JP3405487B2 - 加速管 - Google Patents
加速管Info
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Description
うための加速管に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、電子顕微鏡には電子等の荷電粒子
を加速するための加速管が使用されている。 【０００３】かかる加速管は図２に示すように通常、鉄
−ニッケル−コバルト合金等の金属材料から成る複数個
のリング状電極１１とアルミナセラミックス等の電気絶
縁材料から成る絶縁リング１２とを、これらの中心軸が
実質的に一致するようにして、且つ前記各リング状電極
１１の間に絶縁リング１２が挟まれるようにして銀ろう
等のろう材を介して取着してなる加速管本体１０と、該
加速管本体１０の両端に位置するリング状電極１１に溶
接により接合させたＳＵＳ等の金属から成る取付用フラ
ンジ１３とから構成されており、各リング状電極１１間
に高電圧を印加するとともに加速管本体１０の内部空間
に電子流を通すと、該電子流はリング状電極１１により
形成される電場によって大きく加速され、これによって
加速管として機能する。 【０００４】尚、前記加速管の取付用フランジ１３は、
加速管を電子顕微鏡内等に固定する用を為し、電子顕微
鏡内等に設けられている取付部材に取付用フランジ１３
を取着固定させることによって加速管が電子顕微鏡内等
に配置されるようになっている。 【０００５】また前記加速管本体１０の両端に位置する
リング状電極１１には立壁部１１ａが予め設けられてお
り、該立壁部１１ａの端面に取付用フランジ１３を溶接
させることによって加速管本体１０の両端に位置するリ
ング状電極１１に取付用フランジ１３が接合されてい
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の加速管においては、リング状電極の厚みが通常０．
５ｍｍ程度と薄く、剛性が低いこと及びリング状電極に
設けた立壁部が絶縁リングからやや離間して設けられて
いること等から振動等の外力が印加されると容易に弾性
変形するものとなっている。そのためこの加速管に振動
等の外力が印加されるとリング状電極が弾性変形し、こ
れがリング状電極に接合されている取付用フランジの共
動により大きく増幅されて加速管本体に共振振動を起こ
させてしまい、その結果、加速管本体内部の電場にバラ
ツキが発生し、加速される電子流の流れに乱れを生じる
という欠点を有していた。 【０００７】 【発明の目的】本発明は、かかる従来の加速管の欠点に
鑑み案出されたものであり、その目的は、電子流に乱れ
を生じることなく正確に加速することができる加速管を
提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明の加速管は、複数
のリング状電極と絶縁リングとを、これらの中心軸が実
質的に一致するようにして、且つ前記各リング状電極の
間に絶縁リングが挟まれるようにして取着して成る加速
管本体と、前記加速管本体の両端に位置するリング状電
極に形成された一対の立壁部の端面に接合される取付用
フランジと、前記加速管本体と取付用フランジとの間
で、リング状電極の前記一対の立壁部間の部位にろう付
けされ、取付用フランジの前記一対の立壁部との接合部
間の部位に形成されたボルト穴に外側から挿通させたボ
ルトにより取付用フランジにネジ止めされた電気絶縁材
料から成る補強リングとから成ることを特徴とするもの
である。 【０００９】 【作用】本発明の加速管によれば、加速管本体と取付用
フランジとの間に、加速管本体の両端に位置するリング
状電極の一対の立壁部間の部位にろう付けされ、取付用
フランジの一対の立壁部との接合部間の部位に形成され
たボルト穴に外側から挿通させたボルトにより取付用フ
ランジにネジ止めされる電気絶縁材料から成る補強リン
グを配設させたことから、リング状電極に外力が印加さ
れても弾性変形を起こすことはなく、これによって加速
管に振動等の外力が印加されても加速管本体にリング状
電極の弾性変形に起因する共振振動は発生せず、その結
果、加速管本体内部の電場は一定となり、電子流の加速
を一定として、且つ正確となすことができる。 【００１０】 【実施例】次に本発明の加速管を添付の図面に基づき詳
細に説明する。図１は、本発明の加速管の一実施例を示
し、１は加速管本体、２は取付用フランジである。この
加速管本体１と取付用フランジ２とを接合したものが加
速管となる。 【００１１】前記加速管本体１は、鉄−ニッケル−コバ
ルト合金等の金属から成る複数のリング状電極３とアル
ミナセラミックス等の電気絶縁材料から成る絶縁リング
４とから構成され、前記リング状電極３と絶縁リング４
とを、各リング状電極３の間に絶縁リング４を挟むよう
にして銀ろう等のろう材を介し接合することによって製
作され、全体として略円筒形状となっている。 【００１２】前記加速管本体１は、その内部空間に電子
