Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3826576B2 - Spacer spraying method - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3826576B2 - Spacer spraying method - Google Patents

Spacer spraying method Download PDF

Info

Publication number
JP3826576B2
JP3826576B2 JP21993698A JP21993698A JP3826576B2 JP 3826576 B2 JP3826576 B2 JP 3826576B2 JP 21993698 A JP21993698 A JP 21993698A JP 21993698 A JP21993698 A JP 21993698A JP 3826576 B2 JP3826576 B2 JP 3826576B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spacer
substrate
nozzle
pipe
spacers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP21993698A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000056313A (en
Inventor
聖純 鹿内
喜久 加藤
英裕 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
Priority to JP21993698A priority Critical patent/JP3826576B2/en
Publication of JP2000056313A publication Critical patent/JP2000056313A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3826576B2 publication Critical patent/JP3826576B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子の製造に用いるスペーサ散布装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示素子は、粒子状,円柱状の複数のスペーサを表面上に配置した少なくとも一方の基板と、他方の基板とを前記スペーサを介在させて接合することにより前記両基板間に所定の間隙を形成し、前記所定の間隙内に液晶物質を封入して構成される。
【0003】
前述のスペーサは、数μmの直径を有する絶縁性の樹脂あるいはSiO2等の球状微粒子、あるいは円柱状のグラスフアイバーからなる。
【0004】
このスペーサを基板上に配置するためのスペーサ散布装置は、基板を載置するステージと、そのステージを収納する筐体と、スペーサ供給手段と、噴射口を筐体内に向けたノズルと、前記スペーサ供給手段と前記ノズルを接続する配管により構成されている。
【0005】
そして、スペーサを散布する工程は、スペーサをスペーサ供給手段により1回分の散布量をノズルへ供給する工程と、ノズルの噴射口より筐体内に散布する工程と、筐体内で基板表面に付着させる工程とより行われている。
【0006】
液晶表示素子の基板間隙は、前述のスペーサの個数が少ないと所定の間隙より小さくなり、あるいは多いと所定の間隙より大きくなって、液晶表示素子の液晶物質の厚さが所望の厚さに形成することができない。そして、このようなスペーサの散布個数の基板面上での不均一性や、あるいは各基板間でのスペーサ個数の変動は、液晶表示素子の色ムラやコントラスト不良等の表示不良の原因となる。
上述した基板上のスペーサ個数の不均一性や各基板間でのスペーサ個数を均一にするには、前述の基板上へのスペーサの散布工程の後、その基板上に付着したスペーサを光学的に観察して計数し、スペーサ散布条件などのパラメータ、具体的にはノズルより吹き出す圧縮ガスの噴射時間や圧力、あるいは噴射後の放置時間などを調整する。この光学的な観察による計数と、スペーサ散布条件の調整を繰り返すことにより、最適条件を求めていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようなスペーサ散布の最適条件を求める方法では、前記スペーサの散布条件を種々に変えて測定するため、極めて煩雑な作業が要求され、スペーサ散布装置の稼働率を低下させていた。
【0008】
また、スペーサ散布条件の最適条件を設定した場合でも、スペーサが静電気等の影響により配管内に付着することによるスペーサ供給量の変動や、スペーサと基板との静電気等の相互作用による基板面上への付着量の変動等により、スペーサの散布状態に不均一性が生じ、基板間隙が所定の範囲外となった不良セルが発生する。
【0009】
上述した静電気による問題を解決するため、コロナ放電等を用いた帯電装置あるいは除電装置によるイオン化エアーによりスペーサを電気的に所定電位にさせたり、正負にも帯電していない中性化した状態とし、スペーサの帯電量を所定の範囲にしたスペーサ散布装置もあるが、この方式では帯電装置あるいは除電装置を付加しなくてはならず、また、実際のスペーサの散布量をしることができない。
【0010】
本発明は、散布されるスペーサを静電気により帯電させて基板上に散布する液晶表示素子製造用のスペーサ散布装置およびこのスペーサ散布装置を用いて基板上に散布されたスペーサの散布方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、液晶表示素子を構成するために対向配置される一対の基板の一方の基板を載置するステージと、前記ステージを収納する筐体と、前記対向配置される一対の基板間隙を規定するためのスペーサを供給するスペーサ供給手段と、噴射口を筐体内に向けたノズルと、前記スペーサ供給手段と前記ノズルとを接続し、前記ノズルと共に前記スペーサが通過することにより前記スペーサを所定の極性に帯電させる配管と、前記配管の外周面上に接続され電位計測手段と、前記ステージに接続された帯電量計測手段とを備え、基板へのスペーサの付着の際に生じる基板の帯電量の変化をステージに接続された帯電量計測手段により検出し、前記電位計測手段により前記配管内を通過するスペーサの帯電状態を電位変化として定量化した値により得られる、予め求めた帯電量と基板上に付着したスペーサの個数との一次近似式により、各散布処理毎に基板上に付着させたスペーサの個数を算出することを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明は、液晶表示素子を構成する一対の基板間に狭持されるスペーサを、スペーサ供給手段からノズルまでの配管部材を通過する間に帯電させて散布するスペーサ散布装置である。
【0017】
すなわち、本発明によるスペーサ散布装置では、スペーサ供給手段より筐体内に噴射口を向けたノズルまでの配管部材の経路上で、その配管部材(配管,ノズル)内の通過に伴う相互作用によってスペーサと、その配管部材を帯電させる。
この帯電現象は、配管あるいはノズルの配管部材の材質の選択によって制御され、それは図1のように一般によく知られる摩擦帯電系列上でのスペーサの材質と配管部材の材質との序列により、帯電する電荷がほぼ定まる。例えば、配管部材の材質が帯電系列上でより正電荷に帯電しやすい材質であると、その内部を通過するスペーサは負電荷により帯電しやすくなり、また配管部材の材質が帯電系列上でより負電荷に帯電しやすい材質であると、その内部を通過するスペーサは正電荷により帯電しやすくなる。
【0018】
したがって、前記スペーサに帯電する電荷の極性は、そのスペーサに対して、前記配管とノズルの少なくとも一方の材質を選定することにより選択することができる。
【0019】
上述のスペーサの帯電量は、配管部材の外周面に電位計測手段を設け、スペーサ通過時に生じる配管部材の電位変化を計測することにより定量的に測定することができる。
【0020】
また、ステージに帯電量計測手段を設け、基板に付着したスペーサによる基板の帯電量を測定することができる。よって、前記スペーサの帯電量と、前記基板の帯電量に基づいてスペーサの基板への付着量を計量することができる。
【0021】
このようなスペーサ散布装置によれば、特別な帯電装置を設けることなく、スペーサを均一に帯電させることができ、この帯電させたスペーサを用いることにより、スペーサを有効に且つ均一に基板上に散布することができる。
【0022】
また、配管部材の外周面に電位計測手段と、ステージに帯電量計測手段とを設けることにより、スペーサの散布状態を逐次観察することができるので、各液晶セルを製造することができる。
【0023】
さらに、配管部材に電位計測手段と、ステージに帯電量計測手段とを設けてそれぞれの帯電量を測定できるので、スペーサの散布に異常が生じた際に、スペーサ供給手段あるいは他の要因により生じた異常かを判定することができ、スペーサ散布装置の調整等の作業を短縮化することができる。
【0024】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を図2乃至図4を参照して説明する。
一対の基板間に液晶物質を封入する液晶表示素子は、少なくとも一方の基板上に基板間隙を規制する粒子状、あるいは柱状のスペーサを配置する。このスペーサは、数μmの外径を有する絶縁性の樹脂あるいはSiO2等の球状の微粒子、あるいは柱状のグラスファイバーからなる。そして、このスペーサを狭持する基板間隙内に液晶物質が封入される。
【0025】
図2にスペーサ散布装置の構造図を示す。スペーサ散布装置は、スペーサ1が散布される基板13を収納する筐体10と、その筐体の外側に配置され、スペーサ1を収納する収納容器2aと秤量器2bとからなり、スペーサ1を定量ずつ供給するスペーサ供給手段2と、前記スペーサ供給手段2から供給されるスペーサ1を移送するための配管部材を構成する配管3と、前記配管3に接続されその噴射口を前記筐体10内に向けて配置されたノズル4とからなっている。
【0026】
この筐体10の周囲は、下面部に設けられた排気口(図示せず)が工場施設の排気設備へと接続されている。また、筐体10の内部には、ステージ12が設けられ、ステージ12上に基板13が載置される。
【0027】
