JP3444971B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- molecular pump
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
- F04D29/544—Blade shapes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
- F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等に使
用されるターボ分子ポンプに関する。
用されるターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のターボ分子ポンプは、例
えば半導体製造用の成膜装置における排気用として使用
される場合が多く、例えば実開平１─124396号公報に記
載のものが存在する。同公報に記載のポンプは、吸気口
及び排気口を有するポンプケーシング内に回転自在に配
置された複数の動翼を有するロータと、該動翼間に固定
された静翼を有するステータとからポンプ段が構成さ
れ、ロータの回転による動翼と静翼との協働により、該
ターボ分子ポンプの吸気口に接続された真空用チャンバ
ー内を排気するものである。
えば半導体製造用の成膜装置における排気用として使用
される場合が多く、例えば実開平１─124396号公報に記
載のものが存在する。同公報に記載のポンプは、吸気口
及び排気口を有するポンプケーシング内に回転自在に配
置された複数の動翼を有するロータと、該動翼間に固定
された静翼を有するステータとからポンプ段が構成さ
れ、ロータの回転による動翼と静翼との協働により、該
ターボ分子ポンプの吸気口に接続された真空用チャンバ
ー内を排気するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の成膜装置に
おいて、その装置内で反応生成物や塵等の粒子が発生す
るが、この場合、粒子は排気系であるターボ分子ポンプ
側に吸引されることとなる。粒子がターボ分子ポンプ内
に吸引されると、高速度で回転する動翼と衝突して粉砕
され、微小塵となる。この微小塵の一部は動翼に衝突し
た衝撃で真空チャンバー内に飛散し、成膜作業中のウエ
ハーに付着する場合がある。
おいて、その装置内で反応生成物や塵等の粒子が発生す
るが、この場合、粒子は排気系であるターボ分子ポンプ
側に吸引されることとなる。粒子がターボ分子ポンプ内
に吸引されると、高速度で回転する動翼と衝突して粉砕
され、微小塵となる。この微小塵の一部は動翼に衝突し
た衝撃で真空チャンバー内に飛散し、成膜作業中のウエ
ハーに付着する場合がある。
【０００４】このように微小塵がウエハーに付着してし
まうと、ウエハーが不良となったり品質を低下させたり
するため、微小塵の発生は半導体の歩留に大きく影響す
る。
まうと、ウエハーが不良となったり品質を低下させたり
するため、微小塵の発生は半導体の歩留に大きく影響す
る。
【０００５】そこで、微小塵が真空チャンバー内に侵入
するのを防止する手段として、真空チャンバーとターボ
分子ポンプとを屈曲部のある吸入用配管を介して遠く離
間させることが考えられるが、この場合、その配管コン
ダクタンスが小さくなり、その有効排気速度は略半減す
る傾向にあり、好ましいものではない。
するのを防止する手段として、真空チャンバーとターボ
分子ポンプとを屈曲部のある吸入用配管を介して遠く離
間させることが考えられるが、この場合、その配管コン
ダクタンスが小さくなり、その有効排気速度は略半減す
