JP4041637B2

JP4041637B2 - Ｘ線透視検査装置

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Publication number: JP4041637B2
Application number: JP2000099447A
Authority: JP
Inventors: 清英玉木; 英行富沢; 喜一郎宇山
Original assignee: Toshiba IT and Control Systems Corp
Current assignee: Toshiba IT and Control Systems Corp
Priority date: 2000-03-31
Filing date: 2000-03-31
Publication date: 2008-01-30
Anticipated expiration: 2020-03-31
Also published as: JP2001281168A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に非破壊検査に使用するＸ線透視検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
非破壊検査法は、周知のように、被検体を破壊することなく、その内部構造を検査するもので、なかでもＸ線透視検査装置は、様々な製品の非破壊検査において利用されている。
【０００３】
このような非破壊検査が利用されている製品の一つに、電子、電気機器がある。これは、電子機器の小型、軽量化に伴い、電子部品の実装技術において、リードフレームなどを用いず、基板に直接電子部品を実装する技術が開発され、目視では部品と基板との接合点を確認することが出来なくなって来ているために、近年、特に多く利用されているものである。
【０００４】
例えば、基板に電子部品を実装するときＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）を用いた高密度実装技術では、電子部品と基板の間にボール状のハンダを縦横アレイ状にならべて接合し、基板上の配線と電子部品の端子とを電気接続をするものである。
【０００５】
このような高密度実装された製品の検査に用いられる従来のＸ線透視検査装置を図９に示す。
【０００６】
電子部品の実装技術において、その検査に用いられるＸ線透視検査装置、特にＢＧＡ品の検査に用いるＸ線透視検査装置は、ボールのつぶれ具合や、浮きなどを検査するため基板面垂直方向だけでなく、傾斜した方向からの透視が必要である。このため、被検体を傾斜させた方向から透視できるようにするための旋回機構が備えられている。
【０００７】
図９に示す装置では、Ｘ線管１０１から放射されたＸ線ビーム１０３が被検体１０４を透過し、上方に固定された２次元の検出器１０２で検出され透過像が得られる。Ｘ線管１０１と検出器１０２は、図示していない旋回機構によって一体で旋回されて透視角度を変更する。被検体１０４は、テーブル１０５に載置される。テーブル１０５は、ＸＹスライド機構１０６でテーブル面に沿って移動される。このＸＹ移動は被検体１０４の検査個所を透過像視野に入れるために使用される。傾斜する方位は、回転機構１０７によって被検体とＸＹスライド機構全体を回転させることで変更される。また、Ｘ線管１０１と検出器１０２は、それぞれ図示していない昇降機構で昇降でき、透過像の拡大率が変更できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように構成された従来のＸ線透視検査装置では、まず、旋回軸１０８が常に被検体１０４の注目面上にくるわけではないので、傾斜させたときに注目個所が視野からずれてしまう問題がある。
【０００９】
次に、傾斜なしの状態で回転中心が視野中心になるように機構調整しておいても、傾斜させた場合に注目面上の回転中心が視野中心からずれてしまう。したがって、傾斜透視時に傾斜方位を変更すると注目個所が視野からずれてしまう問題がある。また、Ｘ線管１０１と検出器１０２の昇降機構の調整が悪いと、拡大率変更のとき視野ずれが生じる問題もある。
【００１０】
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、透視の傾斜角を変更しても被検体の注目個所が透過像視野からずれることのないＸ線透視検査装置を提供することにある。また、他の目的は、透視の拡大率を変更しても被検体の注目個所が透過像視野からずれることのないＸ線透視検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために請求項１記載の発明は、Ｘ線透視検査装置において、Ｘ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出するＸ線検出器と、被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めするテーブルと、前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の透過像を表示する表示部と、前記テーブルをテーブル面に沿って移動させ前記被検体上の注目位置を変更させる第１のスライド機構と、前記テーブルと前記第１のスライド機構をテーブル面に沿って回転させる回転機構と、前記テーブルと前記第１のスライド機構と前記回転機構及び前記回転の軸を前記テーブル面に沿って移動させる第２のスライド機構と、前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前記Ｘ線検出器を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回させる旋回機構と、前記旋回にともなって前記被検体上の注目位置が、この注目位置を設定するためのデータと予め求められている較正量とに基づいて、前記透過像視野からはずれないように前記第２のスライド機構によって前記テーブルを移動させる視野ずれ補正手段と、を有することを要旨とする。
【００１２】
この発明は、補正手段が、旋回を行ったときの被検体の注目面上の視野中心の動きを計算し、これにあわせて回転中心を第２のスライド機構により移動させることで常に回転中心が注目面上の視野中心に合わせるようにしたものである。したがって、第１のスライド機構で被検体の注目位置を回転中心に、一度合わせれば旋回および回転を行っても注目位置は透過像視野からずれない。なお、ここで注目面とは、注目位置（点）を通ってテーブル面に平行な面のことである。
【００１３】
