JP4238201B2

JP4238201B2 - 検査方法および検査装置

Info

Publication number: JP4238201B2
Application number: JP2004343281A
Authority: JP
Inventors: 林　　謙太
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2004-11-29
Filing date: 2004-11-29
Publication date: 2009-03-18
Anticipated expiration: 2024-11-29
Also published as: JP2006153605A

Description

本発明は、液晶、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）に代表される表示パネル、または、半導体回路等を検査する検査技術に関し、更に詳しくは、検査効率を高める検査技術に関する。

従来、液晶、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）に代表される表示パネル、または、半導体回路等のシート状をした検査対象物の外観を検査する際は、１台のカメラで検査対象物の全面を検査する方法が一般的であった。例えば、特許文献１においては、半導体デバイス又は表示デバイスの製造に用いる基板を検査対象物とし、検査対象物の表面領域全体を包含する画像を出力するカメラを用いて検査対象物の画像データを上方から撮像し、カメラから出力された画像データを解析することで、検査対象物の表面領域全体に付着した異物を検査する基板外観検査装置が開示されている。

しかしながら、検査対象物のサイズ（例えば、半導体ウェハのインチサイズ）は大きくなる傾向にあり、かつ高精度な検査測定精度も要求されているので、１つの検査対象物を検査する時間を考えると、１台のカメラで検査対象物の全面を検査することが、不可能になりつつある。

特許文献２は、大きなサイズの検査対象物を、短時間で高精度に検査できる検査技術に関する発明で、１つのフラットディスプレイの表示素子を撮像するために、複数のＣＣＤカメラを設け、複数のＣＣＤカメラの出力画像を処理することで、１つのフラットディスプレイの表示素子を短時間で高精度に検査する検査装置を提供している。
特開２００１−３３３９５号公報特開２００４−２２６０８３号公報

上述したように、特許文献２で開示されている技術は、大きなサイズの検査対象物を、短時間で高精度に検査できる検査技術ではあるが、次に述べる問題があった。一つ目の問題点は、検査対象物のサイズが大きくなると、一つの検査対象物を測定するために、数十台のカメラが必要になる場合があるため、検査装置のコストが高価になってしまう点である。例えば、検査対象物の検査幅方向の寸法が１０００ｍｍあり、１台のカメラの検査幅が２０ｍｍだとすると、一つの検査対象物を検査するために５０台ものカメラが必要になってしまう。

図１１は、この一つ目の問題点を解決する一般的な検査方法を説明するための図で、一つの検査対象物の一部を複数台のカメラで撮像し、検査する部分を移動させることで、設置するカメラの台数を減らし、かつ、検査対象物の全面を検査する時間を短くする検査方法も考えられている。

図１１（ａ）では、一つの検査対象物のある一部の領域をスキャンする３台のカメラを設置し、カメラで撮像した画像を処理する画像処理装置を、それぞれのカメラごとに設置している。図１１（ａ）の構成においては、３台のカメラを同時に移動させ３回スキャンすることで、一つの検査対象物の全面を検査することができる。

しかしながら、上述した検査方法では、図１１（ｂ）に示しているように、図１１（ａ）の検査対象物よりもサイズが小さい検査対象物であるにも関わらず、３回目のスキャンに要する検査時間（カメラがスキャンするために必要な時間、画像を処理するために必要な時間）は、図１１（ａ）で示したサイズの大きい検査対象物と同じ検査時間であるため、一つの検査装置でサイズの異なる複数の検査対象物を検査する場合には、効率的な検査ができない問題があった。

