JP3799043B2

JP3799043B2 - 均熱装置

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Publication number: JP3799043B2
Application number: JP2004015181A
Authority: JP
Inventors: 真二宮崎; 久明山蔭; 一幸津曲
Original assignee: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Current assignee: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Priority date: 2004-01-23
Filing date: 2004-01-23
Publication date: 2006-07-19
Anticipated expiration: 2017-03-13
Also published as: JP2004155205A

Description

この発明は、例えば合成樹脂成型品、半導体ウエハ等、定盤上で加工や成形を行う被成形物を均一に加熱あるいは冷却することができる均熱装置に関するものである。

従来の均熱装置としては、例えば特許文献１に開示されたものがある。また、その改良されたものとして、特許文献２があり、その概要を図１７，図１８に示し、これら各図において、１は例えば合成樹脂成型品、半導体ウエハ等の被成形製品が載置され、例えば同心状の環状溝から成る流通路２が複数形成された定盤、３はこの定盤１に形成された流通路２を覆うように定盤１に接合された板状部材、４はこの板状部材３の一部を外方に突出させて形成され、流通路２内と連通してそれら内部を真空減圧後封入される作動液５を貯溜する液溜め体、６はこの液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬され内部にヒータ７が収納される収納体である。

次に動作について説明する。被成形製品の加熱成形が必要な場合は、定盤１に被成形製品を載置し、液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納体６内部のヒータ７に通電する。ヒータ７の通電により作動液５が収納体６を介して加熱される。加熱された作動液５は蒸発気化し、定盤１の流通路２を経て定盤１内全体に広がり、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡し被成形製品の加熱成形を行う。潜熱を奪われた作動液５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、再度液溜め体４に環流する。これらの一連の動作が行われることにより、定盤１表面において被成形製品の均一な加熱を行う。

特開平６−２７８１３９号公報特開平８−８９５０８号公報

しかしながら、上述した従来装置は、真空減圧後に液溜め体４内に封入される作動液５の潜熱により、ヒータ７から発せられた熱を定盤１表面に伝熱する構造であるが、ヒータ７とそのヒータ７を収納する収納体６との間に隙間ができてしまうため、熱抵抗が大きくなり熱伝達効率が低下するので、定盤１表面を均一に効率よく加熱することができないという問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、定盤表面を均一に、効率よく加熱できる均熱装置を提供することを目的とする。

この発明の請求項１に係る均熱装置は、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体の外方に配置される熱源と、液溜め体の外周面に形成され、熱源を設置する熱源設置部と、熱源設置部に設置された熱源を液溜め体に取付ける押え板とを設けたものである。

また、この発明の請求項２のものは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体の一部に形成された穴と、この穴を閉塞し液溜め体に着脱可能に取付けられたフランジと、フランジを貫通し穴を通して液溜め体内に封入された作動液中に浸漬される熱源とを設けたものである。

また、この発明の請求項３のものは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体内に装着され、絶縁体とその絶縁体内に配置された発熱体とから成る熱源とを設けたものである。

また、この発明の請求項４のものは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体内に装着され、両端部の位置を収納体端面より中央部側に離間されて配置された熱源とを設けたものである。

また、この発明の請求項５のものは、被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬され、両端部の寸法が中央部の寸法より大きく形成された収納体と、収納体内に装着され、両端部の位置が収納体の中央部の端部に配置された熱源とを設けたものである。

また、この発明の請求項６のものは、被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体内の作動液中に浸漬配置される収納体と、収納体より熱伝導率の低い材料で構成され、収納体を液溜め体に取付ける接続体と、収納体内に装着される熱源とを設けたものである。

この発明の請求項１に係る均熱装置は、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体の外方に配置される熱源と、液溜め体の外周面に形成され、熱源を設置する熱源設置部と、熱源設置部に設置された熱源を液溜め体に取付ける押え板とを設けたことにより、熱源の固定を容易に行うことができると共に、押え板により熱源を押さえつけることにより、液溜め体と熱源との密着性もより向上するため、接触による熱抵抗を低減することができる。

また、この発明の請求項２のものは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体の一部に形成された穴と、この穴を閉塞し液溜め体に着脱可能に取付けられたフランジと、フランジを貫通し穴を通して液溜め体内に封入された作動液中に浸漬される熱源とを設けたことにより、熱源と収納体との隙間を何等考慮する必要が無く、熱源から発せられた熱がそのまま直接作動液に伝達されるため、熱抵抗を著しく小さくすることができ、熱効率を大幅に改善することができる。

