JP4046202B2

JP4046202B2 - Multi-faceted stamper manufacturing method

Info

Publication number: JP4046202B2
Application number: JP18115897A
Authority: JP
Inventors: 英男藪原; 淳高橋
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1996-10-14
Filing date: 1997-07-07
Publication date: 2008-02-13
Anticipated expiration: 2017-07-07
Also published as: JPH10177745A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、凹凸状情報トラックを有する光カード等の光情報記録媒体を複製するための原版として使用されるスタンパーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光カード等の光情報記録媒体は高密度記録を達成するために、光記録情報媒体用の基材の上に微細な凹凸状光学的情報パターンを形成する必要がある。このため従来から幾つかの成型法が提案されているが、現在では微細パターンの複製精度が極めて高く設備投資も少なくて済むいわゆる２Ｐ法が主に採用されている。この２Ｐ法は表面に凹凸を有するスタンパーと光情報記録媒体用基材との間に液状の紫外線硬化型樹脂を充填し、該樹脂に紫外線を照射して硬化させた後、スタンパーを剥がすことによって光情報記録媒体を作製するものである。
【０００３】
上記した２Ｐ法で使用するスタンパーは、フォトマスク描画可能面積の関係から光カードの場合でもせいぜい２〜３面程度しか入らないものであり、大量生産には向いていない。このため、複数枚のスタンパーを繋いでパターンを多くした多面付けスタンパーを使用して一度に大量複製をすることが考えられ、この多面付けスタンパーの作製方法として次の２つが提案されている。
【０００４】
第１の方法は特開平７−１５３１２３号公報に記載のもので、樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせた多面マザースタンパーを形成し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作製するに際して、単面マザースタンパーの継目に窪みを備えた中間体を一旦形成することにより、この中間体から複製したカバーシートにおけるパターンの継目となる部位に紫外線硬化型樹脂の未硬化部分を残した状態にし、この未硬化部分を均した状態で継目の平坦な多面マザースタンパーを複製するようにしたものである。
【０００５】
また、第２の方法は特開平７−１５３１２４号公報に記載のもので、紫外線硬化型樹脂を用いて基材シート上にマザースタンパーのパターンを連続的に複製するに際し、次のパターンを複製する部分を遮光して露光することによってパターンの継目となる部分の紫外線硬化型樹脂を未硬化状態とし、この未硬化部分にマザースタンパーを移動して基材シートに次のパターンを複製するようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記した第１及び第２の方法は、いずれも継目が目立たずしかもパターンの間隔を短くした多面付けスタンパーを作製できることを目指したものであるが、第１の方法では、硬化時の樹脂の収縮により継目に段差が生じることがあり、また第２の方法では、基材シートの剥離時に発生する静電気により、継目から樹脂片及び未硬化樹脂が飛び、パターン内に付着することがあり、このため良い品質が得られないと言った問題点がある。
【０００７】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、面付け数を増やした場合に、面付け間の段差を小さくして継目を目立たなくし、しかも品質の良いものが得られる多面付けスタンパーの作製方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせた多面マザースタンパーを作製し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作製する方法において、前記多面マザースタンパーを作製するに際し、充填材を流し込むための専用治具を用いて、各単面マザースタンパー間の高さが面一となるように前記単面マザースタンパーを矯正した状態で多数配列し、その状態で充填材を流し込んで硬化させることにより、各単面マザースタンパー間の隙間に充填材をスタンパー表面と面一に埋めるようにしたものである。そして、単面マザースタンパーを多数配列するに際し、必要な面付け数分だけ一度に配列するのが好ましい。このようにすることで、面付け数を増やした場合に、マザー作製における手間をかけずに済むことになる。
【０００９】
上記の充填材としては、２液常温硬化型のシリコーン樹脂を使用することができる。充填材の使用条件として、まず、充填する際の粘度が低いこと（流動性がよいため、一度に多面を繋ぐことが可能である。）、硬化収縮率が小さく且つ硬化後の硬度が高いことが挙げられる。前記の２液常温硬化型シリコーン樹脂がこの条件を満たしており好ましい。例えば、信越化学製「ＫＥ−１１２」は、硬化前粘度：８（Ｐａ，ｓ）、硬化後硬度：６０度（ＪＩＳ−Ａ）、硬化収縮率：０．５％である。
【００１０】
そして、このようなシリコーン樹脂を使用し、硬化後のシリコーン樹脂表面がスタンパー表面と面一になるように、シリコーン樹脂の硬化時の収縮が進行する前に複製するのが望ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明を実施する第１の方法の具体的な手順について説明する。
【００１２】
まず、２〜３面のマザースタンパーから打抜加工又は切断加工により単面マザースタンパーを作製する。この場合、精度良く且つバリが発生しないようにする。そして、次の工程（１）〜（９）により、この単面マザースタンパーから専用治具を用いて１列の多面マザースタンパーを作製する。
【００１３】
（１）前記単面マザースタンパーを位置決め用のブロックに精度良く貼り込む工程。
（２）単面マザースタンパーの貼り込まれた前記ブロックを精度良く所定のピッチで配列する工程。具体的には、配列する大判のベース板に位置決め用のピンを設けておき、位置決め用の穴を設けた前記ブロックをこのベース板のピンにセットして配列する。
（３）単面マザースタンパーの貼り込まれたブロックが配列された大判のベース板を使用して、充填材を流し込む治具を組み立てる工程。
▲１▼単面マザースタンパーの外のベース板上にクッション材を敷く。
▲２▼上記クッション材を介して枠板をベース板にセットする。
▲３▼単面マザースタンパー及び枠板表面に平面出し用粘着フィルムを気泡、異物等が入らないようにして貼り込む。粘着フィルムが薄い場合は貼り込み時にシワが出やすいため、ベース基材を両面テープで貼り付けて腰を持たせる。
（４）上記治具を粘着フィルム面が下になるように定盤上に置く工程。
（５）ベース板上に重りを載せる工程。（充填材注入時の単面マザースタンパーのパターン面への当該充填材の回り込み防止のため）
（６）枠板の端面に設けられた充填材注入口に充填材を流し込む工程。
（７）充填材を硬化させるためにエージングする工程。
（８）充填材の硬化後に平面出し用粘着フィルムを剥がす工程。
（９）充填材の最表面を硬化させるためにエージングする工程。
【００１４】
上記工程（１）〜（９）により１列の多面マザースタンパーが完成する。次いで、この１列の多面マザースタンパーを用いて２Ｐ法により数回複製し、樹脂でできた１列の多面マザースタンパーを数枚作製する。続いて、数枚作製した１列の多面マザースタンパーから打抜加工又は切断加工により所定寸法の１列の多面マザースタンパーを作製する。この場合、精度良く且つバリが発生しないようにする。そして、次の工程（１）〜（９）により、この１列の多面マザースタンパーから多列の多面マザースタンパーを作製する。
【００１５】
