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JP4297350B2 - Chip component conveying method and apparatus, and appearance inspection method and apparatus - Google Patents
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JP4297350B2 - Chip component conveying method and apparatus, and appearance inspection method and apparatus - Google Patents

Chip component conveying method and apparatus, and appearance inspection method and apparatus Download PDF

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Description

本発明は、チップコンデンサ、チップインダクタ等のチップ部品の4面(両端面以外の上面、下面、両側面)を撮像するのに適した搬送形態のチップ部品搬送方法及び装置、並びに当該搬送方法及び装置を利用した外観検査方法及び装置に関する。   The present invention relates to a chip component conveying method and apparatus in a conveying form suitable for imaging four surfaces (an upper surface, a lower surface, and both side surfaces other than both end surfaces) of a chip component such as a chip capacitor and a chip inductor, and the conveying method and The present invention relates to an appearance inspection method and apparatus using the apparatus.

従来、チップコンデンサ、チップインダクタ等のチップ部品を検査等の目的で移送するための搬送技術としては以下に示すものがある。
(1) 回転板にワーク収納溝が形成され、ワーク収納溝にワーク(被搬送品)を供給し、間欠動作により分離搬送する(市販品の検査機)。
(2) パーツフィーダから連続回転する回転円盤にワークを分離供給し、その後、回転円盤上に供給されたワークを自重のみで搬送する(下記特許文献1、特許文献2参照)。
(3) 連続搬送するベルト上にワークを分離供給する(下記特許文献3参照)。
Conventionally, there are the following transport techniques for transporting chip components such as chip capacitors and chip inductors for the purpose of inspection or the like.
(1) A workpiece storage groove is formed on the rotating plate, and a workpiece (conveyed product) is supplied to the workpiece storage groove, and separated and conveyed by intermittent operation (commercial product inspection machine).
(2) A work is separated and supplied from a parts feeder to a rotating disk that continuously rotates, and then the work supplied on the rotating disk is transported only by its own weight (see Patent Document 1 and Patent Document 2 below).
(3) A work is separated and supplied onto a belt that is continuously conveyed (see Patent Document 3 below).

特開2000−266521号公報JP 2000-266521 A 特公平6−87072号公報Japanese Patent Publication No. 6-87072 特開2000−337843号公報JP 2000-337843 A

また、ワーク側面(4面)検査方法の従来技術としては、回転円盤上にあるワークの上面及び両側面及び下面を検査する方法があり、例えば、チップ状部品の2面検査装置(下記特許文献4参照)を利用した構成等がある。この場合、下記のように回転板を透明とする構成と、ワークの受渡しを行う構成とがある。
(1) 回転板を透明部材(例:硬質ガラスなど)で構成し、周回経路上に配置した3台のCCDカメラにてワーク上面及び両側面を検査し、透明回転板越しに下面の認識を行なう。
(2) 回転円盤上にあるワークの2面(上面、側面の一方)もしくは3面(上面、両側面)の検査を行なう。次の回転円盤にワークの受渡しを行ない、残りの2面(下面、側面の他方)もしくは1面(下面)の検査を行う。
Further, as a conventional technique for inspecting a workpiece side surface (four surfaces), there is a method for inspecting the upper surface, both side surfaces, and the lower surface of a workpiece on a rotating disk. 4)). In this case, there are a configuration in which the rotating plate is transparent and a configuration in which the workpiece is transferred as described below.
(1) The rotating plate is made of a transparent member (eg, hard glass), and the upper surface and both sides of the workpiece are inspected by three CCD cameras arranged on the circuit path, and the lower surface is recognized through the transparent rotating plate. Do.
(2) Inspect 2 surfaces (upper surface, one of the side surfaces) or 3 surfaces (upper surface, both side surfaces) of the workpiece on the rotating disk. The workpiece is transferred to the next rotating disk, and the remaining two surfaces (the other of the lower surface and the side surface) or one surface (the lower surface) are inspected.

特公平6−54226号公報Japanese Examined Patent Publication No. 6-54226

さらに、ワークを吸着して搬送する回転円盤における吸着プレート構造の改善に係る技術として、下記特許文献5に示す構成が知られている。
特開2001−31241号公報
Furthermore, the structure shown in the following Patent Document 5 is known as a technique related to the improvement of the suction plate structure in the rotating disk that sucks and conveys the workpiece.
JP 2001-3241 A

この特許文献5の構成ではワーク吸着穴を形成するために、吸着のためのスリットを形成したプレート部の上下に少なくとも蓋プレート部を積層配置して吸着穴を形成する必要があり、この場合構成部材が3〜4枚必要である。   In the configuration of Patent Document 5, in order to form a work suction hole, it is necessary to form a suction hole by stacking and arranging at least a lid plate portion above and below a plate portion in which a slit for suction is formed. Three to four members are required.

図6乃至図7は従来のチップ部品搬送装置の1例であり、2枚の回転円盤でワークとしてのチップ部品1を受渡す構成を示す。この装置は、パーツフィーダ50、下側回転円盤51及び上側回転円盤52を備え、図8のように上側回転円盤52下面には複数の吸着穴53が形成されている。連続回転する下側回転円盤51上を搬送されてきたワークを連続回転する上側回転円盤52側の吸着穴53で吸引しチップ部品1の受渡しを行なっている。   FIG. 6 to FIG. 7 show an example of a conventional chip part conveying apparatus, and shows a configuration in which the chip part 1 as a workpiece is delivered by two rotating disks. This apparatus includes a parts feeder 50, a lower rotating disk 51, and an upper rotating disk 52, and a plurality of suction holes 53 are formed on the lower surface of the upper rotating disk 52 as shown in FIG. The workpiece conveyed on the lower rotating disk 51 that rotates continuously is sucked through the suction hole 53 on the upper rotating disk 52 side that rotates continuously, and the chip component 1 is delivered.

このチップ部品搬送装置を利用してチップ部品の外観検査を行う場合、例えば下側回転円盤51で搬送途中のチップ部品の上面及び一方の側面を撮像手段で撮像し、上側回転円盤52で搬送途中のチップ部品の下面及び他方の側面を撮像手段で撮像する。これにより、チップ部品の4面検査が可能である。   When performing an appearance inspection of a chip component using this chip component transport apparatus, for example, the upper surface and one side surface of the chip component being transported by the lower rotating disk 51 are imaged by the imaging means, and are transported by the upper rotating disk 52. The lower surface and the other side surface of the chip component are imaged by the imaging means. Thereby, four-surface inspection of chip parts is possible.

従来の搬送技術の問題点は以下の通りである。
(1) ワークの搬送方法において、間欠駆動による搬送は加減速による影響によりワーク姿勢が安定しない。また、処理能力を稼げないなどの問題がある。
(2) 連続する回転円盤での搬送においては、ワークの自重のみにより搬送している為、搬送速度上昇に起因する遠心力によるワークのズレ、及び設備の高速化による機械振動等の影響で、ワーク姿勢不良が生じる。ワークの姿勢不良により、検出面の状態がばらつくことにより、外観検査精度(認識精度)に支障がでる。
(3) ベルト搬送も同様に搬送時のベルト自体の振動でワーク姿勢がばらつくなどの問題がある。
The problems of the conventional transfer technology are as follows.
(1) In the workpiece transfer method, the workpiece posture is not stable due to the effect of acceleration / deceleration during transfer by intermittent drive. There are also problems such as not being able to earn processing power.
(2) In the conveyance with the continuous rotating disk, because the workpiece is conveyed only by its own weight, due to the influence of the displacement of the workpiece due to the centrifugal force due to the increase in the conveyance speed and the mechanical vibration due to the speeding up of the equipment, Work posture failure occurs. Appearance inspection accuracy (recognition accuracy) is hindered because the detection surface varies due to a poor posture of the workpiece.
(3) The belt conveyance also has the problem that the workpiece posture varies due to vibration of the belt itself during conveyance.

また、従来の検査方法の問題点は以下の通りである。
(1) 透明部材を利用したワーク4面の検出方法においては、ワークの受け渡しが無く搬送方法自体はシンプルであるが、透明部材に汚れや、傷が生じ易くこの汚れや傷が検査精度に問題が生じ安定検出に問題がある(本来良品を不良品としてしまう。)。
(2) 図6及び図7に示した2枚の回転円盤を用いた従来のワーク受渡し構成においては、連続回転する下側回転円盤51上を搬送されてきたワークを連続回転する上側回転円盤52側の吸着穴53で吸引しワークの受渡しを行なっているが、この方法では、ワークと上側回転円盤52の隙間がワークの厚さ寸法公差に影響され、クリアランス管理が難しく、隙間が大きいとワークの受渡しが上手く行なえないなどの問題がある。また、ワーク姿勢不良の物が上下の回転円盤の隙間に噛み込むなどの不具合も生じ易いなどの問題が有る。
The problems of the conventional inspection method are as follows.
(1) In the method for detecting the surface of the workpiece 4 using a transparent member, there is no delivery of the workpiece and the conveying method itself is simple. However, the transparent member is likely to become dirty or scratched, and this stain or scratch is a problem in inspection accuracy. Occurs and there is a problem in stable detection (originally a good product is regarded as a defective product).
(2) In the conventional workpiece transfer configuration using the two rotating disks shown in FIGS. 6 and 7, the upper rotating disk 52 that continuously rotates the work that has been conveyed on the lower rotating disk 51 that rotates continuously. In this method, the clearance between the workpiece and the upper rotating disk 52 is affected by the thickness tolerance of the workpiece, and the clearance management is difficult. If the clearance is large, the workpiece is transferred. There are problems such as being unable to deliver successfully. In addition, there is a problem that defects such as a workpiece having a poor posture of the workpiece are likely to be caught in the gap between the upper and lower rotary disks.

さらに、ワークの側面を吸着する場合の吸着プレート構造として、特許文献5があり、これに開示されている技術ではワーク吸着穴を形成するために、吸着のためのスリットを形成したプレート部の上下に少なくとも蓋プレート部を積層配置して吸着穴を形成する必要があり、この場合構成部材が3〜4枚必要であり、構造が複雑化する問題がある。なお、特許文献5は、受渡しによるワーク4面検査に言及しているものではない。   Further, as a suction plate structure for sucking the side surface of a workpiece, there is Patent Document 5, and in the technique disclosed therein, in order to form a workpiece suction hole, the upper and lower sides of a plate portion where slits for suction are formed are formed. It is necessary to form a suction hole by laminating and arranging at least the lid plate portion in this case, and in this case, three to four constituent members are required, and there is a problem that the structure becomes complicated. Note that Patent Document 5 does not refer to workpiece four-surface inspection by delivery.

本発明の第1の目的は、上記の点に鑑み、第1及び第2の回転円盤によるワーク(チップ部品)姿勢の安定搬送と、第1及び第2の回転円盤間のワークの受渡しの改善による受渡し動作の安定化とを図り、ひいては第1及び第2の回転円盤にわたる一連のワーク搬送の安定化を実現するチップ部品搬送方法及び装置を提供することにある。   In view of the above points, the first object of the present invention is to stably convey the workpiece (chip component) posture by the first and second rotating disks and to improve the delivery of the workpiece between the first and second rotating disks. It is an object of the present invention to provide a chip component transport method and apparatus that achieves stabilization of a series of work transport across the first and second rotating disks.

本発明の第2の目的は、前記チップ部品搬送方法及び装置を用いてチップ部品を搬送することで、チップ部品の外観検査の検査精度の向上及び安定化を図ったチップ部品外観検査方法及び装置を提供することにある。   A second object of the present invention is to provide a chip component visual inspection method and apparatus that improve and stabilize the inspection accuracy of the visual inspection of the chip component by conveying the chip component using the chip component conveying method and apparatus. Is to provide.

本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。   Other objects and novel features of the present invention will be clarified in embodiments described later.

上記目的を達成するために、本願請求項1の発明に係るチップ部品搬送方法は、
水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを用い、チップ部品を搬送する方法であり、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、本方法は、
前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面でチップ部品を支持しながら前記第1の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送して、前記第2の回転円盤の前記円周面のうち前記チップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にある部分に前記チップ部品を当接させた後、前記第2の回転円盤の前記円周面にて前記チップ部品を吸着保持しながら前記第2の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送することを特徴としている。
In order to achieve the above object, a chip component carrying method according to the invention of claim 1 of the present application is as follows.
Using a first rotating disk that rotates in a horizontal plane and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk;
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and There is a gap narrower than the height of the chip component to be transported with respect to the chip component mounting surface, and the method includes:
Wherein conveying the chip components by the rotation of said first rotary disc while asked to support the chip component in the chip component mounting surface of the first rotating disk, the circumferential surface of the second rotary disk after out said chip than the outer edge of the component placement surface is brought into contact with the chip component to a portion in the center axis side of the first rotary disc, the chips at the circumferential surface of the second rotary disk The chip component is conveyed by rotation of the second rotating disk while adsorbing and holding the component .

本願請求項2の発明に係るチップ部品搬送方法は、請求項1において、前記第1の回転円盤と前記第2の回転円盤が、連続回転することを特徴としている。   The chip component carrying method according to the invention of claim 2 of the present application is characterized in that, in claim 1, the first rotating disk and the second rotating disk rotate continuously.

本願請求項3の発明に係るチップ部品搬送装置は、
水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを備え、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、
前記第1の回転円盤は、前記チップ部品載置面でチップ部品を支持しながら自身の回転により前記チップ部品を搬送して、前記第2の回転円盤の前記円周面のうち前記チップ部品載置面の外縁よりも自身の中心軸側にある部分に前記チップ部品を当接させ、
前記第2の回転円盤は、前記第1の回転円盤によって搬送されて前記円周面に当接した前記チップ部品を前記円周面にて吸着保持しながら自身の回転により搬送することを特徴としている。
The chip component conveying apparatus according to the invention of claim 3 of the present application is
A first rotating disk that rotates in a horizontal plane, and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk,
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and Present with a gap narrower than the height of the chip component to be conveyed with respect to the chip component placement surface,
Said first rotary disc, the said by rotation of its own while asked to support the chip component in the chip component mounting surface conveys the chip components, said chip part of the circumferential surface of the second rotary disk The chip component is brought into contact with a portion on the center axis side of the outer surface of the placement surface,
It said second rotary disk includes a Turkey be conveyed by the rotation of itself while holding adsorbing the first of the chip component abuts against the circumferential surface is carried by a rotating disc at the circumferential surface It is a feature.

