを考慮すると長い方がよいが、その運搬容易性など
も考慮した適宜サイズを選定するのがよい。

【００４０】床板４０には長手方向両端の一部を除くほ
ぼ全域に、多数の円孔４０ａが形成されている。また、
ガイドレール部品３８の凹部底面には長手方向に一定間
隔毎に円孔３８ａが形成されている。床板４０およびガ
イドレール部品３８に形成された各円孔４０ａ，３８ａ
は、ファンフィルタユニット１１からの吹き出しエアを
走行床３２の裏面側へ排気ダクトの吸引力を利用して逃
がすためのものである。また、ガイドレール部品３８の
凹部底面に円孔３８ａがあることからガイドレールの底
面に塵埃が溜まることが回避される。

【００４１】図２，図３は走行床３２の断面図を示す。
ブリッジ３７の両端部にはグレーチング３の四隅に形成
されたものとほぼ同じ構造のピン穴３７ａが２つずつ形
成されている。ブリッジ３７は両端部のピン穴３７ａに
ピン１６ａを突き挿すことで支柱１６に対して位置決め
され、その表面側から各ピン１６ａに対してボルト４１
を螺着することで支柱１６に対して位置決めされた状態
で固定されている。

【００４２】ブリッジ３７の両端部上面には凸部３７ｂ
が形成されており、走行用レール部品３９は裏面凹部に
て凸部３７ｂに嵌合されている。ボルト４１の頭部は凸
部３７ｂにその上面と面一の状態に埋没するため、走行
用レール部品３９は凸部３７ｂの上面全体に当接し、水
平状態に配置される。また、図２に示すように、ブリッ
ジ３７の長手方向中央部には凹部３７ｃが形成されてお
り、この凹部３７ｃにガイドレール部品３８は嵌合され
ている。なお、各レール部品３８，３９は、表面側から
ネジ４２，４３をブリッジ３７に螺着することでブリッ
ジ３７に対して複数箇所で固定されている。また、軌道
エリアの両端に配置されるブリッジ３７はその幅が半分
に形成されている。

【００４３】床板４０は幅方向両側縁部が裏面側へほぼ
直角に屈曲している。床板４０の裏面長手方向両端部に
は円筒形の支持部４０ｂが溶接されており、床板４０は
支持部４０ｂの孔に挿通したネジ４４をブリッジ３７に
螺着することでブリッジ３７に対して固定されている。
また、アルミ製のブリッジ３７は、リブ３７ｄで強度補
強して肉厚を薄くすることで軽量化が図られている。ま
た、ブリッジ３７にはレールの長手方向に貫通する２つ
の孔３７ｅが形成されている。搬送車８を走行制御する
ための各種センサや各種の電気機器に必要な給電線や信
号線（図示せず）は、走行床３２の裏面に配線され、例
えばこれらの孔３７ｅに挿通されることによって支持さ
れる。

【００４４】次に床部品３３，３４の構造を説明する。
まず駆動側の床部品３３について説明する。図４〜図６
に示すように、床材３５は、一辺の長さＬの正四角形状
でグレーチング３と同サイズを有し、四隅にグレーチン
グ３のものと同様のネジ穴（図示せず）を有する。床部
品３３は、床材３５の四隅のピン穴にピン１６ａを挿し
込むように配置し、表面側からボルトＢ（図４に示す）
をピン１６ａに対して螺着することで支柱１６に対して
位置決状態に組付けられる。床材３５には、走行用モー
タ２３、駆動プーリ１７、ガイドプーリ１８，１９およ
びファンフィルタユニット４５等の必要部品が予め一体
に組み付けられている。

【００４５】走行用モータ２３は床材３５の上面に支持
材４６を用いて支持され、その駆動軸に駆動プーリ１７
が連結されている。各プーリ１７〜１９は、ガイドレー
ル２６の幅中心延長線上において各々の各幅中心線が同
一平面内に位置するように配置されている。つまり、床
材３５にはガイドレール２６の凹部と接続されるととも
にその延長上に沿って延びる切欠３５ａが形成され、各
プーリ１７〜１９は切欠３５ａに相当する位置に配置さ
れている。上側のガイドプーリ１８は切欠３５ａの部分
に上方へ延出するように取り付けられた支持部４７に回
転可能に支持され、下側のガイドプーリ１９は切欠３５
ａの部分に下方へ延出するように取り付けられた支持部
４８に切欠３５ａに挿通された状態で回転可能に支持さ
れている。

