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JP3754843B2 - Manufacturing method and manufacturing apparatus for optical fiber preform - Google Patents
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JP3754843B2 - Manufacturing method and manufacturing apparatus for optical fiber preform - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば気相軸付け法(VAD法)によって光ファイバプリフォームを製造する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、気相軸付け法(VAD法)による光ファイバプリフォームの製造は、石英棒等の出発母材を回転させつつ、下方のコア用バーナによって石英棒の軸方向にコア母材を堆積した後、クラッド用バーナによってこの周囲にクラッド母材を堆積し、その後、脱水、焼結して光ファイバプリフォームを製造するようにしているが、焼結後のコア母材とクラッド母材の間に所望の屈折率差を持たせたり、焼結後のコア母材に所望の屈折率分布を形成するために、コア母材またはクラッド母材に屈折率調整用のドーパントを添加するようにしている。
この際、コア母材に添加されるドーパントは、例えば石英系ガラス(SiO2 )の場合、酸化ゲルマニウム(GeO2 )、酸化リン(P25 )、酸化アルミニウム(Al23 )等の屈折率を高める材料が使用されることが多く、またクラッド母材に添加されるドーパントとしては、酸化ほう素(B23 )、F(フッ素)等の屈折率を低める材料が使用されることが多いが、ドーパントの添加量によって屈折率が変わるため、供給量を調整しながら添加するようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、ドーパントの供給量を適正に調整しても、例えばその後の脱水、焼結工程で使用する炉芯管が劣化する等によって加熱温度が変化すると、屈折率に変化を与える等の影響があり、中間処理工程で特性にばらつきが生じるという問題があった。
【0004】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、主として中間処理工程で生じる特性の変化を防止し、安定した特性の光ファイバプリフォームを製造することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、請求項1において、バーナからドーパントを含む光ファイバ原料を出発母材に向けて吹付けて軸方向に光ファイバ母材を堆積した後、脱水、焼結して光ファイバプリフォームを製造し、この工程を繰返すようにした製造方法において、製造した光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測定した屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差をドーパント供給量の補正値に変換するとともに、次回の製造工程におけるドーパントの供給量を補正値で補正して供給するようにした。
【0006】
このように前回の工程で製造した光ファイバプリフォームについて、中間処理工程の各種要因で生じる屈折率の変化を含めて、最終的な光ファイバ母材の屈折率の変化を確認し、次回の製造工程では、中間工程の処理条件の変化等に起因する屈折率の変化分をドーパント供給量の補正値に変換して補正し、これを繰返すようにする。
このような方法により、例えば中間処理条件が部品の劣化等によって経時的に変化するような時でも、また部品交換等で処理条件が変化するような時でも、ロットごとの特性の変化を微小に抑制することが出来、特性変化の少ない安定した光ファイバプリフォームを製造出来る。
【0007】
ここでドーパントは光ファイバ母材のうちコア母材に添加される場合でも、クラッド母材に添加される場合でもどちらでも適用出来る。
この際必要に応じて、測定した屈折率と目標の屈折率との差と、ドーパントの供給量補正値との関係を表わす検量線を定めておくと良い。
【0008】
また請求項2では、ドーパントの供給量の補正は、測定した屈折率と目標の屈折率との差が所定値を越えた時に行うようにした。
すなわち、各製造工程ごとに毎回補正すれば、より特性の安定した光ファイバプリフォームの製造が可能であるが、反面、複雑な設備構成になりやすく、また設備コストもかかるようになる。
そこで、上記屈折率の差が所定値を越えた時にドーパント供給量の補正を行うようにし、屈折率を所望の範囲内に管理するようにすれば、より実用的また経済的である。
【0009】