る傾向にあり、好ましいものではない。
【０００６】尚、上記装置の上流側には、図５に示すよ
うな前記装置とは別体のバッフル40を配置させる場合が
ある。このバッフル40は流体の逆流を防止するためのも
のであり、同図（イ）に示すように複数の斜めの平板41
を間隔を有して平行に配置したものや、（ロ）に示す如
く複数の円錐板42を間隔を有して同心状に配置したもの
である。しかし、これらバッフル40により微小塵が真空
用チャンバー内い侵入するのを完全に防止できない。即
ち、平板41を平行に配置したバッフル40においては、動
翼に衝突した微小塵が衝突部分の接線方向にほとんど飛
散し、平板41方向に飛散する微小塵は平板41間を容易に
通過してしまう。また、円錐板42を複数配置したバッフ
ル40においても、同様に微小塵は円錐板42に沿って飛散
可能なため、円錐板42間を通過してしてしまい、微小塵
の真空用チャンバー内への侵入効果的に防止できない。
うな前記装置とは別体のバッフル40を配置させる場合が
ある。このバッフル40は流体の逆流を防止するためのも
のであり、同図（イ）に示すように複数の斜めの平板41
を間隔を有して平行に配置したものや、（ロ）に示す如
く複数の円錐板42を間隔を有して同心状に配置したもの
である。しかし、これらバッフル40により微小塵が真空
用チャンバー内い侵入するのを完全に防止できない。即
ち、平板41を平行に配置したバッフル40においては、動
翼に衝突した微小塵が衝突部分の接線方向にほとんど飛
散し、平板41方向に飛散する微小塵は平板41間を容易に
通過してしまう。また、円錐板42を複数配置したバッフ
ル40においても、同様に微小塵は円錐板42に沿って飛散
可能なため、円錐板42間を通過してしてしまい、微小塵
の真空用チャンバー内への侵入効果的に防止できない。
【０００７】本発明は、上記の如き従来の問題点に鑑み
てなされたもので、有効排気速度の低下を可及的の防止
でき、且つ、装置内で発生した微小塵が真空用チャンバ
ー内に侵入するのを防止して半導体等の歩留りを向上す
ることができるターボ分子ポンプを提供することを課題
とする。
てなされたもので、有効排気速度の低下を可及的の防止
でき、且つ、装置内で発生した微小塵が真空用チャンバ
ー内に侵入するのを防止して半導体等の歩留りを向上す
ることができるターボ分子ポンプを提供することを課題
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明が上記課題を解決
するために講じた技術的手段は、吸気口２及び排気口３
を有するポンプケーシング１内に回転自在に配置された
動翼11を有するロータ９と、該動翼11間に固定された静
翼13を有するステータ14とを備えたターボ分子ポンプに
おいて、前記動翼11により飛散される微小塵が真空用チ
ャンバー４側に侵入するのを防止するための微小塵防止
用の静翼ディスク22が、最上流段の動翼11ａよりも上流
に位置するように、前記ポンプケーシング１内に設けら
れてなることにある。
するために講じた技術的手段は、吸気口２及び排気口３
を有するポンプケーシング１内に回転自在に配置された
動翼11を有するロータ９と、該動翼11間に固定された静
翼13を有するステータ14とを備えたターボ分子ポンプに
おいて、前記動翼11により飛散される微小塵が真空用チ
ャンバー４側に侵入するのを防止するための微小塵防止
用の静翼ディスク22が、最上流段の動翼11ａよりも上流
に位置するように、前記ポンプケーシング１内に設けら
れてなることにある。
【０００９】更に、前記微小塵防止用の静翼ディスク22
は、中央部の円板部23から放射状に複数設けられた静翼