流が流れ、該電子流を加速する作用を為し、加速管本体
１の内部空間に、図示しない電子発生源から発生された
電子流を流入させつつ各リング状電極３間に約１０ｋＶ
〜５０ｋＶの高電圧を印加すれば、該電圧によって加速
管本体１内部に形成される電場により電子流が加速され
る。 【００１３】前記加速管本体１を構成する絶縁リング４
は、各リング状電極３の電気的絶縁を図る作用を為し、
アルミナセラミックス等の電気絶縁材料から形成されて
いる。 【００１４】前記絶縁リング４は、例えばアルミナセラ
ミックスから成る場合、アルミナ、シリカ、カルシア、
マグネシア等の原料粉末を所定形状の金型内に充填する
とともにこれを一定圧力で押圧して円筒状の生成形体を
成形し、しかる後、前記生成形体を約１６００℃の高温
で焼成することによって製作される。 【００１５】また前記加速管本体１を構成するリング状
電極３は、それぞれの間に高電圧が印加されることによ
り加速管本体１の内部空間に電子流を加速するための電
場を形成する作用を為し、鉄−ニッケル−コバルト合金
やチタン等の金属材料で形成されている。 【００１６】前記リング状電極３は、例えば鉄−ニッケ
ル−コバルト合金等のインゴット（塊）を圧延加工法や
打ち抜き加工法等、従来周知の金属加工法により所定の
円板状に加工することによって製作される。 【００１７】更に前記絶縁リング４とリング状電極３と
は、銀ろう等のろう材を介して接合されており、各絶縁
リング４の両端面にタングステン、モリブデン、マンガ
ン等の高融点金属粉末から成るメタライズ金属層を予め
被着させておき、該メタライズ金属層とリング状電極３
とをこれらの間に銀ろう等のろう材を挟んで当接させる
とともに該銀ろう材を加熱溶融させることによって接合
される。 【００１８】尚、前記絶縁リング４の両端面にメタライ
ズ金属層を被着させるには、例えば絶縁リング４の両端
面にメタライズ金属層となる金属ペーストを従来周知の
スクリーン印刷法等により印刷塗布するとともにこれを
約１５００℃の温度で焼き付ける方法が採用される。 【００１９】また前記メタライズ金属層となる金属ペー
ストは、例えばモリブデン−マンガンから成る場合、モ
リブデン粉末及びマンガン粉末に有機バインダー、溶剤
等を添加混合することによって製作される。 【００２０】更に、前記リング状電極３のうち、加速管
本体１の両端に位置するリング状電極３には、立壁部３
ａが形成されており、該立壁部３ａの端面には取付用フ
ランジ２が溶接により接合固定されている。 【００２１】前記取付用フランジ２は外周に複数の取付
用ボルト穴２ａが設けられており、該取付用フランジ２
の取付用ボルト穴２ａを電子顕微鏡内等に設けた取付部
材にボルト締めすることによって加速管本体１が電子顕
微鏡等内に配置さる。 【００２２】尚、前記取付用フランジ２は例えば、ＳＵ
Ｓから成り、また取付用ボルト穴２ａは取付用フランジ
２に従来周知のドリル加工等の金属穴あけ加工を施すこ
とによって取付用フランジ２の所定位置に所定形状に形
成される。 【００２３】また前記加速管本体１の両端と取付用フラ
ンジ２との間にはリング状電極３にろう付けされ、取付
用フランジ２にネジ止めされた補強リング５が配設され
ている。 【００２４】前記補強リング５は加速管本体１の両端に
位置するリング状電極３にろう付けされ、取付用フラン
ジ２にネジ止めされることによってリング状電極３の弾
性変形を有効に阻止する作用を為し、これによってリン
グ状電極３に振動等の外力が印加されてもリング状電極
３に弾性変形が発生することはなく、該リング状電極３
の弾性変形に起因して加速管本体１の共振振動も有効に
阻止されて加速管本体１内部の電場が常に一定となり、
電子流の加速を一定として、且つ正確となすことができ
る。 【００２５】前記補強リング５は絶縁リング４の熱膨張
係数と実質的に同一の熱膨張係数を有するアルミナセラ
ミックス等の電気絶縁材料から成り、例えばアルミナセ
ラミックスから成る場合、アルミナ、シリカ、カルシ
ア、マグネシア等の原料粉末を所定形状の金型内に充填
するとともにこれを一定圧力で押圧して円筒状の生成形
体を成形し、しかる後、前記生成形体を約１６００℃の
高温で焼成することによって製作される。 【００２６】また前記補強リング５とリング状電極３と
のろう付けは補強リング５の端面に予めタングステン、
モリブデン、マンガン等の高融点金属粉末から成るメタ
ライズ金属層を被着させておき、該メタライズ金属層を
リング状電極３に銀ろう等のろう材を介しろう付けする
ことによって行われる。 【００２７】更に前記補強リング５と取付用フランジ２
とのネジ止めは予め補強リング５の端面に雌ネジ加工が
施された金属ブッシュ６を埋設させておくとともに取付
用フランジ２にボルト穴２ｂを形成しておき、ボルト７
を取付用フランジ２の外側からボルト穴２ｂに挿通さ
せ、その先端を金属ブッシュ６に螺合させることによっ
て行われる。 【００２８】尚、前記金属ブッシュ６の補強リング５へ
の埋設は、前記補強リング５に予め金属ブッシュ６を収
容するための凹部５ａを形成しておくとともに該凹部５
ａ内壁にタングステン、モリブデン、マンガン等の高融
点金属粉末から成るメタライズ金属層を予め被着させて
おき、次に前記メタライズ金属層と金属ブッシュ６とを
銀ろう等のろう材でろう付けすることによって行われ
る。 【００２９】また、前記補強リング５の凹部５ａ内壁へ
のメタライズ金属層の被着は前述の補強リング５の端面
にメタライズ金属層を被着させる方法と同じ方法によっ
て行われる。 【００３０】かくして本発明の加速管によれば、取付用
フランジを電子顕微鏡内等に設けられている取付部材に
取着固定させることによって電子顕微鏡等内に配置し、
各リング状電極３間に約１０ｋＶ〜５０ｋＶの高電圧を
印加して加速管本体１内部に所定の電場を形成するとと
もに該加速管本体１の内部空間に電子流を通過させれば
電子流は前記電場によって所定方向、所定速度に加速さ
れ、これによって加速管として機能する。 【００３１】尚、本発明は上述の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種
々の変更は可能である。 【００３２】 【発明の効果】本発明の加速管によれば、加速管本体と
取付用フランジとの間に、加速管本体の両端に位置する
リング状電極の一対の立壁部間の部位にろう付けされ、
取付用フランジの一対の立壁部との接合部間の部位に形
成されたボルト穴に外側から挿通させたボルトにより取
付用フランジにネジ止めされる電気絶縁材料から成る補
強リングを配設させたことから、リング状電極に外力が
印加されても弾性変形を起こすことはなく、これによっ
て加速管に振動等の外力が印加されても加速管本体にリ
ング状電極の弾性変形に起因する共振振動は発生せず、
その結果、加速管本体内部の電場は一定となり、電子流
の加速を一定として、且つ正確となすことができる。
る。 【図２】従来の加速管の断面図である。 【符号の説明】 １・・・・・・加速管本体 ２・・・・・・取付用フランジ ３・・・・・・リング状電極 ４・・・・・・絶縁リング ５・・・・・・補強リング ７・・・・・・ボルト
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】複数のリング状電極と絶縁リングとを、こ
れらの中心軸が実質的に一致するようにして、且つ前記
各リング状電極の間に絶縁リングが挟まれるようにして
取着して成る加速管本体と、前記加速管本体の両端に位
置するリング状電極に形成された一対の立壁部の端面に
接合される取付用フランジと、前記加速管本体と取付用
フランジとの間で、リング状電極の前記一対の立壁部間
の部位にろう付けされ、取付用フランジの前記一対の立
壁部との接合部間の部位に形成されたボルト穴に外側か
ら挿通させたボルトにより取付用フランジにネジ止めさ
れた電気絶縁材料から成る補強リングとから成ることを
特徴とする加速管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03046995A JP3405487B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 加速管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03046995A JP3405487B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 加速管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08222162A JPH08222162A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3405487B2 true JP3405487B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=12304740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03046995A Expired - Fee Related JP3405487B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 加速管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3405487B2 (ja) |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP03046995A patent/JP3405487B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH08222162A (ja) | 1996-08-30 |
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