（１）前記１列の多面マザースタンパーを位置決め用のブロックに精度良く貼り込む工程。
（２）１列の多面マザースタンパーの貼り込まれた前記ブロックを精度良く所定のピッチで配列する工程。具体的には、配列する大判のベース板の位置決め用のピンを設けておき、位置決め用の穴を設けた前記ブロックをこのベース板のピンにセットする。
（３）１列の多面マザースタンパーの貼り込まれたブロックが配列された大判のベース板を使用して、充填材を流し込む治具を組み立てる工程。
▲１▼１列の多面マザースタンパーの外のベース板上にクッション材を敷く。
▲２▼上記クッション材を介して枠板をベース板にセットする。
▲３▼１列の多面マザースタンパー及び枠板表面に平面出し用粘着フィルムを気泡、異物等が入らないようにして貼り込む。粘着フィルムが薄い場合は貼り込み時にシワが出やすいため、ベース基材を両面テープで貼り付けて腰を持たせる。
（４）上記治具を粘着フィルム面が下になるように定盤上に置く工程。
（５）ベース板上に重りを載せる工程。（充填材注入時に１列の多面マザースタンパーのパターン面への当該充填材の回り込み防止のため）
（６）枠板の端面に設けられた充填材注入口に充填材を流し込む工程。
（７）充填材を硬化させるためにエージングする工程。
（８）充填材の硬化後に平面出し用粘着フィルムを剥がす工程。
（９）充填材の最表面を硬化させるためにエージングする工程。
【００１６】
上記工程（１）〜（９）により多列の多面マザースタンパーが完成する。次いで、この多列の多面マザースタンパーを用いて２Ｐ法により数回複製し、樹脂でできた多列の多面マザースタンパーを数枚作製する。通常はこの多列の多面マザースタンパーをマスター版として使用する。
【００１７】
次に、本発明を実施する第２の方法の具体的な手順について説明する。
【００１８】
まず、２〜３面のマザースタンパーから打抜加工又は切断加工により単面マザースタンパーを作製する。ここまでは第１の方法と同じであるが、この第２の方法では、次の工程（１）〜（９）により、この単面マザースタンパーから専用治具を用いて一度に多面マザースタンパーを作製する。
【００１９】
（１）前記単面マザースタンパーを位置決め用のブロックに精度良く貼り込む工程。
（２）単面マザースタンパーの貼り込まれた前記ブロックを精度良く所定のピッチで配列する工程。具体的には、配列する大判のベース板に位置決め用のピンを設けておき、位置決め用の穴を設けた前記ブロックをこのベース板のピンにセットして配列する。
（３）単面マザースタンパーの貼り込まれたブロックが配列された大判のベース板を使用して、充填材を流し込む治具を組み立てる工程。
▲１▼単面マザースタンパーの貼り込まれたブロックとベース板間にクッション材を挟みながら前記ブロックをベース板にセットする。
▲２▼ベース板に枠板をセットする。
▲３▼単面マザースタンパー及び枠板表面に平面出し用粘着フィルムを気泡、異物等が入らないようにして貼り込む。粘着フィルムが薄い場合は貼り込み時にシワが出やすいため、ベース基材を両面テープで貼り付けて腰を持たせる。
（４）上記治具を粘着フィルム面が下になるように定盤上に置く工程。
（５）ベース板上に重りを載せる工程。（充填材注入時の単面マザースタンパーのパターン面への当該充填材の回り込み防止のため）
（６）枠板の端面に設けられた充填材注入口に充填材を流し込む工程。
（７）充填材を硬化させるためにエージングする工程。
（８）充填材の硬化後に平面出し用粘着フィルムを剥がす工程。
（９）充填材の最表面を硬化させるためにエージングする工程。
【００２０】
上記工程（１）〜（９）により多面マザースタンパーが完成する。次いで、この多面マザースタンパーを用いて２Ｐ法により数回複製し、樹脂でできた多面付けマザースタンパーを数枚作製する。通常はこの多面付けスタンパーをマスター版として使用する。
【００２１】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００２２】
（第１実施例）
まず、マスター版から２Ｐ法により、図１に示す如き２〜３面付けのマザースタンパー１を複製する。次いで、図２に示すように、マザースタンパー１の複製面に保護フィルム２を反対面に両面テープ３をラミネートする。ラミネートする際には異物が混入しないように静電除去をしながら、また気泡が混入しないようにラミネートする。このように保護フィルム２と両面テープ３を貼り付けたマザースタンパー１から打抜加工又は断裁加工により図３に示す如き単面マザースタンパー１ａを作製する。この際、単面マザースタンパー１ａにおける記録パターンの長辺と基材の長辺が平行であること、また単面マザースタンパー１ａの記録パターンの短辺が基材の左右に対して均等に打抜加工又は断裁加工されていることが望ましい。なお、上記マザースタンパー１はＮｉ電鋳したものを使用してもよい。
【００２３】
図４に上記単面マザースタンパー１ａを貼り込むためのブロック４と貼込作業に使用するガイド５を示す。また図５はブロック４の裏側を示した図であり、単面マザースタンパー１ａを精度良く配列するための位置決め用の穴４ａとブロック固定用の雌ネジ４ｂが設けられている。穴４ａは２ヶ所に設けてあり、一方を丸穴とし他方を長丸穴としている。図６はブロック４への単面マザースタンパー１ａの貼込み方を示した説明図であり、同図に示すように、ガイド５にブロック４を嵌め込み、ブロック４の３辺がガイド５の３辺と接触する状態とし、次いで単面マザースタンパー１ａに貼られている両面テープ３の離型紙を剥がした後、長辺の片側をガイド５の一辺に接触させて貼り、ローラー６によりニップして単面マザースタンパー１ａをブロック４に貼り込む。
【００２４】
図７は単面マザースタンパーから１列の多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。これの組立手順を説明すると、まずベース板１３上に設けられた位置決め用のピン１３ａに単面マザースタンパー１ａが貼られたブロック４をセットする。すなわち、ブロック４をベース板１３に固定するためにベース板１３に設けられたブロック固定用の穴１３ｂにネジを通してブロック４に設けられた雌ネジ４ｂに締め付ける。次に、ベース板１３上にブロック４と接触しないように窓の開いたクッション材１２を敷き、さらにクッション材１２上にブロック４と接触しないように窓の開いた枠板１１をセットする。これらを固定するには、ベース板１３に設けられた固定用の穴１３ｃ（４ヶ所）及びクッション材１２に設けられた固定用の穴１２ａ（４ヶ所）にネジを通して枠板１１に設けられた雌ネジ１１ａ（４ヶ所）に締め付ける。続いて、単面マザースタンパー１ａ上の保護フィルム２を剥がし、枠板１１及び単面マザースタンパー１ａ上に粘着フィルム１０を異物及び気泡が混入しないようにしてラミネートする。この際、粘着フィルム１０が薄く腰がない場合には、図示の如く両面テープ９により予めベース基材８に貼り合わせて腰を持たせた粘着フィルム１０を使用する。そして最後に、粘着フィルム１０及びベース基材８上に平面出し用の定盤７を載せる。この粘着フィルム１０の条件として、剥離時に被着体に粘着剤が残らないことが挙げられる。したがって、接着時に強い接着力があり、剥離時に紫外線を照射して接着力の劣るようなタイプのフィルム、具体的には日東電工（株）製のＵＶ硬化性粘着シート「ＵＥ−１０」又は「ＵＥ−１０８１Ｇ」を使用した。
【００２５】
図８は図７に示す治具の組立を終え、充填材であるシリコーン樹脂を流し込む時の状態を示している。上記のようにして組み立てた治具は図８のように表裏を逆にして設置する。治具を表裏逆にする理由は、シリコーン樹脂が流れやすくすることと気泡が表面に出ないようにするためである。そして、流し込んだシリコーン樹脂が記録パターン部に回り込まないようにベース板１３上に重り１４を載せて荷重をかける。荷重は５０〜１００ｇ／ｃｍ²とする。シリコーン樹脂は、信越化学工業（株）製のシリコーン樹脂「ＫＥ−１７」（主剤）に対し硬化剤を０．５〜１％混ぜてよく攪拌させたものを使用した。シリコーン樹脂をシリンジ等に入れて枠板１１に設けられたシリコーン樹脂注入口１１ｂから注入する。シリコーン樹脂の注入方法として、向かい合う２辺に設けられた注入口１１ｂの端から順番に少量ずつ注入していく。注入の目安として、シリコーン樹脂注入箇所以外の注入口１１ｂからシリコーン樹脂が溢れた時点で終了とする。