ブレ−ド25を有し、各静翼ブレ−ド25は、互いに所定の
間隙Ｌ１を有するように、前記動翼11の回転方向Ａに対
して傾斜し、且つ前後する２枚の静翼ブレ−ド25におい
て、前方の静翼ブレ−ド25の前部26と、後方の静翼ブレ
−ド25の後部27とは互いにオーバーラップされているこ
とにある。
は、中央部の円板部23から放射状に複数設けられた静翼
ブレ−ド25を有し、各静翼ブレ−ド25は、互いに所定の
間隙Ｌ１を有するように、前記動翼11の回転方向Ａに対
して傾斜し、且つ前後する２枚の静翼ブレ−ド25におい
て、前方の静翼ブレ−ド25の前部26と、後方の静翼ブレ
−ド25の後部27とは互いにオーバーラップされているこ
とにある。
【００１０】しかも、前記微小塵防止用の静翼ディスク
22の静翼ブレ−ド25と最上流段の動翼11ａとの間隙Ｌ
は、吸引される気体分子の平均自由行程以下に設定され
ているのが好ましい。
22の静翼ブレ−ド25と最上流段の動翼11ａとの間隙Ｌ
は、吸引される気体分子の平均自由行程以下に設定され
ているのが好ましい。
【００１１】また、前記微小塵防止用の静翼ディスク22
の静翼ブレ−ド25と最上流段の動翼11ａとの間隙Ｌmm
は、Ｌ≦0.05／Ｐ、( 但しＰTorrは吸引口２における吸
引圧力) に設定されていることにある。
の静翼ブレ−ド25と最上流段の動翼11ａとの間隙Ｌmm
は、Ｌ≦0.05／Ｐ、( 但しＰTorrは吸引口２における吸
引圧力) に設定されていることにある。
【００１２】
【作用】本発明のターボ分子ポンプにおいて、真空用チ
ャンバー４を含む構成部材から微小塵が発生した場合、
該微小塵は高速度で回転する最上流段の動翼11ａに衝突
し、動翼11ａの回転方向Ａ及び上下方向に飛散する。真
空用チャンバー４側に飛散する微小塵は、微小塵止用の
静翼ディスク22に当接して遮断されることとなり、微小
塵が微小塵防止用の静翼ディスク22を越えて真空用チャ
ンバー４側に侵入することはない。従って、真空用チャ
ンバー４内で成膜作業を行った場合、ウエハーに微小塵
が不用意に付着するおそれはない。
ャンバー４を含む構成部材から微小塵が発生した場合、
該微小塵は高速度で回転する最上流段の動翼11ａに衝突
し、動翼11ａの回転方向Ａ及び上下方向に飛散する。真
空用チャンバー４側に飛散する微小塵は、微小塵止用の
静翼ディスク22に当接して遮断されることとなり、微小
塵が微小塵防止用の静翼ディスク22を越えて真空用チャ
ンバー４側に侵入することはない。従って、真空用チャ
ンバー４内で成膜作業を行った場合、ウエハーに微小塵
が不用意に付着するおそれはない。
【００１３】また、前記微小塵防止用の静翼ディスク22
の静翼ブレ−ド25と最上流段の動翼11ａとの間隙Ｌが、
吸引される気体の平均自由行程以下に設定されている場
合には、微小塵防止用の静翼ブレード25が静翼13と同様
にポンプ機能を発揮し、微小塵防止用の静翼ブレード25
を動翼11の上流段に設けているにもかかわらず、有効排
気速度の低下を効果的に防止することが可能となる。
の静翼ブレ−ド25と最上流段の動翼11ａとの間隙Ｌが、
吸引される気体の平均自由行程以下に設定されている場
合には、微小塵防止用の静翼ブレード25が静翼13と同様
にポンプ機能を発揮し、微小塵防止用の静翼ブレード25
を動翼11の上流段に設けているにもかかわらず、有効排
気速度の低下を効果的に防止することが可能となる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面に従って
説明する。図４において、１はポンプケーシングで、そ
