Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3761065B2 - プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3761065B2 - プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法 - Google Patents

プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3761065B2
JP3761065B2 JP2000200267A JP2000200267A JP3761065B2 JP 3761065 B2 JP3761065 B2 JP 3761065B2 JP 2000200267 A JP2000200267 A JP 2000200267A JP 2000200267 A JP2000200267 A JP 2000200267A JP 3761065 B2 JP3761065 B2 JP 3761065B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
carrier film
printed wiring
laminate
build
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000200267A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001135932A (ja
Inventor
幸男 松野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2000200267A priority Critical patent/JP3761065B2/ja
Publication of JP2001135932A publication Critical patent/JP2001135932A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3761065B2 publication Critical patent/JP3761065B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビルドアップ多層配線板を製造する際に、ビルドアップ多層配線板を構成する各プリント配線板をビルドアップ樹脂によってラミネートする方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ビルドアップ多層プリント配線板は、内層加工によって配線パターンがそれぞれ設けられた多数のプリント配線板を、相互に絶縁状態で積層して形成される。このようなビルドアップ多層プリント配線板の製造方法として、相互に積層される各プリント配線板にビルドアップ樹脂フィルムを重ねて、各プリント配線板に対してビルドアップ樹脂を真空ラミネートした後に、ビルドアップ樹脂フィルムがラミネートされた各プリント配線板が相互に積層される。
【0003】
プリント配線板にビルドアップ樹脂をラミネートする場合には、内層加工によって配線パターンが設けられたプリント配線板が準備され、プリント配線板の各表面に、ビルドアップ樹脂フィルムがそれぞれ積層されて積層体とされる。ビルドアップ樹脂フィルムは、厚さが50μm〜200μm程度であって、電気絶縁性を有するように構成されている。
【0004】
このようにして、プリント配線板の各表面にビルドアップ樹脂フィルムがそれぞれ積層された積層体が得られると、この積層体が、所定の長さに切断されたキャリアフィルムに挟み込まれて、キャリアフィルムとともに、ビルドアップ樹脂フィルムを真空ラミネートするラミネータ内に供給される。
【0005】
ラミネーター内に収容された積層体は、ヒーターによって、80〜100℃程度に加熱された状態で加圧される。これにより、各ビルドアップ樹脂フィルムがプリント配線板の各表面に、それぞれ、真空ラミネートされる。
【0006】
この場合、積層体を挟み込むキャリアフィルムは、ワーク収容室の内部が加圧されることにより、積層体における各ビルドアップ樹脂フィルム表面に圧接される。
【0007】
このような状態になると、積層体は、キャリアフィルムとともに、ラミネーターから取り出され、積層体からキャリアフィルムが剥離される。これにより、プリント配線板の各表面が、ビルドアップ樹脂フィルムによって真空ラミネートされた積層体が得られる。そして、得られた積層体を使用して、ビルドアップ多層プリント配線板とされる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
プリント配線板の各表面にビルドアップ樹脂フィルムを真空ラミネートするに際して、ビルドアップ樹脂フィルムは、80〜100℃程度の温度に加熱されることによって、溶融状態になり、プリント配線板に対して強く密着されている。この場合、ビルドアップ樹脂フィルムに対してキャリアフィルムも強く圧接されており、後工程において、ビルドアップ樹脂フィルムからキャリアフィルムを剥離することが容易でないという問題がある。
【0009】
このために、図8に示すように、プリント配線板の各表面にビルドアップ樹脂フィルムが真空ラミネートされた積層体31からキャリアフィルム32を剥離する際には、積層体31における一方の端部の一対のコーナー部上に位置するキャリアフィルム31の各コーナー部を、同時に、積層体31から剥離して、積層体31の長手方向に沿ってキャリアフィルム32が順次剥離される。
【0010】
しかしながら、加熱されて溶融状態になったビルドアップ樹脂フィルムに対してキャリアフィルム32が強く密着しているために、このように、キャリアフィルム32の各端部における各コーナー部を同時に強い力にて剥離しているにもかかわらず、キャリアフィルム32を確実に剥離することができないおそれがある。その結果、キャリアフィルム32を剥離するために長時間を要し、プリント配線板に対するビルドアップ樹脂フィルムのラミネート作業を効率よく実施することができなくなる。
【0011】
積層体31から剥離されたキャリアフィルム32は、再度、積層体31の搬送に使用することができる。しかしながら、積層体31からキャリアフィルム32を剥離する際に、ビルドアップ樹脂フィルムの一部が、樹脂屑として、キャリアフィルム32の各側縁部に付着するおそれがある。このように、キャリアフィルム32の各側縁部に樹脂屑が付着している場合には、キャリアフィルム32を再使用するためには、その樹脂屑を取り除く必要があるが、加熱されて溶融状態になっている樹脂屑をキャリアフィルム32から取り除くことは容易でないという問題がある。キャリアフィルム32から樹脂屑を取り除くために長時間を要すると、全体としての作業効率が低下することになる。
