JP3467488B2 - Resist composition for column spacer of liquid crystal display device - Google Patents
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Landscapes
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示素子のカラ
ムスペーサ用レジスト組成物に係り、特に液晶表示素子
のカラムスペーサの形成時に適切な厚さにパターン形成
が可能で、平坦性、解像性、残膜率及びパターン安定性
に優れたレジスト組成物に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device, and in particular, it is possible to form a pattern with an appropriate thickness when forming a column spacer of a liquid crystal display device, and to obtain flatness and resolution. The present invention relates to a resist composition having excellent residual film rate and pattern stability.
【0002】[0002]
【従来の技術】通常、液晶表示素子(LCD)は2枚の対向
する上下パネルと、パネル間に挿入されるスペーサ及び
液晶よりなるが、スペーサは液晶層の厚さ、すなわちパ
ネル間の間隔であるセルギャップを保たせる機能をす
る。セルギャップが一定に保たれてこそ高速応答性、高
コントラスト性、広視野角度性などの液晶表示素子の性
能が具現されうる。2. Description of the Related Art Normally, a liquid crystal display device (LCD) is composed of two opposed upper and lower panels, a spacer and a liquid crystal inserted between the panels, and the spacer has a thickness of the liquid crystal layer, that is, a space between the panels. It functions to keep a certain cell gap. Only when the cell gap is kept constant, liquid crystal display device performance such as high-speed response, high contrast and wide viewing angle can be realized.
【0003】現在、最も多く使われているスペーサ形成
方法としては、セルギャップよりやや大径の透明な球状
またはシリンダー状のポリメチルメタクリレートやシリ
カ粒子を分散、塗布する方法が用いられている。このよ
うな方法は、液晶の注入時に球状やシリンダー状粒子が
部分的に凝集する現象が生じるだけでなく、液晶パネル
の移動や振動、衝撃等により粒子の位置が移動して均一
な分散が行われないために、セルギャップの偏差が生じ
て一定したセルギャップを保ちにくい。これにより、液
晶層の厚さが不均一になって液晶表示素子の色相が変化
し、画像が歪む問題点が生じる。また、配向膜にスクラ
ッチを生成して配向膜を損傷させることができ、上下パ
ネル基板の圧着封止時に電極が損傷される可能性もあ
る。このような問題点はTFT LCDなどの液晶表示素子の
大型化趨勢によって、または携帯電話、ポケベルなどの
情報端末機や移動型通信機、車両用運航システム等に対
する用途が開発、増大されるにつれてさらに深刻にな
る。At present, the most widely used spacer forming method is to disperse and coat transparent spherical or cylindrical polymethylmethacrylate or silica particles having a diameter slightly larger than the cell gap. Such a method not only causes a phenomenon in which spherical or cylindrical particles are partially aggregated at the time of injecting liquid crystal, but the particles are moved due to movement, vibration, impact, etc. of the liquid crystal panel to achieve uniform dispersion. Therefore, deviation of the cell gap occurs and it is difficult to maintain a constant cell gap. As a result, the thickness of the liquid crystal layer becomes non-uniform, the hue of the liquid crystal display element changes, and the image is distorted. In addition, scratches may be generated in the alignment film to damage the alignment film, and the electrodes may be damaged when the upper and lower panel substrates are pressure-sealed. These problems are expected to increase due to the trend toward larger liquid crystal display devices such as TFT LCDs, or as applications for information terminals such as mobile phones and pagers, mobile communication devices, and vehicle navigation systems are developed and increased. Get serious.
【0004】このような問題点を解決するための方法と
して、光硬化性組成物を利用して固定型カラムスペーサ
を形成する方法が提案された。大韓民国公開特許公報第
1999-88297号には、アクリル酸とアクリレー
トの共重合体、多価のアクリレート架橋剤及び光開始剤
よりなる組成物を塗布した後、紫外線を照射して所望の
部分を硬化させ、硬化されていない部分を塩基水溶液で
洗浄して除去する方法でスペーサを形成する方法が開示
されている。このような方法は、一定した間隔で一定し
た厚さを有する固定されたスペーサを形成できるので、
外部環境に関係なく均一のセルギャップを保てる。As a method for solving such a problem, a method of forming a fixed column spacer using a photocurable composition has been proposed. Korean Patent Laid-Open No. 1999-88297 discloses that a composition comprising a copolymer of acrylic acid and acrylate, a polyvalent acrylate cross-linking agent and a photoinitiator is applied, and then ultraviolet rays are irradiated to cure a desired portion. There is disclosed a method of forming a spacer by a method of washing and removing the uncured portion with an aqueous base solution. Such a method can form fixed spacers having a constant thickness and a constant spacing,
A uniform cell gap can be maintained regardless of the external environment.
【0005】しかし、前記公開特許公報に開示された光
硬化性組成物としては、液晶表示装置で使われる適切な
セルギャップである3ないし10μmの厚さを形成しに
くい。すなわち、前記組成物としては、スピンコーティ
ング方法により3ないし10μmの厚さを有するフィル
ムの製造に適当な粘度を達成しにくいために、前記組成
物をスピンコーティングし、硬化させて現像する作業を
数回反復して適切な厚さを有するスペーサを形成しなけ
ればならない煩わしさがある。また、前記組成物はアク
リル系樹脂を主成分と使用するために、硬化後に体積収
縮が生じて均一な厚さを有するスペーサを形成しにくい
ために、耐熱性及びパターン安定性も不良である。However, it is difficult for the photocurable composition disclosed in the above-mentioned publication to form a thickness of 3 to 10 μm, which is an appropriate cell gap used in a liquid crystal display device. That is, since it is difficult to achieve a viscosity suitable for producing a film having a thickness of 3 to 10 μm by a spin coating method, it is necessary to spin coat the composition, cure the composition, and develop the composition. There is the inconvenience of having to repeatedly form a spacer having an appropriate thickness. In addition, since the composition uses an acrylic resin as a main component, volume shrinkage occurs after curing and it is difficult to form a spacer having a uniform thickness, and thus heat resistance and pattern stability are also poor.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明が
解決しようとする技術的課題は、液晶表示素子のカラム
スペーサの形成時、適切な厚さにパターン形成が可能
で、耐熱性、パターン安定性、平坦性、解像性、及び残
膜率に優れたレジスト組成物を提供することにある。Therefore, a technical problem to be solved by the present invention is that a pattern can be formed to an appropriate thickness when forming a column spacer of a liquid crystal display element, and the heat resistance and the pattern stability can be improved. Another object of the present invention is to provide a resist composition having excellent flatness, resolution and residual film ratio.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】前記技術的課題を達成す
るために本発明は、一般式(1)In order to achieve the above technical object, the present invention provides a compound represented by the general formula (1):
【0008】[0008]
【化6】 [Chemical 6]
【0009】(前記一般式(1)において、Xは水素原
子またはメチル基であり、Y1は炭素原子数2ないし1
6のアルキル基またはヒドロキシアルキル基であり、Y
2は下記化学式(I)ないし化学式(XX)(In the general formula (1), X is a hydrogen atom or a methyl group, and Y 1 is a carbon atom having 2 to 1 carbon atoms.
