JP4135247B2 - Radiation sensitive composition for color filter - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタ用感放射線性組成物に関わり、より詳しくは、膜硬度、基板との密着性等に優れた、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの製造に有用なカラーフィルタ用感放射線性組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線性組成物を塗布して乾燥したのち、乾燥塗膜に所望のパターン形状に放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像することにより、各色の画素を得る形成方法(特開平2−144502号公報および特開平3−53201号公報参照)が知られている。
しかしながら、このような方法により得られるカラーフィルタの場合、現像時に未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れを生じる場合があり、従来の着色感放射線性組成物では、このような残渣や地汚れをブラシ洗浄などで除去する際に、画素表面を傷つけたり、パターンの欠けが生じたりして、パターン不良の大きな原因になっていた。
また、光重合開始剤としてハロメチルオキサジアゾール系化合物やハロメチル−s−トリアジン系化合物を用いたカラーフィルタ用感放射線性組成物において、これらの化合物から副生するハロゲン化水素の影響を抑えるために、(ジ)グリシジルエーテル等のエポキシ基を有する有機化合物や、エポキシ樹脂を配合する技術が提案されている(特開平1−254918号公報、特開平8−94824号公報および特開平8−95238号公報参照)。
これらのカラーフィルタ用感放射線性組成物では、電気的・化学的安定性に優れたカラーフィルタを作製でき、あるいはマスク付着物を抑制できるとされているが、未露光部の基板上や遮光層上に生じた残渣および地汚れを除去する際の画素パターンの傷および欠けの発生を防止する観点での検討がなされていない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の課題は、膜硬度が高く、現像後にブラシ洗浄などを行っても画素パターンに傷および欠けを生じることがなく、かつ現像性が優れ、また基板および遮光層への密着性にも優れた画素を与えることができる新規なカラーフィルタ用感放射線性組成物を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、本発明の前記課題は、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)光重合開始剤、および(E)オキセタン系化合物を含有し、かつ(D)光重合開始剤がアセトフェノン系化合物を含むことを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物、または
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)光重合開始剤、および(E)オキセタン系化合物を含有し、かつ(D)光重合開始剤がビイミダゾール系化合物および水素供与体を含み、さらにアセトフェノン系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物、
によって達成される。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
【0005】
以下に、本発明について詳細に説明する。
(A)着色剤
本発明における着色剤は、色調が特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、有機着色剤でも無機着色剤でもよい。
前記有機着色剤は、具体的には染料、有機顔料、天然色素等を意味し、また前記無機着色剤は、具体的には無機顔料のほか、体質顔料と呼ばれる硫酸バリウム等の無機塩を意味する。
カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められることから、本発明における着色剤としては、発色性が高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、通常、有機着色剤、特に好ましくは有機顔料が用いられる。
【0006】
前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー16、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイエロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー97、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグメントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー106、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー114、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピグメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー126、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー175、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー185;
【0007】
C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73;
C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;
【0008】
C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド10、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメントレッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメントレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピグメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド48:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメントレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド50:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメントレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピグメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピグメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド101、C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド104、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピグメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピグメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド265;
【0009】
C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;
C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラック7。
これらの有機顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、前記有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。
【0010】
また、前記無機着色剤としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
これらの無機着色剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0011】
本発明において、前記各着色剤は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。着色剤の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特開平8−259876号公報等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。
また、本発明における着色剤は、所望により、分散剤と共に使用することができる。
このような分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
前記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、Disperbyk(ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、50重量部以下、好ましくは30重量部以下である。
【0012】
(B)アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際に、その現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、単に「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、単に「共重合性不飽和単量体」という。)との共重合体(以下、単に「カルボキシル基含有共重合体」という。)が好ましい。
【0013】
カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水物類;
3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水物類;
こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレート等の両末端ジカルボキシポリマーのモノ(メタ)アクリレート類
等を挙げることができる。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0014】
また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
【0015】
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアクリレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレート、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メトキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキシプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピレングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレングルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0016】
2−アミノエチルアクリレート、2−アミノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルアクリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミド等の不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類
等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0017】
本発明におけるカルボキシル基含有共重合体としては、▲1▼アクリル酸および/またはメタクリル酸を必須成分とし、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)および/またはこはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)をさらに含有するカルボキシル基含有不飽和単量体成分と、▲2▼スチレン、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体(I)」という。)が好ましい。
【0018】
カルボキシル基含有共重合体(I)の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
メタクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体
(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体
等を挙げることができる。
【0019】
カルボキシル基含有共重合体におけるカルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。この場合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなるおそれがある。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは3,000〜300,000、さらに好ましくは5,000〜100,000である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、好ましくは3,000〜60,000、さらに好ましくは5,000〜25,000である。
このような特定のMwあるいはMnを有するアルカリ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それによりシャープなパターンエッジを有する画素を形成することができるとともに、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwとMnの比(Mw/Mn)は、通常、1〜5、好ましくは1〜4である。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0020】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となる場合がある。
【0021】
(C)多官能性単量体
本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体である。
多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジアクリレートまたはジメタクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジアクリレートまたはジメタクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴアクリレートまたはオリゴメタクリレート類;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジアクリレートまたはジメタクリレート類や、
トリス(2−アクリロイロキシエチル)フォスフェート、トリス(2−メタクリロイロキシエチル)フォスフェート
等を挙げることができる。
【0022】
これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物が好ましく、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、下記式(1)
【0023】
【化1】
【0024】
で表される化合物等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素強度が高く、画素表面の平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
本発明において、多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0025】
本発明における多官能性単量体の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
【0026】
また本発明においては、場合により、前記多官能性単量体と共に、単官能性単量体を併用することもできる。
このような単官能性単量体の例としては、共重合体(I)について例示した前記カルボキシル基含有不飽和単量体や共重合性不飽和単量体のほか、市販品として、M−5400、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
前記単官能性単量体の使用割合は、多官能性単量体と単官能性単量体との合計に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%を超えると、得られる画素の強度や表面平滑性が低下する傾向がある。
【0027】
(D)光重合開始剤
本発明における光重合開始剤は、(1)アセトフェノン系化合物を含むか、または(2)ビイミダゾール系化合物および水素供与体を含み、さらにアセトフェノン系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種を含むものからなり、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射により、前記(C)多官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生することができる成分である。
本発明における光重合開始剤がアセトフェノン系化合物を含む場合、アセトフェノン系化合物以外の光重合開始剤としては、例えば、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物等を挙げることができる。また、本発明における光重合開始剤がビイミダゾール系化合物および水素供与体を含む場合、ビイミダゾール系化合物以外の光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物等を挙げることができる。 本発明において、光重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、本発明における光重合開始剤がアセトフェノン系化合物を含む場合のアセトフェノン系化合物以外の光重合開始剤としては、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物等が好ましく、また本発明における光重合開始剤がビイミダゾール系化合物および水素供与体を含む場合のビイミダゾール系化合物化合物以外の光重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物等が好ましい。
【0028】
本発明における光重合開始剤の一般的な使用量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1〜60重量部である。この場合、光重合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成された画素が現像時に基板から脱落しやすくなるおそれがある。
アセトフェノン系化合物の具体例としては、
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、
2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、
2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン
等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、光重合開始剤としてアセトフェノン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性単量体の合計100重量部に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1〜60重量部、さらに好ましくは1〜30重量部である。この場合、アセトフェノン系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成された画素が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0029】
また、ビイミダゾール系化合物の具体例としては、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0030】
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0031】
2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0032】
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
等を挙げることができる。