【0012】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、キャリアフィルムの剥離、キャリアフイルムからの樹脂屑の除去等を効率よく実施することができ、従って、プリント配線板に対するビルドアップ樹脂フィルムのラミネート作業効率を低下させるおそれのないプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法は、内層回路パターンが設けられたプリント配線板にビルドアップ樹脂フィルムを積層して積層体を形成し、キャリアフィルムにて積層体を挟み込んで搬送し、キャリアフィルムとともに加熱しつつ加圧することによって、プリント配線板にビルドアップ樹脂フィルムをラミネートするラミネート工程と、プリント配線板にビルドアップ樹脂フイルムがラミネートされた積層体をキャリアフィルムとともに、常温にまで強制的に冷却する冷却工程と、積層体からキャリアフィルム剥離する剥離工程と、剥離されたキャリアフィルムから樹脂屑を取り除く樹脂屑除去工程と、を包含することを特徴とする。
【0014】
前記剥離工程では、積層体における一つのコーナー部に積層されたキャリアフィルムのコーナー部を剥離して、積層体の対角線方向に沿って、順次、キャリアフィルムを剥離する。
【0015】
前記冷却工程では、プリント配線板にビルドアップ樹脂フィルムがラミネートされた積層体を、冷却板によって冷却する。
【0016】
前記樹脂屑除去工程では、キャリアフイルムの各側縁部が接触するように配置された一対の樹脂屑除去体の間をキャリアフィルムが通過されることによって、キャリアフィルムの各側縁部に付着した樹脂屑が除去される。
【0017】
前記樹脂屑除去工程では、樹脂屑を溶解させる溶解液によって樹脂屑が除去される。
【0018】
剥離工程にて積層体から剥離されたキャリアフィルムは、再使用される。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。本発明のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法は、内層加工によって配線パターンがそれぞれ設けられた多数のプリント配線板を、相互に絶縁状態で積層して形成されるビルドアップ多層プリント配線板を製造するに際して、相互に積層される各プリント配線板間に設けられるビルドアップ樹脂フィルムを,各プリント配線板上に真空ラミネートするために実施される。ビルドアップ樹脂フィルムがそれぞれラミネートされた各プリント配線板は、相互に積層された際にそれぞれの配線パターン同士を電気的に接続するために、フォトレジスト、ドリル等によって、所定部分にスルーホールが形成され、ビルドアップ樹脂フィルム表面およびスルーホール内周面に銅メッキが設けられる。そして、銅メッキによって外層の配線パターンが形成された後に、各プリント配線板同士が積層状態とされることにより、ビルドアップ多層配線板とされる。
【0020】
本発明のビルドアップ樹脂ラミネート方法では、図1に示すように、内層加工によって配線パターンが設けられたプリント配線板を搬送するためのキャリアフィルム11が準備される。キャリアフィルム11は、例えば、ポリエステルによって構成されており、ロール状に巻回された状態から繰り出されて、オートカッターによって、適当な長さに切断される。
【0021】
他方、図2に示すように、内層加工によって配線パターンが設けられたプリント配線板12aが準備され、プリント配線板12aの各表面に、ビルドアップ樹脂フィルム12bがそれぞれ積層されて積層体12とされる。ビルドアップ樹脂フィルム12bは、厚さが50μm〜200μm程度になっており、エポキシ樹脂等を主成分として、電気絶縁性を有するように構成されている。このようなビルドアップ樹脂フィルム12bは、通常、ロール状に巻回された状態で市販されている。なお、ビルドアップ樹脂フィルム12bは、プリント配線板12aの一方の表面にのみ積層するようにしてもよい。
【0022】
このようにして、プリント配線板12aの各表面にビルドアップ樹脂フィルム12bがそれぞれ積層された積層体12が得られると、この積層体12が、所定の長さに切断されたキャリアフィルム11にて挟み込まれた状態で、キャリアフィルム11とともに、図3に示すラミネーター20内に搬送される。なお、図3では、積層体12を挟み込む各キャリアフィルム11は、図示を省略している。
【0023】
ラミネーター20は、内部に、断面が水平方向に長くなった長方形状のラミネート室21を有しており、そのラミネート室21の内部が、ゴムシートによって構成された水平な隔壁22によって、上側のワーク収容室21aと、下側の空気室21bとに二分されている。上側のワーク収容室21aは、下側の空気室21bよりも上下方向寸法が大きくなっており、そのワーク収容室21a内に、キャリアフィルム11とともに積層体12が収容されるようになっている。下側の空気室21bには、空気が導入されて加圧されるようになっている。ワーク収容室21aおよび空気室21bの内部は、それぞれが気密状態に保持されるように構成されており、また、ワーク収容室21aの内部は、ヒーターによって、80〜100℃程度に加熱されるようになっている。
【0024】
ラミネート室21のワーク収容室21a内に、キャリアフィルム11とともに積層体12が収容されると、ワーク収容室21aおよび空気室21bは、気密状態に保持されて、ワーク収容室21a内が、ヒーターによって80〜100℃程度に加熱される。ワーク収容室21aの内部が加熱されると、ビルドアップ樹脂フィルム12bが溶融状態になる。
【0025】
このような状態で、空気室21b内に空気が導入される。これにより、図4に示すように、空気室21bが加圧されて、空気室21bとワーク収容室21aとを隔絶するゴムシート製の隔壁22が、ワーク収容室21a内に進入するように膨出した状態になり、ワーク収容室21a内の容積が減少して、ワーク収容室21aの内部圧力が上昇する。これにより、プリント配線板12a上にそれぞれ積層された各ビルドアップ樹脂フィルム12bが、プリント配線板12aの各表面に加圧されてそれぞれ圧着される。各ビルドアップ樹脂フィルム12bは、それぞれ加熱されて溶融状態になっているために、各ビルドアップ樹脂フィルム12bは、プリント配線板12aの各表面に、それぞれ真空状態でラミネートされることになる。
【0026】
この場合、積層体12を挟み込んだ状態のキャリアフィルム11は、ワーク収容室21aの内部が加圧されることによって、積層体12における各ビルドアップ樹脂フィルム12b表面に圧着される。
