JP4155091B2

JP4155091B2 - 放熱装置

Info

Publication number: JP4155091B2
Application number: JP2003128151A
Authority: JP
Inventors: 直広鴻巣; 正人高橋; 淳梁瀬; 裕地藤本
Original assignee: Fuji Electric Systems Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2003-05-06
Filing date: 2003-05-06
Publication date: 2008-09-24
Anticipated expiration: 2023-05-06
Also published as: JP2004335653A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放熱装置に関するもので、特に、高出力レーザダイオードアレイの放熱に好適な放熱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高出力レーザダイオードアレイの発熱密度は、数十〜数百Ｗ／ｃｍ²程度と大きなものである。しかしながら、レーザダイオードアレイは、底面が１０ｍｍ×１〜１．５ｍｍ程度の小型なものであり、空冷方式の放熱装置では十分な放熱を期待することができない。
【０００３】
このため、レーザダイオードアレイを放熱するための装置としては、図８に示すように、上受熱体１、中受熱体２および下受熱体３を順次積層接合し、上受熱体１の上面１ａにレーザダイオードアレイＬＤを設置させるとともに、これら受熱体１，２，３の間に適宜冷却液を通過させるようにした水冷方式のものが適用されている。これらの受熱体１，２，３は、それぞれ銅等の熱伝導率の大きな金属からなる平板状部材である。上受熱体１における中受熱体２との接合面、並びに下受熱体３における中受熱体２との接合面には、それぞれ冷媒空所４，５が設けてあり、また、中受熱体２の一端縁部には冷媒空所４，５を相互に連通する連絡通路６が設けてある。
【０００４】
この放熱装置では、一方の冷媒空所５に冷却液を供給すれば、この冷却液が連絡通路６および他方の冷媒空所４を順次通過することになり、上受熱体１の上面１ａに設置させたレーザダイオードアレイＬＤを冷却することができるようになる（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
国際出願公開第００／１１９２２号パンフレット
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような放熱装置においては、冷却液の圧力損失を低減するため、上受熱体１の冷媒空所４をできるだけ大きく形成すること、つまり上受熱体１の上壁をできるだけ薄く構成することが好ましい。
【０００７】
しかしながら、上受熱体１の上壁を薄く構成した場合には、その面方向（図８において左右方向）に沿った熱抵抗が増大することになる。この結果、レーザダイオードアレイＬＤから上受熱体１に伝達した熱は、広範に至ることなくその極近傍でのみ冷却液と熱交換されるだけに留まり、放熱効率の点で問題がある。
【０００８】
もちろん、上受熱体１の上壁を厚く構成すれば、レーザダイオードアレイＬＤから上受熱体１に伝達された熱が広範に至ることになり、冷却液との熱交換の点では有利となる。しかしながら、上述したように、上受熱体１の上壁を厚く構成した場合には、その分だけ冷媒空所４が狭くなるため、冷却液の圧力損失の点から放熱効率の向上を図ることが困難となる。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みて、放熱効率の向上を図ることのできる放熱装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る放熱装置は、一方の表面に受熱面を有する第１受熱体と、一方の表面を前記第１受熱体の他方の表面に対向させる態様で積層接合し、該第１受熱体との間に冷媒供給空所を構成する第２受熱体とを備え、前記冷媒供給空所に冷却液を通過させることにより、前記受熱面に設置した発熱体の放熱を行う放熱装置において、前記第２受熱体の一方の表面において中央部から発熱体の設置箇所に対応した一方の端縁部に亘る部位に前記冷媒供給空所を構成するとともに、前記第２受熱体の他方の表面に第３受熱体を積層接合して成り、さらに、前記第３受熱体の中央部に形成し、前記冷媒供給空所へ冷却液を導入するための導入口と、前記第２受熱体および前記第３受熱体との間において前記導入口を避けた部位に構成し、前記第３受熱体において導入口よりも他方の端縁部側に位置する部位に冷却液の導出口を有する冷媒排出空所と、前記第２受熱体の一方の端縁部に形成し、前記冷媒供給空所を通過した冷却液を前記冷媒排出空所に送出する連絡通路と、前記第２受熱体において前記冷媒供給空所よりも他方の端縁部側に形成し、前記冷媒排出空所を通過する冷却液を第１受熱体の他方の表面に接触させるための連通空所とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項２に係る放熱装置は、上述した請求項１において、前記第１受熱体及び前記第２受熱体の間の冷媒供給空所を前記第２受熱体にのみ形成したことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項３に係る放熱装置は、上述した請求項１において、前記冷媒供給空所の内部において前記発熱体の設置箇所に対応した部位から前記導入口に向かう部位に該冷媒供給空所の外形形状に沿って複数の放熱フィンを延在させたことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項４に係る放熱装置は、上述した請求項１または３において、前記連通空所の内部に該連通空所の外形形状に沿って前記導出口に向かう複数の補助放熱フィンを延在させたことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る放熱装置の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１である放熱装置を示したものである。ここで例示する放熱装置は、高出力レーザダイオードアレイＬＤを発熱体としてその放熱を行うためのもので、互いに積層接合した上受熱体（第１受熱体）１０、中受熱体（第２受熱体）２０および下受熱体（第３受熱体）３０を備えている。これらの受熱体１０，２０，３０は、いずれも銅、銅−タングステン、アルミニウム等の熱伝導率が良好な金属によって矩形の平板状に構成したものである。具体的な一例を挙げれば、発熱体として長さ１０ｍｍ×幅１〜１．５ｍｍ×高さ０．１〜０．２ｍｍの直方状のレーザダイオードアレイＬＤを放熱対象とする場合、それぞれ長さ１１ｍｍ×幅２０ｍｍ×高さ１ｍｍの寸法を有した受熱体１０，２０，３０を適用している（３層で合計高さ３ｍｍ）。
【００１７】
上受熱体１０は、上方に位置する一方の表面（図１において上方の面）に受熱面１０ａを構成するとともに、受熱面１０ａの一端縁部にレーザダイオードアレイＬＤの設置箇所を設定したもので、図２に示すように、いずれの面にも何等加工を施すことなく、全長に亘って一様な板厚を有した矩形平板状のまま適用している。
【００１８】
中受熱体２０は、上受熱体１０の下方に位置する他方の表面（図１において下方の面）に積層接合するもので、図３および図４に示すように、冷媒供給凹所２１、導入連絡口２２、連絡通路２３および連通空所２４を有している。
【００１９】
冷媒供給凹所２１は、中受熱体２０の一方の表面（図１において上方の面）に開口した凹部であり、該中受熱体２０のほぼ中央となる部位からレーザダイオードアレイＬＤの設置箇所に対応した一端縁部に亘る部位に設けてある。図３からも明らかなように、冷媒供給凹所２１は、中受熱体２０の中央部においては一端縁部側に向けて漸次幅が増大し、中受熱体２０の一端縁部においては一様な幅となるように形成してある。冷媒供給凹所２１の深さは、図１に示すように、その全域に亘って一様であり、冷却液を通過させる際の圧力損失が最小となるように設定してある。具体的には、所望の強度を確保した上で、冷媒供給凹所２１の底壁を可及的に薄く構成するようにしている。冷媒供給凹所２１は、その周囲が同一の高さを有した連続する壁部分によって囲まれており、中受熱体２０を上受熱体１０の他方の表面に積層接合した場合にこの壁部分によって上方の開口が閉塞され、該上受熱体１０との間に冷媒供給空所２５を画成することになる。
【００２０】
導入連絡口２２は、冷媒供給凹所２１の内部において中受熱体２０のほぼ中央となる部位に板厚方向に沿って貫設した円形の孔である。本実施の形態１では、導入連絡口２２として、中受熱体２０の幅のほぼ１／３程度の内径を有したものを示している。
【００２１】
連絡通路２３は、冷媒供給凹所２１の内部において中受熱体２０の一端縁部に板厚方向に沿って貫設した円形の孔であり、レーザダイオードアレイＬＤの設置箇所に対応した部位において中受熱体２０の幅方向に沿って複数並設してある。それぞれの連絡通路２３は、互いに同一の内径を有したもので、本実施の形態１では、導入連絡口２２よりも充分細径に形成してある。
【００２２】
連通空所２４は、壁部分を挟んで冷媒供給凹所２１よりも他端縁部側に位置する部位に板厚方向に沿って設けた貫通孔である。この連通空所２４は、中受熱体２０の他端縁部側においては一端縁部側に向けて漸次幅が増大し、中受熱体２０の中央部においては冷媒供給凹所２１と同等の幅となるように形成してある。但し、連通空所２４において冷媒供給凹所２１と隣接する部分に関しては、該冷媒供給空所２５を避けるように、中受熱体２０の他端縁部側に向けて窪んだ形状となっている。
【００２３】
また、上記中受熱体２０には、冷媒供給凹所２１の内部に複数の放熱フィン２６が設けてある。これらの放熱フィン２６は、各連絡通路２３の両側となる部位からそれぞれ中受熱体２０の他端縁部側に向けて互いに平行に延設したもので、レーザダイオードアレイＬＤの設置箇所に対応した部位に形成してある。各放熱フィン２６は、冷媒供給空所２５を囲む壁部分と同一の高さを有しており、中受熱体２０を上受熱体１０の他方の表面に積層した場合に該上受熱体１０の他方の表面に接合することが可能である。
【００２４】
下受熱体３０は、中受熱体２０の下方に位置する他方の表面（図１において下方の面）に積層接合するもので、図４に示すように、冷媒排出凹所３１、ボス部３２および導出口３３を有している。
【００２５】
冷媒排出凹所３１は、下受熱体３０の一方の表面（図１において上方の面）に開口した凹部であり、中受熱体２０に形成した冷媒供給凹所２１および連通空所２４に対応する部位に亘って形成してある。冷媒排出凹所３１の深さは、冷媒供給凹所２１と同様に、その全域に亘って一様である。冷媒排出凹所３１は、その周囲が同一の高さを有した連続する壁部分によって囲まれており、下受熱体３０を中受熱体２０の他方の表面に積層接合した場合にこの壁部分によって上方の開口が閉塞され、該中受熱体２０との間に冷媒排出空所３４を画成することになる。
【００２６】
ボス部３２は、冷媒排出凹所３１の内部において中受熱体２０の導入連絡口２２に対応する部位に、該導入連絡口２２の内径よりも大きな外径をもって設けた柱状部分である。このボス部３２は、冷媒排出凹所３１を囲む壁部分と同一の高さを有しており、下受熱体３０を中受熱体２０の他方の表面に積層した場合に該中受熱体２０の他方の表面に接合することが可能である。
【００２７】
このボス部３２には、その軸心位置に下受熱体３０の板厚方向に沿って導入口３２ａが設けてあるとともに、一端縁部側に位置する外周面に振分案内部３２ｂが設けてある。導入口３２ａは、中受熱体２０の導入連絡口２２に対応する部位に該導入連絡口２２と同一の内径を有して形成した円形の貫通孔である。振分案内部３２ｂは、ボス部３２の外周面から下受熱体３０の一端縁部側に向けて漸次幅が小さくなる態様で突出し、冷媒排出凹所３１の内部において下受熱体３０の一端縁部側から他端縁部側に向けて流体が通過した場合にこれを左右に振り分けるように案内するための部分である。
【００２８】
導出口３３は、冷媒排出凹所３１の内部において中受熱体２０の連通空所２４に対応する部位に板厚方向に沿って貫設した円形の孔である。本実施の形態１では、導入口３２ａとほぼ同一の内径を有した導出口３３を設けてある。
【００２９】
また、上記下受熱体３０には、冷媒排出凹所３１の内部に複数の副放熱フィン３５が設けてある。これらの副放熱フィン３５は、中受熱体２０に設けた放熱フィン２６に対応する部位に同一の肉厚、同一のピッチとなるように設けたものである。各副放熱フィン３５は、冷媒排出空所３４を囲む壁部分と同一の高さを有しており、下受熱体３０を中受熱体２０の他方の表面に積層した場合に該中受熱体２０の他方の表面に接合することが可能である。
【００３０】
なお、以上説明した中受熱体２０の冷媒供給凹所２１、導入連絡口２２、連絡通路２３、連通空所２４および放熱フィン２６、並びに下受熱体３０の冷媒排出凹所３１、ボス部３２、導出口３３および副放熱フィン３５は、たとえばそれぞれの受熱体２０，３０にエッチング等の化学処理、あるいは切削や研削等の機械加工を施すことによって構成してある。
【００３１】
上記のような構成を有した上受熱体１０、中受熱体２０および下受熱体３０は、半田付けや溶着等、適宜な接合方法を適用し、相互に積層接合することによって機械的、かつ熱的に接続された状態で放熱装置を構成する。
【００３２】
この放熱装置を適用してレーザダイオードアレイＬＤの放熱を行う場合には、上受熱体１０に設けた設置箇所にレーザダイオードアレイＬＤを接合し、この状態から冷却液供給管４０を通じて下受熱体３０の導入口３２ａに冷却液、たとえば冷却水を順次供給する。
【００３３】
下受熱体３０の導入口３２ａに供給された冷却液は、中受熱体２０の導入連絡口２２を通じて冷媒供給空所２５に導入され、該冷媒供給空所２５を満たした状態で適宜通過した後、連絡通路２３を通じて冷媒排出空所３４に至る。冷媒排出空所３４に到達した冷却液は、ボス部３２において２分割された後、再び連通空所２４において合流し、導出口３３および冷却液排出管４１を通じて最終的に外部に排出される。なお、外部に排出された冷却液は、適宜冷却された後、再び導入口３２ａを通じて冷媒供給空所２５に供給するようにしても良い。
【００３４】
この間、レーザダイオードアレイＬＤを駆動した際に発生する熱は、上受熱体１０に伝達された後、放熱フィン２６を通じて冷媒供給空所２５を通過する冷却液に順次伝達されることになる。
【００３５】
ここで、上記放熱装置によれば、上受熱体１０に何ら加工を施すことなく一様な板厚に構成するとともに、中受熱体２０にのみ冷媒供給凹所２１を形成し、この冷媒供給凹所２１と上受熱体１０との間に冷却液が通過するための冷媒供給空所２５を画成するようにしているため、外形寸法が同じ放熱装置と比較した場合、上受熱体１０の面方向に沿った熱抵抗を増大させることなく冷却液の圧力損失を可及的に低減することが可能になる。つまり、外形寸法の増大を招来することなく、上受熱体１０の面方向に沿った熱抵抗および冷却液の圧力損失を低減することができるようになる。
【００３６】
従って、レーザダイオードアレイＬＤで発生した熱は、上受熱体１０に伝達された後にその面方向に沿ってスムーズに広範に至るようになり、放熱フィン２６に対応する部位以外においても冷媒供給空所２５を通過する冷却液との間で熱交換が行われるようになる。この結果、レーザダイオードアレイＬＤから効率よく放熱を行うことができるようになり、レーザの出力を大きくした場合であっても、レーザ出力や発信波長が安定する、出力効率が向上する、素子寿命が長くなる、等々の効果を奏するようになる。
【００３７】
また、冷媒供給凹所２１での冷却液の圧力損失を低減できることから、冷却液を供給、もしくは循環するためのポンプ等の駆動装置としては、ごく小型のものを適用すればよく、設置スペースの点やコストの点できわめて有利となる。
【００３８】
さらに、上記放熱装置によれば、中受熱体２０に連通空所２４を設けているため、連絡通路２３を経て冷媒排出空所３４に至った冷却液が当該連通空所２４において再び上受熱体１０の他方の表面に接触することになる。従って、レーザダイオードアレイＬＤから上受熱体１０に伝達された熱は、連通空所２４に対応する部位においても冷却液との間で熱交換が行われるようになり、上述した効果が一層顕著となる。
【００３９】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２である放熱装置を示したものである。ここで例示する放熱装置は、実施の形態１で示した放熱装置と同様に、高出力レーザダイオードアレイＬＤを発熱体としてその放熱を行うためのもので、実施の形態１の放熱装置とは中受熱体（第２受熱体）の構成のみが異なっている。
【００４０】
すなわち、実施の形態２の放熱装置では、中受熱体１２０における冷媒供給凹所１２１の内部に設けた複数の放熱フィン１２６を延長するとともに、連通空所１２４の内部にも複数の補助放熱フィン１２７を設けるようにしている。
【００４１】
冷媒供給凹所１２１の放熱フィン１２６は、図６および図７に示すように、互いの間に同一の間隔を確保し、かつ冷媒供給凹所１２１の外形形状に沿う態様で導入連絡口１２２に向けて延長してある。これらの放熱フィン１２６は、中受熱体１２０を上受熱体１０の他方の表面に積層した場合に該上受熱体１０の他方の表面に接合することが可能である。
【００４２】
補助放熱フィン１２７は、冷媒供給凹所１２１と連通空所１２４との間を仕切る壁部分から互いの間に一定の間隔を確保し、かつ連通空所１２４の外形形状に沿う態様で下受熱体３０の導出口３３に向けて延設してある。これら補助放熱フィン１２７も、中受熱体１２０を上受熱体１０の他方の表面に積層した場合に該上受熱体１０の他方の表面に接合することが可能である。
【００４３】
なお、その他の構成に関しては、実施の形態１と同様であるため、同一の符号を付してそれぞれの詳細説明を省略する。
【００４４】
この放熱装置においても、上受熱体１０に設けた設置箇所にレーザダイオードアレイＬＤを接合し、この状態から冷却液供給管４０を通じて下受熱体３０の導入口３２ａに冷却液、たとえば冷却水を順次供給すれば、レーザダイオードアレイＬＤの放熱を行うことが可能になる。
【００４５】
ここで、上記放熱装置によれば、上受熱体１０に何ら加工を施すことなく一様な板厚に構成するとともに、中受熱体１２０にのみ冷媒供給凹所１２１を形成し、この冷媒供給凹所１２１と上受熱体１０との間に冷却液が通過するための冷媒供給空所１２５を画成するようにしているため、上受熱体１０の面方向に沿った熱抵抗を増大させることなく冷却液の圧力損失を可及的に低減することが可能になる。しかも、冷媒供給空所１２５においては、冷却液との接触面積を増大するべく放熱フィン１２６を延長するようにしている。
【００４６】
従って、レーザダイオードアレイＬＤで発生した熱は、上受熱体１０に伝達された後にその面方向に沿ってスムーズに広範に至るようになり、延長した放熱フィン１２６を通じて冷媒供給空所１２５を通過する冷却液との間でより効率的に熱交換が行われるようになる。この場合、放熱装置としての外形寸法を増大する必要がないのは実施の形態１と同様である。
【００４７】
さらに、上記放熱装置によれば、中受熱体１２０に補助放熱フィン１２７を有した連通空所１２４を設けているため、この補助放熱フィン１２７による冷却液との接触面積増大作用により、連通空所１２４において再び上受熱体１０の他方の表面に接触する冷却液と、連通空所１２４に対応する部位に伝達された熱との間においてより効率的に熱交換が行われることになる。
【００４８】
これらの結果、レーザの出力を大きくした場合にも、レーザ出力や発信波長が安定する、出力効率が向上する、素子寿命が長くなる、等々の効果が実施の形態１の放熱装置を適用した場合に比べてより一層顕著となる。
【００４９】
なお、上述した実施の形態１および２では、いずれもレーザダイオードアレイＬＤの放熱を行うための装置を例示しているが、その他の発熱体の放熱を行うものにも適用することが可能である。
【００５０】
また、上述した実施の形態１および２では、いずれも第２受熱体２０，１２０にのみ冷媒供給空所２５，１２５を形成するための凹所２１，１２１を設けるようにしているが、第１受熱体１０にも凹所を設けて構わない。この場合、面方向に沿った熱抵抗を考慮した場合、第１受熱体１０に設ける凹所は可及的に小さいものであることが好ましいのは言うまでもない。
【００５１】
さらに、上述した実施の形態１および２では、いずれも第２受熱体２０，１２０に第３受熱体３０を積層接合し、これらの受熱体の間に冷媒排出空所３４を設けるとともに、第２受熱体２０，１２０に冷媒供給空所２５，１２５と冷媒排出空所３４との間を連通する連絡通路２３を設け、冷媒供給空所２５，１２５に供給した冷却液を冷媒排出空所３４に導くようにしているが、上述した連通空所２４，１２４を設けないのであれば、必ずしも第３受熱体３０および連絡通路２３を設ける必要はない。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る放熱装置によれば、第２受熱体の一方の表面に、少なくとも冷媒供給空所の一部を構成するための凹所を形成するようにしているため、第１受熱体の面方向に沿った熱抵抗を増大させることなく冷却液の圧力損失を可及的に低減することが可能になる。さらに、本発明に係る放熱装置のごとく、冷媒供給空所を第２受熱体にのみ形成すれば、第１受熱体の面方向に沿った熱抵抗および冷却液の圧力損失がより小さくなる。従って、発熱体からの熱が、第１受熱体に伝達された後にその面方向に沿ってスムーズに広範に至り、冷媒供給空所を通過する冷却液との間で効率的に熱交換が行われるようになるため、放熱効率の向上を図ることが可能になる。特に、レーザダイオードアレイに適用した場合には、レーザの出力を大きくした場合であっても、レーザ出力や発信波長が安定する、出力効率が向上する、素子寿命が長くなる、等々の効果を奏するようになる。
【００５３】
また、本発明に係る放熱装置によれば、第２受熱体の他方の表面に第３受熱体を積層接合するとともに、これら第２受熱体および第３受熱体との間に冷媒供給空所からの冷却液を導出するための冷媒排出空所を構成し、さらに第２受熱体に連通空所を設けることにより冷媒排出空所を通過する冷却液を第１受熱体に接触させるようにしているため、発熱体から第１受熱体に伝達された熱が、連通空所に対応する部位においても冷却液との間で熱交換が行われ、放熱効率が一層向上するようになる。
【００５４】
また、本発明に係る放熱装置によれば、冷媒供給空所の内部において発熱体の設置箇所に対応した部位から導入口に向かう部位に該冷媒供給空所の外形形状に沿って複数の放熱フィンを延在させるようにしているため、また、本発明に係る放熱装置によれば、連通空所の内部に該連通空所の外形形状に沿って導出口に向かう複数の補助放熱フィンを延在させるようにしているため、いずれにおいても冷却液との接触面積が増大するようになり、上述した効果が一層顕著となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１である放熱装置を示した断面図である。
【図２】図１における II−II 線矢視図である。
【図３】（ａ）は図１における IIIａ−IIIａ線矢視図、（ｂ）は図１における IIIｂ−IIIｂ線矢視図である。
【図４】（ａ）は図１における IVａ−IVａ線矢視図、（ｂ）は図１における IVｂ−IVｂ線矢視図である。
【図５】本発明の実施の形態２である放熱装置を示した矢視図である。
【図６】図５における VI−VI 線矢視図である。
【図７】（ａ）は図５における VIIａ−VIIａ線矢視図、（ｂ）は図５における VIIｂ−VIIｂ線矢視図である。
【図８】従来の放熱装置を示した断面図である。
【符号の説明】
１０上受熱体
１０ａ受熱面
２０中受熱体
２１冷媒供給凹所
２２導入連絡口
２３連絡通路
２４連通空所
２５冷媒供給空所
２６放熱フィン
３０下受熱体
３１冷媒排出凹所
３２ボス部
３２ａ導入口
３２ｂ振分案内部
３３導出口
３４冷媒排出空所
３５副放熱フィン
４０冷却液供給管
４１冷却液排出管
１２０中受熱体
１２１冷媒供給凹所
１２２導入連絡口
１２４連通空所
１２５冷媒供給空所
１２６放熱フィン
１２７補助放熱フィン
ＬＤレーザダイオードアレイ

Claims

一方の表面に受熱面を有する第１受熱体と、一方の表面を前記第１受熱体の他方の表面に対向させる態様で積層接合し、該第１受熱体との間に冷媒供給空所を構成する第２受熱体とを備え、前記冷媒供給空所に冷却液を通過させることにより、前記受熱面に設置した発熱体の放熱を行う放熱装置において、
前記第２受熱体の一方の表面において中央部から発熱体の設置箇所に対応した一方の端縁部に亘る部位に前記冷媒供給空所を構成するとともに、前記第２受熱体の他方の表面に第３受熱体を積層接合して成り、さらに、
前記第３受熱体の中央部に形成し、前記冷媒供給空所へ冷却液を導入するための導入口と、
前記第２受熱体および前記第３受熱体との間において前記導入口を避けた部位に構成し、前記第３受熱体において導入口よりも他方の端縁部側に位置する部位に冷却液の導出口を有する冷媒排出空所と、
前記第２受熱体の一方の端縁部に形成し、前記冷媒供給空所を通過した冷却液を前記冷媒排出空所に送出する連絡通路と、
前記第２受熱体において前記冷媒供給空所よりも他方の端縁部側に形成し、前記冷媒排出空所を通過する冷却液を第１受熱体の他方の表面に接触させるための連通空所と
を備えたことを特徴とする放熱装置。
前記第１受熱体及び前記第２受熱体の間の冷媒供給空所を前記第２受熱体にのみ形成したことを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記冷媒供給空所の内部において前記発熱体の設置箇所に対応した部位から前記導入口に向かう部位に該冷媒供給空所の外形形状に沿って複数の放熱フィンを延在させたことを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記連通空所の内部に該連通空所の外形形状に沿って前記導出口に向かう複数の補助放熱フィンを延在させたことを特徴とする請求項１または３に記載の放熱装置。