JP4191399B2

JP4191399B2 - Substrate processing equipment management system

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Publication number: JP4191399B2
Application number: JP2001270584A
Authority: JP
Inventors: 哲也濱田; 謙治亀井; 秀和井上; 徹北本
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-09-06
Filing date: 2001-09-06
Publication date: 2008-12-03
Anticipated expiration: 2021-09-06
Also published as: JP2003077822A; CN1773485A; CN1702825A; CN100445985C

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとを結合したネットワークシステムの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板の処理は自動制御がなされており、基板処理装置には、その自動制御を行うための制御プログラムや、設定情報などが記憶されている。すなわち、基板処理装置は、設定情報の内容にしたがって、制御プログラムによって制御されているのである。
【０００４】
この基板処理装置が記憶している設定情報には、基板処理装置に共通して用いられる基本情報と、基板処理装置ごとに固有の情報とが含まれている。
【０００５】
基本情報は、基板処理装置に初期状態において設定される情報であり、非常に多数の設定項目からなる情報である。ユーザあるいはサポート担当者は、基板処理装置に、まず、基本情報の設定を行う。これによって、基板処理装置に基本情報に従った動作をさせる。さらに、ユーザは、個々の基板処理装置に応じて、固有の情報を設定する。つまり、基本情報によって設定される基板処理装置の動作を、固有の情報で補正することにより最適な制御を行うようにしているのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、基板処理装置に設定する必要のある基本情報は、非常に多数の設定項目からなる情報である。そして、これら多数の項目のうち、一部の項目について設定情報が誤っている場合においても、基板処理装置は予定されている動作を行うことができない。
【０００７】
たとえば、複数の基板処理装置が配置された工場内において、複数の担当者が、それぞれ別の基板処理装置に基本情報を設定した場合などには、基板処理装置間で基本情報の設定内容が異なるといった人為的なミスが生じる場合もある。このような場合には、各基板処理装置において同一の処理を実行させた場合でも、同一のプロダクトを生産できないという問題が生じる。
【０００８】
また、基板処理装置の動作結果より、各基板処理装置に設定された基本情報に設定ミスが存在することが判明した場合であっても、多数の設定項目の中から誤っている設定内容を発見することは非常に困難であった。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ユーザ、サポート担当者の作業負担を軽減させながら、基板処理装置の初期動作設定を、容易かつ確実に行うためのネットワークシステムを提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の基板処理装置とサポートコンピュータとを備える基板処理装置管理システムであって、前記複数の基板処理装置と前記サポートコンピュータとはネットワークを介して接続されており、前記サポートコンピュータは、a-1)基板処理装置の初期設定時に必要な初期設定情報であって基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した基本情報を格納する第１の記憶手段と、a-2)前記基本情報を前記ネットワークを介して前記複数の基板処理装置に送信する基本情報送信手段と、を備え、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、b-1)前記サポートコンピュータより受信した基本情報を格納する第２の記憶手段、を備え、前記基本情報は、同一種類の基板処理装置について共通して設定される情報であって、基板処理装置を制御する制御プログラムのバージョンによって異なる情報であり、前記複数の基板処理装置のうち同一のバージョンの制御プログラムによって制御される基板処理装置は、前記第２の記憶手段に格納された基本情報によって、初期状態が同一に整備されることを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、さらに、b-2)自己の装置にインストールされている制御プログラムのバージョンを前記サポートコンピュータに通知する手段、を備え、前記基本情報送信手段は、a-2-1)基板処理装置から通知されたプログラムのバージョンに応じて、対応する基本情報を基板処理装置に送信する手段、を含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、さらに、b-3)前記サポートコンピュータに対する前記基本情報の送信要求を指示する手段、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記サポートコンピュータは、さらに、a-3)前記複数の基板処理装置に対する前記基本情報の送信を指示する手段、を備えることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００２３】
｛１．システム全体構成｝
まず、本実施の形態に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および装置管理サーバ２と、サポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続される構成となっている。サポートセンター５には、基板処理装置１をリモート管理するリモート管理担当者が配置される。
【００２４】
基板処理工場４において、基板処理装置１と装置管理サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、装置管理サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００２５】
なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００２６】
｛２．基板処理装置｝
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００２７】
図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００２８】
システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、アプリケーションプログラムデータなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００２９】
通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は装置管理サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００３０】
バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００３１】
処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００３２】
システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用のアプリケーションプログラムである制御プログラム１５２（図６参照）や、基板処理装置の動作を規定する設定情報１５１（図５参照）などが記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこの制御プログラム１５２および設定情報１５１に従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用のアプリケーションプログラムである制御プログラム１５３が記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこの制御プログラム１５３に従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００３３】
｛３．装置管理サーバ及びサポートコンピュータ｝
次に、基板処理工場４に配置された装置管理サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（装置管理サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、アプリケーションプログラムなど各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００３４】
装置管理サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からデータを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバ等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶された各種プログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。
【００３５】
｛４．基板処理装置の設定情報｝
