JP4191399B2

JP4191399B2 - 基板処理装置管理システム

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Publication number: JP4191399B2
Application number: JP2001270584A
Authority: JP
Inventors: 哲也濱田; 謙治亀井; 秀和井上; 徹北本
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-09-06
Filing date: 2001-09-06
Publication date: 2008-12-03
Anticipated expiration: 2021-09-06
Also published as: JP2003077822A; CN1773485A; CN1702825A; CN100445985C

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとを結合したネットワークシステムの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板の処理は自動制御がなされており、基板処理装置には、その自動制御を行うための制御プログラムや、設定情報などが記憶されている。すなわち、基板処理装置は、設定情報の内容にしたがって、制御プログラムによって制御されているのである。
【０００４】
この基板処理装置が記憶している設定情報には、基板処理装置に共通して用いられる基本情報と、基板処理装置ごとに固有の情報とが含まれている。
【０００５】
基本情報は、基板処理装置に初期状態において設定される情報であり、非常に多数の設定項目からなる情報である。ユーザあるいはサポート担当者は、基板処理装置に、まず、基本情報の設定を行う。これによって、基板処理装置に基本情報に従った動作をさせる。さらに、ユーザは、個々の基板処理装置に応じて、固有の情報を設定する。つまり、基本情報によって設定される基板処理装置の動作を、固有の情報で補正することにより最適な制御を行うようにしているのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、基板処理装置に設定する必要のある基本情報は、非常に多数の設定項目からなる情報である。そして、これら多数の項目のうち、一部の項目について設定情報が誤っている場合においても、基板処理装置は予定されている動作を行うことができない。
【０００７】
たとえば、複数の基板処理装置が配置された工場内において、複数の担当者が、それぞれ別の基板処理装置に基本情報を設定した場合などには、基板処理装置間で基本情報の設定内容が異なるといった人為的なミスが生じる場合もある。このような場合には、各基板処理装置において同一の処理を実行させた場合でも、同一のプロダクトを生産できないという問題が生じる。
【０００８】
また、基板処理装置の動作結果より、各基板処理装置に設定された基本情報に設定ミスが存在することが判明した場合であっても、多数の設定項目の中から誤っている設定内容を発見することは非常に困難であった。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ユーザ、サポート担当者の作業負担を軽減させながら、基板処理装置の初期動作設定を、容易かつ確実に行うためのネットワークシステムを提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の基板処理装置とサポートコンピュータとを備える基板処理装置管理システムであって、前記複数の基板処理装置と前記サポートコンピュータとはネットワークを介して接続されており、前記サポートコンピュータは、a-1)基板処理装置の初期設定時に必要な初期設定情報であって基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した基本情報を格納する第１の記憶手段と、a-2)前記基本情報を前記ネットワークを介して前記複数の基板処理装置に送信する基本情報送信手段と、を備え、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、b-1)前記サポートコンピュータより受信した基本情報を格納する第２の記憶手段、を備え、前記基本情報は、同一種類の基板処理装置について共通して設定される情報であって、基板処理装置を制御する制御プログラムのバージョンによって異なる情報であり、前記複数の基板処理装置のうち同一のバージョンの制御プログラムによって制御される基板処理装置は、前記第２の記憶手段に格納された基本情報によって、初期状態が同一に整備されることを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、さらに、b-2)自己の装置にインストールされている制御プログラムのバージョンを前記サポートコンピュータに通知する手段、を備え、前記基本情報送信手段は、a-2-1)基板処理装置から通知されたプログラムのバージョンに応じて、対応する基本情報を基板処理装置に送信する手段、を含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、さらに、b-3)前記サポートコンピュータに対する前記基本情報の送信要求を指示する手段、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記サポートコンピュータは、さらに、a-3)前記複数の基板処理装置に対する前記基本情報の送信を指示する手段、を備えることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００２３】
