JP3673591B2 - 排気装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器の排気装置、これを適用した真空管および平板状画像表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来真空化された装置は各分野で使用されている。上記の平板状画像表示装置もその一つである。まずこの表示装置について述べる。平板状画像表示装置には、プラズマディスプレイ、ＥＬ表示装置、電子線を用いた平板状画像表示装置があり、大画面化、高精細化の要求が増大し、ますます自発光型平板状画像表示装置のニーズが高まりつつある。画像形成装置として蛍光表示管、電界放出型（ＦＥ）および表面伝導型の電子放出素子を用いた表示装置など、主に蛍光体を励起して発光させる画像表示装置は、平面でかつ明るく見やすいなどの利点を有しており、産業上積極的に応用され、また期待されている。
【０００３】
電子ビームを発生源として、表面伝導型素子を用い、電子ビームを加速し蛍光体に照射し、発光させ画像表示させる薄型の画像表示装置が各種提案されている（例えば、特開平３−２６１０２４）。
【０００４】
図６および図７は、それぞれ画像表示装置の一例の斜視図および断面図である。図６および図７において、３００は画像表示装置内部を排気するための排気管（図では封じ切り後の状態を示している）で、３０１は電子放出素子を構成した青板ガラスからなるリアプレート、３０２と３０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、３０４は電極３０２，３０３間に設けられた電子放出部を含む薄膜、３０８はメタルバック３０９および蛍光体３１０が形成された青板ガラスからなるフェスプレート、３１１は外枠であり、３１４はゲッタ材コンテナである。ゲッタ材コンテナ３１４はゲッタ材コンテナ固定治具３１３に固定されており、内部にはパネル内の真空を維持するという目的のゲッタ材を収納するもので、蒸発型ゲッタ材はフェイスプレート３０８またはバックプレート（リアプレート）３０１に蒸着される。
【０００５】
ここで、図６および図７を参照して、画像表示装置に製造方法を説明する。画像表示装置の本体である気密容器は排気管３００を通して真空排気され、さらにベーキングによって脱ガスを行った後、排気管の一部を加熱して溶融させ、封じ切る（閉塞、切断）。最後に気密容器内部に設置されたゲッタ材コンテナ３１４を加熱し、その内部に収納された蒸発型ゲッタ材をフェイスプレート３０８またはバックプレート３０１に蒸着することによって画像表示装置として完成される。
【０００６】
つぎに、表面伝導型電子放出素子について述べる。この表面伝導型電子放出素子としては、電子放出を司る薄膜としてＡｕ薄膜によるもの[G. Dittmer:“ThinSolis Films ”, 9, 317 (1972)]、Ｉｎ₂ Ｏ₃ ／ＳｎＯ₂ 薄膜によるもの［M. Hartwell and C.G. Fonstad: “IEEE Trans. ED Conf.”, 519 (1975)] 、カーボン薄膜によるもの［荒木久 他：真空、第２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］等が報告されている。
【０００７】
これらの表面伝導型電子放出素子の典型的な素子構成として前述のＭ．ハートウェルの素子構成を図８に示す。同図において５０１は絶縁性基板である。５０２は電子放出部形成用薄膜で、Ｈ型形状のパターンにスパッタで形成された金属酸化物薄膜などからなり、後述のフォーミングと呼ばれる通電処理により電子放出部５０３が形成される。５０４は電子放出部を含む薄膜と呼ぶことにする。なお、図中のＬは０．５〜１ｍｍ、Ｗは０．１ｍｍに設定されている。
【０００８】
従来、これらの表面伝導型電子放出素子においては、電子放出を行う前に電子放出部形成用薄膜５０２をあらかじめフォーミングと呼ばれる通電処理によって電子放出部５０３を形成するのが一般的であった。すなわち、フォーミングとは前記電子放出部形成用薄膜５０２の両端に電圧を印加通電し、電子放出部形成用薄膜を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部５０３を形成することである。なお、電子放出部５０３は電子放出部形成用薄膜５０２の一部に亀裂が発生しその亀裂付近から電子放出が行われる。以下フォーミングにより形成した電子放出部を含む電子放出部形成用薄膜５０２を電子放出部を含む薄膜５０４と呼ぶ。前記フォーミング処理をした表面伝導型電子放出素子は、上述電子放出部を含む薄膜５０４に電圧を印加し、素子に電流を流すことにより、上述電子放出部５０３より電子を放出せしめるものである。