基板処理装置１は、あらかじめ記述されたフローレシピの処理順序に従い、記憶部１０４，１１４に格納された制御プログラム１５２,１５３によって、その動作が制御される。そして、制御プログラム１５２，１５３は、記憶部１０４に格納された設定情報１５１にしたがって基板処理装置１を制御する。図５は、記憶部１０４に格納された設定情報１５１の内容の一例を示した図である。
【００３６】
なお、設定情報１５１は、基板処理装置１の全体制御に関わる設定情報と、各処理ユニット１１０の制御に関わる設定情報とを含んでおり、本実施の形態においては、これらを含む設定情報１５１がシステム制御部１００の記憶部１０４に一括して格納されているものとして説明する。ただし、処理ユニットごとの設定情報は、各ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納するようにしてもよい。
【００３７】
設定情報１５１は、レシピデータ１５１ａ、装置基本データ１５１ｂ、装置固有データ１５１ｃを含むデータである。これらのデータは、オペレータが操作部１４０を用いて入力操作することなどにより、必要に応じて修正を加えながら更新される。また、サポートコンピュータ３や装置管理サーバ２からリモート操作により設定情報１５１の入力操作を行うようにしてもよい。
【００３８】
レシピデータ１５１ａは、基板処理装置１の処理順序を規定するデータである。つまり、基板処理装置１の搬送ロボットＴＲは、レシピデータ１５１ａに記述されている処理スケジュールにしたがって、基板を目的の処理ユニットに搬送するのである。
【００３９】
たとえば、レシピデータ１５１ａには、以下のような処理ステップが記述されている。
ステップ１：ホットプレートにて密着強化処理；
ステップ２：クールプレートにて冷却処理；
ステップ３：塗布処理ユニットＳＣにてレジスト塗布処理；
ステップ４：ホットプレートにてプリベーグ処理；
・・・。
【００４０】
装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置１に共通の設定情報である。言い換えれば、基板処理装置１のデフォルト設定情報である。基板処理装置１は、搬送ロボットＴＲや各処理ユニット１１０などの数多くの機構部や制御部を含んでいるが、それら各機構部や制御部がどのような設定値で動作するのかを規定したものが装置基本データ１５１ｂである。装置基本データ１５１ｂには、たとえば、ロボット基本データ、温度調節パラメータなどのデータが含まれる。
【００４１】
ロボット基本データは、搬送ロボットＴＲの動作を規定するデータである。搬送ロボットＴＲは、基板を各処理ユニット１１０やインデクサＩＤ、熱処理ユニットなどに搬送するが、ロボット基本データは、このような搬送ロボットＴＲの動作の設定値（移動距離に関する設定値、アーム回転角の設定値など）を規定したデータである。温度調節データは、基板処理装置内において、熱処理ユニットなどの温度を設定するデータである。
【００４２】
装置基本データ１５１ｂは、これら例で示したデータ以外にも、非常に多数のデータ種が存在する。これらは、基板処理装置ごとに初期設定される情報であるが、これら多数のデータのうち、一部のデータの内容が誤って設定された場合にも、基板処理装置が予定されている動作を行うことができない。後述する装置固有データ１５１ｃによって、基板処理装置の動作を補正することは可能であるが、基本情報としての装置基本データ１５１ｂが確実に設定されていない場合には、補正作業が非常に煩雑となるか、もしくは、補正が不可能となる。しがって、基板処理装置の導入時、再設定時などにおいては、まず、装置基本データ１５１ｂが正確に設定される必要がある。
【００４３】
装置固有データ１５１ｃは、複数ある基板処理装置ごとに固有に設定される補正データである。基板処理装置１，１・・・が同一の装置構成である場合、基本的には、同一の設定情報、つまり、装置基本データ１５１ｂにより制御することが可能であるが、実際には、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。これは、基板処理装置の装置構成が同一の場合でも、厳密には、各装置間で装置構成にばらつきがあるためであり、また、基板処理装置の設置場所や設置環境の違いから、環境に応じた調整が必要となるためである。つまり、基板処理装置が同一の処理を行うことにより、同一の処理結果を生むためには、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。
【００４４】
装置固有データ１５１ｃには、たとえば、ティーチングデータや温度調節補正データなどのデータが含まれる。
【００４５】
ティーチングデータは、前述したロボット基本データを補正するデータである。搬送ロボットＴＲは、基板処理装置が同一の装置構成であれば、基本的には、同一の設定情報に従って同一の動作を行えばよい。しかし、多数の部材や可動部を含む搬送ロボットＴＲは、その構成に微妙な差があることにより、動作に誤差が生じる。そこで、搬送ロボットＴＲの動作が最適となるよう調整し、その調整時の設定情報をティーチングデータとして蓄積するのである。そして、ティーチングデータによって、ロボット基本データを補正することにより、搬送ロボットＴＲの制御を最適化することができるのである。
【００４６】
また、温度調節補正データは、基板処理装置１の設置場所、設置環境の違いにより、デフォルトで設定されている温度調節データを補正するデータである。
【００４７】
このように、基板処理装置１は、レシピデータ１５１ａによって、その処理工程順序が決定され、その動作は、デフォルトとして設定される装置基本データ１５１ｂと装置ごとの補正データである装置固有データ１５１ｃを用いて制御されるのである。
【００４８】
｛５．システムの機能および処理内容｝
以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、装置管理サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成、および、設定情報１５１の内容について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図６は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。
【００４９】
図６において、基本データ要求部１２１、バージョン取得部１２２、基本データ登録部１２３はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が保守プログラム１５４を実行することによって実現される処理部である。この保守プログラム１５４は、記憶部１０４に格納されている。
【００５０】
また、図６において、基本データ要求部２２１は、装置管理サーバ２のＣＰＵ２１が保守プログラム２５１を実行することによって実現される処理部である。この保守プログラム２５１は、固定ディスク２４に格納されている。
【００５１】
また、図６において、基本データ設定部３２１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が保守プログラム３５１を実行することによって実現される処理部である。この保守プログラム３５１は、固定ディスク３４に格納されている。
【００５２】
基本データ要求部１２１は、基板処理装置１からサポートセンター５に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を送出する機能部である。ユーザは、基板処理装置１に設けられた操作部１４０において、装置基本データ１５１ｂの取得指示を行う。この指示入力に応答して、基本データ要求部１２１は、サポートコンピュータ３２１の基本データ設定部３２１に対して、装置基本データ１５１ｂの送信依頼を行うのである。
【００５３】
なお、オペレータによる入力操作を容易にするために、表示部１３０には、装置基本データ１５１ｂを取得するためのメニューを表示するようにすればよい。そして、ガイダンスにしたがって入力操作を可能にすれば、オペレータの負担軽減を図ることができる。また、サポートセンター５に複数のサポートコンピュータ３が存在する場合であって、装置基本データ１５１ｂの送信依頼先が固定されていない場合には、オペレータは、入力操作によって装置基本データ１５１ｂの送信要求を行うサポートコンピュータ３を特定する。
【００５４】
バージョン取得部１２２は、基板処理装置１全体を制御する制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンを検出する機能部である。基板処理装置１は、サポートコンピュータ３に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を行うが、この装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置１を制御する制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンによって、異なる設定内容をもっている。そこで、自己の装置のソフトウェアバージョンをサポートコンピュータ３に通知することにより、ソフトウェアバージョンに対応した装置基本データ１５１ｂを送信要求するのである。
【００５５】
装置管理サーバ２の備える基本データ要求部２２１も、基本的には、基板処理装置１の備える基本データ要求部１２１と同様の機能を備えている。装置管理サーバ２において、オペレータがキーボード２６ａ、マウス２６ｂ等をもちいて基本データの要求指示入力を行うと、基本データ要求部２２１により装置基本データ１５１ｂの送信要求指示が送出される。
【００５６】
ただし、装置管理サーバ２から装置基本データ１５１ｂの送信要求を行う場合には、装置基本データ１５１ｂの登録先である基板処理装置を特定する操作を行うものとする。これにより、基板処理工場４内に設置された全ての基板処理装置１，１・・・に対して、装置管理サーバ２から基本データの送信要求を送出することができるのである。なお、基本データ要求部２２１は、ＬＡＮ４１経由で、基板処理装置１のバージョン取得部１２２に対してソフトウェアバージョンの取得要求を行う。これにより、基本データ要求部２２１は、ソフトウェアバージョンを特定したうえで、サポートコンピュータ３に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を送出するのである。