【００２６】
シリコーン樹脂の注入を終えると、その状態のままで４〜８時間放置しシリコーン樹脂を常温硬化させる。４〜８時間経過した後、重り１４を解除してから平面出し用の定盤７以外の一体になった治具を表裏逆にする。粘着フィルム１０がＵＶ硬化性粘着シートの場合、４６０〜１０００ｍｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射する。そして、粘着フィルム１０を剥がす。剥がす際には除電しながら剥がすようにする。
【００２７】
図９は１列の多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた１列の多面マザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。まず、前記した手順により図９（ａ）に示す１列の多面マザースタンパーが得られる。図中１５はシリコーン樹脂である。そして、図９（ｂ）に示すように、この１列の多面マザースタンパーに液状紫外線硬化型樹脂１６を滴下した後、基材１７の短辺の片側を多面マザースタンパーに接触させ、ローラー１８でニップして液状紫外線硬化型樹脂１６を広げる。次に、図９（ｃ）に示すようにＵＶランプ１９により紫外線を照射量１００〜５００ｍＪ／ｃｍ²で照射して液状紫外線硬化型樹脂１６を硬化させる。次いで、図９（ｄ）に示すように、基材１７を１列の多面マザースタンパーから剥離し、該基材１７上に情報記録パターン１６ａを形成する。基材１７の剥離は除電しながら行う。
【００２８】
上記のようにして基材１７に情報記録パターン１６ａを複製した後、図１０に示すように、基材１７の複製面に保護フィルム２を反対面に両面テープ３をラミネートする。ラミネートする際には異物が混入しないように静電除去をしながら、また気泡が混入しないようにラミネートする。このように保護フィルム２と両面テープ３を貼り付けた基材１７から打抜加工又は断裁加工により図１１に示す如き１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａを作製する。この際、１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａにおける記録パターンの長辺と基材の長辺が平行であること、また１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａの記録パターンの短辺が基材の左右に対して均等に打抜加工又は断裁加工されていることが望ましい。さらに、基材に加工時のバリがないことが望ましい。
【００２９】
図１２に上記１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａを貼り込むためのブロック２０と貼込作業に使用するガイド２１を示す。また、図１３はブロック２０への１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａの貼込み方を示した説明図であり、同図に示すように、ガイド２１にブロック２０を嵌め込み、ブロック２０の３辺がガイド２１の３辺と接触する状態とし、次いで１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａに貼られている両面テープ３の離型紙を剥がした後、長辺の片側をガイド２１の一辺に接触させて貼り、ローラー２２によりニップして１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａをブロック２０に貼り込む。
【００３０】
図１４は１列の多面樹脂マザースタンパーから多面樹脂マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。これの組立手順を説明すると、まずベース板２９上に設けられた位置決め用のピン２９ａに１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａが貼られたブロック２０をセットする。すなわち、ブロック２０をベース板２９に固定するためにベース板２９に設けられたブロック固定用の穴２９ｂにネジを通してブロック２０に設けられた固定用雌ネジに締め付ける。次に、ベース板２９上にブロック２０と接触しないように窓の開いたクッション材２８を敷き、さらにクッション材２９上にブロック２０と接触しないように窓の開いた枠板２７をセットする。ベース板２９に設けられた固定用の穴２９ｃ（４ヶ所）及びクッション材２８に設けられた固定用の穴２８ａ（４ヶ所）にネジを通して枠板２７に設けられた雌ネジ２７ａ（４箇所）に締め付ける。続いて、１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａ上の保護フィルム２を剥がし、枠板２７及び１列の多面樹脂マザー１７ａ上に粘着フィルム２６を異物及び気泡が混入しないようにラミネートする。この際、粘着フィルム２６が薄く腰がない場合には、図示の如く両面テープ２５により予めベース基材２４に貼り合わせて腰を持たせた粘着フィルム２６を使用する。そして最後に、粘着フィルム２６及びベース基材２４上に平面出し用の定盤２３を載せる。この粘着フィルム２６の条件として、前記粘着フィルム１０と同様、剥離時に被着体の粘着剤が残らないことが挙げられる。したがってここでも、接着時に強い粘着力があり、剥離時に紫外線を照射して接着力の劣るようなタイプのフィルム、具体的には日東電工（株）製のＵＶ硬化性粘着シート「ＵＥ−１０」又は「ＵＥ−１０８１Ｇ」を使用した。
【００３１】
図１４に示す治具の組立を終えた後、図８と同様に当該治具を表裏を逆にして設置する。治具を表裏逆にする理由は、前記したのと同様で、シリコーン樹脂が流れやすくすることと気泡が表面に出ないようにするためである。そして、流し込んだシリコーン樹脂が記録パターン部に回り込まないようにベース板２９上に重りを載せて荷重をかける。この場合も荷重は５０〜１００ｇ／ｃｍ²とする。シリコーン樹脂は、前記したのと同じく、信越化学工業（株）製シリコーン樹脂「ＫＥ−１７」（主剤）に対し硬化剤を０．５〜１％混ぜてよく攪拌させたものを使用した。シリコーン樹脂をシリンジ等に入れて枠板２７に設けられたシリコーン樹脂注入口２７ｂから注入する。シリコーン樹脂の注入方法として、向かい合う２辺に設けられた注入口２７ｂの端から順番に少量ずつ注入していく。注入の目安として、シリコーン樹脂注入箇所以外の注入口２７ｂからシリコーン樹脂が溢れた時点で終了とする。
【００３２】
シリコーン樹脂の注入を終えると、その状態のままで４〜８時間放置しシリコーン樹脂を常温硬化させる。４〜８時間経過後、重りを解除してから平面出し用の定盤２３以外の一体になった治具を表裏逆にする。粘着フィルム２６がＵＶ硬化性粘着シートの場合、４６０〜１０００ｍｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射する。そして、粘着フィルム２６を剥がす。剥がす時に除電しながら行う。
【００３３】
（実施例２）
この実施例では、実施例１と同様にして単面マザースタンパーの作製とこの単面マザースタンパーのブロックへの貼込みまでを行った後、単面マザースタンパーから多面マザースタンパーを作製する。
【００３４】
図１５は単面マザースタンパーから多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。これの組立手順を説明すると、まずベース板３０上に設けられた位置決め用のピン３０ａに単面マザースタンパー１ａが貼られたブロック４をセットする。すなわち、ブロック４をベース板３０に固定するためにベース板３０に設けられたブロック固定用の穴３０ｂにネジを通してブロック４に設けられた雌ネジ４ｂに締め付ける。この際に、ブロック４とベース板３０の間にクッション材３１を窓の開いた枠板３２と接触しないように挟む。次に、枠板３２をベース板３０上にセットする。このとき、固定はベース板３０に設けられた固定用の穴３０ｃ（４ヶ所）にネジを通して枠板３２に設けられた雌ネジ３２ａ（４ヶ所）に締め付ける。続いて、単面マザースタンパー１ａ上の保護フィルム２を剥がし、枠板３２及び単面マザースタンパー１ａ上に粘着フィルム３３を異物及び気泡が混入しないようにしてラミネートする。この際、粘着フィルム３３が薄く腰がない場合には、図示の如く両面テープ３４により予めベース基材３５上に平面出し用の定盤３６を載せる。この粘着フィルム３３の条件として、剥離時に被着体に粘着剤が残らないことが挙げられる。したがって、接着時に強い接着力があり、剥離時に紫外線を照射して接着力の劣るようなタイプのフィルム、具体的には日東電工（株）製のＵＶ硬化性粘着シート「ＵＥ−１０」又は「ＵＥ−１０８１Ｇ」を使用した。