上記の課題を解決するために請求項２記載の発明は、Ｘ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出するＸ線検出器と、被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めするテーブルと、前記テーブルをテーブル面に沿って移動させる第１のスライド機構と、前記テーブルをテーブル面に沿って回転させる回転機構と、前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前記Ｘ線検出器を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回させる旋回機構と、前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の透過像を表示する表示部と、前記回転と前記旋回にともなって前記被検体の注目位置が、この注目位置を設定するためのデータと予め求められている較正量とに基づいて、透過像視野からはずれないように前記第１のスライド機構により前記テーブルをスライド移動させる視野ずれ補正手段と、を有し、前記較正量は、被検体のテーブル面から距離の異なる２つの注目点について、Ｘ線検出器のみを旋回させたときの２つの角度において、それぞれ該２つの注目点が表示されている透過像画面の同一位置にくるように前記スライド機構をスライド移動させたときの移動量と当該注目点を設定するためのデータとに基づいてＸ線源の位置較正量として得られることを要旨とする。
【００１４】
この発明は、回転および旋回したときの被検体の注目面上の視野中心の動きを計算し、これに合わせて被検体をスライド機構により移動させることで常に注目面上の注目位置が視野中心に合わせられるようにしたものである。したがって、スライド機構で被検体の注目位置を視野中心に一度あわせれば旋回および回転をおこなっても注目位置は透過像視野からずれないようにできる。さらに、この発明は、Ｘ線検出器のみが旋回される構成において、テーブル面からの距離が既知で互いに異なる２つの注目点に対し、それぞれ同一の旋回時のスライド移動量を求め、その比から幾何的にテーブル面とＸ線源の距離を計算して、Ｘ線源の位置較正量として装置に記憶させるようにしたものである。これにより、正確にＸ線源の位置が求められる。
【００１５】
また、請求項３記載の発明は、前記請求項１記載の構成において、前記旋回機構が、前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器の両方を一体的に旋回させることを要旨とする。
【００１６】
この発明は、請求項１の構成において、Ｘ線源およびＸ線検出器の両方を一体的に旋回させるようにした場合でも、旋回および回転を行ったときに注目位置が透過像視野からずれないようにしようとするものである。
【００１７】
上記の課題を解決するために請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線透視検査装置において、前記較正量が、少なくとも３つの旋回角において、被検体の注目点が透過像画面上の同一位置にくるように第１のスライド機構または第２のスライド機構を移動させて、旋回角とそのときのスライド機構の移動量と当該被検体の注目点を設定するためのデータとに基づいて旋回軸の位置較正量として得られることを要旨とする。
【００１８】
この発明は、旋回機構によって旋回される角度範囲の中の少なくとも３つの旋回角において、画面の同一位置と注目面上の注目点とのずれを、スライド機構の移動量として読み取り、この読み取り値を用いて方程式を解いて旋回軸の位置較正量として装置に記憶させる。そして、装置の実使用時に視野ずれ補正手段は、この旋回軸の位置較正量を用いて自動的に視野中心の動きを計算し、第１または第２のスライド機構によりスライドを移動させることで、正確に、かつ確実に視野ずれを補正することができる。
【００１９】
上記の課題を解決するために請求項５の記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線透視検査装置において、前記Ｘ線源を前記被検体に接近離反させる第１の昇降機構と、前記Ｘ線検出器を前記被検体に接近離反させる第２の昇降機構と、予め記憶された第１および第２の昇降機構による接近離反の位置の複数の組み合わせに対する透過像の視野のずれ量をもとに、該第１および第２の昇降機構による接近離反の位置から視野のずれ量を計算し、前記被検体の注目位置が視野からずれないように、前記テーブルを前記スライド機構によりスライド移動させる拡大率視野ずれ補正手段と、を有することを要旨とする。
【００２０】
この発明は、接近離反の位置ｚｓ、ｚｄを任意に選択して、透過像の拡大率を変更しても接近離反の位置ｚｓ、ｚｄの複数の組み合わせから例えば補間によりその位置に最適な視野中心のずれ量を計算して、注目位置が透過像視野からずれないようにしたものである。
【００２１】
上記の課題を解決するために請求項６記載の発明は、請求項１に記載のＸ線透視検査装置において、前記較正量が、被検体のテーブル面から距離の異なる２つの注目点について、Ｘ線検出器のみを旋回させたときの２つの角度において、それぞれ該２つの注目点が表示されている透過像画面の同一位置にくるように前記スライド機構をスライド移動させたときの移動量と当該注目点を設定するためのデータとに基づいてＸ線源の位置較正量として得られることを要旨とする。
【００２２】
この発明は、Ｘ線検出器のみが旋回される構成において、テーブル面からの距離が既知で互いに異なる２つの注目点に対し、それぞれ同一の旋回時のスライド移動量を求め、その比から幾何的にテーブル面とＸ線源の距離を計算して、Ｘ線源の位置較正量として装置に記憶させるようにしたものである。これにより、正確にＸ線源の位置が求められる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００２４】
［第１の実施の形態］
（第１の実施の形態の構成）
図１は、本発明を適用した第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概略構成を示す図面である。
【００２５】
図１に示すＸ線透視検査装置は、大別して、Ｘ線を被検体に照射してその透過像を検出するための機構部分と、機構部分の動作を制御し、また各種データを処理する制御部分からなる。
【００２６】
機構部分は、Ｘ線を照射するＸ線管１、Ｘ線を検出する検出器２、被検体４を載置するテーブル５、テーブル５をテーブル面に沿った方向に移動させるＸＹスライド機構６、テーブル５をテーブル面に沿って回転させる回転機構７、回転の軸をテーブル面に沿った方向に移動させるｘｙスライド機構８、およびＸ線管１と検出器２を旋回させる旋回アーム９によって構成されている。
