JP4337852B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 385
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 190
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 142
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 140
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 84
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 22
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 20
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 18
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 13
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 10
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 10
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 77
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- -1 lithium oxide Chemical compound 0.000 description 19
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 17
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 9
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 9
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- VYFYYTLLBUKUHU-UHFFFAOYSA-N dopamine Chemical compound NCCC1=CC=C(O)C(O)=C1 VYFYYTLLBUKUHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- AOBIOSPNXBMOAT-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(oxiran-2-ylmethoxy)ethoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCOCC1CO1 AOBIOSPNXBMOAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 3
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N (e)-2-phenylethenamine Chemical compound N\C=C\C1=CC=CC=C1 UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 2
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical class NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XPEKVUUBSDFMDR-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound CC1C=CCC2C(=O)OC(=O)C12 XPEKVUUBSDFMDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000285 Polydioctylfluorene Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N benzene Substances C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229960003638 dopamine Drugs 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- VOFUROIFQGPCGE-UHFFFAOYSA-N nile red Chemical compound C1=CC=C2C3=NC4=CC=C(N(CC)CC)C=C4OC3=CC(=O)C2=C1 VOFUROIFQGPCGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000012812 sealant material Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 125000006158 tetracarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- FNQJDLTXOVEEFB-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-benzothiadiazole Chemical compound C1=CC=C2SN=NC2=C1 FNQJDLTXOVEEFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZWLRLIAVLSBQU-UHFFFAOYSA-N 1,2-dioctyl-9h-fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=C(CCCCCCCC)C(CCCCCCCC)=C3CC2=C1 PZWLRLIAVLSBQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 