6 is an alkyl group or a hydroxyalkyl group, and is Y
2 is the following chemical formula (I) or chemical formula (XX)
【0010】[0010]
【化7】 [Chemical 7]
【0011】[0011]
【化8】 [Chemical 8]
【0012】[0012]
【化9】 [Chemical 9]
【0013】(前記化学式(I)ないし化学式(XX)におい
て、R1は水素またはメチル基であり、R2は炭素原子数
1ないし10のアルキレングループであり、R3は炭素
原子数1ないし10の炭化水素の残留グループであり、
R4は水素またはメチル基であり、R5は炭素原子数1な
いし10のアルキレングループであり、kは0ないし1
0の整数である。)で表される化合物から選択された何
れか1つである。)で表されるバインダー樹脂、一般式
(2)(In the above formulas (I) to (XX), R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and R 3 is 1 to 10 carbon atoms. Is a residual group of hydrocarbons of
R 4 is hydrogen or a methyl group, R 5 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and k is 0 to 1
It is an integer of 0. ) Is any one selected from the compounds represented by: ) Binder resin represented by the general formula (2)
【0014】[0014]
【化10】 [Chemical 10]
【0015】(前記一般式(2)において、重合単位A
はベンジルメタアクリレート、スチレン、α-メチルス
チレン、イソボニルアクリレート、イソボニルメタアク
リレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロ
ペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンテニルアク
リレート、ジシクロペンテニルメタアクリレート、ジシ
クロペンタニルエチルオキシアクリレート、ジシクロペ
ンタニルエチルオキシメタアクリレート、ジシクロペン
テニルエチルオキシアクリレート、ジシクロペンテニル
エチルオキシメタアクリレートよりなる群から選択され
た何れか1つであり、Bはアクリル酸またはメタアクリ
ル酸であり、Cはグリシジルメタアクリレート、ヒドロ
キシエチルメタアクリレート、ジメチルアミノメタアク
リレート、アクリルアミドよりなる群から選択された何
れか1つであり、前記一般式(2)のバインダー樹脂は
重合単位A、B及びCの配列順序に拘束されないランダ
ム共重合体である。)で表されるバインダー樹脂、及び
これらの混合物よりなる群から選択された何れかのバイ
ンダー樹脂10ないし40重量部と、エチレン不飽和結
合を有する多官能性モノマー1ないし20重量部と、光
開始剤1ないし10重量部と、エポキシ基を含むシリコ
ン系化合物0.001ないし0.1重量部と、を含有する
ことを特徴とする液晶表示素子のカラムスペーサ用レジ
スト組成物を提供する。(In the above general formula (2), the polymerized unit A is
Is benzyl methacrylate, styrene, α-methylstyrene, isobornyl acrylate, isobonyl methacrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentenyl acrylate, dicyclopentenyl methacrylate, dicyclopentanyl ethyl Is any one selected from the group consisting of oxyacrylate, dicyclopentanylethyloxymethacrylate, dicyclopentenylethyloxyacrylate, dicyclopentenylethyloxymethacrylate, B is acrylic acid or methacrylic acid , C is any one selected from the group consisting of glycidyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, dimethylamino methacrylate, acrylamide, and The binder resin of the general formula (2) is a random copolymer which is not bound to the arrangement order of the polymerized units A, B and C. ) A binder resin represented by (4), and 10 to 40 parts by weight of a binder resin selected from the group consisting of a mixture thereof, 1 to 20 parts by weight of a polyfunctional monomer having an ethylenically unsaturated bond, and photoinitiating. A resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device, comprising 1 to 10 parts by weight of an agent and 0.001 to 0.1 part by weight of a silicon compound containing an epoxy group.
【0016】前記一般式(1)で表されるバインダー樹
脂は、カルボキシ酸が含まれたモノマーと二重結合を有
するモノマーの共重合体であって、このような共重合体
を含む本発明の組成物を塗布した後、パターンを形成す
れば、現像後残滓などの欠陥がなく、平坦化率が非常に
優秀である。すなわち、前記一般式(1)のY1は2な
いし16の炭素原子を有するアルキル基またはヒドロキ
シアルキル基であって接着力の向上に寄与し、Y2には
芳香族基を含むアクリル共重合樹脂よりなる従来のバイ
ンダー樹脂とは違ってバルキーな指環族構造を含んで残
膜率を高めるだけでなく、ガラス遷移温度が高いため
に、耐熱性も優秀である。The binder resin represented by the general formula (1) is a copolymer of a monomer containing a carboxylic acid and a monomer having a double bond, and a binder resin of the present invention containing such a copolymer. If a pattern is formed after applying the composition, there is no defect such as a residue after development and the flattening rate is very excellent. That is, Y 1 in the general formula (1) is an alkyl group or a hydroxyalkyl group having 2 to 16 carbon atoms, which contributes to the improvement of the adhesive force, and Y 2 contains an acrylic copolymer resin containing an aromatic group. Unlike the conventional binder resin, which contains a bulky ring structure, it not only enhances the residual film ratio, but also has a high glass transition temperature, and therefore has excellent heat resistance.
【0017】前記一般式(1)で表されるバインダー樹
脂の平均分子量は2,000ないし50,000、分散度
は1.0ないし5.0、酸度は30ないし400KOHmg/g
であることを使用することが望ましく、平均分子量5,
000ないし40,000で、分散度は1.6ないし3.
0であり、酸度は50ないし150KOHmg/gであるもの
を使用することがさらに望ましい。The average molecular weight of the binder resin represented by the general formula (1) is 2,000 to 50,000, the dispersity is 1.0 to 5.0, and the acidity is 30 to 400 KOHmg / g.
It is desirable to use the average molecular weight of 5,
000 to 40,000, dispersity is 1.6 to 3.
It is more desirable to use those having an acidity of 0 and an acidity of 50 to 150 KOHmg / g.
【0018】また、前記一般式(2)で表されるバイン
ダー樹脂を使用する時も、一般式(1)で表されるバイ
ンダー樹脂を使用する時とほぼ対等な効果を表す。前記
一般式(2)で表されるバインダー樹脂において、本発
明の目的を阻害しない範囲で他の種類の重合単位導入が
可能であるが、例えば、一般式(3)Further, when the binder resin represented by the general formula (2) is used, the same effect is obtained as when the binder resin represented by the general formula (1) is used. In the binder resin represented by the general formula (2), it is possible to introduce other types of polymerized units within a range that does not impair the object of the present invention.
【0019】[0019]
【化11】 [Chemical 11]
【0020】のDのようにアルキル基の数が2ないし1
6のアルキルアクリレートまたはアルキルメタアクリレ
ートをさらに導入しうる。このような反復単位として、
より具体的に、メチルメタクリレート、ブチルメタクリ
レート、ラウリルメタクリレート、メチルアクリレー
ト、ブチルアクリレート、ラウリルアクリレート、スチ
レンなどを挙げられる。The number of alkyl groups is 2 to 1 as in D of
Further alkyl acrylates or alkyl methacrylates of 6 can be introduced. As such a repeating unit,
More specifically, methyl methacrylate, butyl methacrylate, lauryl methacrylate, methyl acrylate, butyl acrylate, lauryl acrylate, styrene and the like can be mentioned.