【００２７】
一方、制御部分は、照射するＸ線を制御するＸ線制御部１４、各機構の動作を制御する機構制御部１５、各種データの処理や各部の制御と後述する視野ずれの補正計算、および較正のための計算を行なうデータ処理部１６、および透過像の表示を行なう表示部１７によって構成されている。
【００２８】
このＸ線透視検査装置においては、Ｘ線管１と検出器２は旋回アーム９上に対向して取り付けられており、旋回軸１１に対して一体で旋回される。旋回アーム９は、図示しない旋回機構によって旋回される。
【００２９】
また、Ｘ線管１と検出器２は、旋回アーム９上で、それぞれ独立した昇降機構（不図示）によって昇降位置ｚｓ、ｚｄ方向に昇降され、Ｘ線ビーム３内に保持された被検体４に対して、それぞれ近づけたり、遠ざけたりすることができ、この昇降位置の変更によって撮影倍率が変更できるようになっている。また、Ｘ線管１は、Ｘ線焦点Ｆ（Ｘ線発生点）が数ないし数十μｍのマイクロフォーカスＸ線管を用いている。
【００３０】
このＸ線透視検査装置において、被検体４は、水平なテーブル５に載置される。そして、テーブル５はＸＹスライド機構６によりＸ、Ｙ２つの水平方向にスライド移動される。またテーブル５はＸＹスライド機構６ごと、回転機構７により水平面に沿って回転され、さらにテーブル５はＸＹスライド機構６および回転機構７ごと、ｘｙスライド機構８によりｘ、ｙ２つの水平方向にスライド移動される。
【００３１】
ＸＹ移動は、被検体中の検査個所の変更に、旋回は透視角度の傾斜に、回転は傾斜方位の変更に使用される。
【００３２】
検出器２は、Ｘ線像増強管とテレビカメラを組み合わせたもので、２次元の透過像を映像信号として出力する。映像信号はデータ処理部１６に取り込まれ表示部１７に表示される。
【００３３】
Ｘ線制御部１４は、データ処理部１６からの指令によってＸ線管１の管電圧と管電流の制御、およびＸ線のＯＮ／ＯＦＦを制御する。
【００３４】
機構制御部１５は、データ処理部１６からの指令で機構部を制御するとともに、機構部の状態をデータ処理部１６に送る。
【００３５】
データ処理部１６および表示部１７は、通常のパソコンに代表されるコンピュータを利用したもので、インターフェース、メモリ、ディスク、マウス、キーボードなどを備えている。またデータ処理部１６は、操作者の指令で各機構の動作やＸ線のＯＮ／ＯＦＦの指令を出すとともに透過像の処理や記憶を行なうように、所定のソフトウエアによって動作する。そして、本実施の形態ではデータ処理部１６が下記補正式にしたがって、自動的に位置補正を行うための計算を行っている。
【００３６】
なお、図１ではＸ線遮蔽部材や、機構部分の支持部材など、直接発明の構成に関わらない部分は省略した。
【００３７】
（第１の実施の形態の作用）
次に、図１を参照して本実施の形態における作用を説明する。
【００３８】
操作者は、被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄを入力する。その後、Ｘ線をＯＮすると表示部１７に透過像が表示される。操作者はさらに、ＸＹ移動で注目位置を透過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更することで透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角度を傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。
【００３９】
〈旋回視野ずれ補正〉
図２を参照して、旋回視野ずれ補正を説明する。図２ａは正面図、図２ｂは平面図である。
【００４０】
データ処理部１６は、Ｘ線管１と検出器２が旋回アーム９によって旋回するにつれて、被検体４上の注目位置が透過像視野からずれないようにするための位置補正値ｘ、ｙを算出する。ｘ、ｙは次式により計算される（導出省略）。
【００４１】
η＝ｘ０−ｘ００ …（１）
ΔＬ＝（δ−ｄ）・ｔａｎθ＋η・（１／ｃｏｓθ−１） …（２）
ｘ＝ｘ０＋ΔＬ …（３）
ｙ＝ｙ０ …（４）
各式中、ｄは操作者の入力した値、θは旋回角、δ、ｘ００、ｘ０、およびｙ０は較正量である。図２を参照して、各値をさらに説明すると、ｄはテーブル５の上面と被検体４の注目面１８との距離、θは垂直からの旋回角、δはテーブル面基準の旋回軸１１の高さ、ηはＸ線焦点Ｆと検出器中心Ｄを結ぶ中心線１９のθ＝０°のときの旋回軸からのずれ、ｘ０、ｙ０は中心線１９のθ＝０°のときの注目面１８との交点Ａ（＝視野中心）のｘｙ座標（正確には、回転中心がＡ点に一致するｘｙ送り読値）である。ｘ００は旋回軸１１のｘ座票（＝ｘ０−η）である。各値は図示の方向を＋にとる。
【００４２】
このようにして算出されたｘおよびｙに基づいて、ｘｙスライド機構８によりｘ、ｙを移動することで、Ｘ線管１と検出器２を旋回させた場合でも、被検体４の注目位置を常に旋回視野内に位置させておくことができる。
【００４３】
〈旋回視野ずれ較正〉
次に、図２を参照して、この装置における旋回視野ずれ較正を説明する。
【００４４】
この較正は、実使用に先立って較正量δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０を求める操作である。
【００４５】
較正を行うためには、操作者は被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚｄ０に設定する。
【００４６】
次に、透過像を目視し、ＸＹスライド機構６によるＸＹ移動と、回転機構７による回転を行ないながら被検体４上の注目点を回転中心に合わせる。すなわち、回転させたとき注目点を中心に回転するようにする。
【００４７】
次に、画面中央に十字カーソルを表示させ、少なくとも３つの旋回角においてそれぞれ注目点（回転中心）が透過像の画面中央にくるようにｘｙスライド機構８によってｘｙを移動させ、このときのｘｙの読値を読み込ませる。３組の読値から方程式が解けて旋回軸の位置が求められる。なお、少なくとも３つの旋回角は、例えば基準旋回角（θ＝０°）、最大旋回角（ｍａｘ角）、および基準旋回角と最大旋回角の略中間の角の３つとする。
【００４８】
データ処理部１６は、読値、ｘ０、ｙ０、θ１、ｘ１、ｙ１、θ２、ｘ２、ｙ２および入力値ｄを用いて次式によりδ、ｘ００を計算する（導出省略）。
【００４９】
ΔＬ１＝ｘ１−ｘ０ …（５）
ΔＬ２＝ｘ２−ｘ０ …（６）
ａ１＝ｔａｎθ１ …（７）
ｂ１＝１／ｃｏｓθ１−１ …（８）
ｃ１＝ΔＬ１ …（９）
ａ２＝ｔａｎθ２ …（１０）
