JP3527382B2 - 均熱装置 - Google Patents
均熱装置Info
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- JP3527382B2 JP3527382B2 JP05922997A JP5922997A JP3527382B2 JP 3527382 B2 JP3527382 B2 JP 3527382B2 JP 05922997 A JP05922997 A JP 05922997A JP 5922997 A JP5922997 A JP 5922997A JP 3527382 B2 JP3527382 B2 JP 3527382B2
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば合成樹脂
成型品、半導体ウエハ等、定盤上で加工や成形を行う被
成形物を均一に加熱あるいは冷却することができる均熱
装置に関するものである。
成型品、半導体ウエハ等、定盤上で加工や成形を行う被
成形物を均一に加熱あるいは冷却することができる均熱
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の均熱装置としては、例えば特開平
６−２７８１３９号公報に開示されたものがある。ま
た、その改良されたものとして、特開平８−８９５０８
号公報があり、その概要を図１７，図１８に示し、これ
ら各図において、１は例えば合成樹脂成型品、半導体ウ
エハ等の被成形製品が載置され、例えば同心状の環状溝
から成る流通路２が複数形成された定盤、３はこの定盤
１に形成された流通路２を覆うように定盤１に接合され
た板状部材、４はこの板状部材３の一部を外方に突出さ
せて形成され、流通路２内と連通してそれら内部を真空
減圧後封入される作動液５を貯溜する液溜め体、６はこ
の液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬され内部にヒ
ータ７が収納される収納体である。
６−２７８１３９号公報に開示されたものがある。ま
た、その改良されたものとして、特開平８−８９５０８
号公報があり、その概要を図１７，図１８に示し、これ
ら各図において、１は例えば合成樹脂成型品、半導体ウ
エハ等の被成形製品が載置され、例えば同心状の環状溝
から成る流通路２が複数形成された定盤、３はこの定盤
１に形成された流通路２を覆うように定盤１に接合され
た板状部材、４はこの板状部材３の一部を外方に突出さ
せて形成され、流通路２内と連通してそれら内部を真空
減圧後封入される作動液５を貯溜する液溜め体、６はこ
の液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬され内部にヒ
ータ７が収納される収納体である。
【０００３】次に動作について説明する。被成形製品の
加熱成形が必要な場合は、定盤１に被成形製品を載置
し、液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納
体６内部のヒータ７に通電する。ヒータ７の通電により
作動液５が収納体６を介して加熱される。加熱された作
動液５は蒸発気化し、定盤１の流通路２を経て定盤１内
全体に広がり、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受
け渡し被成形製品の加熱成形を行う。潜熱を奪われた作
動液５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、再度液溜め
体４に環流する。これらの一連の動作が行われることに
より、定盤１表面において被成形製品の均一な加熱を行
う。
加熱成形が必要な場合は、定盤１に被成形製品を載置
し、液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納
体６内部のヒータ７に通電する。ヒータ７の通電により
作動液５が収納体６を介して加熱される。加熱された作
動液５は蒸発気化し、定盤１の流通路２を経て定盤１内
全体に広がり、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受
け渡し被成形製品の加熱成形を行う。潜熱を奪われた作
動液５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、再度液溜め
体４に環流する。これらの一連の動作が行われることに
より、定盤１表面において被成形製品の均一な加熱を行
う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来装置は、真空減圧後に液溜め体４内に封入される
作動液５の潜熱により、ヒータ７から発せられた熱を定
盤１表面に伝熱する構造であるが、ヒータ７とそのヒー
タ７を収納する収納体６との間に隙間ができてしまうた
め、熱抵抗が大きくなり熱伝達効率が低下するので、定
盤１表面を均一に効率よく加熱することができないとい
う問題点があった。
た従来装置は、真空減圧後に液溜め体４内に封入される
作動液５の潜熱により、ヒータ７から発せられた熱を定
盤１表面に伝熱する構造であるが、ヒータ７とそのヒー
タ７を収納する収納体６との間に隙間ができてしまうた
め、熱抵抗が大きくなり熱伝達効率が低下するので、定
盤１表面を均一に効率よく加熱することができないとい
う問題点があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、定盤表面を均一に、効率
よく加熱できる均熱装置を提供することを目的とする。
るためになされたものであり、定盤表面を均一に、効率
よく加熱できる均熱装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１のも
のは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤
と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合さ
れた板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形
成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体