【００５７】
図７は、サポートコンピュータ３の固定ディスク３４に蓄積されているバージョン別の装置基本データ１５１ｂを示している。各装置基本データ１５１ｂのバージョンは、基板処理装置１の制御部プログラム１５１ｂのソフトウェアバージョンに対応している。
【００５８】
なお、本実施の形態においては、基板処理装置１の全体制御を行っている制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンに対応して装置基本データ１５１ｂを管理するようにしているが、各処理ユニットを制御している制御プログラム１５３に対応した装置基本データもあわせて管理するようにしてもよい。この場合には、システム制御部１００のバージョン取得部１２２は、ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納されている制御プログラム１５３のバージョン情報も検出するようにする。
【００５９】
サポートコンピュータ３の基本データ設定部３２１は、基本データ要求部１２１（もしくは、基本データ要求部２２１）から装置基本データの送信要求指示を受けると、送信要求指示データに含まれている制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンを取得し、このソフトウェアバージョンに対応した装置基本データ１５１ｂを固定ディスク３４から抽出する。そして、抽出した装置基本データ１５１ｂを基板処理装置１に対して送信するのである。
【００６０】
基板処理装置１では、基本データ登録部１２３が、サポートコンピュータ３から送信された装置基本データ１５１ｂを受信するとともに、そのデータを記憶部１０４に格納する。このようにして、基板処理装置１には、当該基板処理装置１の制御プログラムに対応した初期設定が行われることになる。
【００６１】
図７では、制御プログラム１５２のバージョン１．０がインストールされている基板処理装置１Ａに装置基本データ（Ver1.0）が格納され、制御プログラム１５２のバージョン２．０がインストールされている基板処理装置１Ｂに装置基本データ（Ver2.0）が格納された状態を示している。
【００６２】
このように、本実施の形態における基板処理システムにおいては、基板処理装置１を制御するための基本情報である装置基本データ１５２ｂをネットワークを介して容易に取得し、基板処理装置１に反映させることができるので、同一のソフトウェアバージョンで制御される同一の基板処理装置に対しては、常に、安定した初期設定操作が行えることとなる。同時に、同一のソフトウェアバージョンで制御される複数の基板処理装置に対して初期設定操作を行う場合にも、各基板処理装置には、同一の初期設定が行われる。つまり、複数の基板処理装置の初期設定状態をシンクロさせることができるのである。これにより、オペレータが手作業で装置基本データ１５１ｂをコピーしていた場合に生じていた装置間の設定のばらつきを完全に回避することが可能となるのである。
【００６３】
なお、装置基本データ１５１ｂが、各基板処理装置１に登録された後は、各基板処理装置１において、装置ごとに固有のチューニング操作が行われる。そして、各基板処理装置１は、サポートコンピュータ３から受信した装置基本データ１５１ｂと、装置ごとで作成された装置固有データ１５１ｃにしたがって最適制御されることになる。
【００６４】
｛６．変形例｝
上記実施の形態においては、サポートコンピュータ３では、基板処理装置１にインストールされている制御プログラムのソフトウェアバージョンを判断することによって、適切な装置基本データ１５１ｂを送信するようにしているが、基板処理装置１が自己の装置種別を情報としてサポートコンピュータ３に通知するようにすれば、異なる基板処理装置が混在している場合でも、各基板処理装置の装置種別に応じた装置基本データを送信するようにすることが可能である。
【００６５】
また、上記実施の形態においては、基板処理装置１に共通して設定される装置基本データ１５１ｂをサポートコンピュータ３で管理するようにしているが、装置固有データ１５１ｃをサポートコンピュータ３で管理するようにしてもよい。装置固有データ１５１ｃは、前述のごとく、各装置において固有の情報であるため、そのデータを直接他の装置において利用することができるとは限らないが、ユーザが、ある基板処理装置において設定した装置固有データ１５１ｃをノウハウとして他の装置においても流用するといった目的で利用することが可能である。
【００６６】
また、本実施の形態においては、システム制御部１００が備えるバージョン取得部１２２により、自動的に制御プログラムのソフトウェアバージョンを検出するようにしているが、この機能部は必須のものではない。前述のごとく、ユーザが操作部１４０を用いて装置基本データ１５１ｂの送信要求指示を入力する際に、あわせて、自己の装置のソフトウェアバージョンを指定するようにしてもよい。ただし、人為的なミスを回避するためには、バージョン取得部１２２によりソフトウェアバージョンを自動検出することが、より好ましい。
【００６７】
【発明の効果】
以上、説明したように請求項１の発明は、サポートコンピュータが、基板処理装置を制御するための基本情報を蓄積し、基板処理装置は、ネットワークで接続されたサポートコンピュータから、基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した初期設定情報である基本情報を受信し、この基本情報を登録するので、基板処理装置の導入時や再設定時において、正確、かつ、容易に、初期設定を行うことができる。
【００６９】
請求項２の発明は、基板処理装置から通知されたソフトウェアバージョンに対応した基本情報がサポートコンピュータから送信されるので、基板処理装置のメンテナンス性が格段に向上する。
【００７０】
請求項３の発明は、基板処理装置側から基本情報の送信要求を行うことを可能としており、利便性が高い。
【００７１】
請求項４の発明は、サポートコンピュータ側から基本情報の送信指示を行うことを可能としており、厚いユーザサポート体制を提供することができる。
【００７２】
請求項６の発明は、基板処理装置は、ネットワークで接続されたコンピュータから、基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した初期設定情報である基本情報を受信し、この基本情報を登録するので、基板処理装置の導入時や再設定時において、正確、かつ、容易に、初期設定を行うことができる。
【００７３】
請求項７の発明は、基本情報は、同一種類の基板処理装置に共通して設定される情報であるので、複数の基板処理装置が存在する場合には、各基板処理装置の初期状態を確実に統一することができる。
【００７４】
請求項８の発明は、基本情報は基板処理装置にインストールされる制御プログラムのソフトウェアバージョンごとに管理されており、基板処理装置は、自己の装置にインストールされているソフトウェアバージョンを通知する手段を有するので、ソフトウェアバージョンに対応した基本情報の送信要求を行うことが可能となる。
【００７５】
請求項９の発明は、基板処理装置は基本情報の送信要求を行う手段を有するので、利便性が高い。
【００７６】
請求項１０の発明は、方法の発明であり、ネットワークを利用して容易、かつ、確実に、基板処理装置の初期設定を行うことが可能である。
【００７７】
請求項１１の発明は、プログラムの発明であり、基板処理装置の備えるコンピュータにインストールされることによって、初期設定操作が効率的に行える基板処理装置を実現することができる。
【００７８】
請求項１２の発明は、初期設定操作が効率的に行える基板処理装置を実現するプログラムを格納した記録媒体であり、記録媒体を頒布することにより、容易に、プログラムのインストールが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成図である。
【図２】基板処理装置の概略平面図である。
【図３】基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。
【図４】装置管理サーバおよびサポートコンピュータの基本構成を示す図である。
【図５】設定情報の内容の一例を示す図である。
【図６】基板処理システムの機能構成を示すブロック図である。
【図７】サポートコンピュータにおいて管理されるバージョンごとの装置基本データを示す図である。
【符号の説明】
１基板処理装置
２装置管理サーバ
３サポートコンピュータ
４基板処理工場
５サポートセンター
６ネットワーク
１０基板処理システム
１００システム制御部
１２１基本データ要求部
１２２バージョン取得部
１２３基本データ登録部
１０４，１１４記憶部
１５１設定情報
１５１ｂ装置基本データ
１５２，１５３制御プログラム
３２１基本データ設定部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a network in which a substrate processing apparatus for performing a predetermined process on a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, a substrate for an optical disk, etc. (hereinafter simply referred to as “substrate”) and a computer are combined. It relates to system configuration.
[0002]
[Prior art]
