JP3846320B2 - Electronic component mounting apparatus and air blow circuit abnormality detection method in electronic component mounting apparatus - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置および電子部品実装装置において電子部品を吸着保持する吸着ノズルから正圧空気を吐出するエアブロー回路の異常の有無を検出する電子部品実装装置におけるエアブロー回路の異常検出方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品を基板に実装する電子部品実装装置において電子部品を保持する方法として、真空吸着による方法が用いられる。この方法は、下端部に吸着孔が設けられた吸着ノズルを電子部品の上面に当接させた状態で吸着孔から真空吸引することにより発生する負圧を利用して電子部品を保持するものである。この吸着ノズルに保持された電子部品を基板に搭載する際には、真空吸引を解除することにより電子部品を吸着ノズルから離脱させる。このとき、電子部品の離脱を迅速・確実に行うため、吸着ノズル内に正圧空気を付与して吸引回路内の真空を破壊するとともに、吸着ノズルからわずかに空気を吹き出させて電子部品を離脱させるエアブローが行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このエアブロー系は、正圧付与のためのエア供給源やエアブローのオンオフを行うブローバルブなど、エアブロー系を構成する各部の動作不具合によって吐出状態が変化しやすく、確実な電子部品の離脱が保証されないという欠点がある。このため、エアブロー系を備えた電子部品実装装置では、エアブロー系が正常に機能しているか否かをチェックする必要がある。
【0004】
しかしながら上記エアブロー系の機能検査に際しては、移載ヘッドからブローバルブなどの機能部品を取り外して個別の部品ごとに異常の有無を検査する必要があることから、検査作業に多大の手間と時間を要し、作業の簡略化が望まれていた。
【0005】
そこで本発明は、吸着ノズルから正圧空気を吐出するエアブロー回路の異常の有無を簡便な方法で検出することができる電子部品実装装置および電子部品実装装置におけるエアブロー回路の異常検出方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品実装装置は、部品供給部から移載ヘッドの吸着ノズルによって電子部品を真空吸着によりピックアップして基板に実装する電子部品実装装置であって、前記吸着ノズルから真空吸引する真空吸引手段と、前記吸着ノズルから正圧空気を吐出させるエアブロー手段と、前記真空吸引手段とエアブロー手段とを選択的に吸着ノズルに接続させる切り換え手段と、前記エアブロー手段から吸着ノズルまでのエアブロー回路に介設されエアブロー回路を通過する空気の流量を計測する流量センサと、この流量センサによって求められた流量の経時的変化を示す流量パターンに基づいて前記吸着ノズルから正圧空気を吐出するエアブロー系の異常の有無を判定する判定手段とを備えた。
【0007】
請求項2記載の電子部品実装装置におけるエアブロー系の異常検出方法は、部品供給部から移載ヘッドの吸着ノズルによって電子部品を真空吸着によりピックアップして基板に実装する電子部品実装装置において、前記吸着ノズルに正圧空気を供給するエアブロー手段から前記吸着ノズルに至るエアブロー回路の異常を検出するエアブロー回路の異常検出方法であって、エアブロー手段を駆動して正圧空気を吐出しながら前記エアブロー系のエアブロー回路に介設された流量センサによってエアブロー回路を通過する空気の流量を計測する工程と、流量計測によって求められた流量の経時的変化を示す流量パターンに基づいて、前記エアブロー回路の異常の有無を判定する工程とを含む。
【0008】
本発明によれば、エアブロー手段を駆動して正圧空気を供給しながらエアブロー系のエアブロー回路に介設された流量センサによってエアブロー回路を通過する空気の流量を計測する工程と、流量計測によって求められた流量の経時的変化を示す流量パターンに基づいて、前記エアブロー回路の異常の有無を判定することにより、簡便な方法でエアブロー回路の異常の有無を検出することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図2は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移載ヘッドの構成を示す図、図3は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の真空吸引・エアブロー系および制御系の構成を示すブロック図、図4は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるエアブロー系の異常検出用流量パターンの説明図である。
【0010】
まず図1を参照して電子部品実装装置の構造を説明する。図1において基台1の中央にはX方向に搬送路2が配設されている。搬送路2は基板3を搬送し電子部品の実装位置に位置決めする。搬送路2の両側方には、部品供給部4が配置されており、それぞれの部品供給部4には多数のテープフィーダ5が並設されている。テープフィーダ5はテープに保持された電子部品を収納し、このテープをピッチ送りすることにより電子部品を供給する。
【0011】