【０００９】
上述の表面伝導型放出素子は、構造が単純で製造も容易であることから、大面積にわたって多数素子を配列形成できる利点がある。そこでこの特徴を生かしいろいろな応用が可能であり、前述したような画像表示装置にも適している。すなわち近年、液晶を用いた平板状表示装置がＣＲＴに代わって普及してきたが、自発光型でないため、バックライトなどを持たなければならないなどの問題点があり、自発光型の表示装置の開発が望まれてきた。それと比較して表面伝導型放出素子を多数配置した電子源と、電子源より放出された電子により可視光を発光せしめる蛍光体とを組み合わせた表示装置である画像表示装置は、大画面の装置として比較的容易に製造でき、かつ表示品位の優れた自発光型表示装置である（例えば、ＵＳＰ５０６６８８３）。
【００１０】
しかしながら上述したような平板状表示装置は、安定した画像表示のため、表面伝導型電子放出素子部より持続安定した電子放出する必要がある。表面伝導型電子放出素子部は、素子表面上に吸着されている残留分子によって、駆動している表面伝導型電子放出素子の電子放出能力が減少する場合があり、電子放出能力の減少はその残留分子の吸着量に依存しているように見える。したがって、素子表面上の吸着残留分子を極力減少させるための排気手段の必要性が極めて大きいと考えられている。このことは、上記した表面伝導型電子放出素子に限らず、前記した電界放出型電子放出素子にも同様に起こると考えられる。
【００１１】
一般に、画像表示装置およびその他の真空装置は排気工程にベーキングと呼ばれる排気時の加熱工程を経ることにより容器内圧力すなわち容器内残留分子を減少させている。ブラウン管などは内部の電子銃を駆動させ、この電子銃から放出される高エネルギーの電子線により容器内を照射し、容器内表面の残留分子を脱離、排気するエージングと呼ばれる工程によって真空容器内の排気を促進させている。一般に真空装置の排気管径を増大することによりベーキング、エージングを含めた排気工程に要する時間を減少、到達真空度を向上させることが可能である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような排気手段には次のような問題点がある。
（１）ベーキング工程はベーキング温度が高く、時間が長いほどその効果は大きくなる。特にベーキング温度を高くすることは重要である。そのために真空管、ブラウン管などでは可能な限り温度を上げてベーキングを行う。しかし、平板状表示装置はその素子部、配線部を熱ダメージから保護するためには真空管、ブランウン管の場合に相当するベーキング温度にすることができない場合がある。
（２）さらに、エージング工程も、残留分子がまだ大量に存在する中で素子を駆動することにより、素子部は少なからぬ損傷を被り、表面伝導型電子放出素子、電界放出型電子放出素子等の電子放出素子本来のもつ電子放出能力を充分に発揮することができない。そして、平板状表示装置の表面伝導型電子放出素子や電界放出型電子放出素子等の駆動は真空管、ブラウン管の場合よりも高真空でなければならない。
（３）また、これらのベーキング工程およびエージング工程なしの排気では充分な容器内圧力、残留分子数に達するまでには長時間必要であり、現実的ではない。真空装置の排気管の径も真空装置の構造的配置、排気管強度、封止工程などを考慮すると、著しく増大させることは困難である。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは平板状画像表示装置の排気手段における諸問題を解決すべく研究を重ねた結果本発明に至った。本発明は次のようなものである。
１．内部空間の真空化を必要とする画像表示装置において、内部空間には、内部空間に存在する気体のイオン化およびイオンの加速を行なうための高電場を印加する正電極及び負電極を備えた排気装置と、ゲッタとが内蔵され、正電極及び負電極は、加速されたイオンがゲッタの表面に向かって流れるように配置されていることを特徴とする画像表示装置。