1-(2,2-diphenylethenyl)-4-[4-(2,2-diphenylethenyl)phenyl]benzene Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC(C=C(C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=CC=2)C=CC=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 9,10-diphenylanthracene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=CC=CC=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005964 Acibenzolar-S-methyl Substances 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005595 acetylacetonate group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229920000109 alkoxy-substituted poly(p-phenylene vinylene) Polymers 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N coumarin 6 Chemical compound C1=CC=C2SC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N diphenyliodanium Chemical class C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 150000002220 fluorenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013035 low temperature curing Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N magnesium silver Chemical compound [Mg].[Ag] SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001022 rhodamine dye Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005259 triarylamine group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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Description
また、ガスバリア層を画素隔壁等がある素子基板上に直接形成すると、表面の凹凸形状によりクラック等が発生してしまう。そこで、素子基板上に有機緩衝層を形成し、その後、ガスバリア層を形成することでクラックを防止している。
特に、有機発光層で発光した光を素子基板に対向配置された封止基板側から着色層を介して取り出して表示する、いわゆる「トップエミッション構造」で額縁部の幅を極力狭める場合、額縁部からリークする光の漏洩を防ぐため、額縁部に光が漏洩しないようブラックマトリックスのような遮光層を設ける必要があり、硬化のための紫外線を透過する窓部でさえ形成することができないことが多い。
また、有機緩衝層の周辺端部の立ち上がり部分では、ガスバリア層が平坦とならずに角度が発生するため、ガスバリア層が損傷しやすくなっている。
さらに、前記周辺シール層の幅内に前記有機緩衝層の周辺端部が配置されるように形成したため、非発光部分である額縁部を縮小させることができる。したがって、携帯電話などの端末機器の小型化や、大型テレビ等のコンパクト化を図ることができ、デザインの自由度を向上させる効果がある。
前記素子基板と前記封止基板の間における前記周辺シール層に囲まれた内部に、熱硬化性樹脂からなる接着剤層を形成することで、前記素子基板と封止基板との接着性を向上させることができる。また、前記素子基板と前記封止基板の間における前記周辺シール層に囲まれた内部に、水分の侵入を防ぐことができる。また、前記ガスバリア層上の前記封止基板を固定させ、かつ外部からの機械的衝撃に対して緩衝機能を有し、前記有機発光層や前記ガスバリア層を保護することができる。
前記ガスバリア層は、珪素化合物からなるため、透明性、ガスバリア性及び耐水性を確保することができる。
前記有機緩衝層の周辺端部における接触角度は、20°以下に形成されているため、周辺端部の立ち上がりを抑え、剥離を防止することができる。また、前記有機緩衝層の周辺端部を覆う前記ガスバリア層の凹凸を軽減することが可能になり、損傷を抑制することができる。
また、前記素子基板と前記封止基板を貼り合わせた後に前記周辺シール及び前記接着剤層を加熱硬化させるため、位置精度を維持しつつ接着性及び耐熱性、耐湿性を向上させることができる。さらに、前記素子基板と前記封止基板を減圧下で貼り合わせ、大気中で硬化させるので、前記接着剤層が前記周辺シール層で囲まれた内部に隙間なく広がるため、気泡や水分の混入を防ぐことができる。
なお、この実施の形態は、本発明の一部の態様を示すものであり、本発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下に示す各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材ごとに縮尺を異ならせてある。
まず、本発明の有機EL装置の第1実施形態を説明する。
図1は、本実施形態の有機EL装置の配線構造を示す模式図であり、図1において符号1は有機EL装置である。
もちろん本発明の技術的思想に沿えば、TFTなどを用いるアクティブマトリクスは必須ではなく、単純マトリクス向けの素子基板を用いて本発明を実施し、単純マトリクス駆動しても全く同じ効果が低コストで得られる。
図2は、基板本体20上に形成された前述した各種配線,TFT,各種回路によって、発光層12を発光させるTFT素子基板(以下「素子基板」という。)20Aを示す図である。
有機EL装置の素子基板20Aは、中央部分の実表示領域4(図2中二点鎖線枠内)と、実表示領域4の周囲に配置されたダミー領域5(一点鎖線および二点鎖線の間の領域)とを備えている。
次に、図3を参照して、有機EL装置1の断面構造を説明する。