本願請求項4の発明に係るチップ部品搬送装置は、請求項3において、前記第2の回転円盤は、ハーフエッチングで吸着溝を形成した溝付きプレート部と、前記吸着溝の蓋をして吸着穴とする蓋プレート部とを有し、前記吸着穴は前記円周面に開口していることを特徴としている。 The chip component conveying device according to claim 4 of the present application is the chip component conveying device according to claim 3, wherein the second rotating disk is sucked by a grooved plate portion in which a suction groove is formed by half-etching and a cover of the suction groove. A lid plate portion serving as a hole, and the suction hole is open to the circumferential surface .

本願請求項5の発明に係るチップ部品搬送装置は、請求項3又は4において、1つのチップ部品に対して複数の吸着穴が対向するように、前記円周面の円周方向に前記吸着穴が多数配列されていることを特徴としている。 The chip component transport device according to the invention of claim 5 of the present application is the chip component transport device according to claim 3 or 4, wherein the suction holes are arranged in the circumferential direction of the circumferential surface so that a plurality of suction holes face one chip component. Is characterized in that a large number of are arranged.

本願請求項6の発明に係るチップ部品外観検査方法は、請求項1又は2のチップ部品搬送方法を用い、前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、第1の撮像手段によりチップ部品の上面を撮像するとともに、第2の撮像手段によりチップ部品の一方の側面を撮像し、前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で第3の撮像手段によりチップ部品の下面を撮像するとともに、第4の撮像手段によりチップ部品の他方の側面を撮像することを特徴としている。   A chip component appearance inspection method according to a sixth aspect of the present invention uses the chip component conveying method according to the first or second aspect, and the first imaging means in a state where the chip component is conveyed by the first rotating disk. The upper surface of the chip component is imaged by the second imaging unit, one side surface of the chip component is imaged by the second imaging unit, and the chip component is conveyed by the third imaging unit in a state where the chip component is conveyed by the second rotating disk. And the other side surface of the chip part is imaged by the fourth imaging means.

本願請求項7の発明に係るチップ部品外観検査装置は、請求項3,4又は5のチップ部品搬送装置を備えるとともに、
前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の上面を撮像する第1の撮像手段及びチップ部品の一方の側面を撮像する第2の撮像手段と、
前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の下面を撮像する第3の撮像手段及びチップ部品の他方の側面を撮像する第4の撮像手段とを備えることを特徴としている。
A chip component visual inspection apparatus according to the invention of claim 7 of the present application comprises the chip component conveyance device of claim 3, 4 or 5,
A first imaging means for imaging the upper surface of the chip component and a second imaging means for imaging one side surface of the chip component in a state in which the chip component is being conveyed by the first rotating disk;
And a third imaging means for imaging the lower surface of the chip component and a fourth imaging means for imaging the other side surface of the chip component while the chip component is being conveyed by the second rotating disk. It is said.

本願請求項8の発明に係るチップ部品搬送方法は、
水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを用い、チップ部品を搬送する方法であり、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、本方法は、
前記第2の回転円盤の前記円周面にてチップ部品を吸着保持しながら前記第2の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送し、前記チップ部品を吸着保持している前記円周面が前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にある部分に来たところで前記チップ部品を前記円周面から前記チップ部品載置面に移載した後、前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面前記チップ部品を支持しながら前記第1の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送することを特徴としている。
The chip component conveying method according to the invention of claim 8 of the present application is as follows.
Using a first rotating disk that rotates in a horizontal plane and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk;
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and There is a gap narrower than the height of the chip component to be transported with respect to the chip component mounting surface, and the method includes:
Wherein the chip components conveyed by the rotation of said second rotary disc while sucking and holding the chip component at the circumferential surface of the second rotary disc, the circumferential surface of the chip component is held by suction is The chip component is moved from the circumferential surface to the chip component mounting surface when it comes to a portion closer to the center axis of the first rotating disc than the outer edge of the chip component mounting surface of the first rotating disc. after transfer, it is characterized by conveying the chip components by rotation of said first rotary disc while asked to support the chip component in the chip component mounting surface of the first rotating disk.

本願請求項9の発明に係るチップ部品搬送方法は、
鉛直面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に鉛直面内で回転する第2の回転円盤とを用い、チップ部品を搬送する方法であり、
前記第2の回転円盤の外周面の一部は、前記第1の回転円盤の鉛直なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、本方法は、
前記第2の回転円盤の前記外周面にてチップ部品を吸着保持しながら前記第2の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送し、前記チップ部品を吸着保持している前記外周面が前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にある部分に来たところで前記チップ部品を前記外周面から前記チップ部品載置面に移載した後、前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面前記チップ部品を吸着保持しながら前記第1の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送することを特徴としている。
The chip component carrying method according to the invention of claim 9 is as follows:
Using a first rotating disk that rotates in a vertical plane and a second rotating disk that rotates in a vertical plane in the opposite direction to the first rotating disk;
A part of the outer peripheral surface of the second rotating disk is closer to the center axis side of the first rotating disk than the outer edge of the vertical chip component mounting surface of the first rotating disk, and the chip component There is a gap that is narrower than the height of the chip component to be conveyed with respect to the mounting surface, and this method is
Conveying the chip components by the rotation of the second rotary disk while sucking and holding the chip component at the outer peripheral surface of said second rotary disc, the outer peripheral surface that holds adsorbing the chip component is the first The chip component is transferred from the outer peripheral surface to the chip component mounting surface when it comes to a portion closer to the center axis of the first rotating disk than the outer edge of the chip component mounting surface of the one rotating disk. after, it is characterized by conveying the chip components by rotation of said first rotary disc while sucking and holding the chip component in the chip component mounting surface of the first rotating disk.

本願請求項10の発明に係るチップ部品搬送方法は、請求項8又は9において、前記第1の回転円盤と前記第2の回転円盤が、連続回転することを特徴としている。   The chip component conveying method according to the invention of claim 10 is characterized in that, in claim 8 or 9, the first rotating disk and the second rotating disk rotate continuously.

本願請求項11の発明に係るチップ部品搬送方法は、請求項1,2,8,9又は10において、前記第1の回転円盤で搬送されるチップ部品の搬送経路の内周側で該搬送経路に内接するセンタリングローラーを用い、前記搬送経路に内接する位置での前記第1の回転円盤の周速に前記センタリングローラーの外周面の周速を一致させて、前記センタリングローラーの外周面に接触するチップ部品の姿勢を前記搬送経路の接線方向に近づけるように矯正することを特徴としている。   The chip component conveying method according to the invention of claim 11 is the conveying path according to claim 1, 2, 8, 9 or 10 on the inner peripheral side of the conveying path of the chip component conveyed by the first rotating disk. A centering roller that is inscribed in contact with the outer peripheral surface of the centering roller so that the peripheral speed of the outer peripheral surface of the centering roller matches the peripheral speed of the first rotating disk at a position inscribed in the conveyance path. The posture of the chip component is corrected so as to be close to the tangential direction of the transport path.

本願請求項12の発明に係るチップ部品搬送装置は、
水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを備え、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、
前記第2の回転円盤は、チップ部品を前記円周面にて吸着保持しながら自身の回転により搬送
前記第1の回転円盤は、前記第2の回転円盤で搬送されたチップ部品を、前記チップ部品を吸着保持している前記第2の回転円盤の前記円周面が前記チップ部品載置面の外縁よりも自身の中心軸側に来たところで受け取り、前記チップ部品載置面で支持しながら自身の回転により搬送することを特徴としている。
The chip component conveying apparatus according to the invention of claim 12 of the present application is
A first rotating disk that rotates in a horizontal plane, and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk,
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and Present with a gap narrower than the height of the chip component to be conveyed with respect to the chip component placement surface,
The second rotary disk carries by the rotation of itself while maintaining suction chip components at the circumferential surface,
In the first rotating disk, the circumferential surface of the second rotating disk holding the chip component by suction is held on the chip component mounting surface by the chip component conveyed by the second rotating disk. receives where the outer edge came toward the central axis of its own, is characterized in the Turkey be conveyed by the rotation of itself while supported by the chip component mounting surface.

本願請求項13の発明に係るチップ部品搬送装置は、
鉛直面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に鉛直面内で回転する第2の回転円盤とを備え、
前記第2の回転円盤の外周面の一部は、前記第1の回転円盤の鉛直なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、
前記第2の回転円盤は、前記外周面でチップ部品を吸着保持しながら自身の回転により搬送
前記第1の回転円盤は、前記第2の回転円盤で搬送されたチップ部品を、前記チップ部品を吸着保持している前記第2の回転円盤の前記外周面が前記チップ部品載置面の外縁よりも自身の中心軸側に来たところで受け取り、前記チップ部品載置面で吸着保持しながら自身の回転により搬送することを特徴としている。
A chip component conveying apparatus according to the invention of claim 13 of the present application,
A first rotating disk that rotates in a vertical plane; and a second rotating disk that rotates in a vertical plane in a direction opposite to the first rotating disk;
A part of the outer peripheral surface of the second rotating disk is closer to the center axis side of the first rotating disk than the outer edge of the vertical chip component mounting surface of the first rotating disk, and the chip component It exists with a gap narrower than the height of the chip part to be transported with respect to the mounting surface,
The second rotating disk is conveyed by its own rotation while adsorbing and holding the chip components on the outer peripheral surface,
The first rotating disk is configured such that the outer peripheral surface of the second rotating disk holding the chip component by suction is the outer edge of the chip component mounting surface. receiving at came toward the central axis of itself than is characterized and Turkey be conveyed by the rotation of itself while holding adsorption in the chip component mounting surface.

本願請求項14の発明に係るチップ部品搬送装置は、請求項3,4,5,12又は13において、前記第1の回転円盤で搬送されるチップ部品の搬送経路の内周側で該搬送経路に内接するセンタリングローラーを備え、該センタリングローラーの周速は、前記搬送経路に内接する位置での前記第1の回転円盤の周速に一致しており、該センタリングローラーの外周面に接触するチップ部品の姿勢を前記搬送経路の接線方向に近づけるように矯正することを特徴としている。   The chip component transport device according to the invention of claim 14 is the transport route according to claim 3, 4, 5, 12 or 13 on the inner peripheral side of the transport route of the chip component transported by the first rotating disk. A centering roller inscribed in the tip, and the peripheral speed of the centering roller coincides with the peripheral speed of the first rotating disk at a position inscribed in the transport path, and the tip contacts the outer peripheral surface of the centering roller It is characterized in that the posture of the component is corrected so as to approach the tangential direction of the transport path.

本願請求項15の発明に係るチップ部品搬送装置は、請求項3,4,5,12,13又は14において、前記第1の回転円盤が、1個のチップ部品に対して複数の吸着穴が対面するように前記吸着穴を円環状に等間隔で多数配置した吸着穴形成プレート部と、複数の吸着穴からなる吸着穴群毎に1つの真空吸引用溝が連通するように複数の真空吸引用溝を形成した真空吸引プレート部とを有し、該真空吸引プレート部上に前記吸着穴形成プレート部を一体化したことを特徴としている。   The chip component conveying apparatus according to the invention of claim 15 is the chip component conveying device according to claim 3, 4, 5, 12, 13 or 14, wherein the first rotating disk has a plurality of suction holes for one chip component. A plurality of suction holes are arranged so that the suction holes are arranged in an annular shape at equal intervals so as to face each other, and a plurality of vacuum suction grooves so that one vacuum suction groove communicates with each suction hole group composed of a plurality of suction holes. And a vacuum suction plate portion in which a groove is formed, and the suction hole forming plate portion is integrated on the vacuum suction plate portion.

本願請求項16の発明に係るチップ部品外観検査方法は、請求項8,9,10又は11のチップ部品搬送方法を用い、前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、第1の撮像手段によりチップ部品の上面を撮像するとともに、第2の撮像手段によりチップ部品の一方の側面を撮像し、前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で第3の撮像手段によりチップ部品の下面を撮像するとともに、第4の撮像手段によりチップ部品の他方の側面を撮像することを特徴としている。   The chip component appearance inspection method according to the invention of claim 16 of the present invention uses the chip component transport method of claim 8, 9, 10 or 11, and is in a state where the chip component is transported by the first rotating disk. The first imaging means images the upper surface of the chip component, the second imaging means images one side surface of the chip component, and the third imaging in a state where the chip component is conveyed by the second rotating disk. The lower surface of the chip component is imaged by the means, and the other side surface of the chip component is imaged by the fourth imaging means.

本願請求項17の発明に係るチップ部品外観検査方法は、前記請求項1,2,8,9,10又は11のチップ部品搬送方法を用い、前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、第1の撮像手段によりチップ部品の上面を撮像し、第2の撮像手段によりチップ部品の一方の側面を撮像し、第4の撮像手段によりチップ部品の他方の側面を撮像し、前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で第3の撮像手段によりチップ部品の下面を撮像することを特徴としている。   The chip component appearance inspection method according to the invention of claim 17 uses the chip component transport method of claim 1, 2, 8, 9, 10 or 11 and transports the chip component with the first rotating disk. In this state, the first imaging means images the upper surface of the chip component, the second imaging means images one side surface of the chip component, the fourth imaging means images the other side surface of the chip component, The lower surface of the chip component is imaged by the third imaging means while the chip component is being conveyed by the second rotating disk.

本願請求項18の発明に係るチップ部品外観検査装置は、前記請求項12,13,14又は15のチップ部品搬送装置を備えるとともに、
前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の上面を撮像する第1の撮像手段及びチップ部品の一方の側面を撮像する第2の撮像手段と、
前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の下面を撮像する第3の撮像手段及びチップ部品の他方の側面を撮像する第4の撮像手段とを備えることを特徴としている。
A chip component visual inspection device according to the invention of claim 18 of the present application comprises the chip component transport device of claim 12, 13, 14 or 15,
A first imaging means for imaging the upper surface of the chip component and a second imaging means for imaging one side surface of the chip component in a state in which the chip component is being conveyed by the first rotating disk;
And a third imaging means for imaging the lower surface of the chip component and a fourth imaging means for imaging the other side surface of the chip component while the chip component is being conveyed by the second rotating disk. It is said.