Products such as semiconductors and liquid crystal displays are manufactured by subjecting a substrate to a series of processes such as cleaning, resist coating, exposure, development, etching, formation of an interlayer insulating film, and heat treatment. Conventionally, these various processes are performed in a substrate processing apparatus incorporating a resist coating processing unit, a development processing unit, and the like. A transfer robot provided in the substrate processing apparatus sequentially transfers the substrate to each processing unit, whereby a series of processing is performed on the substrate.
[0003]
Such substrate processing is automatically controlled, and the substrate processing apparatus stores a control program for performing the automatic control, setting information, and the like. That is, the substrate processing apparatus is controlled by the control program according to the contents of the setting information.
[0004]
The setting information stored in the substrate processing apparatus includes basic information commonly used for the substrate processing apparatus and information unique to each substrate processing apparatus.
[0005]
The basic information is information set in the initial state in the substrate processing apparatus, and is information including a large number of setting items. The user or the person in charge of support first sets basic information in the substrate processing apparatus. This causes the substrate processing apparatus to operate according to the basic information. Furthermore, the user sets unique information according to each substrate processing apparatus. That is, optimal control is performed by correcting the operation of the substrate processing apparatus set by the basic information with the unique information.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the basic information that needs to be set in the substrate processing apparatus is information including a large number of setting items. And even when the setting information is incorrect for some of these many items, the substrate processing apparatus cannot perform the scheduled operation.
[0007]
For example, in a factory where a plurality of substrate processing apparatuses are arranged, when a plurality of persons in charge set basic information for different substrate processing apparatuses, the setting contents of the basic information differ between the substrate processing apparatuses. Such an artificial mistake may occur. In such a case, even when the same processing is executed in each substrate processing apparatus, there arises a problem that the same product cannot be produced.
[0008]
In addition, even if it is found from the operation results of the substrate processing apparatus that there is a setting error in the basic information set in each substrate processing apparatus, an incorrect setting content is found from a large number of setting items. It was very difficult to do.
[0009]
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a network system for easily and surely setting an initial operation of a substrate processing apparatus while reducing the work load of users and support personnel. .
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the invention of claim 1 plural A substrate processing apparatus management system comprising a substrate processing apparatus and a support computer, wherein plural The substrate processing apparatus and the support computer are connected via a network. The support computer is a-1) initial setting information necessary for initial setting of the substrate processing apparatus, and a mechanism unit and control of the substrate processing apparatus. First storage means for storing basic information defining the set value of the operation of the unit, a-2) the basic information via the network plural Basic information transmitting means for transmitting to the substrate processing apparatus, plural Substrate processing equipment Each of B-1) second storage means for storing basic information received from the support computer, The basic information is information that is commonly set for the same type of substrate processing apparatus, and is different information depending on the version of a control program that controls the substrate processing apparatus, Above plural Substrate processing equipment Substrate processing apparatus controlled by the same version of the control program Is based on the basic information stored in the second storage means. Same It is characterized by being maintained.