と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱源
が収納される収納体と、収納体の外周部に沸騰を促進さ
せる表面処理施工体とを設けたものである。
のは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤
と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合さ
れた板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形
成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体
と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱源
が収納される収納体と、収納体の外周部に沸騰を促進さ
せる表面処理施工体とを設けたものである。
【０００７】また、この発明の請求項２のものは、被成
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱源が収納される
収納体と、収納体と上記熱源との間に充填された高熱伝
導材とを設けたものである。
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱源が収納される
収納体と、収納体と上記熱源との間に充填された高熱伝
導材とを設けたものである。
【０００８】また、この発明の請求項３のものは、被成
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体の内
寸法と同寸法または収納体の内寸法より大きい寸法を有
し、収納体に圧入された熱源とを設けたものである。
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体の内
寸法と同寸法または収納体の内寸法より大きい寸法を有
し、収納体に圧入された熱源とを設けたものである。
【０００９】また、この発明の請求項４のものは、被成
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
の外周面に接触して配置された熱源とを設けたものであ
る。
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
の外周面に接触して配置された熱源とを設けたものであ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図１、図２に基づいて
説明する。これら各図において、１は定盤、２は流通
路、３は板状部材、４は液溜め体、５は作動液、６収納
体は、７は例えばヒータから成る熱源である。８は収納
体６の外周部に配置され、作動液５の沸騰を促進させる
沸騰促進体であり、例えばウィックや金網等の多孔質体
から構成されている。
説明する。これら各図において、１は定盤、２は流通
路、３は板状部材、４は液溜め体、５は作動液、６収納
体は、７は例えばヒータから成る熱源である。８は収納
体６の外周部に配置され、作動液５の沸騰を促進させる
沸騰促進体であり、例えばウィックや金網等の多孔質体
から構成されている。
【００１１】次に、動作について説明する。被成形製品
の加熱成形が必要な場合は、定盤１に被成形製品を載置
し、液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納
体６内部の熱源７に通電する。熱源７の通電により作動
液５が収納体６を介して加熱される。加熱された作動液
５は蒸発気化し、定盤１の流通路２を経て定盤１内全体
に広がり、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡
し被成形製品の加熱成形を行う。潜熱を奪われた作動液
５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、再度液溜め体４
に環流する。これらの一連の動作が行われることによ
り、定盤１表面において被成形製品の均一な加熱を行
う。この場合、熱源７の熱量は作動液５の蒸気より流通
路２・液溜め体４を含めた密閉容器を成す内部に拡散
し、流通路２壁面での凝縮により熱輸送を行うので、定
盤１表面を均一に加熱することができる。
の加熱成形が必要な場合は、定盤１に被成形製品を載置
し、液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納
体６内部の熱源７に通電する。熱源７の通電により作動
液５が収納体６を介して加熱される。加熱された作動液
５は蒸発気化し、定盤１の流通路２を経て定盤１内全体
に広がり、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡
し被成形製品の加熱成形を行う。潜熱を奪われた作動液
５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、再度液溜め体４
に環流する。これらの一連の動作が行われることによ
り、定盤１表面において被成形製品の均一な加熱を行
う。この場合、熱源７の熱量は作動液５の蒸気より流通
路２・液溜め体４を含めた密閉容器を成す内部に拡散
し、流通路２壁面での凝縮により熱輸送を行うので、定
盤１表面を均一に加熱することができる。
【００１２】また、この実施の形態１においては、収納
体６の外周部に例えばウィックや金網等から構成される
沸騰促進体８を配置したことにより、作動液５の沸騰の
促進および伝熱面積を増大させることができ、沸騰気化
における熱抵抗を小さくすることができるので、熱効率
に優れた均熱装置を得ることができる。
体６の外周部に例えばウィックや金網等から構成される
沸騰促進体８を配置したことにより、作動液５の沸騰の
促進および伝熱面積を増大させることができ、沸騰気化
における熱抵抗を小さくすることができるので、熱効率
に優れた均熱装置を得ることができる。
【００１３】実施の形態２．
この発明の実施の形態２を図２に基づいて説明する。図
２において、９は収納体６の外周部に形成され、作動液
５の沸騰を促進させる表面処理施工体であり、例えば容
射等の表面処理により多孔質体に施工される。
２において、９は収納体６の外周部に形成され、作動液
５の沸騰を促進させる表面処理施工体であり、例えば容
射等の表面処理により多孔質体に施工される。