【0021】一般式(2)で表されるバインダー樹脂の
平均分子量は2,000ないし100,000、分散度は
1.0ないし5.0、酸度は30ないし400KOHmg/gで
あることが望ましく、平均分子量は5,000ないし6
0,000、分散度は1.6ないし3.0、酸度は50な
いし150KOHmg/gであることがさらに望ましい。The binder resin represented by the general formula (2) preferably has an average molecular weight of 2,000 to 100,000, a dispersity of 1.0 to 5.0, and an acidity of 30 to 400 KOHmg / g. Average molecular weight is 5,000 to 6
More preferably, the dispersity is 2,000, the dispersity is 1.6 to 3.0, and the acidity is 50 to 150 KOHmg / g.
【0022】特に、前記一般式(1)で表されるバイン
ダー樹脂と一般式(2)で表されるバインダー樹脂とを
混合して使用すれば、組成物のうち多官能性モノマーと
バインダー樹脂との相溶性が増加してガラス表面との付
着性が改善され、パターンの耐割れ性を向上させるだけ
でなく白化現象も消えることになる。In particular, when the binder resin represented by the general formula (1) and the binder resin represented by the general formula (2) are mixed and used, the polyfunctional monomer and the binder resin in the composition are mixed. In addition to improving the crack resistance of the pattern, the whitening phenomenon disappears.
【0023】本発明に係る液晶表示素子のカラムスペー
サ用レジスト組成物には、エチレン不飽和結合を有する
エラストマー1ないし20重量部をさらに添加しうる。
このようなエラストマーとしては、側鎖のエチレン不飽
和結合数が2〜15であるものを使用することが望まし
いが、例えば側鎖にエチレン不飽和結合を有するウレタ
ンアクリル樹脂を使用しうる。このようなウレタンアク
リル樹脂としては、日本国新中村社のUシリーズ、UAシ
リーズなどがある。他に使用されうるエラストマーとし
ては、SBS、SIS、SIBS、EPDM、EPゴム、ブタジエンゴ
ム、イソプレンゴムなどを改質した熱可塑性エラストマ
ーなどがあり、これらを単独または2種以上混合して使
用しうる。このようなエチレン不飽和結合を有するエラ
ストマーを添加したレジスト組成物として形成されたカ
ラムスペーサは弾性が非常に向上されるので、パネル形
成後に外部からパネルに加えられる圧力により下部オー
バーコートやブラックマトリックス、カラーフィルター
ピクセルなどが割れる可能性を排除しうる。1 to 20 parts by weight of an elastomer having an ethylenically unsaturated bond may be further added to the resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device according to the present invention.
As such an elastomer, it is desirable to use one having an ethylenically unsaturated bond number of 2 to 15 in the side chain, but for example, a urethane acrylic resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain can be used. Examples of such urethane acrylic resin include U series and UA series of Shin-Nakamura, Japan. Other elastomers that can be used include thermoplastic elastomers obtained by modifying SBS, SIS, SIBS, EPDM, EP rubber, butadiene rubber, isoprene rubber and the like, and these may be used alone or in combination of two or more. . Since the column spacer formed as a resist composition to which an elastomer having such an ethylenically unsaturated bond is added has an extremely improved elasticity, a lower overcoat or a black matrix by a pressure applied from the outside to the panel after forming the panel, The possibility that a color filter pixel or the like is broken can be eliminated.
【0024】本発明に係る液晶表示素子のカラムスペー
サ用レジスト組成物に含まれているエチレン不飽和結合
を有する多官能性モノマーとしては、通常の感光性組成
物に使用するエチレン性不飽和結合を有する重合性化合
物を使用できるが、例えば、エチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、エチレンオキシド基の数が2ないし
14のポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメ
チロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド基
の数が2ないし14であるプロピレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレートなどの多価アルコールとα,β-不飽和
カルボキシ酸をエステル化して得られる化合物と、トリ
メチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリル酸
付加物、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリ
ル酸付加物などのグリシジル基含有化合物に(メタ)アク
リル酸を付加して得られる化合物と、β-ヒドロキシエ
チル(メタ)アクリレートのフタル酸ジエステル、β-ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレートのトルエンジイソシ
アネート付加物などの水酸基及びエチレン性不飽和結合
を有する化合物と多価カルボキシ酸とのエステル化合物
またはポリイソシアネートとの付加物と、メチル(メタ)
アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メ
タ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレー
トなどの(メタ)アクリル酸アルキルエステルなどを単独
またはこれらのうち二種以上を混合して使用しうる。The polyfunctional monomer having an ethylenically unsaturated bond contained in the resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device according to the present invention may be an ethylenically unsaturated bond used in a conventional photosensitive composition. The polymerizable compound having the above can be used, for example, ethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene oxide groups,
Trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) having 2 to 14 propylene oxide groups. ) Acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and other compounds obtained by esterification of α, β-unsaturated carboxylic acid, and trimethylolpropane triglycidyl ether acrylic Compounds obtained by adding (meth) acrylic acid to glycidyl group-containing compounds such as acid adducts, bisphenol A diglycidyl ether acrylic acid adducts, and phthalic acid of β-hydroxyethyl (meth) acrylate Esters, and adducts of β- hydroxyethyl (meth) compound having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated bond such as toluene diisocyanate adduct acrylate ester compound with a polyvalent carboxyl acid or polyisocyanate, methyl (meth)
Acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid alkyl ester such as 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc. may be used alone or in admixture of two or more.
【0025】このように、エチレン不飽和結合を有する
重合性化合物の多官能性モノマー、エチレン不飽和結合
を有するエラストマー及びバインダー樹脂の組成を本発
明によって適切に調節することによって弾性、高耐熱
性、高透明性、高平坦化率及びパターン安定性を保てる
カラムスペーサ用レジスト組成物を製造しうる。As described above, the composition of the polyfunctional monomer of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, the elastomer having an ethylenically unsaturated bond, and the binder resin is appropriately adjusted according to the present invention to provide elasticity, high heat resistance, A resist composition for a column spacer that can maintain high transparency, a high flattening rate and pattern stability can be manufactured.
【0026】また、本発明のレジスト組成物に含まれて
いる光開始剤としては、透明性を高め、ドーズ量を最小
化するためにアセトフェノン系やベンゾフェノン系を単
独またはこれらを混合して使用することが望ましい。光
開始剤そのものが色を有すれば透明性を低下させる作用
をするので、露光時に使用する波長帯で適切な感度を有
し、無色の光開始剤を使用すれば高透明性を実現しう
る。一般に、アクリル系多機能モノマーを使用する仮橋
反応で光開始剤は使用する紫外線の波長に合わせて使わ
れるが、最も広く使われる紫外線波長である水銀ランプ
は310〜420nm領域の波長を有するので、この波長
領域でラジカルを発生する光開始剤を使用することが望
ましい。As the photoinitiator contained in the resist composition of the present invention, an acetophenone type or a benzophenone type is used alone or in a mixture thereof in order to enhance the transparency and minimize the dose amount. Is desirable. If the photoinitiator itself has a color, it acts to reduce transparency, so it has appropriate sensitivity in the wavelength band used during exposure, and high transparency can be achieved by using a colorless photoinitiator. . Generally, the photoinitiator is used according to the wavelength of the ultraviolet ray used in the temporary bridge reaction using the acrylic multifunctional monomer, but the mercury lamp, which is the most widely used ultraviolet wavelength, has a wavelength in the range of 310 to 420 nm. It is desirable to use a photoinitiator that generates radicals in this wavelength range.