の上部には真空用チャンバー４に取付けられるフランジ
1aを有し、該フランジ1aには吸気口２が、該吸気口２と
反対側の下方には排気口３がそれぞれ形成されている。
説明する。図４において、１はポンプケーシングで、そ
の上部には真空用チャンバー４に取付けられるフランジ
1aを有し、該フランジ1aには吸気口２が、該吸気口２と
反対側の下方には排気口３がそれぞれ形成されている。
【００１５】６は吸気口２側のターボ分子ポンプ段で、
７は該ターボ分子ポンプ段６よりも下方（下流側の後
方）に配置されたねじ溝ポンプ段をそれぞれ示し、回転
自在なロータ９は、吸気口２側の動翼11と排気口３側の
筒状のねじ溝ロータ15とを一体に形成した複合型のもの
である。
７は該ターボ分子ポンプ段６よりも下方（下流側の後
方）に配置されたねじ溝ポンプ段をそれぞれ示し、回転
自在なロータ９は、吸気口２側の動翼11と排気口３側の
筒状のねじ溝ロータ15とを一体に形成した複合型のもの
である。
【００１６】即ち、ロータ９はポンプケーシング１側に
固定された駆動用モータのシャフト12に回転自在に取付
けられており、その上部の外周には複数の段にそれぞれ
前記動翼11が間隔を有して水平に突設されている。ま
た、前記ロータ９の動翼11よりも下方には、外周に螺旋
状のねじ溝が形成された前記筒状のねじ溝ロータ15が一
体的に垂下されている。
固定された駆動用モータのシャフト12に回転自在に取付
けられており、その上部の外周には複数の段にそれぞれ
前記動翼11が間隔を有して水平に突設されている。ま
た、前記ロータ９の動翼11よりも下方には、外周に螺旋
状のねじ溝が形成された前記筒状のねじ溝ロータ15が一
体的に垂下されている。
【００１７】前記ポンプケーシング１内周には、前記多
段の動翼11と交互に位置する静翼13、各静翼13間に介在
されたディスタンスピース13a 及び前記ねじ溝ロータ15
を囲繞するように、内周面がねじ溝ロータ15と僅かな隙
間を持ったステータ部17が設けられ、これら静翼13、デ
ィスタンスピース13a 及びステータ部17によりステータ
14が構成されている。
段の動翼11と交互に位置する静翼13、各静翼13間に介在
されたディスタンスピース13a 及び前記ねじ溝ロータ15
を囲繞するように、内周面がねじ溝ロータ15と僅かな隙
間を持ったステータ部17が設けられ、これら静翼13、デ
ィスタンスピース13a 及びステータ部17によりステータ
14が構成されている。
【００１８】また、前記動翼11及び静翼13により前記タ
ーボ分子ポンプ段６が構成されていると共に、ねじ溝ロ
ータ15およびステータ部17により前記ねじ溝ポンプ段７
が構成されている。ねじ溝ポンプ段７において、ねじ溝
をステータ部17の内周面に設け、それに対向するロータ
15の外周面は単に円筒面とした構成でも良い。
ーボ分子ポンプ段６が構成されていると共に、ねじ溝ロ
ータ15およびステータ部17により前記ねじ溝ポンプ段７
が構成されている。ねじ溝ポンプ段７において、ねじ溝
をステータ部17の内周面に設け、それに対向するロータ
15の外周面は単に円筒面とした構成でも良い。
【００１９】22は微小塵防止用の静翼ディスクで、前記
最上流段の動翼11ａの上流位置に設けられている。該静
翼ディスク22は図１乃至図３に示す如く、中央部の円形
の円板部23から放射状に複数設けられた平板状の静翼ブ
レ−ド25とからなり、各静翼ブレ−ド25の外周部がポン
プケーシング１の内周面に固定されている。
最上流段の動翼11ａの上流位置に設けられている。該静
翼ディスク22は図１乃至図３に示す如く、中央部の円形
の円板部23から放射状に複数設けられた平板状の静翼ブ