また請求項3では、光ファイバプリフォームの製造装置として、出発母材に向けてドーパントを含む光ファイバ原料を吹付けて軸方向に光ファイバ母材を堆積させるバーナと、ドーパントの供給量を調整する調整器と、脱水、焼結された光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定するプリフォームアナライザと、測定された屈折率と目標の屈折率との差を求め、この差をドーパント供給量の補正値に変換した後、この補正値で補正したドーパント供給量を前記調整器に指令するシーケンサを設けた。
【0010】
そして、製造された光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率分布をプリフォームアナライザで測定し、シーケンサで目標の屈折率との差を求めて、ドーパント供給量の補正値に変換するとともに、調整器に指令を発して次回製造工程でのドーパント供給量を補正する。
この際、上記屈折率の差が所定の管理幅を越えた時にドーパント供給量の補正を行うようにすることも出来る。
【0011】
また請求項4では、前記バーナを、コア母材を吹付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付けるクラッド用バーナから構成し、ドーパントは、コア母材またはクラッド母材の少なくともいずれか一方側に含まれるようにした。
そしてドーパントがコア母材に含まれる場合は、上記要領でコア母材の屈折率を補正するようにし、クラッド母材に含まれる場合は、クラッド母材の屈折率を補正する。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について添付した図面に基づき説明する。
ここで図1は本発明に係る光ファイバプリフォームの製造装置の構成概要図である。
【0013】
本発明に係る光ファイバプリフォームの製造装置は、図1に示すように、出発母材Sの軸端部が挿入されるチャンバ1と、出発母材Sの軸端部に向けてチャンバ1内でコア母材を吹き付けることの出来るコア用バーナ2と、コア母材の表面にクラッド用母材を吹き付けることの出来るクラッド用バーナ3と、チャンバ1内のガス等を排気する排気管4を備え、前記コア用母材とクラッド用母材の少なくとも一方側には、四塩化ケイ素(SiCl4 )等の光ファイバ原料の他に四塩化ゲルマニウム(GeCl4 )等のドーパントが添加されるようにしている。
【0014】
ここで用いられるドーパントとしては、特に限定されるものではないが、高純度で蒸気圧が高く、気相で酸化ゲルマニウム(GeO2 )を合成しやすいという特徴を有することから、通常四塩化ゲルマニウム(GeCl4 )が用いられる。
【0015】
そして、この四塩化ゲルマニウム(GeCl4 )等のドーパントの供給ラインには、ドーパントの供給量を調整する調整器5が設けられ、この調整器5にはドーパントの供給量の補正を指令するシーケンサ6が接続されている。
また本装置は、製造された光ファイバプリフォームの屈折率または屈折率分布を測定するプリフォームアナライザ7を備えており、測定した屈折率データを前記シーケンサ6に送り込むことが出来るようにしている。
【0016】
以上のような製造装置において、出発母材Sをチャンバ1内にセットして回転させながら引上げて軸方向に多孔質コア母材と多孔質クラッド母材を堆積した後、チャンバ1から取り出して不図示の焼結炉で脱水、焼結して透明ガラス化することで光ファイバプリフォームを製造し、このような一連の製造工程を繰返して多数ロットの光ファイバプリフォームを製造していくようにしているが、本発明では、製造した光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率をプリフォームアナライザ7で測定し、この測定データをシーケンサ6に送り、測定した屈折率が目標の屈折率とずれた屈折率の差を、ずれ分に対応するドーパントの供給量の補正値に変換して補正するようにしている。
このため、上記屈折率の差とドーパントの供給量補正値の関係を表わす検量線を定めている。
【0017】
この際、ドーパントの供給量の補正は、各製造ごとに毎回行っても良いが、本実施形態では、上記屈折率の差が所定の管理幅を越えた時に行うようにしている。
【0018】
本発明において測定される屈折率および目標の屈折率には、特に限定されるものではないが、光ファイバプリフォームの屈折率分布を測定し、それから得られる屈折率差Δn(%)を用いることが好ましい。
すなわち、製造した光ファイバプリフォームの屈折率差Δn(%)を測定し、これと目標の屈折率差Δn(%)との差を求め、この屈折率差Δn(%)の差をドーパントの供給量の補正値に変換し、これによりドーパントの供給量を補正することが好ましい。
なお、ここでいう屈折率差Δnとは、光ファイバプリフォームのコア部とクラッド部との屈折率の差を示すものであり、この差を100倍したものを(%)として表示したものである。
【0019】
【実施例】
次に本発明の実施例と比較例について説明する。
尚、本実施例及び比較例では、コア用バーナ2からのみドーパントを添加するようにしている。
(実施例)