｛１．システム全体構成｝
まず、本実施の形態に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および装置管理サーバ２と、サポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続される構成となっている。サポートセンター５には、基板処理装置１をリモート管理するリモート管理担当者が配置される。
【００２４】
基板処理工場４において、基板処理装置１と装置管理サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、装置管理サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００２５】
なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００２６】
｛２．基板処理装置｝
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００２７】
図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００２８】
システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、アプリケーションプログラムデータなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００２９】
通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は装置管理サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００３０】
バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００３１】
処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００３２】
システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用のアプリケーションプログラムである制御プログラム１５２（図６参照）や、基板処理装置の動作を規定する設定情報１５１（図５参照）などが記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこの制御プログラム１５２および設定情報１５１に従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用のアプリケーションプログラムである制御プログラム１５３が記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこの制御プログラム１５３に従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００３３】
｛３．装置管理サーバ及びサポートコンピュータ｝
次に、基板処理工場４に配置された装置管理サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（装置管理サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、アプリケーションプログラムなど各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００３４】
装置管理サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からデータを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバ等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶された各種プログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。
【００３５】
｛４．基板処理装置の設定情報｝
基板処理装置１は、あらかじめ記述されたフローレシピの処理順序に従い、記憶部１０４，１１４に格納された制御プログラム１５２,１５３によって、その動作が制御される。そして、制御プログラム１５２，１５３は、記憶部１０４に格納された設定情報１５１にしたがって基板処理装置１を制御する。図５は、記憶部１０４に格納された設定情報１５１の内容の一例を示した図である。
【００３６】