【００１４】この実施の形態２においては、上述した実
施の形態１と同様の効果を有すると共に、さらに、表面
処理により収納体６の外周部に表面処理施工体９を形成
するようにしたので、上述した実施の形態１のように沸
騰促進体８を収納体６へ固着する必要が無くなるため、
組立性も向上する。
施の形態１と同様の効果を有すると共に、さらに、表面
処理により収納体６の外周部に表面処理施工体９を形成
するようにしたので、上述した実施の形態１のように沸
騰促進体８を収納体６へ固着する必要が無くなるため、
組立性も向上する。
【００１５】実施の形態３．
この発明の実施の形態３を図３に基づいて説明する。図
３において、１０は収納体６と熱源７との間の隙間に充
填された例えば伝熱グリース等から成る高熱伝導材であ
る。
３において、１０は収納体６と熱源７との間の隙間に充
填された例えば伝熱グリース等から成る高熱伝導材であ
る。
【００１６】この実施の形態３においては、例えば伝熱
グリース等から成る高熱伝導材１０を収納体６と熱源７
との間の隙間に充填したことにより、収納体６と熱源７
との間の熱抵抗を小さくすることができ、熱効率の更に
優れた均熱装置を得ることができる。また、充填する高
熱伝導材１０が流動性の高い材料である場合は、収納体
６の端部にフタ１１を設置してもよく、これにより、流
動性の高い高熱伝導材１０でも充填作業を容易に行うこ
とができる。
グリース等から成る高熱伝導材１０を収納体６と熱源７
との間の隙間に充填したことにより、収納体６と熱源７
との間の熱抵抗を小さくすることができ、熱効率の更に
優れた均熱装置を得ることができる。また、充填する高
熱伝導材１０が流動性の高い材料である場合は、収納体
６の端部にフタ１１を設置してもよく、これにより、流
動性の高い高熱伝導材１０でも充填作業を容易に行うこ
とができる。
【００１７】実施の形態４．
この発明の実施の形態４を図４に基づいて説明する。図
４において、１２は液溜め体４を貫通して作動液５中に
浸漬された収納体、１３は収納体１２の内寸法と同寸法
または収納体１２の内寸法より大きい寸法を有し、収納
体１２に圧入される例えばヒータ等から成る熱源であ
る。すなわち、収納体１２の内寸法が熱源１３の外寸法
と同寸法または熱源１３の外寸法より小さい寸法とな
る。
４において、１２は液溜め体４を貫通して作動液５中に
浸漬された収納体、１３は収納体１２の内寸法と同寸法
または収納体１２の内寸法より大きい寸法を有し、収納
体１２に圧入される例えばヒータ等から成る熱源であ
る。すなわち、収納体１２の内寸法が熱源１３の外寸法
と同寸法または熱源１３の外寸法より小さい寸法とな
る。
【００１８】この実施の形態４においては、収納体１２
に熱源１３を圧入するので、収納体１２と熱源１３との
隙間が無くなるため、上述した実施の形態３のように高
熱伝導材１０を充填することなく熱抵抗を小さくするこ
とができ、更に熱効率の向上と作業性の向上が図れる。
また、圧入によって熱源１３がしっかりと収納体１２に
固定されるので、熱源１３の固定方法を考える必要が無
くなる。
に熱源１３を圧入するので、収納体１２と熱源１３との
隙間が無くなるため、上述した実施の形態３のように高
熱伝導材１０を充填することなく熱抵抗を小さくするこ
とができ、更に熱効率の向上と作業性の向上が図れる。
また、圧入によって熱源１３がしっかりと収納体１２に
固定されるので、熱源１３の固定方法を考える必要が無
くなる。
【００１９】実施の形態５．
この発明の実施の形態５を図５に基づいて説明する。図
５において、１４は液溜め体４の外周面、例えば液溜め
体４の底部の外周壁に接触して配置された面状の熱源で
ある。
５において、１４は液溜め体４の外周面、例えば液溜め
体４の底部の外周壁に接触して配置された面状の熱源で
ある。
【００２０】この実施の形態５においては、面状の熱源
１４を液溜め体４の外周壁に接触させて配置したので、
上述した各実施の形態のような熱源と収納体との隙間に
よる熱抵抗の改善を容易に行うことができると共に、熱
源１４の取付けや交換が容易となりメインテナンス性を
向上させることができる。また、熱源１４は液溜め体４
の側部の外周壁に接触させて配置しても同様の効果を奏
する。
１４を液溜め体４の外周壁に接触させて配置したので、
上述した各実施の形態のような熱源と収納体との隙間に
よる熱抵抗の改善を容易に行うことができると共に、熱
源１４の取付けや交換が容易となりメインテナンス性を
向上させることができる。また、熱源１４は液溜め体４
の側部の外周壁に接触させて配置しても同様の効果を奏
する。
【００２１】実施の形態６．
この発明の実施の形態６を図６に基づいて説明する。図
６において、１５は板状部材３の一部を外方に突出させ
て形成され、流通路２内と連通して作動液５を貯溜する
液溜め体、１６は液溜め体１５の外方に配置される例え
ばヒータ等から成る熱源、１７は液溜め体１５の例えば
底部を液溜め体１５内方側に窪ませて形成され、熱源１
６を設置する熱源設置部、１８は熱源設置部１７に設置
された熱源１６を液溜め体１５に取付ける押え板であ
る。
６において、１５は板状部材３の一部を外方に突出させ
て形成され、流通路２内と連通して作動液５を貯溜する
液溜め体、１６は液溜め体１５の外方に配置される例え
ばヒータ等から成る熱源、１７は液溜め体１５の例えば
底部を液溜め体１５内方側に窪ませて形成され、熱源１
６を設置する熱源設置部、１８は熱源設置部１７に設置
された熱源１６を液溜め体１５に取付ける押え板であ
る。
【００２２】この実施の形態６においては、液溜め体１
５の底部をその内方側に窪ませて形成した熱源設置部１
７に熱源１６を設置し、押え板１８で固定するようにし
たので、熱源１６の固定を容易に行うことができると共
に、押え板１８により熱源１６を押さえつけることによ
り、液溜め体１５と熱源１６との密着性もより向上する
ため、接触による熱抵抗を低減することができる。更
に、ネジ止め等で組立が可能となるため組立性も向上さ
せることができる。また、熱源設置部１７は液溜め体１
５の側部に配置しても同様の効果を奏する。
５の底部をその内方側に窪ませて形成した熱源設置部１
７に熱源１６を設置し、押え板１８で固定するようにし
たので、熱源１６の固定を容易に行うことができると共
に、押え板１８により熱源１６を押さえつけることによ
り、液溜め体１５と熱源１６との密着性もより向上する
ため、接触による熱抵抗を低減することができる。更
