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JP3393226B2 - Method and apparatus for forming phosphor layer on back panel of plasma display panel - Google Patents
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JP3393226B2 - Method and apparatus for forming phosphor layer on back panel of plasma display panel - Google Patents

Method and apparatus for forming phosphor layer on back panel of plasma display panel

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JP3393226B2
JP3393226B2 JP28057498A JP28057498A JP3393226B2 JP 3393226 B2 JP3393226 B2 JP 3393226B2 JP 28057498 A JP28057498 A JP 28057498A JP 28057498 A JP28057498 A JP 28057498A JP 3393226 B2 JP3393226 B2 JP 3393226B2
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phosphor
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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、画像表示装置とし
てのプラズマ・ディスプレイ・パネルの構成ユニットで
あるプラズマ・ディスプレイ・パネル背面板を効率的に
生産可能なプラズマ・ディスプレイ・パネル背面板の蛍
光体層形成方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a phosphor for a plasma display panel back plate, which can efficiently produce a plasma display panel back plate which is a constituent unit of a plasma display panel as an image display device. The present invention relates to a layer forming method and apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマ・ディスプレイ・パネル(PD
P)は、CRTに比べ大型、薄型、軽量で、かつ高精細
な画像表示が可能であることから、フラット・パネル・
ディスプレイ(FPD)の中でも次世代を担うディスプ
レイとして注目されている。
2. Description of the Related Art Plasma display panels (PD
P) is a flat panel, because it is larger, thinner, lighter, and capable of displaying high-definition images than CRTs.
Among displays (FPD), it has been attracting attention as a display for the next generation.

【0003】PDPの構成ユニットは前面板と背面板の
2つに大別でき、図6のAC型カラーPDPのセル構造
図において、1は前面板、10は背面板である。前面板
1は、前面ガラス板2の背後に共通電極3及び走査電極
4を挟んで誘電体層5及び保護層6を設けたものであ
る。背面板10は、背面ガラス基板11の前側にアドレ
ス電極12及び誘電体層13を設け、さらに各アドレス
電極12間を仕切るようにリブ(隔壁)14が誘電体層
13の前面に形成されている。リブ14間のセル15に
はR蛍光体層(赤用蛍光体層)20R、G蛍光体層(緑
用蛍光体層)20G、B蛍光体層(青用蛍光体層)20
Bが設けられている。なお、リブ14の頭頂部は保護層
6に接触している。
The constituent units of the PDP can be roughly classified into a front plate and a rear plate. In the cell structure diagram of the AC type color PDP of FIG. 6, 1 is a front plate and 10 is a rear plate. The front plate 1 is provided with a dielectric layer 5 and a protective layer 6 behind a front glass plate 2 with a common electrode 3 and a scanning electrode 4 interposed therebetween. The rear plate 10 has address electrodes 12 and a dielectric layer 13 on the front side of a rear glass substrate 11, and ribs (partitions) 14 are formed on the front surface of the dielectric layer 13 so as to partition the address electrodes 12. . In the cells 15 between the ribs 14, R phosphor layer (red phosphor layer) 20R, G phosphor layer (green phosphor layer) 20G, B phosphor layer (blue phosphor layer) 20R are provided.
B is provided. The top of the rib 14 is in contact with the protective layer 6.

【0004】製造プロセスは、半導体製造技術で用いら
れている、薄膜技術やフォトリソグラフィ技術を主に使
って製造される前面板と、薄膜・フォトリソグラフィ技
術に厚膜技術を組み合わせて製造される背面板に分類で
きる。
The manufacturing process includes a front plate used mainly in thin film technology and photolithography technology used in semiconductor manufacturing technology, and a back plate manufactured by combining thin film / photolithography technology with thick film technology. It can be classified as a face plate.

【0005】PDPの表示品質を大きく左右するのが蛍
光体層形成プロセスである。PDPの表示エリア全体の
色ムラを少なく、かつ輝度向上を図るためには、蛍光体
材質自体の発光効率改善は無論のこと、リブ間の空間
(つまりセル)に蛍光体層を均一に形成可能なプロセス
が重要である。背面板のセル内に蛍光体層を形成するた
めの方法は、主にスクリーン印刷法が用いられている
が、PDPの更なる大型化、パターンの高精細化が図ら
れている状況にあって、要求精度や蛍光体層断面形状に
適応するのが、特に難しくなってきているのが現状であ
る。
It is the phosphor layer forming process that greatly affects the display quality of the PDP. In order to reduce the color unevenness of the entire display area of the PDP and to improve the brightness, it is of course necessary to improve the luminous efficiency of the phosphor material itself, and the phosphor layer can be uniformly formed in the spaces (that is, cells) between the ribs. Proper process is important. A screen printing method is mainly used as a method for forming the phosphor layer in the cells of the back plate, but in a situation where the PDP is further increased in size and the pattern is made finer. At present, it is becoming particularly difficult to adapt to the required accuracy and the cross-sectional shape of the phosphor layer.

【0006】従来のスクリーン印刷法による蛍光体層形
成方法の模式図を図7に示す(但し、R蛍光体層20R
を形成する場合を例示してある。)。図中、60はスク
リーン(メタルマスク)でスクリーン(メタルマスク)
開口部61が形成してある。62はスクリーンを張った
スクリーン枠、63はスキージである。
A schematic diagram of a conventional phosphor layer forming method by screen printing is shown in FIG. 7 (where R phosphor layer 20R is used).
The case of forming is illustrated. ). In the figure, 60 is a screen (metal mask), which is a screen (metal mask).
An opening 61 is formed. 62 is a screen frame with a screen, and 63 is a squeegee.

【0007】図7(A)はスキージ63に印圧を加える
前の状態であり、背面ガラス基板11に形成されたリブ
14とスクリーン60間にスクリーンクリアランスTが
設けられている。それから、同図(B)の如くスキージ
63に印圧を加えてスキージ63を押し込み、スクリー
ン60上を移動させることで、スクリーン(メタルマス
ク)開口部61から、固化してR蛍光体層となるべき蛍
光体ペースト21Rをスキージングによって押し出し、
背面ガラス基板11に形成されたリブ14間のセル15
の凹部に転写することで同図(C)のようにR蛍光体層
20Rをセル15内に形成する。
FIG. 7A shows a state before the printing pressure is applied to the squeegee 63, and a screen clearance T is provided between the rib 14 formed on the rear glass substrate 11 and the screen 60. Then, as shown in FIG. 7B, by applying a printing pressure to the squeegee 63 and pushing the squeegee 63 and moving the squeegee 63 over the screen 60, the squeegee 63 is solidified from the screen (metal mask) opening 61 to become the R phosphor layer. Push out the phosphor paste 21R to be used by squeezing,
Cells 15 between ribs 14 formed on the rear glass substrate 11.
Then, the R phosphor layer 20R is formed in the cell 15 as shown in FIG.

【0008】図7はR蛍光体層20Rを形成する場合を
例示したが、カラーPDPの場合、R(Red;赤)・
G(Green;緑)・B(Blue;青)用として、
それぞれ専用の蛍光体ペーストを用いて印刷転写形成す
る。
FIG. 7 exemplifies the case where the R phosphor layer 20R is formed. In the case of a color PDP, R (Red; red).
For G (Green; green) and B (Blue; blue),
Print transfer formation is performed using a dedicated phosphor paste.