なお、設定情報１５１は、基板処理装置１の全体制御に関わる設定情報と、各処理ユニット１１０の制御に関わる設定情報とを含んでおり、本実施の形態においては、これらを含む設定情報１５１がシステム制御部１００の記憶部１０４に一括して格納されているものとして説明する。ただし、処理ユニットごとの設定情報は、各ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納するようにしてもよい。
【００３７】
設定情報１５１は、レシピデータ１５１ａ、装置基本データ１５１ｂ、装置固有データ１５１ｃを含むデータである。これらのデータは、オペレータが操作部１４０を用いて入力操作することなどにより、必要に応じて修正を加えながら更新される。また、サポートコンピュータ３や装置管理サーバ２からリモート操作により設定情報１５１の入力操作を行うようにしてもよい。
【００３８】
レシピデータ１５１ａは、基板処理装置１の処理順序を規定するデータである。つまり、基板処理装置１の搬送ロボットＴＲは、レシピデータ１５１ａに記述されている処理スケジュールにしたがって、基板を目的の処理ユニットに搬送するのである。
【００３９】
たとえば、レシピデータ１５１ａには、以下のような処理ステップが記述されている。
ステップ１：ホットプレートにて密着強化処理；
ステップ２：クールプレートにて冷却処理；
ステップ３：塗布処理ユニットＳＣにてレジスト塗布処理；
ステップ４：ホットプレートにてプリベーグ処理；
・・・。
【００４０】
装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置１に共通の設定情報である。言い換えれば、基板処理装置１のデフォルト設定情報である。基板処理装置１は、搬送ロボットＴＲや各処理ユニット１１０などの数多くの機構部や制御部を含んでいるが、それら各機構部や制御部がどのような設定値で動作するのかを規定したものが装置基本データ１５１ｂである。装置基本データ１５１ｂには、たとえば、ロボット基本データ、温度調節パラメータなどのデータが含まれる。
【００４１】
ロボット基本データは、搬送ロボットＴＲの動作を規定するデータである。搬送ロボットＴＲは、基板を各処理ユニット１１０やインデクサＩＤ、熱処理ユニットなどに搬送するが、ロボット基本データは、このような搬送ロボットＴＲの動作の設定値（移動距離に関する設定値、アーム回転角の設定値など）を規定したデータである。温度調節データは、基板処理装置内において、熱処理ユニットなどの温度を設定するデータである。
【００４２】
装置基本データ１５１ｂは、これら例で示したデータ以外にも、非常に多数のデータ種が存在する。これらは、基板処理装置ごとに初期設定される情報であるが、これら多数のデータのうち、一部のデータの内容が誤って設定された場合にも、基板処理装置が予定されている動作を行うことができない。後述する装置固有データ１５１ｃによって、基板処理装置の動作を補正することは可能であるが、基本情報としての装置基本データ１５１ｂが確実に設定されていない場合には、補正作業が非常に煩雑となるか、もしくは、補正が不可能となる。しがって、基板処理装置の導入時、再設定時などにおいては、まず、装置基本データ１５１ｂが正確に設定される必要がある。
【００４３】
装置固有データ１５１ｃは、複数ある基板処理装置ごとに固有に設定される補正データである。基板処理装置１，１・・・が同一の装置構成である場合、基本的には、同一の設定情報、つまり、装置基本データ１５１ｂにより制御することが可能であるが、実際には、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。これは、基板処理装置の装置構成が同一の場合でも、厳密には、各装置間で装置構成にばらつきがあるためであり、また、基板処理装置の設置場所や設置環境の違いから、環境に応じた調整が必要となるためである。つまり、基板処理装置が同一の処理を行うことにより、同一の処理結果を生むためには、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。
【００４４】
装置固有データ１５１ｃには、たとえば、ティーチングデータや温度調節補正データなどのデータが含まれる。
【００４５】
ティーチングデータは、前述したロボット基本データを補正するデータである。搬送ロボットＴＲは、基板処理装置が同一の装置構成であれば、基本的には、同一の設定情報に従って同一の動作を行えばよい。しかし、多数の部材や可動部を含む搬送ロボットＴＲは、その構成に微妙な差があることにより、動作に誤差が生じる。そこで、搬送ロボットＴＲの動作が最適となるよう調整し、その調整時の設定情報をティーチングデータとして蓄積するのである。そして、ティーチングデータによって、ロボット基本データを補正することにより、搬送ロボットＴＲの制御を最適化することができるのである。
【００４６】
また、温度調節補正データは、基板処理装置１の設置場所、設置環境の違いにより、デフォルトで設定されている温度調節データを補正するデータである。
【００４７】
このように、基板処理装置１は、レシピデータ１５１ａによって、その処理工程順序が決定され、その動作は、デフォルトとして設定される装置基本データ１５１ｂと装置ごとの補正データである装置固有データ１５１ｃを用いて制御されるのである。
【００４８】
｛５．システムの機能および処理内容｝
