JP3508362B2 - Method of manufacturing inkjet head - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インク液滴を被印
字面に噴射して印刷するインクジェット式印字ヘッドの
製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet type print head which prints by ejecting ink droplets onto a print surface.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、インク液滴を被印字面に噴射
して印刷するインクジェット式印字ヘッドであって、圧
電セラミックスの剪断モード変形を用いたものにおいて
は、圧電セラミックスプレート(圧電基板)に複数本の
溝が切削加工され、その溝の側面となる側壁が分極さ
れ、かつ、側壁には電極が形成され、溝開口を覆うべく
圧電基板面にカバープレートが接着剤を用いて接着さ
れ、更に、圧電基板及びカバープレートの端面にインク
液滴を噴射するための複数のノズルを有したノズルプレ
ートが接着されている。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet type print head for ejecting ink droplets onto a surface to be printed for printing, in which shear mode deformation of piezoelectric ceramics is used, a piezoelectric ceramic plate (piezoelectric substrate) is used. A plurality of grooves are cut, side walls that are the side surfaces of the grooves are polarized, electrodes are formed on the side walls, and a cover plate is bonded to the piezoelectric substrate surface using an adhesive to cover the groove openings, Further, a nozzle plate having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets is adhered to the end faces of the piezoelectric substrate and the cover plate.
【0003】この種の印字ヘッドにおける圧電基板にカ
バープレートを接着する従来の方法を図5及び図6を用
いて以下に説明する。図5は圧電基板とカバープレート
との接着過程を説明する図、図6は図5に示す接着過程
により一体化された圧電基板とカバープレートを説明す
る図である。A conventional method of adhering a cover plate to a piezoelectric substrate in a print head of this type will be described below with reference to FIGS. FIG. 5 is a diagram for explaining the bonding process between the piezoelectric substrate and the cover plate, and FIG. 6 is a diagram for explaining the piezoelectric substrate and the cover plate integrated by the bonding process shown in FIG.
【0004】先ず、図5に示すように、細長い帯状の複
数の溝101が形成されている厚板状の圧電基板102
の上側面に接着剤103が塗布される。この接着剤10
3が塗布された圧電基板102の上側面に、板状のカバ
ープレート104が当接される。次に、上記のように接
着剤103を介して当接されてなる圧電基板102とカ
バープレート104を上下方向からカバープレート側治
具106と基板側治具107により挟み込む。これら二
枚の治具106と107は、それぞれの両端に設けられ
た一対の孔108,109に嵌め込まれるボルト(図示
せず)により締め付けられ、この締め付けにより、圧電
基板102とカバープレート104は矢印F方向の外力
により加圧される。次に、治具106と治具107によ
って挟み込まれた圧電基板102とカバープレート10
4は加熱され、それにより、接着剤103は硬化し、圧
電基板102とカバープレート104とは相互に接着さ
れる。First, as shown in FIG. 5, a piezoelectric substrate 102 in the form of a thick plate in which a plurality of elongated strip-shaped grooves 101 are formed.
The adhesive 103 is applied to the upper side surface. This adhesive 10
A plate-shaped cover plate 104 is brought into contact with the upper side surface of the piezoelectric substrate 102 coated with 3. Next, the piezoelectric substrate 102 and the cover plate 104, which are in contact with each other via the adhesive 103 as described above, are sandwiched by the cover plate side jig 106 and the substrate side jig 107 from above and below. These two jigs 106 and 107 are tightened by bolts (not shown) fitted in a pair of holes 108 and 109 provided at both ends of the jigs 106, respectively. By this tightening, the piezoelectric substrate 102 and the cover plate 104 are arrowed. Pressurized by external force in the F direction. Next, the piezoelectric substrate 102 and the cover plate 10 sandwiched by the jig 106 and the jig 107.
4 is heated, whereby the adhesive 103 is hardened and the piezoelectric substrate 102 and the cover plate 104 are adhered to each other.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
製造方法では、当初はそれぞれ曲りがなく平板状であっ
た圧電基板102とカバープレート104は、接着によ
る一体化後において、図6に示すように、インクジェッ
トヘッド111の溝101に直交する方向、すなわち、
溝101の並び方向においてカバープレート104の上
側面が相対的に伸張すると共に圧電基板102の下側面
が相対的に収縮するように変形する性質を有する。However, in the above manufacturing method, the piezoelectric substrate 102 and the cover plate 104, which are initially flat without bending and are flat, are integrated as shown in FIG. , A direction orthogonal to the groove 101 of the inkjet head 111, that is,
In the arrangement direction of the grooves 101, the cover plate 104 has a property that the upper side face thereof is relatively expanded and the lower side face of the piezoelectric substrate 102 is relatively contracted.
【0006】インクジェット式印字ヘッドは圧電基板1
02やカバープレート104により構成されるインク室
の形状や容積の変化に伴なうインク室内のインク圧力の
変化を利用してインクをノズルから噴射させるものであ
ることから、上記の圧電基板102とカバープレート1
04の変形は、印字精度に大きく影響する。The ink jet type print head has a piezoelectric substrate 1.
02 and the cover plate 104, the ink is ejected from the nozzle by utilizing the change in the ink pressure in the ink chamber due to the change in the shape and volume of the ink chamber. Cover plate 1
The deformation of 04 greatly affects the printing accuracy.
【0007】本発明は上述した問題点を解決するために
なされたものであり、カバープレートと圧電基板を接着
して一体化する場合に、一体化されるカバープレートと
圧電基板の変形を阻止し得るインクジェットヘッドの製
造方法を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems and prevents deformation of the integrated cover plate and piezoelectric substrate when the cover plate and the piezoelectric substrate are bonded and integrated. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing the obtained inkjet head.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1の発明に係るインクジェットヘッドの製
造方法は、複数の溝が形成された圧電基板の表面にカバ
ープレートを接着し、これらを一体化するインクジェッ
トヘッドの製造方法において、前記複数の溝が形成され
た圧電基板の表面もしくは前記カバープレートの表面に
接着剤を塗布する工程と、前記接着剤を挟むように前記
圧電基板の表面にカバープレートを重ね合わせると共
に、この重ね合わせた前記カバープレートと前記圧電基
板とを圧電基板側治具及びカバープレート側治具により
挟み込む工程と、前記挟み込んだ状態にて前記接着剤を
硬化させる工程とから成り、前記圧電基板側治具の前記
圧電基板との当接面を前記圧電基板に形成されている溝
の並び方向に凹型状とし、前記カバープレート側治具の
前記カバープレートとの当接面を前記溝の並び方向に凸
型状としたものである。In order to achieve the above object, in the method of manufacturing an ink jet head according to the invention of claim 1, a cover plate is adhered to the surface of a piezoelectric substrate on which a plurality of grooves are formed, In a method for manufacturing an inkjet head in which these are integrated, a step of applying an adhesive to the surface of the piezoelectric substrate or the surface of the cover plate in which the plurality of grooves are formed; and the step of sandwiching the adhesive
With superposed cover plate on the surface of the piezoelectric substrate, a step of sandwiching the superimposed said cover plate was and said piezoelectric base <br/> plate by the piezoelectric substrate side jig and the cover plate side tool, sandwiching the state It consists of a step of curing the adhesive at the of the piezoelectric substrate side jig
The contact surface with the piezoelectric substrate has a concave shape in the arrangement direction of the grooves formed in the piezoelectric substrate, and the contact surface of the cover plate side jig with the cover plate has a convex shape in the arrangement direction of the grooves. It is what
【0009】上記の方法においては、カバープレート側
治具はカバープレートとの当接面を溝の並び方向に凸型
としているので、カバープレートの上側面が相対的に伸
張すると共に複数の溝が形成された圧電基板の下側面が
相対的に収縮するように変形しがちな一体化されたカバ
ープレートと基板の上側、すなわちカバープレートの上
面に下向きの外力を及ぼす。また、圧電基板側治具は圧
電基板との当接面を溝の並び方向に凹型としているの
で、一体化されたカバープレートと圧電基板の下側、す
なわち圧電基板の下面に上向きの外力を及ぼす。このた
め、これら治具は、一体化されたカバープレートと圧電
基板に生じ得るカバープレートの上側面を相対的に伸張
させると共に圧電基板の下側面を相対的に収縮させるよ
うな変形を阻止し得るのである。In the above method, since the cover plate side jig has a convex contact surface with the cover plate in the groove arrangement direction, the upper surface of the cover plate is relatively extended and a plurality of grooves are formed. A downward external force is applied to the upper surface of the integrated cover plate and the substrate, that is, the upper surface of the cover plate, in which the lower surface of the formed piezoelectric substrate tends to be deformed so as to relatively contract. Further, the piezoelectric substrate side jig pressure
Since the contact surface between the conductive substrate and concave in the direction of arrangement of the grooves, the lower of the integrated cover plate and the piezoelectric substrate, i.e. on the lower surface of the piezoelectric substrate exert an upward force. Therefore, these jigs are deformed such that the upper surface of the cover plate that may be formed on the integrated cover plate and the piezoelectric substrate relatively expands and the lower surface of the piezoelectric substrate relatively contracts. Can be prevented.
【0010】また、請求項2の発明に係るインクジェッ
トヘッドの製造方法は、請求項1の発明に係るインクジ
ェットヘッドの製造方法において、前記圧電基板及び前
記カバープレートをセラミックスとしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided an ink jet head manufacturing method according to the first aspect, wherein the piezoelectric substrate and the cover plate are made of ceramics.
【0011】[0011]
【0012】また、請求項3の発明に係るインクジェッ
トヘッドの製造方法は、請求項1又は請求項2に記載の
発明に係るインクジェットヘッドの製造方法において、
カバープレート側治具及び圧電基板側治具をステンレス
鋼としたものである。An ink jet head manufacturing method according to a third aspect of the present invention is the ink jet head manufacturing method according to the first or second aspect of the present invention.
The cover plate side jig and the piezoelectric substrate side jig are made of stainless steel.
【0013】上記の方法においては、治具がステンレス
鋼で形成されているので、サビにくく治具の寸法精度が
維持しやすく、一体化されたカバープレートと基板に変
形が生じることはない。In the above method, since the jig is made of stainless steel, it is less likely to be rusted, the dimensional accuracy of the jig is easily maintained, and the integrated cover plate and substrate are not deformed.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の
形態を図面を参照して説明する。図1は本発明のインク
ジェットヘッドを採用してなるプリンタの外観図、図2
はインクジェットヘッドの部分破断斜視図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an external view of a printer using the inkjet head of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of an inkjet head.
【0015】図1において、プリンタ1は、印字機構
2、紙送り機構3、及びパージ装置4などから構成され
ている。印字機構2は、インクジェット式印字ヘッド5
を備えるヘッドユニット6と、印字ヘッド5にインクを
供給するインクカートリッジ7などからなり、ヘッドユ
ニット6とインクカートリッジ7は、キャリッジ8に搭
載されている。キャリッジ8は、ベルト9を介してキャ
リッジ・モータ10により駆動されており、キャリッジ
軸11に沿って水平移動するようになっている。なお、
印字ヘッド5は、複数個のノズルを縦一列に有してお
り、キャリッジ8の移動に対応して、ノズルからインク
を噴射する。In FIG. 1, the printer 1 is composed of a printing mechanism 2, a paper feeding mechanism 3, a purging device 4, and the like. The printing mechanism 2 includes an inkjet print head 5
And the ink cartridge 7 for supplying ink to the print head 5, and the head unit 6 and the ink cartridge 7 are mounted on a carriage 8. The carriage 8 is driven by a carriage motor 10 via a belt 9 and horizontally moved along a carriage shaft 11. In addition,
The print head 5 has a plurality of nozzles in a vertical line, and ejects ink from the nozzles in response to the movement of the carriage 8.
【0016】紙送り機構3は、給紙カセット又は手差し
給紙部から供給された印刷用紙PAを印字ヘッド5に対
面させながら移動させるものであり、プラテンローラ1
2、圧ローラ13、及びラインフィード(LF)モータ
(図示せず)などで構成されている。給紙カセットなど
から供給された印刷用紙PAは、プラテンローラ12と
圧ローラ13に圧接されて保持され、ラインフィードモ
ータの回転に合わせて移動される。The paper feeding mechanism 3 moves the printing paper PA supplied from the paper feeding cassette or the manual paper feeding portion while facing the printing head 5, and the platen roller 1
2, a pressure roller 13, and a line feed (LF) motor (not shown). The printing paper PA supplied from a paper feed cassette or the like is held in pressure contact with the platen roller 12 and the pressure roller 13, and is moved according to the rotation of the line feed motor.
【0017】パージ装置4は、印字ヘッド5の使用中に
内部に気泡が発生したり、吐出面上にインクの液滴が付
着することにより吐出不良を起こすことを解消し、良好
な吐出状態に回復させるための装置である。パージ装置
4の先端には、キャップ14が設けられていて、このキ
ャップ14に印字ヘッド5が覆われている時に、ポンプ
により負圧を発生させて、印字ヘッド5の内部の不良イ
ンクを吸引して印字ヘッド5を回復させている。The purging device 4 eliminates the occurrence of ejection failure due to the generation of bubbles inside the print head 5 or the deposition of ink droplets on the ejection surface during the use of the print head 5, thus achieving a good ejection state. It is a device for recovery. A cap 14 is provided at the tip of the purging device 4, and when the cap 14 covers the print head 5, a negative pressure is generated by a pump to suck the defective ink inside the print head 5. The print head 5 is recovered.
【0018】図2において、インクジェット式印字ヘッ
ド5の圧電素子である圧電セラミックス基板16(以
下、圧電基板という)には、ダイシング加工等によって
互いに平行な溝加工がなされ、インク室となる多数の溝
17が形成されている。溝17を構成する側壁21(圧
電側壁という)は矢印B方向に分極された圧電素子によ
り形成されており、圧電側壁21の上半分の表面にはこ
の分極方向と直角方向の電界を印加するための電極22
が形成されている。また、溝17が形成された圧電基板
16の上部は、インク供給口(図示せず)を有するセラ
ミックス製のカバープレート23によって蓋をされてい
る。これら圧電基板16とカバープレート23の端面に
はノズル18を持つノズルプレート19が装着されてい
る。このような構成によって、溝17の断面形状は、圧
電側壁21とカバープレート23とで囲まれた長方形を
呈することになる。In FIG. 2, a piezoelectric ceramic substrate 16 (hereinafter referred to as a piezoelectric substrate), which is a piezoelectric element of the ink jet type print head 5, is grooved in parallel with each other by dicing or the like, and a large number of grooves to be ink chambers are formed. 17 are formed. The side wall 21 (referred to as a piezoelectric side wall) forming the groove 17 is formed by a piezoelectric element polarized in the direction of arrow B, and an electric field in the direction perpendicular to this polarization direction is applied to the upper half surface of the piezoelectric side wall 21. Electrode 22
Are formed. The upper portion of the piezoelectric substrate 16 in which the groove 17 is formed is covered with a ceramic cover plate 23 having an ink supply port (not shown). A nozzle plate 19 having nozzles 18 is mounted on the end faces of the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23. With such a configuration, the cross-sectional shape of the groove 17 becomes a rectangle surrounded by the piezoelectric side wall 21 and the cover plate 23.
【0019】次に、このインクジェット式印字ヘッド5
の印字動作を説明する。インクジェット式印字ヘッド5
は、プリンタ1のキャリッジ8に搭載され、搬入された
印刷すべき用紙PAに沿って往復移動され、図示しない
ホストコンピュータ等からインターフェースを介して転
送された印字データ(ドットデータ)に基づいて電極2
2に印加される電圧により動作する。すなわち、電極2
2に印加される電圧により、圧電側壁21は剪断変形
し、この変形により溝17の内圧が高まり、インクカー
トリッジから供給された該溝17内のインクはノズル1
8から噴射され、印字動作が行われることになる。Next, the ink jet type print head 5
The printing operation will be described. Inkjet print head 5
Are mounted on the carriage 8 of the printer 1, reciprocally moved along the loaded paper PA to be printed, and the electrodes 2 based on print data (dot data) transferred from a host computer (not shown) or the like via an interface.
It operates by the voltage applied to 2. That is, the electrode 2
The piezoelectric side wall 21 is sheared and deformed by the voltage applied to the groove 2. This deformation increases the internal pressure of the groove 17, so that the ink in the groove 17 supplied from the ink cartridge is ejected from the nozzle 1.
8 is ejected and the printing operation is performed.
【0020】このインクジェット式印字ヘッド5におけ
る、圧電基板16とカバープレート23とを一体化する
本発明の一実施の形態を図3及び図4を用いて説明す
る。図3は圧電基板16とカバープレート23との接着
過程を説明する図、図4は図3に示す接着過程により一
体化された圧電基板16とカバープレート23を説明す
る図である。An embodiment of the present invention in which the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23 in the ink jet type print head 5 are integrated will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a diagram for explaining a bonding process between the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23, and FIG. 4 is a diagram for explaining the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23 integrated by the bonding process shown in FIG.
【0021】先ず、図3に示すように、厚板状の圧電基
板16の上側面16uに、細長い帯状の複数の溝17を
形成する。この複数の溝17が形成されて成る圧電基板
16の上側面16uに接着剤103が塗布される。接着
剤103が塗布されたこの圧電基板16の上側面16u
に板状のカバープレート23の下側面23bが当接され
る。First, as shown in FIG. 3, a plurality of elongated strip-shaped grooves 17 are formed on the upper side surface 16u of the thick plate-shaped piezoelectric substrate 16. The adhesive 103 is applied to the upper surface 16u of the piezoelectric substrate 16 having the plurality of grooves 17 formed therein. The upper surface 16u of the piezoelectric substrate 16 coated with the adhesive 103
The lower surface 23b of the plate-shaped cover plate 23 is brought into contact with.
【0022】次に、上記のように接着剤103を介して
重ねられてなる圧電基板16とカバープレート23の外
側に、すなわちカバープレート23の上側面23uと圧
電基板16の下側面16bとに、カバープレート側治具
24の下側面24bと基板側治具26の上側面26uと
がそれぞれ当接される。Next, the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23, which are laminated with the adhesive 103 interposed therebetween, as described above, that is, on the upper side surface 23u of the cover plate 23 and the lower side surface 16b of the piezoelectric substrate 16, The lower side surface 24b of the cover plate side jig 24 and the upper side surface 26u of the board side jig 26 are brought into contact with each other.
【0023】この場合、カバープレート側治具24の下
側面24bは圧電基板16に形成されている溝17の並
び方向に凸型状、すなわち、同治具24はその中央部付
近が相対的に厚く、両端部に向かって次第に薄くなるよ
うな下に凸の断面形状を有している。また、圧電基板側
治具26の上側面26uは圧電基板16に形成されてい
る溝17の並び方向に凹型状、すなわち、同治具26は
その中央部付近が相対的に薄く、両端部に向かって次第
に厚くなるような上に凹の断面形状を有している。In this case, the lower side surface 24b of the cover plate side jig 24 has a convex shape in the arrangement direction of the grooves 17 formed in the piezoelectric substrate 16, that is, the jig 24 is relatively thick near its central portion. , Has a downwardly convex cross-sectional shape that gradually becomes thinner toward both ends. Further, the upper surface 26u of the piezoelectric substrate side jig 26 is concave in the direction in which the grooves 17 formed in the piezoelectric substrate 16 are arranged, that is, the jig 26 is relatively thin in the vicinity of its central portion and faces both ends. It has a concave cross-sectional shape that gradually becomes thicker.
【0024】このような形状で成る治具24と治具26
の間に、接着剤103を介して重ねられた圧電基板16
とカバープレート23が挟み込まれ、更に、それら治具
24及び治具26のそれぞれの両端に設けられた一対の
孔108,109に嵌め込まれるボルト(図示せず)に
より締め付けられる。この締め付けにより、圧電基板1
6とカバープレート23は矢印F方向の外力により加圧
される。Jig 24 and jig 26 having such a shape
Between the piezoelectric substrates 16 with the adhesive 103 interposed therebetween.
The cover plate 23 is sandwiched, and further tightened by bolts (not shown) fitted into the pair of holes 108 and 109 provided at both ends of the jig 24 and the jig 26, respectively. By this tightening, the piezoelectric substrate 1
6 and the cover plate 23 are pressed by an external force in the direction of arrow F.
【0025】続いて、圧電基板16とカバープレート2
3は、治具24と治具26によって挟み込まれ、締め付
けられ、かつ加圧されたまま加熱される。これらの工程
を経て、接着剤103が硬化し圧電基板16とカバープ
レート23とは相互に接着されることにより、カバープ
レート23の上側面が相対的に伸張し、圧電基板16の
下側面が相対的に収縮するような変形を阻止した直方体
状のインクジェットヘッド27が製造される。このイン
クジェットヘッドを図4に示している。Subsequently, the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 2
3 is sandwiched between jigs 24 and 26, clamped, and heated while being pressurized. Through these steps, the adhesive 103 is cured and the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23 are adhered to each other, whereby the upper side surface of the cover plate 23 is relatively expanded and the lower side surface of the piezoelectric substrate 16 is relatively expanded. A rectangular parallelepiped inkjet head 27 is manufactured which is prevented from being deformed so as to be contracted. This inkjet head is shown in FIG.
【0026】上記の実施の形態においては、カバープレ
ート側治具24の下側面24bは下に凸状、圧電基板側
治具26の上側面26uは上に凹状に形成されている。
一方、接着剤103を介して、圧電基板16の上にカバ
ープレート23が重ねられ一体化された圧電基板16と
カバープレート23はカバープレート23の上側面を相
対的に伸張させると共に圧電基板16の下側面を相対的
に収縮させるような変形を起こしがちである。ここに、
このような変形を起こしがちな圧電基板16とカバープ
レート23を、上側に上記のカバープレート側治具24
を、下側に上記の圧電基板側治具26を当接させ、それ
らの間に挟み込むことにより、その変形は阻止され得る
のである。In the above embodiment, the lower side surface 24b of the cover plate side jig 24 is formed in a downward convex shape, and the upper side surface 26u of the piezoelectric substrate side jig 26 is formed in a concave shape.
On the other hand, the piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23 in which the cover plate 23 is overlaid on the piezoelectric substrate 16 via the adhesive 103 and the cover plate 23 relatively extend the upper side surface of the cover plate 23, and It tends to cause deformation that causes the lower side surface to relatively shrink. here,
The piezoelectric substrate 16 and the cover plate 23 that tend to cause such deformation are placed on the upper side of the jig 24 on the cover plate side.
The deformation can be prevented by bringing the above-mentioned piezoelectric substrate side jig 26 into contact with the lower side and sandwiching it between them.
【0027】なお、本発明のインクジェットヘッドの製
造方法は、圧電基板16の表面にカバープレート23を
接着し、これらを一体化するインクジェットヘッドの製
造方法において、圧電基板側治具26として、圧電基板
16との当接面が圧電基板16に形成されている溝17
の並び方向に凹型状のものを、カバープレート側治具2
4として、カバープレート23との当接面が前記溝17
の並び方向に凸型状のものを用いる他、接着により一体
化されるカバープレート23と圧電基板16の変形を阻
止する方向に外力を及ぼし得る断面形状のものを用いて
カバープレート23と圧電基板16を挟み込み、接着剤
を硬化させる方法であればよく、図3及び図4により示
した方法に限定されるものではない。例えば、上記の実
施の形態においては、ボルトによる治具の締め付け、接
着剤の加熱下における硬化などによっているが、これら
に限らず、常温で硬化する接着剤による接着、加圧プレ
スによる加圧などであってもよい。In the method of manufacturing the ink jet head of the present invention, in the method of manufacturing the ink jet head in which the cover plate 23 is bonded to the surface of the piezoelectric substrate 16 and these are integrated, the piezoelectric substrate side jig 26 is used as the piezoelectric substrate. Groove 17 whose contact surface with 16 is formed in the piezoelectric substrate 16
The concave shape in the arrangement direction of the cover plate side jig 2
4, the contact surface with the cover plate 23 is the groove 17
In addition to using the convex shape in the arrangement direction of the cover plate 23 and the piezoelectric substrate, the cover plate 23 and the piezoelectric substrate 16 having a cross-sectional shape capable of exerting an external force in the direction in which the deformation of the cover plate 23 and the piezoelectric substrate 16 integrated by adhesion are prevented Any method may be used as long as 16 is sandwiched and the adhesive is cured, and the method is not limited to the method shown in FIGS. 3 and 4. For example, in the above embodiment, the jig is tightened with a bolt, the adhesive is cured under heating, etc., but not limited to these, bonding with an adhesive that cures at room temperature, pressurization with a pressure press, etc. May be
【0028】また、上記実施の形態においては、矢印B
方向に分極された側壁21の上半分に電極22を設け
て、その上半分の剪断モード変形によってインクを噴射
するインクジェットヘッド27であったが、側壁を異な
る2方向に分極された圧電素子から形成し、その側壁の
側面全面に電極を形成して、側壁の上半分及び下半分の
剪断モード変形によって、インクを噴射するインクジェ
ットヘッドに本発明を用いてもよい。In the above embodiment, the arrow B
The electrode 22 is provided on the upper half of the side wall 21 polarized in the direction, and the ink jet head 27 ejects the ink by the shear mode deformation of the upper half, but the side wall is formed of piezoelectric elements polarized in two different directions. However, the present invention may be used in an inkjet head that ejects ink by forming electrodes on the entire side surface of the side wall and performing shear mode deformation of the upper half and the lower half of the side wall.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明に係るイ
ンクジェットヘッドの製造方法においては、カバープレ
ート側治具はカバープレートとの当接面を溝の並び方向
に凸型としているので、カバープレートの上側面が相対
的に伸張すると共に複数の溝が形成された圧電基板の下
側面が相対的に収縮するように変形しがちな一体化され
たカバープレートと圧電基板の上側、すなわちカバープ
レートの上面に下向きの外力を及ぼす。また、圧電基板
側治具は圧電基板との当接面を溝の並び方向に凹型とし
ているので、一体化されたカバープレートと圧電基板の
下側、すなわち圧電基板の下面に上向きの外力を及ぼ
す。このため、これら治具は、一体化されたカバープレ
ートと圧電基板に生じ得るカバープレートの上側面を相
対的に伸張させると共に圧電基板の下側面を相対的に収
縮させるような変形を阻止し得る。従って、一体化され
たカバープレートと圧電基板に変形が生じることがない
ので、その後のインクジェット式印字ヘッドの製造工程
の精度が向上し、ひいては優れた印字品質を実現でき
る。As described above, in the method of manufacturing an ink jet head according to the invention of claim 1, since the cover plate side jig has a convex surface in the groove arrangement direction, the contact surface with the cover plate is The integrated cover plate and the upper side of the piezoelectric substrate, that is, the cover, which tends to deform so that the upper side of the cover plate relatively expands and the lower side of the piezoelectric substrate having a plurality of grooves relatively contracts, that is, the cover A downward external force is applied to the upper surface of the plate. Further, the piezoelectric substrate side jig so that the concave abutment surface of the piezoelectric substrate in the direction of arrangement of the grooves, the lower of the integrated cover plate and the piezoelectric substrate, that exerts an upward force on the lower surface of the piezoelectric substrate . Therefore, these jigs can prevent deformation of the cover plate and the piezoelectric substrate, which are integrated with each other, such that the upper surface of the cover plate relatively expands and the lower surface of the piezoelectric substrate relatively contracts. . Therefore, since the integrated cover plate and piezoelectric substrate are not deformed, the accuracy of the subsequent manufacturing process of the ink jet print head is improved, and thus excellent print quality can be realized.
【0030】[0030]
【0031】[0031]
【図1】本発明に係るインクジェット式印字ヘッドを採
用してなるプリンタの外観図である。FIG. 1 is an external view of a printer that employs an inkjet print head according to the present invention.
【図2】本発明に係るインクジェット式印字ヘッドの部
分破断斜視図である。FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the inkjet print head according to the present invention.
【図3】本発明の一実施の形態における圧電基板とカバ
ープレートとの接着過程を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a bonding process between the piezoelectric substrate and the cover plate according to the embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施の形態における接着過程により
一体化された圧電基板とカバープレートを説明する図で
ある。FIG. 4 is a diagram illustrating a piezoelectric substrate and a cover plate that are integrated by the bonding process according to the embodiment of the present invention.
【図5】従来の、圧電基板とカバープレートとの接着過
程を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a conventional bonding process between a piezoelectric substrate and a cover plate.
【図6】従来の接着過程により一体化された圧電基板と
カバープレートを説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a piezoelectric substrate and a cover plate integrated by a conventional bonding process.
5 インクジェット式印字ヘッド 16 圧電基板 17 溝 23 カバープレート 24 カバープレート側治具 26 圧電基板側治具 27 インクジェットヘッド 103 接着剤 5 Inkjet print head 16 Piezoelectric substrate 17 groove 23 cover plate 24 Jig for cover plate side 26 Piezoelectric substrate side jig 27 inkjet head 103 adhesive
Claims (3)
カバープレートを接着し、これらを一体化するインクジ
ェットヘッドの製造方法において、 前記複数の溝が形成された圧電基板の表面もしくは前記
カバープレートの表面に接着剤を塗布する工程と、 前記接着剤を挟むように前記圧電基板の表面にカバープ
レートを重ね合わせると共に、この重ね合わせた前記カ
バープレートと前記圧電基板とを圧電基板側治具及びカ
バープレート側治具により挟み込む工程と、 前記挟み込んだ状態にて前記接着剤を硬化させる工程と
から成り、 前記圧電基板側治具の前記圧電基板との当接面を前記圧
電基板に形成されている溝の並び方向に凹型状とし、前
記カバープレート側治具の前記カバープレートとの当接
面を前記溝の並び方向に凸型状としたことを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。1. A bonding the cover plate to the plurality of grooves formed surface of the piezoelectric substrate, in the manufacturing method of the ink-jet head to integrate them, surface or the cover of the piezoelectric substrate where the plurality of grooves are formed A step of applying an adhesive on the surface of the plate; a cover plate is superposed on the surface of the piezoelectric substrate so as to sandwich the adhesive; and the cover plate and the piezoelectric substrate thus superposed are bonded to each other on a piezoelectric substrate side jig. and a step of sandwiching the cover plate side tool consists of a step of curing the adhesive at the sandwiched state, the pressure of the contact surface between the piezoelectric substrate of the piezoelectric substrate side jig
An ink jet head characterized in that the grooves formed on the electric substrate are concave in the direction in which the grooves are arranged, and the contact surface of the cover plate side jig with the cover plate is convex in the direction in which the grooves are arranged. Manufacturing method.
セラミックスとしたことを特徴とする請求項1に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。2. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the piezoelectric substrate and the cover plate are made of ceramics.
基板側治具をステンレス鋼としたことを特徴とする請求
項1又は請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造
方法。3. The method for manufacturing an inkjet head according to claim 1, wherein the cover plate side jig and the piezoelectric substrate side jig are made of stainless steel.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP35364295A JP3508362B2 (en) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Method of manufacturing inkjet head |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP35364295A JP3508362B2 (en) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Method of manufacturing inkjet head |
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|---|---|
| JPH09174862A JPH09174862A (en) | 1997-07-08 |
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-
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| JPH09174862A (en) | 1997-07-08 |
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