【0009】スクリーン印刷法による3色のRGB蛍光
体層形成工程の説明図を図8に示す。図中、11は背面
ガラス基板、14はリブ、15はセル、60はスクリー
ン、61はスクリーン開口部、62はスクリーン枠、6
3はスキージである。
FIG. 8 shows an explanatory diagram of a process for forming three color RGB phosphor layers by the screen printing method. In the figure, 11 is a rear glass substrate, 14 is a rib, 15 is a cell, 60 is a screen, 61 is a screen opening, 62 is a screen frame, 6
3 is a squeegee.

【0010】図8のR蛍光体層スクリーン印刷形成工程
#11では、まずR用蛍光体ペースト印刷#11−1を
実行し、同図(A)でスキージ63に印圧を加えて押し
込み、スキージングすることで、同図(B)のようにR
用セルにそれぞれR用蛍光体ペースト21Rを転写して
R蛍光体層20Rを形成する。そして、乾燥・焼成#1
1−2でR用蛍光体ペーストの転写によるR蛍光体層2
0Rの乾燥・焼成を行い、R蛍光体層完成#11−3と
なる。
In the R phosphor layer screen printing forming step # 11 of FIG. 8, first, R phosphor paste printing # 11-1 is executed, and in FIG. As shown in FIG.
The R phosphor paste 21R is transferred to each of the cells for forming the R phosphor layer 20R. And drying and baking # 1
1-2, R phosphor layer 2 by transfer of R phosphor paste
After drying and firing at 0R, the R phosphor layer is completed # 11-3.

【0011】次に、G蛍光体層スクリーン印刷形成工程
#12では、まずG用蛍光体ペースト印刷#12−1を
実行し、図8(C)でスキージ63に印圧を加えて押し
込み、スキージングすることで、同図(D)のようにR
用セルに隣接したG用セルにそれぞれG用蛍光体ペース
ト21Gを転写してG蛍光体層20Gを形成する。そし
て、乾燥・焼成#12−2でG用蛍光体ペーストの転写
によるG蛍光体層20Gの乾燥・焼成を行い、RG蛍光
体層完成#12−3となる。
Next, in the G phosphor layer screen printing forming step # 12, first, the G phosphor paste printing # 12-1 is executed, and the squeegee 63 is pressed by pushing the squeegee 63 as shown in FIG. 8C. As shown in (D) of the figure,
The G phosphor paste 21G is transferred to each G cell adjacent to the G phosphor cell to form a G phosphor layer 20G. Then, in the drying / baking # 12-2, the G phosphor layer 20G is dried and baked by transferring the G phosphor paste, and the RG phosphor layer completion # 12-3 is obtained.

【0012】最後に、B蛍光体層スクリーン印刷形成工
程#13では、まずB用蛍光体ペースト印刷#13−1
を実行し、同図(E)でスキージ63に印圧を加えて押
し込み、スキージングすることで、同図(F)のように
B用セルにそれぞれB用蛍光体ペースト21Bを転写し
てB蛍光体層20Bを形成する。そして、乾燥・焼成#
13−2でB用蛍光体ペーストの転写によるB蛍光体層
20Bの乾燥・焼成を行い、RGB蛍光体層背面板完成
#13−3となる。
Finally, in the B phosphor layer screen printing forming step # 13, first, B phosphor paste printing # 13-1.
Then, by applying printing pressure to the squeegee 63 and pushing in the squeegee 63 in the same figure (E) and squeezing, the B phosphor paste 21B is transferred to the B cells respectively as shown in the same figure (F). The phosphor layer 20B is formed. And dry and bake #
In 13-2, the B phosphor layer 20B is dried and baked by transferring the B phosphor paste, and the RGB phosphor layer rear plate completion # 13-3 is obtained.

【0013】スクリーン印刷法は成膜とパターンニング
を同時に行うことが可能で、ペーストの無駄が少なく製
造コストを安くすることが比較的簡単に実施できること
が特徴で、パターン形成に広く用いられている方法であ
る。
The screen printing method is capable of performing film formation and patterning at the same time, is characterized in that waste of the paste is small and the manufacturing cost can be reduced relatively easily, and is widely used for pattern formation. Is the way.

【0014】しかし、スクリーン印刷法を用いて、PD
P背面板の蛍光体層を形成する場合、以下の問題点を有
している。
However, using the screen printing method, the PD
When forming the phosphor layer of the P back plate, there are the following problems.

【0015】蛍光体層の膜厚制御が難しい スクリーン印刷のパターン形成は、スキージング印圧に
よる押し込みでスクリーンを印刷対象物である基板等に
接触させた状態で行うのが一般的な方法である。蛍光体
層形成の場合、リブの頭部だけにスクリーンが接触する
ため、本来蛍光体ペーストを転写するセル凹部にスクリ
ーンを直接接触させることは不可能である。したがっ
て、スクリーン開口部を通った蛍光体ペーストは、ペー
ストの流動性と自重による「流し込み印刷」になるため
印刷条件単独で膜厚を制御することは非常に難しい。
The pattern formation in screen printing in which it is difficult to control the film thickness of the phosphor layer is generally carried out by pressing with a squeegee printing pressure while the screen is in contact with the substrate to be printed or the like. . In the case of forming the phosphor layer, since the screen contacts only the head of the rib, it is impossible to directly contact the screen with the cell concave portion to which the phosphor paste is originally transferred. Therefore, it is very difficult to control the film thickness by the printing conditions alone, because the phosphor paste that has passed through the screen opening becomes "flow printing" due to the fluidity of the paste and its own weight.

【0016】また、蛍光体ペーストの流動性は、特に粘
度により大きく変動し、セル内でのペーストレベリング
状態(平坦度)が大きく左右され、蛍光体層の膜厚や膜
厚の均一性に影響する。
In addition, the fluidity of the phosphor paste varies greatly depending on the viscosity, and the paste leveling state (flatness) in the cell is greatly influenced, which affects the thickness and uniformity of the thickness of the phosphor layer. To do.

【0017】PDPの表示輝度向上には蛍光体層の膜厚
アップが有効であり、このためには蛍光体ペースト粘度
を高くする必要がある。しかし高粘度ペーストではレベ
リング性の低下やペースト転写率の低下が生じ、膜厚バ
ラツキが大きくなる。一方、レベリング性や転写率を改
善するために蛍光体ペースト粘度を低くすると、転写し
たペーストがセル側面(リブ壁面)からセル底面へ流動
し、セル側面の蛍光体層が極端に薄くなり、高粘度ペー
スト同様に膜厚バラツキが大きくなる。蛍光体ペースト
粘度の僅かな変動が、蛍光体層膜厚や断面形状を不均一
にし、印刷条件で膜厚を制御することを難しくしている
のが現状である。
Increasing the thickness of the phosphor layer is effective for improving the display brightness of the PDP, and for this purpose, it is necessary to increase the viscosity of the phosphor paste. However, in the case of high-viscosity paste, the leveling property and the paste transfer rate are reduced, and the variation in film thickness is increased. On the other hand, if the phosphor paste viscosity is lowered in order to improve the leveling property and transfer rate, the transferred paste will flow from the cell side surface (rib wall surface) to the cell bottom surface, and the phosphor layer on the cell side surface will become extremely thin and As with the viscous paste, the variation in film thickness increases. The present situation is that slight variations in the viscosity of the phosphor paste make the phosphor layer film thickness and cross-sectional shape non-uniform, making it difficult to control the film thickness under printing conditions.