本実施例のスペーサ散布装置では、前述の配管部材の一つである配管3に、その外周面に巻いた金属箔状の電極3aと導線を介して電位計測手段が接続されており、前記配管3の電極3aとアースとの電位差をオシロスコープやメモリレコーダ等の電位差記録計20を用いて経時的に計測し、記録することができる。これにより、スペーサ1の通過に伴う配管3の電位変化を計測することができ、配管3の電位変化すなわちスペーサ1の電位変化の状況を定量的に計測することができる。
【0028】
また、本実施例のスペーサ散布装置では、ステージ12には帯電量計測手段である帯電位計21が接続されている。この帯電位計21は、アースと検出電極端子21aとの間に接続された一定の容量をもったコンデンサに蓄積された電荷による電位(V)を計測する。これにより、スペーサ1の付着に伴う基板13の電位変化(ΔV)を定量的に計測することができる。
【0029】
以下に本実施例のスペーサ散布装置の動作について説明する。まず、ステージ12上に基板13を載置する。一方、スペーサ供給手段2では、所定量を秤量したスペーサが、圧縮ガス(例えば、乾燥空気や窒素)によって搬送される。このスペーサ1を含んだ気体は、配管部材である配管3とノズル4を通って、筐体10内部へと噴射される。そして、筐体10内に到達したスペーサ1の一部は、基板13に付着し、残りは搬送用圧縮ガスとともに外部に排出される。
【0030】
このとき、スペーサ1は、配管3やノズル4の配管部材を通過するときにそれら配管部材との摩擦により静電気が生じスペーサが帯電する。この帯電の様子は、配管部材の材質により異なるので、配管部材を選択することで制御することができる。前記配管部材が、図1に示す摩擦帯電系列上で、スペーサ材質より正電荷に帯電しやすい材質であると、スペーサ1は負電荷に帯電し、スペーサ材質より負電荷に帯電しやすい材質であると、スペーサ1は正電荷に帯電する。配管3に用いられる材質は、正電荷に帯電しやすい材質では順に、ガラス,ナイロン,真鍮,アルミニウムと並び、負電荷に帯電しやすい材質では順に、フッ素樹脂,ステンレス合金(SUS304)のように並ぶ。
【0031】
本実施例のスペーサ散布装置では、この配管部材の帯電の状態を配管部材の外周面に接続した電位差記録計20により定量的に計測することが可能である。
【0032】
それは、スペーサ1の通過時の配管部材のアースとの電位差の時間変化を記録し、この記録結果よりスペーサ1の通過時間帯に相当する電位の積算値(積分値)を求めスペーサの単位量当たりに規格化した数値(以下、帯電力)に基づき計測される。この積分値が大きいと、スペーサ1がより帯電したことを示し、小さいとあまり帯電しなかったことを示すものである。
【0033】
また、ステージ12に接続された帯電位計21では、スペーサ1が基板13に付着することによる基板13の帯電量の変化(ΔV)が測定される。この帯電量の変化と基板13に付着したスペーサ1の個数とはほぼ一次関数として近似できる。したがって、基板13上のスペーサ1を観察して個数を数えることなく、基板13上のスペーサ1の個数を知ることができる。
【0034】
つぎに本実施例のスペーサ散布装置の電位計測手段による計測結果を示す。スペーサ供給手段2とノズル4とを結ぶ配管3の材質を変更することにより、スペーサ1が前記配管の内部を通過するに伴って配管3の外周面の電位が変化し、すなわちスペーサ1の帯電状態が配管材質により異なることを図3に示す。縦軸が配管材質、横軸が帯電力を示す。この帯電力とは、電位差記録計20でも計測されたピークの波形の面積より、その波形面積をスペーサ1の秤量値で除算し単位量当たりに変換した値を指す。
【0035】
この図3によると、前記配管3の材質の違いにより、配管3の電位の正負方向及びその大きさが変化している。これは、配管3の内壁と摩擦して通過したスペーサ1が逆符号に帯電することを示す。そして、配管3にナイロン樹脂を用いた場合には、配管3は正電位に、フッ素樹脂であるテフロンを用いた場合は負電位に大きな値となり、銅やステンレス合金(SUS316)ではほとんど電位は変化せず、アルミニウムや真鍮ではやや正電位方向に変化することがわかる。これらの序列は、静電気に関して一般に周知である摩擦帯電系列の序列に一致する。すなわち、スペーサ1を正電位に帯電させるには配管3としてナイロン樹脂(正電位方向)を、スぺーサ1を負電位に帯電させるには配管3としてフッ素樹脂(負電位方向)をそれぞれ選択するのが好ましい。
【0036】
次に、帯電量計測手段による計測結果について図4に示す。図4は、スペーサ1の付着による基板13の帯電量の変化(ΔV)と基板13上のスペーサ個数との関係を示す。横軸はΔVを示し、縦軸は単位面積(図では1ミリ平方メートル)あたりのスペーサ個数を示す。図示される系列は、◆印がノズル4をステンレス合金(SUS304)で配管3をステンレス合金(SUS316)の組み合わせ、◇印がノズル4をステンレス合金(SUS304)で配管3をフッ素樹脂(テフロン)の組み合わせ、□印がノズル4をアルミニウムで配管3をフッ素樹脂(PFA樹脂)の組み合わせ、■印がノズル4をアルミニウムで配管3をナイロン樹脂の組み合わせにより測定したものである。
【0037】
いずれの場合でもΔVと基板13に付着したスペーサ個数とは強い相関が見られる。
【0038】
これらの蓄積したデータよりΔVとスペーサ個数との間に一次近似式を見出し、計測されたΔVよりスペーサ個数を導出することができる。したがって、この一次近似式より導出された所定の帯電量を検知し、その時点で例えば、スペーサ1を搬送する圧縮ガスの供給停止などの散布動作を制御することによって適量のスペーサ1を基板13上に付着させることができる。
【0039】
なお、配管3と同様に配管部材であるノズル4に関して、ノズル4の材質がステンレス合金(SUS304)とアルミニウムとでは帯電する電位の方向が異なることが図4で示される。これは前述の配管部材の材質の違いによる帯電の違いの反映であり、配管3の材質の代わりにノズル4の材質を変更することによって、スペーサ1の帯電状態を制御することもでき、その影響力は前述の配管3の材質よりも顕著である。
【0040】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0041】
スペーサ材質(粒子材質、表面処理の有無)の違いに対して、配管あるいはノズルのうち少なくともいずれか一方の配管部材の材質の変更により適正な帯電処理が可能になる。
【0042】
すなわち、スペーサの帯電を配管材質によって制御することで、スペーサの帯電量を安定に制御し、処理回数毎の基板に付着するスペーサの個数の変動を防止することができる。このスペーサの帯電量の制御は、従来の帯電装置あるいは除電装置を用いた方式を用いて生じていた湿度などの環境の要因による性能低下や経時変化による電極の劣化や汚染などの諸問題を生じさせることがない。
【0043】
また、スペーサ散布前後での基板の帯電量変化より、基板に付着したスペーサの個数を測定することが可能になり、スペーサ散布装置の状態を適時に把握することが可能になりスペーサを適正な個数濃度に設定することができる。そして、スペーサの基板へ散布状態を従来のように基板上のスペーサを観察し、計数するのではなく、インライン上で定量評価することが可能になるので、スペーサ散布装置の加工条件設定時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】摩擦帯電系列を示す図である。
【図2】本発明の一実施例によるスペーサ散布装置の構造図である。
【図3】配管材質と配管表面の電位の関係を示すグラフである。
【図4】基板の帯電量とスペーサ個数を示すグラフである。
【符号の説明】
1 スペーサ
2 スペーサ供給手段
3 配管
4 ノズル
10 筐体
11 取付穴
12 ステージ
13 基板
20 電位差記録計
21 帯電位計
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a spacer spraying device used for manufacturing a liquid crystal display element.
[0002]
[Prior art]
The liquid crystal display element has a predetermined gap between the two substrates by joining at least one substrate having a plurality of particulate and columnar spacers arranged on the surface and the other substrate with the spacer interposed therebetween. And a liquid crystal substance is sealed in the predetermined gap.
[0003]
The above-mentioned spacer is made of an insulating resin having a diameter of several μm, spherical fine particles such as SiO 2, or cylindrical glass fibers.
[0004]
The spacer spraying device for arranging the spacers on the substrate includes a stage on which the substrate is placed, a housing for housing the stage, spacer supply means, a nozzle having an injection port facing the housing, and the spacer It is comprised by piping which connects a supply means and the said nozzle.
[0005]
The step of spraying the spacer includes the step of supplying the spacer to the nozzle by a spacer supply means, the step of spraying the spacer into the housing from the nozzle outlet, and the step of attaching the spacer to the substrate surface in the housing. And more is done.