基台1上面の両端部上にはY軸テーブル6A,6Bが配設されており、Y軸テーブル6A,6B上には2台のX軸テーブル7A,7Bが架設されている。Y軸テーブル6Aを駆動することにより、X軸テーブル7AがY方向に水平移動し、Y軸テーブル6Bを駆動することにより、X軸テーブル7BがY方向に水平移動する。X軸テーブル7A,7Bには、それぞれ移載ヘッド8および移載ヘッド8と一体的に移動するカメラ9が装着されている。
【0012】
Y軸テーブル6A,X軸テーブル7A、Y軸テーブル6B,X軸テーブル7Bをそれぞれ組み合わせて駆動することにより移載ヘッド8は水平移動し、それぞれの部品供給部4から電子部品を吸着ノズル10(図2参照)によってピックアップし、搬送路2に位置決めされた基板3上に実装する。基板3上に移動したカメラ9は、基板3を撮像して認識する。また基板3上部品供給部4から搬送路2に至る経路には、ラインカメラ19が配設されている。ラインカメラ19は、それぞれの移載ヘッド8に保持された状態の電子部品を下方から撮像する。
【0013】
次に図2を参照して移載ヘッド8について説明する。図2に示すように、移載ヘッド8はマルチタイプであり、部品保持手段としての単位移載ヘッド8aを8個備えた構成となっている。これらの単位移載ヘッド8aはそれぞれ下端部に電子部品を吸着して保持する吸着ノズル10を備え、個別に昇降動作が可能となっている。ここで吸着ノズル10は単位移載ヘッド8aの下部に設けられた装着部8b(図3参照)に着脱自在に装着され、電子部品の種類に応じて交換されるようになっている。
【0014】
ここで図3を参照して、吸着ノズル10から真空吸引し、また吸着ノズル10から正圧空気を吐出する真空吸引・エアブロー系および真空吸引・エアブロー系を制御する制御系の構成について説明する。図3に示すように、単位移載ヘッド8aにおいて吸着ノズル10が装着される装着部8bには3方弁である切換バルブ11が接続されている。切換バルブ11の一方側のポートには真空吸引手段である真空ポンプ13に接続されており、他方側のポートには流量センサ12を介してオンオフ弁であるマウントブローバルブ20が接続されている。切換バルブ11は、後述する真空吸引手段とエアブロー手段とを選択的に吸着ノズル10に接続させる切り換え手段となっている。
【0015】
装着部8bに吸着ノズル10が装着された状態で真空ポンプ13を駆動し、切換バルブ11を真空ポンプ13側に切り換えることにより、吸着ノズル10は真空ポンプ13と接続され、吸着ノズル10の下端部の吸着面に設けられた吸着孔10aより真空吸引する。吸着ノズル10から真空ポンプ13に至る回路は、真空吸引時に空気が通過する真空吸引回路となっている。装着部8bには、フィルタ18が内蔵されており、吸着ノズル10から吸引された空気がフィルタ18を通過することにより、真空吸引時に空気とともに吸引された異物がフィルタ18によって捕集される。
【0016】
マウントブローバルブ20はエア供給源21に接続されており、切換バルブ11をマウントブローバルブ20側に切り換えることにより、吸着ノズル10はマウントブローバブル20を介してエア供給源21と接続される。この状態でマウントブローバルブ20を開状態にすることにより、エア供給源21から供給された正圧空気が吸着ノズル10から吐出される。このエアブロー動作は、吸着ノズル10によって吸着保持された電子部品を基板3の実装点に着地させた後、電子部品を吸着ノズル10から離脱させるために行われるものである。エア供給源21は、吸着ノズル10から正圧空気を吐出させるエアブロー手段となっており、吸着ノズル10からエア供給源21に至る回路は、エアブロー時に正圧空気が通過するエアブロー回路となっている。
【0017】
このエアブロー動作において、マウントブローバルブ20と切換バルブ11との間のエアブロー回路に介設された流量センサ12は、内部を流れる流体の温度差を検出することにより、エアブローによって単位時間当たりにエアブロー回路内を流れる空気の量を、流量の経時的な変化を示す流量パターン(図4参照)として計測する。流量センサ12の計測結果は、判定部14に送られる。
【0018】
判定部14は、流量センサ12の流量計測結果を記憶部16に記憶されている基準の流量パターンや流量パターンから抽出される判定用のパラメータと比較することにより、エアブロー系の異常の有無を判定する。判定部14は、流量センサ12によって求められた流量の経時的変化を示す流量パターンに基づいてエアブロー系の異常の有無を判定する判定手段となっている。判定結果は制御部15に送られ、制御部15は判定結果に基づいて報知部17を制御することにより、エアブロー系を構成するマウントブローバルブ20などの機能部品の交換・清掃を指示する報知を行う。
【0019】
次に吸着ノズル10からエア供給源21から供給される正圧空気を吐出することによりエアブローを行うエアブロー系の異常検出について説明する。ここでエアブロー系の異常とは、吸着ノズル10からエア供給源21に至るエアブロー回路の構成要素に主に経時劣化によって発生する不良状態を意味している。ここでは、エアブロー回路を断接するマウントブローバルブ20の異常を例にとって説明する。
【0020】
一般にマウントブローバルブには、開状態において許容される空気の流量で示されるバルブ容量が適正に確保されていることと、閉状態において確実に空気の流れを遮断するシール性に加えて、制御手段からの信号に応じて所定時間内に確実に動作する応答性とが求められる。このようなバルブ動作状態は、目視などの簡単な検査によって確認することは困難であることから、従来は保守点検時に真空バルブを移載ヘッドから取り外し、専用の試験装置によって性能検査を行った上で、動作状態の合否を判定する必要があった。
【0021】
これに対し本実施の形態では、マウントブローバルブ20の動作状態を示す特性を以下に説明する流量パターンによって表すことにより、検査対象のマウントブローバルブ20が実機に装着されたままで、動作状態の合否判定が行えるようにしている。すなわちマウントブローバルブ20に開閉動作を行わせてエアブローを行ったときの流量パターンを求め、この流量パターンを予め記憶された基準の流量パターンと比較することにより、当該時点におけるバルブ動作状態の合否判定を行うようにしている。
【0022】
以下、流量パターンについて図4を参照して説明する。図4(a)、(b)は、図3に示す単位移載ヘッド8aの装着部8bに計測用の基準吸着ノズルを装着した状態において、エア供給源21を駆動して真空吸引を行いながら、マウントブローバルブ20に開閉動作を行わせたときのエアブロー回路内の流量を流量センサ12によって連続的に計測し、流量の経時的変化を流量パターンとしてグラフで表したものである。
【0023】
図4(a)は基準の流量パターンであり、動作特性が保証された正常なマウントブローバルブ20を装備した状態でエアブローを行い、このマウントブローバルブ20に開閉動作を行わせたときの流量パターンを示している。ここで、流量f1、f2はマウントブローバルブ20のバルブ容量が正常であるか否かを判定するためのしきい値範囲としての下限流量、上限流量を示しており、到達流量fが所定のマウントブロー時間TB以内に所定到達流量f1を上回り、かつ上限流量f2を下回ることがマウントブローバルブ20が正常であると判定されるための条件となっている。
【0024】
図4(a)に示す流量パターンaでは、マウントブローバルブ20が開となるタイミングt1から流量が増加し、マウントブロー時間TBが経過したタイミングt2においては実到達流量faはしきい値範囲内にあり、この場合には、マウントブローバルブ20が正常であると判定されるための条件を満たしている。これに対し、図4(b)はバルブ動作異常の例を示している。実線で示す流量パターンbでは、マウントブロー時間TBが経過したタイミングt2において実到達流量fbが下限流量f1に満たず、内部に異物付着など流路を塞ぐような異常が生じていることを示している。
【0025】
次に、真空吸引系の異常検出処理について説明する。この異常検出処理は、電子部品実装装置を継続的に稼働させる際に、所定累積稼動時間ごとに定期的に、またはエアブロー系に起因すると認められる何らかの不具合が発生したときには随時に、実行される処理である。
【0026】
まず、対象となる移載ヘッド8の単位移載ヘッド8aに計測用の基準吸着ノズルを装着して、エアブロー系の状態を計測用の条件に設定する。次いでエア供給源21が駆動し、さらの切換バルブ11がエアブロー側に切り換えられた状態で、マウントブローバルブ20を開にする。これにより、吸着ノズル10から正圧空気が吐出される。
【0027】
このとき、流量センサ12は常にエアブロー回路内を流れる流量を連続的に計測しており、この流量計測データは逐次判定部14によって取り込まれる。そして所定のバルブ開放時間が経過したならば、マウントブローバルブ20を閉にし、その後も流量計測データの取り込みを行う。そして流量計測によって求められた流量パターンに基づいて、エアブロー系のマウントブローバルブ20の異常の有無を判定部14によって判定する。
【0028】
すなわち求められた流量パターンから、図4に示すように、マウントブローバルブ20を開にした後の実到達流量fを求める。そして、求められた値を、記憶部16に記憶されたしきい値範囲と比較することにより、マウントブローバルブ20の異常の有無を判定する。この判定結果は制御部15に伝達され、判定結果によって雨ントブローバルブ20の清掃や交換を必要とする場合には、報知部17によってその旨報知される。
【0029】
上記説明したように、流量計測によって求められた流量パターンに基づいて真空吸引系の異常の有無を判断することにより、移載ヘッドから機能部品を取り外すことなく、簡便な方法で真空吸引系の異常の有無を検出することができ、エアブロー系の異常に起因する動作不具合の発生を減少させることができる。
【0030】
なお上記実施の形態では、エアブロー系のマウントブローバルブの異常について説明したが、エアブロー系を構成する他の機能部品、例えばフィルタや配管継ぎ手など経時劣化や装着異常などによって流量に変化を生じる特性を有するものであれば、本発明の対象とすることが可能である。
【0031】
また上記実施の形態では、到達流量を正否判定のパラメータとして用いる例を示しているが、流量の経時的変化を示す流量パターンからどのようなパラメータを抽出するかは任意であり、流量の変化率や流量積分値など、対象に応じて各種のパラメータを定義して判定に用いることができる。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、エアブロー手段を駆動して正圧空気を供給しながらエアブロー系のエアブロー回路に介設された流量センサによってエアブロー回路を通過する空気の流量を計測する工程と、流量計測によって求められた流量の経時的変化を示す流量パターンに基づいて、エアブロー回路の異常の有無を判定するようにしたので、簡便な方法でエアブロー回路の異常の有無を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移載ヘッドの構成を示す図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の真空吸引・エアブロー系および制御系の構成を示すブロック図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるエアブロー系の異常検出用流量パターンの説明図