レ−ド25とからなり、各静翼ブレ−ド25の外周部がポン
プケーシング１の内周面に固定されている。
【００２０】各静翼ブレ−ド25は、図３（イ）に示す如
く動翼11ａの回転方向Ａに対して平行に傾斜し、且つ、
各静翼ブレ−ド25は、互いに所定の間隔Ｌ１を有してい
る。また、前後する２枚の静翼ブレ−ド25において、前
方の静翼ブレ−ド25の前部26と、後方の静翼ブレ−ド25
の後部27とは互いにオーバーラップしており、該オーバ
ーラップ28を設けることにより、微小塵防止用の静翼デ
ィスク22を上流側より平面視した場合に、最上流段の動
翼11ａが目視できないようになっている。尚、好ましく
は、上記微小塵防止用の静翼ディスク22の円板部23の直
径Ｄが、ターボ分子ポンプ段６の内径（排気機能を有さ
ない中央部分）と等しくなるように設定されている。
く動翼11ａの回転方向Ａに対して平行に傾斜し、且つ、
各静翼ブレ−ド25は、互いに所定の間隔Ｌ１を有してい
る。また、前後する２枚の静翼ブレ−ド25において、前
方の静翼ブレ−ド25の前部26と、後方の静翼ブレ−ド25
の後部27とは互いにオーバーラップしており、該オーバ
ーラップ28を設けることにより、微小塵防止用の静翼デ
ィスク22を上流側より平面視した場合に、最上流段の動
翼11ａが目視できないようになっている。尚、好ましく
は、上記微小塵防止用の静翼ディスク22の円板部23の直
径Ｄが、ターボ分子ポンプ段６の内径（排気機能を有さ
ない中央部分）と等しくなるように設定されている。
【００２１】微小塵防止用の静翼ディスク22の静翼ブレ
−ド25の下流側端面と最上流段の動翼11ａに形成された
動翼ブレード11ｂの上流側端面との間隙Ｌ（mm）は、Ｌ
≦0.05／Ｐ（但し、Ｐは吸気口の圧力（Ｔorr ））に設
定されている。ここで、0.05／Ｐは排気する気体が空気
である場合に、吸気口２での空気の平均自由行程（mm）
を示し、間隙Ｌを0.05／Ｐ以下に設定することにより、
上記微小塵防止用の静翼ディスク22は、ターボ分子ポン
プ段の静翼段として機能させることができ、微小塵防止
用の静翼ディスク22を設けることよる排気速度の低下を
防止することが可能となる。
−ド25の下流側端面と最上流段の動翼11ａに形成された
動翼ブレード11ｂの上流側端面との間隙Ｌ（mm）は、Ｌ
≦0.05／Ｐ（但し、Ｐは吸気口の圧力（Ｔorr ））に設
定されている。ここで、0.05／Ｐは排気する気体が空気
である場合に、吸気口２での空気の平均自由行程（mm）
を示し、間隙Ｌを0.05／Ｐ以下に設定することにより、
上記微小塵防止用の静翼ディスク22は、ターボ分子ポン
プ段の静翼段として機能させることができ、微小塵防止
用の静翼ディスク22を設けることよる排気速度の低下を
防止することが可能となる。
【００２２】例えば、ターボ分子ポンプはその吸気口圧
力Ｐが、0.1 Ｔorr 以下で運転されるのが一般的である
が、この場合、上記条件式にＰ＝0.1 を代入すると、Ｌ
≦0.5 mmとなる。一方、Ｐ＝0.1 における空気の平均自
由行程は、0.５mmに相当する。従って、間隙ＬをＬ＝0.
5 mmに設定することにより、微小塵防止用の静翼ディス
ク22は、ターボ分子ポンプ段の静翼段として機能させる
ことができるようになり、間隙Ｌを0.5 mmに設定するこ
とは、加工及び組み立ての際に困難を生じる値ではな
い。
力Ｐが、0.1 Ｔorr 以下で運転されるのが一般的である
が、この場合、上記条件式にＰ＝0.1 を代入すると、Ｌ
≦0.5 mmとなる。一方、Ｐ＝0.1 における空気の平均自
由行程は、0.５mmに相当する。従って、間隙ＬをＬ＝0.