本願請求項19の発明に係るチップ部品外観検査装置は、前記請求項3,4,5,12,13,14又は15のチップ部品搬送装置を備えるとともに、
前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の上面を撮像する第1の撮像手段、チップ部品の一方の側面を撮像する第2の撮像手段及び他方の側面を撮像する第4の撮像手段と、
前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の下面を撮像する第3の撮像手段とを備えることを特徴としている。
本願請求項20の発明に係るチップ部品搬送方法は、請求項1,2又は8において、前記チップ部品載置面が上向き水平面であることを特徴としている。
本願請求項21の発明に係るチップ部品搬送装置は、請求項3,4,5又は12において、前記チップ部品載置面が上向き水平面であることを特徴としている。
A chip component visual inspection apparatus according to the invention of claim 19 includes the chip component transport device of claim 3, 4, 5, 12, 13, 14, or 15,
In a state where the chip component is being conveyed by the first rotating disk, a first imaging unit that images the upper surface of the chip component, a second imaging unit that images one side surface of the chip component, and an image of the other side surface A fourth imaging means for
And third imaging means for imaging the lower surface of the chip component in a state where the chip component is being conveyed by the second rotating disk.
The chip component carrying method according to the invention of claim 20 is characterized in that, in claim 1, 2 or 8, the chip component mounting surface is an upward horizontal plane.
The chip component carrying device according to the invention of claim 21 is characterized in that, in claim 3, 4, 5 or 12, the chip component mounting surface is an upward horizontal surface.

本発明によれば、第1及び第2の回転円盤によるワーク姿勢の安定搬送と、回転円盤間のワークの受渡しの改善による受渡し動作の安定化とを図り、ひいては第1及び第2の回転円盤にわたる一連のワーク搬送の高速、安定化を図ったチップ部品搬送方法及び装置を実現可能である。   According to the present invention, stable conveyance of the work posture by the first and second rotating disks and stabilization of the delivery operation by improving the delivery of the work between the rotating disks, and consequently the first and second rotating disks. It is possible to realize a chip component conveying method and apparatus that achieve high speed and stabilization of a series of workpiece conveyance.

また、そのチップ部品搬送方法、搬送装置を利用することで、検査処理数の向上、検査コストの低減、検査精度の改善及び歩留まり向上を図ったチップ部品外観検査方法及び装置を実現可能である。とくに、特に極小サイズチップ部品(1005,0603,0402等)の4面の外観検査において、検査精度の向上、安定化を図る上で有効である。   In addition, by using the chip component transport method and transport device, it is possible to realize a chip component visual inspection method and apparatus that can improve the number of inspection processes, reduce the inspection cost, improve the inspection accuracy, and improve the yield. In particular, it is effective in improving and stabilizing the inspection accuracy particularly in the appearance inspection of four surfaces of extremely small size chip parts (1005, 0603, 0402, etc.).

以下、本発明を実施するための最良の形態として、チップ部品搬送方法及び装置、並びに外観検査方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a chip component carrying method and apparatus and an appearance inspection method and apparatus will be described below with reference to the drawings as the best mode for carrying out the present invention.

図1乃至図5で本発明に係るチップ部品搬送方法及び装置、並びに外観検査方法及び装置の実施の形態1を説明する。これらの図において、第1回転円盤10と第2回転円盤20とでワークとしての直方体状チップ部品の搬送装置を構成しており、第1回転円盤10外縁部のチップ載置面(上面)11にはパーツフィーダ5からチップ部品1が順次供給される。ここで、パーツフィーダ5先端部は、第1回転円盤10側へチップ部品1を受け渡す際に、チップ部品1の姿勢を適正に保つ為にチップ部品側面をガイドする形状としてある。または、先端部に無振動部を設けチップ部品のガイドを形成してもよい。   Embodiment 1 of a chip component carrying method and apparatus, and an appearance inspection method and apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. In these drawings, the first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 constitute a conveying device for a rectangular parallelepiped chip component as a workpiece, and a chip mounting surface (upper surface) 11 at the outer edge portion of the first rotating disk 10. The chip parts 1 are sequentially supplied from the parts feeder 5. Here, the tip of the parts feeder 5 has a shape that guides the side surface of the chip component 1 in order to keep the posture of the chip component 1 properly when the chip component 1 is delivered to the first rotating disk 10 side. Alternatively, a non-vibrating portion may be provided at the tip to form a chip component guide.

前記第1回転円盤10は、図2のように、第1回転駆動軸16に固定され、回転駆動軸16の連続回転に伴って連続回転する。第1回転円盤10のチップ載置面11には、図2、図3及び図5に示すように、チップ部品1を吸着保持するために多数の吸着穴12が開口している。また、第1回転円盤10の下面には、回転しない真空排気プレート13が密接しており(ばね19により密着方向に付勢されており)、この真空排気プレート13の上面に固定真空吸引溝14が形成されている。この固定真空吸引溝14はホース15を通して真空ポンプ等の真空排気系に接続される。従って、第1回転円盤10側の吸着穴12は固定真空吸引溝14と連通する範囲においてチップ部品1下面を真空吸着する。その際、図3のように1個のチップ部品1が複数の吸着穴12で真空吸引されて保持されることが好ましい。なお、真空の漏れを少なくする目的で、第2回転円盤20側へのチップ部品受渡し以降乃至チップ部品1の供給位置手前まで、吸着穴12の真空吸引が切れるように前記固定真空吸引溝14の形成範囲を設定してある(吸着穴12による吸着はチップ部品を搬送する半周の範囲で有効とされる)。真空排気プレート13に形成された固定真空吸引溝位置により真空のオン/オフ切換が可能な構造である。   As shown in FIG. 2, the first rotary disk 10 is fixed to the first rotary drive shaft 16 and continuously rotates along with the continuous rotation of the rotary drive shaft 16. As shown in FIGS. 2, 3, and 5, a plurality of suction holes 12 are opened on the chip mounting surface 11 of the first rotating disk 10 in order to suck and hold the chip component 1. Further, a vacuum exhaust plate 13 that does not rotate is in close contact with the lower surface of the first rotary disk 10 (biased in a close contact direction by a spring 19), and a fixed vacuum suction groove 14 is formed on the upper surface of the vacuum exhaust plate 13. Is formed. The fixed vacuum suction groove 14 is connected to a vacuum exhaust system such as a vacuum pump through a hose 15. Therefore, the suction hole 12 on the first rotating disk 10 side vacuum-sucks the lower surface of the chip component 1 within a range communicating with the fixed vacuum suction groove 14. At that time, it is preferable that one chip component 1 is vacuum-sucked and held in the plurality of suction holes 12 as shown in FIG. For the purpose of reducing the leakage of the vacuum, the fixed vacuum suction groove 14 is formed so that the vacuum suction of the suction hole 12 is cut from the delivery of the chip component to the second rotating disk 20 side to the supply position of the chip component 1 before the supply position. The formation range is set (suction by the suction holes 12 is effective in the range of a half circumference in which the chip parts are conveyed). The vacuum can be switched on / off by the position of the fixed vacuum suction groove formed on the vacuum exhaust plate 13.

第2回転円盤20は、その垂直面を成している円周面(外周側面)にて直方体状チップ部品1の側面を吸着保持するものであり、第2回転駆動軸26に固定され、回転駆動軸26の連続回転に伴って連続回転する。この第2回転円盤20は、第1回転円盤10とほぼ同じ周速で連続回転し、チップ部品1の移載では同じ移動方向に回転する(第2回転円盤20の回転方向自体は第1回転円盤10と反対方向となる)。また、第2回転円盤20は第1回転円盤10より上側にあり(第1回転円盤上面と第2回転円盤の下面には隙間があり)、平面配置では、第2回転円盤20の垂直な円周面は、第1回転円盤10のチップ載置面11の外縁より内側(第1回転円盤の中心軸側)にあり、第2回転円盤20の円周面を確実にチップ部品側面に当接させて移載可能な位置関係である。   The second rotating disk 20 sucks and holds the side surface of the rectangular chip component 1 with the circumferential surface (outer circumferential side surface) forming the vertical surface, and is fixed to the second rotation drive shaft 26 and rotated. As the drive shaft 26 rotates continuously, it rotates continuously. The second rotating disk 20 continuously rotates at substantially the same peripheral speed as the first rotating disk 10, and rotates in the same movement direction when the chip component 1 is transferred (the rotation direction of the second rotating disk 20 is the first rotation). The direction is opposite to the disk 10). Further, the second rotating disk 20 is above the first rotating disk 10 (there is a gap between the upper surface of the first rotating disk and the lower surface of the second rotating disk), and in a planar arrangement, the second rotating disk 20 is perpendicular to the second rotating disk 20. The peripheral surface is inside the outer edge of the chip mounting surface 11 of the first rotating disk 10 (on the central axis side of the first rotating disk), and the peripheral surface of the second rotating disk 20 is securely in contact with the chip component side surface. The positional relationship can be transferred.

図3及び図4に示すように、第2回転円盤20は垂直面を成す円周面に開口した多数の微小吸着穴31を有する。各吸着穴31の中心高さは、第1回転円盤10上のチップ部品高さの中心に一致させている。また、それらの微小吸着穴31は、図4(B)において斜線部で示すハーフエッチングで微小吸着溝31aを放射状に形成した図4(A)の円環状溝付きプレート部21と、前記吸着溝31aの上側に蓋をして微小吸着穴31を形成するための円板状蓋プレート部22とを図4(D)のように重ね合わせて第2回転円盤20を構成することによって得られる。   As shown in FIGS. 3 and 4, the second rotating disk 20 has a large number of minute suction holes 31 opened on a circumferential surface forming a vertical surface. The center height of each suction hole 31 is matched with the center of the chip component height on the first rotating disk 10. Further, the minute suction holes 31 include the annular grooved plate portion 21 in FIG. 4 (A) in which the minute suction grooves 31a are formed radially by half etching indicated by hatching in FIG. 4 (B), and the suction grooves. The second rotating disk 20 is obtained by overlapping the disk-like lid plate portion 22 for forming the micro suction hole 31 by covering the upper side of 31a as shown in FIG. 4 (D).

図3及び図4(B)のように、1群の微小吸着溝31aの基部は合流溝部32に連通し、さらに円板状蓋プレート部22に形成された真空吸引穴33が合流溝部32にそれぞれ連通している。   As shown in FIG. 3 and FIG. 4B, the base portion of the group of minute adsorption grooves 31 a communicates with the merging groove portion 32, and the vacuum suction hole 33 formed in the disc-like lid plate portion 22 is further formed in the merging groove portion 32. Each communicates.

前記第2回転円盤20の上面には回転しない真空排気プレート27が密着配置されており、この下面には固定真空吸引溝28が半周にわたって形成されている。従って、円板状蓋プレート部22側の真空吸引穴33は真空排気プレート27側の固定真空吸引溝28及びこれに連通する真空吸引路29を通して真空ポンプ等の真空排気系に接続される。これにより、第2回転円盤20側の垂直な円周面に開口する微小吸着穴31は固定真空吸引溝28と連通する範囲においてチップ部品1を真空吸着する。その際、図3のように1個のチップ部品1が多数の微小吸着穴31で真空吸引されて保持されることが好ましい。   A vacuum exhaust plate 27 that does not rotate is disposed in close contact with the upper surface of the second rotating disk 20, and a fixed vacuum suction groove 28 is formed on the lower surface of the second rotary disk 20 over a half circumference. Accordingly, the vacuum suction hole 33 on the disc-like lid plate portion 22 side is connected to a vacuum exhaust system such as a vacuum pump through the fixed vacuum suction groove 28 on the vacuum exhaust plate 27 side and the vacuum suction path 29 communicating with the fixed vacuum suction groove 28. As a result, the minute suction holes 31 opened on the vertical circumferential surface on the second rotating disk 20 side vacuum-suck the chip component 1 in a range communicating with the fixed vacuum suction groove 28. At that time, it is preferable that one chip component 1 is vacuum-sucked and held by a large number of minute suction holes 31 as shown in FIG.

このような搬送装置において、第1回転円盤10はパーツフィーダ5側のチップ部品の供給速度より速い周速で連続回転し、その速度差によりチップ部品1を分離して搬送する。第1回転円盤10のチップ載置面11に供給されたチップ部品1は、その下面が第1回転円盤10の吸着穴12で真空吸着されることにより、円周上で整列してほぼ等間隔で安定姿勢を保ち搬送され、半周移動したところで第2回転円盤20への受け渡し位置となる当接ポイントPに至る。   In such a conveying apparatus, the first rotating disk 10 continuously rotates at a peripheral speed faster than the supply speed of the chip parts on the part feeder 5 side, and the chip parts 1 are separated and conveyed by the speed difference. The chip components 1 supplied to the chip mounting surface 11 of the first rotary disk 10 are vacuum-sucked by the suction holes 12 of the first rotary disk 10 so that the chip parts 1 are aligned on the circumference and are substantially equally spaced. Then, it is conveyed while maintaining a stable posture, and reaches a contact point P that becomes a delivery position to the second rotating disk 20 when it moves half a circle.

図1のように受け渡し位置手前では、固定整列ガイド15を設けて、第1回転円盤10上のチップ部品1の走行位置及び姿勢を揃えることが好ましい。   As shown in FIG. 1, it is preferable that a fixed alignment guide 15 is provided in front of the delivery position to align the traveling position and posture of the chip component 1 on the first rotating disk 10.

そして、第1回転円盤10に載っているチップ部品1の側面側(外側)に第2回転円盤20の垂直面を成す円周面(外周側面)を当接させてチップ部品側面を第2回転円盤20で吸着保持する。   Then, the peripheral surface (outer peripheral surface) forming the vertical surface of the second rotating disk 20 is brought into contact with the side surface side (outside) of the chip component 1 mounted on the first rotating disk 10 to rotate the chip component side surface in the second rotation. The disk 20 is held by suction.

ここで、第1回転円盤10側の吸着は当接ポイントPでオフとなり、第2回転円盤20は当接ポイント手前で円周面吸着がオンになる様に第1及び第2回転円盤10,20に対応する真空排気プレート13,27に固定真空吸引溝14,28を形成してある。   Here, the suction on the first rotating disk 10 side is turned off at the contact point P, and the second rotating disk 20 is turned on before the contact point so that the circumferential surface suction is turned on. The fixed vacuum suction grooves 14 and 28 are formed in the vacuum exhaust plates 13 and 27 corresponding to 20.