上述した課題を解決する手段である第１の発明は、複数のカメラを用いて、少なくとも一つの検査対象物の欠陥を光学的に検査する検査方法であって、前記検査対象物の全体を検査する幅寸法である検査幅に基づいて、一台の前記カメラが検査を担う幅寸法であるカメラ検査幅が均等になるように演算するカメラ検査幅演算工程と、前記カメラ検査幅演算工程で演算した前記カメラ検査幅すべてを、一台の前記カメラが検査するために要するスキャン回数とスキャン幅とを含むスキャン条件を演算するスキャン条件演算工程と、前記スキャン条件演算工程で演算された前記スキャン条件から検査開始前の前記カメラの位置条件を演算し、演算した前記位置条件に各々の前記カメラを設定するカメラプリセット工程と、前記スキャン条件演算工程で演算された前記スキャン条件に基づいて、前記カメラまたは前記検査対象物を移動させながら、前記検査対象物を光学的に検査する検査工程とから成り、前記スキャン条件演算工程は、前記カメラがスキャンできる最大の前記スキャン幅である最大スキャン幅と前記カメラ検査幅とからスキャン回数を演算するステップと、最後のスキャンを除くすべてスキャン時のスキャン幅を前記最大スキャン幅とし、前記カメラがスキャンする幅が前記カメラ検査幅と一致するように、最後のスキャン時のスキャン幅を演算で求めるステップを含むことを特徴とする検査方法である

更に、第２の発明は、複数のカメラを用いて、少なくとも一つの検査対象物の欠陥を光学的に検査する検査方法であって、前記検査対象物の全体を検査する幅寸法である検査幅に基づいて、一台の前記カメラが検査を担う幅寸法である検査するカメラ検査幅が均等になるように演算するカメラ検査幅演算手段と、前記カメラ検査幅演算手段で演算した前記カメラ検査幅すべてを一台の前記カメラが検査するために要するスキャン回数と、スキャン幅とを含むスキャン条件を演算するスキャン条件演算手段と、前記スキャン条件演算手段で演算された前記スキャン条件から検査開始前の前記カメラの位置条件を演算し、演算した前記位置条件に各々の前記カメラを設定する機構を有するカメラプリセット手段と、前記スキャン条件演算手段で演算された前記スキャン条件に基づいて、前記カメラまたは前記検査対象物を移動させる機構を有し、前記検査対象物を光学的に検査する検査手段とから成り、前記スキャン条件演算手段は、前記スキャン回数は前記カメラがスキャンできる最大の前記スキャン幅である最大スキャン幅と前記カメラ検査幅とから演算し、最後を除くすべての前記スキャン幅を前記最大スキャン幅とし、前記カメラがスキャンする幅が前記カメラ検査幅と一致するように、最後のスキャン時のスキャン幅を演算で求める手段であることを特徴とする検査装置である。

第１または２の発明の作用によれば、一台の前記カメラが検査する幅を均等にすることで、検査時には設置されたすべての前記カメラが使用される。検査時に設置されたすべての前記カメラが使用されることは、検査の効率を高まることにつながり、前記スキャン幅は前記カメラごとに異なることがなく、前記カメラごとに処理すべき画像データ量が均一になるため、画像データの処理部の負荷も均一になることで、あるカメラの処理部に負荷が集中し、検査の効率が低下することはなくなる。

また、第２の発明の作用によれば、前記スキャン幅は前記カメラごとに異なることがなく、前記カメラごとに処理すべき画像データ量が均一になるため、画像データの処理部の負荷も均一になることで、あるカメラの処理部に負荷が集中し、検査の効率が低下することはなくなる。

上述した発明によれば、一つの検査装置でサイズの異なる複数の検査対象物を検査する場合においても、検査する時には設置されたすべての前記カメラが使用されるため、すべての検査対象物において効率よく検査することができる。加えて、前記カメラごとに処理すべき画像データ量を均一にすることで、画像データ処理においても、検査の効率を高めることができる。

ここから、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明を適用したシート状の検査対象物を検査する検査装置の概要図、図２は検査装置の機能ブロック図である。図１に示した検査装置は、検査対象物として、シート状ワーク１０（以下、ワーク）の全表面を検査する装置で、ワーク１０としては、回路形成後のプリント基板、リードフレーム加工後の金属板、液晶表示パネルまたは半導体ウェハなどを想定している。