また、この発明の請求項３のものは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体内に装着され、絶縁体とその絶縁体内に配置された発熱体とから成る熱源とを設けたことにより、熱源が絶縁体を収納体内に充填されることによりその収納体と一体化されるので、熱源と収納体との隙間を何等考慮する必要が無くなり、組立性を改善することができる。

また、この発明の請求項４のものは、被成形製品が載置され流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬された収納体と、収納体内に装着され、両端部の位置を収納体端面より中央部側に離間されて配置された熱源とを設けたことにより、熱源と収納体の端面との間の熱抵抗を増大させ、これにより収納体端面壁から液溜め体壁を伝わり、定盤表面へ直接伝わる熱を低減することができ、上述した請求項のものより、定盤表面の均熱特性をより一層向上させることができる。

また、この発明の請求項５のものは、被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体を貫通して作動液中に浸漬され、両端部の寸法が中央部の寸法より大きく形成された収納体と、収納体内に装着され、両端部の位置が収納体の中央部の端部に配置された熱源とを設けたことにより、定盤表面へ直接伝わる熱を低減することができ、上述した請求項４と同様の効果を奏する。また、熱源の両端部と収納体の両端部との間に隙間を設けたことにより、熱源の寸法を大きく構成することができるので、単位面積当たりの発熱量が小さくなり、熱源の寿命を比較的長く維持することができる。

また、この発明の請求項６のものは、被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、定盤に形成された流通路を覆うように定盤に接合された板状部材と、板状部材の一部を外方に突出させて形成され、流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、液溜め体内の作動液中に浸漬配置される収納体と、収納体より熱伝導率の低い材料で構成され、収納体を液溜め体に取付ける接続体と、収納体内に装着される熱源とを設けたことにより、熱源の両端部と接続体との間に隙間が生じ、上述した請求項５と同様の効果を奏する。更に収納体と液溜め体との間に位置する接続体は収納体より熱伝導率の低い材料で構成しているので、熱源から収納体を伝わり、液溜め体壁への伝熱を大幅に低減することができ、上述した請求項１０より均熱特性を向上させることができる。

実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図１、図２に基づいて説明する。これら各図において、１は定盤、２は流通路、３は板状部材、４は液溜め体、５は作動液、６収納体は、７は例えばヒータから成る熱源である。８は収納体６の外周部に配置され、作動液５の沸騰を促進させる沸騰促進体であり、例えばウィックや金網等の多孔質体から構成されている。

次に、動作について説明する。被成形製品の加熱成形が必要な場合は、定盤１に被成形製品を載置し、液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納体６内部の熱源７に通電する。熱源７の通電により作動液５が収納体６を介して加熱される。加熱された作動液５は蒸発気化し、定盤１の流通路２を経て定盤１内全体に広がり、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡し被成形製品の加熱成形を行う。潜熱を奪われた作動液５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、再度液溜め体４に環流する。これらの一連の動作が行われることにより、定盤１表面において被成形製品の均一な加熱を行う。この場合、熱源７の熱量は作動液５の蒸気より流通路２・液溜め体４を含めた密閉容器を成す内部に拡散し、流通路２壁面での凝縮により熱輸送を行うので、定盤１表面を均一に加熱することができる。

また、この実施の形態１においては、収納体６の外周部に例えばウィックや金網等から構成される沸騰促進体８を配置したことにより、作動液５の沸騰の促進および伝熱面積を増大させることができ、沸騰気化における熱抵抗を小さくすることができるので、熱効率に優れた均熱装置を得ることができる。

実施の形態２．
この発明の実施の形態２を図２に基づいて説明する。図２において、９は収納体６の外周部に形成され、作動液５の沸騰を促進させる表面処理施工体であり、例えば容射等の表面処理により多孔質体に施工される。

この実施の形態２においては、上述した実施の形態１と同様の効果を有すると共に、さらに、表面処理により収納体６の外周部に表面処理施工体９を形成するようにしたので、上述した実施の形態１のように沸騰促進体８を収納体６へ固着する必要が無くなるため、組立性も向上する。

実施の形態３．
この発明の実施の形態３を図３に基づいて説明する。図３において、１０は収納体６と熱源７との間の隙間に充填された例えば伝熱グリース等から成る高熱伝導材である。

この実施の形態３においては、例えば伝熱グリース等から成る高熱伝導材１０を収納体６と熱源７との間の隙間に充填したことにより、収納体６と熱源７との間の熱抵抗を小さくすることができ、熱効率の更に優れた均熱装置を得ることができる。また、充填する高熱伝導材１０が流動性の高い材料である場合は、収納体６の端部にフタ１１を設置してもよく、これにより、流動性の高い高熱伝導材１０でも充填作業を容易に行うことができる。