２．排気装置は、イオンの流れを制御する制御電極を有していることを特徴とする上記１に記載の画像表示装置。
３．正電極は複数個備えられていることを特徴とする上記１または２に記載の画像表示装置。である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
前述の高電場印加正電極と負電極とを対向して配置し、この対向した電極間の電場強度を１０⁷ Ｖ／ｍ以上にすること、正電極表面に吸着している分子はイオン化し、陽イオンとなって電極表面から脱離する現象が観察される。この現象は電界脱離（Field Desorption）として報告されており、［E.W. Muller: Naturwissenschaften, 29 (1941) 533 ほか］、質量分析法への利用［M.G. Ingjram andR. Gomer: J. Chem. Phys., 22 (1954) 1279］のほか、工業用イオン源などとしても利用されている。
【００１５】
正電極表面から脱離したイオンは対向電極側に加速される。対向電極形状、構成を適当に選ぶことにより、イオンを対向電極に大部分捕らわれることなく流すことができるので、排気用の排気管を真空化すべき容器に取りつけてある場合に排気管軸に平行なイオン流にすることが可能となる。このイオン流は、一般の気体分子が排気管壁と衝突を繰り返しながら排気されていくのに対し、排気管軸方向に整流されているため排気管のコンダクタンスと無関係に排気を行うことができる。
【００１６】
たとえ管壁に衝突しても、イオンが対向電極間で得た運動エネルギーは分子吸着エネルギーと比較して著しく大きいために、イオンは管壁表面で吸着、再放出されることなく鏡面反射して移動する確率が大きく、一般気体分子に比べより少ない衝突回数で排気される。
【００１７】
これにより、排気管のコンダクタンスが小さい状態でも排気速度を増大させることが可能となる。また、真空管、ブラウン管などの作製工程においても排気時間の短縮化、ベーキング温度の低下、ベーキング時間の短縮をはかることが可能になる。
【００１８】
また、排気管を利用した排気だけではなく、真空容器内のゲッタ部の吸着面に対してこの発明の排気装置を向けて、ゲッタの排気速度を増加させることが可能である。
【００１９】
本発明は、排気用の排気管を結合した真空容器の、排気部に対向する部分に上述の対向電極を設け、排気時に電極間に電圧印加、電界脱離させ、真空容器の排気速度を増加させることを特徴とする。また、本発明はこの方法を実施する構造を備えた画像表示装置を包含する。
【００２０】
上述の本発明の排気装置、および該排気装置を備えた画像表示装置は電界脱離によるイオン流の形で排気を補助するため、ベーキング温度、エージング工程、排気時間、排気管径などの工程上の条件が従来要求されていた条件を満たさなくても、真空装置内の残留分子を充分に排気することが可能である。上記の条件が緩和されるため、ベーキングによる熱ダメージの軽減、エージング工程時の素子の損傷防止、排気時間短縮などをはかり、かつ画像表示装置の長寿命化、安定化、特性向上をはかることが可能となるものである。
【００２１】
以下、図面を参照して本発明に関わる装置の構成とその使用方法について、ここでは画像表示装置の排気を実施態様例として詳細に説明する。
【００２２】
図１は本発明の電界脱離法利用の排気装置とこの排気装置を内蔵する画像表示装置の側面図である。以下、図にしたがって上記装置について述べる。図１において１０１は蛍光体面１０２とメタルバック１０３を備えたフェイスプレート、１０４は外枠、１０５は表面伝導型電子放出素子１０７を設置したリアプレート、１０８が排気管である。１０９が電界脱離用の正電極であり、１１０が電界脱離用の負電極である。この両電極によって電界脱離式排気装置が構成されている。正電極１０９は電界脱離部の電場強度が最大となる形状にする必要がある。正電極の形状としては、図１に示されるような針状のほか、ワイヤー状、ワイヤーによるコイル状、フォイル状、などの形状が適している。
【００２３】