【0027】このような光開始剤としては、Irgacure3
69、Irgacure907、EPD/BMS混合系などのベンゾフ
ェノン系とトリアジン系光開始剤があるが、例えばベン
ゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1-ヒドロキ
シ-1-ベンゾイルシクロヘキサン、ベンジル、ベンジル
ジメチルケタル、1-ベンジル-1-ジメチルアミノ-1-
(4-モルホリノ-ベンゾイル)プロパン、2-モルホリル-
2-(4-メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキ
サントン、1-クロロ-4-プロキシチオキサントン、イ
ソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、
エチルアントラキノン、4-ベンゾイル−4-メチルジフ
ェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2-ヒ
ドロキシ-2-ベンゾイルプロパン、2-ヒドロキシ-2-
(4-イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4-ブチルベン
ゾイルトリクロロメタン、4-フェノキシベンゾイルジ
クロロメタン、ベンゾイルホルム酸メチル、1,7-ビス
(9-アクリジニル)ヘプタン、9-n-ブチル-3,6-ビス
(2-モルホリノ-イソブチロイル)カルバゾール、2-メ
チル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2
-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジ
ン、2-ナフチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-ト
リアジンなどがある。As such a photoinitiator, Irgacure 3
69, Irgacure 907, EPD / BMS mixed system, and other benzophenone-based and triazine-based photoinitiators. Examples include benzophenone, phenylbiphenyl ketone, 1-hydroxy-1-benzoylcyclohexane, benzyl, benzyldimethylketal, and 1-benzyl-1. -Dimethylamino-1-
(4-morpholino-benzoyl) propane, 2-morpholyl-
2- (4-methylmercapto) benzoylpropane, thioxanthone, 1-chloro-4-proxythioxanthone, isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone,
Ethylanthraquinone, 4-benzoyl-4-methyldiphenyl sulfide, benzoin butyl ether, 2-hydroxy-2-benzoylpropane, 2-hydroxy-2-
(4-Isopropyl) benzoylpropane, 4-butylbenzoyltrichloromethane, 4-phenoxybenzoyldichloromethane, methyl benzoylformate, 1,7-bis
(9-Acridinyl) heptane, 9-n-butyl-3,6-bis
(2-morpholino-isobutyroyl) carbazole, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2
Examples include -phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and 2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine.
【0028】本発明のレジスト組成物に含まれているエ
ポキシ基を有するシリコン系添加物は、ITO電極と組成
物との接着力を向上させて硬化した後、耐熱特性を向上
させる。このようなシリコン系化合物としては、(3-グ
リシドオキシプロピル)トリメトキシ(エトキシ)シラン
(3-グリシドオキシプロピル)メチルジメトキシ(エトキ
シ)シラン、(3-グリシドオキシプロピル)ジメチルメト
キシ(エトキシ)シラン、3,4-エポキシブチルトリメト
キシ(エトキシ)シラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキ
シル)エチルトリメトキシ(エトキシ)シランなどがあ
り、これらを各々単独またはこれらを混合して使用しう
る。The epoxy group-containing silicon-based additive contained in the resist composition of the present invention improves the adhesive strength between the ITO electrode and the composition and, after curing, improves the heat resistance. Examples of such silicon compounds include (3-glycidoxypropyl) trimethoxy (ethoxy) silane.
(3-glycidoxypropyl) methyldimethoxy (ethoxy) silane, (3-glycidoxypropyl) dimethylmethoxy (ethoxy) silane, 3,4-epoxybutyltrimethoxy (ethoxy) silane, 2- (3,4- Epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy (ethoxy) silane and the like, which may be used alone or as a mixture thereof.
【0029】また、本発明のカラムスペーサ用レジスト
組成物には必要に応じて光増減剤、熱重合禁止剤、消泡
剤、レベリング剤などの相溶性がある添加剤を添加しう
る。If necessary, compatible additives such as a photosensitizer, a thermal polymerization inhibitor, a defoaming agent and a leveling agent may be added to the resist composition for column spacers of the present invention.
【0030】本発明のカラムスペーサ用レジスト組成物
は溶媒を加えて基板上にスピンコーティングした後、マ
スクを用いて紫外線を照射してアルカリ現像液で現像す
る方法を通じてカラムスペーサを形成するが、粘度を1
0ないし35cps範囲になるように溶媒を添加するの
が、セルギャップを3ないし10μmの厚さに保てるコ
ーティング層を製造するのに望ましい。さらに望ましく
は、粘度を15ないし30cpsに調節するのがコーティ
ング後に薄膜のピンホールがなく、薄膜の厚さを調節す
るのにさらに有利である。このような溶媒としては、組
成物のコーティング性の他に得られる薄膜の透明性、バ
インダー樹脂、多機能モノマー及びその他の化合物との
相溶性を考慮する時、エチルアセテート、ブチルアセテ
ート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチ
レングリコールジメチルエチルエーテル、メチルメトキ
シプロピオネート、エチルエトキシプロピオネート(EE
P)、エチルラクテート、プロピレングリコールメチルエ
ーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールメチ
ルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテ
ート、ジエチレングリコールメチル(またはエチル)アセ
テート、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘ
キサノン、ジメチルホルムアミド(DMF)、N、N-ジメチル
アセトアミド(DMAc)、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)、
γ-ブチロラクトン、ジエチルエーテル、エチレングリ
コールジメチルエーテル、ジグリム、テトラヒドロフラ
ン(THF)、メタノール、エタノール、プロパノール、イ
ソ-プロパノール、メチル(またはエチル)セロソルブ、
ジエチレングリコールメチル(またはエチル)エーテル、
ジプロピレングリコールメチルエーテル、トルエン、キ
シレン、ヘキサン、ヘプタン、オクタンのうち選択され
た溶媒を単独または1種以上を混合した溶媒を使用しう
る。The resist composition for column spacers of the present invention is prepared by spin coating a substrate by adding a solvent, irradiating ultraviolet rays with a mask and developing with an alkali developing solution to form column spacers. 1
Addition of solvent in the range of 0 to 35 cps is desirable for producing a coating layer capable of keeping the cell gap at a thickness of 3 to 10 μm. More desirably, adjusting the viscosity to 15 to 30 cps has no pinholes in the thin film after coating, and it is more advantageous to adjust the thickness of the thin film. As such a solvent, when considering the transparency of the thin film obtained in addition to the coating property of the composition, the binder resin, the compatibility with the multifunctional monomer and other compounds, ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, Diethylene glycol dimethyl ethyl ether, methyl methoxy propionate, ethyl ethoxy propionate (EE
P), ethyl lactate, propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA), propylene glycol methyl ether, propylene glycol propyl ether,
Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol methyl (or ethyl) acetate, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) ,
γ-butyrolactone, diethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diglyme, tetrahydrofuran (THF), methanol, ethanol, propanol, iso-propanol, methyl (or ethyl) cellosolve,
Diethylene glycol methyl (or ethyl) ether,
A solvent selected from dipropylene glycol methyl ether, toluene, xylene, hexane, heptane, and octane may be used alone or in combination with one or more.