【００３５】
図１６は図１５に示す治具の組立を終え、充填材であるシリコーン樹脂を流し込む時の状態を示している。上記のようにして組み立てた治具は図１６のように表裏を逆にして設置する。治具を表裏逆にする理由は、シリコーン樹脂が流れやすくすることと気泡が表面に出ないようにするためである。そして、流し込んだシリコーン樹脂が記録パターン部に回り込まないようにベース板３０上に重り３７を載せて荷重をかける。荷重は３０〜６０ｇ／ｃｍ²とする。荷重は重りを載せるか治具自体を重くしておけば自重で必要な荷重をカバーできる。シリコーン樹脂は、信越化学工業（株）製のシリコーン樹脂「ＫＥ−１１２」（主剤）に対して硬化剤▲１▼ＣＡＴ−ＲＭ（０．８７５％）及び▲２▼ＣＡＴ−１１２（２．７５％）の２種類を混ぜてよく攪拌させたものを使用した。シリコーン樹脂をシリンジ等に入れて枠板３２に設けられたシリコーン樹脂注入口３２ｂから注入する。シリコーン樹脂の注入方法として、向かい合う２辺に設けられた注入口３２ｂの端から順番に少量ずつ注入していく。注入の目安として、シリコーン樹脂注入箇所以外の注入口３２ｂからシリコーン樹脂が溢れた時点で終了とする。
【００３６】
シリコーン樹脂の注入を終えると、その状態のままで５時間放置しシリコーン樹脂を常温硬化させる。５時間経過した後、重り３７を解除してから平面出し用の定盤３６以外の一体になった治具を表裏逆にする。ここで、シリコーン樹脂の硬化時間はメーカ仕様では８時間とされているが、シリコーン樹脂の硬化収縮があるためシリコーン樹脂の硬化収縮が進行する前で且つ２Ｐ複製可能な硬化状態の条件として５時間という値を得ることができた。この値はシリコーン樹脂の種類により変わる。粘着フィルム３３がＵＶ硬化性粘着シートの場合、４６０〜１０００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射する。そして、粘着フィルム３３を剥がす。剥がす際には除電しながら剥がすようにする。
【００３７】
図１７及び図１８はシリコーン樹脂を充填した多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた多面付けマザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。まず、前記した手順により図１７（ａ）に示す多面マザースタンパーが得られる。図中３８はシリコーン樹脂である。そして、図１７（ｂ）に示すように、この多面マザースタンパーに液状紫外線硬化型樹脂３９を滴下した後、基材４０の短辺の片側を多面マザースタンパーに接触させ、ローラー４１でニップして液状紫外線硬化型樹脂３９を広げる。次に、図１７（ｃ）に示すようにＵＶランプ４２により紫外線を照射量１００〜５００ｍＪ／ｃｍ²で照射して液状紫外線硬化型樹脂３９を硬化させる。次いで、図１８に示すように、基材４０を多面マザースタンパーから剥離し、該基材４０上に情報記録パターン３９ａを形成する。基材４０の剥離は除電しながら行う。
【００３８】
このように基材４０に情報記録パターン３９ａを形成したものが多面付けスタンパーとなる。なお、この多面付けスタンパーは樹脂単体で使用してもよく、またＮｉ電鋳してもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、配列された各マザースタンパー間の高さが面一になるように矯正された状態で充填材を流し込み、硬化させるため、段差を小さくして継目を目立たなくすることができる。また、従来のように紫外線硬化型樹脂を未硬化の状態で使用することもないので静電気による樹脂飛びの発生することがなく、品質の良いものを得ることができ、さらに情報記録パターン間のピッチを狭くすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】マスター版から複製されたマザースタンパーの一例を示す斜視図である。
【図２】図１のマザースタンパーに保護フィルムと両面テープをラミネートする様子を示す説明図である。
【図３】単面マザースタンパーを示す斜視図である。
【図４】単面マザースタンパーを貼り込むためのブロックと貼込作業に使用するガイドを示す斜視図である。
【図５】ブロックの裏側を示す斜視図である。
【図６】ブロックへの単面マザースタンパーの貼込み方を示した説明図である。
【図７】単面マザースタンパーから１列の多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。
【図８】図７に示す治具を組み立てて充填材を流し込む状態を示す斜視図である。
【図９】１列の多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた１列の多面マザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。
【図１０】情報記録パターンを複製した基材に保護フィルムと両面テープをラミネートする様子を示す説明図である。
【図１１】１列の多面樹脂マザースタンパーを示す斜視図である。
【図１２】１列の多面樹脂マザースタンパーを貼り込むためのブロックと貼込作業に使用するガイドを示す斜視図である。
【図１３】ブロックへの１列の多面樹脂マザースタンパーの貼込み方を示した説明図である。
【図１４】１列の多面樹脂マザースタンパーから多面樹脂マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。
【図１５】単面マザースタンパーから多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。
【図１６】図１５に示す治具を組み立てて充填材を流し込む状態を示す斜視図である。
【図１７】多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた多面付けマザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。
【図１８】図１７に続く工程を示す図である。
【符号の説明】
１マザースタンパー
１ａ単面マザースタンパー
２保護フィルム
３両面テープ
４ブロック
４ａ穴
４ｂ雌ネジ
５ガイド
６ローラー
７定盤
８ベース基材
９両面テープ
１０粘着フィルム
１１枠板
１１ａ雌ネジ
１１ｂ注入口
１２クッション材
１２ａ穴
１３ベース板
１３ａピン
１３ｂ穴
１３ｃ穴
１４重り
１５シリコーン樹脂
１６液状紫外線硬化型樹脂
１７基材
１７ａ多面マザースタンパー
１８ローラー
１９ＵＶランプ
２０ブロック
２１ガイド
２２ローラー
２３定盤
２４ベース基材
２５両面テープ
２６粘着フィルム
２７枠板
２７ａ雌ネジ
２７ｂ注入口
２８クッション材
２８ａ穴
２９ベース板
２９ａピン
２９ｂ穴
２９ｃ穴
３０ベース板
３０ａピン
３０ｂ穴
３１クッション材
３２枠板
３２ｂ注入口
３３粘着フィルム
３４両面テープ
３５ベース基材
３６定盤
３７重り
３８シリコーン樹脂
３９液状紫外線硬化型樹脂
３９ａ情報記録パターン
４０基材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a stamper used as an original for copying an optical information recording medium such as an optical card having an uneven information track.