以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、装置管理サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成、および、設定情報１５１の内容について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図６は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。
【００４９】
図６において、基本データ要求部１２１、バージョン取得部１２２、基本データ登録部１２３はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が保守プログラム１５４を実行することによって実現される処理部である。この保守プログラム１５４は、記憶部１０４に格納されている。
【００５０】
また、図６において、基本データ要求部２２１は、装置管理サーバ２のＣＰＵ２１が保守プログラム２５１を実行することによって実現される処理部である。この保守プログラム２５１は、固定ディスク２４に格納されている。
【００５１】
また、図６において、基本データ設定部３２１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が保守プログラム３５１を実行することによって実現される処理部である。この保守プログラム３５１は、固定ディスク３４に格納されている。
【００５２】
基本データ要求部１２１は、基板処理装置１からサポートセンター５に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を送出する機能部である。ユーザは、基板処理装置１に設けられた操作部１４０において、装置基本データ１５１ｂの取得指示を行う。この指示入力に応答して、基本データ要求部１２１は、サポートコンピュータ３２１の基本データ設定部３２１に対して、装置基本データ１５１ｂの送信依頼を行うのである。
【００５３】
なお、オペレータによる入力操作を容易にするために、表示部１３０には、装置基本データ１５１ｂを取得するためのメニューを表示するようにすればよい。そして、ガイダンスにしたがって入力操作を可能にすれば、オペレータの負担軽減を図ることができる。また、サポートセンター５に複数のサポートコンピュータ３が存在する場合であって、装置基本データ１５１ｂの送信依頼先が固定されていない場合には、オペレータは、入力操作によって装置基本データ１５１ｂの送信要求を行うサポートコンピュータ３を特定する。
【００５４】
バージョン取得部１２２は、基板処理装置１全体を制御する制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンを検出する機能部である。基板処理装置１は、サポートコンピュータ３に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を行うが、この装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置１を制御する制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンによって、異なる設定内容をもっている。そこで、自己の装置のソフトウェアバージョンをサポートコンピュータ３に通知することにより、ソフトウェアバージョンに対応した装置基本データ１５１ｂを送信要求するのである。
【００５５】
装置管理サーバ２の備える基本データ要求部２２１も、基本的には、基板処理装置１の備える基本データ要求部１２１と同様の機能を備えている。装置管理サーバ２において、オペレータがキーボード２６ａ、マウス２６ｂ等をもちいて基本データの要求指示入力を行うと、基本データ要求部２２１により装置基本データ１５１ｂの送信要求指示が送出される。
【００５６】
ただし、装置管理サーバ２から装置基本データ１５１ｂの送信要求を行う場合には、装置基本データ１５１ｂの登録先である基板処理装置を特定する操作を行うものとする。これにより、基板処理工場４内に設置された全ての基板処理装置１，１・・・に対して、装置管理サーバ２から基本データの送信要求を送出することができるのである。なお、基本データ要求部２２１は、ＬＡＮ４１経由で、基板処理装置１のバージョン取得部１２２に対してソフトウェアバージョンの取得要求を行う。これにより、基本データ要求部２２１は、ソフトウェアバージョンを特定したうえで、サポートコンピュータ３に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を送出するのである。
【００５７】
図７は、サポートコンピュータ３の固定ディスク３４に蓄積されているバージョン別の装置基本データ１５１ｂを示している。各装置基本データ１５１ｂのバージョンは、基板処理装置１の制御部プログラム１５１ｂのソフトウェアバージョンに対応している。
【００５８】