第1回転円盤10上のチップ部品1は当接ポイントPで第2回転円盤20に最接近し(その結果当接し)、その後徐々に第2回転円盤20より距離が離れることになる為、第1回転円盤10側の真空吸引は当接ポイントP近傍で真空オフとなるのが望ましい。また、第2回転円盤20は当接ポイントP点にてチップ部品1と接触する事となる為、吸着の安定性に鑑み、当接ポイント前(例えば5mm程度手前)で真空吸引が有効とされている事が望ましい(当接ポイント近傍では真空吸引がオーバーラップした状態となる)。   Since the chip component 1 on the first rotating disk 10 comes closest to the second rotating disk 20 at the contact point P (as a result of contacting), the distance from the second rotating disk 20 gradually increases. It is desirable that the vacuum suction on the one-rotation disk 10 side is turned off in the vicinity of the contact point P. Further, since the second rotating disk 20 comes into contact with the chip component 1 at the contact point P, vacuum suction is effective before the contact point (for example, about 5 mm before) in view of the stability of suction. It is desirable that the vacuum suction overlaps in the vicinity of the contact point.

このようにして、第1回転円盤10から第2回転円盤20にチップ部品姿勢が安定した形で連続的にチップ部品1が移載される。従って、チップ部品1には真空吸着力以上の余分な力が加わらず破損が発生しない。   In this way, the chip component 1 is continuously transferred from the first rotating disk 10 to the second rotating disk 20 with the chip component posture being stabilized. Therefore, the chip component 1 is not damaged because an excessive force exceeding the vacuum adsorption force is not applied.

第2回転円盤20に移載されたチップ部品1はその側面にて円周面の微小吸着穴31で真空吸着で保持され、半周にわたり搬送され、その後微小吸着穴31の真空吸引がオフとなることで(固定真空吸引溝28が半周のみ形成されている)、第2回転円盤20の円周面から落下し、回収されることになる。   The chip component 1 transferred to the second rotating disk 20 is held by vacuum suction at the side surface by the minute suction holes 31 on the side surface and is transported over a half circumference, and then the vacuum suction of the minute suction holes 31 is turned off. As a result (the fixed vacuum suction groove 28 is formed only in a half circumference), it falls from the circumferential surface of the second rotating disk 20 and is collected.

次に、上記搬送装置を利用してチップ部品の外観検査を行う場合の構成について説明する。   Next, a configuration in the case where the appearance inspection of the chip component is performed using the transfer device will be described.

第1回転円盤10のチップ部品1の搬送経路に対向して撮像手段としての第1カメラC1及び第2カメラC2が配置され、また、第2回転円盤20のチップ部品1の搬送経路に対向して第3カメラC3及び第4カメラC4が配置されている。第1カメラC1はチップ部品1の上面を撮像、検査(画像処理検査)し、第2カメラC2はチップ部品1の一方の側面を撮像、検査し、第3カメラC3はチップ部品1の下面を撮像、検査し、第4カメラC4はチップ部品1の他方の側面を撮像、検査するためのものであり、例えばCCDカメラ、ラインセンサ等である。   The first camera C1 and the second camera C2 as imaging means are arranged facing the conveying path of the chip component 1 of the first rotating disk 10, and opposed to the conveying path of the chip component 1 of the second rotating disk 20. A third camera C3 and a fourth camera C4 are arranged. The first camera C1 images and inspects (image processing inspection) the upper surface of the chip component 1, the second camera C2 images and inspects one side surface of the chip component 1, and the third camera C3 detects the lower surface of the chip component 1. The fourth camera C4 is used to image and inspect the other side surface of the chip part 1, and is, for example, a CCD camera or a line sensor.

また、第1回転円盤10のチップ部品1の搬送経路に沿って第1乃至第8ワーク検出センサS1〜S8が固定配置されている。また、第2回転円盤20のチップ部品1の搬送経路に沿って第9乃至第14ワーク検出センサS9〜S14が固定配置されている。各センサS1〜S14は例えば発光側と受光側とが対になった光センサである。なお、第2回転円盤20に対応したセンサS9〜S14は、模式的に図1では水平配置の如く図示されているが、第2回転円盤20の垂直な円周面にチップ部品1が吸着されて搬送されるので、実際にはセンサS9〜S14は垂直方向(上下方向)に配置される。   Further, the first to eighth workpiece detection sensors S1 to S8 are fixedly arranged along the conveyance path of the chip component 1 of the first rotating disk 10. Ninth to fourteenth workpiece detection sensors S9 to S14 are fixedly arranged along the conveyance path of the chip component 1 of the second rotating disk 20. Each of the sensors S1 to S14 is, for example, an optical sensor in which a light emitting side and a light receiving side are paired. The sensors S9 to S14 corresponding to the second rotating disk 20 are schematically shown in a horizontal arrangement in FIG. 1, but the chip component 1 is adsorbed on the vertical circumferential surface of the second rotating disk 20. Therefore, the sensors S9 to S14 are actually arranged in the vertical direction (up and down direction).

さらに、センサ検出結果や各カメラの撮像、検査結果に基づいてチップ部品1を排出するために第1乃至第3アクチュエータA1〜A3が第1回転円盤10上のチップ部品1の搬送経路に対応して配置され、第4及び第5アクチュエータA4,A5が第2回転円盤10上のチップ部品1の搬送経路に対応して配置されている。各アクチュエータA1〜A5は、図5に示すように、例えば微小ワークの排出動作を実現するために、ピエゾ素子を利用したチップ部品排出機構40等を採用する。なお、アクチュエータA4,A5では第2回転円盤20の垂直な円周面に吸着されたチップ部品を下方に落とす構成とする。   Furthermore, the first to third actuators A1 to A3 correspond to the conveyance path of the chip component 1 on the first rotating disk 10 in order to eject the chip component 1 based on the sensor detection result, the imaging of each camera, and the inspection result. The fourth and fifth actuators A4 and A5 are arranged corresponding to the conveying path of the chip component 1 on the second rotating disk 10. As shown in FIG. 5, each actuator A1 to A5 employs a chip component discharge mechanism 40 using a piezo element, for example, in order to realize a discharge operation of a minute work. The actuators A4 and A5 are configured to drop the chip component adsorbed on the vertical circumferential surface of the second rotating disk 20 downward.

なお、前記第1乃至第4カメラC1〜C4の手前に設けられた第3、第6、第9及び第12ワーク検出センサS3,S6,S9,S12は、連続搬送物を撮像する為のトリガー信号を発生するものである。また、前記第1乃至第5アクチュエータA1〜A5の手前に設けられた第2、第4、第7、第10及び第13ワーク検出センサS2,S4,S7,S10及びS13はワーク排出動作の為のトリガー信号を発生するものである。   The third, sixth, ninth, and twelfth workpiece detection sensors S3, S6, S9, and S12 provided in front of the first to fourth cameras C1 to C4 are triggers for imaging continuously conveyed objects. A signal is generated. Further, the second, fourth, seventh, tenth and thirteenth workpiece detection sensors S2, S4, S7, S10 and S13 provided in front of the first to fifth actuators A1 to A5 are for the workpiece discharging operation. The trigger signal is generated.

本実施の形態において、チップ部品の外観検査を行う場合の全体的動作を説明する。   In the present embodiment, the overall operation when performing an appearance inspection of a chip component will be described.

図1のように、パーツフィーダ5先端部からワークとしてのチップ部品1が第1回転円盤10外縁部のチップ載置面(上面)11に順次供給される。第1回転円盤10はパーツフィーダ5側のチップ部品の供給速度より速い周速で連続回転しているので、その速度差によりチップ部品1を分離して搬送する。第1回転円盤10のチップ載置面11に供給されたチップ部品1は、その下面が第1回転円盤10の吸着穴12で真空吸着されることにより、円周上で整列してほぼ等間隔で安定姿勢を保ち搬送されて行く。   As shown in FIG. 1, the chip component 1 as a workpiece is sequentially supplied from the tip of the parts feeder 5 to the chip mounting surface (upper surface) 11 of the outer edge of the first rotating disk 10. Since the first rotating disk 10 continuously rotates at a peripheral speed faster than the supply speed of the chip parts on the part feeder 5 side, the chip parts 1 are separated and conveyed by the speed difference. The chip components 1 supplied to the chip mounting surface 11 of the first rotary disk 10 are vacuum-sucked by the suction holes 12 of the first rotary disk 10 so that the chip parts 1 are aligned on the circumference and are substantially equally spaced. It keeps a stable posture and is transported.

そして、第1及び第2ワーク検出センサS1,S2の前をチップ部品1が通過した際に、第1及び第2ワーク検出センサS1,S2の組は、通過したチップ部品が未整列(ピッチ不良)状態である場合に、このことを検出して第1アクチュエータA1を作動させ、未整列のチップ部品1を未整列部品回収部7を介してパーツフィーダ5に戻す。未整列部品回収部7はベルトコンベア等である。   When the chip component 1 passes in front of the first and second workpiece detection sensors S1 and S2, the set of the first and second workpiece detection sensors S1 and S2 is not aligned (the pitch is defective). ) State, this is detected and the first actuator A1 is operated to return the unaligned chip component 1 to the parts feeder 5 via the unaligned component recovery part 7. The unaligned part collection unit 7 is a belt conveyor or the like.

第1アクチュエータA1の前を通過した整列状態のチップ部品1は第3ワーク検出センサS3で通過検出後(連続搬送物を撮像する為、カメラ手前のセンサで撮像の為のトリガー信号を発生する)、第1カメラC1で上面が撮像、検査(画像処理検査)され、検査結果不良のチップ部品は第4ワーク検出センサS4で通過検出後(アクチュエータ手前のセンサで排出のためのトリガー信号を発生する)に第2アクチュエータA2で排出される。第5ワーク検出センサS5は排出確認用である。   The aligned chip parts 1 that have passed in front of the first actuator A1 are detected by the third workpiece detection sensor S3 (in order to image continuously conveyed objects, a trigger signal for imaging is generated by the sensor in front of the camera). The upper surface is imaged and inspected (image processing inspection) by the first camera C1, and a chip component having a defective inspection result is detected by the fourth work detection sensor S4 (a sensor before the actuator generates a trigger signal for discharging). ) Is discharged by the second actuator A2. The fifth workpiece detection sensor S5 is for discharge confirmation.

上面検査後のチップ部品1はさらに第6ワーク検出センサS6で通過検出後、第2カメラC2で一方の側面が撮像、検査され、検査結果不良のチップ部品は第7ワーク検出センサS7で通過検出後に第3アクチュエータA3で排出される。第8ワーク検出センサS8は排出確認用である。   The chip part 1 after the upper surface inspection is further detected by the sixth work detection sensor S6, and then one side surface is imaged and inspected by the second camera C2, and the chip part having a defective inspection result is detected by the seventh work detection sensor S7. Later, it is discharged by the third actuator A3. The eighth workpiece detection sensor S8 is for discharge confirmation.

第3アクチュエータA3の前を通過したチップ部品1は固定整列ガイド15でチップ部品1の周回半径や姿勢が適正となるように案内され、図3に拡大して示すように、第2回転円盤20への当接ポイントPに至る。   The chip part 1 that has passed in front of the third actuator A3 is guided by the fixed alignment guide 15 so that the turning radius and posture of the chip part 1 are appropriate, and as shown in an enlarged view in FIG. The contact point P is reached.

チップ部品受け渡しのための当接ポイントPでは、第1回転円盤10上面の吸着穴12の真空吸引と、第2回転円盤20側面の吸着穴31の真空吸引とが共にオンになっており、第2回転円盤20の垂直面に当接したチップ部品1は側面が吸着されて第2回転円盤20側に保持される。その後、チップ部品1の移動に伴い第1回転円盤10側の吸着穴12の真空吸引はオフとなるため、チップ部品1は第2回転円盤20の連続回転に伴って搬送されて行く。   At the contact point P for delivering the chip component, both the vacuum suction of the suction hole 12 on the upper surface of the first rotary disk 10 and the vacuum suction of the suction hole 31 on the side surface of the second rotary disk 20 are both on. The side surface of the chip component 1 that is in contact with the vertical surface of the two-rotation disk 20 is adsorbed and held on the second rotation disk 20 side. Thereafter, the vacuum suction of the suction hole 12 on the first rotating disk 10 side is turned off as the chip part 1 moves, so that the chip part 1 is conveyed along with the continuous rotation of the second rotating disk 20.

そして、第2回転円盤20に移載されたチップ部品1は第9ワーク検出センサS9で通過検出後、第3カメラC3で下面が撮像、検査され、検査結果不良のチップ部品は第10ワーク検出センサS10で通過検出後に第4アクチュエータA4で排出される。第11ワーク検出センサS11は排出確認用である。   After the chip part 1 transferred to the second rotating disk 20 is detected by the ninth work detection sensor S9, the lower surface is imaged and inspected by the third camera C3. After the passage is detected by the sensor S10, it is discharged by the fourth actuator A4. The eleventh workpiece detection sensor S11 is for discharge confirmation.

下面検査後のチップ部品1はさらに第12ワーク検出センサS12で通過検出後、第4カメラC4で他方の側面が撮像、検査され、検査結果不良のチップ部品は第13ワーク検出センサS13で通過検出後に第5アクチュエータA5で排出される。第14ワーク検出センサS14は排出確認用である。そして、上面、一方の側面、下面、他方の側面の合計4面の検査が終了した良品のチップ部品1が良品排出位置Qに達し、ここで第2回転円盤20の吸着穴31の真空吸引がオフされることでチップ部品1は排出、回収される。   The chip part 1 after the lower surface inspection is further detected by the twelfth workpiece detection sensor S12, the other side surface is imaged and inspected by the fourth camera C4, and the chip part having a defective inspection result is detected by the thirteenth workpiece detection sensor S13. Later, it is discharged by the fifth actuator A5. The fourteenth workpiece detection sensor S14 is for discharge confirmation. Then, the non-defective chip component 1 that has been inspected for the total of four surfaces including the upper surface, one side surface, the lower surface, and the other side surface reaches the non-defective product discharge position Q, and the vacuum suction of the suction hole 31 of the second rotating disk 20 is performed here. By turning off, the chip component 1 is discharged and collected.