【0018】結局、蛍光体層の膜厚変動や断面形状の不
均一は、PDPの「色ムラ」に直接影響することにな
り、結果的に表示品質低下要因になる。
Eventually, the variation in the film thickness of the phosphor layer and the non-uniformity of the cross-sectional shape directly affect the "color unevenness" of the PDP, resulting in a display quality deterioration factor.

【0019】蛍光体ペースト混入の危険性が高い スクリーン印刷では基板等の印刷対象物から版離れを良
くするために、スクリーンと印刷対象物間にクリアラン
スが必要で、印刷時にはスクリーンがスキージによって
クリアランス分だけ伸ばされる。この伸びがスクリーン
パターン寸法を歪ませ、リブパターンと蛍光体スクリー
ンパターン間でピッチずれが生じ、セルに対する蛍光体
層形成位置がずれる問題がある。極端な場合、隣接セル
に蛍光体ペーストが混入する可能性もある。
In screen printing where there is a high risk of phosphor paste contamination, a clearance is required between the screen and the printing object in order to improve the plate separation from the printing object such as the substrate. Just stretched. This extension distorts the screen pattern dimension, and a pitch shift occurs between the rib pattern and the phosphor screen pattern, which causes a problem that the phosphor layer formation position with respect to the cell is displaced. In an extreme case, the phosphor paste may mix into the adjacent cells.

【0020】スクリーン自体は、ステンレスやポリエス
テル製のメッシュを、高張力でスクリーン枠に接着した
版で、スクリーンがスキージによって印刷毎に伸ばされ
ると、張力が低下しパターン寸法が塑性変形する。この
張力低下と塑性変形が、蛍光体形成位置精度と再現性を
悪化させる大きな要因でもある。このことはスクリーン
印刷法の根本的な課題である。
The screen itself is a plate in which a mesh made of stainless steel or polyester is adhered to the screen frame with high tension. When the screen is stretched by the squeegee every time it is printed, the tension is lowered and the pattern dimension is plastically deformed. This decrease in tension and plastic deformation are also major factors that deteriorate the accuracy of phosphor formation and the reproducibility. This is the fundamental problem of the screen printing method.

【0021】スクリーン印刷法で蛍光体ペーストを「流
し込み印刷」する場合、スクリーンはリブ頭部にだけ接
触した状態で、セル上のスクリーンは浮いた状態にあ
り、印刷対象箇所(セル凹部)には非接触であるため、
スクリーン開口部を通った蛍光体ペーストをセル内へ完
全に転写させる(落とし込む)ことは難しい。
When the phosphor paste is "flow-printed" by the screen printing method, the screen is in contact with only the rib head, the screen on the cell is in a floating state, and the printing target portion (cell recess) is Because it is non-contact,
It is difficult to completely transfer (drop) the phosphor paste that has passed through the screen opening into the cell.

【0022】また、この様な非接触状態でのスクリーン
印刷では、印刷直後のスクリーン版離れ時に、スクリー
ンの裏面(セル面)には、転写不完全なペーストの一部
が汚れとして付着した状態で、スクリーンはリブ頭部か
ら離れる。この転写不完全でスクリーン裏面に付着した
ペーストをそのままにして印刷を繰り返すと、スクリー
ン裏面に汚れが堆積し、リブ頭部を汚したり隣接セルに
蛍光体ペーストが混入し混色の問題が生じる。また、ス
クリーン裏面の付着ペーストが影響して、セル内への蛍
光体ペースト転写率を更に低下させる問題も生じる。
Further, in such non-contact screen printing, when the screen plate is released immediately after printing, a part of the incompletely transferred paste adheres as dirt to the back surface (cell surface) of the screen. , The screen moves away from the rib head. If printing is repeated with the paste attached to the back surface of the screen being imperfect due to this imperfect transfer, stains may accumulate on the back surface of the screen, stain the heads of the ribs, or mix the phosphor paste in adjacent cells, causing a problem of color mixing. Further, there is a problem that the adhered paste on the back surface of the screen influences and further reduces the phosphor paste transfer rate into the cell.

【0023】この問題の対策として、印刷都度あるいは
スクリーン裏面がペーストで汚れた時点で、平坦な基板
上のフィルムやペーパー等に「捨て刷り」を行い、スク
リーン裏面のクリーニングを行う方法が一般的に実施さ
れている。しかし、この様な方法でスクリーン裏面の汚
れを完全に除去することは事実上困難であり、クリーニ
ング後でもまた簡単に汚れが堆積することが通説であ
る。
As a measure against this problem, a method of "cleaning" the back surface of the screen is generally performed by "discarding" a film or paper on a flat substrate every time printing is performed or when the back surface of the screen is soiled with paste. It has been implemented. However, it is generally difficult to completely remove the stain on the back surface of the screen by such a method, and it is generally accepted that the stain is easily accumulated even after cleaning.

【0024】装置が大型化する PDPが大型化し、比例してパターンエリア(表示エリ
ア)が広くなると、スクリーンと印刷対象物間のクリア
ランスを大きくして、版離れ性を確保することが原理的
に必要であり、このクリアランス増大がスクリーンパタ
ーン寸法の歪みを更に大きくし、結果的にパターン印刷
精度が悪化する傾向にある。この現象はスクリーン印刷
法の根本的な課題である。
As the size of the PDP becomes larger and the pattern area (display area) becomes wider proportionally, the clearance between the screen and the object to be printed is increased to secure the plate separation property in principle. It is necessary, and this increase in clearance tends to further increase the distortion of the screen pattern size, and as a result, the pattern printing accuracy tends to deteriorate. This phenomenon is the fundamental problem of the screen printing method.

【0025】また、スクリーン印刷法は、パターン有効
エリアに対し4〜6倍程度大きなサイズのスクリーン枠
を使用することが通説であり、PDPが大型化するとス
クリーン枠サイズを更に大きくする必要があり、自動的
にスクリーン印刷装置が大型化し、製造コストの上昇に
つながる。
In the screen printing method, it is generally accepted that a screen frame that is 4 to 6 times larger than the pattern effective area is used. When the PDP becomes large, it is necessary to further increase the screen frame size. The screen printing device automatically increases in size, leading to an increase in manufacturing cost.

【0026】[0026]

【発明が解決しようとする課題】PDP背面板の蛍光体
層形成法に要求される技術的要素は、以下の通りであ
る。
The technical elements required for the method of forming the phosphor layer of the PDP back plate are as follows.

【0027】(1) 大画面で高精度、高精細化が容易で
あること PDPは画面対角20,40,50インチへの大型化
と、表示解像度がSVGA,XGA,HDTVへの高精
細化が同時に要求されている。この様な状況下にあって
背面板の蛍光体層形成も大型基板サイズで高精度、狭ピ
ッチ対応が同時に必要になる。
(1) Large screen with high precision and high definition is easy. The PDP has a screen diagonal size of 20, 40, 50 inches and a display resolution of SVGA, XGA, HDTV. Are requested at the same time. Under such circumstances, it is necessary to form the phosphor layer of the back plate at the same time with a large substrate size, with high precision and narrow pitch.