[0002]
[Prior art]
In general, in order to achieve high-density recording, an optical information recording medium such as an optical card needs to form a fine uneven optical information pattern on a substrate for the optical recording information medium. For this reason, several molding methods have been proposed in the past, but at present, the so-called 2P method, which has a very fine pattern replication accuracy and requires little capital investment, is mainly employed. In this 2P method, a liquid ultraviolet curable resin is filled between a stamper having an uneven surface and a substrate for an optical information recording medium, the resin is irradiated with ultraviolet rays and cured, and then the stamper is peeled off. An optical information recording medium is produced.
[0003]
The stamper used in the above-described 2P method can enter only about 2 to 3 surfaces even in the case of an optical card because of the photomask drawing area, and is not suitable for mass production. For this reason, it is conceivable to perform mass replication at once using a multi-surface imposing stamper in which a plurality of stampers are connected to increase the pattern, and the following two methods for producing this multi-surface imposing stamper have been proposed.
[0004]
The first method is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-153123. A multi-surface mother stamper is formed by connecting a plurality of single-surface mother stampers made of resin, and the multi-surface mother stamper is duplicated to form a multi-surface stamper. When forming an intermediate body having a depression at the seam of the single-sided mother stamper, an uncured portion of the ultraviolet curable resin is applied to the pattern seam portion of the cover sheet replicated from the intermediate body. In this state, the flat multi-sided mother stamper is replicated with the uncured portion being leveled.
[0005]
The second method is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-153124. When the mother stamper pattern is continuously replicated on the base sheet using an ultraviolet curable resin, the following pattern is replicated. The UV curable resin of the part that becomes the joint of the pattern is made uncured by exposing the part to light shielding, and the mother stamper is moved to the uncured part to replicate the next pattern on the base sheet. Is.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
The first and second methods described above aim to produce a multi-faced stamper in which the joints are not conspicuous and the pattern interval is shortened. However, in the first method, the resin shrinks during curing. In the second method, the resin piece and uncured resin may fly from the seam and adhere to the pattern due to static electricity generated when the base sheet is peeled off. There is a problem that good quality cannot be obtained.
[0007]
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to reduce the step between impositions when the number of impositions is increased, and to make the seam inconspicuous. It is an object of the present invention to provide a method for producing a multi-faced stamper that can obtain a high quality product.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a multi-surface mother stamper in which a plurality of single-surface mother stampers made of a resin are connected, and a multi-surface stamper is manufactured by duplicating the multi-surface mother stamper. In producing the multi-sided mother stamper Using a special jig for pouring the filler so that the height between each single-sided mother stamper is flush The single-sided mother stamper In a corrected state Array By pouring the filler in that state and curing it, A filler is embedded in the gap between each single-sided mother stamper flush with the stamper surface. And when arranging a large number of single-faced mother stampers, it is preferable to arrange them as many as the required number of impositions at a time. By doing in this way, when the number of impositions is increased, it is not necessary to take time and effort in manufacturing the mother.
[0009]
As the above-mentioned filler, a two-component room temperature curing type silicone tree Fat Can be used. As the use conditions of the filler, first, the viscosity at the time of filling is low (because fluidity is good, it is possible to connect many surfaces at once), the curing shrinkage rate is small, and the hardness after curing is high. Is mentioned. in front 2 A liquid room temperature curable silicone resin satisfies this condition and is preferable. For example, “KE-112” manufactured by Shin-Etsu Chemical has a viscosity before curing: 8 (Pa, s), a hardness after curing: 60 degrees (JIS-A), and a curing shrinkage: 0.5%.
[0010]
Then, it is desirable to use such a silicone resin and replicate it before the silicone resin shrinks during curing so that the cured silicone resin surface is flush with the stamper surface.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A specific procedure of the first method for carrying out the present invention will be described.
[0012]
First, a single-surface mother stamper is produced from a 2-3 mother stamper by punching or cutting. In this case, the burrs should be made with good accuracy. Then, in the following steps (1) to (9), one row of multi-surface mother stampers is produced from the single-surface mother stamper using a dedicated jig.
[0013]
(1) A step of attaching the single-sided mother stamper to the positioning block with high accuracy.
(2) A step of accurately arranging the blocks on which the single-sided mother stamper is attached at a predetermined pitch. Specifically, positioning pins are provided on the large base plates to be arranged, and the blocks provided with the positioning holes are set and arranged on the pins of the base plates.
(3) A step of assembling a jig for pouring a filler using a large base plate on which blocks having a single-sided mother stamper are arranged.
(1) Lay cushion material on the base plate outside the single-sided mother stamper.
(2) The frame plate is set on the base plate through the cushion material.
(3) A flattening adhesive film is pasted on the surface of the single-sided mother stamper and the frame plate so that no bubbles or foreign substances enter. If the adhesive film is thin, wrinkles are likely to occur at the time of sticking, so the base substrate is stuck with double-sided tape to hold the waist.
(4) A step of placing the jig on a surface plate so that the adhesive film surface faces downward.
(5) A step of placing a weight on the base plate. (To prevent the filler from entering the pattern surface of the single-sided mother stamper when filling the filler)
(6) A step of pouring the filler into the filler inlet provided on the end face of the frame plate.
(7) A step of aging to cure the filler.
(8) A step of removing the flattening adhesive film after the filler is cured.
(9) A step of aging to cure the outermost surface of the filler.
[0014]
One row of multi-sided mother stampers is completed by the above steps (1) to (9). Next, several copies of the single-sided multi-sided mother stamper made of resin are produced by duplicating the single-sided multi-sided mother stamper several times by the 2P method. Subsequently, a single-sided multi-sided mother stamper having a predetermined size is produced from a single-sided multi-sided mother stamper produced by several sheets by punching or cutting. In this case, the burrs should be made with good accuracy. Then, in the following steps (1) to (9), a multi-row multi-surface mother stamper is produced from the single-row multi-surface mother stamper.
[0015]
(1) A step of accurately attaching the one row of multi-surface mother stampers to the positioning block.
(2) A step of accurately arranging the blocks on which one row of multi-sided mother stampers are attached at a predetermined pitch. Specifically, positioning pins for the large base plate to be arranged are provided, and the block provided with the positioning holes is set on the pins of the base plate.
(3) A step of assembling a jig for pouring a filler using a large base plate on which blocks in which a row of multi-sided mother stampers are affixed are arranged.
(1) Lay cushion material on the base plate outside the single-sided multi-sided mother stamper.
(2) The frame plate is set on the base plate through the cushion material.
(3) A flattening adhesive film is stuck on the surface of the multi-sided mother stamper and the frame plate in one row so that no bubbles, foreign substances, etc. enter. If the adhesive film is thin, wrinkles are likely to occur at the time of sticking, so the base substrate is stuck with double-sided tape to hold the waist.
(4) A step of placing the jig on a surface plate so that the adhesive film surface faces downward.
(5) A step of placing a weight on the base plate. (To prevent the filler from wrapping around the pattern surface of one row of multi-sided mother stamper during filling)
(6) A step of pouring the filler into the filler inlet provided on the end face of the frame plate.
(7) A step of aging to cure the filler.
(8) A step of removing the flattening adhesive film after the filler is cured.
(9) A step of aging to cure the outermost surface of the filler.