5 mmに設定することにより、微小塵防止用の静翼ディス
ク22は、ターボ分子ポンプ段の静翼段として機能させる
ことができるようになり、間隙Ｌを0.5 mmに設定するこ
とは、加工及び組み立ての際に困難を生じる値ではな
い。
【００２３】本実施例のターボ分子ポンプは上記構成か
らなり、次に、そのターボ分子ポンプを使用して真空用
チャンバー４内で成膜作業を行う場合について説明す
る。先ず、排気工程においては、前記駆動用モータの作
動によりロータ９が高速回転し、ターボ分子ポンプ段６
とねじ溝ポンプ段７との作用による真空排気作用が行わ
れ、真空用チャンバー４内の気体が排出される。
らなり、次に、そのターボ分子ポンプを使用して真空用
チャンバー４内で成膜作業を行う場合について説明す
る。先ず、排気工程においては、前記駆動用モータの作
動によりロータ９が高速回転し、ターボ分子ポンプ段６
とねじ溝ポンプ段７との作用による真空排気作用が行わ
れ、真空用チャンバー４内の気体が排出される。
【００２４】この排気工程時に、仮に、図３（ロ）に示
すように成膜装置内で発生した反応生成物や塵等の粒子
30がターボ分子ポンプに吸引されると、高速（周速約30
0 m/s)で回転している動翼11の動翼ブレード11ｂと衝突
して粉砕される。この粒子30は、動翼11が高速で回転し
ていることから、ほとんど最上流の動翼11ａと衝突して
粉砕されることとなり、粉砕された微小塵は、動翼ブレ
ード11ｂから運動量を受け取り飛散するが、微小塵の飛
散範囲は動翼11a の回転方向Ａ及び上下方向の範囲とな
る。
すように成膜装置内で発生した反応生成物や塵等の粒子
30がターボ分子ポンプに吸引されると、高速（周速約30
0 m/s)で回転している動翼11の動翼ブレード11ｂと衝突
して粉砕される。この粒子30は、動翼11が高速で回転し
ていることから、ほとんど最上流の動翼11ａと衝突して
粉砕されることとなり、粉砕された微小塵は、動翼ブレ
ード11ｂから運動量を受け取り飛散するが、微小塵の飛
散範囲は動翼11a の回転方向Ａ及び上下方向の範囲とな
る。
【００２５】従って、放射状に設けられた静翼ブレ−ド
25を上記の如く、互いにオーバーラップさせていること
から、上流の側に飛散した微小塵は、必ず静翼ブレ−ド
25に衝突して確実に遮断され、任意の方向に飛散する微
小塵は、微小塵防止用の静翼ディスク22の各静翼ブレ−
ド25の間隔Ｌ１を介して静翼ディスク22から真空用チャ
ンバー４側へは侵入することはない。
25を上記の如く、互いにオーバーラップさせていること
から、上流の側に飛散した微小塵は、必ず静翼ブレ−ド
25に衝突して確実に遮断され、任意の方向に飛散する微
小塵は、微小塵防止用の静翼ディスク22の各静翼ブレ−
ド25の間隔Ｌ１を介して静翼ディスク22から真空用チャ
ンバー４側へは侵入することはない。
【００２６】排気される気体は、微小塵防止用の静翼デ
ィスク22の各静翼ブレ−ド25が薄肉の平板状で且つ平行
に設けられていることから、その間隙Ｌ１を通過し、コ
ンダクタンスの低下を可及的に防止することができる。
また、静翼ブレ−ド25と動翼11ａとの間隙Ｌが空気分子
の平均自由行程以下に設定されていることから、これら
両者静翼ブレ−ド25と動翼11ａとの間でもポンプ機能が
発揮され、有効排気速度の低下を効果的に防止すること
が可能となる。
ィスク22の各静翼ブレ−ド25が薄肉の平板状で且つ平行
に設けられていることから、その間隙Ｌ１を通過し、コ
ンダクタンスの低下を可及的に防止することができる。
また、静翼ブレ−ド25と動翼11ａとの間隙Ｌが空気分子
の平均自由行程以下に設定されていることから、これら
両者静翼ブレ−ド25と動翼11ａとの間でもポンプ機能が
発揮され、有効排気速度の低下を効果的に防止すること
が可能となる。
【００２７】更に、上記実施例では、ポンプケーシング
１内に前記微小塵防止用の静翼ディスク22を設けている
ことから、真空用チャンバー４とターボ分子ポンプとを
配管で接続する場合に比し、排気系がコンパクトにな
り、接続するフランジ数が減り製造コストが大幅に節減
でき、装置全体としてコンパクトになると共に、装置の
製造コトスの低減を図ることができる。
１内に前記微小塵防止用の静翼ディスク22を設けている
ことから、真空用チャンバー４とターボ分子ポンプとを
配管で接続する場合に比し、排気系がコンパクトにな
り、接続するフランジ数が減り製造コストが大幅に節減
でき、装置全体としてコンパクトになると共に、装置の
製造コトスの低減を図ることができる。
【００２８】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、例えば、上記実施例では、微小塵防止用の静翼デ
ィスク22の静翼ブレ−ド25は円板部23に対して固定した
場合を例示したが、各静翼ブレ−ド25の傾斜角度αを変
更可能に設け、各静翼ブレ−ド25の傾斜角度αを調整す
ることにより、微小塵防止用の静翼ディスク22でコンダ
クタンス弁の機能も備えるようにすることも可能であ
る。
なく、例えば、上記実施例では、微小塵防止用の静翼デ
ィスク22の静翼ブレ−ド25は円板部23に対して固定した
場合を例示したが、各静翼ブレ−ド25の傾斜角度αを変
更可能に設け、各静翼ブレ−ド25の傾斜角度αを調整す