[0006]
The substrate gap of the liquid crystal display element is smaller than the predetermined gap when the number of the spacers is small, or larger than the predetermined gap when the number of spacers is large, so that the liquid crystal material thickness of the liquid crystal display element is formed to a desired thickness. Can not do it. Such non-uniformity of the number of dispersed spacers on the substrate surface or the variation in the number of spacers between the substrates causes display defects such as color unevenness and contrast failure of the liquid crystal display element.
In order to make the above-mentioned non-uniformity of the number of spacers on the substrate and to make the number of spacers uniform among the substrates, after the step of dispersing the spacers on the substrate, the spacers adhered on the substrate are optically removed. Observation and counting are performed to adjust parameters such as spacer spraying conditions, specifically, the jetting time and pressure of compressed gas blown from the nozzle, or the standing time after jetting. The optimum condition was obtained by repeating the counting by optical observation and the adjustment of the spacer spraying condition.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a method for obtaining the optimum conditions for spacer spraying, measurement is performed by changing the spacer spraying conditions in various ways, so that a very complicated operation is required and the operating rate of the spacer spraying apparatus is lowered.
[0008]
Even when the optimal conditions for spacer dispersion are set, the spacer supply amount varies due to the spacer adhering to the piping due to the influence of static electricity, etc., and on the substrate surface due to the interaction between the spacer and the substrate, such as static electricity. Due to fluctuations in the amount of adhesion, etc., non-uniformity occurs in the dispersion state of the spacers, resulting in defective cells in which the substrate gap is outside a predetermined range.
[0009]
In order to solve the above-mentioned problems caused by static electricity, the spacer is electrically set to a predetermined potential by ionizing air using a charging device using a corona discharge or the like, or a neutralized state that is not charged positively or negatively, There is also a spacer spraying device in which the charge amount of the spacer is in a predetermined range, but in this system, a charging device or a charge eliminating device must be added, and the actual spacer spray amount cannot be made.
[0010]
The present invention provides a spacer spraying device for manufacturing a liquid crystal display element in which spacers to be sprayed are electrostatically charged and sprayed on a substrate, and a method for spraying spacers sprayed on a substrate using the spacer spraying device. With the goal.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention defines a stage for placing one of a pair of substrates opposed to each other to constitute a liquid crystal display element, a housing for housing the stage, and a pair of substrate gaps opposed to each other. A spacer supplying means for supplying a spacer, a nozzle having an injection port directed into the housing, the spacer supplying means and the nozzle are connected, and the spacer passes through the nozzle together with the nozzle to pass the spacer to a predetermined A pipe to be charged to polarity, a potential measuring means connected on the outer peripheral surface of the pipe, and a charge amount measuring means connected to the stage, for the amount of charge of the substrate generated when the spacer is attached to the substrate The change is detected by a charge amount measuring means connected to the stage, and the charged state of the spacer passing through the pipe is quantified as a potential change by the potential measuring means. Obtained by first order approximation equation with the number of spacers adhered to the pre-determined charge amount and the substrate, and calculates the number of spacers deposited on the substrate for each spraying process.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention is a spacer spraying device in which a spacer held between a pair of substrates constituting a liquid crystal display element is charged and sprayed while passing a piping member from a spacer supply means to a nozzle.
[0017]
That is, in the spacer spraying device according to the present invention, the spacer and the spacer are caused by the interaction with the passage in the piping member (pipe, nozzle) on the route of the piping member from the spacer supply means to the nozzle having the injection port directed into the housing. The piping member is charged.
This charging phenomenon is controlled by the selection of the material of the piping member or the piping member of the nozzle, and it is charged by the order of the spacer material and the piping member material on the generally well-known friction charging series as shown in FIG. The charge is almost fixed. For example, if the material of the piping member is a material that is more likely to be positively charged on the charging series, the spacer passing through the inside is more likely to be charged by a negative charge, and the material of the piping member is more negative on the charging series. If the material is easily charged with electric charge, the spacer passing through the inside is easily charged with positive charge.
[0018]
Therefore, the polarity of the electric charge charged in the spacer can be selected by selecting at least one material of the pipe and the nozzle for the spacer.
[0019]
The amount of charge of the spacer can be quantitatively measured by providing a potential measuring means on the outer peripheral surface of the piping member and measuring the potential change of the piping member that occurs when the spacer passes.
[0020]
Further, a charge amount measuring means is provided on the stage, and the charge amount of the substrate by the spacer attached to the substrate can be measured. Therefore, the adhesion amount of the spacer to the substrate can be measured based on the charge amount of the spacer and the charge amount of the substrate.
[0021]
According to such a spacer spraying device, the spacer can be uniformly charged without providing a special charging device. By using this charged spacer, the spacer can be sprayed on the substrate effectively and uniformly. can do.
[0022]
Further, by providing the potential measuring means on the outer peripheral surface of the piping member and the charge amount measuring means on the stage, the dispersion state of the spacers can be observed sequentially, so that each liquid crystal cell can be manufactured.
[0023]
Furthermore, since the potential measurement means is provided on the piping member and the charge amount measurement means is provided on the stage to measure the respective charge amounts, it is caused by the spacer supply means or other factors when an abnormality occurs in the dispersion of the spacers. It can be determined whether it is abnormal, and work such as adjustment of the spacer spraying device can be shortened.
[0024]
【Example】
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
In a liquid crystal display element in which a liquid crystal substance is sealed between a pair of substrates, a particulate or columnar spacer that regulates a gap between the substrates is disposed on at least one substrate. This spacer is made of an insulating resin having an outer diameter of several μm, spherical fine particles such as SiO2, or columnar glass fibers. Then, a liquid crystal substance is sealed in the substrate gap that holds the spacer.
[0025]
FIG. 2 shows a structural diagram of the spacer spraying device. The spacer spraying device includes a housing 10 for storing a substrate 13 on which the spacer 1 is sprayed, and a storage container 2a for storing the spacer 1 and a weighing device 2b. Spacer supply means 2 for supplying the spacers one by one, a pipe 3 constituting a pipe member for transferring the spacer 1 supplied from the spacer supply means 2, and an injection port connected to the pipe 3 in the housing 10 It consists of a nozzle 4 arranged facing.
[0026]
Around the casing 10, an exhaust port (not shown) provided on the lower surface is connected to an exhaust facility of a factory facility. In addition, a stage 12 is provided inside the housing 10, and a substrate 13 is placed on the stage 12.
[0027]
In the spacer spraying apparatus of the present embodiment, a potential measuring means is connected to the pipe 3 which is one of the above-described piping members via a metal foil-like electrode 3a wound around the outer peripheral surface and a conducting wire. 3 can be measured and recorded over time using a potential difference recorder 20 such as an oscilloscope or a memory recorder. Thereby, the potential change of the pipe 3 accompanying the passage of the spacer 1 can be measured, and the potential change of the pipe 3, that is, the potential change state of the spacer 1 can be quantitatively measured.
[0028]
Further, in the spacer spraying apparatus of the present embodiment, the stage 12 is connected with a charge level meter 21 as charge amount measuring means. The charge level meter 21 measures a potential (V) due to charges accumulated in a capacitor having a certain capacity connected between the ground and the detection electrode terminal 21a. Thereby, the potential change (ΔV) of the substrate 13 accompanying the adhesion of the spacer 1 can be quantitatively measured.
[0029]
The operation of the spacer spraying device of this embodiment will be described below. First, the substrate 13 is placed on the stage 12. On the other hand, in the spacer supply means 2, the spacer weighed in a predetermined amount is conveyed by compressed gas (for example, dry air or nitrogen). The gas containing the spacer 1 is injected into the housing 10 through the pipe 3 and the nozzle 4 which are pipe members. A part of the spacer 1 reaching the inside of the housing 10 adheres to the substrate 13 and the rest is discharged to the outside together with the transporting compressed gas.
[0030]
At this time, when the spacer 1 passes through the piping members of the piping 3 and the nozzle 4, static electricity is generated due to friction with the piping members and the spacer is charged. Since the state of this charging varies depending on the material of the piping member, it can be controlled by selecting the piping member. When the piping member is a material that is more easily charged with a positive charge than the spacer material on the frictional charging series shown in FIG. 1, the spacer 1 is charged with a negative charge and is more easily charged with a negative charge than the spacer material. Then, the spacer 1 is charged to a positive charge. The materials used for the pipe 3 are arranged in the order of glass, nylon, brass, and aluminum in the order of materials that are easily charged to a positive charge, and in the order of materials that are easily charged to a negative charge, such as fluororesin and stainless alloy (SUS304) .
[0031]
In the spacer spraying device of the present embodiment, the charged state of the piping member can be quantitatively measured by the potential difference recorder 20 connected to the outer peripheral surface of the piping member.
[0032]
It records the time change of the potential difference between the piping member and the earth when the spacer 1 passes, and obtains the integrated value (integrated value) of the potential corresponding to the passing time zone of the spacer 1 from the recorded result. Measured based on the standardized value (hereinafter referred to as power). When this integral value is large, it indicates that the spacer 1 is more charged, and when it is small, it indicates that the spacer 1 is not charged so much.
[0033]
Further, the charge level meter 21 connected to the stage 12 measures a change (ΔV) in the charge amount of the substrate 13 due to the spacer 1 adhering to the substrate 13. This change in charge amount and the number of spacers 1 attached to the substrate 13 can be approximated as a linear function. Therefore, the number of spacers 1 on the substrate 13 can be known without observing the spacers 1 on the substrate 13 and counting the number.
[0034]
Next, the measurement result by the potential measuring means of the spacer spraying device of the present embodiment will be shown. By changing the material of the pipe 3 connecting the spacer supply means 2 and the nozzle 4, the potential of the outer peripheral surface of the pipe 3 changes as the spacer 1 passes through the pipe, that is, the charged state of the spacer 1 FIG. 3 shows that varies depending on the pipe material. The vertical axis represents the piping material, and the horizontal axis represents the electric power. The electric power refers to a value obtained by dividing the waveform area by the weighed value of the spacer 1 from the peak waveform area measured by the potentiometer 20 and converting it per unit amount.
[0035]
According to FIG. 3, the positive / negative direction and the magnitude of the potential of the pipe 3 change depending on the material of the pipe 3. This indicates that the spacer 1 that has passed through friction with the inner wall of the pipe 3 is charged with an opposite sign. When nylon resin is used for the pipe 3, the pipe 3 has a positive potential, and when Teflon, which is a fluororesin, is used, it has a large negative value. In copper and stainless alloy (SUS316), the potential changes almost. It can be seen that aluminum and brass change slightly in the positive potential direction. These orders are consistent with the order of the triboelectric series generally known for static electricity. That is, nylon resin (positive potential direction) is selected as the pipe 3 to charge the spacer 1 to a positive potential, and fluororesin (negative potential direction) is selected as the pipe 3 to charge the spacer 1 to a negative potential. Is preferred.
[0036]
Next, the measurement result by the charge amount measuring means is shown in FIG. FIG. 4 shows the relationship between the change in charge amount (ΔV) of the substrate 13 due to the adhesion of the spacer 1 and the number of spacers on the substrate 13. The horizontal axis represents ΔV, and the vertical axis represents the number of spacers per unit area (1 mm 2 in the figure). In the series shown in the figure, the ♦ mark is a combination of the nozzle 4 made of stainless steel (SUS304) and the pipe 3 is stainless steel alloy (SUS316), and the ◇ mark is the nozzle 4 made of stainless steel alloy (SUS304) and the pipe 3 is made of fluororesin (Teflon). The combination, □ is measured by combining the nozzle 4 with aluminum and the piping 3 with a combination of fluororesin (PFA resin), and the ■ marking is measured with a combination of the nozzle 4 with aluminum and the piping 3 with a nylon resin.
[0037]
In any case, there is a strong correlation between ΔV and the number of spacers attached to the substrate 13.
[0038]
From these accumulated data, it is possible to find a linear approximation between ΔV and the number of spacers, and to derive the number of spacers from the measured ΔV. Therefore, a predetermined amount of charge derived from this first-order approximation is detected, and at that time, for example, by controlling the spraying operation such as stopping the supply of the compressed gas transporting the spacer 1, an appropriate amount of the spacer 1 is placed on the substrate 13. Can be attached to.
[0039]
In addition, regarding the nozzle 4 that is a piping member as in the case of the pipe 3, FIG. 4 shows that the direction of the potential to be charged differs depending on whether the material of the nozzle 4 is stainless alloy (SUS304) or aluminum. This is a reflection of the difference in charging due to the difference in the material of the piping member described above, and the charged state of the spacer 1 can be controlled by changing the material of the nozzle 4 instead of the material of the piping 3. The force is more remarkable than the material of the pipe 3 described above.
[0040]
【The invention's effect】
The present invention is implemented in the form as described above, and has the following effects.
[0041]
With respect to the difference in spacer material (particle material, presence / absence of surface treatment), an appropriate charging process can be performed by changing the material of at least one of the piping members and the piping.
[0042]
That is, by controlling the charging of the spacers with the piping material, the amount of charging of the spacers can be controlled stably, and fluctuations in the number of spacers adhering to the substrate every number of processings can be prevented. This control of the charge amount of the spacer causes various problems such as deterioration in performance due to environmental factors such as humidity, deterioration of the electrodes due to changes over time, and contamination that have occurred using a method using a conventional charging device or static elimination device. I will not let you.
[0043]
In addition, it is possible to measure the number of spacers attached to the substrate from the change in the amount of charge on the substrate before and after spraying the spacers, and it is possible to grasp the state of the spacer spraying device in a timely manner. The concentration can be set. And, it is possible to quantitatively evaluate in-line rather than observing and counting the spacers on the substrate as in the past, and the spacer spraying condition on the substrate is greatly increased. Can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a triboelectric charging series.
FIG. 2 is a structural diagram of a spacer spraying device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a graph showing the relationship between piping material and piping surface potential.
FIG. 4 is a graph showing the charge amount of a substrate and the number of spacers.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spacer 2 Spacer supply means 3 Piping 4 Nozzle 10 Case 11 Mounting hole 12 Stage 13 Substrate 20 Potential difference recorder 21 Charging level meter

Claims (1)

液晶表示素子を構成するために対向配置される一対の基板の一方の基板を載置するステージと、前記ステージを収納する筐体と、前記対向配置される一対の基板間隙を規定するためのスペーサを供給するスペーサ供給手段と、噴射口を筐体内に向けたノズルと、前記スペーサ供給手段と前記ノズルとを接続し、前記ノズルと共に前記スペーサが通過することにより前記スペーサを所定の極性に帯電させる配管と、前記配管の外周面上に接続され電位計測手段と、前記ステージに接続された帯電量計測手段とを備え、基板へのスペーサの付着の際に生じる基板の帯電量の変化をステージに接続された帯電量計測手段により検出し、前記電位計測手段により前記配管内を通過するスペーサの帯電状態を電位変化として定量化した値により得られる、予め求めた帯電量と基板上に付着したスペーサの個数との一次近似式により、各散布処理毎に基板上に付着させたスペーサの個数を算出することを特徴とするスペーサの散布方法。 A stage for placing one of a pair of substrates opposed to each other to constitute a liquid crystal display element, a housing for housing the stage, and a spacer for defining the gap between the pair of substrates disposed opposite to each other A spacer supplying means for supplying the nozzle, a nozzle having an injection port directed into the housing, the spacer supplying means and the nozzle are connected, and the spacer passes through with the nozzle to charge the spacer to a predetermined polarity. A pipe, a potential measuring means connected on the outer peripheral surface of the pipe, and a charge amount measuring means connected to the stage, and a change in the charge amount of the substrate that occurs when the spacer adheres to the substrate is placed on the stage. Detected by the connected charge amount measuring means, and obtained by quantifying the charged state of the spacer passing through the pipe by the potential measuring means as a potential change. Advance by determined charge amount and the primary approximate expression between the number of spacers deposited on a substrate, the method of application of the spacer, characterized in that to calculate the number of spacers deposited on the substrate for each spraying process.
JP21993698A 1998-08-04 1998-08-04 Spacer spraying method Expired - Fee Related JP3826576B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21993698A JP3826576B2 (en) 1998-08-04 1998-08-04 Spacer spraying method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21993698A JP3826576B2 (en) 1998-08-04 1998-08-04 Spacer spraying method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000056313A JP2000056313A (en) 2000-02-25
JP3826576B2 true JP3826576B2 (en) 2006-09-27