[0016]
A multi-row multi-sided mother stamper is completed by the steps (1) to (9). Next, this multi-row multi-sided mother stamper is duplicated several times by the 2P method to produce several multi-row multi-sided mother stampers made of resin. Normally, this multi-row multi-sided mother stamper is used as the master version.
[0017]
Next, a specific procedure of the second method for carrying out the present invention will be described.
[0018]
First, a single-surface mother stamper is produced from a 2-3 mother stamper by punching or cutting. Up to this point, it is the same as the first method, but in this second method, the multi-sided mother stamper is removed from this single-sided mother stamper at once using a dedicated jig by the following steps (1) to (9). Make it.
[0019]
(1) A step of attaching the single-sided mother stamper to the positioning block with high accuracy.
(2) A step of accurately arranging the blocks on which the single-sided mother stamper is attached at a predetermined pitch. Specifically, positioning pins are provided on the large base plates to be arranged, and the blocks provided with the positioning holes are set and arranged on the pins of the base plates.
(3) A step of assembling a jig for pouring a filler using a large base plate on which blocks having a single-sided mother stamper are arranged.
(1) The block is set on the base plate while a cushion material is sandwiched between the block on which the single-sided mother stamper is pasted and the base plate.
(2) Set the frame plate on the base plate.
(3) A flattening adhesive film is pasted on the surface of the single-sided mother stamper and the frame plate so that no bubbles or foreign substances enter. If the adhesive film is thin, wrinkles are likely to occur at the time of sticking, so the base substrate is stuck with double-sided tape to hold the waist.
(4) A step of placing the jig on a surface plate so that the adhesive film surface faces downward.
(5) A step of placing a weight on the base plate. (To prevent the filler from entering the pattern surface of the single-sided mother stamper when filling the filler)
(6) A step of pouring the filler into the filler inlet provided on the end face of the frame plate.
(7) A step of aging to cure the filler.
(8) A step of removing the flattening adhesive film after the filler is cured.
(9) A step of aging to cure the outermost surface of the filler.
[0020]
A multi-sided mother stamper is completed by the steps (1) to (9). Next, using this multi-sided mother stamper, several copies are made by the 2P method to produce several multi-sided mother stampers made of resin. Normally, this multi-imposition stamper is used as a master version.
[0021]
【Example】
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0022]
(First embodiment)
First, the mother stamper 1 having two to three faces as shown in FIG. 1 is duplicated from the master plate by the 2P method. Next, as shown in FIG. 2, the protective film 2 is laminated on the duplicate surface of the mother stamper 1, and the double-sided tape 3 is laminated on the opposite surface. When laminating, while removing the static electricity so that no foreign matter is mixed, it is laminated so that bubbles are not mixed. Thus, the single-sided mother stamper 1a as shown in FIG. 3 is produced from the mother stamper 1 to which the protective film 2 and the double-sided tape 3 are attached by punching or cutting. At this time, the long side of the recording pattern in the single-sided mother stamper 1a is parallel to the long side of the base material, and the short side of the recording pattern in the single-sided mother stamper 1a is equally stamped with respect to the left and right sides of the base material. It is desirable that it is processed or cut. The mother stamper 1 may be Ni electroformed.
[0023]
FIG. 4 shows a block 4 for pasting the single-sided mother stamper 1a and a guide 5 used for pasting. FIG. 5 is a view showing the back side of the block 4, which is provided with positioning holes 4a for accurately arranging the single-sided mother stampers 1a and female screws 4b for fixing the blocks. The holes 4a are provided in two places, one is a round hole and the other is an oblong hole. FIG. 6 is an explanatory view showing how to attach the single-sided mother stamper 1a to the block 4. As shown in the figure, the block 4 is fitted into the guide 5, and the three sides of the block 4 are the three sides of the guide 5. Then, the release paper of the double-sided tape 3 attached to the single-sided mother stamper 1a is peeled off, and then the one side of the long side is attached to one side of the guide 5 and is attached by nip by the roller 6 The face mother stamper 1 a is pasted on the block 4.
[0024]
FIG. 7 is an exploded view of a jig for producing a row of multi-surface mother stampers from a single-surface mother stamper. The assembly procedure will be described. First, the block 4 on which the single-sided mother stamper 1a is affixed to the positioning pins 13a provided on the base plate 13 is set. That is, in order to fix the block 4 to the base plate 13, a screw is passed through a block fixing hole 13 b provided in the base plate 13 and tightened to a female screw 4 b provided in the block 4. Next, a cushion material 12 having an open window is laid on the base plate 13 so as not to contact the block 4, and a frame plate 11 having an open window is set on the cushion material 12 so as not to contact the block 4. In order to fix these, the frame plate 11 is provided with screws through fixing holes 13c (four places) provided in the base plate 13 and fixing holes 12a (four places) provided in the cushion material 12. Tighten to the female screw 11a (4 places). Subsequently, the protective film 2 on the single-sided mother stamper 1a is peeled off, and the adhesive film 10 is laminated on the frame plate 11 and the single-sided mother stamper 1a so that foreign matter and bubbles do not enter. At this time, if the pressure-sensitive adhesive film 10 is thin and has no waist, the pressure-sensitive adhesive film 10 that has been stuck to the base substrate 8 in advance with a double-sided tape 9 as shown in the drawing is used. Finally, the surface plate 7 for leveling is placed on the adhesive film 10 and the base substrate 8. The condition of the pressure-sensitive adhesive film 10 includes that the pressure-sensitive adhesive does not remain on the adherend during peeling. Therefore, a film of a type that has strong adhesive force at the time of adhesion and is inferior in adhesive force when irradiated with ultraviolet rays at the time of peeling, specifically, a UV curable pressure-sensitive adhesive sheet “UE-10” or “Nitto Denko Co., Ltd.” UE-1081G "was used.
[0025]
FIG. 8 shows a state where the assembly of the jig shown in FIG. 7 is finished and a silicone resin as a filler is poured. The jig assembled as described above is set upside down as shown in FIG. The reason why the jig is turned upside down is to make the silicone resin easy to flow and to prevent bubbles from appearing on the surface. Then, a weight 14 is placed on the base plate 13 so that the poured silicone resin does not enter the recording pattern portion. Load is 50-100g / cm ² And The silicone resin used was a silicone resin “KE-17” (main agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., mixed with 0.5 to 1% of a curing agent and well stirred. Silicone resin is put into a syringe or the like and injected from a silicone resin injection port 11 b provided on the frame plate 11. As a method of injecting the silicone resin, small amounts are sequentially injected from the ends of the injection ports 11b provided on the two opposite sides. As a guide for injection, the process is terminated when the silicone resin overflows from the injection port 11b other than the silicone resin injection point.
[0026]
When the injection of the silicone resin is completed, the silicone resin is allowed to cure at room temperature by leaving it in that state for 4 to 8 hours. After the elapse of 4 to 8 hours, the weight 14 is released, and the integrated jig other than the surface plate 7 for flattening is turned upside down. When the adhesive film 10 is a UV curable adhesive sheet, 460-1000 mmJ / cm ² Irradiate UV rays. Then, the adhesive film 10 is peeled off. When peeling off, make sure to remove it while removing electricity.