[0012]
Claim 2 The invention of claim 1 In the substrate processing apparatus management system described ,in front Record plural Substrate processing equipment Each of B-2) means for notifying the support computer of the version of the control program installed in its own apparatus, and the basic information transmitting means is a-2-1) notified from the substrate processing apparatus Means for transmitting corresponding basic information to the substrate processing apparatus in accordance with the version of the programmed program.
[0013]
Claim 3 The invention of claim 1 Or claim 2 In the substrate processing apparatus management system described above, plural Substrate processing equipment Each of Further, b-3) means for instructing a transmission request for the basic information to the support computer.
[0014]
Claim 4 The invention of claim 1 to claim 1 3 In the substrate processing apparatus management system according to any one of the above, the support computer further includes a-3) plural Means for instructing transmission of the basic information to the substrate processing apparatus.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0023]
{1. Overall system configuration}
First, an outline of the entire substrate processing system 10 according to the present embodiment will be described. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of the substrate processing system 10. As shown in FIG. 1, a substrate processing system 10 includes a plurality of substrate processing apparatuses 1 and an apparatus management server 2 provided in a substrate processing factory 4 and a support computer 3 provided in a support center 5 via a network 6. Connected. In the support center 5, a person in charge of remote management who remotely manages the substrate processing apparatus 1 is arranged.
[0024]
In the substrate processing factory 4, the substrate processing apparatus 1 and the apparatus management server 2 are connected via a LAN (Local Area Network) 41. The LAN 41 is connected to a wide area network 61 such as the Internet via a connection device 42 having functions such as a router and a firewall. The support center 5 also has a LAN 51 to which the support computer 3 is connected. The LAN 51 is also connected to a wide area network 61 via a connection device 52 having functions such as a router and a firewall. Thereby, various data communications are possible among the substrate processing apparatus 1, the apparatus management server 2 and the support computer 3. In this specification, the LANs 41 and 51 and the wide area network 61 are collectively referred to simply as the network 6.
[0025]
In FIG. 1, the substrate processing factory 4 includes a plurality of substrate processing apparatuses 1, but the substrate processing apparatus 1 may be a single unit. Similarly, the support center 5 includes a plurality of support computers 3. Although provided, the support computer 3 may be one.
[0026]
{2. Substrate processing apparatus}
Next, the substrate processing apparatus 1 disposed in the substrate processing factory 4 will be described. FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate processing apparatus 1. The substrate processing apparatus 1 is an apparatus that performs resist coating processing, development processing, and heat treatment associated therewith on a substrate. The substrate processing apparatus 1 dispenses an unprocessed substrate from a carrier, receives an processed substrate and stores it in the carrier, and drops a photoresist onto the main surface of the substrate while rotating the substrate. A coating processing unit SC (so-called spin coater) for carrying out development, a development processing unit SD (so-called spin developer) for carrying out development processing by supplying a developer onto the substrate after exposure, an indexer ID and a substrate between each processing unit. And a transfer robot TR that performs transfer. A heat treatment unit (not shown) is disposed above the coating processing unit SC and the development processing unit SD with the fan filter unit interposed therebetween. As the heat treatment unit, a heating unit (so-called hot plate) for performing heat treatment on the substrate and a cooling unit (so-called cool plate) for cooling the heated substrate to a certain temperature are provided. In the present specification, the coating processing unit SC, the development processing unit SD, and the heat treatment unit are collectively referred to as a processing unit 110 that performs predetermined processing on a substrate.
[0027]
FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the control system of the substrate processing apparatus 1. As shown in FIG. 3, the control system of the substrate processing apparatus 1 includes a system control unit 100 that controls the entire apparatus and a unit control unit 115 that individually controls a plurality of processing units 110.
[0028]
The system control unit 100 controls the entire apparatus in an integrated manner, and includes a microcomputer. Specifically, the CPU 101 that is the main body, the ROM 102 that is a read-only memory that stores basic programs, the RAM 103 that is a readable / writable memory that mainly serves as a work area, and application program data are stored. A storage unit 104 composed of a fixed disk or the like and a communication unit 105 that performs data communication with an external device are provided, and each is connected by a bus line 190.
[0029]
The communication unit 105 is connected to the network 6 via a network interface (not shown), whereby the substrate processing apparatus 1 can transmit / receive various data to / from the apparatus management server 2 and the support computer 3. is there. The communication method performed by the communication unit 105 via the network 6 may be wired or wireless, but in this embodiment, a wired communication method is adopted.
[0030]
In the bus line 190, together with the system control unit 100 and the plurality of processing units 110, a display unit 130 for displaying various information, an operation unit 140 for receiving recipe input and command operations from an operator, a magnetic disk, a magneto-optical device, and the like. A reading device 150 that reads various data from a recording medium 91 such as a disk is also electrically connected. As a result, data can be transferred between each part of the substrate processing apparatus 1 via the bus line 190 under the control of the system control unit 100.
[0031]
The processing unit 110 includes a unit control unit together with a substrate processing unit 116 that is a mechanism unit that actually processes the substrate (for example, a mechanism that rotates the substrate, a mechanism that discharges the processing liquid to the substrate, a mechanism that heats the substrate, etc.) 115. The unit control unit 115 individually controls the processing unit 110, and specifically performs operation control and operation monitoring of the substrate processing unit 116 of the processing unit 110 in which the unit control unit 115 is incorporated. That is, the system control unit 100 described above is responsible for overall control of the entire substrate processing apparatus 1, and the unit control unit 115 is responsible for performing control according to the processing content of the substrate processing unit 116. . The unit control unit 115 includes a microcomputer as in the system control unit 100. Specifically, the unit control unit 115 includes a CPU 111 that is a main body of the unit control unit 115, a ROM 112 that is a read-only memory that stores a basic program, and the like. A RAM 113 that is a readable / writable memory serving as a work area, and a storage unit 114 that includes a battery-backed SRAM for storing various data.
[0032]
In the storage unit 104 of the system control unit 100, a control program 152 (see FIG. 6) that is an application program for system control related to the entire apparatus, setting information 151 (see FIG. 5) that defines the operation of the substrate processing apparatus, and the like. Is remembered. When the CPU 101 of the system control unit 100 executes arithmetic processing according to the control program 152 and the setting information 151, operation control and data processing as a whole of the substrate processing apparatus 1 are realized. The storage unit 114 of the unit control unit 115 stores a control program 153 that is an application program for unit control corresponding to the processing content of the substrate processing unit 116 of the processing unit 110. When the CPU 111 of the unit control unit 115 executes arithmetic processing according to the control program 153, operation control and data processing of the substrate processing unit 116 are realized.