ｂ２＝１／ｃｏｓθ２−１ …（１１）
ｃ２＝ΔＬ２ …（１２）
η＝（ｃ１・ａ２−ｃ２・ａ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（１３）
δ＝ｄ＋（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（１４）
ｘ００＝ｘ０−η …（１５）
データ処理部１６はδ、ｘ００とｘ０、ｙ０を較正量として記憶し、実使用時の視野ずれ補正計算を行なう。なお、較正量ｘ００はかわりにηを用いるようにしてもよい。
【００５０】
〈拡大率視野ずれ較正〉
次に、図３を参照して、拡大率視野ずれ較正を説明する。
【００５１】
これは昇降位置ｚｓ、ｚｄを移動させたときの視野ずれ較正である。θ＝０°において、昇降位置ｚｓ、ｚｄで標準位置ｚｓ０、ｚｄ０のときの視野中心ＡはＡ’にずれる。これは昇降ｚｓ、ｚｄの方向がそれぞれ正確には垂直でないためである。
【００５２】
この較正は次のように行なう。まず、操作者は、旋回角θ＝０°に固定し、透過像を見ながら被検体４の注目点を回転中心と合わせる。次に、昇降位置ｚｓ、ｚｄの組み合わせを変えながら、注目点（回転中心）が画面中央にくるようにｘｙを移動させ、このときのｘｙ読値を読み込ませる。データ処理部１６は、この組み合わせ、ｘ０（ｚｓ，ｚｄ）、ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）を較正量として記憶する。
【００５３】
〈拡大率視野ずれ補正〉
次に、図３を参照して拡大率視野ずれ補正を説明する。
【００５４】
データ処理部１６は、昇降位置ｚｓ、ｚｄが変化するごとに、下記式により較正量から２次元の補間計算で昇降位置ｚｓ、ｚｄに対応するｘ０’、ｙ０’を計算する。実使用時にｘ０、ｙ０のかわりにこのｘ０’、ｙ０’を用いれば拡大率変更による視野ずれが補正できる。
【００５５】
ｘ０’，ｙ０’←ｚｓ，ｚｄ，ｘ０（ｚｓ，ｚｄ），ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）より補間 …（１６）
ｘ０＝ｘ０’ …（１７）
ｙ０＝ｙ０’ …（１８）
（第１の実施の形態の効果）
以上のように、本実施の形態では、Ｘ線源とＸ線検出器を一体で旋回させた場合に、データ処理部１６によって、被検体４の注目面１８上の視野中心Ａの動きにあわせて、回転中心をｘｙスライド機構８により移動させることとしているので、常に回転中心が注目面上の視野中心に自動的に合うようになる。したがって、ＸＹスライド機構６で被検体４の注目面上の注目位置を回転中心に一度あわせれば、旋回および回転を行なっても注目位置は透過像視野からずれない。
【００５６】
また、３つの旋回角において、視野中心と注目面上の回転中心（すなわち注目点）とのずれがｘｙ読値として求まり、これにより旋回軸の位置が計算で求められ、旋回軸の位置（δ，ｘ００）と基準旋回角（θ＝０°）における視野中心と回転中心の位置関係（ｘ０，ｙ０）を較正量として装置に記憶させることができる。これにより簡便に旋回視野ずれ補正の較正を行うことができる。
【００５７】
また、昇降位置ｚｓ、ｚｄを任意に選択して透過像の拡大率を変更しても、昇降位置ｚｓ、ｚｄの複数の組み合わせから補間によりその位置に最適な視野中心のずれ量が計算でき、注目位置が透過像視野からずれないようにできる。
【００５８】
さらに、昇降位置ｚｓ、ｚｄの組み合わせを変えながら、注目点（回転中心）が視野中心にくるようにｘｙを移動させたときのｘｙ読値を記憶させることで簡便に拡大率視野ずれ補正の較正が行える。
【００５９】
（第１の実施の形態の変形形態）
以上説明した旋回視野ずれ較正および拡大率視野ずれ較正は、注目点を回転中心に合わせて行なったが、これは必須ではない。すなわち、一度基準の昇降位置ｚｓ、ｚｄおよびθ＝０°においてｘ０、ｙ０が得られれば、後は基準からの視野の相対ずれのみ求めればよい。相対ずれ測定は、注目点を回転中心と合わせなくてもよく、また、ｘｙ移動ではなく、ＸＹ移動を用いてもよい。さらに、この場合、注目点は視野中心でなく画面上の一定の点ならどこに合わせてもよい。
【００６０】
また、拡大率視野ずれ補正では、補間計算を行なったが、補間計算でなく、関数をフィッティングで求めて記憶させ、この関数で計算してもよい。
【００６１】
図４は第１の実施の形態の変形形態を説明するための図面である。
【００６２】
第１の実施の形態においては、旋回軸１１はｙ軸と平行としたが、傾いていても視野ずれ補正ができる。
【００６３】
今仮に、ｘｙスライド機構の軸が図のｘ’、ｙ’のようにξだけ傾いている場合、旋回視野ずれ補正は、前述の式（３）、（４）でｘ、ｙを計算したあと、下記式（１８）および（１９）によりｘ’、ｙ’に座標変換し、ｘｙスライド機構を移動させればよい。
【００６４】
ｘ’＝ｘ・ｃｏｓξ−ｙ・ｓｉｎξ …（１９）
ｙ’＝ｘ・ｓｉｎξ＋ｙ・ｃｏｓξ …（２０）
なお、式中ξは新たな較正量である。
【００６５】
また、この場合の旋回視野ずれ較正においては、読値、ｘ０’、ｙ０’、ｘ１’、ｙ１’、ｘ２’、ｙ２’からまずをξを求める。
【００６６】
Δｘ１＝ｘ１’−ｘ０’ …（２１）
Δｙ１＝ｙ１’−ｙ０’ …（２２）
Δｘ２＝ｘ２’−ｘ０’ …（２３）
Δｙ２＝ｙ２’−ｙ０’ …（２４）
ａｂΔＬ１＝√（Δｘ１＾２＋Δｙ１＾２） …（２５）
ａｂΔＬ２＝√（Δｘ２＾２＋Δｙ２＾２） …（２６）
ξ＝ａｔａｎ［｛（Δｙ１／Δｘ１）・ａｂΔＬ１＋（Δｙ２／Δｘ２）・ａｂΔＬ２｝／（ａｂΔＬ１＋ａｂΔＬ２）］ …（ウェイト付平均）（２７）
このξは、新たな較正量として記憶する。
【００６７】
次に、読値、ｘ０’、ｙ０’、ｘ１’、ｙ１’、ｘ２’、ｙ２’を下記式（２８）および（２９）により座標変換を行なって、それぞれ、ｘ０、ｙ０、ｘ１、ｙ１、ｘ２、ｙ２に変換してから式（５）ないし（１５）の計算をすればよい。
【００６８】
ｘ＝ｘ’・ｃｏｓξ＋ｙ’・ｓｉｎξ …（２８）
ｙ＝−ｘ’・ｓｉｎξ＋ｙ’・ｃｏｓξ …（２９）
この変形形態によれば、旋回軸１１とｘｙスライド機構の軸が傾いていても視野ずれ補正ができる。また、簡便に較正できる。
【００６９】
［第２の実施の形態］
（第２の実施の形態の構成）
第２の実施の形態の構成は、図１に示した第１の実施の形態によるＸ線透視検査装置において、Ｘ線管１と図示しないＸ線管昇降機構が旋回せず、フロア側に支持されている点が、第１の実施の形態と異なるのみで、その他の構成は第１の実施の形態によるＸ線透視検査装置と同様である。
【００７０】
（第２の実施の形態の作用）