に、ネジ止め等で組立が可能となるため組立性も向上さ
せることができる。また、熱源設置部１７は液溜め体１
５の側部に配置しても同様の効果を奏する。
【００２３】実施の形態７．
この発明の実施の形態７を図７に基づいて説明する。図
７において、１９は液溜め体４の一部に形成された穴、
２０はこの穴１９を閉塞し液溜め体４に着脱可能に取付
けられたフランジ、２１はこのフランジ２０を貫通し穴
１９を通して液溜め体４内に封入された作動液５中に浸
漬される例えばヒータ等から成る熱源である。
７において、１９は液溜め体４の一部に形成された穴、
２０はこの穴１９を閉塞し液溜め体４に着脱可能に取付
けられたフランジ、２１はこのフランジ２０を貫通し穴
１９を通して液溜め体４内に封入された作動液５中に浸
漬される例えばヒータ等から成る熱源である。
【００２４】この実施の形態７においては、熱源２１が
作動液５中に浸漬されているため、上述した実施の形態
１〜４のような熱源と収納体との隙間を何等考慮する必
要が無く、熱源２１から発せられた熱がそのまま直接作
動液５に伝達されるため、熱抵抗を著しく小さくするこ
とができ、熱効率を大幅に改善することができる。ま
た、熱源２１にフランジ２０を設けてネジ止め等により
液溜め体４に着脱可能に取付けるようにしているので、
熱源２１の取付けや交換を容易に行うことができる。
作動液５中に浸漬されているため、上述した実施の形態
１〜４のような熱源と収納体との隙間を何等考慮する必
要が無く、熱源２１から発せられた熱がそのまま直接作
動液５に伝達されるため、熱抵抗を著しく小さくするこ
とができ、熱効率を大幅に改善することができる。ま
た、熱源２１にフランジ２０を設けてネジ止め等により
液溜め体４に着脱可能に取付けるようにしているので、
熱源２１の取付けや交換を容易に行うことができる。
【００２５】実施の形態８．
この発明の実施の形態８を図８に基づいて説明する。図
８において、２２は収納体４内に装着され、その収納体
４内に充填される絶縁体２２ａとその絶縁体２２ａ内に
配置された電熱線等から成る発熱体２２ｂとから成る熱
源である。
８において、２２は収納体４内に装着され、その収納体
４内に充填される絶縁体２２ａとその絶縁体２２ａ内に
配置された電熱線等から成る発熱体２２ｂとから成る熱
源である。
【００２６】この実施の形態８においては、熱源２２が
絶縁体２２ａを収納体４内に充填されることによりその
収納体４と一体化されるので、熱源と収納体との隙間を
何等考慮する必要が無くなり、組立性を改善することが
できる。
絶縁体２２ａを収納体４内に充填されることによりその
収納体４と一体化されるので、熱源と収納体との隙間を
何等考慮する必要が無くなり、組立性を改善することが
できる。
【００２７】実施の形態９．
この発明の実施の形態９を図９に基づいて説明する。図
９において、２３は収納体４内に装着され、両端部２３
ａの位置を収納体４端面より中央部側にＬ寸法離間され
て配置された例えばヒータ等から成る熱源である。すな
わち、熱源２３を上述した実施の形態のより短くし、熱
源２３全体が収納体４の内方に収納されるものである。
９において、２３は収納体４内に装着され、両端部２３
ａの位置を収納体４端面より中央部側にＬ寸法離間され
て配置された例えばヒータ等から成る熱源である。すな
わち、熱源２３を上述した実施の形態のより短くし、熱
源２３全体が収納体４の内方に収納されるものである。
【００２８】この実施の形態９においては、熱源２３の
両端部２３ａの位置が、収納体４の端面よりＬ寸法離間
されて中央部側に位置しているので、熱源２３と収納体
４の端面との間の熱抵抗を増大させ、これにより収納体
４端面壁から液溜め体４壁を伝わり、定盤１表面へ直接
伝わる熱を低減することができ、上述した実施の形態の
ものより、定盤１表面の均熱特性をより一層向上させる
ことができる。
両端部２３ａの位置が、収納体４の端面よりＬ寸法離間
されて中央部側に位置しているので、熱源２３と収納体
４の端面との間の熱抵抗を増大させ、これにより収納体
４端面壁から液溜め体４壁を伝わり、定盤１表面へ直接
伝わる熱を低減することができ、上述した実施の形態の
ものより、定盤１表面の均熱特性をより一層向上させる
ことができる。
【００２９】実施の形態１０．
この発明の実施の形態１０を図１０に基づいて説明す
る。図１０において、２４は液溜め体４を貫通して作動
液５中に浸漬され、両端部２４ａの寸法が中央部２４ｂ
の寸法より大きく形成された収納体、２５は収納体２４
内に装着され、中央部２５ａが収納体２４の中央部２４
ｂに位置し、両端部２５ｂの位置が収納体２４の両端部
２４ａに配置された例えばヒータ等から成る熱源であ
り、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４
ａとの間に隙間が形成されている。
る。図１０において、２４は液溜め体４を貫通して作動
液５中に浸漬され、両端部２４ａの寸法が中央部２４ｂ
の寸法より大きく形成された収納体、２５は収納体２４
内に装着され、中央部２５ａが収納体２４の中央部２４
ｂに位置し、両端部２５ｂの位置が収納体２４の両端部
２４ａに配置された例えばヒータ等から成る熱源であ
り、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４
ａとの間に隙間が形成されている。
【００３０】この実施の形態１０においては、熱源２５
の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４ａとの間に形
成された隙間により、収納体２４の両端面２４ａ壁から
液溜め体４壁を伝わり、定盤１表面へ直接伝わる熱を低
減することができ、上述した実施の形態９と同様の効果
を奏する。また、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４
の両端部２４ａとの間に隙間を設けたことにより、熱源
２５の寸法を大きく構成することができるので、単位面
積当たりの発熱量が小さくなり、熱源２５の寿命を比較
的長く維持することができる。
の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４ａとの間に形
成された隙間により、収納体２４の両端面２４ａ壁から
液溜め体４壁を伝わり、定盤１表面へ直接伝わる熱を低
減することができ、上述した実施の形態９と同様の効果