[0033]
{3. Device management server and support computer}
Next, the apparatus management server 2 arranged in the substrate processing factory 4 and the support computer 3 arranged in the support center 5 will be described. The device management server 2 and the support computer 3 have the same hardware configuration as a general computer. Accordingly, the basic configurations of the device management server 2 and the support computer 3 are the same, and will be described with reference to FIG. 4 which is the same schematic drawing. As shown in FIG. 4, each of the device management server 2 and the support computer 3 includes a CPU (CPU 21 for the device management server 2, a CPU 31 for the support computer 3, and so on) for performing various arithmetic processes, and a ROM (22 32) and RAM (23, 33) for storing various information are connected to the bus line. The bus line also has a fixed disk (24, 34) for storing various information such as application programs, a display (25, 35) for displaying various information, a keyboard (26a, 36a) for receiving input from the operator, and A reading device (27, 37) that reads various data from a recording medium 91 such as a mouse (26b, 36b), an optical disk, a magnetic disk, a magneto-optical disk, and a communication unit that communicates with an external device via the network 6 (28, 38) are appropriately connected through an interface (I / F) or the like.
[0034]
The device management server 2 and the support computer 3 can read data from the recording medium 91 via the reading device (27, 37) and store it in the fixed disk (24, 34). It can also be downloaded from another server or the like via the network 6 and stored in the fixed disks (24, 34). The CPU (21, 31) performs various operations by executing arithmetic processing according to various programs stored in the fixed disks (24, 34).
[0035]
{4. Substrate processing device setting information}
The operation of the substrate processing apparatus 1 is controlled by control programs 152 and 153 stored in the storage units 104 and 114 in accordance with a flow recipe processing order described in advance. The control programs 152 and 153 control the substrate processing apparatus 1 according to the setting information 151 stored in the storage unit 104. FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the content of the setting information 151 stored in the storage unit 104.
[0036]
The setting information 151 includes setting information related to the overall control of the substrate processing apparatus 1 and setting information related to the control of each processing unit 110. In the present embodiment, the setting information 151 including these includes the setting information 151. A description will be given assuming that the data are stored in the storage unit 104 of the system control unit 100 in a lump. However, the setting information for each processing unit may be stored in the storage unit 114 of each unit control unit 115.
[0037]
The setting information 151 is data including recipe data 151a, device basic data 151b, and device specific data 151c. These data are updated while making corrections as necessary, for example, when an operator performs an input operation using the operation unit 140. Further, the setting information 151 may be input from the support computer 3 or the device management server 2 by remote operation.
[0038]
The recipe data 151 a is data that defines the processing order of the substrate processing apparatus 1. That is, the transfer robot TR of the substrate processing apparatus 1 transfers the substrate to the target processing unit according to the processing schedule described in the recipe data 151a.
[0039]
For example, the following processing steps are described in the recipe data 151a.
Step 1: Adhesion strengthening treatment with hot plate;
Step 2: Cooling process with cool plate;
Step 3: Resist application processing in the application processing unit SC;
Step 4: Pre-bake treatment with hot plate;
....
[0040]
The apparatus basic data 151 b is setting information common to the substrate processing apparatus 1. In other words, it is default setting information of the substrate processing apparatus 1. The substrate processing apparatus 1 includes a number of mechanism units and control units such as the transfer robot TR and each processing unit 110, and defines what setting values each of these mechanism units and control units operate. Is the device basic data 151b. The device basic data 151b includes, for example, data such as robot basic data and temperature control parameters.
[0041]
The basic robot data is data that defines the operation of the transport robot TR. The transport robot TR transports the substrate to each processing unit 110, the indexer ID, the heat treatment unit, etc., but the basic data of the robot includes the set values of the operation of the transport robot TR (setting values related to the movement distance, arm rotation angle, etc. This data defines the setting value. The temperature adjustment data is data for setting the temperature of the heat treatment unit or the like in the substrate processing apparatus.
[0042]
In addition to the data shown in these examples, the device basic data 151b includes a large number of data types. These are information that is initially set for each substrate processing apparatus, but the operation of the substrate processing apparatus is planned even when the contents of some of these many data are set incorrectly. Can not do. Although it is possible to correct the operation of the substrate processing apparatus using apparatus specific data 151c described later, if the apparatus basic data 151b as basic information is not set reliably, the correction work becomes very complicated. Or correction is impossible. Therefore, when the substrate processing apparatus is introduced or reset, the apparatus basic data 151b needs to be set accurately first.
[0043]
The apparatus specific data 151c is correction data set uniquely for each of a plurality of substrate processing apparatuses. When the substrate processing apparatuses 1, 1... Have the same apparatus configuration, basically, they can be controlled by the same setting information, that is, the apparatus basic data 151b. It is necessary to correct the setting information. Strictly speaking, even if the substrate processing apparatus has the same apparatus configuration, there is a variation in the apparatus configuration among the apparatuses, and the environment varies depending on the installation location and installation environment of the substrate processing apparatus. This is because it is necessary to adjust accordingly. That is, in order to produce the same processing result by performing the same processing by the substrate processing apparatus, it is necessary to correct the setting information for each apparatus.
[0044]
The device specific data 151c includes, for example, data such as teaching data and temperature adjustment correction data.
[0045]
The teaching data is data for correcting the above-described robot basic data. If the substrate processing apparatus has the same apparatus configuration, the transfer robot TR may basically perform the same operation according to the same setting information. However, the transport robot TR including a large number of members and movable parts has an operation error due to a slight difference in configuration. Therefore, adjustment is made so that the operation of the transfer robot TR is optimized, and setting information at the time of adjustment is accumulated as teaching data. Then, the control of the transport robot TR can be optimized by correcting the robot basic data with the teaching data.