なお、本実施の形態においては、基板処理装置１の全体制御を行っている制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンに対応して装置基本データ１５１ｂを管理するようにしているが、各処理ユニットを制御している制御プログラム１５３に対応した装置基本データもあわせて管理するようにしてもよい。この場合には、システム制御部１００のバージョン取得部１２２は、ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納されている制御プログラム１５３のバージョン情報も検出するようにする。
【００５９】
サポートコンピュータ３の基本データ設定部３２１は、基本データ要求部１２１（もしくは、基本データ要求部２２１）から装置基本データの送信要求指示を受けると、送信要求指示データに含まれている制御プログラム１５２のソフトウェアバージョンを取得し、このソフトウェアバージョンに対応した装置基本データ１５１ｂを固定ディスク３４から抽出する。そして、抽出した装置基本データ１５１ｂを基板処理装置１に対して送信するのである。
【００６０】
基板処理装置１では、基本データ登録部１２３が、サポートコンピュータ３から送信された装置基本データ１５１ｂを受信するとともに、そのデータを記憶部１０４に格納する。このようにして、基板処理装置１には、当該基板処理装置１の制御プログラムに対応した初期設定が行われることになる。
【００６１】
図７では、制御プログラム１５２のバージョン１．０がインストールされている基板処理装置１Ａに装置基本データ（Ver1.0）が格納され、制御プログラム１５２のバージョン２．０がインストールされている基板処理装置１Ｂに装置基本データ（Ver2.0）が格納された状態を示している。
【００６２】
このように、本実施の形態における基板処理システムにおいては、基板処理装置１を制御するための基本情報である装置基本データ１５２ｂをネットワークを介して容易に取得し、基板処理装置１に反映させることができるので、同一のソフトウェアバージョンで制御される同一の基板処理装置に対しては、常に、安定した初期設定操作が行えることとなる。同時に、同一のソフトウェアバージョンで制御される複数の基板処理装置に対して初期設定操作を行う場合にも、各基板処理装置には、同一の初期設定が行われる。つまり、複数の基板処理装置の初期設定状態をシンクロさせることができるのである。これにより、オペレータが手作業で装置基本データ１５１ｂをコピーしていた場合に生じていた装置間の設定のばらつきを完全に回避することが可能となるのである。
【００６３】
なお、装置基本データ１５１ｂが、各基板処理装置１に登録された後は、各基板処理装置１において、装置ごとに固有のチューニング操作が行われる。そして、各基板処理装置１は、サポートコンピュータ３から受信した装置基本データ１５１ｂと、装置ごとで作成された装置固有データ１５１ｃにしたがって最適制御されることになる。
【００６４】
｛６．変形例｝
上記実施の形態においては、サポートコンピュータ３では、基板処理装置１にインストールされている制御プログラムのソフトウェアバージョンを判断することによって、適切な装置基本データ１５１ｂを送信するようにしているが、基板処理装置１が自己の装置種別を情報としてサポートコンピュータ３に通知するようにすれば、異なる基板処理装置が混在している場合でも、各基板処理装置の装置種別に応じた装置基本データを送信するようにすることが可能である。
【００６５】
また、上記実施の形態においては、基板処理装置１に共通して設定される装置基本データ１５１ｂをサポートコンピュータ３で管理するようにしているが、装置固有データ１５１ｃをサポートコンピュータ３で管理するようにしてもよい。装置固有データ１５１ｃは、前述のごとく、各装置において固有の情報であるため、そのデータを直接他の装置において利用することができるとは限らないが、ユーザが、ある基板処理装置において設定した装置固有データ１５１ｃをノウハウとして他の装置においても流用するといった目的で利用することが可能である。
【００６６】
また、本実施の形態においては、システム制御部１００が備えるバージョン取得部１２２により、自動的に制御プログラムのソフトウェアバージョンを検出するようにしているが、この機能部は必須のものではない。前述のごとく、ユーザが操作部１４０を用いて装置基本データ１５１ｂの送信要求指示を入力する際に、あわせて、自己の装置のソフトウェアバージョンを指定するようにしてもよい。ただし、人為的なミスを回避するためには、バージョン取得部１２２によりソフトウェアバージョンを自動検出することが、より好ましい。
【００６７】
【発明の効果】
以上、説明したように請求項１の発明は、サポートコンピュータが、基板処理装置を制御するための基本情報を蓄積し、基板処理装置は、ネットワークで接続されたサポートコンピュータから、基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した初期設定情報である基本情報を受信し、この基本情報を登録するので、基板処理装置の導入時や再設定時において、正確、かつ、容易に、初期設定を行うことができる。
【００６９】
請求項２の発明は、基板処理装置から通知されたソフトウェアバージョンに対応した基本情報がサポートコンピュータから送信されるので、基板処理装置のメンテナンス性が格段に向上する。
【００７０】