上記装置を使用して、コア用バーナ2からH2 ガスを5リットル/min、O2 ガスを5リットル/min、シールガスを2リットル/min、光ファイバ原料としての四塩化ケイ素SiCl4 を0.2リットル/min、ドーパントとしての四塩化ゲルマニウムGeCl4 を0.05リットル/minで吹き付けて多孔質コア母材を堆積し、その表面にクラッド用バーナ3からH2 ガスを50リットル/min、O2 ガスを30リットル/min、シールガスを5リットル/min、光ファイバ原料としての四塩化ケイ素SiCl4 を3リットル/minで吹き付けて多孔質クラッド母材を堆積した。
【0020】
これを焼結炉に入れて脱水、焼結することで光ファイバプリフォームを製造し、このような製造工程を繰返したところ、図2に示すように、製造3本目で屈折率差Δn(%)が0.365となり、目標の屈折率差Δn(%)の0.36に較べて0.005%上まわったため、この屈折率差Δn(%)の差と四塩化ゲルマニウムGeCl4 の供給量の関係を定めた検量線から、屈折率差が0.005%低くなるようシーケンサ6から調整器5に指令を流し、四塩化ゲルマニウムGeCl4 を0.048リットル/minにして次回の製造を行ったところ、屈折率差は目標値に戻った。
【0021】
またその後、目標の屈折率差Δn(%)との差異が0.005%以上となった場合に、ドーパント量を変化させて製造したところ、屈折率差が管理幅内におさまる光ファイバプリフォームを製造することが出来た。
また、焼結炉の炉芯管を交換した時でも、次回の製造から管理幅内におさまる光ファイバプリフォームを製造することが出来た。
因みに、この時の四塩化ゲルマニウムGeCl4 の供給量の変化は、図2(B)の通りである。
【0022】
(比較例)
同一の装置を用いて、プリフォームアナライザ7による測定結果のフィードバックをかけないで、その他を同一条件にして光ファイバプリフォームの製造を行った。
この結果、図3に示すように、屈折率差は経時的に変化してゆき、特に炉芯管を交換して透明ガラス化を行った時は、屈折率差が大きく変化し、その後も変化し続けて目標値から大きくずれるようになった。
この結果から本発明の有効性が確認された。
【0023】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
例えばドーパントはコア母材でなくクラッド母材に添加される場合にも適用出来る。またドーパントの種類等も任意である。
【0024】
【発明の効果】
以上のように本発明に係る光ファイバプリフォームの製造方法は、製造した光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測定した屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差をドーパント供給量の補正値に変換するとともに、次回の製造工程におけるドーパントの供給量を補正値で補正して供給するようにしたため、例えば中間処理条件が部品の劣化等によって経時的に変化するような時でも、また部品交換等で処理条件が変化するような時でも、ロットごとの特性の変化を微小に抑制することが出来、特性変化の少ない安定した光ファイバプリフォームを製造出来る。
この際、屈折率の差が所定値を越えた時にドーパントの供給量の補正を行うようにすれば、より実用的で設備を安価に構成出来る。
【0025】
また光ファイバプリフォームの製造装置として、光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定するプリフォームアナライザと、屈折率の差をドーパント供給量の補正値に変換するシーケンサを設け、このシーケンサでドーパント供給量を制御すれば、光ファイバプリフォームの特性を安定させて製造することが出来る。
そして、バーナを、コア母材を吹付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付けるクラッド用バーナから構成すれば、従来の設備を活用して簡易に構成出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る製造装置の構成概要図である。
【図2】本発明の製造方法で製造した時の測定データで、(A)は屈折率差(縦軸)とロット数(横軸)の関係を表わすグラフ、(B)はドーパントの添加量(縦軸)とロット数(横軸)の関係を表わすグラフである。
【図3】従来の製造方法で製造した時の屈折率差の変化を表わすグラフで、縦軸は屈折率差で横軸はロット数である。
【符号の説明】
1…チャンバ、 2…コア用バーナ、
3…クラッド用バーナ、 4…排気管、
5…調整器、 6…シーケンサ、
7…プリフォームアナライザ、
S…出発母材。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a technique for manufacturing an optical fiber preform by, for example, a gas phase axis method (VAD method).