【0028】しかし、従来のスクリーン印刷では、基板
の大型化に対するスクリーンパターン寸法の歪み増大に
よる位置ずれや、セルの狭ピッチ化に対して、「流し込
み印刷」では印刷条件や蛍光体ペースト粘度の適正範囲
が狭く、印刷状態が更に不安定になることから、蛍光体
層の膜厚バラツキが増大等し、高精度、高精細化への対
応が難しい。
However, in the conventional screen printing, the positional deviation due to the increase in the distortion of the screen pattern dimension due to the increase in the size of the substrate and the narrowing of the cell pitch can be avoided. Since the range is narrow and the printing state becomes more unstable, variations in the thickness of the phosphor layer increase, and it is difficult to achieve high precision and high definition.

【0029】(2) 高輝度かつ表示ムラが無い状態であ
ること カラーPDPはリブで仕切られたセル内のR(赤)G
(緑)B(青)3色の蛍光体が、ガス放電によって生じ
た紫外線によって発光する特性を利用した自発光型のデ
ィスプレイであり、ディスプレイとしての輝度(コント
ラスト)向上を図るために、蛍光体材質自体の発光効率
改善等も含め様々な方策が検討されている。
(2) High brightness and no display unevenness The color PDP has R (red) G inside a cell partitioned by ribs.
A phosphor of three colors (green) B (blue) is a self-luminous display that utilizes the characteristic of emitting light by ultraviolet rays generated by gas discharge, and in order to improve the brightness (contrast) of the display, the phosphor is Various measures are being studied, including improving the luminous efficiency of the material itself.

【0030】その方策の一つとして、蛍光体を効率良く
発光させるために、セル内の蛍光体層膜厚や層の断面形
状の制御も重要な要因である。
As one of the measures, control of the thickness of the phosphor layer in the cell and the cross-sectional shape of the layer are also important factors in order to allow the phosphor to emit light efficiently.

【0031】輝度向上にはセル内の蛍光体層の絶対量を
多くすることが有効であるが、反面極端に蛍光体層を多
くするとセル内のガス放電空間が狭くなり放電状態が不
安定になる。したがってガス放電が安定した状態で輝度
向上を図るためには、セル内の蛍光体層の絶対量の制御
だけでは不十分で、セルの側面(リブ壁面)及びセル底
面全体にわたって均一な膜厚(断面)の蛍光体層を形成
でき、かつ表示エリア全面に均一な膜厚で蛍光体層を形
成可能な方法が望ましい。
To increase the brightness, it is effective to increase the absolute amount of the phosphor layer in the cell. However, if the phosphor layer is excessively increased, the gas discharge space in the cell becomes narrow and the discharge state becomes unstable. Become. Therefore, in order to improve the brightness in a state where the gas discharge is stable, it is not enough to control only the absolute amount of the phosphor layer in the cell, and the uniform film thickness (side surface of the rib) and the entire bottom surface of the cell ( A method capable of forming a phosphor layer having a cross section and forming a phosphor layer having a uniform film thickness over the entire display area is desirable.

【0032】しかし、従来のスクリーン印刷法では、セ
ル内に転写された蛍光体ペーストの保形性は、ペースト
のレベリング性に支配されるため、スクリーン印刷条件
単独では制御不可能な面が多く、セル側面とセル底面の
セル全体に、均一な膜厚で蛍光体層を形成することが困
難である。
However, in the conventional screen printing method, since the shape retention of the phosphor paste transferred in the cell is governed by the leveling property of the paste, many aspects cannot be controlled by the screen printing conditions alone. It is difficult to form a phosphor layer with a uniform film thickness on the entire cell on the cell side surface and the cell bottom surface.

【0033】本発明は、上記の点に鑑み、プラズマ・デ
ィスプレイ・パネル背面板の蛍光体層を一括で量産性良
く効率的に形成可能で、しかも蛍光体層の膜厚制御が容
易で、膜厚のバラツキの低減、セル内の膜厚の均一化を
図ることのできるプラズマ・ディスプレイ・パネル背面
板の蛍光体層形成方法及び装置を提供することを目的と
する。
In view of the above points, the present invention is capable of efficiently forming the phosphor layers of the back plate of the plasma display panel in a batch with good mass productivity, and moreover, the film thickness of the phosphor layers is easily controlled, and the film is formed. An object of the present invention is to provide a method and apparatus for forming a phosphor layer on a back plate of a plasma display panel, which can reduce the variation in thickness and make the film thickness in the cell uniform.

【0034】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。
Other objects and novel features of the present invention will be clarified in the embodiments described later.

【0035】[0035]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプラズマ・ディスプレイ・パネル背面板の
蛍光体層形成方法は、背面基板上に形成された複数のリ
ブ間のセル内に蛍光体層を形成する場合において、内部
に蛍光体ペーストが供給される空洞を有するノズルケー
スと、該ノズルケース先端部に配置されかつ前記蛍光体
層の断面形状と一致するようにフォトエッチングで形成
されたメタルマスクの開口部からなる蛍光体ペースト吐
出口とを備え、かつ前記吐出口が転写対象の複数セルに
対応している蛍光体層形成ノズルを用い、前記蛍光体層
形成ノズルは前記リブに対して非接触状態で前記背面基
板上を移動し、前記蛍光体ペーストの前記蛍光体層形成
ノズルへの加圧、供給により前記吐出口から押し出され
た蛍光体ペーストを前記セル内に転写して前記複数セル
内に蛍光体層を同時形成することを特徴としている。
In order to achieve the above object, a method for forming a phosphor layer for a back plate of a plasma display panel according to the present invention is provided in a cell between a plurality of ribs formed on a back substrate. In the case of forming a phosphor layer, a nozzle case having a cavity into which the phosphor paste is supplied, and the phosphor arranged at the tip of the nozzle case.
Photo-etched to match the cross-sectional shape of the layer
And a phosphor layer forming nozzle having a phosphor paste discharge port formed of an opening of a metal mask, the discharge port corresponding to a plurality of cells to be transferred, and the phosphor layer forming nozzle includes the rib. The non-contact state is moved on the back substrate, and the phosphor paste extruded from the ejection port by the pressurization and supply of the phosphor paste to the phosphor layer forming nozzle is transferred into the cell. The phosphor layer is simultaneously formed in the plurality of cells.

【0036】[0036]

【0037】本発明のプラズマ・ディスプレイ・パネル
背面板の蛍光体層形成装置は、背面基板上に形成された
複数のリブ間のセル内に蛍光体層を形成する構成におい
て、内部に蛍光体ペーストが供給される空洞を有するノ
ズルケースと、該ノズルケース先端部に配置されかつ前
記蛍光体層の断面形状と一致するようにフォトエッチン
グで形成されたメタルマスクの開口部からなる蛍光体ペ
ースト吐出口とを備え、かつ前記吐出口が転写対象の複
数セルに対応している蛍光体層形成ノズルと、該蛍光体
層形成ノズルに蛍光体ペーストを加圧、供給する蛍光体
ペースト供給手段と、該蛍光体層形成ノズルが前記背面
基板上を前記リブに対して非接触状態で直線移動するよ
うに駆動するノズル駆動手段とを備え、前記蛍光体層形
成ノズルは前記吐出口から蛍光体ペーストを押し出して
前記複数セル内に転写し、蛍光体層を同時形成すること
を特徴としている。
A phosphor layer forming apparatus for a back plate of a plasma display panel according to the present invention has a structure in which a phosphor layer is formed in a cell between a plurality of ribs formed on a back substrate, and a phosphor paste is internally formed. There a nozzle case having a cavity supplied, are arranged in the nozzle casing tip and before
Photo etch to match the cross-sectional shape of the phosphor layer
And a phosphor layer forming nozzle having a phosphor paste discharge port formed of an opening of a metal mask formed by a plurality of holes, the discharge port corresponding to a plurality of cells to be transferred, and the phosphor layer forming nozzle. A phosphor paste supply unit that pressurizes and supplies the phosphor paste, and a nozzle drive unit that drives the phosphor layer forming nozzle so as to linearly move on the rear substrate in a non-contact state with the rib. The phosphor layer forming nozzle pushes out the phosphor paste from the discharge port and transfers it into the plurality of cells to simultaneously form a phosphor layer.