【００４６】また、床材３５には複数の円孔３５ｂが形
成されるとともに、その上面には２本の支持アーム４９
が取り付けられている。床部品３５にはカバー５０（図
４，図６に図示）が、走行用モータ２３、各プーリ１７
〜１９、ファンフィルタユニット４５および各円孔３５
ｂを覆うように２本の支持アーム４９に支持された状態
で取り付けられる。走行用モータ２３や各プーリ１７〜
１９の摺動部分で発生した塵埃は、カバー５０の外側へ
排出されず、ファンフィルタユニット４５によって床材
３５の下方へ排出されるようになっている。なお、図６
においてガイドプーリ１８は省略されている。

【００４７】次に被動側の床部品３４について説明す
る。図７，図８に示すように、床材３６は、一辺の長さ
Ｌの正四角形状でグレーチング３と同サイズを有し、四
隅にグレーチング３のものと同様のネジ穴（図示せず）
を有する。床部品３４は、床材３６の四隅のピン穴にピ
ン１６ａを挿し込むように配置し、表面側からボルトＢ
（図７に示す）をピン１６ａに対して螺着することで支
柱１６に対して位置決め状態に組付けられる。床材３６
にはガイドレール２６の凹部と接続されるとともにその
延長上に沿って延びる切欠３６ａが形成されるととも
に、その下面周縁部に形成された枠材５１を除く中央部
ほぼ全域に多数の円孔３６ｂが形成されている。

【００４８】床材３６には、切欠３６ａの端部において
下方へ延出する支持部５２が取り付けられ、被動プーリ
２０は切欠３６ａに挿通された状態で支持部５２に回転
可能に支持されている。被動プーリ２０は、上面が駆動
側の床部品３３に設けられたガイドプーリ１８の下面と
ほぼ同じ高さに位置するとともに、下面がガイドプーリ
１９の下面と同じ高さになるように配置されている。従
って、走行用ベルト２１は、軌道エリアにおいてその上
側と下側の各部位が互いに平行に延びるように取り付け
られる。床材３６の上面には被動プーリ２０を覆うカバ
ー５３が取り付けられ、被動プーリ２０の摺動部分で発
生した塵埃は、カバー５３があることで床材３６の下方
のみへ排出される。なお、図７において走行用ベルト２
１は省略されている。

【００４９】搬送システム７を配備するための走行床３
２の床面工事は次のように行われる。走行エリアの部分
に床ユニット３１の構成部品を、支柱１６を利用してグ
レーチング３の替わりに組み付ける。

【００５０】まず軌道エリアに、多数本のブリッジ３７
を走行エリアの幅方向で対になる二本の支柱１６間にそ
れぞれ架け渡し、走行エリアの長手方向に一定距離Ｌ毎
に配置する。各ブリッジ３７はその両端のピン穴３７ａ
に差し込んだピン１６ａに対し、表面側からボルト４１
を螺着することで支柱１６に対して固定される。

【００５１】軌道エリアに距離Ｌ毎に縦列配置された多
数本のブリッジ３７に対し、その幅方向両端の凸部３７
ｂに走行用レール部品３９を嵌合し、軌道エリアの幅方
向両端位置に各走行用レール部品３９を二列に縦列させ
ることで一本に繋げ、二本の走行用レール２７を形成す
る。また、ブロッジ３７の幅方向中央に位置する凹部３
７ｃにガイドレール部品３８を嵌合し、軌道エリアの幅
中央位置に各ガイドレール部品３８を一列に縦列させる
ことで一本に繋げ、一本のガイドレール２６を形成す
る。各レール部品３８，３９はブリッジ３７に対して複
数箇所でネジ４２，４３を用いて固定される。

【００５２】ガイドレール２６の両側には二本の走行用
レール２７との間において間隙が二列形成され、この二
列の間隙のそれぞれに床板４０をその長辺方向が走行エ
リアの長手方向となる縦向きに縦列配置し、二列の間隙
に床板４０を敷き詰める。各床板４０は長手方向両端部
においてネジ４４を用いてブリッジ３７に対して固定さ
れる。こうして走行床３２の軌道エリアの部分が完成す
る。

【００５３】次に走行エリアの両端部、すなわち軌道エ
リアの長手方向両側に床部品３３，３４を組み付ける。
各床部品３３，３４はグレーチング３３と同じ要領で、
その床材３５，３６の四隅に形成されたピン穴にピン１
６ａに挿し込み、さらに表面側からピン１６ａに対して
ボルトＢを螺着することで支柱１６に対して組付けられ
る。床部品３３，３４は予め必要な各種部品が床材３
５，３６に一体に組付けられて構成されるので、床材３
５，３６を支柱１６に組付ける作業だけでよい。以上で
走行床３２の組付作業は完了する。