【0033】
これらのビイミダゾール系化合物のうち、好ましい化合物は、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾールであり、さらに好ましい化合物は、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールであり、特に好ましい化合物は、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールである。
これらのビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、コントラストが高く、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダーカットのない画素パターンが所定の配列に従って配置された高精細な画素アレイを形成することができる。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0034】
本発明において、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性単量体の合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、ビイミダゾール系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、現像する際に、形成された画素の基板からの脱落や画素表面の膜あれを来しやすくなる傾向がある。
【0035】
−水素供与体−
本発明においては、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、下記で定義するアミン系化合物等が好ましい。
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という。)からなる。
前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という。)からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。
【0036】
以下、これらの水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
【0037】
このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
【0038】
次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
【0039】
このようなアミン系水素供与体の具体例としては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
【0040】
本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された画素が現像時に基板から脱落し難く、また画素強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との好ましい組み合わせの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3である。
【0041】
本発明において水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性単量体の合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、水素供与体の使用量が0.01重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方40重量部を超えると、形成された画素が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0045】
また、トリアジン系化合物の具体例としては、
2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
下記式(2)で表される化合物(以下、「トリアジン系化合物(2)」という。)
【0046】
【化2】
【0047】
下記式(3)で表される化合物(以下、「トリアジン系化合物(3)」という。)
【0048】
【化3】
【0049】
等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物
を挙げることができる。
【0050】
これらのトリアジン系化合物のうち、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、トリアジン系化合物(2)、トリアジン系化合物(3)等が好ましい。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0052】
ここで、本発明における(a)ビイミダゾール系化合物とアセトフェノン系化合物との組み合わせ、(b)ビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物、メルカプタン系水素供与体およびアミン系水素供与体の組み合わせ、(d)ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、メルカプタン系水素供与体およびアミン系水素供与体の組み合わせ、(e)アセトフェノン系化合物とトリアジン系化合物との組み合わせ、(f)ビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物およびトリアジン系化合物の組み合わせ、あるいは(g)ビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物、メルカプタン系水素供与体およびアミン系水素供与体の組み合わせの特に好ましい具体例を示すと、下記のものを挙げることができる。
【0053】
前記(a)の特に好ましい組み合わせは、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1
等である。
前記(b)の特に好ましい組み合わせは、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
等である。
【0054】
前記(d)の特に好ましい組み合わせは、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/トリアジン系化合物(2)/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/トリアジン系化合物(3)/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
等である。
【0055】
前記(e)の特に好ましい組み合わせは、
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/トリアジン系化合物(2)、
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/トリアジン系化合物(3)
等である。
【0056】
前記(f)の特に好ましい組み合わせは、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/トリアジン系化合物(2)、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/トリアジン系化合物(3)
等である。
前記(g)の特に好ましい組み合わせは、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/トリアジン系化合物(2)/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/トリアジン系化合物(3)/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
等である。
【0057】
(E)オキセタン系化合物
本発明におけるオキセタン系化合物は、オキセタン環を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物である。
このようなオキセタン系化合物としては、例えば、下記式(4)、式(5)または式(6)で表される化合物等を挙げることができる。
【0058】
【化4】
〔式(4)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数2〜4のアルケニル基または炭素数7〜12のアラルキル基を示す。〕
【0059】
【化5】
〔式(5)において、R3 は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数2〜4のアルケニル基、炭素数2〜6のアルキルカルボニル基、炭素数2〜6のアルコキシカルボニル基、炭素数2〜6のモノアルキルアミノカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基(但し、各アルキル基の炭素数は1〜3である。)、炭素数7〜12のアラルキル基または炭素数8〜12のアラルキルオキシアルキル基を示し、R4 は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数2〜4のアルケニル基または炭素数7〜12のアラルキル基を示す。〕
【0060】
【化6】
〔式(6)において、R5 およびR6 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数2〜4のアルケニル基または炭素数7〜12のアラルキル基を示し、Xはカルボニル基、炭素数1〜3のアルキレン基、炭素数6〜10のアリーレン基、炭素数8〜12のアラルキレン基または−CO−Y−CO−基(但し、Yは炭素数1〜3のアルキレン基、炭素数6〜10のアリーレン基または炭素数8〜12のアラルキレン基を示す。)を示す。〕
【0061】
式(4)、式(5)および式(6)において、R1 、R2 、R3 、R4 、R5 およびR6 中に存在する各有機基はそれぞれ、適宜の箇所でハロゲン原子、カルボキシル基、ニトリル基、アルコキシル基、アルコキシカルボニル基等によって置換されていてもよく、さらにR1 、R2 、R3 、R4 、R5 およびR6 中に存在する各アリール基、アリーレン基およびアラルキレン基はそれぞれ、適宜の箇所でアルキル基によって置換されていてもよい。
【0062】
オキセタン系化合物の具体例としては、オキセタン、3−メチルオキセタン、3−エチルオキセタン、3−n−プロピルオキセタン、3−n−ブチルオキセタン、3−ビニルオキセタン、3−アリルオキセタン、3−ベンジルオキセタン、3,3−ジメチルオキセタン、3,3−ジエチルオキセタン、3−メチル−3−エチルオキセタン、3−メチル−3−n−プロピルオキセタン、3−メチル−3−n−ブチルオキセタンや、下記式(7)〜(54)で表される化合物等を挙げることができる。以下において、各オキセタン系化合物は、式番号を括弧内に併記して「オキセタン系化合物(7)」(式(7)の化合物の場合)のように表記するときがある。
【0063】
【化7】
【0064】
【化8】
【0065】
【化9】
【0066】
【化10】
【0067】
【化11】
【0068】
【化12】
【0069】
【化13】
【0070】
【化14】
【0071】
【化15】
【0072】
【化16】
【0073】
【化17】
【0074】
【化18】
【0075】
【化19】
【0076】
【化20】
【0077】
【化21】
【0078】
【化22】
【0079】
【化23】
【0080】
【化24】
【0081】
【化25】
【0082】
【化26】
【0083】
【化27】
【0084】
【化28】
【0085】
【化29】
【0086】
【化30】
【0087】
【化31】
【0088】
【化32】
【0089】
【化33】
【0090】
【化34】
【0091】
【化35】
【0092】
【化36】
【0093】
【化37】
【0094】
【化38】
【0095】
【化39】
【0096】
【化40】
【0097】
【化41】
【0098】
【化42】
【0099】
【化43】
【0100】
【化44】
【0101】
【化45】
【0102】
【化46】
【0103】
【化47】
【0104】
【化48】
【0105】
【化49】
【0106】
【化50】
【0107】
【化51】
【0108】
【化52】
【0109】
【化53】
【0110】
【化54】
等を挙げることができる。
これらのオキセタン系化合物は、例えば、
Journal of Macromolecular Science PUREAPPL. CHEM.,A30 (2&3), p189-206(1993) に記載されている方法あるいはそれに準じた方法により製造することができる。
【0111】
前記オキセタン系化合物のうち、特に、オキセタン系化合物(8)、オキセタン系化合物(53)等が好ましい。
本発明において、オキセタン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0112】
本発明におけるオキセンタン系化合物の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、0.1〜40重量部、好ましくは0.5〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、オキセンタン系化合物の使用量が0.1重量部未満では、膜硬度に対する改良効果が低下する傾向があり、一方40重量部を超えると、形成された画素が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0113】
添加剤
本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、必要に応じて種々の添加剤を含有することもできる。
前記添加剤としては、カラーフィルタ用感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解特性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の残存をより抑制する作用等を示す、有機酸または有機アミノ化合物(但し、前記水素供与体を除く。)等を挙げることができる。
【0114】
−有機酸−
前記有機酸としては、分子中に1個以上のカルボキシル基を有し分子量が1,000以下である、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。
前記脂肪族カルボン酸の例としては、
ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸類
等を挙げることができる。
【0115】
また、前記フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合した化合物や、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有カルボン酸の例としては、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上の芳香族ポリカルボン酸類や、
フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸
等を挙げることができる。
【0116】
これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類が好ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好ましく、またフェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸類が好ましく、特にフタル酸が好ましい。
前記有機酸は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
なお、前記有機酸のうち多価カルボン酸は、後述する架橋・硬化剤としても作用するものである。
有機酸の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは10重量%以下である。この場合、有機酸の使用量が15重量%を超えると、形成された画素の基板に対する密着性が低下する傾向がある。
【0117】
−有機アミノ化合物−
前記有機アミノ化合物としては、分子中に1個以上のアミノ基を有し分子量が1,000以下である、脂肪族アミンあるいはフェニル基含有アミンが好ましい。
前記脂肪族アミンの例としては、
n−プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−へプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、o−メチルシクロヘキシルアミン、m−メチルシクロヘキシルアミン、p−メチルシクロヘキシルアミン、o−エチルシクロヘキシルアミン、m−エチルシクロヘキシルアミン、p−エチルシクロヘキシルアミン等のモノ(シクロ)アルキルアミン類;
メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、メチル・n−プロピルアミン、エチル・n−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジ−i−プロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジ−i−ブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−t−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミン、メチル・シクロヘキシルアミン、エチル・シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン等のジ(シクロ)アルキルアミン類;
ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル・n−プロピルアミン、ジエチル・n−プロピルアミン、メチル・ジ−n−プロピルアミン、エチル・ジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−i−プロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリ−i−ブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、ジメチル・シクロヘキシルアミン、ジエチル・シクロヘキシルアミン、メチル・ジシクロヘキシルアミン、エチル・ジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のトリ(シクロ)アルキルアミン類;
【0118】
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノ(シクロ)アルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジ−i−ブタノールアミン、ジ−n−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−シクロヘキサノール)アミン等のジ(シクロ)アルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリ−i−プロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタノールアミン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールアミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等のトリ(シクロ)アルカノールアミン類;
【0119】
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シクロ)アルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタンメタノール、4−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミノシクロヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノカルボン酸類等を挙げることができる。
【0120】
また、フェニル基含有アミンとしては、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有アミンの例としては、
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p―エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m―アミノフェノール、p―アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p―アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸(誘導体)類
等を挙げることができる。
【0121】
これらの有機アミノ化合物のうち、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノールアミン類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類が好ましく、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール等が好ましく、またフェニル基含有アミンとしては、アミノフェノール類が好ましく、特に、o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール等が好ましい。
前記有機アミノ化合物は、単独でまたは2種以上混合して使用することができる。
有機アミノ化合物の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは10重量%以下である。この場合、有機アミノ化合物の使用量が15重量%を超えると、形成された画素の基板との密着性が低下する傾向がある。
【0122】
−架橋・硬化剤−
本発明における感放射線性組成物は、(B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基を有する場合、カラーフィルタを形成する際に、通常、200℃以上、好ましくは200〜250℃で単にポストベークすることにより、(E)オキセタン系化合物が該アルカリ可溶性樹脂中のカルボキシル基と反応して架橋ないし硬化することができるが、アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基を有するか否かに係わらず、必要に応じて、該オキセタン系化合物と反応しうるか、あるいは該オキセタン系化合物を開環重合させうる架橋剤ないし硬化剤(以下、これらをまとめて「架橋・硬化剤」という。)をさらに含有することができる。
このような架橋・硬化剤としては、例えば、多価カルボン酸、多価カルボン酸無水物、露光により酸を発生する酸発生剤等を挙げることができる。
【0123】
前記多価カルボン酸としては、例えば、
フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸類;
コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等の脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸等の脂環族多価カルボン酸類
等を挙げることができる。
【0124】
また、前記多価カルボン酸無水物としては、例えば、
無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族多価カルボン酸無水物類;
無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族多価カルボン酸無水物類;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸等の脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト無水物、グリセリントリストリメリテイト無水物等のエステル基含有カルボン酸無水物類
等を挙げることができる。
【0125】
さらに、架橋・硬化剤として、カルボン酸無水物からなる市販のエポキシ樹脂硬化剤も好適に用いることができ、その具体例としては、商品名で、アデカハードナーEH−700(旭電化工業(株)製)、リッカシードHH、MH−700(新日本理化(株)製)、エピキニア126、YH−306、DX−126(油化シェルエポキシ(株)製)等を挙げることができる。
【0126】
また、前記酸発生剤としては、例えば、
4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩類や、
ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類
等を挙げることができる。
【0127】
これらの架橋・硬化剤のうち、芳香族多価カルボン酸、芳香族多価カルボン酸無水物、オニウム塩類等が好ましい。
前記架橋・硬化剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
架橋・硬化剤の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、25重量部以下、好ましくは15重量部以下である。この場合、架橋・硬化剤の使用量が25重量部を超えると、形成された画素が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
架橋・硬化剤を使用して感放射線性組成物を架橋ないし硬化させる際の温度は、通常、180℃以上、好ましくは180〜230℃である。
【0128】
また、前記以外の添加剤としては、例えば、
銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;
ガラス、アルミナ等の充填剤;
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;
ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル・メチル・ジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピル・メチル・ジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピル・メチル・ジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;
2,2’−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;
2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;
ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;
1,1’−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2−フェニルアゾ−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル等の熱ラジカル発生剤
等を挙げることができる。
【0129】
溶媒
本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能単量体、(D)光重合開始剤、および(E)オキセタン系化合物を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、好ましくは溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(E)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;
2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類
【0130】
これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0131】
さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。溶媒の使用量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、好ましくは5〜50重量%、さらに好ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。
【0132】
カラーフィルタの形成方法
次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用いて、カラーフィルタを形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。
カラーフィルタを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用することができる。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜5.0μm、さらに好ましくは0.2〜3.0μmである。
カラーフィルタを作製する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、好ましくは1〜1,000mJ/cm2 程度である。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができ、現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
このようにして形成されたカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。
【0133】
【発明の実施の形態】
本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能単量体、(D)光重合開始剤、および(E)オキセタン系化合物を必須成分とし、かつ(D)光重合開始剤が(1)アセトフェノン系化合物を含むか、または(2)ビイミダゾール系化合物および水素供与体を含み、さらにアセトフェノン系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種を含むものからなるものであるが、好ましい組成物を具体的に例示すると、下記(イ)〜(ホ)のとおりである。
(イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含有共重合体(I)を含み、(D)光重合開始剤がアセトフェノン系化合物を含み、さらにビイミダゾール系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種を含むカラーフィルター用感放射線性組成物。
(ロ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含有共重合体(I)を含み、(D)光重合開始剤がビイミダゾール系化合物および水素供与体を含み、さらにアセトフェノン系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種を含み、水素供与体がメルカプタン系水素供与体および/またはアミン系水素供与体からなるカラーフィルタ用感放射線性組成物。
(ハ) (E)オキセタン系化合物がオキセタン化合物(8)およびオキセタン化合物(53)の群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)または(ロ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
(ニ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)、(ロ)または(ハ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
(ホ) (A)着色剤が有機顔料を含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)または(ニ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
【0134】
以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
【実施例】
実施例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との70/30(重量比)混合物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(共重合重量比=15/10/18.8/25/31.2、Mw=22,000、Mn=8,500)55重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を10重量部とトリアジン系化合物(2)8重量部、(E)オキセタン系化合物としてオキセタン系化合物(53)7.5重量部、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1,000重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G1)を調製した。
〈カラーフィルタの形成〉
液状組成物(G1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板表面上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、80℃のクリーンオーブン内で10分間プレベークを行って、膜厚1.8μmの塗膜を形成した。
次いで、この基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫外線を50mJ/cm2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液に1分間浸漬して、現像した。その後、基板を超純水で洗浄して、風乾したのち、200℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行なって、基板上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成した。
得られたカラーフィルタの鉛筆硬度を測定したところ、3Hであった。
また、得られたカラーフィルタの膜面を光学顕微鏡で観察したところ、画素表面にスポンジによる擦り傷は認められず、かつパターンの欠けなども認められなかった。
さらに、得られたカラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には残渣および地汚れは認められず、かつ得られた画素の基板との密着性も優れていた。
【0135】
実施例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー138との70/30(重量比)混合物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(共重合重量比=15/10/18.8/25/31.2、Mw=22,000、Mn=8,500)55重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始剤として2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール5重量部とトリアジン系化合物(2)10重量部、および水素供与体として2−メルカプトベンゾチアゾール2.5重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン5重量部、(E)オキセタン系化合物としてオキセタン系化合物(53)7.5重量部、並びに溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチルとシクロヘキサノンとの90/10(重量比)混合物1,000重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G2)を調製した。
次いで、液状組成物(G1)に代えて液状組成物(G2)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成した。
得られたカラーフィルタの鉛筆硬度を測定したところ、4Hであった。
また、得られたカラーフィルタの膜面を光学顕微鏡で観察したところ、画素表面にスポンジによる擦り傷は認められず、かつパターンの欠けなども認められなかった。
さらに、得られたカラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には残渣および地汚れは認められず、かつ得られた画素の基板との密着性も優れていた。
【0136】
実施例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との70/30(重量比)混合物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(共重合重量比=15/10/18.8/25/31.2、Mw=22,000、Mn=8,500)65重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート65重量部、(D)光重合開始剤として2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール5重量部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を10重量部とトリアジン系化合物(2)10重量部、および水素供与体として2−メルカプトベンゾチアゾール2.5重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン5重量部、(E)オキセタン系化合物としてオキセタン系化合物(53)12.5重量部、並びに溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,000重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G3)を調製した。
次いで、液状組成物(G1)に代えて液状組成物(G3)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成した。
得られたカラーフィルタの鉛筆硬度を測定したところ、3Hであった。
また、得られたカラーフィルタの膜面を光学顕微鏡で観察したところ、画素表面にスポンジによる擦り傷は認められず、かつパターンの欠けなども認められなかった。
さらに、得られたカラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には残渣および地汚れは認められず、かつ得られた画素の基板との密着性も優れていた。
【0140】
比較例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(重量比)混合物110重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセロールモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(共重合重量比=15/15/35/10/25、Mw=30,000、Mn=13,000)65重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート65重量部、(D)光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を50重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,000重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(g1)を調製した。
次いで、液状組成物(G1)に代えて液状組成物(g1)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成した。
得られたカラーフィルタの鉛筆硬度を測定したところ、2Hであった。
また、得られたカラーフィルタの膜面を光学顕微鏡で観察したところ、画素表面にスポンジによる擦り傷は認められなかったが、パターンの欠けが認められた。
【0141】
【発明の効果】
本発明のカラーフィルター用感放射線性組成物は、膜硬度が高く、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に生じた残渣および地汚れをブラシ洗浄などで除去しても、画素表面に傷を生じたり、パターンに欠けを生じたりすることがなく、かつ現像性に優れ、また基板および遮光層への密着性にも優れた画素を与えることができる。
したがって、本発明のカラーフィルター用感放射線性組成物は、電子工業分野におけるカラー液晶表示装置用カラーフィルターを始めとする各種のカラーフィルターの製造に極めて好適に使用することができる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a radiation sensitive composition for a color filter, and more specifically, for use in a transmissive or reflective color liquid crystal display device, color image pickup tube element, etc. having excellent film hardness and adhesion to a substrate. The present invention relates to a radiation-sensitive composition for a color filter useful for the production of a color filter.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in producing a color filter using a colored radiation-sensitive composition, after applying the colored radiation-sensitive composition on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been formed and drying, A formation method (JP-A-2-144502 and JP-A-3-53201) for obtaining pixels of each color by irradiating a dry coating film with a desired pattern shape (hereinafter referred to as “exposure”) and developing the pattern. Is known).
However, in the case of a color filter obtained by such a method, a residue or background stain may occur on the unexposed portion of the substrate or the light shielding layer during development. In the conventional colored radiation-sensitive composition, When removing residues and background stains by brush cleaning or the like, the pixel surface is damaged or a pattern is missing, which is a major cause of pattern defects.
Moreover, in the radiation sensitive composition for color filters which used the halomethyl oxadiazole type compound and the halomethyl-s-triazine type compound as a photoinitiator, in order to suppress the influence of the hydrogen halide byproduced from these compounds. (Di) Glycidyl ether and other organic compounds having an epoxy group and a technique of blending an epoxy resin have been proposed (Japanese Patent Laid-Open Nos. 1-255418, 8-94824, and 8-95238). Issue gazette).
With these radiation sensitive compositions for color filters, it is said that color filters with excellent electrical and chemical stability can be produced or mask deposits can be suppressed. No examination has been made in terms of preventing the occurrence of scratches and chipping in the pixel pattern when removing the residue and background stains generated above.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Accordingly, the problem of the present invention is that the film hardness is high, the pixel pattern is not damaged or chipped even if brush cleaning is performed after development, the developability is excellent, and the adhesion to the substrate and the light shielding layer is improved. Another object of the present invention is to provide a novel radiation-sensitive composition for color filters that can provide excellent pixels.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the problem of the present invention is that
Contains (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a photopolymerization initiator, and (E) an oxetane compound.And (D) the photopolymerization initiator contains an acetophenone compound.A radiation-sensitive composition for a color filter,Or
(A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a photopolymerization initiator, and (E) an oxetane compound, and (D) a photopolymerization initiator Containing a biimidazole compound and a hydrogen donor, and further containing at least one selected from the group of acetophenone compounds and triazine compounds,
Achieved by:
The “radiation” as used in the present invention means a substance including visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like.
[0005]
The present invention is described in detail below.
(A) Colorant
The colorant in the present invention is not particularly limited in color tone, and is appropriately selected according to the use of the obtained color filter, and may be an organic colorant or an inorganic colorant.
The organic colorant specifically means dyes, organic pigments, natural pigments, and the like, and the inorganic colorant specifically means inorganic salts such as barium sulfate called extender pigments in addition to inorganic pigments. To do.
Since the color filter is required to have high-definition color development and heat resistance, the colorant in the present invention is preferably a colorant having high color developability and high heat resistance, in particular, a colorant having high heat decomposition resistance. Organic colorants, particularly preferably organic pigments are used.
[0006]
Examples of the organic pigment include compounds classified as Pigment in the Color Index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, the following Color Index (CI) numbers. What is attached can be mentioned.
CI Pigment Yellow 1, CI Pigment Yellow 3, CI Pigment Yellow 12, CI Pigment Yellow 13, CI Pigment Yellow 14, CI Pigment Yellow 15, CI Pigment Yellow 16, CI Pigment Yellow 17, CI Pigment Yellow 20, CI Pigment Yellow 24, CI Pigment Yellow 31, CI Pigment Yellow 55, CI Pigment Yellow 60, CI Pigment Yellow 61, CI Pigment Yellow 65, CI Pigment Yellow 71, CI Pigment Yellow 73, CI Pigment Yellow 74, CI Pigment Yellow 81, CI Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 93, CI Pigment Yellow 95, CI Pigment Yellow 97, CI Pigment Yellow 98, CI Pigment Yellow 100, CI CI Pigment Yellow 101, CI Pigment Yellow 104, CI Pigment Yellow 106, CI Pigment Yellow 108, CI Pigment Yellow 109, CI Pigment Yellow 110, CI Pigment Yellow 113, CI Pigment Yellow 114, CI Pigment Yellow 116, CI Pigment Yellow 117, CI Pigment Yellow 119, CI Pigment Yellow 120, CI Pigment Yellow 126, CI Pigment Yellow 127, CI Pigment Yellow 128, CI Pigment Yellow 129, CI Pigment Yellow 138, CI Pigment Yellow 139, CI Pigment Yellow 150, CI Pigment Yellow 151, CI Pigment Yellow 152, CI Pigment Yellow 153, CI Pigment Yellow 154, CI Pigment ...... DOO Yellow 155, C.I Pigment Yellow 156, C.I Pigment Yellow 166, C.I Pigment Yellow 168, C.I Pigment Yellow 175, C.I Pigment Yellow 180, C.I Pigment Yellow 185;
[0007]
CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI Pigment Orange 16, CI Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 24, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49, CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 63, CI Pigment Orange 64, CI Pigment Orange 71, CI Pigment Orange 73;
C.I. pigment violet 1, C.I. pigment violet 19, C.I. pigment violet 23, C.I. pigment violet 29, C.I. pigment violet 32, C.I. pigment violet 36, C.I. pigment violet 38;
[0008]
CI Pigment Red 1, CI Pigment Red 2, CI Pigment Red 3, CI Pigment Red 4, CI Pigment Red 5, CI Pigment Red 6, CI Pigment Red 7, CI Pigment Red 8, CI Pigment Red 9, CI Pigment Red 10, CI Pigment Red 11, CI Pigment Red 12, CI Pigment Red 14, CI Pigment Red 15, CI Pigment Red 16, CI Pigment Red 17, CI Pigment Red 18, CI Pigment Red 19, CI Pigment Red 21, CI Pigment Red 22, CI Pigment Red 23, CI Pigment Red 30, CI Pigment Red 31, CI Pigment Red 32, CI Pigment Red 37, CI Pigment Red 38, CI Pigment Red 40, CI Pigment Red 41, CI Pigment Red 42, CI Pigment Red 48: 1, CI Pigment Red 48: 2, CI Pigment Red 48: 3, CI Pigment Red 48: 4, CI Pigment Red 49: 1, CI Pigment Red 49: 2, CI CI Pigment Red 50: 1, CI Pigment Red 52: 1, CI Pigment Red 53: 1, CI Pigment Red 57, CI Pigment Red 57: 1, CI Pigment Red 57: 2, CI Pigment Red 58: 2, CI Pigment Red 58 : 4, CI Pigment Red 60: 1, CI Pigment Red 63: 1, CI Pigment Red 63: 2, CI Pigment Red 64: 1, CI Pigment Red 81: 1, CI Pigment Red 83, CI Pigment Red 88, CI Pigment Red 90: 1, CI pigmentless 97, CI Pigment Red 101, CI Pigment Red 102, CI Pigment Red 104, CI Pigment Red 105, CI Pigment Red 106, CI Pigment Red 108, CI Pigment Red 112, CI Pigment Red 113, CI Pigment Red 114, CI Pigment Red 122, CI Pigment Red 123, CI Pigment Red 144, CI Pigment Red 146, CI Pigment Red 149, CI Pigment Red 150, CI Pigment Red 151, CI Pigment Red 166, CI Pigment Red 168, CI Pigment Red 170, CI Pigment Red 171, CI Pigment Red 172, CI Pigment Red 174, CI Pigment Red 175, CI Pigment Red 176, CI Pigment Red 77, CI Pigment Red 178, CI Pigment Red 179, CI Pigment Red 180, CI Pigment Red 185, CI Pigment Red 187, CI Pigment Red 188, CI Pigment Red 190, CI Pigment Red 193, CI Pigment Red 194, CI Pigment Red 202, CI Pigment Red 206, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI Pigment Red 216, CI Pigment Red 220, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 226, CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 243, CI Pigment Red 245, CI Pigment Red 254, CI Pigment Red 255, CI Pigment Red . 64, C.I Pigment Red 265;
[0009]
C.I. Pigment Blue 15, C.I. Pigment Blue 15: 3, C.I. Pigment Blue 15: 4, C.I. Pigment Blue 15: 6, C.I. Pigment Blue 60;
C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36;
C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment Brown 25;
C.I. Pigment Black 1, Pigment Black 7.
These organic pigments can be used alone or in admixture of two or more.
The organic pigment can be used after being purified by, for example, a sulfuric acid recrystallization method, a solvent washing method, or a combination thereof.
[0010]
Examples of the inorganic colorant include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and oxidation. Examples thereof include chrome green, cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, and carbon black.
These inorganic colorants can be used alone or in admixture of two or more.
[0011]
In the present invention, each colorant can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the particle surface of the colorant include polymers described in JP-A-8-259876 and various commercially available pigment-dispersing polymers or oligomers.
Further, the colorant in the present invention can be used together with a dispersant as desired.
Examples of such a dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, silicone, and fluorine surfactants.
Specific examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene n-octylphenyl ether, polyoxyethylene n- Polyoxyethylene alkylphenyl ethers such as nonylphenyl ether; polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; sorbitan fatty acid esters; fatty acid-modified polyesters; tertiary amine-modified polyurethanes; In addition to the following trade names, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products), Gafac (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Florard (Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Disperbyk (Bic Chemie Japan Co., Ltd.), Sol Sparse ( For example, General Electric Co., Ltd.).
These surfactants can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the surfactant used is usually 50 parts by weight or less, preferably 30 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the colorant.