【0038】[0038]

【0039】[0039]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るプラズマ・デ
ィスプレイ・パネル背面板の蛍光体層形成方法及び装置
の実施の形態を図面に従って説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a method and apparatus for forming a phosphor layer on a back plate of a plasma display panel according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0040】図1乃至図5で本発明の実施の形態(ノズ
ル押し出し転写法による蛍光体層一括形成)を説明す
る。但し、図1、図2はR蛍光体層20Rを形成する場
合を例示してある。まず、図1(A)及び図2(A)の
ように、PDP背面板における背面ガラス基板11に対
してリブ14を等間隔で平行に形成し、リブ間にセル1
5を構成したリブ基板を用意する。
1 to 5, an embodiment of the present invention (formation of a phosphor layer collectively by a nozzle extrusion transfer method) will be described. However, FIGS. 1 and 2 exemplify the case where the R phosphor layer 20R is formed. First, as shown in FIGS. 1 (A) and 2 (A), the ribs 14 are formed in parallel with the rear glass substrate 11 of the PDP back plate at equal intervals, and the cells 1 are formed between the ribs.
A rib substrate having No. 5 is prepared.

【0041】次に、図1(B)、図2(B)のように、
R蛍光体層20Rの断面形状に一致する吐出口をR蛍光
体層用の各セル15に対応させて先端部に有する蛍光体
層形成ノズル30を用い、後で詳述する蛍光体ペースト
供給手段よりR用蛍光体ペースト21Rを蛍光体層形成
ノズル30に強制的に加圧供給する。これによって、そ
の圧力を受けたノズル内の蛍光体ペースト21Rが、蛍
光体層形成ノズル30先端部の各吐出口から強制的に押
し出され、押し出された蛍光体ペーストはストライプリ
ブパターンを形成した基板のセル15の凹部(つまり底
面及び両側面)に転写され、蛍光体層形成ノズル30を
背面ガラス基板11上のリブ14頭部に対して非接触で
直線移動させることで、連続的に転写されて行く。
Next, as shown in FIGS. 1 (B) and 2 (B),
Using a phosphor layer forming nozzle 30 having a discharge port corresponding to each cross-sectional shape of the R phosphor layer 20R at the tip end corresponding to each cell 15 for the R phosphor layer, a phosphor paste supplying means described later in detail. Further, the R phosphor paste 21R is forcibly supplied to the phosphor layer forming nozzle 30 under pressure. As a result, the phosphor paste 21R in the nozzle that has received the pressure is forcibly extruded from each ejection port at the tip of the phosphor layer forming nozzle 30, and the extruded phosphor paste is formed on the substrate having the stripe rib pattern. Cells are transferred to the concave portions (that is, the bottom surface and both side surfaces) of the cell 15 and are continuously transferred by linearly moving the phosphor layer forming nozzle 30 with respect to the head of the rib 14 on the rear glass substrate 11 without contact. Go.

【0042】そして、背面ガラス基板11上側におい
て、蛍光体層形成ノズル30を必要な範囲で直線移動さ
せることで、図1(C)及び図2(C)の如くR蛍光体
層用の各セル15にR蛍光体層20Rを一括で形成する
(同時形成する)。形成後は背面ガラス基板11を乾
燥、焼成することでR蛍光体層20Rが完成する。
Then, on the upper surface of the rear glass substrate 11, the phosphor layer forming nozzle 30 is linearly moved within a required range, so that each cell for the R phosphor layer is as shown in FIGS. 1 (C) and 2 (C). The R phosphor layer 20R is collectively formed on 15 (simultaneously formed). After the formation, the rear glass substrate 11 is dried and baked to complete the R phosphor layer 20R.

【0043】この場合、加圧供給される蛍光体ペースト
の粘度は、従来技術のスクリーン印刷法では転写不可能
な、保形性に優れた高粘度ペーストまで十分供給可能で
ある。
In this case, the viscosity of the phosphor paste supplied under pressure can be sufficiently supplied to a high-viscosity paste excellent in shape retention, which cannot be transferred by the conventional screen printing method.

【0044】図1及び図2はR蛍光体層20Rを形成す
る場合を例示したが、カラーPDPの場合、R(赤)・
G(緑)・B(青)用として、それぞれ専用の蛍光体ペ
ーストを用いて転写形成する。
Although FIGS. 1 and 2 exemplify the case where the R phosphor layer 20R is formed, in the case of a color PDP, R (red).
For G (green) and B (blue), transfer forming is performed using dedicated phosphor pastes.

【0045】図3にノズル押し出し転写法によるRGB
蛍光体層形成工程の説明図を示す。図中、11は背面ガ
ラス基板、14はリブ、15はセル、30は蛍光体層形
成ノズルである。
FIG. 3 shows RGB by the nozzle extrusion transfer method.
The explanatory view of a fluorescent substance layer formation process is shown. In the figure, 11 is a rear glass substrate, 14 is a rib, 15 is a cell, and 30 is a phosphor layer forming nozzle.

【0046】図3のR蛍光体層ノズル形成工程#1で
は、まずR用蛍光体形成#1−1を実行し、同図(A)
でR用の蛍光体層形成ノズル30にR用蛍光体ペースト
21Rを供給して、基板11上側をリブ頭部に非接触で
移動させることで、同図(B)のようにR用セルにそれ
ぞれR用蛍光体ペーストを転写してR蛍光体層20Rを
形成する。そして、乾燥・焼成#1−2でR用蛍光体ペ
ーストの転写によるR蛍光体層20Rの乾燥・焼成を行
い、R蛍光体層完成#1−3となる。
In the R phosphor layer nozzle forming step # 1 of FIG. 3, first, the R phosphor forming # 1-1 is executed, and then, FIG.
Then, by supplying the R phosphor paste 21R to the R phosphor layer forming nozzle 30 and moving the upper side of the substrate 11 to the rib head without contact, the R cell is formed as shown in FIG. The R phosphor paste is transferred to each to form the R phosphor layer 20R. Then, in the drying / baking # 1-2, the R phosphor layer 20R is dried and baked by transferring the R phosphor paste, and the R phosphor layer completion # 1-3 is obtained.