実施の形態４．
この発明の実施の形態４を図４に基づいて説明する。図４において、１２は液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬された収納体、１３は収納体１２の内寸法と同寸法または収納体１２の内寸法より大きい寸法を有し、収納体１２に圧入される例えばヒータ等から成る熱源である。すなわち、収納体１２の内寸法が熱源１３の外寸法と同寸法または熱源１３の外寸法より小さい寸法となる。

この実施の形態４においては、収納体１２に熱源１３を圧入するので、収納体１２と熱源１３との隙間が無くなるため、上述した実施の形態３のように高熱伝導材１０を充填することなく熱抵抗を小さくすることができ、更に熱効率の向上と作業性の向上が図れる。また、圧入によって熱源１３がしっかりと収納体１２に固定されるので、熱源１３の固定方法を考える必要が無くなる。

実施の形態５．
この発明の実施の形態５を図５に基づいて説明する。図５において、１４は液溜め体４の外周面、例えば液溜め体４の底部の外周壁に接触して配置された面状の熱源である。

この実施の形態５においては、面状の熱源１４を液溜め体４の外周壁に接触させて配置したので、上述した各実施の形態のような熱源と収納体との隙間による熱抵抗の改善を容易に行うことができると共に、熱源１４の取付けや交換が容易となりメインテナンス性を向上させることができる。また、熱源１４は液溜め体４の側部の外周壁に接触させて配置しても同様の効果を奏する。

実施の形態６．
この発明の実施の形態６を図６に基づいて説明する。図６において、１５は板状部材３の一部を外方に突出させて形成され、流通路２内と連通して作動液５を貯溜する液溜め体、１６は液溜め体１５の外方に配置される例えばヒータ等から成る熱源、１７は液溜め体１５の例えば底部を液溜め体１５内方側に窪ませて形成され、熱源１６を設置する熱源設置部、１８は熱源設置部１７に設置された熱源１６を液溜め体１５に取付ける押え板である。

この実施の形態６においては、液溜め体１５の底部をその内方側に窪ませて形成した熱源設置部１７に熱源１６を設置し、押え板１８で固定するようにしたので、熱源１６の固定を容易に行うことができると共に、押え板１８により熱源１６を押さえつけることにより、液溜め体１５と熱源１６との密着性もより向上するため、接触による熱抵抗を低減することができる。更に、ネジ止め等で組立が可能となるため組立性も向上させることができる。また、熱源設置部１７は液溜め体１５の側部に配置しても同様の効果を奏する。

実施の形態７．
この発明の実施の形態７を図７に基づいて説明する。図７において、１９は液溜め体４の一部に形成された穴、２０はこの穴１９を閉塞し液溜め体４に着脱可能に取付けられたフランジ、２１はこのフランジ２０を貫通し穴１９を通して液溜め体４内に封入された作動液５中に浸漬される例えばヒータ等から成る熱源である。

この実施の形態７においては、熱源２１が作動液５中に浸漬されているため、上述した実施の形態１〜４のような熱源と収納体との隙間を何等考慮する必要が無く、熱源２１から発せられた熱がそのまま直接作動液５に伝達されるため、熱抵抗を著しく小さくすることができ、熱効率を大幅に改善することができる。また、熱源２１にフランジ２０を設けてネジ止め等により液溜め体４に着脱可能に取付けるようにしているので、熱源２１の取付けや交換を容易に行うことができる。

実施の形態８．
この発明の実施の形態８を図８に基づいて説明する。図８において、２２は収納体４内に装着され、その収納体４内に充填される絶縁体２２ａとその絶縁体２２ａ内に配置された電熱線等から成る発熱体２２ｂとから成る熱源である。

この実施の形態８においては、熱源２２が絶縁体２２ａを収納体４内に充填されることによりその収納体４と一体化されるので、熱源と収納体との隙間を何等考慮する必要が無くなり、組立性を改善することができる。

実施の形態９．
この発明の実施の形態９を図９に基づいて説明する。図９において、２３は収納体４内に装着され、両端部２３ａの位置を収納体４端面より中央部側にＬ寸法離間されて配置された例えばヒータ等から成る熱源である。すなわち、熱源２３を上述した実施の形態のより短くし、熱源２３全体が収納体４の内方に収納されるものである。

この実施の形態９においては、熱源２３の両端部２３ａの位置が、収納体４の端面よりＬ寸法離間されて中央部側に位置しているので、熱源２３と収納体４の端面との間の熱抵抗を増大させ、これにより収納体４端面壁から液溜め体４壁を伝わり、定盤１表面へ直接伝わる熱を低減することができ、上述した実施の形態のものより、定盤１表面の均熱特性をより一層向上させることができる。