[0012]
(B) Alkali-soluble resin
As the alkali-soluble resin in the present invention, (A) acts as a binder for the colorant, and when producing a color filter, it is preferably used for the developer used in the development processing step, particularly preferably for the alkali developer. Although it is not particularly limited as long as it has solubility, an alkali-soluble resin having a carboxyl group is preferred, and in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter simply referred to as “carboxyl”). Group-containing unsaturated monomer ”) and other copolymerizable ethylenically unsaturated monomer (hereinafter simply referred to as“ copolymerizable unsaturated monomer ”) Simply referred to as “carboxyl group-containing copolymer”) is preferred.
[0013]
As the carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example,
Unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like;
A trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or anhydride thereof;
2 such as succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl), succinic acid mono (2-methacryloyloxyethyl), phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl), phthalic acid mono (2-methacryloyloxyethyl), etc. Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids having higher valences;
Mono (meth) acrylates of dicarboxy polymers at both ends such as ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate and ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate
Etc.
These carboxyl group-containing unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.
[0014]
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include:
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;
[0015]
Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl acrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl Methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl Acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxy Tyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate , 2-methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate , Toxipropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, Unsaturated carboxylic acid esters such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate, glycerol monomethacrylate;
[0016]
2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate, 3-dimethylaminopropyl methacrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethylacrylamide, N-2-hydroxyethylmethacrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n-butyl methacrylate, polysiloxane, etc.
Etc.
These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.
[0017]
As the carboxyl group-containing copolymer in the present invention, (1) acrylic acid and / or methacrylic acid are essential components, and succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and / or succinic acid mono (2- A carboxyl group-containing unsaturated monomer component further containing methacryloyloxyethyl), and (2) styrene, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, glycerol A copolymer with at least one selected from the group consisting of monoacrylate, glycerol monomethacrylate, N-phenylmaleimide, polystyrene macromonomer and polymethylmethacrylate macromonomer (hereinafter referred to as “carboxy”). Group-containing copolymer of (I) ".) Are preferred.
[0018]
As specific examples of the carboxyl group-containing copolymer (I),
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
Methacrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- ( (Meth) acryloyloxyethyl] / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer
(Meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer
Etc.
[0019]
The copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer in the carboxyl group-containing copolymer is usually 5 to 50% by weight, preferably 10 to 40% by weight. In this case, if the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is less than 5% by weight, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkaline developer tends to decrease, whereas if it exceeds 50% by weight. In addition, the solubility in an alkali developer becomes excessive, and when developing with an alkali developer, there is a possibility that the pixel is easily dropped from the substrate or the pixel surface is roughened.
The polystyrene-converted weight average molecular weight (hereinafter referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 3,000 to 300,000, and more preferably Preferably it is 5,000-100,000.
The polystyrene-equivalent number average molecular weight (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 3,000 to 60,000. More preferably, it is 5,000 to 25,000.
By using such an alkali-soluble resin having a specific Mw or Mn, a radiation-sensitive composition excellent in developability can be obtained, thereby forming a pixel having a sharp pattern edge, Residues, background stains, film residues, and the like are less likely to occur on the unexposed substrate and the light shielding layer during development.
Moreover, the ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1 to 5, preferably 1 to 4.
In this invention, alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types.
[0020]
The usage-amount of the alkali-soluble resin in this invention is 10-1,000 weight part normally with respect to 100 weight part of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 weight part. In this case, if the amount of the alkali-soluble resin used is less than 10 parts by weight, for example, the alkali developability may be lowered, or background stains or film residues may be generated on the substrate or the light shielding layer in the unexposed area. When the amount exceeds 1,000 parts by weight, the colorant concentration relatively decreases, so that it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.
[0021]
(C) Multifunctional monomer
The polyfunctional monomer in the present invention is a monomer having two or more polymerizable unsaturated bonds.
As the multifunctional monomer, for example,
Diacrylates or dimethacrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Diacrylates or dimethacrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Polyacrylates or polymethacrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol and the like, and their dicarboxylic acid-modified products;
Oligoacrylates or oligomethacrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, and spirane resin;
Diacrylates or dimethacrylates of hydroxylated polymers at both ends such as both ends hydroxypoly-1,3-butadiene, both ends hydroxypolyisoprene, both ends hydroxypolycaprolactone,
Tris (2-acryloyloxyethyl) phosphate, Tris (2-methacryloyloxyethyl) phosphate
Etc.
[0022]
Among these polyfunctional monomers, polyacrylates or polymethacrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid-modified products are preferable. Specifically, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate are preferable. Methacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, the following formula (1 )
[0023]
[Chemical 1]
[0024]
In particular, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate have high pixel strength, excellent pixel surface smoothness, and on an unexposed portion of the substrate and This is preferable in that ground stains, film residues and the like are hardly generated on the light shielding layer.
In this invention, a polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
[0025]
The usage-amount of the polyfunctional monomer in this invention is 5-500 weight part normally with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resin, Preferably it is 20-300 weight part. In this case, when the amount of the polyfunctional monomer used is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the pixel tend to be reduced. On the other hand, when the amount exceeds 500 parts by weight, for example, alkali developability is reduced. In addition, background stains, film residue, etc. tend to occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer.
[0026]
Moreover, in this invention, a monofunctional monomer can also be used together with the said polyfunctional monomer depending on the case.
Examples of such monofunctional monomers include the carboxyl group-containing unsaturated monomers and copolymerizable unsaturated monomers exemplified for the copolymer (I), and commercially available products such as M- 5400, M-5600 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) and the like.
These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more.
The proportion of the monofunctional monomer used is usually 90% by weight or less, preferably 50% by weight or less, based on the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, if the use ratio of the monofunctional monomer exceeds 90% by weight, the strength and surface smoothness of the obtained pixel tend to be lowered.
[0027]
(D) Photopolymerization initiator
The photopolymerization initiator in the present invention is(1) containing an acetophenone compound, or (2) comprising a biimidazole compound and a hydrogen donor, and further comprising at least one selected from the group of acetophenone compounds and triazine compounds,Active species capable of initiating polymerization of the (C) polyfunctional monomer can be generated by irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray.componentIt is.
When the photopolymerization initiator in the present invention contains an acetophenone compound, other than the acetophenone compoundExamples of the photopolymerization initiator include biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds, and the like. .When the photopolymerization initiator in the present invention includes a biimidazole compound and a hydrogen donor, examples of the photopolymerization initiator other than the biimidazole compound include acetophenone compounds, triazine compounds, benzoin compounds, and benzophenones. Compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds, and the like. In the present invention, the photopolymerization initiator can be used alone or in admixture of two or more.Other than acetophenone compounds when the photopolymerization initiator contains acetophenone compoundsAs photopolymerization initiators, biimidazole compounds and triazine compounds are preferred.In addition, as the photopolymerization initiator other than the biimidazole compound compound when the photopolymerization initiator in the present invention contains a biimidazole compound and a hydrogen donor, an acetophenone compound, a triazine compound, or the like is preferable.Yes.
[0028]
The general use amount of the photopolymerization initiator in the present invention is usually 0. 0 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer optionally used. 01 to 80 parts by weight, preferably 1 to 60 parts by weight. In this case, if the amount of the photopolymerization initiator used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel array in which pixel patterns are arranged according to a predetermined arrangement, On the other hand, if it exceeds 80 parts by weight, the formed pixels may be easily removed from the substrate during development.
Specific examples of acetophenone compounds include
2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one,
2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1, 1-hydroxycyclohexyl Phenyl ketone,
2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one
Etc. can be mentioned.
Of these acetophenone compounds, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 is particularly preferable.
The acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.
In this invention, the usage-amount in the case of using an acetophenone type compound as a photoinitiator is with respect to a total of 100 weight part of (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer used by the case. The amount is usually 0.01 to 80 parts by weight, preferably 1 to 60 parts by weight, and more preferably 1 to 30 parts by weight. In this case, if the amount of the acetophenone compound used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel array in which pixel patterns are arranged according to a predetermined arrangement, If it exceeds 80 parts by weight, the formed pixels tend to fall off the substrate during development.
[0029]
Also,Specific examples of biimidazole compounds include
2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
[0030]
2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
[0031]
2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5.5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5.5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,
[0032]
2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dicyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-tricyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-dimethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-trimethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-diethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-triethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4-diphenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,
2,2'-bis (2,4,6-triphenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole
Etc. can be mentioned.
[0033]
Among these biimidazole compounds, preferred compounds are 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biphenyl. Imidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra Phenyl-1,
2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5, 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,
2'-biimidazole, and more preferred compounds are 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2' -Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4, 4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, and particularly preferred compound is 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'- Tetraphenyl-1,2'-biimidazole.
These biimidazole compounds are excellent in solubility in solvents, do not generate foreign matters such as undissolved substances and precipitates, and have high sensitivity, and sufficiently advance the curing reaction by exposure with a small amount of energy, and contrast. The coating film after exposure is clearly divided into a hardened part that is insoluble in the developer and an uncured part that has high solubility in the developer. Thus, a high-definition pixel array in which pixel patterns without undercuts are arranged according to a predetermined arrangement can be formed.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.
[0034]
In this invention, the usage-amount in the case of using a biimidazole type compound as a photoinitiator is with respect to a total of 100 weight part of (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer used by the case. In general, it is 0.01 to 40 parts by weight, preferably 1 to 30 parts by weight, and more preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the amount of biimidazole compound used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel array in which pixel patterns are arranged according to a predetermined arrangement, On the other hand, when the amount exceeds 40 parts by weight, there is a tendency that the formed pixel is easily detached from the substrate and the film surface of the pixel surface is easily removed during development.
[0035]
-Hydrogen donor-
In the present invention, when a biimidazole compound is used as a photopolymerization initiator, it is preferable to use a hydrogen donor described below in combination because the sensitivity can be further improved.
The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure.
The hydrogen donor in the present invention is preferably a mercaptan compound defined below, an amine compound defined below, or the like.
The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ Mercaptan-based hydrogen donor ").
The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ Amine-based hydrogen donor ").
These hydrogen donors can also have a mercapto group and an amino group at the same time.
[0036]
Hereinafter, these hydrogen donors will be described more specifically.
The mercaptan-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When two or more of these rings are present, It may or may not be formed.
In addition, when the mercaptan hydrogen donor has two or more mercapto groups, at least one of the remaining mercapto groups is substituted with an alkyl, aralkyl or aryl group as long as at least one free mercapto group remains. Furthermore, as long as at least one free mercapto group remains, a structural unit in which two sulfur atoms are bonded via a divalent organic group such as an alkylene group, or two sulfur atoms are It can have structural units linked in the form of disulfides.
Furthermore, the mercaptan-based hydrogen donor may be substituted with a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxycarbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like at a place other than the mercapto group.
[0037]
Specific examples of such mercaptan hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto- 2,5-dimethylaminopyridine and the like can be mentioned.
Of these mercaptan-based hydrogen donors, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.
[0038]
Next, the amine-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When these two or more rings are present, A condensed ring may or may not be formed.
In addition, in the amine-based hydrogen donor, one or more of the amino groups may be substituted with an alkyl group or a substituted alkyl group, and a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxy group may be substituted at a position other than the amino group. It may be substituted with a carbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group or the like.
[0039]
Specific examples of such amine-based hydrogen donors include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, Examples thereof include ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like.
Of these amine-based hydrogen donors, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.
[0040]
In the present invention, the hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more. However, one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors are used in combination. It is preferable that the formed pixels are difficult to drop off from the substrate during development, and that the pixel intensity and sensitivity are high.
Specific examples of a preferred combination of a mercaptan hydrogen donor and an amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like are further preferable combinations. Are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercapto Nzochiazoru / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.
The weight ratio of mercaptan hydrogen donor to amine hydrogen donor in the combination of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor is usually 1: 1 to 1: 4, preferably 1: 1 to 1: 3.
[0041]
In the present invention, when the hydrogen donor is used in combination with the biimidazole compound, the amount used is (C) 100 parts by weight of the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer optionally used. Usually, it is 0.01-40 weight part, Preferably it is 1-30 weight part, More preferably, it is 1-20 weight part. In this case, if the amount of the hydrogen donor used is less than 0.01 parts by weight, the effect of improving the sensitivity tends to be lowered. On the other hand, if it exceeds 40 parts by weight, the formed pixels are detached from the substrate during development. It tends to be easier.
[0045]
As specific examples of triazine compounds,
2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine,
2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
Compound represented by the following formula (2) (hereinafter referred to as “triazine compound (2)”)
[0046]
[Chemical 2]
[0047]
Compound represented by the following formula (3) (hereinafter referred to as “triazine compound (3)”)
[0048]
[Chemical 3]
[0049]
Triazine compounds having a halomethyl group such as
Can be mentioned.
[0050]
Among these triazine compounds, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, triazine compound (2), triazine compound (3 Etc.) are preferred.
The triazine compounds can be used alone or in admixture of two or more.
[0052]
Here, (a) a combination of a biimidazole compound and an acetophenone compound in the present invention, (b) a combination of a biimidazole compound, an acetophenone compound, a mercaptan hydrogen donor and an amine hydrogen donor, (d) Biimidazole compound, triazine compound, combination of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor, (e) combination of acetophenone compound and triazine compound, (f) biimidazole compound, acetophenone compound and triazine Specific preferred specific examples of the combination of a series compound or (g) a combination of a biimidazole series compound, an acetophenone series compound, a triazine series compound, a mercaptan series hydrogen donor and an amine series hydrogen donor are as follows: It can be.
[0053]
Particularly preferred combinations of (a) are:
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1
Etc.
Particularly preferred combinations of (b) are:
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1 / 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone
Etc.
[0054]
Particularly preferred combinations of (d) are
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine / 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / triazine compound (2) / 2-mercaptobenzothiazole / 4, 4′-bis (diethylamino) benzophenone,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / triazine compound (3) / 2-mercaptobenzothiazole / 4, 4'-bis (diethylamino) benzophenone
Etc.
[0055]
Particularly preferred combinations of (e) are
2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 / 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s- Triazine,
2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 / triazine compound (2),
2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 / triazine compound (3)
Etc.
[0056]
Particularly preferred combinations of the above (f) are
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1 / 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 / triazine compound (2) ,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1 / triazine compound (3)
Etc.
Particularly preferred combinations of the above (g) are
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1 / 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine / 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis ( Diethylamino) benzophenone,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1 / triazine compound (2) / 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole / 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butanone-1 / triazine compound (3) / 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone
Etc.
[0057]
(E) Oxetane compounds
The oxetane-based compound in the present invention is a compound having one or more oxetane rings, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2.
Examples of such oxetane compounds include compounds represented by the following formula (4), formula (5), or formula (6).
[0058]
[Formula 4]
[In Formula (4), R1And R2Each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 4 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms. ]
[0059]
[Chemical formula 5]
[In Formula (5), RThreeIs a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 6 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 6 carbon atoms, or a monoalkyl having 2 to 6 carbon atoms. An aminocarbonyl group, a dialkylaminocarbonyl group (wherein each alkyl group has 1 to 3 carbon atoms), an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms or an aralkyloxyalkyl group having 8 to 12 carbon atoms;FourRepresents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 4 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms. ]
[0060]
[Chemical 6]
[In Formula (6), RFiveAnd R6Independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 4 carbon atoms or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms, X is a carbonyl group, an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms , An arylene group having 6 to 10 carbon atoms, an aralkylene group having 8 to 12 carbon atoms or a -CO-Y-CO- group (wherein Y is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, an arylene group having 6 to 10 carbon atoms, or Represents an aralkylene group having 8 to 12 carbon atoms). ]
[0061]
In Formula (4), Formula (5), and Formula (6), R1, R2, RThree, RFour, RFiveAnd R6Each organic group present therein may be substituted with a halogen atom, a carboxyl group, a nitrile group, an alkoxyl group, an alkoxycarbonyl group, etc.1, R2, RThree, RFour, RFiveAnd R6Each aryl group, arylene group and aralkylene group present therein may be substituted with an alkyl group at an appropriate position.
[0062]
Specific examples of the oxetane compound include oxetane, 3-methyloxetane, 3-ethyloxetane, 3-n-propyloxetane, 3-n-butyloxetane, 3-vinyloxetane, 3-allyloxetane, 3-benzyloxetane, 3,3-dimethyloxetane, 3,3-diethyloxetane, 3-methyl-3-ethyloxetane, 3-methyl-3-n-propyloxetane, 3-methyl-3-n-butyloxetane, and the following formula (7 ) To (54). In the following, each oxetane compound may be expressed as “oxetane compound (7)” (in the case of the compound of formula (7)) with the formula number in parentheses.
[0063]
[Chemical 7]
[0064]
[Chemical 8]
[0065]
[Chemical 9]
[0066]
[Chemical Formula 10]
[0067]
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[0068]
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[0069]
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[0100]
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[0101]
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[0104]
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[0107]
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[0108]
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[0109]
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[0110]
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Etc.
These oxetane compounds are, for example,
It can be produced by the method described in Journal of Macromolecular Science PUREAPPL. CHEM., A30 (2 & 3), p189-206 (1993) or a method analogous thereto.
[0111]
Of the oxetane compounds, oxetane compound (8), oxetane compound (53) and the like are particularly preferable.
In the present invention, the oxetane compounds can be used alone or in admixture of two or more.
[0112]
The amount of the oxentane compound used in the present invention is usually 0.1 to 40 parts by weight, preferably 0.5 to 30 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts per 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. Parts by weight. In this case, if the amount of the oxentane compound used is less than 0.1 parts by weight, the improvement effect on the film hardness tends to be reduced. On the other hand, if it exceeds 40 parts by weight, the formed pixels are easily detached from the substrate during development. Tend to be.
[0113]
Additive
The radiation sensitive composition for a color filter of the present invention can contain various additives as necessary.
Examples of the additive include an organic acid or an organic amino compound that has an action of further improving the solubility characteristics of the radiation-sensitive composition for color filters in an alkaline developer and further suppressing residual undissolved substances after development. (However, excluding the hydrogen donor).
[0114]
-Organic acid-
The organic acid is preferably an aliphatic carboxylic acid or a phenyl group-containing carboxylic acid having one or more carboxyl groups in the molecule and a molecular weight of 1,000 or less.
Examples of the aliphatic carboxylic acid include
Aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid, caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid , Aliphatic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoric acid
Etc.
[0115]
Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include compounds in which a carboxyl group is directly bonded to a phenyl group, and compounds in which a carboxyl group is bonded to a phenyl group through a carbon chain.
Examples of phenyl group-containing carboxylic acids include
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
Trivalent or higher aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, pyromellitic acid,
Phenylacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidene acid, coumaric acid, umberic acid
Etc.
[0116]
Among these organic acids, aliphatic carboxylic acids are aliphatic from the viewpoints of alkali solubility, solubility in a solvent described later, prevention of soiling and film residue on the substrate or the light-shielding layer in the unexposed area, and the like. Dicarboxylic acids are preferred. In particular, malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid and the like are preferred. As the phenyl group-containing carboxylic acid, aromatic dicarboxylic acids are preferred, and phthalic acid is particularly preferred.
The organic acids can be used alone or in admixture of two or more.
Of the organic acids, the polyvalent carboxylic acid also acts as a crosslinking / curing agent described later.
The amount of the organic acid used is usually 15% by weight or less, preferably 10% by weight or less, based on the whole radiation-sensitive composition. In this case, when the amount of the organic acid used exceeds 15% by weight, the adhesion of the formed pixel to the substrate tends to be lowered.
[0117]
-Organic amino compounds-
The organic amino compound is preferably an aliphatic amine or a phenyl group-containing amine having one or more amino groups in the molecule and a molecular weight of 1,000 or less.
Examples of the aliphatic amine include
n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, o-methylcyclohexylamine, m-methylcyclohexylamine, p-methylcyclohexylamine, o-ethylcyclohexylamine, m-ethylcyclohexylamine, p- Mono (cyclo) alkylamines such as ethylcyclohexylamine;
Methyl ethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-i-butylamine, di-sec- Di (cyclo) alkylamines such as butylamine, di-t-butylamine, di-n-pentylamine, di-n-hexylamine, methyl-cyclohexylamine, ethyl-cyclohexylamine, dicyclohexylamine;
Dimethyl ethylamine, methyl diethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyl di-n-propylamine, ethyl di-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri -I-propylamine, tri-n-butylamine, tri-i-butylamine, tri-sec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine, dimethyl cyclohexylamine, diethyl -Tri (cyclo) alkylamines such as cyclohexylamine, methyl-dicyclohexylamine, ethyl-dicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
[0118]
2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino- Mono (cyclo) alkanolamines such as 1-cyclohexanol;
Diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, di-i-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine, di (4-cyclo Di (cyclo) alkanolamines such as hexanol) amine;
Triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4 -Tri (cyclo) alkanolamines such as cyclohexanol) amine;
[0119]
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1, 2-cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol Amino (cyclo) alkanediols such as 2-diethylamino-1,3-propanediol;
1-aminocyclopentanemethanol, 4-aminocyclopentanemethanol, 1-aminocyclohexanemethanol, 4-aminocyclohexanemethanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4- Amino group-containing cycloalkanemethanols such as diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Examples thereof include aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid.
[0120]
Examples of the phenyl group-containing amine include a compound in which an amino group is directly bonded to the phenyl group, and a compound in which the amino group is bonded to the phenyl group via a carbon chain.
Examples of phenyl group-containing amines include:
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, pi-propylaniline, pn-butylaniline, pt-butylaniline, Aromatic amines such as 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
Aminobenzoic acids (derivatives) such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid and p-diethylaminobenzoic acid
Etc.
[0121]
Among these organic amino compounds, mono (cyclo) alkanolamines are used as aliphatic amines from the viewpoints of solubility in the solvent described later, prevention of soiling and film residue on the unexposed portion of the substrate or the light shielding layer, and the like. And amino (cyclo) alkanediols are preferred, especially 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 5-amino-1-pentanol, 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino -1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol and the like are preferable, and as the phenyl group-containing amine, aminophenols are preferable, and in particular, o-aminophenol, m-aminophenol, p- Aminophenol and the like are preferable.
The organic amino compounds can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the organic amino compound used is usually 15% by weight or less, preferably 10% by weight or less, based on the whole radiation-sensitive composition. In this case, when the usage-amount of an organic amino compound exceeds 15 weight%, there exists a tendency for the adhesiveness with the board | substrate of the formed pixel to fall.
[0122]
-Crosslinking / curing agent-
When the (B) alkali-soluble resin has a carboxyl group, the radiation-sensitive composition in the present invention is usually simply baked at 200 ° C. or higher, preferably 200 to 250 ° C., when forming a color filter. (E) The oxetane-based compound can react with a carboxyl group in the alkali-soluble resin to be crosslinked or cured, but the alkali-soluble resin has a carboxyl group, whether or not the It may further contain a crosslinking agent or curing agent (hereinafter collectively referred to as “crosslinking / curing agent”) capable of reacting with the oxetane compound or ring-opening polymerization of the oxetane compound.
Examples of such a crosslinking / curing agent include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators that generate an acid upon exposure.
[0123]
Examples of the polyvalent carboxylic acid include
Phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetra Aromatic polycarboxylic acids such as carboxylic acids;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid Alicyclic polycarboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid
Etc.
[0124]
Moreover, as the polyvalent carboxylic acid anhydride, for example,
Aromatic polycarboxylic anhydrides such as phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Kind;
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride, and nadic anhydride;
Ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic anhydride, glycerin tristrimellitic anhydride
Etc.
[0125]
Furthermore, as a crosslinking / curing agent, a commercially available epoxy resin curing agent made of a carboxylic acid anhydride can also be suitably used. Specific examples thereof include Adeka Hardener EH-700 (Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.) under the trade name. Product), Ricca seed HH, MH-700 (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), Epikinia 126, YH-306, DX-126 (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), and the like.
[0126]
Examples of the acid generator include:
4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, tri Onium salts such as phenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate,
Nitrobenzyl tosylate, benzoin tosylate
Etc.
[0127]
Of these crosslinking / curing agents, aromatic polycarboxylic acids, aromatic polycarboxylic anhydrides, onium salts and the like are preferable.
The crosslinking / curing agent can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the crosslinking / curing agent used is usually 25 parts by weight or less, preferably 15 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. In this case, if the amount of the crosslinking / curing agent used exceeds 25 parts by weight, the formed pixels tend to be detached from the substrate during development.
The temperature at which the radiation-sensitive composition is crosslinked or cured using the crosslinking / curing agent is usually 180 ° C. or higher, preferably 180 to 230 ° C.
[0128]
Moreover, as an additive other than the above, for example,
Dispersing aids such as blue pigment derivatives and yellow pigment derivatives such as copper phthalocyanine derivatives;
Fillers such as glass and alumina;
Polymer compounds such as polyvinyl alcohol, polyethylene glycol monoalkyl ethers, poly (fluoroalkyl acrylates);
Nonionic, cationic and anionic surfactants;
Vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyl-methyl-dimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-amino Propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyl methyl dimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, Adhesion promoters such as 3-chloropropyl, methyl, dimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane;
Antioxidants such as 2,2'-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,6-di-tert-butylphenol;
UV absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenones;
Anti-agglomeration agents such as sodium polyacrylate;
Thermal radical generators such as 1,1'-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile), 2-phenylazo-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile
Etc.
[0129]
solvent
The radiation sensitive composition for color filters of the present invention comprises (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a photopolymerization initiator, and (E) an oxetane compound. Is added as an essential component, and the additive component is contained as necessary, but it is preferably prepared as a liquid composition by blending a solvent.
As the solvent, as long as the components (A) to (E) and the additive component constituting the radiation-sensitive composition are dispersed or dissolved and do not react with these components and have appropriate volatility. Can be appropriately selected and used.
As such a solvent, for example,
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n- Butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, di Propylene glycol mono Chirueteru, dipropylene glycol mono -n- propyl ether, dipropylene glycol mono -n- butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as ether;
(Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate;
Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;
Alkyl lactates such as methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate;
Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy Methyl 3-methylbutanoate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-acetate Butyl, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate , Methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutanoic acid Other esters such as Le;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide
[0130]
Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl from the viewpoint of solubility, pigment dispersibility, coatability, etc. Ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-3-methoxybutylpropio Nate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-butyrate Propyl butyrate n- butyl, ethyl pyruvate and the like are preferable.
The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.
[0131]
Further, together with the solvent, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate , Γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, ethylene glycol monophenyl ether acetate and other high boiling point solvents can be used in combination.
The high boiling point solvents can be used alone or in admixture of two or more. The amount of the solvent used is not particularly limited, but the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is preferably from the viewpoint of applicability, stability and the like of the resulting radiation-sensitive composition. An amount of 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight is desirable.
[0132]
Method for forming color filter
Next, a method for forming a color filter using the radiation sensitive composition for a color filter of the present invention will be described.
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming pixels, and a liquid composition of a radiation sensitive composition in which, for example, a red pigment is dispersed on the substrate. After applying the material, pre-baking is performed to evaporate the solvent and form a coating film. Next, the coating film is exposed through a photomask, and then developed using an alkali developer to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film, and then post-baked to form a red pixel pattern. A pixel array arranged in an array is formed.
Then, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which a green or blue pigment is dispersed, each liquid composition is applied, pre-baked, exposed, developed, and post-baked in the same manner as described above. By sequentially forming the pixel array and the blue pixel array on the same substrate, a color filter in which the pixel arrays of the three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate is obtained.
Examples of the substrate used when forming the color filter include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, and polyimide. These substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When the liquid composition of the radiation sensitive composition is applied to the substrate, an appropriate application method such as spin coating, cast coating, roll coating or the like can be employed.
The coating thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 5.0 μm, and more preferably 0.2 to 3.0 μm as the film thickness after drying.
As the radiation used when producing the color filter, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like can be used, and radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable. .
The exposure amount of radiation is preferably 1 to 1,000 mJ / cm.2Degree.
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, An aqueous solution such as 5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied, and the development conditions are preferably 5 to 300 seconds at room temperature.
The color filter thus formed is extremely useful for, for example, a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, a color sensor, and the like.
[0133]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The radiation sensitive composition for color filters of the present invention comprises (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a photopolymerization initiator, and (E) an oxetane compound. With essential ingredientsAnd (D) the photopolymerization initiator includes (1) an acetophenone compound, or (2) a biimidazole compound and a hydrogen donor, and at least selected from the group of acetophenone compounds and triazine compounds From one containingHowever, specific examples of preferred compositions include the following (i) to (Ho).
(A) (B) The alkali-soluble resin contains a carboxyl group-containing copolymer (I), and (D) a photopolymerization initiator isAt least one selected from the group of biimidazole compounds and triazine compounds, including acetophenone compoundsA radiation sensitive composition for color filters.
(B) (B) The alkali-soluble resin contains the carboxyl group-containing copolymer (I), and (D) the photopolymerization initiator contains a biimidazole compound and a hydrogen donor.And at least one selected from the group of acetophenone compounds and triazine compounds, and the hydrogen donor comprises a mercaptan hydrogen donor and / or an amine hydrogen donor.A radiation-sensitive composition for color filters.
(C(E) The above (i), wherein the oxetane compound comprises at least one selected from the group of oxetane compound (8) and oxetane compound (53).Or(B) A radiation sensitive composition for color filters.
(D(C) The above-mentioned (a), (b) wherein the polyfunctional monomer is at least one selected from the group consisting of trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate.Or(C) A radiation-sensitive composition for a color filter.
(Ho(A) The colorant contains an organic pigment (a), (b), (c)Or(D) The radiation sensitive composition for color filters.
[0134]
Hereinafter, the embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
【Example】
Example 1
(A) 100 parts by weight of a 70/30 (weight ratio) mixture of CI Pigment Green 36 and CI Pigment Yellow 150 as a colorant, (B) Methacrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) as an alkali-soluble resin / Styrene / benzyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer (copolymerization weight ratio = 15/10 / 18.8 / 25 / 31.2, Mw = 22,000, Mn = 8,500) 55 parts by weight ( C) 80 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 10 weights of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 as a photopolymerization initiator Part and triazine compound (2) 8 parts by weight, (E) oxetane compound (53) 7.5 parts by weight as oxetane compound, Then, 1,000 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent was mixed to prepare a liquid composition (G1) of a radiation sensitive composition.
<Formation of color filter>
The liquid composition (G1) is made of SiO that prevents elution of sodium ions on the surface.2After coating on the surface of the soda glass substrate on which the film was formed using a spin coater, pre-baking was performed in a clean oven at 80 ° C. for 10 minutes to form a coating film having a thickness of 1.8 μm.
Next, after cooling the substrate to room temperature, ultraviolet rays containing 365 nm, 405 nm, and 436 nm wavelengths are applied to the coating film through a photomask using a high-pressure mercury lamp at 50 mJ / cm.2The exposure amount was as follows. Thereafter, the substrate was developed by being immersed in an aqueous 0.04 wt% potassium hydroxide solution at 23 ° C. for 1 minute. Thereafter, the substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and post-baked in a clean oven at 200 ° C. for 30 minutes to form a green stripe color filter on the substrate.
The pencil hardness of the obtained color filter was measured and found to be 3H.
Further, when the film surface of the obtained color filter was observed with an optical microscope, no scratches due to the sponge were observed on the pixel surface, and no chipped pattern was observed.
Furthermore, when the obtained color filter was observed using an optical microscope, no residue or background contamination was observed on the unexposed portion of the substrate, and the adhesion of the obtained pixel to the substrate was excellent.
[0135]
Example 2
(A) 100 parts by weight of a 70/30 (weight ratio) mixture of CI Pigment Green 36 and CI Pigment Yellow 138 as a colorant, (B) Methacrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) as an alkali-soluble resin / Styrene / benzyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer (copolymerization weight ratio = 15/10 / 18.8 / 25 / 31.2, Mw = 22,000, Mn = 8,500) 55 parts by weight ( C) 80 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′- as a photopolymerization initiator 5 parts by weight of tetraphenyl-1,2'-biimidazole and 10 parts by weight of triazine compound (2), and 2-mercaptobenzo as a hydrogen donor 2.5 parts by weight of azole, 5 parts by weight of 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, (E) 7.5 parts by weight of oxetane compound (53) as oxetane compound, and ethyl 3-ethoxypropionate as solvent A liquid composition (G2) of a radiation sensitive composition was prepared by mixing 1,000 parts by weight of a 90/10 (weight ratio) mixture with cyclohexanone.
Next, a green striped color filter was formed on the substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid composition (G2) was used instead of the liquid composition (G1).
The pencil hardness of the obtained color filter was measured and found to be 4H.
Further, when the film surface of the obtained color filter was observed with an optical microscope, no scratches due to the sponge were observed on the pixel surface, and no chipped pattern was observed.
Furthermore, when the obtained color filter was observed using an optical microscope, no residue or background contamination was observed on the unexposed portion of the substrate, and the adhesion of the obtained pixel to the substrate was excellent.
[0136]
Example 3
(A) 100 parts by weight of a 70/30 (weight ratio) mixture of CI Pigment Green 36 and CI Pigment Yellow 150 as a colorant, (B) Methacrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) as an alkali-soluble resin / Styrene / benzyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer (copolymerization weight ratio = 15/10 / 18.8 / 25 / 31.2, Mw = 22,000, Mn = 8,500) 65 parts by weight ( C) 65 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′- as a photopolymerization initiator 5 parts by weight of tetraphenyl-1,2'-biimidazole and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 10 parts by weight, 10 parts by weight of triazine compound (2), 2.5 parts by weight of 2-mercaptobenzothiazole as a hydrogen donor, 5 parts by weight of 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, (E) oxetane compound As a solvent, 12.5 parts by weight of an oxetane compound (53) and 1,000 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (G3) of a radiation sensitive composition.
Next, a green stripe color filter was formed on the substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid composition (G3) was used instead of the liquid composition (G1).
The pencil hardness of the obtained color filter was measured and found to be 3H.
Further, when the film surface of the obtained color filter was observed with an optical microscope, no scratches due to the sponge were observed on the pixel surface, and no chipped pattern was observed.
Furthermore, when the obtained color filter was observed using an optical microscope, no residue or background contamination was observed on the unexposed portion of the substrate, and the adhesion of the obtained pixel to the substrate was excellent.
[0140]
Comparative Example 1
(A) 110 parts by weight of a 60/40 (weight ratio) mixture of CI Pigment Green 36 and CI Pigment Yellow 150 as a colorant, (B) Methacrylic acid / styrene / benzyl methacrylate / glycerol monomethacrylate / N- 65 parts by weight of phenylmaleimide copolymer (copolymerization weight ratio = 15/15/35/10/25, Mw = 30,000, Mn = 13,000), (C) dipentaerythritol as polyfunctional monomer 65 parts by weight of hexaacrylate, (D) 50 parts by weight of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 as a photopolymerization initiator, and ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent 1 1,000 parts by weight are mixed to prepare a liquid composition (g1) of the radiation sensitive composition. .
Next, a green striped color filter was formed on the substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid composition (g1) was used instead of the liquid composition (G1).
The pencil hardness of the obtained color filter was measured and found to be 2H.
Further, when the film surface of the obtained color filter was observed with an optical microscope, no scratches due to the sponge were observed on the pixel surface, but a chipped pattern was observed.
[0141]
【The invention's effect】
The radiation sensitive composition for color filters of the present invention has a high film hardness, and even if the residue and background stain generated on the unexposed substrate and the light shielding layer during development are removed by brush cleaning or the like, It is possible to provide a pixel which does not cause scratches or lacks in the pattern, has excellent developability, and has excellent adhesion to the substrate and the light shielding layer.
Therefore, the radiation sensitive composition for color filters of the present invention can be used very suitably for the production of various color filters including color filters for color liquid crystal display devices in the electronic industry.
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