【００５４】走行床３２に走行用ベルト２１を取り付け
る工事は、ガイドレール２６の片側に配列された一列分
の床板４０を取り外した状態で行う。また、搬送車８に
走行用ベルト２１を固定する作業は床板４０の一部を取
り外した状態で行う。さらに給電線や信号線等の電線を
走行床３２の裏面側に配線する工事は、一列分の床板４
０を取り外した状態で行われ、電線はブリッジ３７の孔
３７ｅに挿通されてブリッジ３７に支持された状態に配
線される。

【００５５】また、搬送車８のメンテナンスのため床裏
面に配線された電線等を調べたり、走行用ベルト２１の
交換などのため、走行床３２の取り外しが必要な場合
は、ガイドレール２６の片側一列の床板４０を必要枚数
取り外せばよい。このとき、床板４０がグレーチング３
の一辺の長さの二倍の長さ２Ｌであることから、グレー
チング３を取り外す場合に比べ、その取り外し枚数が少
なくて済む。また、床板４０はレール部品３８，３９と
別部材であって比較的軽量であるため、床板４０の取り
外し作業も軽労働で済む。

【００５６】以上詳述したように本実施形態によれば、
以下に示す効果を得る。 （１）床ユニット３１の構成部品をグレーチング用の支
柱１６に組み付けることでレール２６，２７を敷設する
床構造であるので、搬送車８を走行させるためのガイド
レール２６や走行用レール２７を床２に敷設する工事を
簡単にすることができる。

【００５７】（２）グレーチング用の支柱１６間に走行
軌道と交差する向きにブリッジ３７を多数列架け渡し、
多数列のブリッジ３７によってレール部品３８，３９お
よび床板４０を下から受ける支持構造であるので、レー
ル部品３８，３９や床板４０を上からの荷重に対して強
い支持強度で組み付けることができる。

【００５８】（３）ブリッジ３７にはレール部品３８，
３９の組付位置に凸部３７ｂや凹部３７ｃが形成されて
いるので、レール部品３８，３９を凸部３７ｂや凹部３
７ｃに嵌め込むだけの簡単な作業で、走行軌道に合った
正確な位置に位置決めできる。

【００５９】（４）床板４０の長辺長さをグレーチング
３の一辺の長さＬの自然数倍としたので、床板４０の両
端部をブリッジ３７にて支持させることができる。すな
わち、隣合う床板４０の接続箇所にブリッジ３７が配置
されることになり、走行床３２の上からの荷重に対する
強度をより高くすることができる。特に本例では床材４
０の長辺長さをグレーチング３の一辺の長さの２倍とし
たので、床板４０の配設枚数が相対的に少なく済み、そ
の取付作業あるいは取外作業を簡単にすることができ
る。

【００６０】（５）走行床３２のエリアをグレーチング
３の一列分のエリアに設定し、支柱１６の間隔に相当す
るそのエリア幅の中央にガイドレール２６を配置すると
ともに、そのエリア幅の両端位置に二本の走行用レール
２７を配置した。このため、そのエリアにおいてガイド
レール２６の両側にできる間隙の幅が等しくなり、床板
４０を全て同サイズの一部品で済ますことができる。従
って、床板４０を取り付けるときに部品の確認をいちい
ちしなくて済み作業がし易いうえ、単一部品であること
から床板４０の製造コストを安価に抑えることができ
る。

【００６１】（６）床板４０をガイドレール２６の両側
に２列で配列したので、走行床３２の裏面側に配線され
た電線等のメンテナンス作業や、走行用ベルト２１の交
換作業のときなど、走行床３２を取り外す必要があると
きは、ガイドレール２６の片側一列分の床板４０を必要
枚数取り外すだけでよい。また、床板４０はレール部品
３８，３９と別部品であって比較的軽量であるため、グ
レーチング３に比べその取り外し作業にあまり労力を要
しない。

【００６２】（７）レール部品３８，３９の長さを、グ
レーチング３の一辺の長さの自然数倍で、しかも床板４
０の長辺長さよりも長くしたので、レール２６，２７に
おけるレール部品３８，３９の接続箇所が少なくて済
み、レール部品３８，３９の接続箇所での搬送車８のが
たつきをなるべく減らすことができる。

【００６３】（８）走行用ベルト２１をガイドレール２
６に沿って敷設するのに必要な各種部品を予め床材と共
にユニット化した床部品３３，３４を用意した。すなわ
ち、走行用モータ２３および駆動プーリ１７を予め床材
３５に組み付けた床部品３３と、被動プーリ２０を予め
床材３６に組み付けた床部品３４とを床ユニット３１の
構成部品として用意した。よって、現場で走行床３２を
組み立てる工事の作業を簡単にすることができる。