正電極１０９の材質は電子衝撃に強く、高融点の材質が要求される。１０９の材質を列記するならば、Ｗ，Ｐｔ，Ｒｅ，Ｔａ，Ｉｒ，Ｏｓなどの高融点金属、ＷＣ，ＴａＣ，ＴｉＣ，ＳｉＣなどの炭化物、Ａｌ₂ Ｏ₃ などの酸化物、ＢＮ、ＢＣなどの硼化物、ＴｉＮなどの窒化物である。これに対して対向する負電極１１０は電場強度が増大し、かつ正電極１０９から放出された陽イオンが負電極１１０に衝突、散乱される確率を減らすように衝突面積が極力小さくなる形状にする必要がある。負電極１１０の材質は正電極と同様でイオン衝撃に強く高融点の材質が望ましく、正電極で使用される材質が用いられる。
【００２４】
正電極１０９は周囲の電位に比べ高電位であり、負電極１１０は周囲と同様に接地されている。このため正電極１０９上に吸着した残留分子は正電極表面でその高電場によってイオン化され、負電極１１０に向かって加速される。負電極の形状は衝突断面積を極力減らしており、陽イオンは負電極にほとんど捕らえられずに排気管１０８を通過し、排気される。
【００２５】
通常の排気では排気管を通過する気体分子は図５（ａ）のように排気管口面に対して全方向から入射し、排気管壁面との衝突が起こる。壁面と衝突した気体分子は入射した方向の情報を失い、再び一定の角度分布にしたがって放出される。この壁面との衝突吸着、再放出を繰り返しながら排気される。したがって壁面との衝突回数が多いほど、つまり排気管径が小さく排気管長が長いほど排気速度は低下する。
【００２６】
しかし、上記の本発明の排気装置では図５（ｂ）のように排気管軸方向に沿って残留分子の陽イオン流を作り出すため排気管壁面との衝突を減らし、排気速度を上げることが可能となる。
【００２７】
上記の排気装置の電極間電圧は、両電極間の電場強度が１０⁷ Ｖ／ｍ以上であれば排気可能なため、両電極間距離を考慮して求められる。両電極間の距離は電場強度が電界脱離可能であればいくらでも構わないが、装置の配置、電極間電圧や正電極から放出された陽イオンが負電極で捕らわれることを考慮すると１０ｍｍ以内が望ましい。また、電極間電圧は電界脱離イオンの速度とも関係するため、装置の配置などを考慮して最大限可能な限りの印加電圧が望ましい。
【００２８】
また、負電極と排気管の間に制御電極を設置し、排気量の制御や陽イオンの飛行方向の制御を行うことも可能である。制御電極の数は必要であれば幾つでも構わない。制御電極の形状、配置、材質も電場印加可能で陽イオン流制御可能であれば特に限定されることはない。
【００２９】
また、図４に示すように真空管内部のゲッタ面１１３（蒸発型ゲッタを用いた場合は、ゲッタフラッシュにて形成された蒸着面、非蒸発型ゲッタを用いた場合には、ゲッタ材表面）に対して１０９、１１０から成る上記排気装置を作動させた場合、加速されたイオンの形でゲッタ面１１３に衝突するため、ゲッタ面の吸着確率が増加し排気速度を増加させることができる。
【００３０】
【実施例】
以下に実施例を挙げ、本発明を具体的に説明する。
【００３１】
実施例１
図１に示すような本発明の排気装置を内部に設置した平面状画像表示装置を作製し、画像表示装置の予備排気を行った後ベーキングを行い、その後電界脱離法利用の排気装置を作動させた。
【００３２】
平板状画像表示装置は内容積２２０×２４６×４（ｍｍ）の試作品を使用し、この試作品の排気管１０８の開口部近傍に本発明の排気装置を設置した。この排気装置の正電極１０９は長さ８ｍｍ、最大径０．１ｍｍの針状電極１本で、材質は高融点、強度を考慮してタングステン製とし、針状電極の先端部はスパッタリングによって鋭角化して電場集中するようにした。針状電極の軸方向は排気管の軸方向と平行に設置し、その先端は排気管１０８の中心線上に位置するようにした。画像表示装置への固定はＣｕ製の治具で行い、デュメット線で外部導出した。負電極１１０は円形の金属網で金属線の径は０．０１ｍｍ、編目のピッチは０．２ｍｍである。負電極１１０のサイズは直径３ｍｍで排気管の直径３．５ｍｍより若干小さくなっている。金属線の材質は、耐イオン衝撃性、高融点を考慮しプラチナ製とした。又、本実施例においては、電子放出素子１０７として表面伝導型電子放出素子を用いた。
【００３３】
正電極１０９と負電極１１０の最接距離は１ｍｍとし、必要電場強度から両極間電圧は１５００Ｖとした。負電極１１０は排気管口から５ｍｍ内側の位置に設置し、予備排気時の障害となるのを極力避けた。
【００３４】