[0027]
FIG. 9 is a process diagram showing a procedure for duplicating one row of multi-sided mother stampers made of resin by the 2P method from one row of multi-sided mother stampers. First, a multi-row mother stamper of one row shown in FIG. 9A is obtained by the above procedure. In the figure, reference numeral 15 denotes a silicone resin. Then, as shown in FIG. 9 (b), after the liquid ultraviolet curable resin 16 is dropped onto this single row of multi-sided mother stampers, one side of the short side of the substrate 17 is brought into contact with the multi-sided mother stamper, and the roller 18 The liquid UV curable resin 16 is spread by nip. Next, as shown in FIG. 9C, the UV lamp 19 irradiates ultraviolet rays at a dose of 100 to 500 mJ / cm. ² To cure the liquid ultraviolet curable resin 16. Next, as shown in FIG. 9 (d), the base material 17 is peeled from one row of multi-sided mother stampers, and an information recording pattern 16 a is formed on the base material 17. The substrate 17 is peeled off while removing electricity.
[0028]
After the information recording pattern 16a is duplicated on the base material 17 as described above, the protective film 2 is laminated on the duplicate surface of the base material 17 and the double-sided tape 3 is laminated on the opposite surface as shown in FIG. When laminating, while removing the static electricity so that no foreign matter is mixed, it is laminated so that bubbles are not mixed. A single-sided multi-sided resin mother stamper 17a as shown in FIG. 11 is produced by punching or cutting from the base material 17 to which the protective film 2 and the double-sided tape 3 are attached. At this time, the long side of the recording pattern in one row of the multi-sided resin mother stamper 17a is parallel to the long side of the base material, and the short side of the recording pattern in the single row of multi-sided resin mother stamper 17a is on the left and right sides of the base material. On the other hand, it is desirable that the punching process or the cutting process be performed uniformly. Furthermore, it is desirable that the substrate has no burrs during processing.
[0029]
FIG. 12 shows a block 20 for adhering the one row of the multi-surface resin mother stamper 17a and a guide 21 used for the adhering operation. FIG. 13 is an explanatory view showing a method of sticking one row of the multi-sided resin mother stamper 17a to the block 20. As shown in the figure, the block 20 is fitted into the guide 21, and the three sides of the block 20 are After the release paper of the double-sided tape 3 stuck on one row of the multi-sided resin mother stamper 17a is peeled off, the long side of one side is brought into contact with one side of the guide 21 and stuck. Then, one row of multi-sided resin mother stampers 17 a is stuck to the block 20 by being nipped by the rollers 22.
[0030]
FIG. 14 is an exploded view of a jig for producing a multi-sided resin mother stamper from one row of multi-sided resin mother stampers. The assembly procedure will be described. First, the block 20 in which one row of the multi-surface resin mother stamper 17a is attached to the positioning pins 29a provided on the base plate 29 is set. That is, in order to fix the block 20 to the base plate 29, a screw is passed through a block fixing hole 29 b provided in the base plate 29 and tightened to a fixing female screw provided in the block 20. Next, a cushion material 28 having an open window is laid on the base plate 29 so as not to contact the block 20, and a frame plate 27 having an open window is set on the cushion material 29 so as not to contact the block 20. Female screws 27a (four locations) provided in the frame plate 27 through screws through fixing holes 29c (four locations) provided in the base plate 29 and fixing holes 28a (four locations) provided in the cushion material 28. Tighten to. Subsequently, the protective film 2 on the single-sided multi-sided resin mother stamper 17a is peeled off, and the adhesive film 26 is laminated on the frame plate 27 and the single-sided multi-sided resin mother 17a so that foreign matter and bubbles do not enter. At this time, if the pressure-sensitive adhesive film 26 is thin and has no waist, the pressure-sensitive adhesive film 26 that is pasted on the base substrate 24 with a double-sided tape 25 and has a waist as shown in the figure is used. Finally, a surface plate 23 for leveling is placed on the adhesive film 26 and the base substrate 24. As a condition of the pressure-sensitive adhesive film 26, like the pressure-sensitive adhesive film 10, it is possible that the pressure-sensitive adhesive of the adherend does not remain at the time of peeling. Accordingly, here too, a film of a type that has a strong adhesive force during bonding and is inferior in adhesive force when irradiated with ultraviolet rays during peeling, specifically, a UV curable adhesive sheet “UE-10” manufactured by Nitto Denko Corporation. Or “UE-1081G” was used.
[0031]
After the assembly of the jig shown in FIG. 14 is completed, the jig is set upside down as in FIG. The reason why the jig is turned upside down is the same as described above, in order to facilitate the flow of the silicone resin and to prevent bubbles from appearing on the surface. Then, a weight is applied on the base plate 29 so that the poured silicone resin does not enter the recording pattern portion. In this case as well, the load is 50 to 100 g / cm. ² And As described above, the silicone resin used was a silicone resin “KE-17” (main agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., mixed with 0.5 to 1% of a curing agent and well stirred. Silicone resin is put into a syringe or the like and injected from a silicone resin injection port 27 b provided on the frame plate 27. As a method of injecting the silicone resin, small amounts are sequentially injected from the ends of the injection ports 27b provided on the two opposite sides. As a guide for injection, the process is terminated when the silicone resin overflows from the injection port 27b other than the silicone resin injection point.
[0032]
When the injection of the silicone resin is completed, the silicone resin is allowed to cure at room temperature by leaving it in that state for 4 to 8 hours. After the elapse of 4 to 8 hours, after releasing the weight, the integrated jig other than the surface plate 23 for flattening is turned upside down. When the adhesive film 26 is a UV curable adhesive sheet, 460 to 1000 mmJ / cm ² Irradiate UV rays. Then, the adhesive film 26 is peeled off. Remove the static electricity when removing.
[0033]
(Example 2)
In this example, the single-sided mother stamper is manufactured from the single-sided mother stamper after the single-sided mother stamper is manufactured and the single-sided mother stamper is attached to the block in the same manner as in Example 1.
[0034]
FIG. 15 is an exploded view of a jig for producing a multi-surface mother stamper from a single-surface mother stamper. The assembly procedure will be described. First, the block 4 on which the single-sided mother stamper 1a is affixed to the positioning pins 30a provided on the base plate 30 is set. That is, in order to fix the block 4 to the base plate 30, a screw is passed through a block fixing hole 30 b provided in the base plate 30 and tightened to a female screw 4 b provided in the block 4. At this time, the cushion material 31 is sandwiched between the block 4 and the base plate 30 so as not to come into contact with the frame plate 32 having an open window. Next, the frame plate 32 is set on the base plate 30. At this time, the fixing is performed by passing screws through fixing holes 30c (four places) provided on the base plate 30 and tightening female screws 32a (four places) provided on the frame plate 32. Subsequently, the protective film 2 on the single-sided mother stamper 1a is peeled off, and the adhesive film 33 is laminated on the frame plate 32 and the single-sided mother stamper 1a so that foreign matter and bubbles do not enter. At this time, if the pressure-sensitive adhesive film 33 is thin and has no waist, a surface plate 36 for leveling is previously placed on the base substrate 35 with a double-sided tape 34 as shown. As a condition of this adhesive film 33, it is mentioned that an adhesive does not remain on an adherend at the time of peeling. Therefore, a film of a type that has strong adhesive force at the time of adhesion and is inferior in adhesive force when irradiated with ultraviolet rays at the time of peeling, specifically, a UV curable pressure-sensitive adhesive sheet “UE-10” or “Nitto Denko Co., Ltd.” UE-1081G "was used.