【００６４】（９）搬送車８を走行エリアごとハウジン
グ９で覆うとともに、ハウジング９にその内部の清浄度
をクリーンルーム１の清浄度よりさらに高めるためのフ
ァンフィルタユニット１１を設けた構成としたので、搬
送車８によって搬送する半導体ウェハ等の荷６をできる
だけ清浄な状態で搬送することができる。このため、製
造される半導体ウェハ等の歩留まりが向上する。

【００６５】（１０）搬送車８がベルト走行駆動方式な
ので、搬送車８から離れた場所に走行用モータ２３等の
走行駆動系の部品が配置され、これらの部品の摺動部分
から発生する塵埃による荷６の汚染の心配を減らすこと
ができる。

【００６６】（１１）ハウジング９に作業者が通り抜け
できる通路１２を設けているので、搬送車８の走行エリ
アをハウジング９で覆った構造としても作業者の通行の
妨げになり難い。

【００６７】（１２）搬送車８の荷受台２８を走行エリ
アの両端位置に取付けたセンサ３０の検知光を通す間隙
が確保される枠組構造としているので、作業者が走行エ
リア内に入ったことを効率のよい検知エリアで検知する
ことができる。

【００６８】（１３）床板４０にはほぼ全面に多数の円
孔４０ａを形成し、さらにガイドレール部品３８の凹部
底面に円孔３８ａを形成したので、天井からダウンフロ
ーされる空気流を床面であまり乱さず裏面側に通気させ
ることができる。また、搬送車８が走行時に走行輪２４
やガイドローラ２５がレール２６，２７と接触すること
による発塵を、空気流とともに走行床３２の裏面側の排
気ダクトへ円滑に逃がすことができる。また、ガイドレ
ール部品３８が凹部形を有するがその凹部に塵埃が溜ま
り難い。よって、走行エリアの清浄化を図ることができ
る。

【００６９】（第２の実施形態）以下、本発明を具体化
した第２の実施形態を図１０，図１１に従って説明す
る。前記第１の実施形態では、床面側に設置されていた
走行用モータを駆動して走行用ベルトを回転駆動させる
ことにより搬送車を走行させる方式であった。これにに
対し、本実施形態では走行用モータが搬送車側に装備さ
れ、該走行用モータによって回転駆動される駆動プーリ
に床面側に張られた走行用ベルトが巻き掛けられている
走行方式を採る。前記第１の実施形態と同一の構成につ
いては同じ符号を付してその説明を省略する。

【００７０】搬送車８の走行台２２に配設された走行用
モータ６１の駆動軸には駆動プーリ６２が取付けられて
いる。駆動プーリ６２には走行用ベルト２１が２個のガ
イドプーリ６３に案内された状態で巻き掛けられてい
る。走行用ベルト２１は、レールの長手方向両側におい
てその両端部が床面に対して固定されている。搬送車８
の４つの走行輪２４は２本の走行用レール２７に転動可
能に載置され、走行台２２の底部中央に設けられた案内
輪６４はガイドレール２６の凹部に入り込んだ状態にあ
る。走行用モータ６１が駆動されることにより、搬送車
８は走行用ベルト２１との係合位置をずらしながらレー
ル２６，２７に沿って走行する。

【００７１】この実施形態では、軌道エリアにおける床
構造は前記第１の実施形態と同様である。すなわち、ブ
リッジ３７、レール部品３８，３９および床板４０によ
って図１に示すように構成される。軌道エリアの両側に
配置される床部品６５，６６には、走行用ベルト２１の
両端部を固定するための機構が予め組み付けられてい
る。

【００７２】床部品６５は、グレーチング３と同サイズ
でかつグレーチング３と同様に支柱１６のピン１６ａを
挿し込み可能なピン穴（図示せず）を四隅を有する床材
６７を備え、床材６７に走行用ベルト２１の一端部を固
定する固定部材６８が組み付けられている。また、床部
品６６は、グレーチング３と同サイズでかつグレーチン
グ３と同様に支柱１６のピン１６ａを挿し込み可能なピ
ン穴（図製せず）を四隅を有する床材６９を備え、床材
６９に走行用ベルト２１の一端部を固定するとともにそ
の張力を調節するための張力調節装置７０が組み付けら
れている。なお、各床材６７，６９には多数の円孔６９
ａ（床材６９についてのみ図１５に図示）が液製されて
いる。

【００７３】図１５に示すように、床部品６６の張力調
節装置７０は、走行用ベルト２１の一端部を固定すると
ともにその端部部位を巻き付け可能なドラム７１と、ド
ラム７１の回転を走行用ベルト２１の巻取方向に許容
し、かつその繰出方向に規制するラチェット機構７２と
を備える。ラチェット機構７２は、ドラム７１と一体回
転可能なラチェット歯車７３と、該ラチェット歯車７３
と係止する係止爪７４とを有する。ドラム７１の回転軸
７５は支持台７６に支持され、回転軸７５の端部には操
作レバー７７が係合可能となっている。

【００７４】支持台７６は床材６９の上面に複数箇所で
ボルト（図示せず）で固定されるとともに、ボルトを緩
めた状態でそれらが挿通されている長孔（図示せず）に
よって床材６９に対してレールの長手方向にスライド可
能となっている。支持台７６には床材６９に固定された
支持部６９ｂに挿通された調節用ボルト７８が螺着され
ており、ボルトを緩めた状態で調節用ボルト７８を回転
操作して支持台７６をスライドさせることで走行用ベル
ト２１の張力の微調整が可能となっている。

【００７５】走行用ベルト２１の張力を調節するとき
は、ボルトを緩めた状態とし、回転軸７５に係合させた
操作レバー７７を操作してドラム７１を回転させ、走行
用ベルト２１に張力を付与する。このとき走行用ベルト
２１はラチェット歯車７３の歯のピッチのレベルで粗調
節される。次に、調節用ボルト７８を回転操作してドラ
ム７１の位置を微調整し、走行用ベルト２１の張力の微
調整を行う。なお、この実施形態では、ブリッジ３７、
レール部品３８，３９、床板４０および床部品６５，６
６によって、床ユニット３１が構成される。

【００７６】以上、この実施形態によれば、前記第１の
実施形態と同様の効果が得られる。その他、以下の効果
が得られる。 （１４）張力調節装置７０が床材６９に一体化された床
部品６６を用意したので、走行用ベルト２１の張力調節
のための機構をグレーチング３に組付ける面倒な作業を
不要にできる。従って、現場で走行床を敷設する工事の
手間をなるべく省くことができる。

【００７７】なお、上記実施形態に限定されるものでは
なく、例えば次のような形態で実施することができる。 ○ レールは直線状に限定されない。曲線状のレールを
敷設する構成を採用することもできる。例えば曲線軌道
のエリアに相当する部分のグレーチング３を取り外して
走行エリアとし、この走行エリアに複数本のブリッジ３
７を曲線軌道と交差する向きとなるように支柱１６間に
多数列架け渡す。ブリッジ３７にはレール部品を嵌め込
んだときにレールが軌道の曲線を描くように、係合部と
しての凹部や凸部をその位置や形状を考慮して形成す
る。床板はレール部品の曲線形状に合わせてその間隙を
埋めることができる形状に形成する。このような構成を
採れば、曲線軌道であっても支柱１６を利用して簡単な
工事でレールを敷設することができる。

【００７８】○ 床構造の対象となる有軌道台車はベル
ト走行駆動方式のものに限定されない。車体に配設され
た走行用モータによって走行輪を駆動させて走行する通
常の走行方式の搬送車をクリーンルームに走行させるた
め、走行床構造を採用してもよい。この場合、床部品３
３，３４，６５，６６は不要で、床ユニットはブリッジ
３７、レール部品３８，３９および床板４０から構成さ
れる。

【００７９】○ ブリッジ３７は全ての支柱１６間に必
ずしも配置する必要はなく、その間隔が支柱１６の１つ
おき毎でもよいし、またブリッジ３７を所々歯抜けで配
列してもよい。

【００８０】○ ブリッジの配置の仕方は支柱を直接利
用する方法ではなく、支柱間にレールと平行な向きで架
け渡した二本の支持用ブリッジに対し、走行軌道と交差
する向きに配置するブリッジを架け渡す構成を採ること
もできる。この構成によれば、ブリッジの間隔を支柱の
間より短いピッチとすることができる。よって、床板の
強度が多少弱くてもその下面から短い間隔でより多くの
ブリッジにより受けられるので、必要な床強度が確保さ
れる。また、この構成であれば、床板のレール長手方向
長さはその両端部がブリッジの上面に位置し得るのであ
ればよく、必ずしもグレーチング３の一辺の長さの自然
数倍である必要はない。

【００８１】○ レールの本数は三本に限定されない。
ガイドレールが一本あるだけの構成であってもよい。こ
の場合、走行輪はグレーチングまたは床板の上面を転動
することになる。例えば床板の上面を走行輪が転動する
場合、その領域に円孔を形成しなければ搬送車のがたつ
きの心配はない。また、走行用レールが二本あるだけの
構成であってもよい。例えば磁気テープや色テープが軌
道に沿って張り付けてあり、磁気や反射光によって軌道
を検知しながら走行する誘導式の有軌道台車であれば、
走行用レールだけの構成も成り立つ。例えば走行用レー
ルが二本だけの場合、床板の幅を各レールの間隔にほぼ
等しい幅とすればよい。また、レールをブリッジの幅内
の中寄りに位置させる場合でも幅中央位置に限定されな
い。この場合、床板を幅の異なる二部品用意する必要が
あるものの、レールの両側の間隙を床板によって埋める
ことはできる。

【００８２】○ 走行エリア（ブリッジの配列エリア）
の幅は、グレーチング３の一枚分の幅に限定されない。
有軌道台車（搬送車）の左右の走行輪の間隔幅とグレー
チングの一辺長さとの関係から、走行エリアがグレーチ
ングの複数枚分の幅であってもよい。例えば複数本のレ
ールをグレーチングの一列分のエリアに一本ずつ敷設し
てもよい。また、このような構成の場合、床板の幅（走
行軌道と交差する方向の辺の長さ）がグレーチング３の
一辺の長さより長くても構わない。

【００８３】○ ベルト走行駆動式の有軌道台車用の床
構造において、床部品３３，３４，６５，６６を用い
ず、ブリッジ３７、レール部品３８，３９および床板４
０を使用して走行床の軌道エリアを敷設するのみとし、
走行用ベルトを取り付けるために必要なプーリや走行用
モータを、グレーチング３に対して組付用のブラケット
等を用いて直接組み付ける構成を採用してもよい。

【００８４】○ クリーンルーム以外のグレーチング床
に有軌道台車（搬送車）を配備するため、床ユニットを
使用してもよい。ベルト走行駆動方式でない有軌道台車
については、床部品を除いた部品で床ユニットを構成す
る。

【００８５】○ 支柱のピンに挿し込むだけでネジやボ
ルトでグレーチングを固定はしないグレーチング床にお
いて、前記各実施形態の床構造を実施してもよい。この
場合、ブリッジはグレーチングと同じ組付け要領で支柱
のピンに挿し込まれて支持されるのみであるが、位置決
めされた状態で支持されるので問題はない。

【００８６】前記各実施形態から把握され、特許請求の
範囲に記載されていない技術的思想（発明）を、その効
果とともに以下に記載する。 （１）請求項１において、前記床板の前記レールの長手
方向における長さは、前記グレーチングの一辺の長さの
二以上の自然数倍である。この構成によれば、床板の枚
数が相対的に少なくて済み、組付作業の手間が減る。

【００８７】（２）請求項４において、前記レールは前
記ブリッジの配列エリアの幅中央に位置し、前記床板は
当該レールの両側に二列で配列されている。この構成に
よれば、床板を全て同サイズにでき、部品の単一化によ
ってその組付作業が簡単になる。また、床の裏側の配線
等をメンテナンスなどするときはレールの片側に位置す
る床板だけを取り外せばよい。

【００８８】（３）請求項４において、前記ブリッジの
配列エリアの幅中央にガイドレールが位置し、該配列エ
リアの幅両端部位置に二本の走行用レールが位置し、前
記床板は前記ガイドレールの両側に二列で配列されてい
る。この構成によっても前記（２）と同様の効果が得ら
れる。

【００８９】（４）請求項５、９〜１１のいずれかにお
いて、前記ベルトは前記ガイドレールの凹部に収容さ
れ、床面に対してほぼ面一の高さ以下の高さに配置され
ている。この構成によれば、ベルトが床面からの突起物
とならないので、作業者がベルトに足を引っ掛ける心配
がない。

【００９０】（５）請求項１〜１１のいずれかにおい
て、前記ブリッジには走行軌道方向に貫通する孔が形成
されている。この構成によれば、有軌道台車を走行制御
等するために必要な給電線や信号線などの電線を床裏面
側に配線する場合、電線をブリッジの孔に挿通させるこ
とによって支持できる。

【００９１】（６）請求項１〜５，８〜１１のいずれか
において、前記床板には多数の通気孔が形成されてい
る。この構成によれば、クリーンルーム内において天井
からダウンフローされる空気流を床面で乱さずその裏面
側に通すことができる。なお、円孔４０ａにより通気孔
が構成される。

【００９２】（７）前記（６）において、前記ガイドレ
ールの凹部底面には孔が形成されている。この構成によ
れば、ガイドレールの凹部に塵埃が溜まり難い。なお、
円孔３８ａにより孔が構成される。

【００９３】（８）請求項１１において、前記ハウジン
グには前記走行エリアを横切るための通路が設けられて
いる。この構成によれば、ハウジングが設けられていて
も、通路によって通り抜けできるので、ハウジングが邪
魔にならない。

【００９４】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１〜５、８〜
１１に記載の発明によれば、走行軌道と交差する向きで
グレーチング用の支柱に直接または間接的に架け渡した
ブリッジの列にレール部品および床板を載置する床構造
を採ったので、グレーチング床にレールを簡単に敷設す
ることができる。

【００９５】請求項１、３、９に記載の発明によれば、
床板はレールの長手方向においてグレーチングの一辺長
さの自然数倍の長さであるため、ブリッジを支柱間に直
接架け渡す構造とした場合、ブリッジにて床材の両端部
をしっかり支持できる。

【００９６】請求項２、３、９に記載の発明によれば、
レール部品をブリッジに形成された係合部と係合させる
だけで走行軌道を描く正しい位置に位置決めできる。よ
って、レール部品の組付作業を簡単にすることができ
る。

【００９７】請求項４、９に記載の発明によれば、直線
レールである場合、ブリッジの配列エリアにおいてその
幅方向における幅端部位置と幅等分割位置のうちいずれ
かに位置にレールが敷設されるので、全て同サイズの床
板を使用でき、床板部品の単一化により工事の簡素化を
図ることができる。

【００９８】請求項５、９に記載の発明によれば、ベル
ト走行駆動方式である有軌道台車が走行のために使うベ
ルトは、レールの長手方向両側に設けられた位置決め機
構に両端部が位置決めされることでレールに沿って張ら
れる。

【００９９】請求項６に記載の発明によれば、床部品を
グレーチングと同じ要領で支柱に組付けるだけで、有軌
道台車がベルト走行駆動方式である場合に必要な駆動プ
ーリとその動力源を簡単に組付けできる。

【０１００】請求項７に記載の発明によれば、床部品を
グレーチングと同じ要領で支柱に組付けるだけで、有軌
道台車がベルト走行駆動方式である場合に必要な被動プ
ーリを簡単に組付けできる。

【０１０１】請求項８、１０に記載の発明によれば、有
軌道台車がベルト走行駆動方式である場合、走行床の工
事は床ユニットを用いて行われ、レールの敷設工事およ
びベルトの敷設工事が簡単になり、搬送システムをグレ
ーチング床に配備する工事を簡単にすることができる。

【０１０２】請求項１１に記載の発明によれば、有軌道
台車は、清浄装置により清浄に保たれたハウジング内の
走行エリアを走行するので、有軌道台車によって搬送さ
れる荷を清浄に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態における走行床の部分平面図。

【図２】同じく正断面図。

【図３】同じく要部正断面図。

【図４】駆動側の床部品の平面図。

【図５】同じく側断面図。

【図６】同じく背面図。

【図７】被動側の床部品の平面図。

【図８】同じく側断面図。

【図９】搬送車の正面図。

【図１０】搬送車の側面図。

【図１１】走行床を示す平面図。

【図１２】クリーンルームの平面図。

【図１３】搬送システムの側面図。

【図１４】第２実施形態における搬送車の側面図。

【図１５】床部品の平面図。

【符号の説明】

１…クリーンルーム、２…グレーチング床としての床、
３…グレーチング、７…搬送システム、８…有軌道台車
としての搬送車、９…ハウジング、１１…清浄装置とし
てのファンフィルタユニット、１６…支柱、１７…位置
決め機構を構成する駆動プーリ、１８，１９…位置決め
機構を構成するガイドプーリ、２０…位置決め機構を構
成する被動プーリ、２１…ベルトとしての走行用ベル
ト、２３…動力源としての走行用モータ、２４…走行
輪、２５…ガイドローラ、２６…レールとしてのガイド
レール、２７…レールとしての走行用レール、３１…床
ユニット、３２…走行床、３３…床部品、３４…床部
品、３５…床材、３６…床材、３７…ブリッジ、３７ｂ
…係合部としての凸部、３７ｃ…係合部としての凹部、
３８…レール部品としてのガイドレール部品、３９…レ
ール部品としての走行用レール部品、４０…床板、６
５，６６…床部品、６７，６９…床材、６８…固定部
材、７０…張力調節装置。