操作者は、前述した第１の実施の形態と同様に、被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、Ｘ線をＯＮし、ＸＹ移動で注目位置を透過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更することで透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角度を傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。
【００７１】
〈旋回視野ずれ補正〉
まず、図５を参照して、本実施の形態の装置における旋回視野ずれ補正を説明する。図５ａは正面図、図５ｂは平面図で、図２と同一記号を用いている。
【００７２】
データ処理部１６は、旋回につれて、自動的に移動させるｘ、ｙを前出の式（１）、（３）および（４）、ならびに下記式（２’）を用いて計算する（導出省略）。
【００７３】
ΔＬ＝−（Ｄｓ＋ｄ）・（（Ｄｄ−δ）・ｓｉｎθ＋η・（１−ｃｏｓθ））／（Ｄｓ＋（Ｄｄ−δ）・ｃｏｓθ＋η・ｓｉｎθ＋δ） …（２’）
前述したように、式中、ｄは操作者の入力した値、θは旋回角、δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０は較正量である。ＤｓはＸ線焦点とテーブル表面の距離、Ｄｄはθ＝０°のときのテーブル表面と検出器の検出面の距離である。Ｄｓ、Ｄｄは、一度較正しておけばデータ処理部１６は昇降位置ｚｓ、ｚｄの送り量から認知でき、この値を計算に用いる。
【００７４】
〈旋回視野ずれ較正〉
次に、同じく図５を参照して、旋回視野ずれ較正を説明する。この較正は、実使用に先立って較正量δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０を求める操作である。
【００７５】
構成には、操作者は第１の実施の形態と同様に、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚｄ０に設定し、注目点を回転中心に合わせ、３つの旋回角においてそれぞれ注目点（回転中心）が画面中央にくるようにｘｙを移動させ、このときのｘｙ読値を読み込ませる。なお、旋回角は、基準旋回角（θ＝０°）、最大旋回角（ｍａｘ角）、および基準旋回角と最大旋回角の略中間の角の３つとする。
【００７６】
データ処理部１６は、読値、ｘ０、ｙ０、θ１、ｘ１、ｙ１、θ２、ｘ２、ｙ２におよび入力値ｄを用いてδ、ｘ００を前出の式（５）ないし（１５）のうち、式（５）、（６）、（１３）、（１５）を共通に用いて、他の式の代わりに以下の式を用いて計算する。なお、式（５）、（６）、（１３）、（１５）は共通である（導出省略）。
【００７７】
ａ１＝−ｓｉｎθ１＋（１−ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（７’）
ｂ１＝１−ｃｏｓθ１＋ｓｉｎθ１・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（８’）
ｃ１＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ１−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（９’）
ａ２＝−ｓｉｎθ２＋（１−ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（１０’）
ｂ２＝１−ｃｏｓθ２＋ｓｉｎθ２・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（１１’）
ｃ２＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ２−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（１２’）
δ＝（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（１４’）
〈拡大率視野ずれ較正〉
次に、図３を参照して、本実施の形態における拡大率視野ずれ較正を説明する。これは昇降位置ｚｓ、ｚｄを移動させたときの視野ずれ較正である。
【００７８】
これには、まず、第１の実施の形態の場合と同様に、基準旋回角θ＝０°において、昇降位置ｚｓ、ｚｄの組み合わせを変えながら、注目点（回転中心）が画面中央にくるようにｘｙを移動させ、このときのｘｙ読値を読み込ませる。データ処理部１６は、この組み合わせ、ｘ０（ｚｓ，ｚｄ）、ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）を較正量として記憶する。
【００７９】
〈拡大率視野ずれ補正〉
次に、同じく図３を参照して、本実施の形態における拡大率視野ずれ補正を説明する。
【００８０】
これは第１の実施の形態の場合と同様に、昇降位置ｚｓ、ｚｄが変化するごとに較正量から補間計算で昇降位置ｚｓ、ｚｄに対応するｘ０’、ｙ０’を計算することで行なわれる。実使用時には、前出の式（１６）、（１７）、（１８）によって、ｘ０、ｙ０のかわりにｘ０’、ｙ０’を用いれば拡大率変更による視野ずれが補正できる。
【００８１】
〈Ｘ線焦点位置の較正〉
次に、Ｘ線焦点位置の較正について説明する。図６は、Ｘ線焦点位置較正の説明図である。ここでは、Ｘ線焦点とテーブル表面間の距離Ｄｓを較正する。
【００８２】
まず、操作者は昇降位置ｚｓ、ｚｄを最大倍率の位置に固定し、第１の被検体４を載置して、被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、２つの旋回角（基準旋回角（θ＝０°）および最大旋回角（ｍａｘ角））において、注目点がそれぞれ画面の一定位置にくるようにｘｙを移動させ、それぞれｘｙの値を読み込ませる。
【００８３】
次に、被検体４の注目面１８の位置ｄの異なる第２の被検体の注目点について同様にｘｙを読み込ませる。
【００８４】
データ処理部１６は、入力値、ｄ１、ｄ２と、読み取った値、ｘ０１、ｙ０１、ｘ１、ｙ１、ｘ０２、ｙ０２、ｘ２、ｙ２により次式でＤｓを計算する（導出省略）。
【００８５】
ΔＬ１＝√（（ｘ１−ｘ０１）＾２＋（ｙ１−ｙ０１）＾２） …（３０）
ΔＬ２＝√（（ｘ２−ｘ０２）＾２＋（ｙ２−ｙ０２）＾２） …（３１）
ｋ＝ΔＬ１／ΔＬ２ …（３２）
Ｄｓ＝（ｋ・ｄ２−ｄ１）／（１−ｋ） …（３３）
処理部１６は、このＤｓ値と、このときのｚｓ値を記憶すれば、任意のｚｓ読値におけるＤｓ値を認知することができる。
【００８６】
旋回軸１１がｙ軸から傾いている場合でも、そのまま（３０）ないし（３３）でＤｓが求められる。