[0035]
FIG. 16 shows the state when the assembly of the jig shown in FIG. 15 is finished and the silicone resin as the filler is poured. The jig assembled as described above is set upside down as shown in FIG. The reason why the jig is turned upside down is to make the silicone resin easy to flow and to prevent bubbles from appearing on the surface. A weight 37 is placed on the base plate 30 so that the poured silicone resin does not enter the recording pattern portion. The load is 30-60g / cm ² And If the weight is put on the weight or the jig itself is made heavy, the necessary weight can be covered by its own weight. The silicone resin is a curing agent (1) CAT-RM (0.875%) and (2) CAT-112 (2.75) relative to the silicone resin “KE-112” (main agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. %) Were mixed and stirred well. Silicone resin is put into a syringe or the like and injected from a silicone resin injection port 32 b provided on the frame plate 32. As a method for injecting the silicone resin, small amounts are sequentially injected from the ends of the injection ports 32b provided on the two opposite sides. As a guide for injection, the process is terminated when the silicone resin overflows from the injection port 32b other than the silicone resin injection point.
[0036]
When the injection of the silicone resin is completed, the silicone resin is allowed to cure at room temperature by leaving it in that state for 5 hours. After the elapse of 5 hours, the weight 37 is released, and then the integrated jig other than the flat plate 36 is turned upside down. Here, the curing time of the silicone resin is set to 8 hours according to the manufacturer specifications, but because of the curing shrinkage of the silicone resin, it takes 5 hours as a condition of the cured state in which 2P duplication is possible before the curing shrinkage of the silicone resin proceeds. I was able to obtain the value. This value varies depending on the type of silicone resin. When the adhesive film 33 is a UV curable adhesive sheet, 460-1000 mJ / cm ² Irradiate UV rays. Then, the adhesive film 33 is peeled off. When peeling off, make sure to remove it while removing electricity.
[0037]
17 and 18 are process diagrams showing a procedure for copying a multi-faced mother stamper made of resin by the 2P method from a multi-faced mother stamper filled with silicone resin. First, the multi-sided mother stamper shown in FIG. In the figure, 38 is a silicone resin. Then, as shown in FIG. 17 (b), after dropping the liquid ultraviolet curable resin 39 onto the multi-sided mother stamper, one side of the short side of the substrate 40 is brought into contact with the multi-sided mother stamper and niped by the roller 41. The liquid ultraviolet curable resin 39 is spread. Next, as shown in FIG. 17 (c), the UV lamp 42 emits ultraviolet rays at a dose of 100 to 500 mJ / cm. ² Is applied to cure the liquid ultraviolet curable resin 39. Next, as shown in FIG. 18, the base material 40 is peeled from the multi-sided mother stamper, and an information recording pattern 39 a is formed on the base material 40. The substrate 40 is peeled off while removing electricity.
[0038]
Thus, what formed the information recording pattern 39a in the base material 40 becomes a multi-faced stamper. This multi-faced stamper may be used as a single resin, or may be Ni electroformed.
[0039]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the filling material is poured and cured in a state where the heights between the arranged mother stampers are flush with each other. It can be inconspicuous. In addition, since UV curable resins are not used in an uncured state as in the past, resin jumping due to static electricity does not occur, and high quality products can be obtained, and the pitch between information recording patterns Can be narrowed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a mother stamper replicated from a master plate.
2 is an explanatory diagram showing a state in which a protective film and a double-sided tape are laminated on the mother stamper of FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a single-sided mother stamper.
FIG. 4 is a perspective view showing a block for sticking a single-sided mother stamper and a guide used for sticking work.
FIG. 5 is a perspective view showing the back side of the block.
FIG. 6 is an explanatory view showing a method of attaching a single-sided mother stamper to a block.
FIG. 7 is an exploded view of a jig for producing a row of multi-surface mother stampers from a single-surface mother stamper.
8 is a perspective view showing a state in which the jig shown in FIG. 7 is assembled and a filling material is poured. FIG.
FIG. 9 is a process diagram showing a procedure for duplicating one row of multi-sided mother stampers made of resin from a row of multi-sided mother stampers by the 2P method.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a state in which a protective film and a double-sided tape are laminated on a base material on which an information recording pattern is duplicated.
FIG. 11 is a perspective view showing one row of multi-surface resin mother stampers.
FIG. 12 is a perspective view showing a block for sticking one row of multi-sided resin mother stampers and a guide used for sticking work.
FIG. 13 is an explanatory view showing a method of sticking one row of multi-sided resin mother stampers to the block.
FIG. 14 is an exploded view of a jig for producing a multi-sided resin mother stamper from a single row of multi-sided resin mother stamper.
FIG. 15 is an exploded view of a jig for producing a multi-surface mother stamper from a single-surface mother stamper.
16 is a perspective view showing a state in which the jig shown in FIG. 15 is assembled and a filling material is poured. FIG.
FIG. 17 is a process diagram showing a procedure for duplicating a multi-sided mother stamper made of a resin by a 2P method from a multi-sided mother stamper.
FIG. 18 is a diagram showing a step that follows the step of FIG.
[Explanation of symbols]
1 Mother stamper
1a Single-sided mother stamper
2 Protective film
3 Double-sided tape
4 blocks
4a hole
4b Female thread
5 Guide
6 Roller
7 Surface plate
8 Base substrate
9 Double-sided tape
10 Adhesive film
11 Frame board
11a Female thread
11b inlet
12 Cushion material
12a hole
13 base plate
13a pin
13b hole
13c hole
14 weights
15 Silicone resin
16 Liquid UV curable resin
17 Base material
17a Multi-sided mother stamper
18 Roller
19 UV lamp
20 blocks
21 Guide
22 Roller
23 Surface plate
24 Base material
25 Double-sided tape
26 Adhesive film
27 Frame board
27a Female thread
27b inlet
28 Cushion material
28a hole
29 Base plate
29a pin
29b hole
29c hole
30 Base plate
30a pin
30b hole
31 Cushion material
32 Frame board
32b inlet
33 Adhesive film
34 Double-sided tape
35 Base material
36 Surface plate
37 weights
38 Silicone resin
39 Liquid UV curable resin
39a Information recording pattern
40 base material

Claims

In a method of manufacturing a multi-surface mother stamper by connecting a plurality of single-surface mother stampers made of resin, and replicating the multi-surface mother stamper to manufacture a multi-surface stamper , a filler is used when the multi-surface mother stamper is manufactured. using a dedicated jig for pouring, number and arrangement in a state where the height is corrected with the single face mother stamper so as to be flush between the mono-sided mother stamper to cure by pouring filler in this state it allows multi with a method for manufacturing a stamper, characterized in that to fill a gap filler between the mono-sided mother stamper stamper surface flush.

2. The method for producing a multi-faced stamper according to claim 1, wherein when arranging a large number of single-faced mother stampers, the required number of faces are arranged at a time.

The method for producing a multi-faced stamper according to claim 1 or 2, wherein the filler is a silicone resin.

The method for producing a multi-faced stamper according to claim 3, wherein a silicone resin having a low viscosity when uncured and a high hardness after curing is used as the silicone resin.

The method for producing a multi-faced stamper according to claim 3, wherein the silicone resin surface after curing is duplicated before the shrinkage during curing of the silicone resin proceeds so that the surface of the silicone resin is flush with the stamper surface.