実施の形態１０．
この発明の実施の形態１０を図１０に基づいて説明する。図１０において、２４は液溜め体４を貫通して作動液５中に浸漬され、両端部２４ａの寸法が中央部２４ｂの寸法より大きく形成された収納体、２５は収納体２４内に装着され、中央部２５ａが収納体２４の中央部２４ｂに位置し、両端部２５ｂの位置が収納体２４の両端部２４ａに配置された例えばヒータ等から成る熱源であり、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４ａとの間に隙間が形成されている。

この実施の形態１０においては、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４ａとの間に形成された隙間により、収納体２４の両端面２４ａ壁から液溜め体４壁を伝わり、定盤１表面へ直接伝わる熱を低減することができ、上述した実施の形態９と同様の効果を奏する。また、熱源２５の両端部２５ｂと収納体２４の両端部２４ａとの間に隙間を設けたことにより、熱源２５の寸法を大きく構成することができるので、単位面積当たりの発熱量が小さくなり、熱源２５の寿命を比較的長く維持することができる。

実施の形態１１．
この発明の実施の形態１１を図１１に基づいて説明する。図１１において、２６は液溜め体４内の作動液５中に浸漬配置される収納体、２７，２８はこの収納体２６より熱伝導率の低い材料で構成され、その収納体２６を液溜め体４に取付ける接続体であり、図は一例として、接続体２７，２８より内方側に収納体２６が位置している場合を示しており、例えば溶接等で固着されている。２９は収納体２６内に装着される例えばヒータ等から成る熱源である。

この実施の形態１１においては、接続体２７，２８より内方側に収納体２６が位置しているので、熱源２９の両端部と接続体２７，２８との間に隙間が生じ、上述した実施の形態１０と同様の効果を奏する。さらに、収納体２６と液溜め体４との間に位置する接続体２７，２８は収納体２６より熱伝導率の低い材料で構成しているので、熱源２９から収納体２６を伝わり、液溜め体４壁への伝熱を大幅に低減することができ、上述した実施の形態１０より均熱特性を向上させることができる。

ところで、上述した図１１では、接続体２７，２８と収納体２６とは溶接により固着される場合について述べたが、図１２に示すように、ネジ方式による固着としてもよく、組立性を改善することができる。

実施の形態１２．
この発明の実施の形態１２を図１３，図１４に基づいて説明する。これら各図において、１は定盤、２は流通路、３は板状部材、３０は定盤１の外周部に設けられ、作動液３１を貯溜する液相部３０ａとその液相部３０ａの上方に気相部３０ｂを有する液溜め体、３２は液溜め体３０の液相部３０ａ周囲に配置された例えばヒータ等から成る熱源であり、図は一例として実線で示すように、液溜め体３０の液相部３０ａの外側の周壁に設けた場合を示しているが、破線で示すように液相部３０ａの底部周壁や液相部３０ａの内側の周壁に設けてもよい。３３は定盤１の下部の板状部材３に装着された断熱材である。

この実施の形態１２においては、定盤１の外周部からも、熱源３２により液溜め体３０の液相部３０ａ内の作動液３１が加熱される。加熱された作動液３１は蒸発気化し、定盤１の外周部に位置する液溜め体３０の気相部３０ｂ全体に広がり、その潜熱を定盤１の外周部へ熱輸送する。潜熱を奪われた作動液３１の蒸気は凝縮液化し、再度液溜め体３０の液相部３０ａ内に環流する。これらの一連の動作が行われることにより、定盤１の外周部からも熱輸送することができ、定盤１の外周部からの放熱を防止でき、定盤１の表面温度分布の外周部の温度低下を防止でき、安定した均熱特性を得ることができる。また、断熱材３３により定盤１下方からの放熱を防止でき、定盤１の表面温度分布の改善や放熱ロスの軽減を図ることができる。

ところで、上述した図１３，図１４では、液溜め体３０の液相部３０ａが一層構造の場合について述べたが、図１５に示すように、液溜め体３０の液相部３０ａを外層部と内層部との二層構造とし、その液相部３０ａを外層部と内層部との間の周壁に熱源３２を配置することにより、熱源３２の放熱面全面が作動液３１と熱的接触する面積として利用できるので、作動液３１の蒸気の発生量が増大し熱抵抗を低減することができ、さらに熱効率を向上させることができる。