この排気装置の効果を確認するため、排気管を不図示の真空計に接続し、排気装置作動時の変化を測定した。ベーキング後の排気系側真空計は６×１０^-8Ｔｏｒｒを指示していた。排気装置を作動させるとほぼ同時に排気系側真空計の指示値が１．４×１０^-7Ｔｏｒｒとなり、画像表示装置内の残留ガスが排気されたことを示した。その後、４時間にわたって排気装置を作動させたところ排気系側真空計の指示値は４×１０^-8Ｔｏｒｒを示した。排気装置を停止し、画像表示装置と真空計との間に存在した残留ガスが除かれ、排気系側真空計の指示値は８×１０^-9Ｔｏｒｒを示し、排気装置が充分に機能していることを確かめた。
【００３５】
同条件で該排気装置を作動させない場合、８×１０^-9Ｔｏｒｒに達するのに２０時間かかり、排気装置が排気速度の増加に効果があることを確かめた。
【００３６】
この排気装置を使用して排気を行った平板状画像表示装置の電子放出素子の電子放出量半減時間を測定したところ、従来工程の画像表示装置の場合に比べて、平均で１．４倍の値を得、表示装置の寿命を大幅に伸ばすことができた。
【００３７】
実施例２
図２に示すような本発明の排気装置を内部に設置した平面状画像表示装置を作製し、画像表示装置の予備排気を行った後ベーキングを行い、その後電界脱離法利用の排気装置を作動させた。図において、前述の図１と同じ機能を有する部材には同じ番号を付してある。
【００３８】
平板状画像表示装置は内容積２２０×２４６×４（ｍｍ）の試作品を使用し、この試作品の排気管１０８の開口部近傍に本発明の排気装置を設置した。排気装置の正電極は実施例１で使用された針状電極を１９本を束ね複数針状電極１１１として使用した。針状電極は互いに０．２ｍｍの距離をおいた六角柱の形状である。又、電子放出素子としては、横型の電界放出型電子放出素子（ＦＥ）を用いた。そのほかの構造は実施例１と同様である。
【００３９】
この排気装置の効果を確認するため、排気系側に真空計を設置し、排気装置作動時の変化を測定した。ベーキング後の排気系側真空計は６×１０^-8Ｔｏｒｒであった。該排気装置作動と同時に排気系側真空計の指示値は４×１０^-7Ｔｏｒｒを示し、その後排気装置の動作を４時間続けると排気系側真空計の指示値は６×１０^-8Ｔｏｒｒに下がった。排気装置を停止させると排気系側真空計の指示値が７×１０^-9Ｔｏｒｒに低下し、排気装置が充分に機能していることを確認した。
【００４０】
同条件でこの排気装置を作動させない場合、２４時間内に７×１０^-9Ｔｏｒｒに達することはできなかった。
【００４１】
排気装置を使用して排気した平板状画像表示装置の電子放出素子の電子放出量半減時間を測定したところ、従来工程の画像表示装置の場合と比べて、平均で１．８倍の値を得、表示装置の寿命を大幅に伸ばすことができた。
【００４２】
実施例３
図３に示すような本発明の排気装置を内部に設置した平面状画像表示装置を作製し、画像表示装置の予備排気を行った後ベーキングを行い、その後電界脱離法利用の排気装置を作動させた。図において、前述の図１と同じ機能を有する部材には同じ番号を付してある。
平板状画像表示装置は内容積２２０×２４６×４（ｍｍ）の試作品を使用し、この試作品の排気管１０８の開口部近傍に本発明の排気装置を設置した。排気装置の正電極１０９、負電極１１０は実施例１で使われたものであり、これら電極とは別に制御電極１１２を負電極１１０と排気管１０８の口部との間に配置した。制御電極１１２は排気管口部より５ｍｍ内側の位置に配置し、負電極１１０は制御電極１１２から３ｍｍの位置である。負電極１１０と正電極１０９の位置関係は実施例１と同様である。制御電極１１２は内径３ｍｍ、長さ３ｍｍ、厚さ０．２ｍｍの円筒形で正電極電位に近い電圧を印加することにより陽イオン流の制御を行うようになっている。制御電極１１２の材質は、イオン、電子衝撃が少ないので高強度である必要はなく、Ａｕ製の電極を用いた。その他の構造は実施例１と同様である。
【００４３】
この排気装置の効果を確認するため、排気系側に真空計を設置し、排気装置作動時の変化を測定した。ベーキング後の真空系側真空計指示値は６×１０^-8Ｔｏｒｒであった。この排気装置作動と同時に排気系側真空計の指示値は３×１０^-7Ｔｏｒｒ示し、その後排気装置の動作を４時間続けけると排気系側真空計の指示値は８×１０^-8Ｔｏｒｒまで下がった。その後排気装置の動作を停止させると排気系側真空計の指示値が１×１０^-8Ｔｏｒｒに低下し、排気装置が充分に機能していることを確認した。
【００４４】
同条件でこの排気装置を作動させない場合、１×１０^-8Ｔｏｒｒに達するのに１２時間かかり、この排気装置が排気速度の増加に効果があることを確認した。