この実施の形態1によれば、次の通りの効果を得ることができる。   According to the first embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 第1回転円盤10でワークとしてのチップ部品1を水平面で吸着保持して搬送した後、第2回転円盤20の垂直面にてチップ部品1を吸着保持して搬送する構成であり、チップ部品の厚みのばらつきに関わりなく第1回転円盤10から第2回転円盤20へチップ部品を移載でき、チップ部品の受け渡し動作が確実である。図6及び図7の従来例のようなチップ部品の厚みばらつきに起因する不都合やチップ部品の破損事故は発生しない。また、チップ部品の姿勢を変えないで(垂直反転、水平反転しないで)移載でき、安定搬送が可能である。 (1) After the chip part 1 as a workpiece is sucked and held on a horizontal plane by the first rotating disk 10, the chip part 1 is sucked and held on the vertical surface of the second rotating disk 20, and transported. The chip component can be transferred from the first rotating disk 10 to the second rotating disk 20 regardless of variations in the thickness of the chip component, and the chip component delivery operation is reliable. There are no inconveniences or chip component damage accidents due to thickness variations of the chip parts as in the conventional examples of FIGS. In addition, the chip parts can be transferred without changing the posture of the chip parts (without vertical or horizontal inversion), and stable conveyance is possible.

(2) 第1回転円盤10と第2回転円盤20を連続回転させ、かつ第1回転円盤10では吸着穴12で、第2回転円盤20では吸着穴31でチップ部品1を吸着保持して搬送することで、搬送速度の高速化、チップ部品の搬送姿勢の安定化を図ることができる。 (2) The first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 are continuously rotated, and the chip component 1 is sucked and held by the suction hole 12 in the first rotating disk 10 and the suction hole 31 in the second rotating disk 20 and transported. By doing so, it is possible to increase the conveying speed and stabilize the conveying posture of the chip component.

(3) 第2回転円盤20は、その垂直面を成す円周面に多数の微小吸着穴31を円周方向に配列したものであり、個々のチップ部品1の側面を多数の微小吸着穴31で吸着することで、搬送姿勢のずれを発生することなく安定搬送できる。そして、第2回転円盤20を、ハーフエッチングで吸着溝31aを多数放射状に形成した円環状溝付きプレート部21と、前記吸着溝31aに蓋をして吸着穴31とする円板状蓋プレート部22とを重ね合わせた構造とすることで、少ない構成部材(2枚のプレート部の組み合わせ)で多数の微小吸着穴31を円周面に開口させた第2回転円盤20を構成可能である。 (3) The second rotating disk 20 has a large number of minute suction holes 31 arranged in the circumferential direction on the circumferential surface forming the vertical plane, and the side surfaces of the individual chip components 1 are arranged on the side surfaces of the many minute suction holes 31. By adsorbing with, stable conveyance can be performed without causing a deviation of the conveyance posture. Then, the second rotating disk 20 includes an annular grooved plate portion 21 in which a large number of suction grooves 31a are radially formed by half etching, and a disk-shaped lid plate portion that covers the suction grooves 31a to form suction holes 31. The second rotating disk 20 having a large number of minute suction holes 31 opened on the circumferential surface can be configured with a small number of structural members (a combination of two plate portions).

(4) 上記(1)〜(3)により、チップ部品の4面(上下面、2側面)の外観検査を行う場合の検査処理数(処理能力)が向上し(従来例の1.3〜2.0倍)、検査コストの低減が可能となる。 (4) Due to the above (1) to (3), the number of inspection processes (processing capacity) in the case of visual inspection of the four surfaces (upper and lower surfaces and two side surfaces) of the chip component is improved (1.3 to 3 in the conventional example) 2.0 times), the inspection cost can be reduced.

(5) 検査精度が改善し、検査工程での歩留りが向上が期待できる。とくに、長さ1mm以下の極小サイズチップ部品(1005タイプ、0603タイプ、0402タイプ等)において、検査精度の向上、安定化を図り、信頼性の高い検査方法及び装置が得られる。なお、コンデンサ、インダクタ、サーミスタ、バリスタ等のように、上記チップ部品形状の厚さと幅とが、概ね同じ寸法である、換言すればチップ部品の横断面が略正方形に近い直方体状チップ部品が搬送上好ましい。チップ抵抗の様に厚さが薄い偏平形状チップでは不適である。 (5) The inspection accuracy can be improved and the yield in the inspection process can be expected to improve. In particular, it is possible to improve and stabilize the inspection accuracy and to obtain a highly reliable inspection method and apparatus for ultra-small chip parts (1005 type, 0603 type, 0402 type, etc.) having a length of 1 mm or less. It should be noted that, like capacitors, inductors, thermistors, varistors, etc., the thickness and width of the chip component shape are approximately the same, in other words, a rectangular parallelepiped chip component whose cross section is almost square is conveyed. Above preferred. It is not suitable for a flat chip having a small thickness such as a chip resistor.

図9乃至図15で本発明の実施の形態2を説明する。これらの図において、第1回転円盤10と第2回転円盤20とでワークとしての直方体状チップ部品の搬送装置を構成しており、第1回転円盤10外縁部のチップ載置面(上面)11にパーツフィーダ5からチップ部品1が順次供給される構成は実施の形態1と同様である。   A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In these drawings, the first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 constitute a conveying device for a rectangular parallelepiped chip component as a workpiece, and a chip mounting surface (upper surface) 11 at the outer edge portion of the first rotating disk 10. The configuration in which the chip parts 1 are sequentially supplied from the parts feeder 5 is the same as in the first embodiment.

ここで、パーツフィーダ5より第1回転円盤10にチップ部品を供給する際、図10のようにパーツフィーダ5のシュート部を第1回転円盤10のチップ載置面11上方に配置するが、第1回転円盤10とパーツフィーダ5のシュート部が干渉しないように僅かな隙間が必要となる。また、チップ部品1を第1回転円盤10に受け渡す際に、パーツフィーダ5のシュート部としてのワーク搬送溝5aの底面(搬送面)5bと第1回転円盤10のチップ載置面11との距離Dを極力短くしないと受け渡し時のチップ部品の傾き(入射角度)が大きくなりチップ部品1の立ち等の姿勢不良の問題が生じる。このため、パーツフィーダ5のワーク搬送溝5の底面部分の肉厚Tを極力薄くする必要がある。図10(A)の対策前の構成では、ワーク搬送溝5の底面部分の肉厚Tが薄くないため、第1回転円盤10のチップ載置面11との距離Dも大きく、極小サイズチップ部品の場合には前記入射角度が過大となるが、図10(B)のようにワーク搬送溝5の底面部分の肉厚を極力薄いT’とすることで、第1回転円盤10のチップ載置面11との距離をD’に減じ、かつワーク搬送溝5aの先端部に傾斜面5cを形成することでチップ部品の入射角度を小さくして、チップ部品1のチップ載置面11への受け渡し姿勢を安定化することができる。この効果は、とくに極小サイズチップ部品の場合に顕著である。   Here, when supplying the chip parts from the parts feeder 5 to the first rotating disk 10, the chute portion of the parts feeder 5 is disposed above the chip mounting surface 11 of the first rotating disk 10, as shown in FIG. A slight gap is required so that the one-turn disc 10 and the chute portion of the parts feeder 5 do not interfere with each other. Further, when the chip component 1 is delivered to the first rotating disk 10, the bottom surface (conveying surface) 5 b of the work conveying groove 5 a as a chute part of the parts feeder 5 and the chip mounting surface 11 of the first rotating disk 10 If the distance D is not shortened as much as possible, the tilt (incident angle) of the chip component at the time of delivery becomes large, and the problem of poor posture such as standing of the chip component 1 occurs. For this reason, it is necessary to make the wall thickness T of the bottom surface portion of the workpiece conveying groove 5 of the parts feeder 5 as thin as possible. 10A, since the thickness T of the bottom surface portion of the workpiece conveying groove 5 is not thin, the distance D from the chip mounting surface 11 of the first rotary disk 10 is also large, and the extremely small chip component. In this case, the incident angle becomes excessive, but the chip placement of the first rotating disk 10 is achieved by setting the bottom surface portion of the work conveying groove 5 to be as thin as possible T ′ as shown in FIG. By reducing the distance to the surface 11 to D ′ and forming the inclined surface 5c at the tip of the workpiece conveying groove 5a, the incident angle of the chip component is reduced, and the chip component 1 is transferred to the chip mounting surface 11 The posture can be stabilized. This effect is particularly remarkable in the case of extremely small chip components.

また、パーツフィーダ5より第1回転円盤10にチップ部品1を供給する際、図11(A),(B)のようにパーツフィーダ5のシュート部は、チップ部品1の長手方向4面のうちの3〜4面を拘束する溝形状、つまりワーク搬送溝5aとなっているが、シュート部からチップ部品1が出てチップ載置面11に供給される際に拘束面が無くなると、第1回転円盤10のチップ載置面11に受け渡す際にチップ部品が回転し、チップ部品姿勢がばらつく。チップ部品姿勢がばらつくと、後工程での外観検査において検査面の映り具合がばらつくために検査精度低下の原因となる。   Further, when the chip component 1 is supplied from the parts feeder 5 to the first rotating disk 10, the chute portion of the parts feeder 5 is located among the four longitudinal surfaces of the chip component 1 as shown in FIGS. However, when the chip part 1 comes out of the chute and is supplied to the chip mounting surface 11, the first shape is eliminated. When the chip component is transferred to the chip mounting surface 11 of the rotary disk 10, the chip component rotates, and the chip component posture varies. If the posture of the chip component varies, the reflected state of the inspection surface varies in appearance inspection in a later process, which causes a decrease in inspection accuracy.

このチップ部品1の姿勢ばらつきを改善するために、図11(A),(B)のように受け渡し位置でのチップ部品1の両側面を拘束する目的で、シュート部の底面5bよりも両側面を延長したワーク姿勢規制ガイド5dを設ける構成、あるいは図12(A),(B)のように別付けのワーク姿勢規制ガイド5d’を設ける。   In order to improve the variation in the posture of the chip component 1, both side surfaces of the chute part are more than the bottom surface 5b for the purpose of constraining both side surfaces of the chip part 1 at the delivery position as shown in FIGS. Or a workpiece posture regulation guide 5d ′ provided separately as shown in FIGS. 12A and 12B.

しかし、上記ワーク姿勢規制ガイド5d,5d’を設ける場合、ワーク寸法公差を考慮する必要がある。例えば、0603サイズのコンデンサ等はワーク寸法が幅及び高さ0.3±0.03mmで、長さ0.6±0.03mmであり、ガイド幅は0.33mm以上必要となる。実際には最大寸法を考慮し、ガイド幅寸法は0.35mmを考慮する必要がある。最小公差のワークを考慮した場合、最大で0.08mmの隙間が生じ、0.6mmのワーク長さでは最大で7.6度の傾きを生じてしまうこととなる。   However, when the workpiece posture regulation guides 5d and 5d 'are provided, it is necessary to consider workpiece dimension tolerance. For example, a 0603 size capacitor has a workpiece size of 0.3 ± 0.03 mm in width and height, 0.6 ± 0.03 mm in length, and a guide width of 0.33 mm or more. Actually, it is necessary to consider the maximum dimension and 0.35 mm for the guide width dimension. When considering a workpiece having the minimum tolerance, a gap of 0.08 mm is generated at the maximum, and a gradient of 7.6 degrees is generated at the maximum of a workpiece length of 0.6 mm.

実験結果により、外観検査で許容可能なチップ部品の傾きは±6度以内であることが判った。±6度を越えると反射光が変化する為、チップ部品の欠陥抽出にばらつきが生じることとなる。   From the experimental results, it was found that the inclination of the chip component allowable in the visual inspection is within ± 6 degrees. If the angle exceeds ± 6 degrees, the reflected light changes, and therefore, the defect extraction of the chip parts will vary.

従って、図11や図12に示した上記ワーク姿勢規制ガイド5d,5d’だけでは外観検査においては不十分である。このため、図9に示すように、外観検査の前段階でチップ部品の更なる姿勢矯正を行う姿勢矯正部となるセンタリングローラー60を第1回転円盤10の上方に設けている。この場合、センタリングローラー60は連続回転し、第1回転円盤10で搬送されるチップ部品1の円環搬送経路の内周側で該搬送経路に外周面が内接するようになっており、センタリングローラー60の周速は、前記搬送経路に内接する位置での第1回転円盤10の周速に一致(前記搬送経路を移動するチップ部品内側側面の周速に一致)しており、センタリングローラー60の外周面に接触するチップ部品1の姿勢を前記搬送経路の接線方向に近づけるように姿勢矯正を行う。   Therefore, the workpiece posture regulation guides 5d and 5d 'shown in FIGS. 11 and 12 are not sufficient for the appearance inspection. For this reason, as shown in FIG. 9, a centering roller 60 serving as a posture correction unit that further corrects the posture of the chip component is provided above the first rotating disk 10 before the appearance inspection. In this case, the centering roller 60 is continuously rotated, and the outer peripheral surface is inscribed in the inner peripheral side of the annular transport path of the chip component 1 transported by the first rotating disk 10. The peripheral speed of 60 coincides with the peripheral speed of the first rotating disk 10 at a position inscribed in the transport path (corresponds to the peripheral speed of the inner side surface of the chip part moving on the transport path). Posture correction is performed so that the posture of the chip component 1 in contact with the outer peripheral surface is brought closer to the tangential direction of the transport path.

このように、第1回転円盤10の上方で連続回転しているセンタリングローラー60の周速とチップ部品の周速を一致させることにより、接触時の摩擦抵抗によるチップ部品姿勢の劣化やセンタリングローラー60との接触抵抗が緩和され、高速で連続搬送中の移動物体としてのチップ部品を姿勢矯正可能である。   As described above, by matching the peripheral speed of the centering roller 60 continuously rotating above the first rotating disk 10 with the peripheral speed of the chip component, the chip component posture is deteriorated due to frictional resistance at the time of contact, and the centering roller 60. And the tip part as a moving object during continuous conveyance at high speed can be corrected.

前記パーツフィーダ5のシュート部先端部のワーク姿勢規制ガイド5d,5d’によりチップ部品1の姿勢を一定ばらつき範囲内に抑え、センタリングローラー60によって更に高精度の姿勢矯正を行うことによってチップ部品姿勢を±5度以内(4σ以内、但しσ:標準偏差)に収めることが可能となる。   The posture of the chip component 1 is suppressed within a certain variation range by the workpiece posture regulation guides 5d and 5d 'at the tip portion of the chute portion of the parts feeder 5, and the posture of the chip component is corrected by performing high-precision posture correction by the centering roller 60. It is possible to be within ± 5 degrees (within 4σ, where σ is standard deviation).