【００８７】
Ｄｓの値は視野ずれに敏感に影響するが、この方法で簡単に、かつ正確に較正することができる。
【００８８】
（第２の実施の形態の効果）
第２の実施の形態においては第１の実施の形態と同じ効果を上げることができる。それに加えて、透視角の傾斜を行なったときでもＸ線焦点Ｆを被検体４に近づけることができ、拡大率が大きく取れる利点がある（ただしＸ線管はＸ線放射角が広い型を用いないと傾斜角が十分取れない）。
【００８９】
また、Ｘ線焦点とテーブル表面間の距離Ｄｓを簡単にまた正確に較正することができる。
【００９０】
（第２の実施の形態の変形形態）
本第２の実施の形態においても、前述した第１の実施の形態の場合と同様に、相対ずれのみを測定する場合は、旋回視野ずれ較正および拡大率視野ずれ較正のいずれにおいても、注目点を回転中心と合わせる工程は必須ではない。また、ｘｙ移動の代わりにＸＹ移動を用いてもよいし、さらには、注目点は視野中央でなく画面上任意の一定の点に合わせればよい。
【００９１】
また、Ｘ線焦点位置較正もｘｙ移動の代わりにＸＹ移動を用いても同様に較正することができる。
【００９２】
さらに、旋回軸１１がｙ軸から傾いていても視野ずれ補正と較正が可能である。
【００９３】
［第３の実施の形態］
（第３の実施の形態の構成）
第３の実施の形態の構成は、図１に示した第１の実施の形態におけるＸ線透視検査装置からｘｙスライド機構８を除いた構成であり、その他の構成は前述した第１の実施の形態と同様である。
【００９４】
（第３の実施の形態の作用）
操作者は、第１の実施の形態と同様に被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、Ｘ線をＯＮし、ＸＹ移動で注目位置を透過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更することで透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角度を傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。
【００９５】
〈回転・旋回視野ずれ補正〉
図７を参照して、回転および旋回視野ずれ補正を説明する。図７ａは正面図、図７ｂは平面図で、図２と同一記号を用いている。
【００９６】
データ処理部１６は、回転および旋回につれて、自動的に移動させるＸ、Ｙを次のように計算する。
【００９７】
η＝ｘ０−ｘ００ …（３４）
ΔＬ＝（δ−ｄ）・ｔａｎθ＋η・（１／ｃｏｓθ−１） …（３５）
Ｘ＝（ｘ０＋ΔＬ）・ｃｏｓφ＋ｙ０・ｓｉｎφ …（３６）
Ｙ＝−（ｘ０＋ΔＬ）・ｓｉｎφ＋ｙ０・ｃｏｓφ …（３７）
各式中、前述したように、ｄは操作者の入力した値、θは旋回角、φは回転角、δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０は較正量である。図７を参照して、各値をさらに説明すると、ｄはテーブル５の上面と被検体４の注目面１８との距離、θは垂直からの旋回角、δはテーブル面基準の旋回軸１１の高さ、ηは中心線１９のθ＝０°のときの旋回軸からのずれ、ｘ０、ｙ０は視野中心Ａのｘｙ座標（回転中心Ｃ基準）である。ｘ００は旋回軸１１のｘ座票（＝ｘ０−η）である。
【００９８】
データ処理部１６は、この計算値Ｘ、Ｙを操作者が手動操作したＸ、Ｙに加算してＸＹスライド機構６を制御する。これにより、操作者が望む注目位置を透過視野に入れるとともに、回転、旋回を行なっても視野からずれないようにすることができる。
【００９９】
〈回転・旋回視野ずれ較正〉
さらに、図７を参照して、回転および旋回視野ずれ較正を説明する。
【０１００】
この較正は、実使用に先立って較正量δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０を求める操作である。操作者は、まず、被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６に披検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚｄ０に、および回転角φを約０°に設定する。
【０１０１】
次に、少なくとも３つの旋回角（例えば基準旋回角（θ＝０゜）、最大旋回角（ｍａｘ角）、および中間角）において、それぞれ注目点が透過像画面の一定位置にくるようにＸＹを移動させ、このときのＸＹ読値を読み込ませる。
【０１０２】
データ処理部１６は、読値、Ｘ０、Ｙ０、θ１、Ｘ１、Ｙ１、θ２、Ｘ２、Ｙ２、および入力値ｄを用いて次式によってδ、ηを計算する（導出省略）。
【０１０３】
ΔＬ１＝√（（Ｘ１−Ｘ０）＾２＋（Ｙ１−Ｙ０）＾２）・（Ｘ１−Ｘ０）／ａｂｓ（Ｘ１−Ｘ０） …（３８）
ΔＬ２＝√（（Ｘ２−Ｘ０）＾２＋（Ｙ２−Ｙ０）＾２）・（Ｘ２−Ｘ０）／ａｂｓ（Ｘ２−Ｘ０） …（３９）
ａ１＝ｔａｎθ１ …（４０）
ｂ１＝１／ｃｏｓθ１−１ …（４１）
ｃ１＝ΔＬ１ …（４２）
ａ２＝ｔａｎθ２ …（４３）
ｂ２＝１／ｃｏｓθ２−１ …（４４）
ｃ２＝ΔＬ２ …（４５）
η＝（ｃ１・ａ２−ｃ２・ａ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（４６）
δ＝ｄ＋（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（４７）
次に、データ処理部１６は、予め求めて入力されているｘ０、ｙ０を使って、下記式（４８）によりｘ００を求め、δ、ｘ００とｘ０、ｙ０を較正量として記憶し、実使用時の視野ずれ補正計算を行なう。
【０１０４】
ｘ００＝ｘ０−η …（４８）
なお、ｘ０、ｙ０の較正は、次のようにして行うことができる。
【０１０５】
まず、操作者は、旋回角度を基準旋回角度（θ＝０°）に、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚｄ０に固定し、被検体４の注目点が回転中心にくるよう回転させながらＸＹ移動させ、透過像上の注目点の中心からのずれと透視拡大率から標準ｚｓ、ｚｄでのｘ０、ｙ０を求めることで、ｘ０、ｙ０の較正が行われる。
【０１０６】
〈拡大率視野ずれ較正〉
次に、図３および７を参照して拡大率視野ずれ較正を説明する。これは昇降位置ｚｓ、ｚｄを移動させたときの視野ずれ較正である。
【０１０７】