実施の形態１３．
この発明の実施の形態１３を図１６に基づいて説明する。図１６において、３４は定盤１の外周部に設けられ、作動液３５を貯溜する液相部３４ａとその液相部３４ａの上方に気相部３４ｂを有する液溜め体、３６は定盤１に形成された流通路２を覆うと共にその流通路２が液溜め体３４と連通するよう且つ作動液３５の流通路２からの環流促進のために傾斜されて液溜め体３４に取付けられた板状部材、３７は液溜め体３４の液相部３４ａ周囲に配置された例えばヒータ等から成る熱源である。

この実施の形態１３においては、熱源３７により液溜め体３４の液相部３４ａ内の作動液３５が加熱される。加熱された作動液３５は蒸発気化し、定盤１の外周部に位置する液溜め体３４の気相部３４ｂ全体に広がると共に、定盤１の流通路２全体に広がる。定盤１の流通路２全体に広がった作動液３５の蒸気は、その潜熱を流通路２壁面で定盤１部へ受け渡し被成形製品の加熱成形を行い、潜熱を奪われた作動液３５の蒸気は流通路２壁面で凝縮液化し、板状部材３６の傾斜面に沿って液溜め体３４の液相部３４ａ内に環流する。一方、液溜め体３４の気相部３４ｂ全体に広がった作動液３５の蒸気は、その潜熱を定盤１の外周部へ熱輸送し、潜熱を奪われた作動液３５の蒸気は凝縮液化し、再度液溜め体３４の液相部３４ａ内に環流する。これらの一連の動作が行われることにより、定盤１の内外周両方から熱輸送することができ、定盤１の外周部からの放熱も防止でき、定盤１の表面温度分布の外周部の温度低下を防止でき、安定した均熱特性を得ることができる。また、板状部材３６に傾斜を設けたことにより、定盤１の流通路２にて凝縮液化した作動液３５が円滑に液溜め体３４の液相部３４ａ内に環流できるため、蒸発部である液溜め体３４の液相部３４ａに作動液３５が円滑に戻らず枯れてしまう現象を防止することができ、安定した動作を行うことができる。

この発明の実施の形態１による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態２による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態３による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態４による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態５による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態６による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態７による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態８による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態９による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態１０による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態１１による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態１１による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態１２による均熱装置を示す平面図である。この発明の実施の形態１２による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態１２による均熱装置を示す横断面図である。この発明の実施の形態１３による均熱装置を示す横断面図である。従来の均熱装置を示す平面図である。従来の均熱装置を示す横断面図である。

符号の説明

１定盤、２流通路、３，３６板状部材、４，１５，３０，３４液溜め体、
５，３１，３５作動液、６，１２，２４，２６収納体、
７，１３，１４，１６，２１，２２，２３，２５，２９，３２，３７熱源、
８沸騰促進体、９表面処理施工体、１０高熱伝導材、１７熱源設置部、
１８押え板、１９穴、２０フランジ、２２ａ絶縁体、２２ｂ発熱体、
２３ａ両端部、２４ａ端部、２４ｂ中央部、２７，２８接続体、
３０ａ，３４ａ液相部、３０ｂ，３４ｂ気相部。

Claims

被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体の外方に配置される熱源と、上記液溜め体の外周面に形成され、上記熱源を設置する熱源設置部と、上記熱源設置部に設置された上記熱源を上記液溜め体に取付ける押え板とを備えたことを特徴とする均熱装置。
被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体の一部に形成された穴と、上記穴を閉塞し上記液溜め体に着脱可能に取付けられたフランジと、上記フランジを貫通し上記穴を通して上記液溜め体内に封入された上記作動液中に浸漬される熱源とを備えたことを特徴とする均熱装置。
被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体を貫通して上記作動液中に浸漬された収納体と、上記収納体内に装着され、絶縁体とその絶縁体内に配置された発熱体とから成る熱源とを備えたことを特徴とする均熱装置。
被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体を貫通して上記作動液中に浸漬された収納体と、上記収納体内に装着され、両端部の位置を上記収納体端面より中央部側に離間されて配置された熱源とを備えたことを特徴とする均熱装置。
被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体を貫通して上記作動液中に浸漬され、両端部の寸法が中央部の寸法より大きく形成された収納体と、上記収納体内に装着され、両端部の位置が上記収納体の中央部の端部に配置された熱源とを備えたことを特徴とする均熱装置。
被成形製品が載置され、流通路が形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記板状部材の一部を外方に突出させて形成され、上記流通路内と連通して作動液を貯溜する液溜め体と、上記液溜め体内の上記作動液中に浸漬配置される収納体と、上記収納体より熱伝導率の低い材料で構成され、上記収納体を上記液溜め体に取付ける接続体と、上記収納体内に装着される熱源とを備えたことを特徴とする均熱装置。