【００４５】
この排気装置を使用して排気を行った平板状画像表示装置の電子放出素子の電子放出量半減時間を測定したところ、従来工程で作製されたの画像表示装置の場合に比べて、平均で１．２倍の値を得、表示装置の寿命を大幅に伸ばすことができた。
【００４６】
実施例４
図４に示すような本発明の排気装置を内部に設置した平板状画像表示装置を作製し、画像表示装置の予備排気、ベーキングなどの従来工程を行った後、排気管を封止しこの電界脱離法利用の排気装置を作動させた。図において前述の図１と同じ機能を有する部材には同じ番号を付してある。
【００４７】
平板状画像表示装置は実施例１と同様の内容積２２０×２４６×４（ｍｍ）の試作品を使用し、この試作品のゲッタ面１１３に対して排気装置を設置した。排気装置の正電極１０９、負電極１１０は実施例１で使われたものである。ゲッタ面１１３に対して負電極は５ｍｍの距離におかれており負電極１１０と正電極１０９の配置は実施例１と同様である。なお１１４はゲッタコンテナである。
【００４８】
この排気装置はゲッタ面１１３に対し、陽イオン流を衝突させるようになっており、ゲッタの化学的吸着のみならず、ゲッタ面に残留分子を埋め込む働きをもっている。これによりゲッタの排気速度を上げることが可能となる。
【００４９】
この排気装置を実施例１と同条件で連続作動させたとろ、画像表示装置の電子放出素子の電子放出量半減時間を、従来工程で作製しこの排気装置を内蔵しない画像表示装置に比べ１．４倍に伸ばすことができた。
【００５０】
【発明の効果】
以上、説明してきたように本発明を適用することにより平板状画像表示装置の排気管径を増大することなく排気速度を増加し、排気時間の短縮、到達真空度の向上をはかり、画像表示装置内の残留分子を低減することができるため、画像表示装置の長寿命化、画像の安定化、均一化に効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例の排気装置を備えた平板状画像表示装置の模式的断面図である。
【図２】本発明の他の例の排気装置を備えた平板状画像表示装置の模式的断面図である。
【図３】制御電極を使用した本発明の排気装置を備えた平板状画像表示装置の模式的断面図である。
【図４】ゲッタ面に対して使用する本発明の排気装置と平板状画像表示装置の模式的断面図である。
【図５】排気管中の気体分子運動の模式図で（ａ）は従来装置（ｂ）は本発明の装置の使用時のものである。
【図６】平板状画像表示装置の模式的斜視図である。
【図７】図６の平板状画像表示装置の排気管を含む断面の模式的断面図である。
【図８】平板状画像表示装置に使用される表面伝導型電子放出素子の模式図である。
【符号の説明】
１０１ フェイスプレート
１０２ 蛍光体
１０３ メタルバック
１０４ 外枠
１０５ リアプレート
１０６ 配線
１０７ 表面伝導型電子放出素子
１０８ 排気管
１０９ 針状正電極
１１０ 負電極
１１１ 複数針状電極
１１２ 制御電極
１１３ ゲッタ面
１１４ ゲッタコンテナ
３００ 排気管
３０１ バックプレート
３０２，３０３ 電極
３０４ 薄膜
３０８ フェースプレート
３０９ メタルバック
３１０ 蛍光体
３１１ 外枠
３１３ ゲッタ材コンテナ固定治具
３１４ ゲッタ材コンテナ
５０１ 基板
５０２ 電極
５０３ 電子放出部
５０４ 導電性薄膜

Claims (3)

1. 内部空間の真空化を必要とする画像表示装置において、
   前記内部空間には、該内部空間に存在する気体のイオン化および該イオンの加速を行なうための高電場を印加する正電極及び負電極を備えた排気装置と、ゲッタとが内蔵され、
   前記正電極及び負電極は、加速された前記イオンが前記ゲッタの表面に向かって流れるように配置されていることを特徴とする画像表示装置。
2. 前記排気装置は、前記イオンの流れを制御する制御電極を有していることを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。
3. 前記正電極は複数個備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載の画像表示装置。

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