を奏する。また、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４
の両端部２４ａとの間に隙間を設けたことにより、熱源
２５の寸法を大きく構成することができるので、単位面
積当たりの発熱量が小さくなり、熱源２５の寿命を比較
的長く維持することができる。
【００３１】実施の形態１１．
この発明の実施の形態１１を図１１に基づいて説明す
る。図１１において、２６は液溜め体４内の作動液５中
に浸漬配置される収納体、２７，２８はこの収納体２６
より熱伝導率の低い材料で構成され、その収納体２６を
液溜め体４に取付ける接続体であり、図は一例として、
接続体２７，２８より内方側に収納体２６が位置してい
る場合を示しており、例えば溶接等で固着されている。
２９は収納体２６内に装着される例えばヒータ等から成
る熱源である。
る。図１１において、２６は液溜め体４内の作動液５中
に浸漬配置される収納体、２７，２８はこの収納体２６
より熱伝導率の低い材料で構成され、その収納体２６を
液溜め体４に取付ける接続体であり、図は一例として、
接続体２７，２８より内方側に収納体２６が位置してい
る場合を示しており、例えば溶接等で固着されている。
２９は収納体２６内に装着される例えばヒータ等から成
る熱源である。
【００３２】この実施の形態１１においては、接続体２
７，２８より内方側に収納体２６が位置しているので、
熱源２９の両端部と接続体２７，２８との間に隙間が生
じ、上述した実施の形態１０と同様の効果を奏する。さ
らに、収納体２６と液溜め体４との間に位置する接続体
２７，２８は収納体２６より熱伝導率の低い材料で構成
しているので、熱源２９から収納体２６を伝わり、液溜
め体４壁への伝熱を大幅に低減することができ、上述し
た実施の形態１０より均熱特性を向上させることができ
る。
７，２８より内方側に収納体２６が位置しているので、
熱源２９の両端部と接続体２７，２８との間に隙間が生
じ、上述した実施の形態１０と同様の効果を奏する。さ
らに、収納体２６と液溜め体４との間に位置する接続体
２７，２８は収納体２６より熱伝導率の低い材料で構成
しているので、熱源２９から収納体２６を伝わり、液溜
め体４壁への伝熱を大幅に低減することができ、上述し
た実施の形態１０より均熱特性を向上させることができ
る。
【００３３】ところで、上述した図１１では、接続体２
７，２８と収納体２６とは溶接により固着される場合に
ついて述べたが、図１２に示すように、ネジ方式による
固着としてもよく、組立性を改善することができる。
７，２８と収納体２６とは溶接により固着される場合に
ついて述べたが、図１２に示すように、ネジ方式による
固着としてもよく、組立性を改善することができる。
【００３４】実施の形態１２．
この発明の実施の形態１２を図１３，図１４に基づいて
説明する。これら各図において、１は定盤、２は流通
路、３は板状部材、３０は定盤１の外周部に設けられ、
作動液３１を貯溜する液相部３０ａとその液相部３０ａ
の上方に気相部３０ｂを有する液溜め体、３２は液溜め
体３０の液相部３０ａ周囲に配置された例えばヒータ等
から成る熱源であり、図は一例として実線で示すよう
に、液溜め体３０の液相部３０ａの外側の周壁に設けた
場合を示しているが、破線で示すように液相部３０ａの
底部周壁や液相部３０ａの内側の周壁に設けてもよい。
３３は定盤１の下部の板状部材３に装着された断熱材で
ある。
説明する。これら各図において、１は定盤、２は流通
路、３は板状部材、３０は定盤１の外周部に設けられ、
作動液３１を貯溜する液相部３０ａとその液相部３０ａ
の上方に気相部３０ｂを有する液溜め体、３２は液溜め
体３０の液相部３０ａ周囲に配置された例えばヒータ等
から成る熱源であり、図は一例として実線で示すよう
に、液溜め体３０の液相部３０ａの外側の周壁に設けた
場合を示しているが、破線で示すように液相部３０ａの
底部周壁や液相部３０ａの内側の周壁に設けてもよい。
３３は定盤１の下部の板状部材３に装着された断熱材で
ある。
【００３５】この実施の形態１２においては、定盤１の
外周部からも、熱源３２により液溜め体３０の液相部３
０ａ内の作動液３１が加熱される。加熱された作動液３
１は蒸発気化し、定盤１の外周部に位置する液溜め体３
０の気相部３０ｂ全体に広がり、その潜熱を定盤１の外
周部へ熱輸送する。潜熱を奪われた作動液３１の蒸気は
凝縮液化し、再度液溜め体３０の液相部３０ａ内に環流
する。これらの一連の動作が行われることにより、定盤
１の外周部からも熱輸送することができ、定盤１の外周
部からの放熱を防止でき、定盤１の表面温度分布の外周
部の温度低下を防止でき、安定した均熱特性を得ること
ができる。また、断熱材３３により定盤１下方からの放
熱を防止でき、定盤１の表面温度分布の改善や放熱ロス
の軽減を図ることができる。
外周部からも、熱源３２により液溜め体３０の液相部３
０ａ内の作動液３１が加熱される。加熱された作動液３
１は蒸発気化し、定盤１の外周部に位置する液溜め体３
０の気相部３０ｂ全体に広がり、その潜熱を定盤１の外
周部へ熱輸送する。潜熱を奪われた作動液３１の蒸気は
凝縮液化し、再度液溜め体３０の液相部３０ａ内に環流
する。これらの一連の動作が行われることにより、定盤
１の外周部からも熱輸送することができ、定盤１の外周
部からの放熱を防止でき、定盤１の表面温度分布の外周
部の温度低下を防止でき、安定した均熱特性を得ること
ができる。また、断熱材３３により定盤１下方からの放
熱を防止でき、定盤１の表面温度分布の改善や放熱ロス
の軽減を図ることができる。
【００３６】ところで、上述した図１３，図１４では、
液溜め体３０の液相部３０ａが一層構造の場合について
述べたが、図１５に示すように、液溜め体３０の液相部
３０ａを外層部と内層部との二層構造とし、その液相部
３０ａを外層部と内層部との間の周壁に熱源３２を配置
することにより、熱源３２の放熱面全面が作動液３１と
熱的接触する面積として利用できるので、作動液３１の
蒸気の発生量が増大し熱抵抗を低減することができ、さ
らに熱効率を向上させることができる。
液溜め体３０の液相部３０ａが一層構造の場合について
述べたが、図１５に示すように、液溜め体３０の液相部
３０ａを外層部と内層部との二層構造とし、その液相部
３０ａを外層部と内層部との間の周壁に熱源３２を配置
することにより、熱源３２の放熱面全面が作動液３１と