Family

ID=16743355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21993698A Expired - Fee Related JP3826576B2 (en) 1998-08-04 1998-08-04 Spacer spraying method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3826576B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020088306A (en) * 2001-05-21 2002-11-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Structure for line electric charge of spacer sprayer
JP3895164B2 (en) * 2001-11-29 2007-03-22 積水化学工業株式会社 Manufacturing method of liquid crystal display device
JP4790240B2 (en) * 2004-09-14 2011-10-12 株式会社ゼビオス Feedback control type dry spacer sprayer.
JP2009063786A (en) * 2007-09-06 2009-03-26 Zebiosu:Kk Powder spraying device
CN102654690B (en) * 2012-01-09 2014-12-10 京东方科技集团股份有限公司 Dry-type dispensing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000056313A (en) 2000-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7880109B2 (en) Classification apparatus and fine particle measuring apparatus
JP3826576B2 (en) Spacer spraying method
US4312180A (en) Detecting particles
US6649221B1 (en) Spacer microparticle spraying apparatus and method for fabricating a liquid crystal display
Hering Calibration of the QCM impactor for stratospheric sampling
KR101390130B1 (en) Air Ion Measuring Device
GB2255671A (en) Drift field type mass spectrometer
CN101437602B (en) Ion balance monitor
Horton et al. The calibration of a California Measurements PC-2 quartz crystal cascade impactor (QCM)
US5110537A (en) Water quality inspection method and apparatus therefor
US8919195B2 (en) Environment providing device, environment providing method, and particle detecting device evaluating method
TW519581B (en) Method and apparatus for controlling amount of electric charge on finely divided powder and finely divided powder spraying method and apparatus
US8034295B2 (en) Ion analyzing apparatus and ion analyzing method
JP3851507B2 (en) Powder particle flow detector
JP3240471B2 (en) Method and apparatus for measuring electrostatic field of granular material
JPH0217071B2 (en)
JP2001124812A (en) Ionizer adjustment and evaluation equipment
JPH01176915A (en) Method and device for measuring discharge amount of coating
JPH05203558A (en) Method for counting objects to be scattered and liquid crystal panel manufacturing method using the same
Vichayarom et al. Use of electric field to enhance collection of ultrafine particles using quartz crystal microbalance
JPS6383659A (en) Monitor for atmospheric corrosion
JP4790240B2 (en) Feedback control type dry spacer sprayer.
Castle et al. Measurement of the particle space charge in the outlet of an electrostatic precipitator using an electric field mill
Nisancioglu et al. Theoretical problems related to ohmic resistance compensation
Fernandez et al. Evaluation of submicron particle size classification and collection techniques for nuclear facility off-gas streams

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060117

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060320

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060613

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060626

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090714

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100714

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110714

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110714

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120714

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120714

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130714

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees