JP4002918B2 - 窒化物含有半導体装置 - Google Patents

Description

本発明は、電力制御に用いられる窒化物含有半導体装置に係り、特に、窒化物を含有する横型電力用ＦＥＴに関する。

スイッチング電源やインバータ等の回路には、スイッチング素子やダイオード等、電力制御に用いられる電力用半導体素子（パワー半導体素子）が用いられ、このパワー半導体素子には、高耐圧及び低オン抵抗が求められる。

そして、半導体素子の耐圧とオン抵抗との間には、素子材料によって決まるトレードオフの関係がある。

主な素子材料であるシリコンを用いた場合のパワー半導体素子においては、これまでの技術開発の進展により、既に限界近くまで低オン抵抗が実現されている。

従って、パワー半導体素子のオン抵抗をさらに低減するには、素子材料の変更が必要である。窒化ガリウム（ＧａＮ）や窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）等の窒化物含有半導体や炭化珪素（シリコンカーバイド：ＳｉＣ）等のワイドバンドギャップ半導体をスイッチング素子材料として用いることにより、材料によって決まる上記トレードオフの関係を改善することができ、素子の飛躍的な低オン抵抗化を図ることが可能である。

現在、ワイドバンドギャップ半導体を用いたパワー半導体素子の研究が盛んに行われているが、窒化ガリウム（ＧａＮ）等の窒化物含有半導体素子は、低オン抵抗化は実現されてはいるが、アバランシェ耐量等、パワー半導体素子の特性を考慮した設計は行われていない。これは、窒化ガリウム（ＧａＮ）系素子は、通信用素子を基礎として設計が行われているためである。

尚、窒化ガリウム（ＧａＮ）を素子材料として用いたいくつかの半導体素子がこれまでに提案され、公知となっている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−１６８１１１号公報

本発明の目的は、高アバランシェ耐量を有する、高耐圧且つ超低オン抵抗の窒化物含有電力用半導体装置を提供することである。

本発明の実施の一形態に係る窒化物含有半導体装置によれば、
チャネル層として形成されたノンドープの第１の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｘＧａ_１−ｘＮ（０≦ｘ≦１））層と、
上記第１の窒化アルミニウムガリウム層上にバリア層として形成されたノンドープ又はｎ型の第２の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｙＧａ_１−ｙＮ（０≦ｙ≦１，ｘ＜ｙ））層と、
上記第２の窒化アルミニウムガリウム層上の所定領域に所定間隔ごとに形成されたストライプ状の部分を有するｐ型の第３の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｚＧａ_１−ｚＮ（０≦ｚ≦１））層と、
上記第３の窒化アルミニウムガリウム層の一端に電気的に接続されるように上記第２の窒化アルミニウムガリウム層上に形成されたソース電極と、
上記第３の窒化アルミニウムガリウム層の他端から離隔して上記第２の窒化アルミニウムガリウム層上に形成されたドレイン電極と、
上記ソース電極と上記ドレイン電極との間であって上記第３の窒化アルミニウムガリウム層の他端よりも上記ソース電極寄りに上記第２の窒化アルミニウムガリウム層上に形成されたゲート電極と、
を備えていることを特徴とする。

本発明の実施の一形態に係る窒化物含有半導体装置は、上記構成により、高アバランシェ耐量を有する、超低オン抵抗の窒化物含有電力用半導体装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、図面中の同一部分には同一符号を付している。

図１は、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

窒化ガリウム（ＧａＮ）層１は、第１の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｘＧａ_１−ｘＮ（０≦ｘ≦１））層として形成されたものであり、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２は、第２の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｙＧａ_１−ｙＮ（０≦ｙ≦１，ｘ＜ｙ））層として形成されたものである。

また、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたゲート電極６は、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にショットキー接合を形成している。

上記構造にも表れているように、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を含む横型窒化ガリウム系高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ：High Electron Mobility Transistor）である。

また、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、第３の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｚＧａ_１−ｚＮ（０≦ｚ≦１））層として形成されたものであり、従来のＨＥＭＴ構造には存在しなかった構成要素である。

従来のＨＥＭＴ構造においては、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３が形成されていないため、ドレイン電極５に高電圧が印加されると、ゲート電極６端部やドレイン電極５端部でアバランシェ降伏が起こる。このときに発生したホールは、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の存在によってゲート電極６から速やかに排出されず、チャネル層としての窒化ガリウム（ＧａＮ）層１に蓄積されてしまう。そのため、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１内の電界がさらに大きくなって、アバランシェ降伏電流が増大し、素子の破壊に至る。即ち、従来のＨＥＭＴ構造は、アバランシェ降伏に対する耐量が小さかった。

一方、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、ソース電極４に電気的に接続され、ゲート電極６よりもドレイン電極５側に突出して延在するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３をｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成しているので、ドレイン電極５に高電圧が印加されると、アバランシェ降伏は、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間に形成されるｐｎ接合で起こる。従って、発生したホールは、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を介して速やかにソース電極４に排出される。即ち、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、ホールの抜け道となる避雷針的機能を果たすことになる。そのため、チャネル層としての窒化ガリウム（ＧａＮ）層１にホールが蓄積されることがなくなり、高いアバランシェ耐量を実現することができる。

尚、窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２は、ｎ型層ではなくノンドープ層として形成しても実施可能である。

ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、上述のように、第３の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｚＧａ_１−ｚＮ（０≦ｚ≦１））層として形成されたものであるから、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層ではなくｐ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層として形成しても実施可能である。

また、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、本実施の形態においては、所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成するものとしているが、「所定間隔ごと」とは一定間隔ごとでなくてもよく、必ずしも相互に略平行でなくてもよい。

さらに、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の水平断面形状は任意であるが、本実施の形態及び後述する他の実施の形態のように、ストライプ状の部分を有する形状であると、所期の効果を容易に得ることができる。

図２は、本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

即ち、本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に対して、ゲート電極６直下のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を追加して形成したものである。換言すると、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７は、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２とゲート電極６との間に挟み込まれるように形成されている。

このｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を形成したことにより、ゲート電極６に電圧を印加していない状態でｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７直下のチャネルは空乏化され、ノーマリオフを実現することができる。

ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３が形成されていない従来のノーマリオフ型ＨＥＭＴ構造においては、アバランシェ降伏が起きると、ホールがｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を介してゲート電極６に流れ込むため、アバランシェ降伏時に素子が破壊に至らなくてもゲート駆動回路が破壊されてしまうという問題点があった。

一方、本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置のように、ゲート電極６直下にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７が形成されているノーマリオフ型ＨＥＭＴ構造においても、ソース電極４に電気的に接続され、ゲート電極６よりもドレイン電極５側に突出して延在するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３をｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成することにより、アバランシェ降伏時にゲート駆動回路に負担をかけることを回避し、高いアバランシェ耐量を実現することができる。

尚、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７とは、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層を結晶成長させた後、エッチングによりパターニングすることによって同時に形成することが可能である。

図３は、本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３とｐ型窒化ガリウム層７との間隔ｄ、及び、ｐ型窒化ガリウム層７の長さ（チャネル長）Ｌを示す平面図である。

図３に示すように、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７との間隔ｄとは、両者間の距離のことであり、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７の長さ、即ち、チャネル長Ｌとは、ソース電極４からドレイン電極に向かう方向におけるｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７の寸法のことである。

本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７との間隔ｄを、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７の長さ、即ち、チャネル長Ｌよりも短くすることによって、換言すると、上記間隔ｄとチャネル長Ｌとの関係を不等式Ｌ＞ｄが成立するように設定することによって、ゲート電極６直下のチャネルを確実に空乏化してノーマリオフを実現し、ドレイン電圧に対するゲート閾値電圧の変動を小さくすることができる。

図４は、本発明の第３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７上に形成されたゲート電極６と、ゲート電極６及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆して形成された絶縁膜８と、ゲート電極６及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆するように絶縁膜８上に形成され、ソース電極４に電気的に接続されたフィールドプレート電極９と、を備えている。

即ち、本発明の第３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に対して、絶縁膜８を介してゲート電極６及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆するように形成され、ソース電極４に電気的に接続されたフィールドプレート電極９を追加して形成したものである。

このフィールドプレート電極９を形成したことにより、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３端部の電界を緩和して、高耐圧を実現することができる。

尚、フィールドプレート電極９は、本実施の形態に限らず、他の実施の形態において形成してもよい。

図５は、本発明の第４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７上に形成されたゲート電極６と、ゲート電極６及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆して形成された絶縁膜８と、ゲート電極６及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆するように絶縁膜８上に形成され、ソース電極４に電気的に接続されたフィールドプレート電極９と、ドレイン電極５近傍領域を被覆するように絶縁膜８上に形成され、ドレイン電極５に電気的に接続された第２のフィールドプレート電極１０と、を備えている。

即ち、本発明の第４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に対して、さらに、絶縁膜８を介してドレイン電極５近傍領域を被覆するように形成され、ドレイン電極５に電気的に接続された第２のフィールドプレート電極１０を追加して形成したものである。

この第２のフィールドプレート電極１０を形成したことにより、ドレイン電極５端部の電界も緩和して、さらに高耐圧を実現することができる。

また、本発明の第４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構造において、ドレイン電極５に高電圧が印加されたときに、アバランシェ降伏が起こるとすれば、ドレイン電極５端部ではなく、確実にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３端部で起こるようにすることにより、ホールが確実に排出されるようにして高いアバランシェ耐量を確保することが可能である。

そのためには、ゲート電極６端部からフィールドプレート電極９端部までの距離を、ドレイン電極５端部から第２のフィールドプレート電極１０端部までの距離よりも短くするとよい。

尚、フィールドプレート電極９及び第２のフィールドプレート電極１０は、本実施の形態に限らず、他の実施の形態において形成してもよい。

図６は、本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆して形成されたゲート絶縁膜１１と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにゲート絶縁膜１１上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と異なり、ゲート電極６とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にゲート絶縁膜１１が形成されている。

従って、ゲート電極６は、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にショットキー接合を形成せず、本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、ＭＩＳゲート構造となる。

上記構造にも表れているように、本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を含むＭＩＳゲート構造の横型窒化ガリウム系電界効果トランジスタ（ＭＩＳ−ＨＦＥＴ）である。

本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果が得られる他、ゲート絶縁膜１１を形成したことにより、ゲートリーク電流を劇的に小さくすることができ、ゲート駆動回路の負荷を軽減することができる。

図７は、本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７と、ソース電極４とドレイン電極５との間のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を被覆して形成されたゲート絶縁膜１１と、ゲート絶縁膜１１上のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７上の領域に形成されたゲート電極６と、を備えている。

即ち、本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に対して、ゲート電極６直下のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２とゲート絶縁膜１１との間にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を追加して形成したものである。換言すると、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７は、ゲート絶縁膜１１を介してゲート電極６とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間に挟み込まれるように形成されている。

このｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を形成したことにより、ＭＩＳゲート構造の横型窒化ガリウム系電界効果トランジスタ（ＭＩＳ−ＨＦＥＴ）においても、ゲート電極６に電圧を印加していない状態でｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７直下のチャネルは空乏化され、ノーマリオフを実現することができる。

従来のノーマリオフ型電界効果トランジスタでは、ＭＩＳゲート構造を採用すると、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７がいずれの電極にも接続されない状態となるため、アバランシェ降伏時に発生するホールの排出が不可能となり、アバランシェ耐量は非常に小さかった。

一方、本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、ソース電極４に電気的に接続され、ゲート電極６よりもドレイン電極５側に突出して延在するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３がｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されているので、アバランシェ耐量を確保したまま、ゲート構造をＭＩＳゲート化することができる。

ところで、ゲート絶縁膜と半導体層との界面には、界面準位が存在する。高温状態でゲート／ドレイン間に電圧が印加されると、上記界面準位にキャリアがトラップされて、固定電荷が発生したような状態になる。

そして、従来のＭＩＳゲート構造電界効果トランジスタでは、ゲート絶縁膜に阻まれて電流は流れることができないため、上記固定電荷を除去することができない。その結果、素子内の電界分布が変化してしまう。また、固定電荷の量が大きくなり過ぎると、素子耐圧を低下させる結果にもなる。

一方、本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、界面準位にキャリアがトラップされたとしても、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とドレイン電極５との間で電流を流すことができるため、固定電荷とはならない。

このように、本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構造は、高温状態での信頼性の向上にも有効である。

図８は、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。

本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、上述した本発明の各実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に適用可能な素子ブロック全体の平面構成に関するものである。

図８に示すように、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の素子ブロックは、素子ブロックの素子領域に延在する素子領域ソース電極配線、素子ブロックの周縁部近傍を周回して形成された周縁部ソース電極配線、並びに、素子領域ソース電極配線及び周縁部ソース電極配線と外部との接続に用いられる引出部ソース電極配線を有するソース電極４と、素子ブロックの素子領域に延在する素子領域ドレイン電極配線、及び、素子領域ドレイン電極配線と外部との接続に用いられる引出部ドレイン電極配線を有するドレイン電極５と、一端が素子領域ソース電極配線に電気的に接続され、他端が素子領域ドレイン電極配線から離隔するように、素子領域ソース電極配線から素子領域ドレイン電極配線に向かってストライプ状に且つ所定間隔ごとに略平行に形成された素子領域ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層、周縁部ソース電極配線に電気的に接続され、引出部ドレイン電極配線から離隔するように、周縁部ソース電極配線と引出部ドレイン電極配線との間に形成された素子領域外ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層、及び、周縁部ソース電極配線を包囲して素子分離領域に形成され、素子ブロックと周囲とを絶縁分離する素子分離領域ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層を有するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、素子領域ソース電極配線と素子領域ドレイン電極配線との間であって素子領域ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層の素子領域ドレイン電極配線側端部よりも素子領域ソース電極配線よりに形成されたゲート電極６と、ゲート電極と外部との接続に用いられるゲート引出電極１２と、を備えている。

即ち、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、素子ブロック周縁部を包囲し、素子ブロックと周囲とを絶縁分離する素子分離領域をｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３によって形成している点が、従来の素子構造と異なっている。

従来の素子構造では、エッチングやイオン注入により素子分離領域を形成していた。

これに対して、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、素子分離領域ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３によって素子ブロック周縁部を包囲することによってｐｎ分離を行うのと同様な効果が得られるため、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３のパターン形成と素子分離プロセスとを同時に行うことができる。

尚、素子ブロックの素子領域においては、ソース電極４及びドレイン電極５と平行な方向に沿って見ると、所定間隔ごとに形成されているゲート電極６と交互に配置された状態で所定間隔ごとにストライプ状の素子領域ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３が形成されているので、ゲート電極６を引き出すためのゲート引出電極１２が多層配線技術により形成されている。

また、ストライプ状の素子領域ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、必ずしも素子領域に一様に形成する必要はなく、一部領域にのみ形成してもよい。その場合には、当該領域において上述の効果を得ることができる。

図９は、本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。

本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、上述した本発明の各実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に適用可能な素子ブロック全体の平面構成に関するものである。また、本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の一部構成を変更した変形例である。

本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、図９に示すように、素子領域外におけるドレイン電極５の引出部ドレイン電極配線と素子領域外ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との距離Ｌ１が、素子領域におけるドレイン電極５の素子領域ドレイン電極配線と素子領域外ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との距離Ｌ２よりも小さく設定されている。

このようにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とドレイン電極５との距離を素子ブロック内の領域ごとに変化させることによって、アバランシェ降伏の起こる箇所を所定領域に誘導することが可能である。

例えば、図９の例のように、上記距離Ｌ１，Ｌ２の関係を不等式Ｌ１＜Ｌ２が成立するように設定することによって、アバランシェ降伏が起こるとすれば、素子領域ではなく素子領域外で起こるようになる。

従って、アバランシェ降伏による素子領域の破壊を確実に防止することができ、仮にアバランシェ降伏が起こってもゲート駆動回路へのアバランシェ電流の流入を回避することができる。

尚、図８，図９に示した本発明の第７，第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の平面構成に完全に対応しているのは、図１に示した本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置であるが、上述のように、本発明の第７，第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の平面構成は、図２乃至図７に示した本発明の第２乃至第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置、即ち、ノーマリオフ型構造素子やＭＩＳゲート構造素子にも適用可能である。

図１０は、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上の所定領域に所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状の形状を有し、かつ、所定位置において長手方向と交差する方向に突出する突出部を有するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の長手方向の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の長手方向の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆して形成されたゲート絶縁膜１１と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の長手方向の他端よりもソース電極４寄りに、かつ、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の突出部にゲート絶縁膜１１を介して一部が重なり合うように、ゲート絶縁膜１１上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、図６に示した本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を含み、かつ、ゲート電極６とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にゲート絶縁膜１１が形成されているＭＩＳゲート構造の横型窒化ガリウム系電界効果トランジスタ（ＭＩＳ−ＨＦＥＴ）である。

但し、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３が単純なストライプ状の形状ではなく、所定位置において長手方向と交差する方向に突出する突出部を有している。そして、ゲート電極６が、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の突出部にゲート絶縁膜１１を介して一部が重なり合うように形成されている。

換言すると、ゲート電極６をゲート絶縁膜１１上に形成したときに、ゲート電極６の一部がゲート絶縁膜１１を介してｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の突出部と重なり合うように、予め設計された突出部を有するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を形成しておく。

斯かる構造を採用することによって、ゲート電極６直下のチャネル部分の電位分布は、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３に依存することとなる。

そして、ゲート絶縁膜１１を介してゲート電極６の一端と重なり合う一のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とゲート電極６の他端と重なり合う他のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との間隔を変化させることにより、素子のゲート閾値電圧を調整することができる。例えば、上記二つのｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の間隔を狭小化することにより、素子のゲート閾値電圧をプラス側に遷移させることができる。

本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の変形例として図７に示した本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構造では、ゲート電極６直下のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７の不純物濃度に依存して素子のゲート閾値電圧が変動するのに対して、図１０に示す本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置では、ゲート絶縁膜１１を介してゲート電極６の両端とそれぞれ重なり合う二つのｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の間隔に依存して素子のゲート閾値電圧が変動する。

通常、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層の不純物活性化率は低く、活性化した不純物濃度はばらつき易い。このため、素子のゲート閾値電圧をゲート電極６直下のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７の不純物濃度によって調整する場合、素子のゲート閾値電圧もばらつき易くなる。

しかし、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構造においては、素子のゲート閾値電圧がｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の寸法によって決まるので、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の不純物濃度のばらつきは素子のゲート閾値電圧には影響せず、エッチング等の加工精度に依存する加工寸法のばらつきによって素子のゲート閾値電圧のばらつきが決まることになる。

そして、エッチング等の加工精度に依存する加工寸法のばらつきは、結晶成長における不純物濃度のばらつきに比較して小さい。

従って、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果が得られる他、素子のゲート閾値電圧のばらつきを小さく抑制することができる。

図１１は、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３の突出部の長さＬと突出部同士の間隔Ｗとを示す平面図である。

ｐ型窒化ガリウム層３の突出部の長さＬは、ソース電極４からドレイン電極５へ向かう方向、即ち、ストライプ状のｐ型窒化ガリウム層３の長手方向におけるｐ型窒化ガリウム層３の突出部の寸法である。

また、ｐ型窒化ガリウム層３の突出部同士の間隔Ｗは、ゲート絶縁膜１１を介してゲート電極６の一端と重なり合う一のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とゲート電極６の他端と重なり合う他のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との間隔である。

ここでは、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３の突出部同士の間隔Ｗを、突出部の長さＬよりも小さく、即ち、間隔Ｗと長さＬとの関係を不等式Ｗ＜Ｌが成立するように設定している。

ドレイン電極５に高電圧が印加されると、ゲート／ドレイン電極間の電位分布だけでなく、ゲート電極６直下のチャネル部分の電位分布にも影響が及ぶ。

このとき、ゲート電圧が閾値電圧より小さい値であっても、チャネル部分の電位障壁がドレイン電圧により押し下げられると、ソース／ドレイン間に電流が流れるようになってオフリーク電流が増大し、ソフトブレークダウンを起こすことがある。

しかし、図１１に示すような寸法の設定を行うことによって、ドレインからの電界がｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３に遮蔽され、チャネル部分の電位分布の変化を防止することができ、結果として、ソフトブレークダウンの発生を抑制することができる。

図１２は、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３同士の間隔Ｗｂと、ゲート電極６のドレイン電極５側端部からｐ型窒化ガリウム層３のドレイン電極５側端部までの距離Ｌｂとを示す平面図である。

ここでは、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３同士の間隔Ｗｂを、ゲート電極６のドレイン電極５側端部からｐ型窒化ガリウム層３のドレイン電極５側端部までの距離Ｌｂよりも小さく、即ち、間隔Ｗｂと距離Ｌｂとの関係を不等式Ｗｂ＜Ｌｂが成立するように設定している。

このような寸法の設定を行うことによって、ドレイン電極５にさらに高電圧が印加された場合においても、チャネル部分の電位分布は影響を受けにくくなり、ドレイン電圧の上昇に伴うオフリーク電流の増加を抑制することができる。

図１３は、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の所定領域にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の表面から窒化ガリウム（ＧａＮ）層１の表面部に至る深さに所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状の凹陥部にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上まで突出して形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

図１に示した本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３がｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されていたのに対し、図１０に示す本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の表面から窒化ガリウム（ＧａＮ）層１の表面部に至る深さの凹陥部にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上まで突出して形成されている。即ち、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１内部にまで埋め込まれて形成されている点が、本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と異なっている。

ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３がｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されている本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置では、ドレイン電極５に高電圧が印加されてアバランシェ降伏が起きた際に窒化ガリウム（ＧａＮ）層１内部で発生したホールは、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２／窒化ガリウム（ＧａＮ）層１のヘテロ界面におけるバンド不連続が障壁となって、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３に流れ込み難い。

しかし、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置では、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１とｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との間に、上記バンド不連続が存在しないので、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１内部で発生したホールは、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を介して速やかに排出される。

また、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２とｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との接合においてアバランシェ降伏が起きても、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２とｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とが接しているので、ホールは、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を介して速やかに排出される。

以上のような構造により、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、高いアバランシェ耐量を確保することができる。

図１４は、本発明の第１１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の所定領域にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の表面から窒化ガリウム（ＧａＮ）層１の表面部に至る深さに所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状の凹陥部にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上まで突出して形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆して形成されたゲート絶縁膜１１と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにゲート絶縁膜１１上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

本発明の第１１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、図６に示した本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を含み、かつ、ゲート電極６とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にゲート絶縁膜１１が形成されているＭＩＳゲート構造の横型窒化ガリウム系電界効果トランジスタ（ＭＩＳ−ＨＦＥＴ）である。

但し、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３及びその周辺の構造については、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の構造となっている。

ＭＩＳゲート構造の本発明の第１１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においても、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の上記効果を得ることができる。

図１５は、本発明の第１２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の所定領域にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の表面から窒化ガリウム（ＧａＮ）層１の表面部に至る深さに所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状の形状を有し、かつ、所定位置において長手方向と交差する方向に突出する突出部を有する凹陥部にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上まで突出して形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の長手方向の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の長手方向の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を被覆して形成されたゲート絶縁膜１１と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の長手方向の他端よりもソース電極４寄りに、かつ、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の突出部にゲート絶縁膜１１を介して一部が重なり合うように、ゲート絶縁膜１１上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

本発明の第１２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、図１０に示した本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３が、単純なストライプ状の形状ではなく、所定位置において長手方向と交差する方向に突出する突出部を有しており、かつ、ゲート電極６が、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の突出部にゲート絶縁膜１１を介して一部が重なり合うように形成されている。

ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の水平断面形状は上述の通りであるが、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３及びその周辺の垂直断面構造については、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の構造となっている。

ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の形状が変更されている本発明の第１２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においても、本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果が得られる他、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果を得ることができる。

図１６は、本発明の第１３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の所定領域にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の表面から窒化ガリウム（ＧａＮ）層１の表面部に至る深さに所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状の凹陥部にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上まで突出して形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７上に形成されたゲート電極６と、を備えている。

本発明の第１３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、図２に示した本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、ゲート電極６直下にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７が形成されているノーマリオフ型ＨＥＭＴ構造を有している。

但し、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３及びその周辺の構造については、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の構造となっている。

ノーマリオフ型ＨＥＭＴ構造を有する本発明の第１３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においても、本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果が得られる他、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果を得ることができる。

図１７は、本発明の第１４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、チャネル層として形成されたノンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）層１と、窒化ガリウム（ＧａＮ）層１上にバリア層として形成されたｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２と、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の所定領域にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２の表面から窒化ガリウム（ＧａＮ）層１の表面部に至る深さに所定間隔ごとに略平行に形成されたストライプ状の凹陥部にｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上まで突出して形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の一端に電気的に接続されるようにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたソース電極４と、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端から離隔してｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたドレイン電極５と、ソース電極４とドレイン電極５との間であってｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３の他端よりもソース電極４寄りにｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２上に形成されたｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７と、ソース電極４とドレイン電極５との間のｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２並びにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３及びｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７を被覆して形成されたゲート絶縁膜１１と、ゲート絶縁膜１１上のｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７上の領域に形成されたゲート電極６と、を備えている。

本発明の第１４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、図７に示した本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を含み、ゲート電極６とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にゲート絶縁膜１１が形成されており、さらに、ゲート電極６直下のゲート絶縁膜１１とｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２との間にｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層７が形成されているノーマリオフ型であってＭＩＳゲート構造の横型窒化ガリウム系電界効果トランジスタ（ＭＩＳ−ＨＦＥＴ）である。

但し、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３及びその周辺の構造については、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の構造となっている。

ノーマリオフ型であってＭＩＳゲート構造の本発明の第１４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においても、本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果が得られる他、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果を得ることができる。

図１８は、本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。尚、断面図（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、平面図（ａ）に示されている線分ＡＡ’及びＢＢ’における断面構造を示している。

本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に適用可能な素子ブロック全体の平面構成に関するものである。

図１８（ａ）に示すように、本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の素子ブロックの平面構成は、図８に示した本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の素子ブロックの平面構成と同様である。

一方、本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の素子ブロックの断面構造は、図１８（ｂ）及び図１８（ｃ）に示すように、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の断面構造と同様であり、従って、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に対応する本発明の第１乃至第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の断面構造とは異なっている。

本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置も、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、素子ブロック周縁部を包囲し、素子ブロックと周囲とを絶縁分離する素子分離領域をｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３によって形成している。

ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３によって素子ブロック周縁部を包囲することによってｐｎ分離を行うのと同様な効果が得られるため、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３のパターン形成と素子分離プロセスとを同時に行うことができる。

即ち、本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の断面構造を有する本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においても、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様の効果を得ることができる。

図１９は、本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。

本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置に適用可能な素子ブロック全体の平面構成に関するものである。また、本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置は、本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の一部構成を変更した変形例である。

尚、本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置との関係は、本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置との関係に相当する。

本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、図１９に示すように、素子領域外におけるドレイン電極５の引出部ドレイン電極配線と素子領域外ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との距離Ｌ１が、素子領域におけるドレイン電極５の素子領域ドレイン電極配線と素子領域外ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３との距離Ｌ２よりも小さく設定されている。

このようにｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３とドレイン電極５との距離を素子ブロック内の領域ごとに変化させることによって、例えば、図１９の例のように、上記距離Ｌ１，Ｌ２の関係を不等式Ｌ１＜Ｌ２が成立するように設定することによって、アバランシェ降伏の起こる箇所を所定領域に誘導し、アバランシェ降伏が起こるとすれば、素子領域ではなく素子領域外で起こるようにすることが可能である。

従って、本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においても、本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置と同様に、アバランシェ降伏による素子領域の破壊を確実に防止することができ、仮にアバランシェ降伏が起こってもゲート駆動回路へのアバランシェ電流の流入を回避することができる。

尚、図１８，図１９に示した本発明の第１５，第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の平面構成に完全に対応しているのは、図１３に示した本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置であるが、本発明の第１５，第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の平面構成は、図１４乃至図１７に示した本発明の第１１乃至第１４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置、即ち、ノーマリオフ型構造素子やＭＩＳゲート構造素子にも適用可能である。

以上に説明したように、本発明の各実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置によれば、ソース電極４に電気的に接続され、ゲート電極６よりもドレイン電極５側に突出して延在するｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を形成しているので、アバランシェ降伏が起こったとしても、発生したホールは、ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３を介して速やかにソース電極４に排出されるので、チャネル層としての窒化ガリウム（ＧａＮ）層１にホールが蓄積されることがなくなり、高いアバランシェ耐量を実現することができる。

従って、高アバランシェ耐量を有する、高耐圧且つ超低オン抵抗の窒化物含有電力用半導体装置を提供することができる。

尚、上記説明においては、本発明を第１乃至第１６の実施の形態を例に説明したが、本発明は、それらの実施の形態に限定されるものではなく、それら以外にも当業者が容易に想到し得る変形例の総てに適用可能である。

例えば、ホール排出に用いるｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層３は、ホール排出の観点から、ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２よりもバンドギャップが狭いこと、即ち、アルミニウム（Ａｌ）の組成比が小さいことが望ましい。

ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層２は、ｎ型ではなくｐ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層としても実施可能である。また、コンタクト抵抗を下げるために、窒化インジウムガリウム（ＩｎＧａＮ）層等のバンドギャップの狭い半導体層を用いてもよく、窒化インジウムガリウム（ＩｎＧａＮ）層をコンタクト層として挿入することも可能である。

さらに、図５及び図６に示したフィールドプレート構造は、図７乃至図１９に示した構造に適用しても、高耐圧化に有効である。

尚、上記本発明の各実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置においては、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を含む半導体装置について説明したが、窒化ガリウム／窒化インジウムガリウム（ＧａＮ／ＩｎＧａＮ）構造や窒化アルミニウム／窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＮ／ＡｌＧａＮ）構造を含む半導体装置にも、本発明の構成は適用可能である。

また、窒化アルミニウムガリウム／窒化ガリウム（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ）ヘテロ構造を形成する基板材料に関しては特に記述していないが、本発明は、サファイア基板、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）基板、シリコン（Ｓｉ）基板等の基板材料には依存せず、基板の導電性又は絶縁性といった特性にも関係なく実施可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３とｐ型窒化ガリウム層７との間隔ｄ、及び、ｐ型窒化ガリウム層７の長さ（チャネル長）Ｌを示す平面図である。 本発明の第３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第７の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。 本発明の第８の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。 本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３の突出部の長さＬと突出部同士の間隔Ｗとを示す平面図である。 本発明の第９の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置におけるｐ型窒化ガリウム層３同士の間隔Ｗｂと、ゲート電極６のドレイン電極５側端部からｐ型窒化ガリウム層３のドレイン電極５側端部までの距離Ｌｂとを示す平面図である。 本発明の第１０の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第１１の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第１２の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第１３の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第１４の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第１５の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図（ａ）並びに断面図（ｂ）及び（ｃ）である。 本発明の第１６の実施の形態に係る窒化物含有電力用半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。

符号の説明

１ 窒化ガリウム（ＧａＮ）層
２ ｎ型窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層
３ ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層
４ ソース電極
５ ドレイン電極
６ ゲート電極
７ ｐ型窒化ガリウム（ＧａＮ）層
８ 絶縁膜
９ フィールドプレート電極
１０ 第２のフィールドプレート電極
１１ ゲート絶縁膜
１２ ゲート引出電極

Claims (5)

1. チャネル層として形成されたノンドープの第１の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｘＧａ_１−ｘＮ（０≦ｘ≦１））層と、
   前記第１の窒化アルミニウムガリウム層上にバリア層として形成されたノンドープ又はｎ型の第２の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｙＧａ_１−ｙＮ（０≦ｙ≦１，ｘ＜ｙ））層と、
   前記第２の窒化アルミニウムガリウム層上の所定領域に所定間隔ごとに形成されたストライプ状の部分を有するｐ型の第３の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｚＧａ_１−ｚＮ（０≦ｚ≦１））層と、
   前記第３の窒化アルミニウムガリウム層の一端に電気的に接続されるように前記第２の窒化アルミニウムガリウム層上に形成されたソース電極と、
   前記第３の窒化アルミニウムガリウム層の他端から離隔して前記第２の窒化アルミニウムガリウム層上に形成されたドレイン電極と、
   前記ソース電極と前記ドレイン電極との間であって前記第３の窒化アルミニウムガリウム層の他端よりも前記ソース電極寄りに前記第２の窒化アルミニウムガリウム層上に形成されたゲート電極と、
   を備えていることを特徴とする窒化物含有半導体装置。
2. 前記第２の窒化アルミニウムガリウム層と前記ゲート電極との間に形成されたｐ型の第４の窒化アルミニウムガリウム（Ａｌ_ｚＧａ_１−ｚＮ（０≦ｚ≦１））層をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の窒化物含有半導体装置。
3. 前記第３の窒化アルミニウムガリウム層と前記第４の窒化アルミニウムガリウム層との間隔ｄが、前記ソース電極から前記ドレイン電極に向かう方向における前記第４の窒化アルミニウムガリウム層の長さＬよりも短い（ｄ＜Ｌ）ことを特徴とする請求項２に記載の窒化物含有半導体装置。
4. 前記ゲート電極並びに前記第３及び第４の窒化アルミニウムガリウム層を被覆して形成された絶縁膜と、
   前記ゲート電極並びに前記第３及び第４の窒化アルミニウムガリウム層を被覆するように前記絶縁膜上に形成され、前記ソース電極に電気的に接続されたフィールドプレート電極と、
   さらに備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の窒化物含有半導体装置。
5. 前記第２の窒化アルミニウムガリウム層と前記ゲート電極との間に形成されたゲート絶縁膜をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の窒化物含有半導体装置。

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