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in the manufacture of an optical fiber preform by the gas phase axis method (VAD method), the core base material is deposited in the axial direction of the quartz rod by the lower core burner while rotating the starting base material such as the quartz rod. After that, a clad base material is deposited around this by a clad burner, and then dehydrated and sintered to produce an optical fiber preform, but between the core base material and the clad base material after sintering. In order to provide a desired refractive index difference or to form a desired refractive index distribution in the sintered core matrix, a dopant for adjusting the refractive index is added to the core matrix or the cladding matrix. Yes.
At this time, for example, in the case of quartz glass (SiO 2 ), the dopant added to the core base material is germanium oxide (GeO 2 ), phosphorus oxide (P 2 O 5 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), or the like. A material that increases the refractive index is often used, and a material that decreases the refractive index, such as boron oxide (B 2 O 3 ) or F (fluorine), is used as a dopant added to the cladding base material. In many cases, however, the refractive index varies depending on the amount of dopant added, so that the amount added is adjusted.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, even if the supply amount of the dopant is adjusted appropriately, for example, if the heating temperature changes due to deterioration of the furnace core tube used in the subsequent dehydration and sintering processes, there is an effect such as changing the refractive index. There is a problem in that the characteristics vary in the intermediate processing step.
[0004]
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to prevent the change in characteristics mainly caused in the intermediate processing step and to manufacture an optical fiber preform having stable characteristics.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, according to the present invention, in claim 1, an optical fiber raw material containing a dopant is sprayed from a burner toward a starting base material to deposit the optical fiber base material in the axial direction, and then dehydrated and sintered. In the manufacturing method in which the optical fiber preform is manufactured and this process is repeated, the refractive index of the manufactured optical fiber preform where the dopant is contained is measured, and the measured refractive index and the target refractive index are calculated. The difference was obtained, and the difference was converted into a correction value for the dopant supply amount, and the supply amount of the dopant in the next manufacturing process was corrected with the correction value and supplied.
[0006]
Thus, the optical fiber preform manufactured in the previous process is checked for changes in the refractive index of the final optical fiber preform, including changes in the refractive index caused by various factors in the intermediate processing process. In the process, the change in the refractive index due to the change in the processing conditions in the intermediate process is converted into a correction value for the dopant supply amount, and the correction is repeated.
By such a method, for example, even when the intermediate processing conditions change over time due to deterioration of parts, or when the processing conditions change due to part replacement, etc., the change in characteristics of each lot is made minute. A stable optical fiber preform that can be suppressed and has little characteristic change can be manufactured.
[0007]
Here, the dopant can be applied to either the core preform or the clad preform of the optical fiber preform.
At this time, a calibration curve representing the relationship between the difference between the measured refractive index and the target refractive index and the dopant supply amount correction value may be determined as necessary.
[0008]
In claim 2, the dopant supply amount is corrected when the difference between the measured refractive index and the target refractive index exceeds a predetermined value.
That is, if correction is made every time for each manufacturing process, it is possible to manufacture an optical fiber preform with more stable characteristics. However, on the other hand, a complicated equipment configuration is likely to occur, and the equipment cost also increases.