熱的接触する面積として利用できるので、作動液３１の
蒸気の発生量が増大し熱抵抗を低減することができ、さ
らに熱効率を向上させることができる。
【００３７】実施の形態１３．
この発明の実施の形態１３を図１６に基づいて説明す
る。図１６において、３４は定盤１の外周部に設けら
れ、作動液３５を貯溜する液相部３４ａとその液相部３
４ａの上方に気相部３４ｂを有する液溜め体、３６は定
盤１に形成された流通路２を覆うと共にその流通路２が
液溜め体３４と連通するよう且つ作動液３５の流通路２
からの環流促進のために傾斜されて液溜め体３４に取付
けられた板状部材、３７は液溜め体３４の液相部３４ａ
周囲に配置された例えばヒータ等から成る熱源である。
る。図１６において、３４は定盤１の外周部に設けら
れ、作動液３５を貯溜する液相部３４ａとその液相部３
４ａの上方に気相部３４ｂを有する液溜め体、３６は定
盤１に形成された流通路２を覆うと共にその流通路２が
液溜め体３４と連通するよう且つ作動液３５の流通路２
からの環流促進のために傾斜されて液溜め体３４に取付
けられた板状部材、３７は液溜め体３４の液相部３４ａ
周囲に配置された例えばヒータ等から成る熱源である。
【００３８】この実施の形態１３においては、熱源３７
により液溜め体３４の液相部３４ａ内の作動液３５が加
熱される。加熱された作動液３５は蒸発気化し、定盤１
の外周部に位置する液溜め体３４の気相部３４ｂ全体に
広がると共に、定盤１の流通路２全体に広がる。定盤１
の流通路２全体に広がった作動液３５の蒸気は、その潜
熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡し被成形製品の加
熱成形を行い、潜熱を奪われた作動液３５の蒸気は流通
路２壁面で凝縮液化し、板状部材３６の傾斜面に沿って
液溜め体３４の液相部３４ａ内に環流する。一方、液溜
め体３４の気相部３４ｂ全体に広がった作動液３５の蒸
気は、その潜熱を定盤１の外周部へ熱輸送し、潜熱を奪
われた作動液３５の蒸気は凝縮液化し、再度液溜め体３
４の液相部３４ａ内に環流する。これらの一連の動作が
行われることにより、定盤１の内外周両方から熱輸送す
ることができ、定盤１の外周部からの放熱も防止でき、
定盤１の表面温度分布の外周部の温度低下を防止でき、
安定した均熱特性を得ることができる。また、板状部材
３６に傾斜を設けたことにより、定盤１の流通路２にて
凝縮液化した作動液３５が円滑に液溜め体３４の液相部
３４ａ内に環流できるため、蒸発部である液溜め体３４
の液相部３４ａに作動液３５が円滑に戻らず枯れてしま
う現象を防止することができ、安定した動作を行うこと
ができる。
により液溜め体３４の液相部３４ａ内の作動液３５が加
熱される。加熱された作動液３５は蒸発気化し、定盤１
の外周部に位置する液溜め体３４の気相部３４ｂ全体に
広がると共に、定盤１の流通路２全体に広がる。定盤１
の流通路２全体に広がった作動液３５の蒸気は、その潜
熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡し被成形製品の加
熱成形を行い、潜熱を奪われた作動液３５の蒸気は流通
路２壁面で凝縮液化し、板状部材３６の傾斜面に沿って
液溜め体３４の液相部３４ａ内に環流する。一方、液溜
め体３４の気相部３４ｂ全体に広がった作動液３５の蒸
気は、その潜熱を定盤１の外周部へ熱輸送し、潜熱を奪
われた作動液３５の蒸気は凝縮液化し、再度液溜め体３
４の液相部３４ａ内に環流する。これらの一連の動作が
行われることにより、定盤１の内外周両方から熱輸送す
ることができ、定盤１の外周部からの放熱も防止でき、
定盤１の表面温度分布の外周部の温度低下を防止でき、
安定した均熱特性を得ることができる。また、板状部材
３６に傾斜を設けたことにより、定盤１の流通路２にて
凝縮液化した作動液３５が円滑に液溜め体３４の液相部
３４ａ内に環流できるため、蒸発部である液溜め体３４
の液相部３４ａに作動液３５が円滑に戻らず枯れてしま
う現象を防止することができ、安定した動作を行うこと
ができる。
【００３９】
【発明の効果】この発明の請求項１のものは以上説明し
たとおり、被成形製品が載置され流通路が形成された定
盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合
された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて
形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め
体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱
源が収納される収納体と、収納体の外周部に沸騰を促進
させる表面処理施工体とを設けたことにより、上記請求
項２のように沸騰促進体を収納体へ固着する必要が無く
なるため、組立性も向上する。
たとおり、被成形製品が載置され流通路が形成された定
盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合
された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて
形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め
体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱
源が収納される収納体と、収納体の外周部に沸騰を促進
させる表面処理施工体とを設けたことにより、上記請求
項２のように沸騰促進体を収納体へ固着する必要が無く
なるため、組立性も向上する。
【００４０】また、この発明の請求項２のものは、被成
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱源が収納される
収納体と、収納体と上記熱源との間に充填された高熱伝
導材とを設けたことにより、収納体と熱源との間の熱抵
抗を小さくすることができ、熱効率の更に優れた均熱装
置を得ることができる。
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬され内部に熱源が収納される
収納体と、収納体と上記熱源との間に充填された高熱伝
導材とを設けたことにより、収納体と熱源との間の熱抵
抗を小さくすることができ、熱効率の更に優れた均熱装