【0027】
このような状態になると、積層体12は、キャリアフィルム11とともに、ラミネーター20のワーク収容室21aから取り出される。その後、積層体12は、キャリアフィルム11とともに、常温になるまで強制的に冷却される。積層体12は、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金等によって構成されて適当な温度に冷却された冷却板に接触されることによって、強制的に常温にまで冷却される。冷却板には、冷却効率を向上させるために、表面に冷却フィンが設けられている。冷却板は、積層体12の片側に接触させる構成、両側に接触させる構成のいずれであってもよい。
【0028】
このようにして、積層体12が常温にまで強制的に冷却されると、積層体12の各ビルドアップ樹脂フィルム12b表面に圧着されたキャリアフィルム11が剥離される。この場合、図5に示すように、積層体12の表面をラミネートするビルドアップ樹脂フィルム12bの端部における一方のコーナー部に積層されたキャリアフィルム11のコーナー部が、積層体12から剥離されて、積層体12の対角線方向に沿って順次剥離される。キャリアフィルム11は、例えば、モーターによる巻き上げによって剥離される。
【0029】
このように、加熱されたビルドアップ樹脂フィルム12aが、常温にまで冷却された後に、キャリアフィルム11が、ビルドアップ樹脂フィルム12bの一方のコーナー部から対角線方向に沿って剥離されるために、キャリアフィルム11を剥離するために要する力が著しく軽減されており、積層体12からキャリアフィルム11を容易に、しかも、確実に剥離することができる。その結果、積層体12からキャリアフィルム11を短時間にて剥離することができ、プリント配線板12aに対するビルドアップ樹脂フィルム12bの連続ラミネート処理を、滞留させるおそれがない。
【0030】
キャリアフィルム11が剥離された積層体12は、プリント配線板12aの両面にビルドアップ樹脂フィルム12bがそれぞれ真空ラミネートされており、得られた積層体12は、フォトレジスト、ドリル等によって、所定部分にスルーホールが形成された後に、ビルドアップ樹脂フィルム表面およびスルーホール内周面に銅メッキが設けられて、ビルドアップ樹脂フィルム上に外層の配線パターンが形成される。そして、複数のプリント配線板同士が積層状態とされることにより、ビルドアップ多層配線板とされる。
【0031】
積層体12から剥離されたキャリアフィルム11は巻き取られて、積層体12の搬送用として再使用される。この場合、ビルドアップ樹脂フィルム12bを加熱してプリント配線板12aにラミネートした際に、その一部が、樹脂屑としてキャリアフィルム11に付着しているために、その樹脂屑がキャリアフィルム11から取り除かれる。樹脂屑は、通常、キャリアフィルム11の各側縁部に付着する傾向にあるために、例えば図6に示すように、キャリアフィルム11の幅寸法に対応した適当な間隔をあけて配置された一対の樹脂屑除去体15が使用される。キャリアフィルム11は、樹脂屑除去体15の間を通過されるようになっており、キャリアフィルム11が樹脂屑除去体15の間を通過する間に、キャリアフィルム11の各側縁部が樹脂屑除去体15にそれぞれ接触して、各側縁部に付着した樹脂屑が取り除かれる。
【0032】
なお、キャリアフィルム11に付着した樹脂屑は、このように物理的に除去する方法にかかわらず、図7に示すように、キャリアフィルム11全体を、キャリアフィルム11に付着した樹脂屑を溶解させる溶解液がシャワー状に噴射される開口部16内に、キャリアフィルム11を通過させて、キャリアフィルム11に付着した樹脂屑を溶解させる化学的な方法によって除去するようにしてもよい。また、物理的方法と化学的方法とを併用するようにしてもよい。
【0033】
樹脂屑が取り除かれたキャリアフィルム11は、再度、積層体12の搬送に使用される。
【0034】
このように、プリント配線板12aにビルドアップ樹脂12bをラミネートするための各工程において、上記のように、プリント配線板にビルドアップ配線板にビルドアップ樹脂がラミネートされた積層体に対してキャリアフィルム11を容易に剥離することができ、また、剥離されたキャリアフィルム11から樹脂屑を容易に除去することができるので、キャリアフィルム11を再使用することは容易である。
【0035】
キャリアフィルム11を上記プリント配線板12aにビルドアップ樹脂12bをラミネートするための各工程において、何回も使用することができれば、プリント配線板12aにビルドアップ樹脂12bをラミネートする毎に新たなキャリアフィルム11を用意する必要がなく、コストダウンを図ることができる。また、資源利用の面からも、キャリアフィルム11の再使用は望ましいことである。
【0036】
【発明の効果】
本発明のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法は、このように、プリント配線板にビルドアップ樹脂がラミネートされた積層体に対してキャリアフィルムを容易に剥離することができるために、キャリアフィルムによる積層体の搬送が滞留するおそれがなく、ラミネート作業の効率が低下するおそれがない。しかも、剥離されたキャリアフィルムから樹脂屑を容易に除去することができるので、キャリアフィルムの再利用が容易である。このため、キャリアフィルムのコストダウンを図ることができ経済的である。また、キャリアフィルムの再使用は、資源の有効利用の面からも望ましい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法に使用されるキャリアフィルムの概略図である。
【図2】そのキャリアフィルムによって搬送される積層体の断面図である。
【図3】その積層体が収容されたラミネーターの断面図である。
【図4】そのラミネーターの動作説明のための断面図である。
【図5】積層体からキャリアフィルムを剥離する工程の一例を示す概略図である。
【図6】キャリアフィルムから樹脂屑を除去する工程の一例を示す概略図である。
【図7】キャリアフィルムから樹脂屑を除去する工程の他の例を示す概略図である。
【図8】従来のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法におけるキャリアフィルムから樹脂屑を除去する工程を示す概略図である。
【符号の説明】
11 キャリアフィルム
12 積層体
12a プリント配線板
12b ビルドアップ樹脂フィルム
15 樹脂屑除去体
16 開口部
20 ラミネーター
21 ラミネート室
21a ワーク収容室
21b 空気室
22 隔壁