Therefore, it is more practical and economical to correct the dopant supply amount when the refractive index difference exceeds a predetermined value and manage the refractive index within a desired range.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, as an optical fiber preform manufacturing apparatus, an optical fiber raw material containing a dopant is sprayed toward a starting base material to deposit an optical fiber base material in an axial direction, and a supply amount of the dopant is adjusted. The difference between the measured refractive index and the target refractive index, and the difference between the measured refractive index and the target refractive index. Is converted into a correction value for the dopant supply amount, and then a sequencer is provided for instructing the regulator to supply the dopant supply amount corrected with this correction value.
[0010]
Then, the refractive index distribution of the part containing the dopant of the manufactured optical fiber preform is measured by a preform analyzer, and the difference from the target refractive index is obtained by a sequencer, and converted into a correction value of the dopant supply amount. Then, the controller is instructed to correct the dopant supply amount in the next manufacturing process.
At this time, the dopant supply amount can be corrected when the difference in refractive index exceeds a predetermined management width.
[0011]
According to a fourth aspect of the present invention, the burner includes a core burner that blows the core base material and a clad burner that blows the clad base material, and the dopant is at least one side of the core base material or the clad base material. To be included.
When the dopant is contained in the core base material, the refractive index of the core base material is corrected as described above. When the dopant is contained in the clad base material, the refractive index of the clad base material is corrected.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
Here, FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention.
[0013]
As shown in FIG. 1, an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention includes a chamber 1 into which a shaft end portion of a starting base material S is inserted, and a chamber 1 facing the shaft end portion of the starting base material S. A core burner 2 that can spray the core base material, a cladding burner 3 that can spray the cladding base material on the surface of the core base material, and an exhaust pipe 4 that exhausts gas in the chamber 1. In addition to an optical fiber raw material such as silicon tetrachloride (SiCl 4 ), a dopant such as germanium tetrachloride (GeCl 4 ) is added to at least one side of the core base material and the cladding base material. Yes.
[0014]
The dopant to be used herein is not particularly limited, high vapor pressure at high purity has the feature that the gas phase with germanium oxide (GeO 2) easily synthesized typically germanium tetrachloride ( GeCl 4 ) is used.
[0015]
The dopant supply line such as germanium tetrachloride (GeCl 4 ) is provided with an adjuster 5 for adjusting the supply amount of the dopant. The sequencer 6 commands the adjustment of the supply amount of the dopant to the adjuster 5. Is connected.
The apparatus also includes a preform analyzer 7 that measures the refractive index or refractive index distribution of the manufactured optical fiber preform, and the measured refractive index data can be sent to the sequencer 6.
[0016]
In the manufacturing apparatus as described above, the starting base material S is set in the chamber 1 and pulled up while rotating to deposit the porous core base material and the porous clad base material in the axial direction, and then taken out from the chamber 1 and unloaded. An optical fiber preform is manufactured by dehydrating and sintering in the illustrated sintering furnace to form a transparent glass, and a series of manufacturing processes are repeated to manufacture a large number of optical fiber preforms. However, in the present invention, the refractive index of the manufactured optical fiber preform where the dopant is contained is measured by the preform analyzer 7, and this measurement data is sent to the sequencer 6, and the measured refractive index is the target refractive index. The difference in refractive index deviated from the above is corrected by converting it into a correction value of the dopant supply amount corresponding to the deviation.
For this reason, a calibration curve representing the relationship between the refractive index difference and the dopant supply amount correction value is defined.
[0017]
At this time, the dopant supply amount may be corrected for each production, but in this embodiment, the dopant amount is corrected when the difference in refractive index exceeds a predetermined management width.
[0018]
The refractive index measured in the present invention and the target refractive index are not particularly limited, but the refractive index distribution Δn (%) obtained from the refractive index distribution of the optical fiber preform is measured. Is preferred.