[0046]
The temperature adjustment correction data is data for correcting the temperature adjustment data set by default depending on the installation location and installation environment of the substrate processing apparatus 1.
[0047]
As described above, the processing order of the substrate processing apparatus 1 is determined by the recipe data 151a, and the operation uses the apparatus basic data 151b set as default and the apparatus specific data 151c which is correction data for each apparatus. Is controlled.
[0048]
{5. System functions and processing contents}
In the above, the hardware configuration of the substrate processing system 10 and the substrate processing apparatus 1, the apparatus management server 2, and the support computer 3 constituting the substrate processing system 10 and the contents of the setting information 151 have been described. Next, the functions and functions of the substrate processing system 10 will be described. Processing contents will be described. FIG. 6 is a functional block diagram showing a functional configuration of the substrate processing system 10.
[0049]
In FIG. 6, a basic data request unit 121, a version acquisition unit 122, and a basic data registration unit 123 are processing units realized by the CPU 101 of the system control unit 100 executing a maintenance program 154. The maintenance program 154 is stored in the storage unit 104.
[0050]
In FIG. 6, a basic data request unit 221 is a processing unit realized by the CPU 21 of the device management server 2 executing the maintenance program 251. This maintenance program 251 is stored in the fixed disk 24.
[0051]
In FIG. 6, the basic data setting unit 321 is a processing unit realized by the CPU 31 of the support computer 3 executing the maintenance program 351. This maintenance program 351 is stored in the fixed disk 34.
[0052]
The basic data request unit 121 is a functional unit that sends a transmission request for the apparatus basic data 151 b from the substrate processing apparatus 1 to the support center 5. The user issues an instruction to obtain the basic apparatus data 151b using the operation unit 140 provided in the substrate processing apparatus 1. In response to this instruction input, the basic data request unit 121 requests the basic data setting unit 321 of the support computer 321 to transmit the device basic data 151b.
[0053]
In order to facilitate the input operation by the operator, a menu for acquiring the device basic data 151b may be displayed on the display unit 130. If the input operation is enabled according to the guidance, the burden on the operator can be reduced. Further, when there are a plurality of support computers 3 in the support center 5 and the transmission request destination of the device basic data 151b is not fixed, the operator makes a transmission request for the device basic data 151b by an input operation. The support computer 3 to perform is specified.
[0054]
The version acquisition unit 122 is a functional unit that detects the software version of the control program 152 that controls the entire substrate processing apparatus 1. The substrate processing apparatus 1 requests the support computer 3 to transmit the apparatus basic data 151b. The apparatus basic data 151b has different setting contents depending on the software version of the control program 152 for controlling the substrate processing apparatus 1. . Therefore, the support computer 3 is notified of the software version of its own device, thereby requesting transmission of the device basic data 151b corresponding to the software version.
[0055]
The basic data request unit 221 included in the apparatus management server 2 basically has the same function as the basic data request unit 121 included in the substrate processing apparatus 1. In the device management server 2, when an operator inputs a basic data request instruction using the keyboard 26a, mouse 26b, etc., the basic data request unit 221 sends a transmission request instruction for the device basic data 151b.
[0056]
However, when a transmission request for the apparatus basic data 151b is made from the apparatus management server 2, an operation for specifying the substrate processing apparatus that is the registration destination of the apparatus basic data 151b is performed. In this way, a transmission request for basic data can be transmitted from the apparatus management server 2 to all the substrate processing apparatuses 1, 1... Installed in the substrate processing factory 4. The basic data request unit 221 sends a software version acquisition request to the version acquisition unit 122 of the substrate processing apparatus 1 via the LAN 41. Thus, the basic data request unit 221 specifies a software version and then sends a transmission request for the device basic data 151b to the support computer 3.
[0057]
FIG. 7 shows device basic data 151b for each version stored in the fixed disk 34 of the support computer 3. The version of each apparatus basic data 151b corresponds to the software version of the control unit program 151b of the substrate processing apparatus 1.
[0058]
In this embodiment, the apparatus basic data 151b is managed corresponding to the software version of the control program 152 that performs overall control of the substrate processing apparatus 1. However, each processing unit is controlled. The device basic data corresponding to the control program 153 may be managed together. In this case, the version acquisition unit 122 of the system control unit 100 detects the version information of the control program 153 stored in the storage unit 114 of the unit control unit 115.
[0059]
When the basic data setting unit 321 of the support computer 3 receives a device basic data transmission request instruction from the basic data requesting unit 121 (or the basic data requesting unit 221), the basic data setting unit 321 of the control computer 152 includes the transmission request instruction data. The software version is acquired, and the device basic data 151b corresponding to the software version is extracted from the fixed disk 34. Then, the extracted apparatus basic data 151 b is transmitted to the substrate processing apparatus 1.
[0060]
In the substrate processing apparatus 1, the basic data registration unit 123 receives the apparatus basic data 151 b transmitted from the support computer 3 and stores the data in the storage unit 104. In this way, initial setting corresponding to the control program of the substrate processing apparatus 1 is performed in the substrate processing apparatus 1.
[0061]
In FIG. 7, the basic substrate data (Ver1.0) is stored in the substrate processing apparatus 1A in which version 1.0 of the control program 152 is installed, and the substrate processing apparatus in which version 2.0 of the control program 152 is installed. 1B shows a state in which device basic data (Ver2.0) is stored.
[0062]
As described above, in the substrate processing system according to the present embodiment, the basic apparatus data 152b, which is basic information for controlling the substrate processing apparatus 1, is easily acquired via the network and reflected on the substrate processing apparatus 1. Therefore, a stable initial setting operation can always be performed on the same substrate processing apparatus controlled by the same software version. At the same time, even when an initial setting operation is performed on a plurality of substrate processing apparatuses controlled by the same software version, the same initial setting is performed on each substrate processing apparatus. That is, the initial setting states of a plurality of substrate processing apparatuses can be synchronized. As a result, it is possible to completely avoid the variation in the setting between the devices that has occurred when the operator manually copied the device basic data 151b.
[0063]
In addition, after the apparatus basic data 151b is registered in each substrate processing apparatus 1, each substrate processing apparatus 1 performs a unique tuning operation for each apparatus. Each substrate processing apparatus 1 is optimally controlled according to the apparatus basic data 151b received from the support computer 3 and the apparatus specific data 151c created for each apparatus.
[0064]
{6. Modification}
In the above embodiment, the support computer 3 transmits appropriate apparatus basic data 151b by determining the software version of the control program installed in the substrate processing apparatus 1, but the substrate processing apparatus If 1 informs the support computer 3 of its own device type as information, device basic data corresponding to the device type of each substrate processing device is transmitted even when different substrate processing devices are mixed. Is possible.
[0065]
In the above embodiment, the basic apparatus data 151b set in common in the substrate processing apparatus 1 is managed by the support computer 3, but the apparatus specific data 151c is managed by the support computer 3. May be. As described above, the device-specific data 151c is information unique to each device. Therefore, the device-specific data 151c cannot be directly used in another device. The unique data 151c can be used as a know-how for other devices.
[0066]
In the present embodiment, the software version of the control program is automatically detected by the version acquisition unit 122 provided in the system control unit 100, but this function unit is not essential. As described above, when the user inputs a transmission request instruction for the device basic data 151b using the operation unit 140, the software version of the device itself may be specified. However, in order to avoid human error, it is more preferable to automatically detect the software version by the version acquisition unit 122.
[0067]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, the support computer stores basic information for controlling the substrate processing apparatus, and the substrate processing apparatus is connected to the support computer connected via the network. Stipulated the set values for the operation of the mechanism and controller of the substrate processing equipment Since the basic information which is the initial setting information is received and this basic information is registered, the initial setting can be performed accurately and easily at the time of introducing or resetting the substrate processing apparatus.
[0069]
Claim 2 The invention of , Group Since basic information corresponding to the software version notified from the plate processing apparatus is transmitted from the support computer, the maintainability of the substrate processing apparatus is greatly improved.
[0070]
Claim 3 According to the present invention, it is possible to make a transmission request for basic information from the substrate processing apparatus side, which is highly convenient.
[0071]
Claim 4 According to the invention, it is possible to instruct the transmission of basic information from the support computer side, and it is possible to provide a thick user support system.
[0072]
According to a sixth aspect of the present invention, a substrate processing apparatus includes: a computer connected via a network; Stipulated the set values for the operation of the mechanism and controller of the substrate processing equipment Since the basic information which is the initial setting information is received and this basic information is registered, the initial setting can be performed accurately and easily at the time of introducing or resetting the substrate processing apparatus.
[0073]
In the invention of claim 7, since the basic information is information set in common to the same type of substrate processing apparatus, when there are a plurality of substrate processing apparatuses, the initial state of each substrate processing apparatus is surely determined. Can be unified.
[0074]
In the invention of claim 8, the basic information is managed for each software version of the control program installed in the substrate processing apparatus, and the substrate processing apparatus has means for notifying the software version installed in its own apparatus. Therefore, it is possible to make a transmission request for basic information corresponding to the software version.
[0075]
The invention of claim 9 is highly convenient because the substrate processing apparatus has means for requesting transmission of basic information.
[0076]
The invention of claim 10 is an invention of a method, and the initial setting of the substrate processing apparatus can be performed easily and reliably using a network.
[0077]
The invention of claim 11 is an invention of a program, and by being installed in a computer provided in the substrate processing apparatus, it is possible to realize a substrate processing apparatus capable of efficiently performing an initial setting operation.
[0078]
The invention of claim 12 is a recording medium storing a program for realizing a substrate processing apparatus capable of efficiently performing an initial setting operation, and the program can be easily installed by distributing the recording medium.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a substrate processing system according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate processing apparatus.
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a control system of the substrate processing apparatus.
FIG. 4 is a diagram illustrating a basic configuration of a device management server and a support computer.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the content of setting information.
FIG. 6 is a block diagram showing a functional configuration of the substrate processing system.
FIG. 7 is a diagram showing device basic data for each version managed by a support computer.
[Explanation of symbols]
1 Substrate processing equipment
2 Device management server
3 Support computer
4 Substrate processing factory
5 Support Center
6 network
10 Substrate processing system
100 System control unit
121 Basic data request part
122 Version acquisition unit
123 Basic data registration
104,114 storage unit
151 Setting information
151b Device basic data
152,153 Control program
321 Basic data setting part

Claims

A substrate processing apparatus management system comprising a plurality of substrate processing apparatuses and a support computer, wherein the plurality of substrate processing apparatuses and the support computer are connected via a network,
The support computer is
a-1) first storage means for storing basic setting information that is necessary for initial setting of the substrate processing apparatus and that defines setting values for the operation of the mechanism unit and the control unit of the substrate processing apparatus;
a-2) basic information transmitting means for transmitting the basic information to the plurality of substrate processing apparatuses via the network;
With
Each of the plurality of substrate processing apparatuses includes:
b-1) second storage means for storing basic information received from the support computer;
With
The basic information is information that is commonly set for the same type of substrate processing apparatus, and is different information depending on the version of a control program that controls the substrate processing apparatus,
The substrate processing apparatuses controlled by the same version of the control program among the plurality of substrate processing apparatuses have the same initial state based on the basic information stored in the second storage means. Substrate processing equipment management system.

In the substrate processing apparatus management system according to claim 1,
Each of the plurality of substrate processing apparatuses further includes:
b-2) means for notifying the support computer of the version of the control program installed in its own device;
With
The basic information transmitting means includes
a-2-1) means for transmitting corresponding basic information to the substrate processing apparatus according to the version of the program notified from the substrate processing apparatus;
The substrate processing apparatus management system which comprises a.

In the substrate processing apparatus management system according to claim 1 or 2,
Each of the plurality of substrate processing apparatuses further includes:
b-3) means for instructing a transmission request for the basic information to the support computer;
The substrate processing apparatus management system characterized in that it comprises a.

In the substrate processing apparatus management system according to any one of claims 1 to 3,
The support computer further includes:
a-3) means for instructing transmission of the basic information to the plurality of substrate processing apparatuses;
The substrate processing apparatus management system characterized in that it comprises a.