【符号の説明】
1 基台
3 基板
4 部品供給部
8 移載ヘッド
10 吸着ノズル
11 切換バルブ
12 流量センサ
13 真空ポンプ
14 判定部
15 制御部
16 記憶部
20 マウントブローバルブ
21 エア供給源[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate and an electronic component mounting apparatus for detecting the presence or absence of an abnormality in an air blow circuit that discharges positive pressure air from a suction nozzle that sucks and holds the electronic component in the electronic component mounting apparatus. The present invention relates to an air blow circuit abnormality detection method.
[0002]
[Prior art]
As a method for holding an electronic component in an electronic component mounting apparatus for mounting the electronic component on a substrate, a method using vacuum suction is used. In this method, the electronic component is held by using the negative pressure generated by vacuum suction from the suction hole in a state where the suction nozzle having the suction hole provided at the lower end is in contact with the upper surface of the electronic component. is there. When mounting the electronic component held by the suction nozzle on the substrate, the electronic component is detached from the suction nozzle by releasing the vacuum suction. At this time, in order to quickly and reliably remove the electronic components, positive pressure air is applied to the suction nozzle to break the vacuum in the suction circuit, and the electronic components are removed by slightly blowing air from the suction nozzle. Air blow is performed.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In this air blow system, the discharge state tends to change due to malfunction of each part of the air blow system, such as an air supply source for applying positive pressure and a blow valve that turns on and off the air blow, and reliable removal of electronic components is not guaranteed There is a drawback. For this reason, in an electronic component mounting apparatus provided with an air blow system, it is necessary to check whether the air blow system is functioning normally.
[0004]
However, in the air blow system functional inspection, it is necessary to remove the functional parts such as the blow valve from the transfer head and inspect the individual parts for abnormalities. However, simplification of work has been desired.
[0005]
Accordingly, the present invention provides an electronic component mounting apparatus capable of detecting the presence or absence of an abnormality in an air blow circuit for discharging positive pressure air from an adsorption nozzle by a simple method, and an abnormality detection method for an air blow circuit in the electronic component mounting apparatus. With the goal.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The electronic component mounting apparatus according to
[0007]
An abnormality detection method for an air blow system in an electronic component mounting apparatus according to
[0008]
According to the present invention, the step of measuring the flow rate of air passing through the air blow circuit supplies positive pressure air to drive the air blow means by the flow rate sensor which is interposed in the air blow circuit Lae Aburo system, flow rate By determining the presence / absence of an abnormality in the air blow circuit based on a flow rate pattern indicating a temporal change in the flow rate obtained by measurement, the presence / absence of an abnormality in the air blow circuit can be detected by a simple method.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a transfer head of the electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of a vacuum suction / air blow system and a control system of the electronic component mounting apparatus of one embodiment, and FIG. 4 is a flow pattern for detecting an abnormality of the air blow system in the electronic component mounting apparatus of one embodiment of the present invention. It is explanatory drawing.
[0010]
First, the structure of the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a
[0011]
Y-axis tables 6A and 6B are disposed on both ends of the upper surface of the
[0012]
When the Y-axis table 6A, the X-axis table 7A, the Y-axis table 6B, and the X-axis table 7B are driven in combination, the
[0013]
Next, the
[0014]
Here, the configuration of a vacuum suction / air blow system for vacuum suction from the
[0015]
The
[0016]
The
[0017]
In this air blowing operation, the
[0018]
The
[0019]
Next, abnormality detection of an air blow system that performs air blow by discharging positive pressure air supplied from the
[0020]
In general, the mount blow valve has a valve capacity indicated by the flow rate of air allowed in the open state, and the control means in addition to the sealing performance that reliably shuts off the air flow in the closed state. Responsiveness that operates reliably within a predetermined time in response to the signal from the signal is required. Since it is difficult to confirm such valve operating status by simple inspections such as visual inspection, the vacuum valve has been removed from the transfer head in the past during maintenance inspections, and performance inspection was performed using a dedicated test device. Therefore, it is necessary to determine whether the operation state is acceptable.
[0021]
On the other hand, in the present embodiment, the characteristics indicating the operating state of the
[0022]
Hereinafter, the flow rate pattern will be described with reference to FIG. 4 (a) and 4 (b) show that while the reference suction nozzle for measurement is mounted on the mounting
[0023]
FIG. 4A shows a reference flow rate pattern. When a normal
[0024]
In the flow rate pattern a shown in FIG. 4A, the flow rate increases from the timing t1 when the
[0025]
Next, the abnormality detection process of the vacuum suction system will be described. This abnormality detection process is a process that is executed periodically when the electronic component mounting apparatus is continuously operated, or at any time when a malfunction that is recognized as being caused by an air blow system occurs, every predetermined cumulative operation time. It is.
[0026]
First, a reference suction nozzle for measurement is mounted on the
[0027]
At this time, the
[0028]
That is, as shown in FIG. 4, the actual flow rate f after opening the
[0029]
As described above, by determining whether there is an abnormality in the vacuum suction system based on the flow rate pattern obtained by the flow measurement, the vacuum suction system abnormality can be detected in a simple manner without removing functional parts from the transfer head. It is possible to detect the presence or absence of a malfunction and to reduce the occurrence of malfunctions due to abnormalities in the air blow system.
[0030]
In the above embodiment, the abnormality of the air blow system mount blow valve has been described. However, the characteristics that cause the flow rate to change due to deterioration with time or abnormal mounting such as other functional parts constituting the air blow system, such as filters and pipe joints. If it has, it can be the object of the present invention.
[0031]
In the above embodiment, an example is shown in which the reached flow rate is used as a parameter for determining whether or not the flow rate is correct. However, what parameters are extracted from the flow rate pattern indicating the change over time in the flow rate is arbitrary, and the rate of change in the flow rate It is possible to define various parameters according to the object such as the flow rate integral value and the flow rate integral value and use them for the determination.
[0032]
【The invention's effect】
According to the present invention, the step of measuring the flow rate of air passing through the air blow circuit by the flow rate sensor provided in the air blow circuit of the air blow system while driving the air blow means and supplying positive pressure air is obtained by the flow rate measurement. Since the presence / absence of abnormality of the air blow circuit is determined based on the flow rate pattern indicating the change of the flow rate with time, the presence / absence of abnormality of the air blow circuit can be detected by a simple method.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a transfer head of the electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of a vacuum suction / air blow system and a control system of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment. FIG. 4 is a flow pattern for detecting abnormality of the air blow system in the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. Explanation drawing [Explanation of symbols]
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