That is, the refractive index difference Δn (%) of the manufactured optical fiber preform is measured, the difference between this and the target refractive index difference Δn (%) is obtained, and the difference in this refractive index difference Δn (%) is calculated as the dopant. It is preferable to convert the supply amount to a correction value, thereby correcting the supply amount of the dopant.
Here, the refractive index difference Δn indicates a difference in refractive index between the core portion and the cladding portion of the optical fiber preform, and the difference obtained by multiplying the difference by 100 is expressed as (%). is there.
[0019]
【Example】
Next, examples and comparative examples of the present invention will be described.
In this example and comparative example, the dopant is added only from the core burner 2.
(Example)
Using the above apparatus, H 2 gas from the core burner 2 is 5 liter / min, O 2 gas is 5 liter / min, seal gas is 2 liter / min, and silicon tetrachloride SiCl 4 as optical fiber raw material is 0 .2 liter / min, germanium tetrachloride GeCl 4 as a dopant was sprayed at 0.05 liter / min to deposit a porous core base material, and H 2 gas was applied to the surface from the cladding burner 3 at 50 liter / min, A porous clad base material was deposited by spraying O 2 gas at 30 liter / min, sealing gas at 5 liter / min, and silicon tetrachloride SiCl 4 as an optical fiber material at 3 liter / min.
[0020]
This was put into a sintering furnace to produce an optical fiber preform by dehydration and sintering, and when such a production process was repeated, a refractive index difference Δn (%) was produced in the third production as shown in FIG. ) Was 0.365, which was 0.005% higher than the target refractive index difference Δn (%) of 0.36, and the difference in refractive index difference Δn (%) and the supply amount of germanium tetrachloride GeCl 4 From the calibration curve that defines the relationship, a command is sent from the sequencer 6 to the adjuster 5 so that the refractive index difference is lowered by 0.005%, and the next production is performed with germanium tetrachloride GeCl 4 at 0.048 liter / min. As a result, the refractive index difference returned to the target value.
[0021]
After that, when the difference from the target refractive index difference Δn (%) is 0.005% or more, the optical fiber preform is manufactured by changing the dopant amount so that the refractive index difference is within the control range. Could be manufactured.
In addition, even when the core tube of the sintering furnace was replaced, an optical fiber preform that could fit within the control range could be manufactured from the next manufacturing.
Incidentally, the change in the supply amount of germanium tetrachloride GeCl 4 at this time is as shown in FIG.
[0022]
(Comparative example)
Using the same apparatus, an optical fiber preform was manufactured under the same conditions without applying feedback of the measurement result by the preform analyzer 7.
As a result, as shown in FIG. 3, the difference in refractive index changes with time, and particularly when the furnace core tube is replaced and transparent vitrification is performed, the difference in refractive index changes greatly and changes thereafter. Continued to deviate greatly from the target value.
From this result, the effectiveness of the present invention was confirmed.
[0023]
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
For example, the present invention can be applied to a case where a dopant is added to a clad base material instead of the core base material. Moreover, the kind of dopant etc. are also arbitrary.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention measures the refractive index of the manufactured optical fiber preform where the dopant is contained, and determines the difference between the measured refractive index and the target refractive index. In addition, the difference is converted into a correction value for the dopant supply amount, and the supply amount of the dopant in the next manufacturing process is corrected and supplied with the correction value. Even when the process changes, or when the processing conditions change due to component replacement, etc., it is possible to suppress the change in characteristics for each lot, and to manufacture a stable optical fiber preform with little change in characteristics. I can do it.
At this time, if the dopant supply amount is corrected when the difference in refractive index exceeds a predetermined value, the equipment can be constructed more practically and inexpensively.
[0025]
Also, as an optical fiber preform manufacturing apparatus, a preform analyzer that measures the refractive index of a portion of the optical fiber preform containing the dopant and a sequencer that converts the difference in refractive index into a correction value for the dopant supply amount are provided. If the dopant supply amount is controlled by a sequencer, the characteristics of the optical fiber preform can be stabilized and manufactured.