図１に示したように、検査装置には、検査対象となるワーク１０を載せるワークステージ５０と、ワーク１０の表面を撮像する３台のＣＣＤカメラ２０〜２２が設置されている。ＣＣＤカメラ２０〜２２は３つのテーブル８０〜８２にそれぞれ設置され、テーブル８０〜８２は、リニアモータを利用したリニアステージ７０にセットされている。また、リニアステージ７０はベースステージ６０にセットされ、ベースステージ６０にはリニアステージ７０を移動させるための手段であるモータ６１およびボールネジ６２が備えられている。検査装置には、ワークステージ５０、テーブル８０〜８２およびリニアステージ７０の位置を制御するシーケンサ４０と、３台のＣＣＤカメラ２０〜２２から入力される画像信号を分散処理するとともに、シーケンサ４０に制御信号を送信するコンピュータ３０とから少なくとも構成されている。

図１の検査装置が有する機能を説明するために、図２には検査装置の機能ブロック図を示している。図２に示したように、検査装置は、ワーク１０を検査するワーク検査部１００と、ワーク１０を検査する前にＣＣＤカメラ２０〜２２の位置をプリセットするカメラプリセット部２００と、ワーク検査部１００およびカメラプリセット部２００を制御する制御部３００とを備えている。

ワーク検査部１００は、ワーク１０の表面の画像データを入力する複数のカメラ１２０と、複数のカメラ１２０から入力された画像データを分散処理する画像処理手段１１０と、検査中にワーク１０を移動させるワーク移動手段１３０と、カメラ１２０の位置を移動させるカメラ移動手段１４０とを備えている。

図１において、カメラ１２０は３台のＣＣＤカメラ２０〜２２および光源（図示していない）で実現される。本実施の形態において、ＣＣＤカメラ２０〜２２はラインＣＣＤカメラとしている。ＣＣＤカメラ２０〜２２の最大スキャン幅は、1ラインあたりの画素数と検査に必要とする分解能によって決定される。例えば、１ラインあたり１０２４画素のカメラを使用し、検査に必要な分解能が０．１ｍｍならば、最大スキャン幅は１０２．４ｍｍとなる。また、図示していない光源も、検査内容によって光源の種類または位置が決定される。

画像処理手段１１０は、それぞれのカメラ１２０から入力された画像データを分散処理し、ワーク１０の表面を検査する手段であり、コンピュータ３０に組み込まれた画像処理専用装置（例えば、画像処理ボード）やコンピュータ３０にインストールされたソフトウェア（例えば、画像処理ソフトウェア）で実現される。当然のことながら、ワーク１０を検査する内容ごとに画像処理手段１１０は異なるため、コンピュータ３０は検査内容に応じて画像処理手段１１０を選択できる機能（例えば、起動する画像処理ソフトウェアを選択する機能）を備えていることが望ましい。

ワーク移動手段１３０は、検査中にワーク１０を移動させる手段で、ワークステージ５０で実現される。ワーク１０をワークステージ５０に固定させる機構はワーク１０の種別によって機構（例えば、半導体ウェアならば吸着機構）は異なるが、ワークステージ５０はＸ軸ステージで実現できる。なお、ワーク１０を移動させる速度は検査の流れ方向の分解能と密接な関係があるため、ワーク移動手段１３０はワーク１０の移動速度を任意に設定できる機能を備えていることが望ましい。

カメラ移動手段１４０は、検査中にカメラの位置を移動させる手段で、ベースステージ６０で実現される。図１のベースステージ６０には精密なボールネジ６１が内蔵され、リニアステージ７０はボールネジ６１にセットされている。ベースステージ６０にはボールネジ６１を回転させるモータ６２が設けられ、モータ６２でボールネジ６１を回転させることで、リニアステージ７０が移動し、ＣＣＤカメラ２０〜２２の位置を同時に同じ距離だけ移動させることができ、ＣＣＤカメラ２０〜２２が撮像するワークの領域を変更することができる。