Claims (5)

  1. 内層回路パターンが設けられたプリント配線板にビルドアップ樹脂フィルムを積層して積層体を形成し、キャリアフィルムにて前記積層体を挟み込んで搬送し、前記キャリアフィルムとともに加熱しつつ加圧することによって、前記プリント配線板にビルドアップ樹脂フィルムをラミネートするラミネート工程と、
    前記プリント配線板に前記ビルドアップ樹脂フイルムがラミネートされた前記積層体を前記キャリアフィルムとともに、常温にまで強制的に冷却する冷却工程と、
    前記積層体から前記キャリアフィルム剥離する剥離工程と、
    剥離された前記キャリアフィルムから樹脂屑を取り除く樹脂屑除去工程と、
    を包含し、
    前記冷却工程では、前記プリント配線板に前記ビルドアップ樹脂フィルムがラミネートされた前記積層体を、冷却板によって冷却することを特徴とするプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法。
  2. 前記剥離工程では、前記積層体における一つのコーナー部に積層された前記キャリアフィルムのコーナー部を剥離して、前記積層体の対角線方向に沿って、順次、前記キャリアフィルムを剥離する請求項1に記載のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法。
  3. 前記樹脂屑除去工程では、前記キャリアフイルムの各側縁部が接触するように配置された一対の樹脂屑除去体の間を前記キャリアフィルムが通過されることによって、前記キャリアフィルムの各側縁部に付着した樹脂屑が除去される請求項1に記載のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法。
  4. 前記樹脂屑除去工程では、前記樹脂屑を溶解させる溶解液によって前記樹脂屑が除去される請求項1に記載のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法。
  5. 前記剥離工程にて前記積層体から剥離された前記キャリアフィルムを再使用する請求項1に記載のプリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法。
JP2000200267A 1999-08-25 2000-06-30 プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法 Expired - Fee Related JP3761065B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000200267A JP3761065B2 (ja) 1999-08-25 2000-06-30 プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11-239011 1999-08-25
JP23901199 1999-08-25
JP2000200267A JP3761065B2 (ja) 1999-08-25 2000-06-30 プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001135932A JP2001135932A (ja) 2001-05-18
JP3761065B2 true JP3761065B2 (ja) 2006-03-29