【0047】次に、G蛍光体層ノズル形成工程#2で
は、まずG用蛍光体形成#2−1を実行し、同図(C)
でG用の蛍光体層形成ノズル30にG用蛍光体ペースト
21Gを供給して、基板11上側をリブ頭部に非接触で
移動させることで、同図(D)のようにG用セルにそれ
ぞれG用蛍光体ペーストを転写してG蛍光体層20Gを
形成する。そして、乾燥・焼成#2−2でG用蛍光体ペ
ーストの転写によるG蛍光体層20Gの乾燥・焼成を行
い、G蛍光体層完成#2−3となる。
Next, in the G phosphor layer nozzle forming step # 2, first, the G phosphor forming # 2-1 is carried out, and then FIG.
Then, by supplying the G phosphor paste 21G to the G phosphor layer forming nozzle 30 and moving the upper side of the substrate 11 to the rib head in a non-contact manner, a G cell is formed as shown in FIG. The G phosphor paste is transferred to form the G phosphor layer 20G. Then, in the drying / baking # 2-2, the G phosphor layer 20G is dried and baked by transferring the G phosphor paste, and the G phosphor layer is completed # 2-3.

【0048】最後に、B蛍光体層ノズル形成工程#3で
は、まずB用蛍光体形成#3−1を実行し、同図(E)
でB用の蛍光体層形成ノズル30にB用蛍光体ペースト
21Bを供給して、基板11上側をリブ頭部に非接触で
移動させることで、同図(F)のようにB用セルにそれ
ぞれB用蛍光体ペーストを転写してB蛍光体層20Bを
形成する。そして、乾燥・焼成#3−2でB用蛍光体ペ
ーストの転写によるB蛍光体層20Bの乾燥・焼成を行
い、RGB蛍光体層完成#3−3となる。
Finally, in the B phosphor layer nozzle forming step # 3, first, the B phosphor forming step # 3-1 is executed, and then, FIG.
Then, by supplying the B phosphor paste 21B to the B phosphor layer forming nozzle 30 and moving the upper side of the substrate 11 to the rib head in a non-contact manner, a B cell is formed as shown in FIG. The B phosphor paste is transferred to form the B phosphor layer 20B. Then, in the drying / baking # 3-2, the B phosphor layer 20B is dried and baked by transferring the B phosphor paste, and the RGB phosphor layer is completed # 3-3.

【0049】なお、図3ではRGBの順に蛍光体層の形
成を行ったが、形成順序は任意である。
Although the phosphor layers are formed in the order of RGB in FIG. 3, the order of formation is arbitrary.

【0050】図4は本実施の形態で用いる蛍光体層形成
ノズル30の詳細であり、この図に示すように、蛍光体
層形成ノズル30は、ノズルケース31内部の空洞(キ
ャビティ)32と、この空洞32に連通した蛍光体ペー
スト供給口33と、ノズルケース先端部に配置されたメ
タルマスク34の開口部からなる蛍光体ペースト吐出口
35とを備えている。メタルマスク34は空洞32の底
面側に配置され、メタルマスク34の開口部、つまり蛍
光体ペースト吐出口35はそれぞれ蛍光体層断面形状に
一致する形状である。図示の例では吐出口35は角ばっ
た略U字状である。なお、必要とされる蛍光体層の断面
形状に応じて図4に並べて示したメタルマスク34A,
34B等を用いることが可能であり、メタルマスク34
Aは丸みを帯びた略U字状吐出口35A、メタルマスク
34Bは直線スリット状の吐出口35Bを例えば有して
いる。
FIG. 4 shows details of the phosphor layer forming nozzle 30 used in the present embodiment. As shown in this figure, the phosphor layer forming nozzle 30 has a cavity 32 inside a nozzle case 31, A phosphor paste supply port 33 communicating with the cavity 32 and a phosphor paste discharge port 35 formed of an opening of a metal mask 34 arranged at the tip of the nozzle case are provided. The metal mask 34 is arranged on the bottom surface side of the cavity 32, and the opening of the metal mask 34, that is, the phosphor paste ejection port 35 has a shape that matches the cross-sectional shape of the phosphor layer. In the illustrated example, the discharge port 35 has a substantially U-shape that is angular. It should be noted that the metal masks 34A shown in FIG.
34B or the like can be used, and the metal mask 34
For example, A has a round U-shaped ejection port 35A, and the metal mask 34B has a linear slit-shaped ejection port 35B.

【0051】図5のように、蛍光体層形成ノズル30に
蛍光体ペーストを強制的に加圧供給する蛍光体ペースト
供給手段としての蛍光体ペースト供給ユニット40と、
蛍光体層形成ノズル30の蛍光体ペースト供給口33と
は配管50で接続され、内蔵のスクリュー41を回転し
て蛍光体ペースト供給ユニット40から蛍光体層形成ノ
ズル30に蛍光体ペーストを加圧して強制的に送出して
いる。この結果、蛍光体層形成ノズル30先端部の各吐
出口35から蛍光体ペースト21R,21G,21Bの
いずれかが強制的に押し出されて所定セルに転写され
る。
As shown in FIG. 5, a phosphor paste supply unit 40 as a phosphor paste supply unit forcibly supplying the phosphor paste to the phosphor layer forming nozzle 30 under pressure,
The phosphor paste supply port 33 of the phosphor layer forming nozzle 30 is connected by a pipe 50, and a built-in screw 41 is rotated to pressurize the phosphor paste from the phosphor paste supply unit 40 to the phosphor layer forming nozzle 30. It is forcibly sent. As a result, one of the phosphor pastes 21R, 21G, and 21B is forcibly extruded from each ejection port 35 at the tip of the phosphor layer forming nozzle 30 and transferred to a predetermined cell.

【0052】この場合、蛍光体層形成ノズル30先端部
に取り付けるメタルマスク開口部(吐出口35)の形状
で、蛍光体層の断面形状と膜厚を制御することが可能で
ある。マスク開口部の形状はフォトエッチングで、任意
にかつ高精度で製作可能である。さらに、加圧条件によ
る蛍光体ペースト押し出し量の制御や、ノズルの移動速
度を可変することにより、蛍光体層膜厚や断面形状の微
調整が簡単に可能である。
In this case, the cross-sectional shape and the film thickness of the phosphor layer can be controlled by the shape of the metal mask opening (discharge port 35) attached to the tip of the phosphor layer forming nozzle 30. The shape of the mask opening is photo-etching, which can be arbitrarily and highly accurately manufactured. Furthermore, fine control of the phosphor layer thickness and cross-sectional shape can be easily performed by controlling the amount of phosphor paste pushed out by the pressurizing condition and varying the moving speed of the nozzle.

【0053】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。
According to this embodiment, the following effects can be obtained.

【0054】(1) 本実施の形態の蛍光体層形成方法
は、蛍光体層の断面形状、セルのピッチ、パターン全体
の精度等、高精細なPDPを高精度で製作するために要
求される精度は、蛍光体層形成ノズル30先端に取り付
けるメタルマスク34の開口部のフォトエッチング精度
によって直接的に決まる。フォトエッチングはPDP背
面板に要求される製作精度を十分実現可能な加工方法で
あり、結果的に蛍光体層を高精度で形成することが可能
になる。また本実施の形態により、表示パターン全体の
歪みが少なく、かつ非常に高い再現性で蛍光体層の形成
が実現可能である。
(1) The phosphor layer forming method of this embodiment is required to manufacture a highly precise PDP with high accuracy such as the cross-sectional shape of the phosphor layer, the cell pitch, and the accuracy of the entire pattern. The precision is directly determined by the photoetching precision of the opening of the metal mask 34 attached to the tip of the phosphor layer forming nozzle 30. Photo-etching is a processing method capable of sufficiently realizing the manufacturing accuracy required for the PDP back plate, and as a result, it becomes possible to form the phosphor layer with high accuracy. Further, according to the present embodiment, the distortion of the entire display pattern is small, and the phosphor layer can be formed with extremely high reproducibility.

【0055】(2) 従来のスクリーン印刷による蛍光体
層形成方法では、蛍光体層の発光効率を良くするため
に、膜厚の均一化や断面形状を印刷条件単独で制御する
ことは困難である。スクリーン印刷による蛍光体層の断
面は、蛍光体ペーストのレベリングによって、セル側面
(リブ壁面)が薄くセル底面は厚くなり易く、蛍光体の
発光効率向上には不利な形状である。
(2) In the conventional phosphor layer forming method by screen printing, it is difficult to control the uniformity of the film thickness and the cross-sectional shape by the printing conditions alone in order to improve the luminous efficiency of the phosphor layer. . The cross section of the phosphor layer formed by screen printing has a shape that is disadvantageous for improving the luminous efficiency of the phosphor because the cell side surface (rib wall surface) is thin and the cell bottom surface is likely to be thick due to the leveling of the phosphor paste.

【0056】しかし、本実施の形態の蛍光体層形成法
は、蛍光体を効率良く発光させるための蛍光体層の断面
形状を、蛍光体層形成ノズル30のノズル先端のメタル
マスク開口部の形状として簡単に展開可能で、蛍光体層
の断面形状や膜厚制御の自由度が高まり、結果的に発光
効率が高いPDPの実現が可能である。
However, in the phosphor layer forming method according to the present embodiment, the cross-sectional shape of the phosphor layer for efficiently emitting the phosphor is determined by the shape of the metal mask opening at the nozzle tip of the phosphor layer forming nozzle 30. As a result, it is possible to easily develop, the degree of freedom in controlling the cross-sectional shape of the phosphor layer and the film thickness is increased, and as a result, it is possible to realize a PDP with high luminous efficiency.

【0057】(3) 蛍光体層の断面形状を規定するメタ
ルマスク34の開口部の形状はフォトエッチングで、任
意にかつ高精度で製作可能であり、さらに、加圧条件に
よる蛍光体ペースト押し出し量の制御や、蛍光体層形成
ノズル30の移動速度を可変することにより、蛍光体層
膜厚や断面形状の微調整が簡単に可能である。
(3) The shape of the opening of the metal mask 34 that defines the cross-sectional shape of the phosphor layer can be manufactured by photoetching arbitrarily and with high precision. Further, the amount of phosphor paste extruded depending on the pressurizing condition. By controlling the above and varying the moving speed of the phosphor layer forming nozzle 30, fine adjustment of the phosphor layer film thickness and cross-sectional shape can be easily performed.

【0058】(4) 同一色の蛍光体層を背面ガラス基板
11の各セル15に対して一括で形成でき、量産性も良
好であり、PDPの大型化にも容易に対応可能である。
(4) Phosphor layers of the same color can be collectively formed on each cell 15 of the rear glass substrate 11, mass productivity is good, and the PDP can be easily enlarged.

【0059】なお、実施の形態において、蛍光体層形成
ノズル30を背面ガラス基板上のリブ14頭部に対して
非接触で直線移動させるノズル駆動手段は、例えばピス
トンロッド側に蛍光体層形成ノズル30を取り付けて直
線移動させるためのエアーシリンダ等の機構で実現でき
る。
In the embodiment, the nozzle driving means for linearly moving the phosphor layer forming nozzle 30 without contacting the head of the rib 14 on the rear glass substrate is, for example, a phosphor layer forming nozzle on the piston rod side. It can be realized by a mechanism such as an air cylinder for attaching 30 and linearly moving it.

【0060】また、蛍光体層形成ノズル30は基板面に
吐出口35が正対向するように図示したが、図5の仮想
線Qのように蛍光体層形成ノズル30を進行方向に対し
て傾斜状態として移動させてもよい。
Further, although the phosphor layer forming nozzle 30 is illustrated so that the discharge port 35 is directly opposed to the substrate surface, the phosphor layer forming nozzle 30 is inclined with respect to the traveling direction as indicated by a virtual line Q in FIG. You may move as a state.

【0061】さらに、蛍光体層形成ノズル30に蛍光体
ペーストを加圧して供給する蛍光体ペースト供給ユニッ
ト40は、スクリューやポンプ等で機械的に加圧する構
成の他、密閉容器内を気体等で加圧して供給する構成等
が可能である。
Further, the phosphor paste supply unit 40 which pressurizes and supplies the phosphor paste to the phosphor layer forming nozzle 30 has a structure in which the phosphor paste is mechanically pressed by a screw, a pump or the like, and the inside of the hermetically sealed container is filled with gas or the like. A configuration in which pressure is applied to supply is possible.

【0062】なお、背面ガラス基板11に対する、蛍光
体層形成ノズル30の移動は、相対的な移動であればよ
く、蛍光体層形成ノズル30の位置を変えないで背面ガ
ラス基板11を移動させる構成も本発明は包含すること
は自明である。
The movement of the phosphor layer forming nozzle 30 with respect to the rear glass substrate 11 may be a relative movement, and the rear glass substrate 11 is moved without changing the position of the phosphor layer forming nozzle 30. It is self-evident that the present invention also covers.

【0063】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
Although the embodiment of the present invention has been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to this and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. Ah

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
以下の効果を奏することができる。
As described above, according to the present invention,
The following effects can be achieved.

【0065】(1) 高精細、高精度、高再現性 本発明では、蛍光体層の断面形状、セルのピッチ、パタ
ーン全体の精度等、高精細なPDPを高精度で製作する
ために要求される精度は、蛍光体層形成ノズル先端部の
蛍光体ペースト吐出口のフォトエッチングによる加工精
度によって直接的に決まる。吐出口をメタルマスク開口
部で構成する場合、開口部のフォトエッチング精度はP
DP背面板に要求される製作精度を十分実現可能な加工
精度であり、結果的に蛍光体層を高精度で形成すること
が可能になる。また、本発明により、表示パターン全体
の歪みが少なく、かつ非常に高い再現性で蛍光体層の形
成が実現可能である。
(1) High definition, high accuracy, high reproducibility In the present invention, it is required to manufacture a high definition PDP with high accuracy such as the cross-sectional shape of the phosphor layer, the cell pitch, and the accuracy of the entire pattern. Accuracy is directly determined by the processing accuracy of the phosphor paste discharge port at the tip of the phosphor layer forming nozzle by photoetching . When the discharge port is formed of a metal mask opening, the photo etching accuracy of the opening is P
The processing accuracy is sufficient to realize the manufacturing accuracy required for the DP back plate, and as a result, the phosphor layer can be formed with high accuracy. Further, according to the present invention, the distortion of the entire display pattern is small, and the phosphor layer can be formed with extremely high reproducibility.

【0066】(2) 発光効率向上 従来のスクリーン印刷による蛍光体層形成方法では、蛍
光体層の発光効率を良くするために、膜厚の均一化や断
面形状を印刷条件単独で制御することは困難である。ス
クリーン印刷による蛍光体層の断面は、蛍光体ペースト
のレベリングによって、セル側面(リブ壁面)が薄くセ
ル底面は厚くなり易く、蛍光体の発光効率向上には不利
な形状である。
(2) Improvement of Luminous Efficiency In the conventional phosphor layer forming method by screen printing, in order to improve the luminous efficiency of the phosphor layer, it is not possible to make the film thickness uniform or control the cross-sectional shape by printing conditions alone. Have difficulty. The cross section of the phosphor layer formed by screen printing has a shape that is disadvantageous for improving the luminous efficiency of the phosphor because the cell side surface (rib wall surface) is thin and the cell bottom surface is likely to be thick due to the leveling of the phosphor paste.

【0067】しかし、本発明では、蛍光体を効率良く発
光させるための蛍光体層の断面形状を蛍光体層形成ノズ
ル先端部の吐出口(例えばメタルマスク開口部)の形状
として簡単に展開可能で、蛍光体層の断面形状や膜厚制
御の自由度が高まり、結果的に発光効率が高いPDPの
実現が可能である。
However, in the present invention, the cross-sectional shape of the phosphor layer for allowing the phosphor to efficiently emit light can be easily developed as the shape of the discharge port (for example, the metal mask opening) at the tip of the phosphor layer forming nozzle. Further, the degree of freedom in controlling the cross-sectional shape of the phosphor layer and the film thickness is increased, and as a result, it is possible to realize a PDP with high luminous efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態を説明する正面よりみた模
式図である。
FIG. 1 is a schematic view seen from the front for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】同じく斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the same.

【図3】実施の形態において、RGBの3色の蛍光体層
を形成する場合の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram in the case of forming phosphor layers of three colors of RGB in the embodiment.

【図4】実施の形態で使用する蛍光体層形成ノズルの分
解斜視図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view of a phosphor layer forming nozzle used in the embodiment.

【図5】実施の形態において、スクリュー加圧による蛍
光体ペースト供給ユニットを用いた蛍光体ペースト供給
状態の側断面の模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram of a side cross section of a phosphor paste supply state using a phosphor paste supply unit by screw pressing in the embodiment.

【図6】AC型カラーPDPセル構造を示す斜視図であ
る。
FIG. 6 is a perspective view showing an AC type color PDP cell structure.

【図7】従来のスクリーン印刷法による蛍光体層形成を
説明する模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating formation of a phosphor layer by a conventional screen printing method.

【図8】従来のスクリーン印刷法において、RGBの3
色の蛍光体層を形成する場合の説明図である。
FIG. 8 shows RGB 3 in a conventional screen printing method.
It is explanatory drawing at the time of forming a fluorescent substance layer of color.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 前面板 10 背面板 11 背面ガラス基板 14 リブ 15 セル 20R,20G,20B 蛍光体層 21R,21G,21B 蛍光体ペースト 30 蛍光体層形成ノズル 31 ノズルケース 32 空洞 33 蛍光体ペースト供給口 34,34A,34B メタルマスク 35 吐出口 40 蛍光体ペースト供給ユニット 50 配管 1 Front plate 10 Back plate 11 Rear glass substrate 14 ribs 15 cells 20R, 20G, 20B phosphor layer 21R, 21G, 21B phosphor paste 30 Phosphor layer forming nozzle 31 nozzle case 32 cavities 33 Phosphor paste supply port 34, 34A, 34B Metal mask 35 outlet 40 Phosphor paste supply unit 50 piping

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 9/227 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9/227

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 背面基板上に形成された複数のリブ間の
セル内に蛍光体層を形成するプラズマ・ディスプレイ・
パネル背面板の蛍光体層形成方法において、内部に蛍光
体ペーストが供給される空洞を有するノズルケースと、
該ノズルケース先端部に配置されかつ前記蛍光体層の断
面形状と一致するようにフォトエッチングで形成された
メタルマスクの開口部からなる蛍光体ペースト吐出口と
を備え、かつ前記吐出口が転写対象の複数セルに対応し
ている蛍光体層形成ノズルを用い、前記蛍光体層形成ノ
ズルは前記リブに対して非接触状態で前記背面基板上を
移動し、前記蛍光体ペーストの前記蛍光体層形成ノズル
への加圧、供給により前記吐出口から押し出された蛍光
体ペーストを前記セル内に転写して前記複数セル内に蛍
光体層を同時形成することを特徴とするプラズマ・ディ
スプレイ・パネル背面板の蛍光体層形成方法。
1. A plasma display for forming a phosphor layer in a cell between a plurality of ribs formed on a back substrate.
In the phosphor layer forming method of the panel back plate, a nozzle case having a cavity into which the phosphor paste is supplied,
It is arranged at the tip of the nozzle case and the phosphor layer is disconnected.
And a phosphor paste discharge port formed of an opening of a metal mask formed by photoetching so as to match the surface shape , and the discharge port corresponds to a plurality of cells to be transferred. A layer forming nozzle is used, the phosphor layer forming nozzle moves on the rear substrate in a non-contact state with the rib, and the phosphor paste is ejected by pressurizing and supplying the phosphor layer forming nozzle to the phosphor layer forming nozzle. A method for forming a phosphor layer on a rear panel of a plasma display panel, comprising: transferring a phosphor paste extruded from an outlet into the cell to simultaneously form a phosphor layer in the plurality of cells.
【請求項2】 背面基板上に形成された複数のリブ間の
セル内に蛍光体層を形成するプラズマ・ディスプレイ・
パネル背面板の蛍光体層形成装置において、内部に蛍光
体ペーストが供給される空洞を有するノズルケースと、
該ノズルケース先端部に配置されかつ前記蛍光体層の断
面形状と一致するようにフォトエッチングで形成された
メタルマスクの開口部からなる蛍光体ペースト吐出口と
を備え、かつ前記吐出口が転写対象の複数セルに対応し
ている蛍光体層形成ノズルと、該蛍光体層形成ノズルに
蛍光体ペーストを加圧、供給する蛍光体ペースト供給手
段と、該蛍光体層形成ノズルが前記背面基板上を前記リ
ブに対して非接触状態で直線移動するように駆動するノ
ズル駆動手段とを備え、前記蛍光体層形成ノズルは前記
吐出口から蛍光体ペーストを押し出して前記複数セル内
に転写し、蛍光体層を同時形成することを特徴とするプ
ラズマ・ディスプレイ・パネル背面板の蛍光体層形成装
置。
2. A plasma display, wherein a phosphor layer is formed in a cell between a plurality of ribs formed on a back substrate.
In a phosphor layer forming apparatus for a panel back plate, a nozzle case having a cavity into which a phosphor paste is supplied,
It is arranged at the tip of the nozzle case and the phosphor layer is disconnected.
And a phosphor paste discharge port formed of an opening of a metal mask formed by photoetching so as to match the surface shape , and the discharge port corresponds to a plurality of cells to be transferred. A layer forming nozzle, a phosphor paste supplying unit that pressurizes and supplies a phosphor paste to the phosphor layer forming nozzle, and the phosphor layer forming nozzle is a straight line in a non-contact state on the rear substrate with the rib. And a nozzle driving unit that is driven to move, wherein the phosphor layer forming nozzle pushes out a phosphor paste from the ejection port and transfers the phosphor paste into the plurality of cells to simultaneously form a phosphor layer. A device for forming a phosphor layer on the back plate of a plasma display panel.
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