置を得ることができる。
【００４１】また、この発明の請求項３のものは、被成
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体の内
寸法と同寸法または収納体の内寸法より大きい寸法を有
し、収納体に圧入された熱源とを設けたことにより、請
求項３のように高熱伝導材を充填することなく熱抵抗を
小さくすることができ、更に熱効率の向上と作業性の向
上が図れる。
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体の内
寸法と同寸法または収納体の内寸法より大きい寸法を有
し、収納体に圧入された熱源とを設けたことにより、請
求項３のように高熱伝導材を充填することなく熱抵抗を
小さくすることができ、更に熱効率の向上と作業性の向
上が図れる。
【００４２】また、この発明の請求項４のものは、被成
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
の外周面に接触して配置された熱源とを設けたことによ
り、熱源と収納体との隙間による熱抵抗の改善を容易に
行うことができると共に、熱源の取付けや交換が容易と
なりメインテナンス性を向上させることができる。
形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形
成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材
と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通
路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体
の外周面に接触して配置された熱源とを設けたことによ
り、熱源と収納体との隙間による熱抵抗の改善を容易に
行うことができると共に、熱源の取付けや交換が容易と
なりメインテナンス性を向上させることができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図２】 この発明の実施の形態２による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図３】 この発明の実施の形態３による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図４】 この発明の実施の形態４による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図５】 この発明の実施の形態５による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図６】 この発明の実施の形態６による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図７】 この発明の実施の形態７による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図８】 この発明の実施の形態８による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図９】 この発明の実施の形態９による均熱装置を示
す横断面図である。
す横断面図である。
【図１０】 この発明の実施の形態１０による均熱装置
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図１１】 この発明の実施の形態１１による均熱装置
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図１２】 この発明の実施の形態１１による均熱装置
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図１３】 この発明の実施の形態１２による均熱装置
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図１４】 この発明の実施の形態１２による均熱装置
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図１５】 この発明の実施の形態１２による均熱装置
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図１６】 この発明の実施の形態１３による均熱装置
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図１７】 従来の均熱装置を示す平面図である。
【図１８】 従来の均熱装置を示す横断面図である。
１ 定盤、２ 流通路、３，３６ 板状部材、４，１
５，３０，３４ 液溜め体、５，３１，３５ 作動液、
６，１２，２４，２６ 収納体、７，１３，１４，１
６，２１，２２，２３，２５，２９，３２，３７ 熱
源、８ 沸騰促進体、９ 表面処理施工体、１０ 高熱
伝導材、１７ 熱源設置部、１８ 押え板、１９ 穴、
２０ フランジ、２２ａ 絶縁体、２２ｂ 発熱体、２
３ａ 両端部、２４ａ 端部、２４ｂ 中央部、２７，
２８ 接続体、３０ａ，３４ａ 液相部、３０ｂ，３４
ｂ 気相部。
５，３０，３４ 液溜め体、５，３１，３５ 作動液、
６，１２，２４，２６ 収納体、７，１３，１４，１
６，２１，２２，２３，２５，２９，３２，３７ 熱
源、８ 沸騰促進体、９ 表面処理施工体、１０ 高熱
伝導材、１７ 熱源設置部、１８ 押え板、１９ 穴、
２０ フランジ、２２ａ 絶縁体、２２ｂ 発熱体、２
３ａ 両端部、２４ａ 端部、２４ｂ 中央部、２７，
２８ 接続体、３０ａ，３４ａ 液相部、３０ｂ，３４
ｂ 気相部。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−327827（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−187760（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−156027（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−2322（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B29C 33/02 - 33/04