Family

ID=26534033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000200267A Expired - Fee Related JP3761065B2 (ja) 1999-08-25 2000-06-30 プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3761065B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001135932A (ja) 2001-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5539150B2 (ja) 配線基板の製造方法
JP4006618B2 (ja) キャリア付銅箔の製法及びキャリア付銅箔を使用したプリント基板
CN106715118B (zh) 带载体的铜箔以及使用该带载体的铜箔的印刷线路板的制造方法
JP4084385B2 (ja) 積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法
JP3761065B2 (ja) プリント配線板のビルドアップ樹脂ラミネート方法
CN101626661B (zh) 一种双面镂空板的制造方法
KR100917126B1 (ko) 코어리스 기판 가공을 위한 캐리어 제작 방법 및 이를이용한 코어리스 기판
JP4201882B2 (ja) 積層板の製造方法
CN113677108B (zh) 嵌入铜块的制作方法
US6203652B1 (en) Method of forming a via in a substrate
JPH10163603A (ja) 回路基板の製造方法および回路基板の製造装置
JP3854479B2 (ja) Tabテープの製造方法およびtabテープ用積層フィルム
JP2002326309A (ja) 耐熱性フレキシブル積層板
KR100206377B1 (ko) 공정단축이 가능한 다층 인쇄회로기판의 적층방법
JP4522578B2 (ja) 供給方法と供給装置
JP2003008176A (ja) 多層積層板の製造方法
KR100950885B1 (ko) 플라스틱 필름-도체 금속박 적층체 및 그 제조 방법
JP3335720B2 (ja) フラットケーブルの製造方法
JP2002026517A (ja) 多層構造のプリント配線板とその製造方法
JP2001053442A (ja) 多層プリント配線基板の製造方法及び製造装置
JP2005123320A (ja) 多層プリント配線板の製造方法及びその製造装置
JP2003037363A (ja) 多層基板用素板の製造方法、その製造方法により製造された多層基板用素板を用いた多層基板の製造方法および多層基板用素板
JPH02191392A (ja) フレキシブル配線板の製造方法及び装置
JP2002069686A (ja) 極薄電解金属箔の製造方法及び装置並びにそれを用いたプリント基板の製造方法
CN117794107A (zh) 一种厚铜pcb低介厚的压合方法和pcb板

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050916

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20050929

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051128

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20060105

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100120

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110120

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120120

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees