JP4166359B2 - Fan filter unit - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、この種のファンフィルターユニットは、高機外静圧対応や容易な風量制御、またクリーンルームに有害ガスの発生抑制などが求められている。
【０００３】
従来、この種のファンフィルターユニットは、図１６に示すような構造が一般的であった。以下、この構成について図１６を参照しながら説明する。
【０００４】
従来のファンフィルターユニットは、空気を清浄化するフィルター１０１と、フィルター１０１に隣接し空気を供給するケーシング１０２と、チャンバー１０３と、ターボファン１０４と、ターボファン１０４の駆動用のモーター１０５と、チャンバー１０３の天面にモーター１０５を保持するモーター固定板１０６で構成されている。
【０００５】
そして、ターボファン１０４とモーター１０５により送り込まれた空気が、フィルター１０１を通過して清浄空気となって吹き出されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のファンフィルターユニットでは、オリフィスから吸込んだ空気がチャンバー内に拡散され、本体の機外静圧がとれないために、吸込風路を狭くしたり、クリーンルームガス対策のケミカルフィルターを搭載した場合に吹出空気量が低下しクリーンルームの清浄度を確保することが不充分であるという課題があった。
【０００７】
これらの改善策として、ターボファンの外径を大きくしたり、ファン高さを大きくしたり、シロッコファンを用いたりしていたが、本体外形が大きくなったり、本体高さが大きくなったりするなど、コストの面でも必ずしも有利といえないものであった。
【０００８】
本発明は、吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボファンを用いることにより、本体の高機外静圧対応が可能となるファンフィルターユニットを提供する。
【０００９】
また、駆動用のモーターに低電圧型直流モーターを用いることにより、風量制御をより一層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保をより一層容易に行えるようにする。
【００１０】
また、低電圧型直流モーターの駆動用として、チャンバーに隣接するように制御装置を備えることにより、風路スペースを有効に活用するとともに、メンテナンスが容易に行えるようにする。
【００１１】
また、モーターおよびターボファンの交換が吸込側および吹出側両方向から行える構造とすることにより、モーターやターボファンのメンテナンスをより一層容易に行えるようにする。
【００１２】
また、チャンバー内部にモーターおよびターボファンを設置したモーター固定板を囲むように箱状に形成した拡散板を取り付け、前記拡散板にはモーター直下に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺および外周部もパンチング状に開放することにより、フィルターより吹き出す風速の分布を均一化する。
【００１３】
また、ベアリングを固定するためのモーターハウジング下およびモーターハウジング上と筒状のモーターハウジング中を有し、モーターハウジング下とモーターハウジング中の接合部の内部およびモーターハウジング上とモーターハウジング中の接合部の内部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有する駆動用のモーターを備えることにより、モーターから発生する様々なガス成分のモーター外部への流出を防止する。
【００１４】
また、ターボファンの吸込口径よりやや小なる径の吸込口を有し、その吸込口から円周方向にターボファン側が開放された半円弧状の膨らみを有するオリフィスに、吸込空気量の調節を目的としたドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリングを半円弧状の膨らみの最上部に接合したオリフィスアッセンブリーを備えることにより、安価にターボファンの効率を向上させ、省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制もできるようにする。
【００１５】
また、全面に空気流通用のパンチング孔を有し、下方が開放された箱状に形成され、その箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製されたプレフィル
ターを備え、またその箱状外周部の鉛直面の下端がプレフィルターを介してチャンバー天面と接するように取り付けることのできるファンガードを備えることにより、プレフィルターのみを容易にファンガードに覆い被せ、上流空気の大きな塵を捕集することにより、安価にフィルターの目詰まりを抑制する。
【００１６】
また、Ｌ字型に形成され、その２平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂにより、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナットで固定され、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる固定金具アッセンブリーをチャンバー天面のコーナー部に４箇所に設置することにより、本体の設置がより一層容易に行えるようにする。
【００１７】
また、内部の電子部品の放熱を効果的に行えるように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成された電装ボックスを有し、この電装ボックスと内部の電子部品を密着させて、熱伝導にて電装ボックスから外部へ熱を放出できる構造とした制御装置を備えることにより、電子部品の温度上昇を抑え、電子部品の寿命を引き伸ばす。
【００１８】
また、貫通するリード線の本数と同一本数で、またリード線の外径と同一径の孔をあけ、電装ボックス電源リード線貫通用のＵの字型開放部分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸法に形成されたシール部材が、連続する山型突起に密着し、制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させないような構造とした制御装置を備えることにより、有害なガスの発生を防止でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できるようにする。
【００１９】
また、制御装置内部に、モーターの劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、モーター保護のためにモーターへの通電を停止する電流設定値を有し、またモーターへの通電を停止する電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、モーターへの通電を停止せずに異常であることを警告する機能をもった電流検出回路を有する制御装置を備えることにより、モーターが停止し、送風されなくなる前に処置することにより、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限に食い止める。
【００２０】
また、外部に接続する外部可変抵抗の抵抗値を変化させることによりモーターの回転数を調整し、設定する機能を有し、その一方で、外部可変抵抗の一方の接続線を遮断することにより、前記モーターの回転数の設定を記憶する機能を有する制御装置を備えることにより、誤って操作した場合でも常に設定したモーターの回転数で運転できるようにする。
【００２１】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、内部可変抵抗を使用することにより、モーターの回転数を調整し、設定することができるようにする。
【００２２】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、制御装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外部から所定の可変直流電源電圧を印加することにより、モーターの回転数を調整し、設定することができるようにする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明のファンフィルターユニットは、空気を清浄化するフィルターと、このフィルターに隣接し空気を供給するケーシングの機能を有するチャンバーと、このチャンバーの吸込側に空気を誘導するオリフィスと、チャンバーの内部に送風用の吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボファンと、この高静圧型のターボファンの駆動用のモーターと、オリフィスの上流側にターボファンに人の手や障害物の侵入を防止するファンガードと、チャンバーの天面内部にモーターを保持するモーター固定板を備えた構成としたものである。
【００２４】
これによれば、吸込空気はファンガードを通過し、オリフィスにより高静圧型のターボファンの吸込口に誘導されインデューサ部により整流および昇圧されるので、高機外静圧対応が可能となる。
【００２５】
また、駆動用のモーターに低電圧型直流モーターを用いた構成としたものである。
【００２６】
これによれば、モーター固定板の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧型直流モーターを備えることにより、風量制御をより一層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保を容易に行うことができる。
【００２７】
また、低電圧型直流モーターの駆動用として、チャンバーに隣接するように制御装置を備えた構成としたものである。
【００２８】
これによれば、制御装置はチャンバーの天面外部に固定されているので、風路として確保されていたスペースを有効に活用することができ、また天面外部に露出しているため、メンテナンスも容易に行うことができる。
【００２９】
また、空気を清浄化するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するケーシングの機能を有するチャンバーと、前記チャンバーの吸込側に空気を誘導するオリフィスと、前記チャンバーの内部にターボファンとそのターボファンの駆動用モーターと、前記チャンバーの天面内部に、上部開放で略コの字状に形成され、その開放部に前記モーターを保持するモーター固定板とを備え、前記チャンバーの天面には、前記ターボファンの外径よりやや大なる丸孔を設け、前記オリフィスは、前記チャンバーの上方より固定ねじにより取り付けられ、前記モータ固定板は、固定ねじによりチャンバーの下方より天面内部に取り付けられ、前記駆動用モーターの回転軸にターボファンが固定ナットにより取り付けられ、モーターおよびターボファンの交換が吸込側および吹出側両方向から行える構成としたものである。
【００３０】
これによれば、固定ねじを上方より外し、オリフィスを取り外すことにより、チャンバー内部のターボファンおよび駆動用のモーターを上方より容易に取り外すことができる。また、下方より固定ねじを取り外すことにより、モーター固定板と一体となっている駆動用のモーターとターボファンを、下方より容易に取り外すことができる。
【００３１】
また、チャンバー内部にモーターおよびターボファンを設置したモーター固定板を囲むように箱状に形成した拡散板を下方よりモータ固定板に取り付け、前記拡散板には前記モーター直下に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺および前記拡散板の外周部もパンチング状に開放した構造としたものである。
【００３２】
これによれば、ターボファンにより放射線状に吹き出される風速の速い空気はパンチングを通過するものと、パンチングを通過せずに空気拡散用の孔を通過するものとに分配されることにより、均一化された空気が拡散板外部に放出され、フィルターより吹き出す風速の分布を均一化できる。
【００３３】
また、ベアリングを固定するためのモーターハウジング下およびモーターハウジング上と筒状のモーターハウジング中を有し、モーターハウジング下とモーターハウジング中の接合部の内部およびモーターハウジング上とモーターハウジング中の接合部の内部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有する駆動用のモーターを備えた構成としたものである。
【００３４】
これによれば、駆動用モーターより発生する様々なガス成分の、駆動用のモーター外部への流出を防止できる。
【００３５】
また、ターボファンの吸込口径よりやや小なる径の吸込口を有し、その吸込口から円周方向にターボファン側が開放された半円弧状の膨らみを有するオリフィスに、吸込空気量の調節を目的としたドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリングを半円弧状の膨らみの最上部に接合したオリフィスアッセンブリーを備えた構成としたものである。
【００３６】
これによれば、吸込空気量に応じて、オリフィスの吸込口の直径を変更することなく、オリフィスリングの吸込口の直径を調整することにより、安価にターボファンの効率を向上させ省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制もできる。
【００３７】
また、全面に空気流通用のパンチング孔を有し、下方が開放された箱状に形成され、その箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製されたプレフィルターを備え、またその箱状外周部の鉛直面の下端がプレフィルターを介してチャンバー天面と接するように取り付けることのできるファンガードを備えたものである。
【００３８】
これによれば、プレフィルターのみをファンガードに容易に覆い被せることができるため、安価に上流空気の大きな塵を捕集でき、フィルターの目詰まりを抑制することができる。
【００３９】
また、Ｌ字型に形成され、その２平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂにより、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナットで固定され、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる固定金具アッセンブリーをチャンバー天面のコーナー部に４箇所設置する構成としたものである。
【００４０】
これによれば、固定金具アッセンブリーのボルトナットを外し、固定金具Ａの取付方向を変えることにより、丸長孔の位置を任意に変更することができ、丸長孔を用いることにより、本体を設置する時に様々な固定ピッチおよび固定高さに対応することができる。
【００４１】
また、内部の電子部品の放熱を効果的に行えるように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成された電装ボックスを有し、この電装ボックスと内部の電子部品を密着させて、熱伝導にて電装ボックスから外部へ熱を放出できる構造としたものである。
【００４２】
これによれば、電子部品による発熱を電装ボックスの全面で放熱することができるため、電子部品の温度上昇を抑えることができ、電子部品の寿命を引き伸ばすことができる。
【００４３】
また、弾性体から成り、貫通するリード線の本数と同一本数で、またリード線の外径と同一径の孔をあけ、電装ボックス電源リード線貫通用のＵの字型開放部分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸法に形成されたシール部材が、連続する山型突起に密着し、制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させないような構造とした制御装置を備えた構成としたものである。
【００４４】
これによれば、制御装置の内部電子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させない構造としたので、有害なガスの発生を防止でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できる。
【００４５】
また、制御装置内部に、モーターの劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、モーター保護のためにモーターへの通電を停止する電流設定値を有し、また、モーターへの通電を停止する電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、前記モーターへの通電を停止せずに異常であることを警告する機能を有する電流検出回路を備えた構成としたものである。
【００４６】
これによれば、モーターが異常な状態になり、停止する前に警告する機能を有しているので、モーターが停止し送風されなくなる前に処置ができるので、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限に食い止めることができる。
【００４７】
また、外部に接続する外部可変抵抗の抵抗値を変化させることによりモーターの回転数を調整し、設定する機能を有し、その一方で、外部可変抵抗の一方の接続線を遮断することにより、前記回転数の設定を記憶する機能を有する制御装置を備えた構成としたものである。
【００４８】
これによれば、記憶されたモーターの回転数は、外部可変抵抗を操作しても変化しないため、誤って操作した場合でも常に設定されたモーターの回転数で運転することができる。
【００４９】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、外部可変抵抗を接続する端子に短絡接続線を接続することにより、制御装置内部に備えられた内部可変抵抗を使用することが可能となる機能を有し、前記内部可変抵抗を使用し抵抗値を変化させることによってモーターの回転数を調整し、設定できる機能を有する制御装置を備えた構成としたものである。
【００５０】
これによれば、内部可変抵抗を使用することにより、内部可変抵抗の抵抗値を変化させることによって、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し設定できる。
【００５１】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、制御装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外部から所定の可変直流電源電圧を印加することにより、モーターの回転数を調整し、設定できる機能を有する制御装置を備えた構成としたものである。
【００５２】
これによれば、所定の可変直流電源電圧を印加することにより、モーターの回転数を調整し、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し、設定できる。
【００５３】
【発明の実施の形態】
空気を清浄化するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するケーシングの機能を有するチャンバーと、前記チャンバーの吸込側に空気を誘導するオリフィスと、前記チャンバーの内部に送風用の吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボファンと、前記高静圧型のターボファンの駆動用のモーターと、前記オリフィスの上流側に前記高静圧型のターボファンに人の手や障害物の侵入を防止するファンガードと、前記チャンバーの天面内部に前記モーターを保持するモーター固定板を備えたものであり、吸込空気はファンガードを通過し、オリフィスにより前記高静圧型のターボファンの吸込口に誘導されインデューサ部により整流および昇圧されるので、高機外静圧対応が可能となるという作用を有する。
【００５４】
また、駆動用のモーターに低電圧型直流モーターを用いたものであり、モーター固定板の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧型直流モーターを備えることにより、風量制御をより一層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保を容易に行うことができるという作用を有する。
【００５５】
また、低電圧型直流モーターの駆動用として、チャンバーに隣接するように制御装置を備えた構成としたものであり、制御装置はチャンバーの天面外部に固定されているので、風路として確保されていたスペースを有効に活用することができ、また天面外部に露出しているため、メンテナンスも容易に行うことができるという作用を有する。
【００５６】
また、モーターおよびターボファンの交換が吸込側および吹出側両方向から行える構造としたものであり、固定ねじを上方より外し、オリフィスを取り外すことにより、チャンバー内部のターボファンおよび駆動用のモーターを上方より容易に取り外すことができる。また、下方より固定ねじを取り外すことにより、モーター固定板一体となっている駆動用のモーターとターボファンを下方より容易に取り外すことができるという作用を有する。
【００５７】
また、チャンバー内部にモーターおよびターボファンを設置したモーター固定板を囲むように箱状に形成した拡散板を取り付け、前記拡散板には前記モーター直下に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔および前記拡散板の外周部もパンチング状に開放した構造としたものであり、ターボファンにより放射線状に吹き出される風速の速い空気はパンチングを通過するものと、パンチングを通過せずに空気拡散用の孔を通過するものとに分配されることにより、均一化された空気が拡散板外部に放出され、フィルターより吹き出す風速の分布を均一化できるという作用を有する。
【００５８】
また、ベアリングを固定するためのモーターハウジング下およびモーターハウジング上と筒状のモーターハウジング中を有し、前記モーターハウジング下とモーターハウジング中の接合部の内部および前記モーターハウジング上と前記モーターハウジング中の接合部の内部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有する駆動用のモーターを備えた構成としたものであり、駆動用のモーターより発生する様々なガス成分の駆動用のモーター外部への流出を防止できるという作用を有する。
【００５９】
また、ターボファンの吸込口径よりやや小なる径の吸込口を有し、この吸込口から円周方向にターボファン側が開放された半円弧状の膨らみを有するオリフィスに、吸込空気量の調節を目的としたドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリングを半円弧状の膨らみの最上部に接合したオリフィスアッセンブリーを備えたものであり、吸込空気量に応じて、オリフィスの吸込口の直径を変更することなく、オリフィスリングの吸込口の直径を調整することにより、安価にターボファンの効率を向上させ省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制もできるという作用を有する。
【００６０】
また、全面に空気流通用のパンチング孔を有し、下方が開放された箱状に形成され、その箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製されたプレフィルターを備え、またこの箱状外周部の鉛直面の下端が前記プレフィルターを介してチャンバー天面と接するように取り付けることのできるファンガードを備えたものであり、プレフィルターのみをファンガードに容易に覆い被せることができるため、安価に上流空気の大きな塵を捕集でき、フィルターの目詰まりを抑制することができるという作用を有する。
【００６１】
また、Ｌ字型に形成され、その２平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂにより、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナットで固定され、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる固定金具アッセンブリーをチャンバー天面のコーナー部に４箇所設置した構成としたものであり、固定金具アッセンブリーのボルトナットを外し、固定金具Ａの取付方向を変えることにより、丸長孔の位置を任意に変更することができ、丸長孔を用いることにより、本体を設置する時に様々な固定ピッチおよび固定高さに対応することができるという作用を有する。
【００６２】
また、内部の電子部品の放熱を効果的に行えるように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成した電装ボックスを有し、この電装ボックスと内部の電子部品を密着させて、熱伝導にて前記電装ボックスから外部へ熱を放出できる構造としたものであり、電子部品による発熱を電装ボックスの全面で放熱することができるため、電子部品の温度上昇を抑えることができ、電子部品の寿命を引き伸ばすことができるという作用を有する。
【００６３】
また、弾性体から成り、貫通するリード線の本数と同一本数で、前記リード線の外径と同一径の孔をあけ、電装ボックスの電源リード線貫通用のＵの字型開放部分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸法に形成したシール部材が、前記連続する山型突起に密着し、制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させないような構造とした制御装置を備えた構成としたものであり、制御装置の内部電子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させない構造となり、有害なガスの発生を防止でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できるという作用を有する。
【００６４】
また、制御装置内部に、モーターの劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、モーター保護のためにモーターへの通電を停止する電流設定値を有し、また、前記モーターへの通電を停止する電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、前記モーターへの通電を停止せずに異常であることを警告する機能を有する電流検出回路を有する制御装置を備えた構成としたものであり、モーターが異常な状態になり、停止する前に警告する機能を有しているので、モーターが停止し送風されなくなる前に処置ができるので、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限に食い止めることができるという作用を有する。
【００６５】
また、外部に接続する外部可変抵抗の抵抗値を変化させることによりモーターの回転数を調整し、設定する機能を有し、その一方で、外部可変抵抗の一方の接続線を遮断することにより、前記回転数の設定を記憶する機能を有する制御装置を備えた構成としたものであり、記憶されたモーターの回転数は、外部可変抵抗を操作しても変化しないため、誤って操作した場合でも常に設定されたモーターの回転数で運転できるという作用を有する。
【００６６】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、外部可変抵抗を接続する端子に短絡接続線を接続することにより、制御装置内部に備えられた内部可変抵抗を使用することが可能となる機能を有し、前記内部可変抵抗を使用し抵抗値を変化させることによってモーターの回転数を調整し、設定することができ、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し、設定できる機能を有する制御装置を備えた構成としたものであり、内部可変抵抗を使用することにより、内部可変抵抗の抵抗値を変化させることによってモーターの回転数を調整し、設定することができ、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し、設定できるという作用を有する。
【００６７】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、制御装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外部から所定の可変直流電源電圧を印加することにより、モーターの回転数を調整し、設定することができる機能を有する制御装置を備えた構成としたものであり、所定の可変直流電源電圧を印加することにより、モーターの回転数を調整し、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し、設定できるという作用を有する。
【００６８】
以下、本発明の実施例について添付図面を参照しながら説明する。
【００６９】
（参考例１）
図１に示すように、空気を清浄化するフィルター１の上流側に、フィルター１に空気を供給するケーシングの機能を有するチャンバー２を備え、このチャンバー２とフィルター１とは固定ねじ３で構成している。また、チャンバー２の天面内部に固定ねじ４により連結されるモーター固定板５を備え、モーター固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた駆動用のモーター６と、この駆動用のモーター６の回転軸に連結できる構造を持ち、送風用の吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたインデューサ部７を有する高静圧型のターボファン８を備えている。また、チャンバー２の天面外部には、高静圧型のターボファン８の外径よりやや大なる丸孔２ａを備えており、丸孔２ａの円周部に接し、かつ高静圧型のターボファン８の吸込口よりやや小なる径の吸込口をもつオリフィス９を備えている。さらに、オリフィス９の吸込口から高静圧型のターボファン８に人の手や障害物の侵入を防止するファンガード１０を備えている。
【００７０】
上記構成により、吸込空気１１はファンガード１０を通過し、オリフィス９により高静圧型のターボファン８の吸込口に誘導され、インデューサ部７により整流および昇圧されるので、高機外静圧対応が可能となる。
【００７１】
（参考例２）
図２に示すように、モーター固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧型直流モーター１２を備えている。
【００７２】
上記構成により、モーター固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧型直流モーター１２を備えることにより、風量制御をより一層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保を容易に行うことができる。
【００７３】
（参考例３）
図２および図３に示すように、チャンバー２の天面外部かつオリフィス９の吸込口からターボファン８に人の手や障害物の侵入を防止するファンガード１０の外周部の任意な位置に箱形状に形成した低電圧型直流モーター１２の駆動用の制御装置１３を備え、この制御装置１３は固定ねじ１４により、チャンバー２に固定している。
【００７４】
上記構成により、制御装置１３はチャンバー２の天面外部に固定されているので、風路として確保されていたスペースを有効に活用することができ、また天面外部に露出しているため、メンテナンスも容易に行うことができる。
【００７５】
（実施例１）
図４に示すように、チャンバー２の天面外部には、ターボファン８の外径よりやや大なる丸孔２ａを備えており、チャンバー２の天面外部に丸孔２ａに対応する外径のオリフィス９が上方より固定ねじ１５により取り付けられる。また、上部開放で略コの字状に形成されたモーター固定板５が下方より固定ねじ４によりチャンバー２の天面内部に取り付けられ、モーター固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに駆動用のモーター６が固定ねじ１６より取り付けられ、駆動用のモーター６の回転軸にターボファン８が固定ナット１７により取り付けられている。
【００７６】
上記構成により、固定ねじ１５を上方より外し、オリフィス９を取り外すことにより、チャンバー２内部のターボファン８および駆動用のモーター６を上方より容易に取り外すことができる。また、下方より固定ねじ４を取り外すことにより、モーター固定板５と一体となっている駆動用のモーター６とターボファン８を下方より容易に取り外すことができる。
【００７７】
（実施例２）
図５に示すように、チャンバー２内部に駆動用のモーター６およびターボファン８を設置したモーター固定板５を囲むように下方より固定ねじ１８により、箱状に形成した拡散板１９を取り付けている。そして、拡散板１９には、駆動用のモーター６直下に位置する中央に駆動用のモーター６底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔１９ａを有し、また、この孔１９ａ周辺をパンチング１９ｂ状に開放し、さらに箱状の拡散板１９の外周部もパンチング１９ｂ状に開放した構造となっている。
【００７８】
上記構成により、ターボファン８により放射線状に吹き出される風速の速い空気はパンチング１９ｂを通過するものと、パンチング１９ｂを通過せずに空気拡散用の孔１９ａを通過するものとに分配されることにより、均一化された空気が拡散板１９外部に放出され、フィルターより吹き出す風速の分布を均一化できる。
【００７９】
（参考例４）
図６に示すように、ベアリング６ａを固定するためのモーターハウジング下６ｂおよびモーターハウジング上６ｃと筒状のモーターハウジング中６ｄを有し、モーターハウジング下６ｂとモーターハウジング中６ｄの接合部の内部に適正な空間距離ｘを有しており、空間距離ｘより大なる断面直径をもちリング状に形成されたシール材２０を備えている。
【００８０】
なお、モーターハウジング上６ｃとモーターハウジング中６ｄの接合部の内部も同一の構造を備えている。
【００８１】
上記構成により、リング状のシール材により密閉性を確保できるので、駆動用のモーター６より発生する様々なガス成分の駆動用のモーター６外部への流出を防止できる。
【００８２】
（参考例５）
図１および図７に示すように、ターボファン８の吸込口径よりやや小なる径ｙの吸込口９ａを有し、吸込口９ａからその円周方向にターボファン８側が開放された半円弧状の膨らみ９ｂを有するオリフィス９の半円弧状の膨らみ９ｂの最上部に、吸込口９ａの直径ｙより小なる直径ｚの吸込口２１ａを有するドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリング２１を接合したオリフィスアッセンブリー２２をチャンバー２の天面外部に備えている。
【００８３】
上記構成により、吸込空気量に応じて、オリフィス９の吸込口９ａの直径ｙを変更することなく、オリフィスリング２１の吸込口２１ａの直径ｚを調整することにより、安価にターボファン８の効率を向上させ省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制もできる。
【００８４】
（参考例６）
図１および 図８に示すように、全面に空気流通用のパンチング孔１０ａを有し、下方が開放された箱状に成形され、その箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製したプレフィルター２３を備え、また、その箱状外周部の鉛直面の下端１０ｂがプレフィルター２３の厚さよりやや小なるチャンバー２との区間距離ｗを有するように取り付けたファンガード１０を備えている。
【００８５】
上記構成により、プレフィルター２３のみをファンガード１０に容易に覆い被せることができるため、安価に上流空気の大きな塵を捕集でき、フィルター１の目詰まりを抑制することができる。
【００８６】
（参考例７）
図９に示すように、Ｌ字型に形成され、一方の面に丸長孔２４ａおよび他方の面に丸長孔２４ｂを有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固定金具Ａ２４と、両辺を同一長さとし、その面に丸長孔２５ａを有した固定金具Ｂ２５により、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナット２６で固定し、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる固定金具アッセンブリー２７の固定金具Ｂ２５側をチャンバー２天面のコーナー部にボルト５０にて４箇所取り付けている。
【００８７】
上記構成により、固定金具アッセンブリー２７のボルトナット２６を外し、固定金具Ａ２４の取付方向を変えることにより、丸長孔２４ｂの位置を任意に変更することができ、丸長孔２４ｂを用いることにより、本体を設置する時に様々な固定ピッチおよび固定高さに対応することができる。
【００８８】
（参考例８）
図１０に示すように、チャンバー２の天面外部に設置された制御装置１３の内部の電子部品２８の放熱を効果的に行えるように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成された電装ボックス２９を有し、この電装ボックス２９の内部鉛直面２９ａと電子部品２８を固定ねじ３０にて確実に密着させて、熱伝導にて外部へ熱を放出できる構造としている。
【００８９】
上記構成により、電子部品２８による発熱を電装ボックス２９の全面で放熱することができるため、電子部品２８の温度上昇を抑えることができ、電子部品２８の寿命を引き伸ばすことができる。
【００９０】
（参考例９）
図１１に示すように、弾性体（例えばゴム製）で、貫通するリード線３１の本数と同一本数で、またリード線３１の外径と同一径の孔３２ａをあけ、電装ボックス２９の電源リード線貫通用のＵの字型開放部分２９ｂの内面に連続する山型突起２９ｃに食い込むような外形寸法に形成されたシール部材３２が、連続する山型突起２９ｃに密着し、制御装置１３の内部電子部品２８から放出されるガス成分を制御装置１３外部へ流出させないような構造としている。
【００９１】
上記構成により、制御装置１３の内部電子部品２８から放出されるガス成分を制御装置１３外部へ流出させない構造としたので、有害なガスの発生を防止でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できる。
【００９２】
（参考例１０）
図１２に示すように、駆動用の制御装置１３内部に、モーター６の劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、モーター６の保護のために電源をオフする電流設定値を有し、また、電源をオフする電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、電源をオフせずに異常であることを警告する機能を有する電流検出回路３３を備えている。
【００９３】
上記構成により、モーター６が異常な状態になり、停止する前に警告する機能を有しており、モーター６が停止し送風されなくなる前に処置ができるので、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限に食い止めることができる。
【００９４】
（参考例１１）
図１３に示すように、外部可変抵抗３４の抵抗値を変化させることにより、Ｆｉｎ端子とＧＮＤ端子間の電圧を変化させることとなり、その電圧を制御装置１３Ａで判断し、モーター６の回転数を調整し、設定する機能を有している。その一方で、外部可変抵抗３４のＶＲＳＶ端子への接続線３５にスイッチ３６を設け、スイッチ３６を遮断することにより、ＶＲＳＶ端子とＧＮＤ端子間の電圧変化を制御装置１３Ａで読み取り、モーター６の回転数の設定を記憶することとなる。
【００９５】
上記構成により、記憶されたモーター６の回転数は、外部可変抵抗３４を操作しても変化しないため、誤って操作した場合でも常に設定したモーター６の回転数で運転できる。
【００９６】
（参考例１２）
図１４に示すように、外部可変抵抗３４を接続する代りに、ＶＲＳＶ端子とＧＮＤ端子間に短絡接続線３７を接続することにより、制御装置１３Ｂ内部に備えられた内部可変抵抗３８を使用することが可能となる機能を備えている。
【００９７】
上記構成により、内部可変抵抗３８を使用することにより、内部可変抵抗３８の抵抗値を変化させることによってモーター６の回転数を調整し、設定することができ、外部可変抵抗３４を接続せずともよい。
【００９８】
（参考例１３）
図１５に示すように、外部可変抵抗３４を接続する代りに、制御装置１３ＣのＶＲＳＶ端子とＧＮＤ端子間に固定抵抗３９を接続し、かつ外部からＦｉｎ端子とＧＮＤ端子間に所定の可変直流電源電圧４０を印加することにより、モーター６の回転数を調整し、設定することができる機能を備えている。
【００９９】
上記構成により、所定の可変直流電源電圧４０を印加することにより、外部可変抵抗３４を接続せずとも、モーター６の回転数を調整し設定できる。
【０１００】
【発明の効果】
以上の実施例から明らかなように、本発明によれば吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボファンを用いることにより、本体の高機外静圧対応が可能となり、吸込風路を狭くすることができたり、クリーンルームガス対策のケミカルフィルターを搭載したりできるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０１】
また、駆動用のモーターに低電圧型直流モーターを用いることにより、風量制御をより一層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保を容易に行え、海外規格等への対応も容易となるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０２】
また、低電圧型直流モーターの駆動用として、チャンバーに隣接するように制御装置を備えることにより、風路として確保されていたスペースを有効に活用することができ、また天面外部に露出しているため、メンテナンスも容易に行えるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０３】
また、モーターおよびターボファンの交換が吸込側および吹出側両方向から行える構造とすることにより、設置された本体を取り外すことなく、モーターやターボファンのメンテナンスを容易に行えるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０４】
また、チャンバー内部にモーターおよびターボファンを設置したモーター固定板を囲むように箱状に形成した拡散板を取り付け、拡散板にはモーター直下に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺および拡散板の外周部もパンチング状に開放した構造とすることにより、均一化された空気が拡散板外部に放出され、フィルターより吹き出す風速の分布を均一化できるため、クリーンルームへの送風が層流に近くなり、清浄度の確保が容易に行えるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０５】
また、ベアリングを固定するためのモーターハウジング下およびモーターハウジング上と筒状のモーターハウジング中を有し、モーターハウジング下とモーターハウジング中の接合部の内部およびモーターハウジング上とモーターハウジング中の接合部の内部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有する駆動用のモーターを備えることにより、駆動用のモーターより発生する様々なガス成分の駆動用のモーター外部への流出を防止できるため、クリーンルーム内の汚染を防止できるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０６】
また、ターボファンの吸込口径よりやや小なる径の吸込口を有し、その吸込口から円周方向にターボファン側が開放された半円弧状の膨らみを有するオリフィスに、吸込空気量の調節を目的としたドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリングを半円弧状の膨らみの最上部に接合したオリフィスアッセンブリーを備えることにより、吸込空気量に応じて、オリフィスの吸込口の直径を変更することなく、オリフィスリングの吸込み口の直径を調整することにより、安価にターボファンの効率を向上させ省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制もできるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０７】
また、全面に空気流通用のパンチング孔を有し、下方が開放された箱状に形成され、その箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製したプレフィルターを備え、また、その箱状外周部の鉛直面の下端がプレフィルターを介してチャンバー天面と接するように取り付けることのできるファンガードを備えることにより、プレフィルターのみをファンガードに容易に覆い被せることができるため、上流空気の大きな塵を捕集でき、フィルターの目詰まりを抑制することとなり、安価な方法でフィルターの寿命を引き伸ばすことのできるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０８】
また、Ｌ字型に形成され、その２平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂにより、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナットで固定し、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる固定金具アッセンブリーをチャンバー天面のコーナー部に４箇所設置することにより、本体を設置する時に様々な固定ピッチおよび固定高さに対応することができるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１０９】
また、内部の電子部品の放熱を効果的に行えるように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成した電装ボックスを有し、この電装ボックスと内部の電子部品を密着させて、熱伝導にて電装ボックスから外部へ熱を放出できる構造とした駆動用の制御装置を備えることにより、電子部品による発熱を電装ボックスの全面で放熱することができるため、電子部品の温度上昇を抑えることができ、電子部品の寿命を引き伸ばすことができ、メンテナンスの回数が削減できるため、コストの削減が図れるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１１０】
また、弾性体から成り、貫通するリード線の本数と同一本数で、またリード線の外径と同一径の孔をあけ、電装ボックス電源リード線貫通用のＵの字型開放部分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸法に形成されたシール部材が、連続する山型突起に密着し、制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させないような構造とした、駆動用の制御装置を備えることにより、有害なガスの発生を防止でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１１１】
また、駆動用の制御装置内部に、モーターの劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、モーター保護のためにモーターへの通電を停止する電流設定値を有し、またモーターへの通電を停止する電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、モーターへの通電を停止せずに異常であることを警告する機能を有する機能をもった電流検出回路を有する、駆動用の制御装置を備えることにより、モーターが異常な状態になり、停止する前に警告する機能を有しており、モーターが停止し送風されなくなる前に処置ができるので、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限に食い止めることができるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１１２】
また、外部に接続する外部可変抵抗の抵抗値を変化させることによりモーターの回転数を調整し、設定する機能を有し、その一方で、外部可変抵抗の一方の接続線を遮断することにより、その回転数の設定を記憶する機能を有する、駆動用の制御装置を備えることにより、記憶されたモーターの回転数は、外部可変抵抗を操作しても変化しないため、誤って操作した場合でも常に設定されたモーターの回転数で運転できるファンフィルターユニットを提供できる。
【０１１３】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、外部可変抵抗を接続する端子に短絡接続線を接続することにより、制御装置内部に備えられた内部可変抵抗を使用することが可能となる機能を有し、内部可変抵抗を使用することにより、内部可変抵抗の抵抗値を変化させることによってモーターの回転数を調整し、設定することができ、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し、設定できる機能を有した、駆動用の制御装置を備えることにより、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し設定できるので、本体設置時の配線作業を不要とするファンフィルターユニットを提供できる。
【０１１４】
また、外部可変抵抗を接続する代りに、制御装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外部から所定の可変直流電源電圧を印加することにより、外部可変抵抗を接続せずともモーターの回転数を調整し、設定できるファンフィルターユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の参考例１、参考例５および参考例６のファンフィルターユニットの全体構成を示す断面図
【図２】 本発明の参考例２および参考例３のファンフィルターユニットの全体構成を示す断面図
【図３】 本発明の参考例３のファンフィルターユニットのファンガードおよび制御装置の外観を示す斜視図
【図４】 本発明の実施例１のファンフィルターユニットのオリフィス、チャンバー、ターボファン、モーター固定板の構成を示す斜視展開図
【図５】 本発明の実施例２のファンフィルターユニットのモーター固定板に拡散板取り付け構成を示す斜視展開図
【図６】 本発明の参考例４のファンフィルターユニットのモーターの構成を示す断面図
【図７】 本発明の参考例５のファンフィルターユニットのオリフィスリングの構成を示す断面図
【図８】 本発明の参考例６のファンフィルターユニットのプレフィルターの構成を示す断面図
【図９】 本発明の参考例７のファンフィルターユニットの固定金具アッセンブリーの構成を示す斜視図
【図１０】 本発明の参考例８のファンフィルターユニットの電装ボックスの構成を示す斜視図
【図１１】 本発明の参考例９のファンフィルターユニットのシール部材の構成を示す斜視図
【図１２】 本発明の参考例１０のファンフィルターユニットの制御装置を示すブロック図
【図１３】 本発明の参考例１１のファンフィルターユニットの制御装置を示すブロック図
【図１４】 本発明の参考例１２のファンフィルターユニットの制御装置を示すブロック図
【図１５】 本発明の参考例１３のファンフィルターユニットの制御装置を示すブロック図
【図１６】 従来のファンフィルターユニットの全体構成を示す断面図
【符号の説明】
１ フィルター
２ チャンバー
５ モーター固定板
６ モーター
６ａ ベアリング
６ｂ モーターハウジング下
６ｃ モーターハウジング上
６ｄ モーターハウジング中
７ インデューサー部
８ ターボファン
９ オリフィス
９ａ 吸込口
９ｂ 半円弧状の膨らみ
１０ ファンガード
１０ａ パンチング孔
１０ｂ 下端
１２ 低電圧型直流モーター
１３ 制御装置
１３Ａ 制御装置
１３Ｂ 制御装置
１３Ｃ 制御装置
１９ 拡散板
１９ａ 空気拡散用の孔
１９ｂ パンチング
２０ シール材
２１ オリフィスリング
２２ オリフィスアッセンブリー
２３ プレフィルター
２４ 固定金具Ａ
２４ａ 丸長孔
２４ｂ 丸長孔
２５ 固定金具Ｂ
２５ａ 丸長孔
２６ ボルトナット
２７ 固定金具アッセンブリー
２８ 電子部品
２９ 電装ボックス
２９ｂ Ｕの字型開放部分
２９ｃ 山型突起
３１ リード線
３２ シール部材
３２ａ 孔
３３ 電流検出回路
３４ 外部可変抵抗
３５ 接続線
３７ 短絡接続線
３８ 内部可変抵抗
３９ 固定抵抗
４０ 可変直流電源電圧[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.
[0002]
[Prior art]
In recent years, this type of fan filter unit is required to cope with high external static pressure, to easily control the air flow, and to suppress generation of harmful gases in a clean room.
[0003]
Conventionally, this type of fan filter unit generally has a structure as shown in FIG. Hereinafter, this configuration will be described with reference to FIG.
[0004]
A conventional fan filter unit includes a filter 101 for cleaning air, a
[0005]
The air sent by the
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In such a conventional fan filter unit, the air sucked from the orifice is diffused into the chamber, and the static pressure outside the machine cannot be taken, so the suction air passage is narrowed and a clean room gas countermeasure chemical filter is installed. When it did, there existed a subject that the amount of blowing air fell and it was inadequate to ensure the cleanliness of a clean room.
[0007]
As measures to improve these, the outer diameter of the turbofan was increased, the fan height was increased, or a sirocco fan was used, but the main body outline became larger, the main body height increased, etc. In terms of cost, it was not necessarily advantageous.
[0008]
The present inventionSuckA fan filter that can support high external static pressure of the main body by using a high static pressure type turbo fan that has an inducer portion that is formed with a three-dimensional curved surface with the end on the insertion side gently inclined in the rotational direction. Offer unitThe
[0009]
Also,By using a low-voltage DC motor as the drive motor, air volume control can be performed more easily, as well as downsizing and ensuring electrical safety more easily.The
[0010]
Also,For driving a low-voltage DC motor, a control device is provided adjacent to the chamber to make effective use of the air passage space and facilitate maintenance.The
[0011]
Also,The structure that allows the motor and turbo fan to be replaced from both the suction side and the blow-out side makes maintenance of the motor and turbo fan easier.The
[0012]
Also,A diffusion plate formed in a box shape is attached so as to surround a motor fixing plate in which a motor and a turbofan are installed inside the chamber, and air having a diameter slightly larger than the diameter of the bottom of the motor at the center located immediately below the motor is attached to the diffusion plate. It has a hole for diffusion, and the perimeter and outer periphery of this hole are also opened in a punching shape, so that the distribution of the wind speed blown from the filter is made uniform.The
[0013]
Also,Under the motor housing for fixing the bearing and on the motor housing and in the cylindrical motor housing, inside the joint in the motor housing and in the motor housing, and on the motor housing and in the joint in the motor housing By providing a drive motor with a ring-shaped seal material that ensures hermeticity, various gas components generated from the motor are prevented from flowing out of the motor.The
[0014]
Also,The purpose is to adjust the amount of intake air to the orifice having a semicircular arc-shaped bulge that has a suction port slightly smaller than the diameter of the suction port of the turbofan and the turbofan side is opened in the circumferential direction from the suction port. By providing an orifice assembly in which an orifice ring formed in a donut-like flat plate shape is joined to the top of a semicircular arc-shaped bulge, the efficiency of the turbofan can be improved at low cost and energy can be saved. Be able toThe
[0015]
Also,Prefill which has punching holes for air circulation on the entire surface, is formed in a box shape with the open bottom, wraps the box shape and is sewn with a non-woven fabric to cover it
And a fan guard that can be attached so that the lower end of the vertical surface of the box-shaped outer periphery is in contact with the top surface of the chamber via the pre-filter, so that only the pre-filter is easily covered with the fan guard. By collecting large dust from upstream air, filter clogging can be suppressed at low cost.The
[0016]
Also,A U-shape is formed by a fixing bracket A which is formed in an L shape, has round elongated holes in two planes, and one side is longer than the other side, and a fixing bracket B having both sides of the same length. It is fixed by bolts and nuts in the shape of “S” or “S” or inverted “T”, and the main body is installed at four corners on the top surface of the chamber by installing fixing bracket assemblies that can support various fixing pitches when installing the main body. Make it easier to installThe
[0017]
Also,In order to effectively dissipate heat from the internal electronic components, it has a box shape with an open top and an electrical box made of aluminum that has a high heat dissipation effect. By controlling the temperature of the electronic component and extending the life of the electronic component by providing a control device that can release heat from the electrical box to the outside by heat conductionThe
[0018]
Also,Drill holes with the same number of lead wires as the lead wires and the same outer diameter as the lead wires, and bite into the continuous chevron on the inner surface of the U-shaped open part for penetrating the electrical box power supply lead wires. By providing a control device having a structure in which the sealing member formed in the outer dimensions is in close contact with the continuous mountain-shaped protrusion and does not flow out the gas component emitted from the electronic component inside the control device to the outside of the control device, Prevent generation of harmful gas and prevent contamination of gas in the clean room.The
[0019]
Also,In the control device, when the current value during normal operation is exceeded due to deterioration of the motor, there is a current setting value that stops energization of the motor to protect the motor, and current setting that stops energization of the motor If the set value is slightly lower than the set value, the motor will stop by providing a control device with a current detection circuit that has a function to warn of an abnormality without stopping energization of the motor. By taking measures before air is blown away, the adverse effects such as a decrease in cleanliness to the clean room are minimized.The
[0020]
Also,The motor has a function of adjusting and setting the rotational speed of the motor by changing the resistance value of the external variable resistor connected to the outside. On the other hand, by cutting off one connection line of the external variable resistor, the motor By providing a control device that has a function to store the setting of the number of rotations, it is possible to always operate at the set number of rotations of the motor even if it is operated by mistake.The
[0021]
Also,Instead of connecting an external variable resistor, the internal variable resistor is used so that the motor speed can be adjusted and set.The
[0022]
Also,Instead of connecting an external variable resistor, a fixed resistor is connected to the internal terminal of the control device, and a predetermined variable DC power supply voltage is applied from the outside so that the motor speed can be adjusted and set. YouThe
[0023]
[Means for Solving the Problems]
Fan filter unit of the present inventionIsA filter that cleans the air, a chamber adjacent to the filter that functions as a casing for supplying air, an orifice that guides air to the suction side of the chamber, and a suction side end for blowing air inside the chamber A high static pressure turbofan that has an inducer section that is gently inclined in the rotational direction and has a three-dimensional curved surface, a motor for driving the high static pressure turbofan, and a turbofan upstream of the orifice A fan guard that prevents intrusion of human hands and obstacles and a motor fixing plate that holds the motor inside the top surface of the chamber are provided.
[0024]
thisAccording to the above, since the intake air passes through the fan guard and is guided to the suction port of the high static pressure type turbo fan by the orifice and is rectified and boosted by the inducer portion, it is possible to cope with high external static pressure.
[0025]
Also,The driving motor is configured to use a low voltage DC motor.
[0026]
thisTherefore, by providing a low-voltage DC motor with a rotating shaft vertically upward at the center of the motor fixing plate, air volume control can be performed more easily, as well as miniaturization and electrical safety. Securement can be performed easily.
[0027]
Also,For driving a low voltage DC motor, a control device is provided adjacent to the chamber.
[0028]
thisAccording to the above, since the control device is fixed outside the top surface of the chamber, the space secured as the air passage can be used effectively, and since it is exposed outside the top surface, maintenance is easy. Can be done.
[0029]
In addition, a filter for purifying air, a chamber adjacent to the filter and having a function of supplying air, an orifice for guiding air to the suction side of the chamber, a turbo fan inside the chamber and the turbo A motor for driving the fan, and a motor fixing plate that is formed in a substantially U shape inside the top surface of the chamber and is open at the top, and that holds the motor in the open portion, on the top surface of the chamber A round hole slightly larger than the outer diameter of the turbofan is provided, the orifice is attached from above the chamber with a fixing screw, and the motor fixing plate is attached to the inside of the top surface from below the chamber with a fixing screw. The turbo fan is attached to the rotating shaft of the drive motor by a fixing nut,The motor and the turbo fan can be replaced from both the suction side and the outlet side.
[0030]
thisAccording to the above, the turbo fan and the driving motor inside the chamber can be easily removed from above by removing the fixing screw from above and removing the orifice. Further, by removing the fixing screw from below, the driving motor and the turbofan integrated with the motor fixing plate can be easily removed from below.
[0031]
Also,A diffusion plate formed in a box shape surrounding the motor fixing plate with a motor and turbo fan installed inside the chamberFrom below to the motor fixing plateThe diffusion plate has an air diffusion hole with a diameter slightly larger than the diameter of the motor bottom at the center located directly below the motor, and the periphery of this hole and the outer periphery of the diffusion plate are also opened in a punching shape. It is what made the structure.
[0032]
thisAccording to the above, high-speed air blown radially by the turbofan is distributed to those that pass through punching and those that pass through holes for air diffusion without passing through punching. The discharged air is discharged to the outside of the diffusion plate, and the distribution of the wind speed blown out from the filter can be made uniform.
[0033]
Also,Under the motor housing for fixing the bearing and on the motor housing and in the cylindrical motor housing, inside the joint in the motor housing and in the motor housing, and on the motor housing and in the joint in the motor housing In this configuration, a driving motor having a ring-shaped sealing material that ensures hermeticity is provided.
[0034]
thisAccording to this, it is possible to prevent various gas components generated from the drive motor from flowing out of the drive motor.
[0035]
Also,The purpose is to adjust the amount of intake air to an orifice having a semicircular arc-shaped bulge that has a suction port slightly smaller than the suction port diameter of the turbofan and that opens from the suction port in the circumferential direction. An orifice assembly in which an orifice ring formed in a donut-like flat plate shape is joined to the uppermost part of a semicircular arc-shaped bulge is provided.
[0036]
thisAccording to the above, by adjusting the diameter of the suction port of the orifice ring without changing the diameter of the suction port of the orifice according to the amount of suction air, the efficiency of the turbo fan can be improved at low cost and energy saving can be achieved. Noise generated can also be suppressed.
[0037]
Also,It has a punching hole for air circulation on the entire surface, is formed in a box shape with the lower part open, and includes a prefilter that wraps and covers the box shape and is sewn with a non-woven fabric so as to cover it. A fan guard that can be attached so that the lower end of the surface is in contact with the top surface of the chamber through a prefilter is provided.
[0038]
thisAccordingly, since only the prefilter can be easily covered with the fan guard, large dust of upstream air can be collected at a low cost, and clogging of the filter can be suppressed.
[0039]
Also,A U-shape is formed by a fixing bracket A which is formed in an L shape, has round elongated holes in two planes, and one side is longer than the other side, and a fixing bracket B having both sides of the same length. It is configured to be installed in four corners on the top surface of the chamber, which is fixed to bolts and nuts in the shape of "S" or "S" or bolts and nuts, and can be used for various fixing pitches when installing the main body. is there.
[0040]
thisAccording to the above, by removing the bolts and nuts of the fixing bracket assembly and changing the mounting direction of the fixing bracket A, the position of the round elongated hole can be arbitrarily changed, and the main body is installed by using the round elongated hole. Sometimes, various fixed pitches and fixed heights can be accommodated.
[0041]
Also,In order to effectively dissipate heat from the internal electronic components, it has a box shape with an open top and an electrical box made of aluminum that has a high heat dissipation effect. In this way, the heat can be released from the electrical box to the outside by heat conduction.
[0042]
thisSince the heat generated by the electronic component can be dissipated over the entire surface of the electrical box, the temperature rise of the electronic component can be suppressed and the life of the electronic component can be extended.
[0043]
Also,Consisting of an elastic body, the same number as the number of lead wires penetrating, and a hole having the same diameter as the outer diameter of the lead wire, and a continuous chevron of the inner surface of the U-shaped open part for penetrating the electrical box power supply lead wire A control device having a structure in which a sealing member formed to have an outer dimension that bites into the protrusion is in close contact with a continuous mountain-shaped protrusion and does not allow gas components emitted from electronic components inside the control device to flow out of the control device. It is set as the structure provided with.
[0044]
thisAccording to the present invention, since the gas component released from the internal electronic component of the control device is structured not to flow out of the control device, generation of harmful gas can be prevented and contamination of the gas in the clean room can be prevented.
[0045]
Also,The controller has a current setting value that stops energization of the motor to protect the motor when the current exceeds the value during normal operation due to motor deterioration, and the current that stops energization of the motor When a set value slightly lower than the set value is exceeded, a current detection circuit having a function of warning that there is an abnormality without stopping energization of the motor is provided.
[0046]
thisAccording to the above, since the motor is in an abnormal state and has a function to warn before it stops, it can take measures before the motor stops and no air is blown, so there is an adverse effect such as a decrease in cleanliness to the clean room. Can be kept to a minimum.
[0047]
Also,It has the function of adjusting and setting the rotation speed of the motor by changing the resistance value of the external variable resistor connected to the outside. On the other hand, the rotation can be performed by cutting off one connection line of the external variable resistor. In this configuration, a control device having a function of storing the number setting is provided.
[0048]
thisAccording to the above, since the stored number of rotations of the motor does not change even when the external variable resistor is operated, even when operated incorrectly, it is possible to operate at the set number of rotations of the motor.
[0049]
Also,Instead of connecting an external variable resistor, by connecting a short-circuit connection line to a terminal connecting an external variable resistor, the internal variable resistor provided inside the control device can be used, A control device having a function capable of adjusting and setting the rotational speed of the motor by changing the resistance value using an internal variable resistor is provided.
[0050]
thisAccording to the above, by using the internal variable resistor, the rotational value of the motor can be adjusted and set without changing the external variable resistor by changing the resistance value of the internal variable resistor.
[0051]
Also,Instead of connecting an external variable resistor, a control device having a function capable of adjusting and setting the rotational speed of the motor by connecting a fixed resistor to the internal terminal of the control device and applying a predetermined variable DC power supply voltage from the outside. It is set as the structure provided with.
[0052]
thisAccording to the above, the rotational speed of the motor can be adjusted by applying a predetermined variable DC power supply voltage, and the rotational speed of the motor can be adjusted and set without connecting an external variable resistor.
[0053]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
SkyA filter for purifying air, a chamber adjacent to the filter and having a function of supplying air, an orifice for guiding air to the suction side of the chamber, and a suction side end for blowing air inside the chamber Are gently inclined in the rotational direction and have a high static pressure turbofan having an inducer portion formed by a three-dimensional curved surface, a motor for driving the high static pressure turbofan, and the upstream side of the orifice A fan guard that prevents the intrusion of human hands and obstacles into a high static pressure turbofan, and a motor fixing plate that holds the motor inside the top surface of the chamber. Passes through the orifice and is guided to the suction port of the high static pressure turbofan by the orifice and is rectified and boosted by the inducer. Has the effect of pressure corresponding is possible.
[0054]
Also,A low-voltage DC motor is used as the drive motor, and the air volume can be controlled more easily by providing a low-voltage DC motor with a rotating shaft vertically upward at the center of the motor fixing plate. Of course, it has the effect that it can be miniaturized and electrical safety can be easily secured.
[0055]
Also,For driving a low-voltage DC motor, a control device is provided so as to be adjacent to the chamber. Since the control device is fixed outside the top surface of the chamber, it is secured as an air passage. Since the space can be used effectively and exposed to the outside of the top surface, the maintenance can be easily performed.
[0056]
Also,The motor and turbo fan can be replaced from both the suction side and the blow side, and the turbo screw and drive motor inside the chamber can be easily removed from above by removing the fixing screw and removing the orifice. Can be removed. Further, by removing the fixing screw from below, the motor for driving and the turbofan integrated with the motor fixing plate can be easily removed from below.
[0057]
Also,A diffusion plate formed in a box shape is attached so as to surround a motor fixing plate in which a motor and a turbo fan are installed inside the chamber, and the diffusion plate has a diameter slightly larger than the diameter of the motor bottom at the center located immediately below the motor. It has a hole for air diffusion, and the hole and the outer peripheral portion of the diffusion plate are also open in a punching shape. Air with a high wind speed blown radially by a turbofan passes through the punching. By distributing the air to those that pass through the holes for air diffusion without passing through punching, the uniformized air is released to the outside of the diffusion plate, and the distribution of the wind speed blown from the filter can be made uniform Has an effect.
[0058]
Also,A motor housing for fixing the bearing, and on the motor housing and in the cylindrical motor housing, inside the joint between the motor housing and the motor housing, and on the motor housing and the joint in the motor housing The drive motor has a ring-shaped seal material to ensure hermeticity inside, and various gas components generated from the drive motor flow out of the drive motor. It has the effect | action that can be prevented.
[0059]
Also,The purpose is to adjust the amount of air sucked into the orifice having a semicircular arc-shaped bulge with a turbofan side opened in the circumferential direction from the suction port having a diameter slightly smaller than the diameter of the turbofan suction port. It is equipped with an orifice assembly in which an orifice ring formed in a donut-like flat plate shape is joined to the top of a semicircular arc-shaped bulge, and without changing the diameter of the suction port of the orifice according to the amount of intake air By adjusting the diameter of the suction port of the orifice ring, it is possible to improve the efficiency of the turbo fan at low cost and to save energy, and to suppress the generated noise.
[0060]
Also,It has a punching hole for air circulation on the entire surface, is formed in a box shape that is open at the bottom, includes a pre-filter that wraps and covers the box shape, and is sewn with a non-woven fabric so as to cover it. It is equipped with a fan guard that can be attached so that the lower end of the surface is in contact with the top surface of the chamber through the pre-filter, and only the pre-filter can be easily covered with the fan guard. Large dust can be collected, and clogging of the filter can be suppressed.
[0061]
Also,A U-shape is formed by a fixing bracket A which is formed in an L shape, has round elongated holes in two planes, and one side is longer than the other side, and a fixing bracket B having both sides of the same length. It is configured with four fixing bracket assemblies installed at the corners of the top surface of the chamber, which are fixed in bolts and nuts in the shape of S or S or inverted T, and can accommodate various fixing pitches when installing the main body. Yes, by removing the bolts and nuts of the fixing bracket assembly and changing the mounting direction of the fixing bracket A, the position of the round slot can be changed arbitrarily. It is possible to cope with a fixed pitch and a fixed height.
[0062]
Also,In order to effectively dissipate heat from the internal electronic components, it has a box shape with an open top and is made of aluminum with a high heat dissipation effect. The heat can be released from the electrical box through heat conduction, and the heat generated by the electronic components can be dissipated over the entire surface of the electrical box, so the temperature rise of the electronic components can be suppressed. , It has the effect of extending the life of the electronic component.
[0063]
Also,Consisting of an elastic body, the same number as the number of lead wires penetrating therethrough, a hole having the same diameter as the outer diameter of the lead wire, and a continuous mountain on the inner surface of the U-shaped open portion for penetrating the power supply lead wire of the electrical box Control that has a structure in which a sealing member formed to have an outer dimension that bites into the mold protrusion is in close contact with the continuous chevron protrusion and does not allow gas components emitted from electronic components inside the control apparatus to flow out of the control apparatus. The system is equipped with a device that prevents gas components emitted from the internal electronic components of the control device from flowing out of the control device, prevents the generation of harmful gases, and prevents contamination of the gas in the clean room. Has the effect of being able to.
[0064]
Also,The controller has a current setting value that stops energization of the motor to protect the motor when the current value during normal operation is exceeded due to deterioration of the motor, and energization of the motor is stopped. When a set value slightly lower than the current set value is exceeded, a control device having a current detection circuit having a function to warn that there is an abnormality without stopping energization of the motor is configured. Since the motor has an abnormal state and has a function to warn before it stops, it can take measures before the motor stops and blown, so it minimizes adverse effects such as reduced cleanliness to the clean room It has the effect of being able to stop to the limit.
[0065]
Also,It has the function of adjusting and setting the rotation speed of the motor by changing the resistance value of the external variable resistor connected to the outside. On the other hand, the rotation can be performed by cutting off one connection line of the external variable resistor. The controller has a function to store the number setting, and the stored motor speed does not change even when the external variable resistor is operated. The motor can be operated at the rotational speed of the motor.
[0066]
Also,Instead of connecting an external variable resistor, by connecting a short-circuit connection line to a terminal connecting an external variable resistor, the internal variable resistor provided inside the control device can be used, Control with the ability to adjust and set the motor speed by changing the resistance value using an internal variable resistor, and adjusting and setting the motor speed without connecting an external variable resistor The system is equipped with a device. By using an internal variable resistor, the motor speed can be adjusted and set by changing the resistance value of the internal variable resistor, and an external variable resistor is connected. Even if not, it has the effect that the number of rotations of the motor can be adjusted and set.
[0067]
Also,Instead of connecting an external variable resistor, connect a fixed resistor to the internal terminal of the controller and apply a predetermined variable DC power supply voltage from outside to adjust and set the motor speed. It is configured to have a control device having, by adjusting the rotation speed of the motor by applying a predetermined variable DC power supply voltage, without adjusting the external variable resistance, It has the effect that it can be set.
[0068]
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
[0069]
(referenceExample 1)
As shown in FIG. 1, a
[0070]
With the above configuration, the intake air 11 passes through the
[0071]
(referenceExample 2)
As shown in FIG. 2, a low-
[0072]
With the above configuration, by providing the low
[0073]
(referenceExample 3)
As shown in FIGS. 2 and 3, the box is placed at an arbitrary position on the outer periphery of the
[0074]
With the above configuration, the
[0075]
(Example1)
As shown in FIG. 4, a round hole 2 a slightly larger than the outer diameter of the
[0076]
With the above configuration, the
[0077]
(Example2)
As shown in FIG. 5, a
[0078]
With the above configuration, the high-speed air blown radially by the
[0079]
(referenceExample4)
As shown in FIG. 6, it has a motor housing lower 6b for fixing the bearing 6a, a motor housing upper 6c, and a cylindrical motor housing middle 6d, inside the joint portion between the motor housing lower 6b and the motor housing middle 6d. The
[0080]
The inside of the joint between the motor housing upper 6c and the
[0081]
With the above configuration, the sealing property can be ensured by the ring-shaped sealing material, so that various gas components generated from the driving
[0082]
(referenceExample5)
As shown in FIGS. 1 and 7, a semicircular arc shape having a
[0083]
With the above configuration, the efficiency of the
[0084]
(referenceExample6)
As shown in FIG. 1 and FIG. 8, a pre-filter 23 having a punching hole 10a for air circulation on the entire surface, formed into a box shape having an open bottom, wrapped in the box shape, and sewn with a non-woven fabric so as to cover it And a
[0085]
With the above configuration, since only the
[0086]
(referenceExample7)
As shown in FIG. 9, it is formed in an L shape, has a round
[0087]
With the above configuration, the position of the
[0088]
(referenceExample8)
As shown in FIG. 10, aluminum having a box shape with an open top and a high heat dissipation effect so as to effectively dissipate heat from the
[0089]
With the configuration described above, the heat generated by the
[0090]
(referenceExample9)
As shown in FIG. 11, an elastic body (for example, made of rubber) is provided with
[0091]
With the above configuration, the gas component emitted from the internal
[0092]
(referenceExample10)
As shown in FIG. 12, the
[0093]
With the above configuration, the
[0094]
(referenceExample11)
As shown in FIG. 13, by changing the resistance value of the external
[0095]
With the above configuration, since the stored number of rotations of the
[0096]
(referenceExample12)
As shown in FIG. 14, instead of connecting the external
[0097]
With the above configuration, by using the internal
[0098]
(referenceExample13)
As shown in FIG. 15, instead of connecting the external
[0099]
With the above configuration, by applying a predetermined variable DC
[0100]
【The invention's effect】
As is clear from the above embodiments, according to the present invention, by using a high static pressure turbofan having an inducer portion formed by a three-dimensional curved surface with the suction side end portion gently inclined in the rotational direction. It is possible to provide a fan filter unit that can support a high external static pressure of the main body, can narrow the suction air passage, and can be equipped with a chemical filter for clean room gas measures.
[0101]
In addition, by using a low-voltage DC motor for the drive motor, air volume control can be performed more easily, as well as downsizing and electrical safety can be easily secured, complying with overseas standards, etc. The fan filter unit can be provided easily.
[0102]
In addition, by using a control device adjacent to the chamber for driving the low-voltage DC motor, the space reserved as the air passage can be used effectively, and it is exposed outside the top surface. Therefore, it is possible to provide a fan filter unit that can be easily maintained.
[0103]
In addition, by adopting a structure in which the motor and the turbo fan can be replaced from both the suction side and the outlet side, it is possible to provide a fan filter unit that can easily maintain the motor and the turbo fan without removing the installed main body.
[0104]
In addition, a diffusion plate formed in a box shape is attached so as to surround the motor fixing plate in which the motor and turbo fan are installed inside the chamber, and the diffusion plate has a diameter slightly larger than the diameter of the bottom of the motor at the center located immediately below the motor. Distribution of air speed that has holes for air diffusion, and the peripheries of the holes and the outer periphery of the diffusion plate are opened in a punching shape so that uniform air is discharged outside the diffusion plate and blown out of the filter. Therefore, it is possible to provide a fan filter unit that makes it easy to ensure cleanliness by blowing air to the clean room close to laminar flow.
[0105]
Also, it has a motor housing under and on the motor housing and a cylindrical motor housing for fixing the bearings, and inside the joints under the motor housing and in the motor housing, and on the joints in the motor housing and in the motor housing. By providing a drive motor with a ring-shaped sealing material that ensures hermeticity inside, it is possible to prevent the outflow of various gas components generated from the drive motor to the outside of the drive motor. It is possible to provide a fan filter unit that can prevent internal contamination.
[0106]
The purpose is to adjust the amount of intake air to the orifice having a semi-arc-shaped bulge that has a suction port slightly smaller than the suction port diameter of the turbo fan and the turbo fan side is opened in the circumferential direction from the suction port. By providing an orifice assembly in which an orifice ring formed in a donut-like flat plate shape is joined to the uppermost part of a semicircular arc-shaped bulge, without changing the diameter of the suction port of the orifice according to the amount of intake air By adjusting the diameter of the suction port of the orifice ring, it is possible to provide a fan filter unit that can improve the efficiency and save energy of the turbofan at a low cost and can also suppress the generated noise.
[0107]
In addition, it has a punching hole for air circulation on the entire surface, is formed in a box shape that is open at the bottom, and includes a prefilter that wraps the box shape and is sewn with a non-woven fabric so as to cover it. By providing a fan guard that can be attached so that the lower end of the vertical surface is in contact with the top surface of the chamber through the prefilter, it is possible to easily cover only the prefilter with the fan guard, so that large dust of upstream air Can be collected, and the clogging of the filter can be suppressed, and a fan filter unit that can extend the life of the filter by an inexpensive method can be provided.
[0108]
In addition, a fixing bracket A which is formed in an L shape, has round elongated holes in two planes, and one side is longer than the other side, and a fixing bracket B having both sides of the same length, By fixing it with bolts and nuts in a letter shape, S shape or inverted T shape, and installing four fixing bracket assemblies at the corner of the top surface of the chamber, which can accommodate various fixing pitches when installing the main body, A fan filter unit that can accommodate various fixed pitches and fixed heights when the main body is installed can be provided.
[0109]
In addition, in order to effectively dissipate the heat of the internal electronic components, it has a box shape with an open top and is made of aluminum with a high heat dissipation effect. By providing a drive control device that has a structure that allows heat to be released from the electrical box to the outside by heat conduction, heat generated by the electronic component can be dissipated over the entire surface of the electrical box. Since the temperature rise can be suppressed, the lifetime of the electronic component can be extended, and the number of maintenance can be reduced, a fan filter unit can be provided that can reduce costs.
[0110]
Also, it is made of an elastic body and has a hole having the same number as the number of lead wires penetrating and the same diameter as the outer diameter of the lead wire, and the inner surface of the U-shaped open part for penetrating the electrical box power supply lead wire is continuous. The seal member formed to have an external dimension that bites into the chevron projection is in close contact with the continuous chevron projection, and the gas component emitted from the electronic components inside the control device is prevented from flowing out of the control device. By providing the drive control device, it is possible to provide a fan filter unit that can prevent generation of harmful gas and prevent gas contamination in the clean room.
[0111]
In addition, the drive controller has a current setting value that stops energization of the motor to protect the motor when the current value during normal operation is exceeded due to deterioration of the motor. If the current setting value is slightly lower than the current setting value to stop the motor, it has a current detection circuit with a function to warn that it is abnormal without stopping energization of the motor. With this control device, the motor is in an abnormal state and has a function to warn before it stops, so that it can take measures before the motor stops and blown, so the cleanliness to the clean room is reduced, etc. It is possible to provide a fan filter unit that can minimize the adverse effects of the above.
[0112]
In addition, it has a function to adjust and set the rotation speed of the motor by changing the resistance value of the external variable resistor connected to the outside, while on the other hand, by cutting off one connection line of the external variable resistor, By providing a drive control device that has a function to store the setting of the rotation speed, the stored motor rotation speed does not change even if the external variable resistor is operated. A fan filter unit that can be operated at a set motor speed can be provided.
[0113]
In addition, instead of connecting an external variable resistor, the internal variable resistor provided in the control device can be used by connecting a short-circuit connection line to the terminal connecting the external variable resistor. By using an internal variable resistor, the motor speed can be adjusted and set by changing the resistance value of the internal variable resistor, and the motor speed can be adjusted without connecting an external variable resistor In addition, by providing a drive control device with a function that can be set, it is possible to adjust and set the motor speed without connecting an external variable resistor, so that the fan does not require wiring work when installing the main unit A filter unit can be provided.
[0114]
Also, instead of connecting an external variable resistor, a fixed resistor is connected to the internal terminal of the control device, and a predetermined variable DC power supply voltage is applied from the outside, so that the motor speed can be reduced without connecting an external variable resistor. A fan filter unit that can be adjusted and set can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 of the
FIG. 2 of the
FIG. 3 of the present inventionreferenceThe perspective view which shows the external appearance of the fan guard and control apparatus of the fan filter unit of Example 3
FIG. 4 shows an embodiment of the present invention.1Perspective view showing the configuration of the orifice, chamber, turbo fan, and motor fixing plate of the fan filter unit
FIG. 5 shows an embodiment of the present invention.2Is an exploded perspective view showing the configuration of the diffusion plate attached to the motor fixing plate of the fan filter unit
FIG. 6 of the present inventionreferenceExample4Sectional view showing the motor configuration of the fan filter unit
[Fig. 7] of the present invention.referenceExample5Sectional view showing the configuration of the orifice ring of the fan filter unit
[Fig. 8] of the present inventionreferenceExample6Sectional view showing the configuration of the pre-filter of the fan filter unit
FIG. 9 shows the present invention.referenceExample7The perspective view which shows the structure of the fixing metal fitting assembly of the fan filter unit
FIG. 10 shows the present invention.referenceExample8The perspective view which shows the structure of the electrical box of the fan filter unit
FIG. 11 shows the present invention.referenceExample9The perspective view which shows the structure of the sealing member of the fan filter unit of
FIG. 12 shows the present invention.referenceExample10Block diagram showing the control device of the fan filter unit
FIG. 13 shows the present invention.referenceExample11Block diagram showing the control device of the fan filter unit
FIG. 14 shows the present invention.referenceExample12Block diagram showing the control device of the fan filter unit
FIG. 15 shows the present invention.referenceExample13Block diagram showing the control device of the fan filter unit
FIG. 16 is a cross-sectional view showing the overall configuration of a conventional fan filter unit
[Explanation of symbols]
1 filter
2 chambers
5 Motor fixing plate
6 Motor
6a Bearing
6b Under motor housing
6c on motor housing
6d in motor housing
7 Inducer club
8 Turbofan
9 Orifice
9a Suction port
9b Semicircular bulge
10 Fan guard
10a punching hole
10b Bottom
12 Low voltage DC motor
13 Control device
13A Controller
13B controller
13C controller
19 Diffuser
19a Air diffusion hole
19b punching
20 Sealing material
21 Orifice ring
22 Orifice assembly
23 Prefilter
24 Fixing bracket A
24a Round long hole
24b round hole
25 Fixing bracket B
25a round long hole
26 Bolt nut
27 Fixture assembly
28 Electronic components
29 Electrical box
29b U-shaped open part
29c chevron
31 Lead wire
32 Seal member
32a hole
33 Current detection circuit
34 External variable resistance
35 connection lines
37 Short-circuit connection line
38 Internal variable resistance
39 Fixed resistance
40 Variable DC power supply voltage
Claims (2)
前記フィルターに隣接し空気を供給するケーシングの機能を有するチャンバーと、
前記チャンバーの吸込側に空気を誘導するオリフィスと、
前記チャンバーの内部にターボファンとそのターボファンの駆動用モーターと、
前記チャンバーの天面内部に、上部開放で略コの字状に形成され、その開放部に前記モーターを保持するモーター固定板とを備え、
前記チャンバーの天面には、前記ターボファンの外径よりやや大なる丸孔を設け、
前記オリフィスは、前記チャンバーの上方より固定ねじにより取り付けられ、
前記モータ固定板は、固定ねじによりチャンバーの下方より天面内部に取り付けられ、
前記駆動用モーターの回転軸にターボファンが固定ナットにより取り付けられたファンフィルターユニット。A filter to clean the air,
A chamber having a function of a casing for supplying air adjacent to the filter;
An orifice for guiding air to the suction side of the chamber;
Data Bofan inside the chamber and the drive motor of the turbofan,
Inside the top surface of the chamber, it is formed in a substantially U shape with the upper part open, and includes a motor fixing plate that holds the motor in the open part ,
The top surface of the chamber is provided with a round hole slightly larger than the outer diameter of the turbofan,
The orifice is attached from above the chamber with a fixing screw,
The motor fixing plate is attached to the top surface from below the chamber by a fixing screw,
A fan filter unit in which a turbo fan is attached to a rotating shaft of the driving motor by a fixing nut .
前記拡散板には前記モーター直下に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺および前記拡散板の外周部もパンチング状に開放した構造とした請求項１記載のファンフィルターユニット。A diffusion plate formed in a box shape surrounding the motor fixing plate with the motor and turbo fan installed inside the chamber is attached to the motor fixing plate from below .
The diffusion plate has an air diffusion hole having a diameter slightly larger than the diameter of the motor bottom at the center located immediately below the motor, and the periphery of the hole and the outer periphery of the diffusion plate are also opened in a punching shape. The fan filter unit according to claim 1.
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