本実施の形態においても、前述した第１の実施の形態の場合と同様に、旋回角θ＝０°、回転角φ＝０°において、昇降位置ｚｓ、ｚｄの組み合わせを変えながら、注目点が表示されている透過像画面の一定位置にくるように、ＸＹを移動させ、このときのＸＹ読値を読み込ませて、データ処理部１６によりＸＹ読値を（標準ｚｓ、ｚｄからの差を標準ｘ０、ｙ０に加算して）ｘｙ値に変換し、この組み合わせ、ｘ０（ｚｓ，ｚｄ）、ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）を較正量として記憶する。
【０１０８】
〈拡大率視野ずれ補正〉
次に、拡大率視野ずれ補正について説明する。拡大率視野ずれ補正は、前述の第１の実施の形態の場合と同様に、昇降位置ｚｓ、ｚｄが変化するごとに較正量から補間計算で昇降位置ｚｓ、ｚｄに対応するｘ０’、ｙ０’を計算することで行なわれる。実使用時にｘ０、ｙ０の代わりにこのｘ０’、ｙ０’を用いれば拡大率変更による視野ずれが補正できる（計算は前出の式（１６）、（１７）、（１８）と同様である）。
【０１０９】
（第３の実施の形態の効果）
第３の実施の形態においては、第１の実施の形態と同じ効果を上げることができるとともに、さらに、ｘｙスライド機構を省略できる利点がある。
【０１１０】
［第４の実施の形態］
（第４の実施の形態の構成）
第４の実施の形態の構成は、前述した第２の実施の形態によるＸ線透視検査装置からｘｙスライド機構８を除いた構成である。その他の構成は第２の実施の形態と同様である。
【０１１１】
（第４の実施の形態の作用）
まず、操作者は、第１の実施の形態と同様に被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、Ｘ線をＯＮし、ＸＹ移動で注目位置を透過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更することで透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角度を傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。
【０１１２】
〈回転・旋回視野ずれ補正〉
図８を参照して、回転および旋回視野ずれ補正を説明する。図８ａは正面図、図８ｂは平面図で、図５と同一記号を用いている。
【０１１３】
データ処理部１６は、旋回につれて、自動的に移動させるＸ、Ｙを前出の式（３４）ないし（３７）を用いて計算するが、このうち式（３５）のみ次式（３５’）を用いる（導出省略）。
【０１１４】
ΔＬ＝−（Ｄｓ＋ｄ）・（（Ｄｄ−δ）・ｓｉｎθ＋η・（１−ｃｏｓθ））／（Ｄｓ＋（Ｄｄ−δ）・ｃｏｓθ＋η・ｓｉｎθ＋δ） …（３５’）
なお、式中、前述したように、ｄは操作者の入力した値、θは旋回角、φは回転角：δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０は較正量である。
【０１１５】
さらに図８を参照して、ＤｓはＸ線焦点とテーブル表面の距離、Ｄｄはθ＝０°のときのテーブル表面と検出器の検出面間の距離である。Ｄｓ、Ｄｄは一度較正しておけば、データ処理部１６は昇降位置ｚｓ、ｚｄの送り量から認知でき、この値を計算に用いる。
【０１１６】
データ処理部１６は、この計算値Ｘ、Ｙを操作者が手動操作したＸ、Ｙに加算してＸＹスライド機構６を制御する。これにより、操作者が望む注目位置を透過像視野にいれるとともに回転、旋回しても視野からずれないようにできる。
【０１１７】
〈回転・旋回視野ずれ較正〉
次に、回転・旋回視野ずれ較正は、実使用に先立って較正量δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０を求める操作である。操作者は、前述した第３の実施の形態の場合と同様に、被検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚｄ０に、および回転角φを約０°に設定し、次に、少なくとも３つの旋回角（例えば基準旋回角（θ＝０゜）、最大旋回角（ｍａｘ角）、および中間角）において、それぞれ注目点が透過像画面の一定位置にくるようにＸＹを移動させ、このときのＸＹ読値を読み込ませる。
【０１１８】
データ処理部１６は、読値、Ｘ０、Ｙ０、θ１、Ｘ１、Ｙ１、θ２、Ｘ２、Ｙ２、および入力値ｄを用いて、δ、ηを前出の式（３８）ないし（４７）のうち、式（３８）、（３９）、（４６）を共通に用いて、他の式の代わりに、以下の式を用いて計算する（導出省略）。
【０１１９】
ａ１＝−ｓｉｎθ１＋（１−ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（４０’）
ｂ１＝１−ｃｏｓθ１＋ｓｉｎθ１・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（４１’）
ｃ１＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ１−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（４２’）
ａ２＝−ｓｉｎθ２＋（１−ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（４３’）
ｂ２＝１−ｃｏｓθ２＋ｓｉｎθ２・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（４４’）
ｃ２＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ２−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（４５’）
δ＝（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（４７’）
次に、データ処理部１６は、同様に予め求めて入力されているｘ０、ｙ０を使って前出の式（４８）によりｘ００を求め、δ、ｘ００とｘ０、ｙ０を較正量として記憶し、実使用時の視野ずれ補正計算を行なう。
【０１２０】
なお、本実施の形態においては、拡大率視野ずれ較正および拡大率視野ずれ補正は、前述した第３の実施の形態の場合と同様に行なわれる。また、Ｘ線焦点位置較正は、前述した第２の実施の形態の場合と同様に行なわれる。
【０１２１】
（第４の実施の形態の効果）
第４の実施の形態においては、前述した第２の実施の形態と同じ効果を上げることができるとともに、さらに、ｘｙスライド機構８を省略できる利点がある。
【０１２２】
以上本発明を適用した実施の形態を説明したが、各実施の形態で使用したパラメータ定義や数式表現は、色々可能であり発明を限定するものではない。したがって、当業者により本発明の技術思想の範囲内において、様々に変形可能である。
【０１２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被検体を透視する際に、旋回や回転により傾斜角を変更し、あるいはＸ線源やＸ線検出器と被検体との距離を変えることにより拡大率を変更しても、被検体の注目個所が透過像視野からずれることのないＸ線透視検査装置を提供することができる。また、本発明によれば、このようなＸ線透視検査装置において、その較正を簡単に、かつ正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態におけるＸ線透視検査装置の概略構成を示す図面である。
【図２】第１の実施の形態における旋回視野ずれ補正および較正を説明するための図面である。
【図３】拡大率視野ずれ補正および較正を説明するための図面である。
【図４】旋回軸が傾いている場合の拡大率視野ずれ補正および較正を説明するための図面である。
【図５】第２の実施の形態における旋回視野ずれ補正および較正を説明するための図面である。
【図６】第２の実施の形態におけるＸ線焦点位置の較正を説明するための図面である。
【図７】第３の実施の形態における回転および旋回の視野ずれ補正、および較正を説明するための図面である。
【図８】第４の実施の形態における回転および旋回の視野ずれ補正、および較正を説明するための図面である。
【図９】従来のＸ線透視検査装置を示す概略構成を示す図面である。
【符号の説明】
１Ｘ線管
２検出器
３Ｘ線ビーム
４被検体
５テーブル
６ＸＹスライド機構
７回転機構
８ｘｙスライド機構
９旋回アーム
１１旋回軸
１４Ｘ線制御部
１５機構制御部
１６データ処理部
１７表示部
１８注目面
１９中心線

Claims

Ｘ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出するＸ線検出器と、
被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めするテーブルと、
前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の透過像を表示する表示部と、
前記テーブルをテーブル面に沿って移動させ前記被検体上の注目位置を変更させる第１のスライド機構と、
前記テーブルと前記第１のスライド機構をテーブル面に沿って回転させる回転機構と、
前記テーブルと前記第１のスライド機構と前記回転機構及び前記回転の軸を前記テーブル面に沿って移動させる第２のスライド機構と、
前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前記Ｘ線検出器を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回させる旋回機構と、
前記旋回にともなって前記被検体上の注目位置が、この注目位置を設定するためのデータと予め求められている較正量とに基づいて、前記透過像視野からはずれないように前記第２のスライド機構によって前記テーブルを移動させる視野ずれ補正手段と、を有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
Ｘ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出するＸ線検出器と、
被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めするテーブルと、
前記テーブルをテーブル面に沿って移動させる第１のスライド機構と、
前記テーブルをテーブル面に沿って回転させる回転機構と、
前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前記Ｘ線検出器を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回させる旋回機構と、
前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の透過像を表示する表示部と、
前記回転と前記旋回にともなって前記被検体の注目位置が、この注目位置を設定するためのデータと予め求められている較正量とに基づいて、透過像視野からはずれないように前記第１のスライド機構により前記テーブルをスライド移動させる視野ずれ補正手段と、を有し、
前記較正量は、被検体のテーブル面から距離の異なる２つの注目点について、Ｘ線検出器のみを旋回させたときの２つの角度において、それぞれ該２つの注目点が表示されている透過像画面の同一位置にくるように前記スライド機構をスライド移動させたときの移動量と当該注目点を設定するためのデータとに基づいてＸ線源の位置較正量として得られることを特徴とするＸ線透視検査装置。
前記旋回機構は、前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器の両方を一体的に旋回させることを特徴とする請求項１記載のＸ線透視検査装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線透視検査装置において、前記較正量は、少なくとも３つの旋回角において、被検体の注目点が透過像画面上の同一位置にくるように第１のスライド機構または第２のスライド機構を移動させて、旋回角とそのときのスライド機構の移動量と当該被検体の注目点を設定するためのデータとに基づいて旋回軸の位置較正量として得られることを特徴とするＸ線透視検査装置。
請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線透視検査装置において、
前記Ｘ線源を前記被検体に接近離反させる第１の昇降機構と、
前記Ｘ線検出器を前記被検体に接近離反させる第２の昇降機構と、
予め記憶された第１および第２の昇降機構による接近離反の位置の複数の組み合わせに対する透過像の視野のずれ量をもとに、該第１および第２の昇降機構による接近離反の位置から視野のずれ量を計算し、前記被検体の注目位置が視野からずれないように、前記テーブルを前記スライド機構によりスライド移動させる拡大率視野ずれ補正手段と、を有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
請求項１に記載のＸ線透視検査装置において、
前記較正量は、被検体のテーブル面から距離の異なる２つの注目点について、Ｘ線検出器のみを旋回させたときの２つの角度において、それぞれ該２つの注目点が表示されている透過像画面の同一位置にくるように前記スライド機構をスライド移動させたときの移動量と当該注目点を設定するためのデータとに基づいてＸ線源の位置較正量として得られることを特徴とするＸ線透視検査装置。