And if a burner is comprised from the burner for cores which sprays a core base material, and the burner for clads which sprays a clad base material, it can comprise simply by utilizing the conventional equipment.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to the present invention.
2A and 2B are measurement data when manufactured by the manufacturing method of the present invention, in which FIG. 2A is a graph showing the relationship between the refractive index difference (vertical axis) and the number of lots (horizontal axis), and FIG. It is a graph showing the relationship between (vertical axis) and the number of lots (horizontal axis).
FIG. 3 is a graph showing a change in refractive index difference when manufactured by a conventional manufacturing method, where the vertical axis represents the refractive index difference and the horizontal axis represents the number of lots.
[Explanation of symbols]
1 ... chamber, 2 ... core burner,
3 ... Clad burner, 4 ... Exhaust pipe,
5 ... Adjuster, 6 ... Sequencer,
7. Preform analyzer,
S: Starting material.

Claims (4)

バーナからドーパントを含む光ファイバ原料を出発母材に向けて吹付けて軸方向に光ファイバ母材を堆積した後、脱水、焼結して光ファイバプリフォームを製造し、この工程を繰返すようにした製造方法であって、製造した光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測定した屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差をドーパント供給量の補正値に変換するとともに、次回の製造工程におけるドーパントの供給量を前記補正値で補正して供給することを特徴とする光ファイバプリフォームの製造方法。After spraying the optical fiber raw material containing the dopant from the burner toward the starting base material, the optical fiber base material is deposited in the axial direction, and then dewatering and sintering to produce an optical fiber preform, and this process is repeated. In this manufacturing method, the refractive index of the manufactured optical fiber preform where the dopant is contained is measured, the difference between the measured refractive index and the target refractive index is obtained, and this difference is corrected for the dopant supply amount. And a method of manufacturing an optical fiber preform, wherein the supply amount of the dopant in the next manufacturing process is corrected by the correction value and supplied. 請求項1に記載の光ファイバプリフォームの製造方法において、前記ドーパントの供給量の補正は、測定した屈折率と目標の屈折率との差が所定値を越えた時に行われることを特徴とする光ファイバプリフォームの製造方法。2. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the correction of the supply amount of the dopant is performed when a difference between a measured refractive index and a target refractive index exceeds a predetermined value. Manufacturing method of optical fiber preform. 出発母材に向けてドーパントを含む光ファイバ原料を吹付けて軸方向に光ファイバ母材を堆積させるバーナと、前記ドーパントの供給量を調整する調整器と、脱水、焼結された光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定するプリフォームアナライザと、測定された屈折率と目標の屈折率との差を求め、この差をドーパント供給量の補正値に変換した後、この補正値で補正したドーパント供給量を前記調整器に指令するシーケンサを備えたことを特徴とする光ファイバプリフォームの製造装置。A burner for spraying an optical fiber raw material containing a dopant toward the starting base material to deposit the optical fiber base material in the axial direction, a regulator for adjusting the supply amount of the dopant, a dehydrated and sintered optical fiber plug The preform analyzer that measures the refractive index of the part containing the reforming dopant and the difference between the measured refractive index and the target refractive index is calculated, and this difference is converted into a correction value for the dopant supply amount. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform, comprising a sequencer for instructing the adjuster to supply a dopant supply amount corrected by a value. 請求項3に記載の光ファイバプリフォームの製造装置において、前記バーナは、コア母材を吹付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付けるクラッド用バーナから構成され、前記ドーパントは、前記コア母材またはクラッド母材の少なくともいずれか一方側に含まれることを特徴とする光ファイバプリフォームの製造装置。4. The apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to claim 3, wherein the burner includes a core burner for spraying a core preform and a clad burner for spraying a cladding preform, and the dopant is the core preform. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform, which is included on at least one side of a base material or a clad base material.
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