図２のカメラプリセット部２００は、ワーク１０を検査する前に、カメラ（ここではＣＣＤカメラ２０〜２２の位置）をプリセットする機能を有し、検査するワーク１０の寸法が入力されるワーク寸法入力手段２３０と、ワーク１０の寸法に基づいてカメラのプリセット位置を演算するカメラ位置演算手段２２０と、プリセット位置にカメラを移動させるカメラ位置設定手段を備えている。

カメラプリセット部２００のワーク寸法入力手段２３０は、検査装置にワーク寸法を入力する手段で、コンピュータ４０のデータ入力周辺機器（例えば、キーボード）で実現される。ワーク寸法入力手段２３０には、コンピュータ４０の外部から少なくともワーク１０の幅寸法とワーク１０の長さ寸法が入力される。

カメラ位置演算手段２２０は、ワーク寸法入力手段２３０で入力されたワーク１０の幅寸法から、カメラ１２０のプリセット位置を演算する手段で、コンピュータ４０の演算機能を利用したソフトウェアで実現される。

図３は、カメラ１２０のプリセット位置を説明する図である。本実施の形態において、プリセットされるＣＣＤカメラ２０〜２２の位置は、ワーク１０端PｏからＣＣＤカメラ２０の中心線までの距離Ｐｔ１と、ＣＣＤカメラ２０（ＣＣＤカメラ２１）の中心線からＣＣＤカメラ２１（ＣＣＤカメラ２２）の中心線まで距離Ｐｔ２である。当然のことながら、同じワーク１０ならば、カメラプリセット部２００は、Ｐｔ１およびＰｔ２を検査開始前に一回だけ設定すればよい。

本実施の形態においては、図３のＰｔ１は、ＣＣＤカメラ２０が初回のスキャンで、ワーク１０を撮像するスキャン幅（Scan Range）の１／２とし、Ｐｔ２は、１台のＣＣＤカメラ２０〜２２が検査する検査幅（Test Width）としている。なお、Ｐｔ１、Ｐｔ２の詳細な演算内容については後述する。

カメラ位置設定手段２１０は、カメラ位置演算手段２２０で演算されたプリセット位置（ここでは、Ｐｔ１、Ｐｔ２）に、それぞれのカメラ１２０の位置を個別に設定する手段で、リニアステージ７０で構成されている。リニアステージ７０には複数のマグネットとリニアベアリングが設けられ、各々のテーブル８０〜８２に埋め込まれたコイルが発生する磁力によって、独立してテーブル８０〜８２がリニアステージ７０上を移動・停止し、ＣＣＤカメラ２０〜２２の位置を個別にプリセットできる。

なお、カメラ位置設定手段２１０は検査開始前のＣＣＤカメラ２０〜２２の位置をプリセットするときのみ動作し、検査時にＣＣＤカメラ２０〜２２を移動させる手段はカメラ移動手段１４０が使用される。

制御部３００は、上述したワーク検査部１００およびカメラプリセット部２００を制御する機能を有し、コンピュータ３０にインストールされたソフトウェアで実現される。

ここから、本発明の検査方法の手順を示しながら、カメラ１２０（ＣＣＤカメラ２０〜２２）のプリセット位置（Ｐｔ１、Ｐｔ２）を演算する手順、および、カメラ移動手段１４０が検査中にＣＣＤカメラ２０〜２２の位置を移動させる内容についても、図を参照しながら詳細に説明する。

図４は、検査方法の手順を示したフロー図である。図４に示したように、本発明に係わる検査方法の最初のステップは、検査するワーク１０の寸法（長さ寸法、幅寸法等）が入力されるステップ（Ｓ１０）である。図１の検査装置において、ワーク寸法は、キーボード等のワーク寸法入力手段２３０から検査装置に入力される。