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 有軌道台車の走行軌道をなすレールをグ
   レーチング床に敷設するための有軌道台車用の床構造で
   あって、 グレーチングを支持するために設けられた支柱に直接ま
   たは間接的に支持させた状態で、複数のブリッジを前記
   走行軌道と交差する向きに多数列架け渡し、該多数列の
   ブリッジ上には、前記レールを構成するレール部品が載
   置されるとともに、前記ブリッジの配列エリアにおける
   前記レール部品の間隙を埋めるように複数枚の床板が載
   置され、 前記ブリッジは前記支柱間に架け渡された状態で前記支
   柱に直接支持されており、前記床板は、前記レールの長
   手方向において前記グレーチングの一辺長さの自然数倍
   の長さを有し ている有軌道台車用の床構造。
2. 【請求項２】 有軌道台車の走行軌道をなすレールをグ
   レーチング床に敷設するための有軌道台車用の床構造で
   あって、 グレーチングを支持するために設けられた支柱に直接ま
   たは間接的に支持させた状態で、複数のブリッジを前記
   走行軌道と交差する向きに多数列架け渡し、該多数列の
   ブリッジ上には、前記レールを構成するレール部品が載
   置されるとともに、前記ブリッジの配列エリアにおける
   前記レール部品の間隙を埋めるように複数枚の床板が載
   置され、 前記ブリッジには前記レール部品を位置決めするため係
   合部が形成されている 有軌道台車用の床構造。
3. 【請求項３】 有軌道台車の走行軌道をなすレールをグ
   レーチング床に敷設するための有軌道台車用の床構造で
   あって、 グレーチングを支持するために設けられた支柱に直接ま
   たは間接的に支持させた状態で、複数のブリッジを前記
   走行軌道と交差する向きに多数列架け渡し、該多数列の
   ブリッジ上には、前記レールを構成するレール部品が載
   置されるとともに、前記ブリッジの配列エリアにおける
   前記レール部品の間隙を埋めるように複数枚の床板が載
   置され、 前記ブリッジは前記支柱間に架け渡された状態で前記支
   柱に直接支持されており、前記床板は、前記レールの長
   手方向において前記グレーチングの一辺長さの自然数倍
   の長さを有し、 前記ブリッジには前記レール部品を位置決めするため係
   合部が形成されている 有軌道台車用の床構造。
4. 【請求項４】 前記レールは前記グレーチングの配列方
   向に直線状に延びるとともに、前記ブリッジの配列エリ
   アの幅方向において幅端部位置と幅等分割位置のうち少
   なくともいずれかに位置し、前記床板は全て同サイズと
   なっている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の
   有軌道台車用の床構造。
5. 【請求項５】 前記有軌道台車は前記レールに沿って張
   られたベルトを使って走行するベルト走行駆動方式であ
   って、前記レールの長手方向両側には該ベルトの両端部
   を位置決めする位置決め機構が設けられている請求項１
   〜請求項４のいずれか一項に記載の有軌道台車用の床構
   造。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の有軌道台車のベルトを
   前記レールに沿って敷設するため該レールの長手方向一
   端側に配置される床部品であって、 前記ベルトを巻き掛けるための駆動プーリと、該駆動プ
   ーリを回転駆動させるための動力源とが、前記グレーチ
   ングと同サイズで四隅で前記支柱に支持し得る床材に組
   付けられている床部品。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の有軌道台車のベルトを
   前記レールに沿って敷設するため該レールの長手方向一
   端側に配置される床部品であって、 前記ベルトを巻き掛けるための被動プーリが、前記グレ
   ーチングと同サイズで前記支柱に支持し得る床材に組付
   けられている床部品。
8. 【請求項８】 請求項１〜請求項５のいずれか一項に記
   載の前記床構造の構成部品である前記ブリッジ、レール
   部品及び床板と、請求項６及び請求項７に記載の前記両
   床部品とを備えた床ユニット。
9. 【請求項９】 請求項１〜請求項５のいずれか一項に記
   載の前記床構造によって敷設された前記レール上に前記
   有軌道台車が走行可能に配備されている搬送システム。
10. 【請求項１０】 前記有軌道台車はベルト走行駆動方式
    で、請求項８に記載の前記床ユニットを用いてその走行
    床が敷設されている請求項９に記載の搬送システム。
11. 【請求項１１】 前記有軌道台車の走行エリアを覆うハ
    ウジングと、該ハウジング内を清浄にするための清浄装
    置とが設けられている請求項９又は請求項１０に記載の
    搬送システム。