また、第1回転円盤10について述べると、従来、連続回転する吸着円盤にワークを供給する際、ワーク供給は不規則的に供給される為、吸着穴とワークとの位置関係を制御することが困難であり、よって多孔質状の吸着円盤が利用されワークと吸着穴位置に関係無くワーク吸着保持が可能であった。しかし、本発明の各実施の形態のように、2枚の吸着円盤を用い、吸着円盤間でワークとしてのチップ部品の受渡しを行う場合、多孔質状の円盤では真空の切り替えがうまく行えず、ワークの受渡しが安定しないなどの問題がある(多孔質の為、周囲に真空が廻ってしまい、ワークの受渡し時に真空が切れないので受渡し動作が安定しない。)。   Further, the first rotating disk 10 will be described. Conventionally, when a work is supplied to a continuously rotating suction disk, the work supply is irregularly supplied, so that the positional relationship between the suction holes and the work can be controlled. Therefore, a porous suction disk was used, and it was possible to hold and hold the workpiece regardless of the position of the workpiece and the suction hole. However, as in each embodiment of the present invention, when using two suction disks and transferring chip parts as workpieces between the suction disks, the porous disk cannot perform the switching of the vacuum well, There is a problem that the delivery of the workpiece is not stable (the porous operation causes a vacuum around it, and the delivery operation is not stable because the vacuum does not break when the workpiece is delivered).

このため、本実施の形態では、第1回転円盤10を図13乃至図15に示す構造としている。すなわち、第1回転円盤10は、1個のチップ部品1に対して図14(A),(B)に示す複数の吸着穴12が対面(開口)するように吸着穴12を円環状に等間隔で多数配置した吸着穴形成プレート部65と、複数の吸着穴12からなる吸着穴群毎に図15(A),(B)の真空吸引用溝67が1個ずつ対応して連通するように複数の真空吸引用溝67を島状に分離形成した真空吸引プレート部66とを有し、図13(A),(B)のように真空吸引プレート部66上に前記吸着穴形成プレート部65を一体化した構成である。なお、実施の形態1の図2に示したように、第1回転円盤10の下面には、回転しない真空排気プレート13が密接しており、この固定真空吸引溝14に連通する真空吸引用溝67が真空吸引されることになる。   Therefore, in the present embodiment, the first rotating disk 10 has a structure shown in FIGS. That is, the first rotating disk 10 has the suction holes 12 in an annular shape so that the plurality of suction holes 12 shown in FIGS. 14A and 14B face (open) with respect to one chip component 1. A plurality of suction hole forming plate portions 65 arranged at intervals and a vacuum suction groove 67 shown in FIGS. 15A and 15B communicate with each other corresponding to each suction hole group including a plurality of suction holes 12. And a vacuum suction plate portion 66 in which a plurality of vacuum suction grooves 67 are separately formed in an island shape, and the suction hole forming plate portion is formed on the vacuum suction plate portion 66 as shown in FIGS. 65 is an integrated configuration. As shown in FIG. 2 of the first embodiment, a vacuum exhaust plate 13 that does not rotate is in close contact with the lower surface of the first rotary disk 10, and a vacuum suction groove that communicates with the fixed vacuum suction groove 14. 67 is vacuumed.

前記吸着穴形成プレート部65への等ピッチ吸着穴形成方法としては、ステンレス板へのエッチング加工又はレーザー加工が用いられる。特に、ワークサイズが0402サイズ等の場合、吸着穴径は0.1mm以下が望ましいが、エッチングでは穴径のばらつきが大きくなる。また、エッチングでは加工可能穴径とステンレス材の板厚の制約が生じる為(一般的に加工可能穴径と板厚が1対1までが限界とされる為、ステンレス板の板厚は0.1mm以下となる)、ステンレス材の剛性が得られにくいなどの課題もある。この為、吸着穴の形成には、ステンレス板にUV−YAGレーザー又はフェムト秒レーザーなどを利用したレーザー加工を施すことが適し、この場合には板厚0.3mmを実現可能である。   As a method for forming equal pitch suction holes on the suction hole forming plate portion 65, etching processing or laser processing on a stainless steel plate is used. In particular, when the workpiece size is 0402 size or the like, the suction hole diameter is preferably 0.1 mm or less, but the hole diameter variation increases in etching. In addition, because the hole diameter that can be machined and the plate thickness of the stainless steel are limited in etching (generally, the hole diameter and plate thickness that can be machined are limited to 1: 1, so the plate thickness of the stainless steel plate is 0. 1). There are also problems such as difficulty in obtaining the rigidity of the stainless steel material. For this reason, it is suitable to form a suction hole by applying laser processing using a UV-YAG laser or a femtosecond laser to a stainless steel plate. In this case, a plate thickness of 0.3 mm can be realized.

図13(B)からわかるように、島状に形成した真空吸引用溝67を設けた真空吸引プレート部66上に、チップ部品を吸着保持する為にチップ部品搬送経路の中央を通過する円周上に等間隔で多数の微小吸着穴12を形成することにより、チップ部品供給位置に関係無くチップ部品を吸着保持出来、且つ島状に形成した真空吸引用溝67毎に真空吸引の連通(オン)、遮断(オフ)が可能であり、チップ部品1の連続搬送時のチップ部品受渡しが安定して行える。   As can be seen from FIG. 13B, the circumference passing through the center of the chip component conveyance path to suck and hold the chip component on the vacuum suction plate portion 66 provided with the vacuum suction groove 67 formed in an island shape. By forming a large number of minute suction holes 12 at equal intervals on the chip parts, the chip parts can be sucked and held regardless of the chip part supply position, and the vacuum suction communication is turned on for each vacuum suction groove 67 formed in an island shape (ON ), Can be cut off (off), and chip component delivery during continuous conveyance of the chip component 1 can be performed stably.

なお、実施の形態2のその他の構成は前述した実施の形態1と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。   Other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment described above, and the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図16は本発明の実施の形態3であって、外観検査を行う撮像手段としてのカメラの配置を変更した例である。この場合、第1回転円盤10のチップ部品1の搬送経路に対向して撮像手段としての第1カメラC1、第2カメラC2及び第4カメラC4が配置され、また、第2回転円盤20のチップ部品1の搬送経路に対向して第3カメラC3が配置されている。第1回転円盤10の搬送経路に対応する第1カメラC1はチップ部品1の上面を撮像、検査(画像処理検査)し、第2カメラC2はチップ部品1の一方の側面を撮像、検査し、第4カメラC4はチップ部品1の他方の側面を撮像、検査し、第2回転円盤20の搬送経路に対応する第3カメラC3はチップ部品1の下面を撮像、検査するためのものであり、例えばCCDカメラ、ラインセンサ等である。この場合、第1回転円盤10でチップ部品を約3/4周搬送して3つのカメラの配置を可能にしている。   FIG. 16 is a third embodiment of the present invention, which is an example in which the arrangement of cameras as imaging means for performing appearance inspection is changed. In this case, the first camera C1, the second camera C2, and the fourth camera C4 as imaging means are arranged facing the conveyance path of the chip component 1 of the first rotating disk 10, and the chip of the second rotating disk 20 is disposed. A third camera C3 is disposed to face the conveyance path of the component 1. The first camera C1 corresponding to the conveying path of the first rotating disk 10 images and inspects (image processing inspection) the upper surface of the chip component 1, and the second camera C2 images and inspects one side of the chip component 1, The fourth camera C4 is for imaging and inspecting the other side surface of the chip component 1, and the third camera C3 corresponding to the transport path of the second rotating disk 20 is for imaging and inspecting the lower surface of the chip component 1. For example, a CCD camera or a line sensor. In this case, the first rotating disk 10 conveys chip components about 3/4 rounds to enable the arrangement of three cameras.

なお、実施の形態3のその他の構成は前述した実施の形態1又は2と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。   Other configurations of the third embodiment are the same as those of the first or second embodiment described above, and the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図17は本発明の実施の形態4であって、チップ部品を搬送するために第1回転円盤10と第2回転円盤20とを用いる点は実施の形態1,2,3と同様であるが、チップ部品搬送の順番を入れ替えた構成を示す。   FIG. 17 shows a fourth embodiment of the present invention, which is the same as the first, second, and third embodiments in that the first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 are used to convey chip components. The structure which replaced the order of chip components conveyance is shown.

すなわち、パーツフィーダ5からチップ部品1が第2回転円盤20の垂直面を成している円周面(外周側面)に接するように順次供給される。第2回転円盤20は、図18(A),(B)に示すように円周面に微小吸着穴31を有しているため、これによりチップ部品1は真空吸着で保持され、半周にわたり搬送された後、真空吸着解除により第1回転円盤10外縁部のチップ載置面(上面)11に受け渡される。   That is, the chip component 1 is sequentially supplied from the parts feeder 5 so as to be in contact with the circumferential surface (outer circumferential surface) forming the vertical surface of the second rotating disk 20. As shown in FIGS. 18A and 18B, the second rotating disk 20 has minute suction holes 31 on the circumferential surface thereof, so that the chip component 1 is held by vacuum suction and transported over a half circumference. Then, the vacuum suction is released, and the chip is transferred to the chip mounting surface (upper surface) 11 at the outer edge of the first rotating disk 10.

第1回転円盤10に移載されたチップ部品1は、チップ載置面11の微小吸着穴により真空吸着で保持され、半周にわたり搬送されるようになっている。   The chip component 1 transferred to the first rotating disk 10 is held by vacuum suction through a minute suction hole of the chip mounting surface 11 and is transported over a half circumference.

図18(A)のように、パーツフィーダ5から第2回転円盤20の円周面にチップ部品1を供給する位置には、チップ部品1を所定高さで支持する平坦面を持つ受け部70が設けられており、第2回転円盤20がパーツフィーダ5側のチップ部品の供給速度より速い周速で連続回転することで、その速度差によりチップ部品1を分離して搬送することができる。   As shown in FIG. 18A, the receiving part 70 having a flat surface for supporting the chip part 1 at a predetermined height is provided at a position where the chip part 1 is supplied from the parts feeder 5 to the circumferential surface of the second rotary disk 20. The second rotating disk 20 is continuously rotated at a peripheral speed faster than the supply speed of the chip parts on the part feeder 5 side, so that the chip parts 1 can be separated and conveyed by the speed difference.

図18(B)は実施の形態4における第1、第4及び第5アクチュエータA1,A4,A5の例であり、ピエゾ素子を利用したピエゾアクチュエータ75で第1アクチュエータA1の場合には未整列(ピッチ不良)のチップ部品を落下させて排出し、第4及び第5アクチュエータA4,A5の場合には外観不良のチップ部品を落下させて排出する。各アクチュエータの前後にはワーク検出センサが配置されている(センサ機能は実施の形態1で説明したのと同様)。   FIG. 18B is an example of the first, fourth, and fifth actuators A1, A4, and A5 in the fourth embodiment. In the case of the first actuator A1 in the piezo actuator 75 using a piezo element, it is not aligned ( Chip components with defective pitch) are dropped and discharged. In the case of the fourth and fifth actuators A4 and A5, chip components with defective appearance are dropped and discharged. Work detection sensors are arranged before and after each actuator (the sensor function is the same as described in the first embodiment).

なお、実施の形態4のその他の構成は前述した実施の形態1又は2と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。   Other configurations of the fourth embodiment are the same as those of the first or second embodiment described above, and the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

実施の形態4において、チップ部品の外観検査を行う場合の全体的動作を説明する。   In the fourth embodiment, the overall operation when performing an appearance inspection of a chip component will be described.

図17のように、パーツフィーダ5先端部からワークとしてのチップ部品1が第2回転円盤20円周面(外周側面)に接するように順次供給される。第2回転円盤20はパーツフィーダ5側のチップ部品の供給速度より速い周速で連続回転しているので、その速度差によりチップ部品1を分離して搬送する。第2回転円盤20の円周面に接するように供給されたチップ部品1は、その一方の側面が第2回転円盤20の吸着穴31で真空吸着されることにより、整列してほぼ等間隔で安定姿勢を保ち搬送されて行く。   As shown in FIG. 17, the chip component 1 as a workpiece is sequentially supplied from the tip of the parts feeder 5 so as to contact the circumferential surface (outer peripheral surface) of the second rotating disk 20. Since the second rotating disk 20 continuously rotates at a peripheral speed faster than the supply speed of the chip component on the part feeder 5 side, the chip component 1 is separated and conveyed by the speed difference. The chip parts 1 supplied so as to be in contact with the circumferential surface of the second rotating disk 20 are vacuum-sucked by the suction holes 31 of the second rotating disk 20 so that the chip parts 1 are aligned and arranged at almost equal intervals. It is transported while maintaining a stable posture.

そして、第1アクチュエータA1通過時に、未整列(ピッチ不良)のチップ部品1がある場合にはこれを未整列部品回収部7を介してパーツフィーダ5に戻す。未整列部品回収部7はベルトコンベア等である。   When there is an unaligned (pitch defect) chip component 1 when passing through the first actuator A1, it is returned to the parts feeder 5 via the unaligned component recovery unit 7. The unaligned part collection unit 7 is a belt conveyor or the like.

第1アクチュエータA1を通過した整列状態のチップ部品1は、第3カメラC3で下面が撮像、検査され、検査結果不良のチップ部品は第4アクチュエータA4で排出される。   The chip part 1 in the aligned state that has passed through the first actuator A1 is imaged and inspected by the third camera C3, and the chip part having a defective inspection result is discharged by the fourth actuator A4.

下面検査後のチップ部品1はさらに第4カメラC4で一方の側面が撮像、検査され、検査結果不良のチップ部品は第5アクチュエータA5で排出される。   The chip part 1 after the lower surface inspection is further imaged and inspected by the fourth camera C4, and a chip part having a defective inspection result is discharged by the fifth actuator A5.