【0031】[0031]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体的に説明する
ために実施例及び比較例を挙げて詳細に説明する。しか
し、本発明に係る実施例は多様な他の形に変形でき、本
発明の範囲が後述する実施例に限定されると解釈されて
はならない。本発明の実施例は当業者に本発明をさらに
完全に説明するために提供されるものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples. However, the embodiments according to the present invention may be modified into various other forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. The examples of the present invention are provided to those skilled in the art to more fully describe the present invention.
【0032】<実施例1>紫外線遮断膜と攪拌機が設けら
れている反応混合槽に下記表1に記載された組成及び含
量によってバインダー樹脂、多官能性モノマー、光開始
剤、シラン系エポキシ化合物と所定の光増減剤、熱重合
禁止剤、消泡剤、レベリング剤を順次に添加してカラム
スペーサ用レジスト組成物を製造した後、常温で攪拌し
た。次いで、組成物に溶媒を加えてレジスト組成物の粘
度を25cpsに調節した。Example 1 A binder resin, a polyfunctional monomer, a photoinitiator, and a silane-based epoxy compound were mixed according to the composition and content shown in Table 1 below in a reaction mixing tank equipped with an ultraviolet blocking film and a stirrer. A predetermined light increasing / decreasing agent, a thermal polymerization inhibitor, a defoaming agent, and a leveling agent were sequentially added to prepare a resist composition for a column spacer, and then the mixture was stirred at room temperature. Then, a solvent was added to the composition to adjust the viscosity of the resist composition to 25 cps.
【0033】実施例のうち、バインダー樹脂は前述した
一般式(1)(一般式(1)でXはメチル基であり、Y1
はメチル基)のY2が各々化学式(I)ないし化学式(XX)で
あることを化学式(1-I)ないし化学式(1-XX)で表し、
この際、R1、R2、R3、R4は各々メチル、メチル、エ
チル及びメチルであり、kは1である。In the examples, the binder resin is the above-mentioned general formula (1) (in the general formula (1), X is a methyl group, and Y 1
Is a methyl group) Y 2 is represented by the chemical formula (I) to the chemical formula (XX) is represented by the chemical formula (1-I) to the chemical formula (1-XX),
In this case, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each methyl, methyl, ethyl and methyl, and k is 1.
【0034】<実施例2〜32>前記実施例1の組成物の
成分及び含量を下記表1ないし表3に記載された組成に
よって変化させたことを除いては同一な方法でカラムス
ペーサ用レジスト組成物を製造した。<Examples 2 to 32> A resist for a column spacer was prepared in the same manner except that the components and contents of the composition of Example 1 were changed according to the compositions shown in Tables 1 to 3 below. A composition was produced.
【0035】<比較例1〜8>前記実施例1のバインダー
樹脂の代りに下記一般式(4)<Comparative Examples 1 to 8> Instead of the binder resin of Example 1, the following general formula (4) was used.
【0036】[0036]
【化12】 [Chemical 12]
【0037】(前記一般式(4)において、pは0.3
で、qは0.2であり、rは0.5である。)で表される
バインダー樹脂(平均分子量30,000)を使用し、組
成物の成分及び含量を下記表2および表3に記載された
組成によって変化させたことを除いては同一な方法でカ
ラムスペーサ用レジスト組成物を製造した。(In the general formula (4), p is 0.3.
Where q is 0.2 and r is 0.5. Column) in the same manner except that a binder resin (average molecular weight 30,000) represented by the formula (1) was used and the composition and content of the composition were changed according to the compositions shown in Tables 2 and 3 below. A resist composition for spacers was manufactured.
【0038】[0038]
【表1】 [Table 1]
【0039】[0039]
【表2】 [Table 2]
【0040】[0040]
【表3】 [Table 3]
【0041】<実施例33〜51>前記実施例1の組成物
にウレタンアクリレートをさらに添加し、成分及び含量
を下記表4に記載された組成によって変化させたことを
除いては同一な方法でカラムスペーサ用レジスト組成物
を製造した。表4において、ウレタンアクリレート(日
本国新中村社製品)の側鎖の不飽和二重結合数が1〜1
5であることを各々UA1〜UA15で表した。<Examples 33 to 51> The same method as in Example 1 was repeated except that urethane acrylate was added to the composition of Example 1 and the components and contents were changed according to the compositions shown in Table 4 below. A resist composition for column spacer was manufactured. In Table 4, the number of unsaturated double bonds in the side chain of urethane acrylate (product of Shin-Nakamura, Japan) is 1 to 1.
5 is represented by UA1 to UA15, respectively.
【0042】[0042]
【表4】 [Table 4]
【0043】<比較例9〜12>前記実施例33〜51の
バインダー樹脂の代りに比較例1〜8の一般式(4)で
表されるバインダー樹脂を使用し、組成物の成分及び含
量を下記表5に記載された組成によって変化させたこと
を除いては同一な方法でカラムスペーサ用レジスト組成
物を製造した。<Comparative Examples 9 to 12> Binder resins represented by the general formula (4) of Comparative Examples 1 to 8 were used in place of the binder resins of Examples 33 to 51, and the components and contents of the compositions were changed. A resist composition for a column spacer was manufactured by the same method except that the composition was changed according to the composition shown in Table 5 below.
【0044】[0044]
【表5】 [Table 5]
【0045】以上の実施例及び比較例に係るレジスト組
成物の評価はシリコンウェーハまたはガラス板などの基
板上で行い、レジスト組成物の熱的特性調査、平坦性、
残膜率、パターン形成などの性能評価を実施した。特
に、ウレタンアクリレートを含有する組成物は圧縮復元
率をさらに評価し、その結果を次の表6及び表7に示し
た。Evaluation of the resist compositions according to the above-mentioned Examples and Comparative Examples was carried out on a substrate such as a silicon wafer or a glass plate, and thermal characteristics investigation, flatness,
Performance evaluations such as residual film rate and pattern formation were performed. In particular, compositions containing urethane acrylate were further evaluated for compression recovery and the results are shown in Tables 6 and 7 below.
【0046】(1) 熱的特性調査
カラムスペーサ用レジスト組成物の熱的性質を評価する
ために熱重量分析機(Thermogravimetric analysis:TGA)
を用いて熱分解温度を測定し、初期重量の5%が減少す
る温度を初期分解温度として比較した。(1) Investigation of Thermal Properties In order to evaluate the thermal properties of the resist composition for column spacers, a thermogravimetric analysis (TGA)
Was used to measure the thermal decomposition temperature, and the temperature at which 5% of the initial weight decreased was compared as the initial decomposition temperature.
【0047】(2) 平坦性
レジスト組成物を基板上にスピンコータを用いて600
rpmの速度で13秒間塗布した後、90℃で3分間プリ
ベークし、365nmで15秒間硬化させた後、220℃
で30秒間ポストベークを実施してレジスト膜を形成し
た。シリコンウェーハまたはガラス板に形成されたレジ
スト膜を厚さ測定器を用いて相異なる25箇所で厚さを
測定して最大厚さと最小厚さとの差を求めた。(2) The flatness resist composition was applied onto a substrate by a spin coater at 600
After applying for 13 seconds at a speed of rpm, pre-bake at 90 ° C. for 3 minutes, cure at 365 nm for 15 seconds, and then 220 ° C.
Then, post-baking was performed for 30 seconds to form a resist film. The thickness of the resist film formed on the silicon wafer or the glass plate was measured at 25 different points by using a thickness measuring instrument to obtain the difference between the maximum thickness and the minimum thickness.
【0048】(3) 残膜率
カラムスペーサ用レジスト組成物を基板上にスピンコー
ティングし、プリベークを行った後の厚さとポストベー
クを行って溶媒を除去した後に形成された膜の厚さとの
比率(%)を測定した。(3) Residual film ratio The ratio of the thickness of a film formed after spin-coating a substrate spacer resist composition on a substrate and performing pre-baking and post-baking to remove the solvent. (%) Was measured.
【0049】(4) パターン形成
レジストパターンを形成したシリコンウェーハをライン
パターンの垂直方向から切断し、パターンの断面方向か
ら電子顕微鏡で観察した結果を示した。パターンサイド
壁が基板に対して80°以上の角度で立てられており、
膜が減少していないものを'良好'、膜の減少が認められ
たものを'膜減'と判定した。(4) Pattern formation A silicon wafer on which a resist pattern was formed was cut from the direction perpendicular to the line pattern, and the result was observed by an electron microscope from the cross-sectional direction of the pattern. The pattern side wall is erected at an angle of 80 ° or more with respect to the substrate,
The case where the film was not reduced was judged as "good", and the case where the film was observed was judged as "film reduced".
【0050】(5) 圧縮復元率の調査
カラムスペーサ用レジスト組成物の圧縮復元率を評価す
るために米国のMTS社が製作したナノ圧子II(Nanoindent
er II)で押込み(Nanoindentation)実験を実施した。圧
子はフラットパンチチップ(Flat punch tip)を使用し、
10mNの荷重を加えて5秒間停止した後、0.98mNま
で荷重を除去して復元される距離を比較した。(5) Investigation of compression recovery rate In order to evaluate the compression recovery rate of the resist composition for column spacers, a nano indenter II (Nanoindent II) manufactured by MTS Co., Ltd. in the United States was manufactured.
er II), an indentation experiment was carried out. The indenter uses a flat punch tip,
After applying a load of 10 mN and stopping for 5 seconds, the load was removed to 0.98 mN and the restored distances were compared.
【0051】[0051]
【表6】 [Table 6]
【0052】[0052]
【表7】 [Table 7]
【0053】前記表6及び表7から分かるように、本発
明のカラムスペーサ用レジスト組成物は、従来のレジス
ト組成物とは違って耐熱性に優れるだけでなく、膜形成
時に残膜率、平坦性及びパターン安定性にも非常に優れ
ることが分かる。特に、ウレタンアクリレートのような
エチレン不飽和結合を有するエラストマーをさらに含有
する実施例33〜51のレジスト組成物よりなるカラム
スペーサを採用した液晶表示素子は弾性が大きく増大さ
れるために、外部からパネルに加えられる圧力により下
部オーバーコートやブラックマトリックス、カラーフィ
ルターピクセルなどが割れる恐れがない。As can be seen from Tables 6 and 7, the resist composition for column spacers of the present invention is not only superior in heat resistance unlike conventional resist compositions, but also has a residual film ratio and a flatness during film formation. It can be seen that the property and the pattern stability are also very excellent. In particular, the liquid crystal display device employing the column spacer made of the resist composition of Examples 33 to 51, which further contains an elastomer having an ethylenic unsaturated bond such as urethane acrylate, has a significantly increased elasticity. There is no risk of cracking the lower overcoat, black matrix, color filter pixels, etc. due to the pressure applied to.
【0054】[0054]
【発明の効果】以上、前述した本発明に係るレジスト組
成物は、耐熱性に優れるだけでなく、均一で適切な厚さ
にパターン形成が可能であり、解像性、残膜率及びパタ
ーン安定性が良好である。したがって、本発明のレジス
ト組成物を用いてカラムスペーサを形成すれば、表示素
子の大きさに関係なく均一なセルギャップを保て、液晶
パネルの移動や振動、衝撃によるセルギャップの変化を
防止しうる。特に、エチレン不飽和結合を有するエラス
トマーをさらに含有するレジスト組成物よりなるカラム
スペーサは弾性が非常に優秀なので、これを採用した液
晶表示素子は外部からパネルに加えられる圧力により下
部オーバーコートやブラックマトリックス、カラーフィ
ルターピクセルなどが割れる恐れがなくなる。As described above, the above-mentioned resist composition according to the present invention is not only excellent in heat resistance, but also capable of forming a pattern with a uniform and appropriate thickness, and having a high resolution, a residual film ratio and a stable pattern. Good property. Therefore, if a column spacer is formed using the resist composition of the present invention, a uniform cell gap can be maintained regardless of the size of the display element, and the cell gap can be prevented from changing due to movement, vibration, or impact of the liquid crystal panel. sell. In particular, since the column spacer made of a resist composition further containing an elastomer having an ethylenic unsaturated bond has a very high elasticity, a liquid crystal display device adopting this has a lower overcoat or a black matrix due to the pressure applied to the panel from the outside. , The color filter pixel is not broken.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヒョク−ジン,チャ 大韓民国,302−222,デジョン,ソ− グ,サムチョン−ドン(番地なし) ガ ラム アパートメント ナンバー2− 1502 (72)発明者 ジェ−フン,リー 大韓民国,305−761,デジョン,ユソン −グ,ジョンミン−ドン #464−1, エキスポ アパートメント ナンバー 108−1604 (72)発明者 ソン−ジェ,ホン 大韓民国,300−200,デジョン,ドン− グ,ヨンジョン−ドン #135−5,ウ ジョン ヴィラ ナンバー403 (72)発明者 クン ジュー,リー 大韓民国,402−200,インチョン,ナム −グ,ジュアン−ドン #52−17 (72)発明者 ヨン マン,ジョン 大韓民国,139−052,ソウル,ノウォン −グ,ウォルギェ2−ドン(番地な し),チョングベク アパートメント ナンバー106−610 (72)発明者 スク−ヨン,チェ 大韓民国,305−755,デジョン,ユソン −グ,オーウン−ドン(番地なし),ハ ンビット アパートメント ナンバー 127−1104 (72)発明者 ミ−ソン,リュー 大韓民国,302−170,デジョン,ソ− グ,ガルマ−ドン #732 ナンバー305 (72)発明者 ヨン−クン,キム 大韓民国,330−810,チュンチョンナム −ド,チョナン−シ,ジクサン−ミョ ン,パンジョンリ1−グ #223−43 (72)発明者 テ ヨン,キム 大韓民国,430−014,キョンギ−ド,ア ニャン−シ,マナン−グ,バクダル−ド ン #9−7 (72)発明者 ウン,キム 大韓民国,302−723,デジョン,ソ− グ,グァンジョ−ドン(番地なし),グ ーボン ヴィレッジ アパートメント ナンバー802−802 (72)発明者 チュン−ウー,ヨー 大韓民国,570−100,ジョルラブク− ド,イクサン−シ,ナムジョン−ドン (番地なし),ソンホ アパートメント ナンバー205 (72)発明者 デ−ウー,リー 大韓民国,420−010,キョンギ−ド,ブ チョン−シ,ウォンミ−グ,シムゴク− ドン,#346−10,シンファ ヴィラ ナンバー402 (72)発明者 ドン コン,クー 大韓民国,704−400,デグ,ダルソ− グ,ウォルソン−ドン(番地なし),ウ ォルソン ジュゴン アパートメント ナンバー303−1405 (72)発明者 ムー−ヒョン,クォン 大韓民国,143−302,ソウル,グァンジ ン−グ,ノユ2−ドン #829,ハンカ ン ヒョンデ アパートメント ナンバ ー101−1504 (72)発明者 チョル−ウー,リー 大韓民国,302−120,デジョン,ソ− グ,ドゥンサン−ドン(番地なし),セ ムモリ アパートメント ナンバー108 −201 (72)発明者 サン−イル,ユン 大韓民国,301−754,デジョン,ジュン −グ,ムンファ−ドン(番地なし),サ ンア アパートメント ナンバー3− 209 (56)参考文献 特開2000−154207(JP,A) 特開2000−256428(JP,A) 特開2000−292615(JP,A) 特開 平6−331968(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/00 - 7/42 G02F 1/1339 500 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hyuk Jin, Cha Korea, 302-222, Daejeon, Sog, Samcheong-dong (No street number) Garam Apartment No. 2-1502 (72) Inventor Jae Hun, Lee Korea, 305-761, Daejeong, Yousung-gu, Jongmin-dong # 464-1, Expo Apartment No. 108-1604 (72) Inventor Sung-jae, Hong Korea, 300-200, Daejeon, Dong-gu , Young Jung-Dong # 135-5, Woo Jung Villa No. 403 (72) Inventor Kung Joo, Lee South Korea, 402-200, Incheon, Nam-Gu, Juan-Dong # 52-17 (72) Inventor Young Man, John, 139-052, Seoul, Nowon-gu, Olgae 2-Don (No house number), Chongbek Apartment No. 106-610 (72) Inventor Soo Young, Choi Republic of Korea, 305-755, Daejeong, Yousung-Gu, Oung-Don (No house number), Hanbit Apartment No. 127-1104 (72) Inventor Myson, Liu South Korea, 302-170, Daejeon, Sorgh, Garhma Dong # 732 Number 305 (72) Inventor Young-Kun, Kim South Korea, 330-810, Chun-Chonnam -Do, Cheonan-si, Jiksan-myon, Panjeongri 1-gu # 223-43 (72) Inventor Taeyeon, Kim South Korea, 430-014, Kyonguido, Anyang-si, Manangu, Bakdal -Dong # 9-7 (72) Inventor Eun, Kim, Republic of Korea, 302-723, Dejeong, Sog, Gwangjo Dong (no address), Goo Bon Village Apartment No. 802-80 2 (72) Inventor Chun Woo, Yoo Republic of Korea, 570-100, Jollabukdo, Iksan-si, Namjeong-Dong (no street number), Songho Apartment No. 205 (72) Inventor Deo Woo, Lee South Korea, 420 -010, Kyung-gide, Buchon-si, Won-mig, Simguk-dong, # 346-10, Sinhwa Villa No. 402 (72) Inventor, Dong Kong, Ko, Republic of Korea, 704-400, Daegu, Darsog, Wolson-Don (No house number), Wolson Djugon Apartment No. 303-1405 (72) Inventor Mu-Hyun, Kwon Korea, 143-302, Seoul, Gwangjin-gu, Noyu 2-Don # 829, Hankhang Hyundai Apartment Number 101-1504 (72) Inventor Chul Woo, Lee Korea, 302-120, Daejeon, Sog, Dunsung-dong (No address), Semmoria Part No. 108-201 (72) Inventor Sun-il, Yun Republic of Korea, 301-754, Daejeong, Jun-gu, Munhwa-dong (no address), San-apartment No. 3-209 (56) References 2000-154207 (JP, A) JP 2000-256428 (JP, A) JP 2000-292615 (JP, A) JP 6-331968 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G03F 7/ 00-7/42 G02F 1/1339 500
Claims (11)
ル基であり、Y1は炭素原子数2ないし16のアルキル
基またはヒドロキシアルキル基であり、Y2は下記化学
式(I)ないし化学式(XX) 【化2】 【化3】 【化4】 (前記化学式(I)ないし化学式(XX)において、R1は水素
またはメチル基、R2は炭素原子数1ないし10のアル
キレングループ、R3は炭素原子数1ないし10の炭化
水素の残留グループ、R4は水素またはメチル基、R5は
炭素原子数1ないし10のアルキレングループであり、
kは0ないし10の整数である。)で表される化合物か
ら選択された何れか1つである。)で表されるバインダ
ー樹脂、一般式(2) 【化5】 (前記一般式(2)において、重合単位Aはベンジルメ
タアクリレート、スチレン、α-メチルスチレン、イソ
ボニルアクリレート、イソボニルメタアクリレート、ジ
シクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルメ
タアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジ
シクロペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンタニ
ルエチルオキシアクリレート、ジシクロペンタニルエチ
ルオキシメタアクリレート、ジシクロペンテニルエチル
オキシアクリレート、ジシクロペンテニルエチルオキシ
メタアクリレートよりなる群から選択された何れか1つ
であり、Bはアクリル酸またはメタアクリル酸であり、
Cはグリシジルメタアクリレート、ヒドロキシエチルメ
タアクリレート、ジメチルアミノメタアクリレート、ア
クリルアミドよりなる群から選択された何れか1つであ
り、前記一般式(2)のバインダー樹脂は重合単位A、
B及びCの配列順序に拘束されないランダム共重合体で
ある。)で表されるバインダー樹脂、及びこれらの混合
物よりなる群から選択されたバインダー樹脂10ないし
40重量部と、 エチレン不飽和結合を有する多官能性モノマー1ないし
20重量部と、光開始剤1ないし10重量部と、 エポキシ基を含むシリコン系化合物0.001ないし0.
1重量部とを含有することを特徴とする液晶表示素子の
カラムスペーサ用レジスト組成物。1. A general formula (1): (In the general formula (1), X is a hydrogen atom or a methyl group, Y 1 is an alkyl group or a hydroxyalkyl group having 2 to 16 carbon atoms, and Y 2 is a chemical formula (I) to a chemical formula (XX ) [Chemical 2] [Chemical 3] [Chemical 4] (In the above chemical formulas (I) to (XX), R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, R 3 is a residual group of a hydrocarbon having 1 to 10 carbon atoms, R 4 is hydrogen or a methyl group, R 5 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms,
k is an integer of 0 to 10. ) Is any one selected from the compounds represented by: ) A binder resin represented by the general formula (2): (In the general formula (2), the polymer unit A is benzyl methacrylate, styrene, α-methylstyrene, isobornyl acrylate, isobonyl methacrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl methacrylate, dicyclopentenyl acrylate, Any one selected from the group consisting of dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentanyl ethyloxy acrylate, dicyclopentanyl ethyloxy methacrylate, dicyclopentenyl ethyloxy acrylate, dicyclopentenyl ethyloxy methacrylate. Yes, B is acrylic acid or methacrylic acid,
C is any one selected from the group consisting of glycidyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, dimethylaminomethacrylate, and acrylamide, and the binder resin of the general formula (2) is a polymerized unit A,
It is a random copolymer that is not restricted by the arrangement order of B and C. 10 to 40 parts by weight of a binder resin selected from the group consisting of a binder resin represented by the formula (1) and a mixture thereof, 1 to 20 parts by weight of a polyfunctional monomer having an ethylenically unsaturated bond, and a photoinitiator 1 to 1 10 parts by weight and an epoxy group-containing silicon compound from 0.001 to 0.001.
1 part by weight of the resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device.
脂の平均分子量が5,000ないし40,000で、分散
度は1.6ないし3.0であり、酸度は50ないし150
KOHmg/gであることを特徴とする請求項1に記載の液晶
表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物。2. The binder resin represented by the general formula (1) has an average molecular weight of 5,000 to 40,000, a dispersity of 1.6 to 3.0, and an acidity of 50 to 150.
KOH mg / g, The resist composition for column spacers of the liquid crystal display element of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
脂の平均分子量が5,000ないし60,000で、分散
度は1.6ないし3.0であり、酸度は50ないし150
KOHmg/gであることを特徴とする請求項1に記載の液晶
表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物。3. The binder resin represented by the general formula (2) has an average molecular weight of 5,000 to 60,000, a dispersity of 1.6 to 3.0 and an acidity of 50 to 150.
KOH mg / g, The resist composition for column spacers of the liquid crystal display element of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
脂は、重合単位としてアルキル基の個数が2ないし16
であるアルキルアクリレートまたはアルキルメタアクリ
レートがさらに共重合されたことを特徴とする請求項1
に記載の液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成
物。4. The binder resin represented by the general formula (2) has 2 to 16 alkyl groups as polymerized units.
The alkyl acrylate or the alkyl methacrylate, which is, is further copolymerized.
A resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device described in 1.
モノマーは、エチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、エチレンオキシド基の数が2ないし14であるポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド基の数が2な
いし14であるプロピレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート
よりなる群から選択された多価アルコールとα,β-不飽
和カルボキシ酸をエステル化して得られる化合物と、グ
リシジル基含有化合物に(メタ)アクリル酸を付加して得
られる化合物と、水酸基及びエチレン不飽和結合を有す
る化合物と多価カルボキシ酸とのエステル化合物または
ポリイソシアネートとの付加物と、(メタ)アクリル酸ア
ルキルエステルよりなる群から選択された何れか1つ以
上を含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素
子のカラムスペーサ用レジスト組成物。5. The polyfunctional monomer having an ethylenically unsaturated bond is ethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene oxide groups, and trimethylolpropane di (meth) acrylate. ) Acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra
(Meth) acrylate, a polyvalent selected from the group consisting of propylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene oxide groups, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. A compound obtained by esterifying an alcohol and α, β-unsaturated carboxylic acid, a compound obtained by adding (meth) acrylic acid to a glycidyl group-containing compound, and a compound having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated bond and polyvalent The liquid crystal display device according to claim 1, comprising at least one selected from the group consisting of (meth) acrylic acid alkyl esters and an adduct of an ester compound with a carboxylic acid or a polyisocyanate. A resist composition for column spacers.
リアジン系光開始剤を含むことを特徴とする請求項1に
記載の液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成
物。6. The resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the photoinitiator contains a benzophenone-based or triazine-based photoinitiator.
は、(3-グリシドオキシプロピル)トリメトキシ(エトキ
シ)シラン、(3-グリシドオキシプロピル)メチルジメト
キシ(エトキシ)シラン、(3-グリシドオキシプロピル)
ジメチルメトキシ(エトキシ)シラン、3,4-エポキシブ
チルトリメトキシ(エトキシ)シラン及び2-(3,4-エポ
キシシクロヘキシル)エチルトリメトキシ(エトキシ)シ
ランよりなる群から選択された何れか1つ以上を含むこ
とを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子のカラム
スペーサ用レジスト組成物。7. The silicon compound containing an epoxy group is (3-glycidoxypropyl) trimethoxy (ethoxy) silane, (3-glycidoxypropyl) methyldimethoxy (ethoxy) silane, (3-glycidoxy) silane. Propyl)
At least one selected from the group consisting of dimethylmethoxy (ethoxy) silane, 3,4-epoxybutyltrimethoxy (ethoxy) silane and 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy (ethoxy) silane. The resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device according to claim 1, which comprises:
媒をさらに添加することを特徴とする請求項1に記載の
液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物。8. The resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a solvent is further added so that the viscosity becomes 10 to 35 cps.
テート、メチルメトキシプロピオネート、エチルエトキ
シプロピオネート、エチルラクテート、プロピレングリ
コールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエー
テル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテート、ジエチレングリコールメチル(またはエチ
ル)アセテート、アセトン、メチルイソブチルケトン、
シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチ
ルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、γ-ブチロ
ラクトン、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメ
チルエーテル、ジグリム、テトラヒドロフラン、メタノ
ール、エタノール、プロパノール、イソ-プロパノー
ル、メチル(またはエチル)セロソルブ、ジエチレングリ
コールメチル(またはエチル)エーテル、ジプロピレング
リコールメチルエーテル、トルエン、キシレン、ヘキサ
ン、ヘプタン及びオクタンよりなる群から選択された何
れか1つ以上を含むことを特徴とする請求項8に記載の
液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物。9. The solvent is ethyl acetate, butyl acetate, methyl methoxy propionate, ethyl ethoxy propionate, ethyl lactate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol propyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl. Cellosolve acetate, diethylene glycol methyl (or ethyl) acetate, acetone, methyl isobutyl ketone,
Cyclohexanone, dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, γ-butyrolactone, diethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diglyme, tetrahydrofuran, methanol, ethanol, propanol, iso-propanol, methyl (or ethyl) 9. The composition according to claim 8, comprising at least one selected from the group consisting of cellosolve, diethylene glycol methyl (or ethyl) ether, dipropylene glycol methyl ether, toluene, xylene, hexane, heptane and octane. A resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device.
ー1ないし20重量部をさらに添加することを特徴とす
る請求項1に記載の液晶表示素子のカラムスペーサ用レ
ジスト組成物。10. The resist composition for a column spacer of a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising 1 to 20 parts by weight of an elastomer having an ethylenically unsaturated bond.
トマーは、側鎖のエチレン不飽和結合数2〜15のウレ
タンアクリル樹脂であることを特徴とする請求項10に
記載の液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成
物。11. The column spacer of a liquid crystal display device according to claim 10, wherein the elastomer having an ethylenically unsaturated bond is a urethane acrylic resin having 2 to 15 side chain ethylenically unsaturated bonds. Resist composition.
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