ることにより、微小塵防止用の静翼ディスク22でコンダ
クタンス弁の機能も備えるようにすることも可能であ
る。
【００２９】ポンプ段としてターボ分子ポンプ段６とね
じ溝ポンプ段７とを備えたものを例示したが、ターボ分
子ポンプ段６のみを備えたターボ分子ポンプであっても
良いことは無論である。
じ溝ポンプ段７とを備えたものを例示したが、ターボ分
子ポンプ段６のみを備えたターボ分子ポンプであっても
良いことは無論である。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明において、最上流段
の動翼に対して上流位置には、該動翼により飛散される
微小塵が真空用チャンバー側に侵入するのを防止するた
めの微小塵防止用の静翼が設けられているので、真空用
チャンバー内での成膜作業時に、微小塵が真空用チャン
バー内に侵入してウエハーに付着するのを確実に防止で
き、半導体の歩留りを向上することが可能となる。
の動翼に対して上流位置には、該動翼により飛散される
微小塵が真空用チャンバー側に侵入するのを防止するた
めの微小塵防止用の静翼が設けられているので、真空用
チャンバー内での成膜作業時に、微小塵が真空用チャン
バー内に侵入してウエハーに付着するのを確実に防止で
き、半導体の歩留りを向上することが可能となる。
【００３１】しかも、前記微小塵防止用の静翼はポンプ
ケーシング内に設けられているので、従来のように真空
用チャンバーとターボ分子ポンプとを配管で連結する構
造のものに比し、装置全体の簡素化及び小型化を図るこ
とが可能となると共に、動翼と静翼とで構成するポンプ
段と真空チャンバーとの距離を短くでき、実効排気速度
の減少を防止できる利点がある。
ケーシング内に設けられているので、従来のように真空
用チャンバーとターボ分子ポンプとを配管で連結する構
造のものに比し、装置全体の簡素化及び小型化を図るこ
とが可能となると共に、動翼と静翼とで構成するポンプ
段と真空チャンバーとの距離を短くでき、実効排気速度
の減少を防止できる利点がある。
【００３２】また、前記微小塵防止用の静翼ディスクの
静翼ブレ−ドと最上流段の動翼との間隙が、吸引される
気体の平均自由行程以下に設定されている場合には、微
小塵防止用の静翼ディスクが、動翼段間の静翼と同様に
ポンプ機能を発揮し、微小塵防止用の静翼を動翼の上流
側に設けているにもかかわらず、有効排気速度の低下を
効果的に防止することが可能となる。
静翼ブレ−ドと最上流段の動翼との間隙が、吸引される
気体の平均自由行程以下に設定されている場合には、微
小塵防止用の静翼ディスクが、動翼段間の静翼と同様に
ポンプ機能を発揮し、微小塵防止用の静翼を動翼の上流
側に設けているにもかかわらず、有効排気速度の低下を
効果的に防止することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例の要部を示す断面図。
【図２】微小塵防止用の静翼ディスクの平面図。
【図３】本発明の一実施例を示し、（イ）は微小塵防止
用の静翼ディスクと最上流段の動翼との関係を示す断面
図、（ロ）は最上流段の動翼が微小塵を飛散させる状態
を示す断面図。
用の静翼ディスクと最上流段の動翼との関係を示す断面
図、（ロ）は最上流段の動翼が微小塵を飛散させる状態
を示す断面図。
【図４】本発明の全体を示す断面正面図。
【図５】従来例を示し、（イ）及び（ロ）はバッフルの
概略断面図。
概略断面図。
１…ポンプケーシング、２…吸気口、３…排気口、11…
動翼、11ａ…最上流の動翼、13…静翼、15…ロータ、14
…ステータ、22…微小塵防止用の静翼ディスク、23…円
板部、25…静翼ブレ−ド、Ａ…回転方向
動翼、11ａ…最上流の動翼、13…静翼、15…ロータ、14
…ステータ、22…微小塵防止用の静翼ディスク、23…円
板部、25…静翼ブレ−ド、Ａ…回転方向
Claims (4)
- 【請求項１】 吸気口（２）及び排気口（３）を有する
ポンプケーシング（１）内に回転自在に配置された動翼
（11）を有するロータ（９）と、該動翼（11）間に固定
された静翼（13）を有するステータ（14）とを備えたタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記動翼（11）により飛散さ
れる微小塵が真空用チャンバー（４）側に侵入するのを
防止するための微小塵防止用の静翼ディスク（22）が、
最上流段の動翼（11ａ）よりも上流に位置するように、
前記ポンプケーシング（１）内に設けられてなることを
特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記微小塵防止用の静翼ディスク（22）
は、中央部の円板部（23）から放射状に複数設けられた
静翼ブレ−ド（25）を有し、各静翼ブレ−ド（25）は、
互いに所定の間隙（Ｌ１）を有するように、前記動翼
（11）の回転方向（Ａ）に対して傾斜し、且つ前後する
２枚の静翼ブレ−ド（25），（25）において、前方の静
翼ブレ−ド（25）の前部（26）と、後方の静翼ブレ−ド
（25）の後部（27）とは互いにオーバーラップされてい
る請求項１に記載のターボ分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記微小塵防止用の静翼ディスク（22）