B29C 35/02 - 35/04
F28D 15/02
H01L 21/30
Claims (4)
- 【請求項１】 被成形製品が載置され、流通路が形成さ
れた定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うよ
うに上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の
一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通
して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体を貫通
して上記作動液中に浸漬され内部に熱源が収納される収
納体と、上記収納体の外周部に沸騰を促進させる表面処
理施工体とを備えたことを特徴とする均熱装置。 - 【請求項２】 被成形製品が載置され、流通路が形成さ
れた定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うよ
うに上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の
一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通
して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体を貫通
して上記作動液中に浸漬され内部に熱源が収納される収
納体と、上記収納体と上記熱源との間に充填された高熱
伝導材とを備えたことを特徴とする均熱装置。 - 【請求項３】 被成形製品が載置され、流通路が形成さ
れた定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うよ
うに上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の
一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通
して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体を貫通
して上記作動液中に浸漬された収納体と、上記収納体の
内寸法と同寸法または上記収納体の内寸法より大きい寸
法を有し、上記収納体に圧入された熱源とを備えたこと
を特徴とする均熱装置。 - 【請求項４】 被成形製品が載置され、流通路が形成さ
れた定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うよ
うに上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の
一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通
して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体の外周
面に接触して配置された熱源とを備えたことを特徴とす
る均熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05922997A JP3527382B2 (ja) | 1997-03-13 | 1997-03-13 | 均熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05922997A JP3527382B2 (ja) | 1997-03-13 | 1997-03-13 | 均熱装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004015181A Division JP3799043B2 (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 均熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249863A JPH10249863A (ja) | 1998-09-22 |
| JP3527382B2 true JP3527382B2 (ja) | 2004-05-17 |
Family
ID=13107350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05922997A Expired - Lifetime JP3527382B2 (ja) | 1997-03-13 | 1997-03-13 | 均熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3527382B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
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|---|---|---|---|---|
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| JP5153201B2 (ja) * | 2007-05-01 | 2013-02-27 | 三菱電機株式会社 | 均熱装置 |
| JP5897275B2 (ja) * | 2011-07-25 | 2016-03-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御ユニット、基板載置台、基板処理装置、温度制御システム、及び基板処理方法 |
| EP4541546A1 (de) * | 2023-10-19 | 2025-04-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Formungselement für ein fertigungsverfahren |
-
1997
- 1997-03-13 JP JP05922997A patent/JP3527382B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10249863A (ja) | 1998-09-22 |
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