次のステップは、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２が検査する検査幅（Test Width）を演算するステップ（Ｓ２０）である。検査幅（Test Width）は、ワーク幅寸法（Work Width）をＣＣＤカメラ台数（図１では３台）で割ることで演算される。例えば、ワーク寸法が９００ｍｍで、ＣＣＤカメラの台数が３台ならば、検査幅（Test Width）は３００ｍｍになる。なお、図１の検査装置においては、コンピュータ３０（カメラ位置演算手段２２０）にて検査幅（Test Width）が演算される。

そして、次のステップは、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２がスキャンするスキャン回数（Scan Times）とスキャン幅（Scan Range）を演算するステップ（Ｓ３０）である。スキャン回数とスキャン幅を演算する詳細手順については、図５、６を用いて後に詳細に説明する。

そして、次のステップは、カメラ位置のプリセット値（Ｐｔ１、Ｐｔ２）を演算するステップ（Ｓ４０）である。図１においては、ＣＣＤカメラのプリセット値（Ｐｔ１）は、ＣＣＤカメラ２０が初回のスキャンで、ワーク１０を撮像するスキャン幅（Scan Range）の１／２となり、ＣＣＤカメラのプリセット値（Ｐｔ２）は、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２が検査する検査幅（Test Width）となる。

最後のステップは、ワーク１０を検査するステップ（Ｓ５０）である。このステップでは、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２がワーク１０の表面を、演算されたスキャン幅（Scan Range）でスキャン回数（Scan Times）だけ撮像する。各々のＣＣＤカメラ２０〜２２で入力された画像データは、検査装置のコンピュータ３０内部に記憶され、すべての画像データを入力した後、画像データを処理することで、ワーク１０の表面が検査される。

ここから、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２がスキャンするスキャン回数（Scan Times）と１スキャン当たりのスキャン幅（Scan Range）を演算する内容について、詳細に説明する。

本発明において、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２がスキャンするスキャン回数（Scan Times）と１スキャン当たりのスキャン幅（Scan Range）を演算する態様には、２つの態様があり、図５は、第１の態様の演算手順を示したフロー図である。第１の態様とは、スキャン幅を最大有効視野（Valid Range）とし、最後のスキャン幅（Scan Range）のみを、検査幅（Test Width）の未スキャン領域の幅となるように演算する方法である。

第１の態様の演算方法において最初のステップは、検査幅（Test Width）を最大有効視野（Valid Range）で割り、その商（Ｑ）を演算するステップ（Ｓ１００）である。次のステップは、検査幅（Test Width）を最大有効視野（Valid Range）で割り、その余りを確認するステップ（Ｓ１１０）である。余りが「０」の場合はステップ（Ｓ１２０）に進み、余りが「０」でない場合はステップ（Ｓ１４０）に進む。

ステップ（Ｓ１４０）においては、検査幅（Width）が最大有効視野（Valid Range）で割り切れるため、スキャン回数（Scan Times）を商（Ｑ）とし、すべてのスキャン幅（Scan Range）を最大有効視野（Valid Range）とする（ステップＳ１３０）。ステップ（Ｓ１４０）においては、検査幅（Width）が最大有効視野（Valid Range）で割り切れないため、スキャン回数（Scan Times）を商（Ｑ）＋１とし、最後にスキャンする幅（Last Scan Range）を最大有効視野よりも短くすること（Last Scan Range = Test Width ？ Valid Range × (Q-1)）で（ステップＳ１５０）、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２がスキャンする幅を検査幅（Test Width）と一致させる。