請求項３の発明は、基板処理装置側から基本情報の送信要求を行うことを可能としており、利便性が高い。
【００７１】
請求項４の発明は、サポートコンピュータ側から基本情報の送信指示を行うことを可能としており、厚いユーザサポート体制を提供することができる。
【００７２】
請求項６の発明は、基板処理装置は、ネットワークで接続されたコンピュータから、基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した初期設定情報である基本情報を受信し、この基本情報を登録するので、基板処理装置の導入時や再設定時において、正確、かつ、容易に、初期設定を行うことができる。
【００７３】
請求項７の発明は、基本情報は、同一種類の基板処理装置に共通して設定される情報であるので、複数の基板処理装置が存在する場合には、各基板処理装置の初期状態を確実に統一することができる。
【００７４】
請求項８の発明は、基本情報は基板処理装置にインストールされる制御プログラムのソフトウェアバージョンごとに管理されており、基板処理装置は、自己の装置にインストールされているソフトウェアバージョンを通知する手段を有するので、ソフトウェアバージョンに対応した基本情報の送信要求を行うことが可能となる。
【００７５】
請求項９の発明は、基板処理装置は基本情報の送信要求を行う手段を有するので、利便性が高い。
【００７６】
請求項１０の発明は、方法の発明であり、ネットワークを利用して容易、かつ、確実に、基板処理装置の初期設定を行うことが可能である。
【００７７】
請求項１１の発明は、プログラムの発明であり、基板処理装置の備えるコンピュータにインストールされることによって、初期設定操作が効率的に行える基板処理装置を実現することができる。
【００７８】
請求項１２の発明は、初期設定操作が効率的に行える基板処理装置を実現するプログラムを格納した記録媒体であり、記録媒体を頒布することにより、容易に、プログラムのインストールが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成図である。
【図２】基板処理装置の概略平面図である。
【図３】基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。
【図４】装置管理サーバおよびサポートコンピュータの基本構成を示す図である。
【図５】設定情報の内容の一例を示す図である。
【図６】基板処理システムの機能構成を示すブロック図である。
【図７】サポートコンピュータにおいて管理されるバージョンごとの装置基本データを示す図である。
【符号の説明】
１基板処理装置
２装置管理サーバ
３サポートコンピュータ
４基板処理工場
５サポートセンター
６ネットワーク
１０基板処理システム
１００システム制御部
１２１基本データ要求部
１２２バージョン取得部
１２３基本データ登録部
１０４，１１４記憶部
１５１設定情報
１５１ｂ装置基本データ
１５２，１５３制御プログラム
３２１基本データ設定部

Claims

複数の基板処理装置とサポートコンピュータとを備える基板処理装置管理システムであって、前記複数の基板処理装置と前記サポートコンピュータとはネットワークを介して接続されており、
前記サポートコンピュータは、
a-1)基板処理装置の初期設定時に必要な初期設定情報であって基板処理装置の機構部および制御部の動作の設定値を規定した基本情報を格納する第１の記憶手段と、
a-2)前記基本情報を前記ネットワークを介して前記複数の基板処理装置に送信する基本情報送信手段と、
を備え、
前記複数の基板処理装置のそれぞれは、
b-1)前記サポートコンピュータより受信した基本情報を格納する第２の記憶手段、
を備え、
前記基本情報は、同一種類の基板処理装置について共通して設定される情報であって、基板処理装置を制御する制御プログラムのバージョンによって異なる情報であり、
前記複数の基板処理装置のうち同一のバージョンの制御プログラムによって制御される基板処理装置は、前記第２の記憶手段に格納された基本情報によって、初期状態が同一に整備されることを特徴とする基板処理装置管理システム。
請求項１に記載の基板処理装置管理システムにおいて、
前記複数の基板処理装置のそれぞれは、さらに、
b-2) 自己の装置にインストールされている制御プログラムのバージョンを前記サポートコンピュータに通知する手段、
を備え、
前記基本情報送信手段は、
a-2-1) 基板処理装置から通知されたプログラムのバージョンに応じて、対応する基本情報を基板処理装置に送信する手段、
を含むことを特徴とする基板処理装置管理システム。
請求項１または請求項２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、
前記複数の基板処理装置のそれぞれは、さらに、
b-3) 前記サポートコンピュータに対する前記基本情報の送信要求を指示する手段、
を備えることを特徴とする基板処理装置管理システム。
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、
前記サポートコンピュータは、さらに、
a-3) 前記複数の基板処理装置に対する前記基本情報の送信を指示する手段、
を備えることを特徴とする基板処理装置管理システム。