の静翼ブレ−ド（25）と最上流段の動翼（11ａ）との間
隙Ｌは、吸引される気体分子の平均自由行程以下に設定
されている請求項２に記載のターボ分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記微小塵防止用の静翼ディスク（22）
の静翼ブレ−ド（25）と最上流段の動翼（11ａ）との間
隙（Ｌ（mm））は、 Ｌ≦0.05／Ｐ、( 但しＰ（Torr) は吸引口（２）におけ
る吸引圧力) に設定されている請求項２に記載のターボ
分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14310794A JP3444971B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14310794A JP3444971B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814188A JPH0814188A (ja) | 1996-01-16 |
| JP3444971B2 true JP3444971B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=15331075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14310794A Expired - Lifetime JP3444971B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3444971B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2007180467A (ja) * | 2005-03-02 | 2007-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 反射装置、連通管、排気ポンプ、排気システム、該システムの洗浄方法、記憶媒体、基板処理装置及びパーティクル捕捉部品 |
| US7927066B2 (en) * | 2005-03-02 | 2011-04-19 | Tokyo Electron Limited | Reflecting device, communicating pipe, exhausting pump, exhaust system, method for cleaning the system, storage medium storing program for implementing the method, substrate processing apparatus, and particle capturing component |
| JP4716109B2 (ja) * | 2005-12-20 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| JP5250201B2 (ja) * | 2006-12-07 | 2013-07-31 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP5350598B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2013-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 排気ポンプ、連通管、排気システム及び基板処理装置 |
| JP2010174779A (ja) | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置 |
| JP5434684B2 (ja) * | 2010-03-04 | 2014-03-05 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| JP6706553B2 (ja) * | 2015-12-15 | 2020-06-10 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに搭載される回転翼、反射機構 |
| WO2018173341A1 (ja) * | 2017-03-23 | 2018-09-27 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレード |
| JP6885851B2 (ja) * | 2017-10-27 | 2021-06-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、ロータ、ロータフィン、およびケーシング |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP14310794A patent/JP3444971B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814188A (ja) | 1996-01-16 |
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