第2回転円盤20から第1回転円盤10へのチップ部品受け渡しのためのポイントPでは、第1回転円盤10上面の吸着穴12の真空吸引と、第2回転円盤20側面の吸着穴31の真空吸引とが共にオンになっており、第1回転円盤10の水平面に接したチップ部品1は底面が吸着されて第1回転円盤10側に保持される。その後、チップ部品1の移動に伴い第2回転円盤20側の吸着穴31の真空吸引はオフとなるため、チップ部品1は第1回転円盤10の連続回転に伴って搬送されて行く。   At the point P for transferring the chip parts from the second rotating disk 20 to the first rotating disk 10, the vacuum suction of the suction hole 12 on the upper surface of the first rotating disk 10 and the vacuum of the suction hole 31 on the side surface of the second rotating disk 20 are performed. Both the suction and the suction are turned on, and the chip component 1 in contact with the horizontal surface of the first rotating disk 10 is adsorbed on the bottom surface and held on the first rotating disk 10 side. Thereafter, the vacuum suction of the suction hole 31 on the second rotating disk 20 side is turned off as the chip part 1 moves, so that the chip part 1 is conveyed along with the continuous rotation of the first rotating disk 10.

そして、第1カメラC1でチップ部品1の上面が撮像、検査(画像処理検査)され、検査結果不良のチップ部品は第2アクチュエータA2で排出される。上面検査後のチップ部品1はさらに第2カメラC2で残りの一側面が撮像、検査され、検査結果不良のチップ部品は第3アクチュエータA3で排出される。そして、下面、一方の側面、上面、他方の側面の合計4面の検査が終了した良品のチップ部品1が良品排出位置Qに達し、ここで第1回転円盤10の真空吸引がオフされることで図示しない回収手段によってチップ部品1は排出、回収される。   Then, the upper surface of the chip component 1 is imaged and inspected (image processing inspection) by the first camera C1, and the chip component having a defective inspection result is discharged by the second actuator A2. The chip part 1 after the upper surface inspection is further imaged and inspected by the second camera C2, and the remaining one side is discharged by the third actuator A3. Then, the non-defective chip component 1 that has been inspected for a total of four surfaces including the lower surface, one side surface, the upper surface, and the other side surface reaches the non-defective product discharge position Q, and the vacuum suction of the first rotating disk 10 is turned off here. The chip part 1 is discharged and collected by a collecting means (not shown).

なお、実施の形態4において、第1回転円盤10が第2回転円盤20の下側に位置してチップ部品の底面を第1回転円盤10で吸着支持して搬送したが、第1回転円盤10を第2回転円盤20の上側でかつ吸着穴12が下向きに開口する配置としてチップ部品の上面を第1回転円盤10で吸着支持して搬送する構成も可能である。   In the fourth embodiment, the first rotating disk 10 is positioned below the second rotating disk 20 and the bottom surface of the chip component is sucked and supported by the first rotating disk 10. The upper surface of the chip component may be sucked and supported by the first rotating disk 10 so that the upper surface of the chip component is disposed on the upper side of the second rotating disk 20 and the suction holes 12 open downward.

上記実施の形態1乃至4はいずれも第1回転円盤10及び第2回転円盤20が水平面内で連続回転するものであったが、第1回転円盤10及び第2回転円盤20が共に垂直面(鉛直面)内で連続回転する構成とした実施の形態5を図19で説明する。   In the first to fourth embodiments, the first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 are continuously rotated in a horizontal plane. However, both the first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 are vertical surfaces ( A fifth embodiment configured to continuously rotate within a vertical plane) will be described with reference to FIG.

図19の実施の形態5において、第2回転円盤20は垂直面内で回転して吸着穴が開口している円周面(外周面)でチップ部品を吸着保持して搬送するものであり、パーツフィーダ5からチップ部品1を円周面上に供給する。第1回転円盤10は垂直面内で回転しており、ポイントPにて第2回転円盤20からチップ部品を受け、吸着穴が開口している片側垂直面でチップ部品を吸着保持して搬送するものである。   In the fifth embodiment of FIG. 19, the second rotating disk 20 is rotated in a vertical plane and sucks and holds the chip component on the circumferential surface (outer peripheral surface) where the suction holes are opened. The chip component 1 is supplied from the parts feeder 5 onto the circumferential surface. The first rotating disk 10 rotates in a vertical plane, receives a chip component from the second rotating disk 20 at a point P, and sucks and holds the chip component on one side vertical surface where the suction holes are opened. Is.

第1回転円盤10及び第2回転円盤20が共に垂直面(鉛直面)内で連続回転すること以外は前述した実施の形態4の構成及び動作と実質的に同じであり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。   Except that both the first rotating disk 10 and the second rotating disk 20 are continuously rotated in a vertical plane (vertical plane), the configuration and operation are substantially the same as those in the above-described fourth embodiment, and the same or corresponding parts. The same reference numerals are given and the description is omitted.

なお、上記各実施の形態におけるチップ部品の搬送系は、チップ部品の外観検査に利用できるだけでなく、それ以外の測定機等にも適用できる。   In addition, the conveyance system of the chip component in each of the above embodiments can be used not only for the appearance inspection of the chip component but also for other measuring machines.

また、上記各実施の形態において、チップ部品排出機構としてピエゾ素子を利用したアクチュエータを使用したが、不良品等のチップ部品排出方法としてエアによる吹き飛ばしを利用する構成とすることも可能である。   In each of the above embodiments, an actuator using a piezo element is used as a chip component discharge mechanism. However, it is also possible to use a configuration in which air blowing is used as a chip component discharge method for defective products.

また、図16に示した実施の形態3のカメラ配置は、実施の形態4又は5の場合にも適用可能であり、第2回転円盤側でチップ部品の底面を1つのカメラで撮像し、残り3面を第1回転円盤側の3つのカメラで撮像する構成としてもよい。   The camera arrangement of the third embodiment shown in FIG. 16 can also be applied to the fourth or fifth embodiment. The bottom surface of the chip component is imaged with one camera on the second rotating disk side, and the rest It is good also as a structure which images 3 surfaces with three cameras by the side of a 1st rotation disk.

以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。   Although the embodiments of the present invention have been described above, it will be obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims.

本発明に係るチップ部品搬送方法及び装置、並びに外観検査方法及び装置の実施の形態1を示す平面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a top view which shows Embodiment 1 of the chip component conveyance method and apparatus which concerns on this invention, and an external appearance inspection method and apparatus. 実施の形態1の正断面図である。FIG. 3 is a front sectional view of the first embodiment. 実施の形態1において、第1回転円盤から第2回転円盤への受け渡し部分の拡大平断面図である。In Embodiment 1, it is an expanded plane sectional view of the delivery part from the 1st rotation disk to the 2nd rotation disk. 実施の形態1における第2回転円盤の構成部材であって、(A)は円環状溝付きプレート部の平面図、(B)はハーフエッチング(斜線部で示す)で微小吸着溝を多数放射状に形成した(A)の平面図のX部拡大図、(C)は微小吸着溝の上側に蓋をして微小吸着穴を形成する円板状蓋プレート部の平面図、(D)は円環状溝付きプレート部と円板状蓋プレート部とを重ね合わせて微小吸着穴を形成した状態の部分側面図である。FIG. 2A is a structural member of the second rotating disk according to the first embodiment, where FIG. 3A is a plan view of an annular grooved plate portion, and FIG. The X-part enlarged view of the formed plan view of (A), (C) is a plan view of a disc-like lid plate part that forms a micro-adsorption hole by covering the upper side of the micro-adsorption groove, and (D) is an annular shape. It is a partial side view of the state where the grooved plate portion and the disc-like lid plate portion were overlapped to form a fine suction hole. 実施の形態1で用いるチップ部品排出のためのアクチュエータの概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an actuator for discharging chip components used in the first embodiment. 従来の搬送装置を示す平面図である。It is a top view which shows the conventional conveying apparatus. 同正断面図である。FIG. 図7のY矢視図である。It is a Y arrow line view of FIG. 本発明の実施の形態2を示す平面図である。It is a top view which shows Embodiment 2 of this invention. パーツフィーダから第1回転円盤へチップ部品を供給する部分の構成であって、(A)はチップ部品入射角の改善前の部分側断面図、(B)は実施の形態2においてチップ部品入射角を改善した部分側断面図である。It is a structure of the part which supplies a chip component from a parts feeder to a 1st rotation disc, Comprising: (A) is a fragmentary sectional side view before improvement of chip component incident angle, (B) is chip component incident angle in Embodiment 2. FIG. 実施の形態2におけるパーツフィーダから第1回転円盤へチップ部品を供給する部分の構成であって、(A)はシュート部側面を利用したガイド部の平面図、(B)は同側断面図である。It is the structure of the part which supplies a chip component from the parts feeder in Embodiment 2 to a 1st rotation disc, (A) is a top view of the guide part using a chute | shoot part side surface, (B) is the same sectional side view. is there. 実施の形態2におけるパーツフィーダから第1回転円盤へチップ部品を供給する部分の他の構成であって、(A)はシュート部先端側に別付けガイド部を設けた構成の平面図、(B)は同側断面図である。FIG. 5B is another configuration of the part for supplying chip parts from the parts feeder to the first rotating disk in the second embodiment, and FIG. 5A is a plan view of a configuration in which a separate guide part is provided on the tip side of the chute part; ) Is a cross-sectional side view of the same side. 実施の形態2における第1回転円盤の構成であって、(A)は正断面図、(B)は拡大平面図である。It is a structure of the 1st rotation disc in Embodiment 2, Comprising: (A) is a front sectional view, (B) is an enlarged plan view. 同じく第1回転円盤を構成する吸着穴形成プレート部であって、(A)は平面図、(B)は正断面図である。It is the suction hole formation plate part which comprises a 1st rotation disk similarly, Comprising: (A) is a top view, (B) is a front sectional view. 同じく第1回転円盤を構成する真空吸引プレート部であって、(A)は平面図、(B)は正断面図である。Similarly, it is a vacuum suction plate part which comprises a 1st rotation disc, Comprising: (A) is a top view, (B) is a front sectional view. 本発明の実施の形態3を示す平面図である。It is a top view which shows Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4を示す平面図である。It is a top view which shows Embodiment 4 of this invention. 実施の形態4における第2回転円盤周辺の構成であって、(A)はパーツフィーダからチップ部品を第2回転円盤に供給する部分の概略構成図、(B)は第2回転円盤の周囲に設けられるチップ部品排出のためのアクチュエータの概略構成図である。FIG. 4 is a configuration around the second rotating disk in the fourth embodiment, where (A) is a schematic configuration diagram of a portion for supplying chip parts from the parts feeder to the second rotating disk, and (B) is around the second rotating disk. It is a schematic block diagram of the actuator for chip | tip component discharge | emission provided. 本発明の実施の形態5を示す側面図である。It is a side view which shows Embodiment 5 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 チップ部品
5,50 パーツフィーダ
7 未整列部品回収部
10,20 回転円盤
21,22 プレート部
11 チップ載置面
12,31 吸着穴
31a 吸着溝
13,27 真空排気プレート
14,28 固定真空吸引溝
15 ホース
16,26 回転駆動軸
40 チップ部品排出機構
60 センタリングローラー
65 吸着穴形成プレート部
66 真空吸引プレート部
67 真空吸引用溝
A1〜A5 アクチュエータ
C1〜C4 カメラ
P ポイント
S1〜S14 ワーク検出センサ
1 Chip parts 5,50 Parts feeder
7 Unaligned parts collection part 10,20 Rotating disk 21,22 Plate part 11 Chip mounting surface
12, 31 Suction hole 31a Suction groove 13, 27 Vacuum exhaust plate 14, 28 Fixed vacuum suction groove 15 Hose 16, 26 Rotating drive shaft 40 Chip component discharge mechanism 60 Centering roller 65 Suction hole forming plate section 66 Vacuum suction plate section 67 Vacuum Suction groove A1-A5 Actuator C1-C4 Camera P Point S1-S14 Work detection sensor

Claims (21)

水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを用い、チップ部品を搬送する方法であり、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、本方法は、
前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面でチップ部品を支持しながら前記第1の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送して、前記第2の回転円盤の前記円周面のうち前記チップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にある部分に前記チップ部品を当接させた後、前記第2の回転円盤の前記円周面にて前記チップ部品を吸着保持しながら前記第2の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送することを特徴とするチップ部品搬送方法。
Using a first rotating disk that rotates in a horizontal plane and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk;
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and There is a gap narrower than the height of the chip component to be transported with respect to the chip component mounting surface, and the method includes:
Wherein conveying the chip components by the rotation of said first rotary disc while asked to support the chip component in the chip component mounting surface of the first rotating disk, the circumferential surface of the second rotary disk after out said chip than the outer edge of the component placement surface is brought into contact with the chip component to a portion in the center axis side of the first rotary disc, the chips at the circumferential surface of the second rotary disk A chip component conveying method comprising conveying the chip component by rotation of the second rotating disk while adsorbing and holding the component.
前記第1の回転円盤と前記第2の回転円盤が、連続回転する請求項1記載のチップ部品搬送方法。   The chip part conveying method according to claim 1, wherein the first rotating disk and the second rotating disk rotate continuously. 水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを備え、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、
前記第1の回転円盤は、前記チップ部品載置面でチップ部品を支持しながら自身の回転により前記チップ部品を搬送して、前記第2の回転円盤の前記円周面のうち前記チップ部品載置面の外縁よりも自身の中心軸側にある部分に前記チップ部品を当接させ、
前記第2の回転円盤は、前記第1の回転円盤によって搬送されて前記円周面に当接した前記チップ部品を前記円周面にて吸着保持しながら自身の回転により搬送することを特徴とするチップ部品搬送装置。
A first rotating disk that rotates in a horizontal plane, and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk,
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and Present with a gap narrower than the height of the chip component to be conveyed with respect to the chip component placement surface,
Said first rotary disc, the said by rotation of its own while asked to support the chip component in the chip component mounting surface conveys the chip components, said chip part of the circumferential surface of the second rotary disk The chip component is brought into contact with a portion on the center axis side of the outer surface of the placement surface,
It said second rotary disk includes a Turkey be conveyed by the rotation of itself while holding adsorbing the first of the chip component abuts against the circumferential surface is carried by a rotating disc at the circumferential surface A chip component conveying device.
前記第2の回転円盤は、ハーフエッチングで吸着溝を形成した溝付きプレート部と、前記吸着溝の蓋をして吸着穴とする蓋プレート部とを有し、前記吸着穴は前記円周面に開口している請求項3記載のチップ部品搬送装置。 The second rotating disk has a grooved plate portion in which an adsorption groove is formed by half-etching, and a lid plate portion that serves as an adsorption hole by covering the adsorption groove, and the adsorption hole is formed on the circumferential surface. 4. The chip part conveying apparatus according to claim 3, wherein the chip part conveying apparatus is open. 1つのチップ部品に対して複数の吸着穴が対向するように、前記円周面の円周方向に前記吸着穴が多数配列されている請求項3又は4記載のチップ部品搬送装置。 5. The chip part conveying apparatus according to claim 3, wherein a plurality of the suction holes are arranged in a circumferential direction of the circumferential surface so that a plurality of suction holes face one chip part. 前記請求項1又は2のチップ部品搬送方法を用い、前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、第1の撮像手段によりチップ部品の上面を撮像するとともに、第2の撮像手段によりチップ部品の一方の側面を撮像し、前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で第3の撮像手段によりチップ部品の下面を撮像するとともに、第4の撮像手段によりチップ部品の他方の側面を撮像することを特徴とするチップ部品外観検査方法。   Using the chip component transport method according to claim 1 or 2, in a state where the chip component is transported by the first rotating disk, the first imaging unit captures an upper surface of the chip component, and the second imaging. One side surface of the chip component is imaged by the means, and the lower surface of the chip component is imaged by the third imaging means while the chip component is being conveyed by the second rotating disk, and the chip is captured by the fourth imaging means. A chip component visual inspection method, wherein the other side surface of the component is imaged. 前記請求項3,4又は5のチップ部品搬送装置を備えるとともに、
前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の上面を撮像する第1の撮像手段及びチップ部品の一方の側面を撮像する第2の撮像手段と、
前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の下面を撮像する第3の撮像手段及びチップ部品の他方の側面を撮像する第4の撮像手段とを備えることを特徴とするチップ部品外観検査装置。
While comprising the chip component conveying device of claim 3, 4 or 5,
A first imaging means for imaging the upper surface of the chip component and a second imaging means for imaging one side surface of the chip component in a state in which the chip component is being conveyed by the first rotating disk;
And a third imaging means for imaging the lower surface of the chip component and a fourth imaging means for imaging the other side surface of the chip component while the chip component is being conveyed by the second rotating disk. Chip part appearance inspection device.
水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを用い、チップ部品を搬送する方法であり、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、本方法は、
前記第2の回転円盤の前記円周面にてチップ部品を吸着保持しながら前記第2の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送し、前記チップ部品を吸着保持している前記円周面が前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にある部分に来たところで前記チップ部品を前記円周面から前記チップ部品載置面に移載した後、前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面前記チップ部品を支持しながら前記第1の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送することを特徴とするチップ部品搬送方法。
Using a first rotating disk that rotates in a horizontal plane and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk;
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and There is a gap narrower than the height of the chip component to be transported with respect to the chip component mounting surface, and the method includes:
Wherein the chip components conveyed by the rotation of said second rotary disc while sucking and holding the chip component at the circumferential surface of the second rotary disc, the circumferential surface of the chip component is held by suction is The chip component is moved from the circumferential surface to the chip component mounting surface when it comes to a portion closer to the center axis of the first rotating disc than the outer edge of the chip component mounting surface of the first rotating disc. after transfer, the chip component, characterized by conveying the chip components by rotation of said first rotary disc while asked to support the chip component in the chip component mounting surface of the first rotating disk Transport method.
鉛直面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に鉛直面内で回転する第2の回転円盤とを用い、チップ部品を搬送する方法であり、
前記第2の回転円盤の外周面の一部は、前記第1の回転円盤の鉛直なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、本方法は、
前記第2の回転円盤の前記外周面にてチップ部品を吸着保持しながら前記第2の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送し、前記チップ部品を吸着保持している前記外周面が前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にある部分に来たところで前記チップ部品を前記外周面から前記チップ部品載置面に移載した後、前記第1の回転円盤の前記チップ部品載置面前記チップ部品を吸着保持しながら前記第1の回転円盤の回転により前記チップ部品を搬送することを特徴とするチップ部品搬送方法。
Using a first rotating disk that rotates in a vertical plane and a second rotating disk that rotates in a vertical plane in the opposite direction to the first rotating disk;
A part of the outer peripheral surface of the second rotating disk is closer to the center axis side of the first rotating disk than the outer edge of the vertical chip component mounting surface of the first rotating disk, and the chip component There is a gap that is narrower than the height of the chip component to be conveyed with respect to the mounting surface, and this method is
Conveying the chip components by the rotation of the second rotary disk while sucking and holding the chip component at the outer peripheral surface of said second rotary disc, the outer peripheral surface that holds adsorbing the chip component is the first The chip component is transferred from the outer peripheral surface to the chip component mounting surface when it comes to a portion closer to the center axis of the first rotating disk than the outer edge of the chip component mounting surface of the one rotating disk. and then, the chip component conveyance method characterized in that by rotation of said first rotary disc while maintaining adsorbing the chip component in the chip component mounting surface of the first rotating disk conveying the chip components.
前記第1の回転円盤と前記第2の回転円盤が、連続回転する請求項8又は9記載のチップ部品搬送方法。   The chip part conveying method according to claim 8 or 9, wherein the first rotating disk and the second rotating disk rotate continuously. 前記第1の回転円盤で搬送されるチップ部品の搬送経路の内周側で該搬送経路に内接するセンタリングローラーを用い、前記搬送経路に内接する位置での前記第1の回転円盤の周速に前記センタリングローラーの外周面の周速を一致させて、前記センタリングローラーの外周面に接触するチップ部品の姿勢を前記搬送経路の接線方向に近づけるように矯正する請求項1,2,8,9又は10記載のチップ部品搬送方法。   A centering roller inscribed in the conveying path is used on the inner circumference side of the conveying path of the chip parts conveyed by the first rotating disk, and the peripheral speed of the first rotating disk is in a position inscribed in the conveying path. The peripheral speed of the outer peripheral surface of the centering roller is matched, and the posture of the chip component that contacts the outer peripheral surface of the centering roller is corrected so as to approach the tangential direction of the transport path. 10. The method for conveying a chip part according to 10. 水平面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に水平面内で回転する第2の回転円盤とを備え、
前記第2の回転円盤の垂直な円周面の一部は、前記第1の回転円盤の水平なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、
前記第2の回転円盤は、チップ部品を前記円周面にて吸着保持しながら自身の回転により搬送
前記第1の回転円盤は、前記第2の回転円盤で搬送されたチップ部品を、前記チップ部品を吸着保持している前記第2の回転円盤の前記円周面が前記チップ部品載置面の外縁よりも自身の中心軸側に来たところで受け取り、前記チップ部品載置面で支持しながら自身の回転により搬送することを特徴とするチップ部品搬送装置。
A first rotating disk that rotates in a horizontal plane, and a second rotating disk that rotates in a horizontal plane in a direction opposite to the first rotating disk,
A portion of the vertical circumferential surface of the second rotating disk is closer to the central axis side of the first rotating disk than the outer edge of the horizontal chip component mounting surface of the first rotating disk, and Present with a gap narrower than the height of the chip component to be conveyed with respect to the chip component placement surface,
The second rotary disk carries by the rotation of itself while maintaining suction chip components at the circumferential surface,
In the first rotating disk, the circumferential surface of the second rotating disk holding the chip component by suction is held on the chip component mounting surface by the chip component conveyed by the second rotating disk. It receives where the outer edge came toward the central axis of its own, the chip parts conveying apparatus according to claim and Turkey be conveyed by the rotation of itself while supported by the chip component mounting surface.
鉛直面内で回転する第1の回転円盤と、前記第1の回転円盤と反対方向に鉛直面内で回転する第2の回転円盤とを備え、
前記第2の回転円盤の外周面の一部は、前記第1の回転円盤の鉛直なチップ部品載置面の外縁よりも前記第1の回転円盤の中心軸側にあって、かつ前記チップ部品載置面に対して搬送対象のチップ部品の高さよりも狭い隙間を隔てて存在し、
前記第2の回転円盤は、前記外周面でチップ部品を吸着保持しながら自身の回転により搬送
前記第1の回転円盤は、前記第2の回転円盤で搬送されたチップ部品を、前記チップ部品を吸着保持している前記第2の回転円盤の前記外周面が前記チップ部品載置面の外縁よりも自身の中心軸側に来たところで受け取り、前記チップ部品載置面で吸着保持しながら自身の回転により搬送することを特徴とするチップ部品搬送装置。
A first rotating disk that rotates in a vertical plane; and a second rotating disk that rotates in a vertical plane in a direction opposite to the first rotating disk;
A part of the outer peripheral surface of the second rotating disk is closer to the center axis side of the first rotating disk than the outer edge of the vertical chip component mounting surface of the first rotating disk, and the chip component It exists with a gap narrower than the height of the chip part to be transported with respect to the mounting surface,
The second rotating disk is conveyed by its own rotation while adsorbing and holding the chip components on the outer peripheral surface,
The first rotating disk is configured such that the outer peripheral surface of the second rotating disk holding the chip component by suction is the outer edge of the chip component mounting surface. receiving at came toward the central axis of itself than the chip parts conveying apparatus according to claim and Turkey be conveyed by the rotation of itself while holding adsorption in the chip component mounting surface.
前記第1の回転円盤で搬送されるチップ部品の搬送経路の内周側で該搬送経路に内接するセンタリングローラーを備え、該センタリングローラーの周速は、前記搬送経路に内接する位置での前記第1の回転円盤の周速に一致しており、該センタリングローラーの外周面に接触するチップ部品の姿勢を前記搬送経路の接線方向に近づけるように矯正する請求項3,4,5,12又は13記載のチップ部品搬送装置。   A centering roller inscribed in the conveying path is provided on the inner peripheral side of the conveying path of the chip component conveyed by the first rotating disk, and the circumferential speed of the centering roller is the first in the position inscribed in the conveying path. 14. A chip component that matches the peripheral speed of the rotating disk 1 and that is in contact with the outer peripheral surface of the centering roller is corrected so as to approach the tangential direction of the transport path. The chip component conveying apparatus as described. 前記第1の回転円盤は、1個のチップ部品に対して複数の吸着穴が対面するように前記吸着穴を円環状に等間隔で多数配置した吸着穴形成プレート部と、複数の吸着穴からなる吸着穴群毎に1つの真空吸引用溝が連通するように複数の真空吸引用溝を形成した真空吸引プレート部とを有し、該真空吸引プレート部上に前記吸着穴形成プレート部を一体化した請求項3,4,5,12,13又は14記載のチップ部品搬送装置。   The first rotating disk includes a plurality of suction hole forming plate portions arranged at equal intervals in an annular shape so that a plurality of suction holes face one chip component, and a plurality of suction holes. A plurality of vacuum suction plates formed so that one vacuum suction groove communicates with each suction hole group, and the suction hole forming plate portion is integrated on the vacuum suction plate portion. 15. The chip part conveying apparatus according to claim 3, 4, 5, 12, 13, or 14. 前記請求項8,9,10又は11のチップ部品搬送方法を用い、前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、第1の撮像手段によりチップ部品の上面を撮像するとともに、第2の撮像手段によりチップ部品の一方の側面を撮像し、前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で第3の撮像手段によりチップ部品の下面を撮像するとともに、第4の撮像手段によりチップ部品の他方の側面を撮像することを特徴とするチップ部品外観検査方法。   Using the chip component transport method according to claim 8, 9, 10 or 11, in a state where the chip component is transported by the first rotating disk, the top surface of the chip component is imaged by the first imaging means, The second imaging unit images one side surface of the chip component, and the third imaging unit images the lower surface of the chip component while the chip component is conveyed by the second rotating disk. A chip component appearance inspection method, wherein the other side surface of the chip component is imaged by an imaging means. 前記請求項1,2,8,9,10又は11のチップ部品搬送方法を用い、前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、第1の撮像手段によりチップ部品の上面を撮像し、第2の撮像手段によりチップ部品の一方の側面を撮像し、第4の撮像手段によりチップ部品の他方の側面を撮像し、前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で第3の撮像手段によりチップ部品の下面を撮像することを特徴とするチップ部品外観検査方法。   Using the chip component transport method of claim 1, 2, 8, 9, 10 or 11, the top surface of the chip component is covered by the first imaging means in a state where the chip component is transported by the first rotating disk. An image is taken, one side surface of the chip component is imaged by the second imaging means, the other side surface of the chip component is imaged by the fourth imaging means, and the chip component is conveyed by the second rotating disk A chip component appearance inspection method, wherein the lower surface of the chip component is imaged by a third imaging means. 前記請求項12,13,14又は15のチップ部品搬送装置を備えるとともに、
前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の上面を撮像する第1の撮像手段及びチップ部品の一方の側面を撮像する第2の撮像手段と、
前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の下面を撮像する第3の撮像手段及びチップ部品の他方の側面を撮像する第4の撮像手段とを備えることを特徴とするチップ部品外観検査装置。
The chip component transport device according to claim 12, 13, 14 or 15 is provided,
A first imaging means for imaging the upper surface of the chip component and a second imaging means for imaging one side surface of the chip component in a state in which the chip component is being conveyed by the first rotating disk;
And a third imaging means for imaging the lower surface of the chip component and a fourth imaging means for imaging the other side surface of the chip component while the chip component is being conveyed by the second rotating disk. Chip part appearance inspection device.
前記請求項3,4,5,12,13,14又は15のチップ部品搬送装置を備えるとともに、
前記第1の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の上面を撮像する第1の撮像手段、チップ部品の一方の側面を撮像する第2の撮像手段及び他方の側面を撮像する第4の撮像手段と、
前記第2の回転円盤でチップ部品を搬送している状態で、チップ部品の下面を撮像する第3の撮像手段とを備えることを特徴とするチップ部品外観検査装置。
Including the chip component transport device according to claim 3, 4, 5, 12, 13, 14, or 15;
In a state where the chip component is being conveyed by the first rotating disk, a first imaging unit that images the upper surface of the chip component, a second imaging unit that images one side surface of the chip component, and an image of the other side surface A fourth imaging means for
A chip component appearance inspection apparatus comprising: a third imaging unit that images a lower surface of the chip component while the chip component is being conveyed by the second rotating disk.
前記チップ部品載置面が上向き水平面である請求項1,2又は8記載のチップ部品搬送方法。The chip component carrying method according to claim 1, wherein the chip component placement surface is an upward horizontal surface. 前記チップ部品載置面が上向き水平面である請求項3,4,5又は12記載のチップ部品搬送装置。The chip component carrying device according to claim 3, wherein the chip component mounting surface is an upward horizontal surface.
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