図６、7および8は、第１の態様のスキャン回数（Scan Times）とスキャン幅（Scan Range）を演算する内容を説明するための図である。図6は、第１の態様のステップ（Ｓ１１０）において、検査幅（Width）が最大有効視野（Valid Range）に割り切れた場合を説明する図である。図６に示したように、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２が検査する検査幅（Test Width）は、ワーク１０の幅寸法（Work Width）をＣＣＤカメラの台数（ここでは３台）で均等に分割された幅寸法になっている。そして、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２の間隔は検査幅（Test Width）に設定され、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２のスキャン幅（Scan Range）は、最大有効視野（Valid Range）となる。図6においては、それぞれのＣＣＤカメラ２０〜２２が２回スキャンすることで、ワーク１０の全表面を検査できる。

図７、８は、第１の態様のステップ（Ｓ１１０）において、検査幅（Width）が最大有効視野（Valid Range）で割り切れない場合を説明する図である。図７に示したように、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２が検査する検査幅（Test Width）は、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２の最大有効視野（Valid Range）を２倍した値よりも大きく、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２の最大有効視野（Valid Range）を３倍した値よりも小さいため、最後のスキャン幅（Scan Range）は、最大有効視野（Valid Range）よりも狭くすることで対応している。このように対応することで、例えば、図１１（ｂ）のようなケースでも、３回目のスキャン幅を３台のカメラに均等に分割することで、画像処理を均等に分散させることができ、検査時間を短縮することができる。

図８（ａ）は、検査中のＣＣＤカメラ２０〜２２が移動する内容を説明する図である。図８に示しているように、１回目のスキャンから２回目のスキャンに移行するときの、ＣＣＤカメラ２０〜２２の移動量は最大有効幅（Valid Width）であるが、２回目のスキャンから３回目のスキャンに移行するときの、ＣＣＤカメラ２０〜２２の移動量は最大有効幅（Valid Width）よりも小さい幅（Last Scan Width）になる。そして、図８（ｂ）に示したようにＣＣＤカメラ２０〜２２の有効画素も、１、２回目のスキャンのときは最大有効幅（Valid Width）に対応する画素が有効であるが、３回目のスキャンのときは幅（Last Scan Width）に対応する画素のみが有効になるように、画像処理手段１００で処理している。

図９は、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２がスキャンするスキャン回数（Scan Times）と１スキャン当たりのスキャン幅（Scan Range）を演算する方法の第２の態様である。第２の態様の演算手順は、各々のＣＣＤカメラ２０〜２２の検査幅（Test Width）をスキャンするために必要な最小のスキャン回数（Scan Times）を演算するところから始まる。最初のステップは、回数（Ｔ）を「１」に設定するステップ（Ｓ２００）である。次のステップは、スキャン幅（Scan Range）に回数（Ｔ）を掛けるステップ（Ｓ２１０）である。そして、次のステップは、前記値が検査幅（Test Width）以上になることを確認するステップ（Ｓ２２０）である。前記値が検査幅（Test Width）以上になればステップ（Ｓ２４０）に進み、以上でなれけばステップ（Ｓ２３０）に進む。

ステップ（Ｓ２３０）においては、回数（Ｔ）を「１」を加算した後に、ステップ（Ｓ２１０）に戻る。ステップ（Ｓ２４０）においては、スキャン回数（Scan Times）を回数（Ｔ）に設定する。そして、ステップ（Ｓ２５０）では、１スキャン当たりのスキャン幅（Scan Range）が、検査幅（Test Width）をスキャン回数（Scan Times）で割ることで演算される。

図１０は、第２の態様の演算内容を説明する図である。図１０（ａ）に示したように、１スキャン当たりのスキャン幅（Scan Range）は、検査幅（Test Width）をスキャン回数（Scan Times）で均等に分割した寸法となる。また、図１０（ｂ）に示したように、ＣＣＤカメラ２０〜２２の有効画素も、スキャン幅（Scan Range）に対応する画素のみが有効になる。

検査装置の概要構成図。検査装置の機能ブロック図。カメラのプリセット位置を説明する図。検査方法の手順を示したフロー図。スキャン回数とスキャン幅を演算する第１の態様の演算手順を示したフロー図。スキャン回数とスキャン幅を演算する第１の態様の演算方法を説明する第１図。スキャン回数とスキャン幅を演算する第１の態様の演算方法を説明する第２図。スキャン回数とスキャン幅を演算する第１の態様の演算方法を説明する第３図。スキャン回数とスキャン幅を演算する第２の態様の演算手順を示したフロー図。。スキャン回数とスキャン幅を演算する第２の態様の演算方法を説明する図。従来の検査方法を説明する図。

符号の説明

１０ワーク
２０〜２２ＣＣＤカメラ
３０コンピュータ
４０シーケンサ
５０ワークステージ
６０ベースステージ
６１モータ
６２ボールネジ
７０リニアガイド
８０〜８２リニアステージ
１００ワーク検査部
１１０画像処理手段
１２０カメラ
１３０ワーク移動手段
１４０カメラ移動手段
２００カメラプリセット部
２１０カメラ位置設定手段
２２０カメラ位置演算手段
２３０ワーク寸法入力手段
３００制御部

Claims

複数のカメラを用いて、少なくとも一つの検査対象物の欠陥を光学的に検査する検査方法であって、
前記検査対象物の全体を検査する幅寸法である検査幅に基づいて、一台の前記カメラが検査を担う幅寸法であるカメラ検査幅が均等になるように演算するカメラ検査幅演算工程と、
前記カメラ検査幅演算工程で演算した前記カメラ検査幅すべてを、一台の前記カメラが検査するために要するスキャン回数とスキャン幅とを含むスキャン条件を演算するスキャン条件演算工程と、
前記スキャン条件演算工程で演算された前記スキャン条件から検査開始前の前記カメラの位置条件を演算し、演算した前記位置条件に各々の前記カメラを設定するカメラプリセット工程と、
前記スキャン条件演算工程で演算された前記スキャン条件に基づいて、前記カメラまたは前記検査対象物を移動させながら、前記検査対象物を光学的に検査する検査工程とから成り、
前記スキャン条件演算工程は、前記カメラがスキャンできる最大の前記スキャン幅である最大スキャン幅と前記カメラ検査幅とからスキャン回数を演算するステップと、最後のスキャンを除くすべてスキャン時のスキャン幅を前記最大スキャン幅とし、前記カメラがスキャンする幅が前記カメラ検査幅と一致するように、最後のスキャン時のスキャン幅を演算で求めるステップを含むことを特徴とする検査方法。
複数のカメラを用いて、少なくとも一つの検査対象物の欠陥を光学的に検査する検査方法であって、
前記検査対象物の全体を検査する幅寸法である検査幅に基づいて、一台の前記カメラが検査を担う幅寸法である検査するカメラ検査幅が均等になるように演算するカメラ検査幅演算手段と、
前記カメラ検査幅演算手段で演算した前記カメラ検査幅すべてを一台の前記カメラが検査するために要するスキャン回数と、スキャン幅とを含むスキャン条件を演算するスキャン条件演算手段と、
前記スキャン条件演算手段で演算された前記スキャン条件から検査開始前の前記カメラの位置条件を演算し、演算した前記位置条件に各々の前記カメラを設定する機構を有するカメラプリセット部と、前記スキャン条件演算手段で演算された前記スキャン条件に基づいて、前記カメラまたは前記検査対象物を移動させる機構を有し、前記検査対象物を光学的に検査する検査手段とから成り、
前記スキャン条件演算手段は、前記スキャン回数は前記カメラがスキャンできる最大の前記スキャン幅である最大スキャン幅と前記カメラ検査幅とから演算し、最後を除くすべての前記スキャン幅を前記最大スキャン幅とし、前記カメラがスキャンする幅が前記カメラ検査幅と一致するように、最後のスキャン時のスキャン幅を演算で求める手段であることを特徴とする検査装置。