本実施形態における有機EL装置1は、いわゆる「トップエミッション構造」の有機EL装置である。トップエミッション構造は、光を素子基板側ではなく封止基板側から取り出すため、素子基板に配置された各種回路の大きさに影響されず、発光面積を広く確保できる効果がある。そのため、電圧及び電流を抑えつつ輝度を確保することが可能であり、発光素子の寿命を長く維持することができる。
この有機EL装置1は、陽極10と陰極11(一対の電極)の間に発光層12(有機発光層)を挟持した複数の発光素子21及び発光素子21を区切る画素隔壁13を有する素子基板20Aと、この素子基板20Aに対向配置された封止基板31と、が設けられている。
図3に示すように、有機EL装置1は、前述した各種配線(例えば、TFT等)が形成された素子基板20A上に、窒化珪素等からなる無機絶縁層14が被覆されている。また、無機絶縁層14にはコンタクトホール(不図示)が形成され、前述した陽極10が駆動用TFT123に接続されている。無機絶縁層14上にはアルミ合金等からなる金属反射板15が内装された平坦化層16が形成されている。
この平坦化層16上には、陽極10と陰極11が発光層12を挟持して形成され発光素子21として構成しているものである。また、この発光素子21を区分するように絶縁性の画素隔壁13が配置されている。
なお、本実施形態においては、トップエミッション構造のため、陽極10は必ずしも光透過性を有する材料を用いる必要はなく、アルミ等からなる金属電極を用いてもよい。この構成を採用した場合は、前述した金属反射板15は設けなくてよい。
なお、本実施形態では、フッ化リチウムとマグネシウム−銀合金、ITOの積層体を、透明性が得られる膜厚に調整して用いるものとする。
なお、発光層12の下層或いは上層に、トリアリールアミン(ATP)多量体正孔注入層、TDP(トリフェニルジアミン)系正孔輸送層、アルミニウムキノリノール(Alq3)層(電子輸送層)を成膜することが好ましい。
この電極保護層17は、透明性や密着性、耐水性、ガスバリア性を考慮して珪素酸窒化物などの珪素化合物で構成することが望ましい。また、電極保護層17の膜厚は100nm以上が好ましく、画素隔壁13を被覆することで発生する応力によるクラック発生を防ぐため、膜厚の上限は200nm以下に設定することが好ましい。
なお、本実施形態においては、電極保護層17を単層で形成しているが、複数層で積層してもよい。例えば、低弾性率の下層と高耐水性の上層とで電極保護層17を構成してもよい。
この有機緩衝層18は、画素隔壁13の形状の影響により、凹凸状に形成された電極保護層17の凹凸部分を埋めるように配置され、さらに、その上面は略平坦に形成される。有機緩衝層18は、素子基板20Aの反りや体積膨張により発生する応力を緩和し、不安定な形状の画素隔壁13からの電極保護層17の剥離を防止する機能を有する。また、有機緩衝層18の上面が略平坦化されるので、有機緩衝層18上に形成される硬い被膜からなる後述するガスバリア層19も平坦化される。したがって、応力が集中する部位がなくなり、これにより、ガスバリア層19でのクラックの発生を防止する。
また、硬化時間を短縮するためよく用いられるカチオン放出タイプの光重合開始剤を用いてもよいが、硬化収縮が急激に進まないよう反応の遅いものが良く、また、塗布後の加熱による粘度低下で平坦化を進めるように最終的には熱硬化を用いて硬化物を形成するものが好ましい。
また、硬化後の特性としては、有機緩衝層18の弾性率が1〜10GPaであることが好ましい。10GPa以上では、画素隔壁13上を平坦化した際の応力を吸収することができず、1GPa以下では耐摩耗性や耐熱性等が不足するためである。
ガスバリア層19は、酸素や水分が浸入するのを防止するためのもので、これにより酸素や水分による発光素子21の劣化等を抑えることができる。ガスバリア層19は、透明性、ガスバリア性、耐水性を考慮して、好ましくは窒素を含む珪素化合物、すなわち珪素窒化物や珪素酸窒化物などによって形成される。
また、本実施形態では、有機EL装置1をトップエミッション構造としていることから、ガスバリア層19は光透過性を有する必要があり、したがってその材質や膜厚を適宜に調整することにより、本実施形態では可視光領域における光線透過率を例えば80%以上にしている。
さらに、ガスバリア層19が形成された素子基板20Aに封止基板31が対向配置されている。
この封止基板31は、発光光を取り出す表示面を有するため、ガラスまたは透明プラスチック(ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネ―ト、ポリオレフィン等)などの光透過性を有する材料で構成されている。
また、着色層37の各々は、陽極10上に形成された白色の発光層12に対向して配置されている。これにより、発光層12の発光光が、着色層37の各々を透過し、赤色光、緑色光、青色光の各色光として観察者側に出射するようになっている。さらに、額縁部からの光が漏洩しないように、周辺シール層33の幅内もブラックマトリックスが覆われている場合もある。
このように、有機EL装置1においては、発光層12の発光光を利用し、かつ、複数色の着色層37によってカラー表示を行うようになっている。
なお、封止基板31には、着色層37の他に、紫外線遮断、吸収層や、光反射防止膜、放熱層などの機能層を設けてもよい。
この周辺シール層33は、素子基板20Aと封止基板31の貼り合わせの位置精度の向上と後述する充填層34(接着剤層)のはみ出しを防止する土手の機能を有し、紫外線によって硬化して粘度が向上するエポキシ材料等で構成されている。好ましくは、エポキシ基を有する分子量3000以下のエポキシモノマー/オリゴマーが用いられる(モノマーの定義:分子量1000以下、オリゴマーの定義:分子量1000〜3000)。例えば、ビスフェノールA型エポキシオリゴマーやビスフェノールF型エポキシオリゴマー、フェノールノボラック型エポキシオリゴマー、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、アルキルグリシジルエーテル、3,4-エポキシシクロヘキセニルメチル-3',4'-エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、ε-カプロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル3',4'-エポキシシクロヘキサンカルボキレートなどがあり、これらが単独もしくは複数組み合わされて用いられる。
この充填層34は、前述した周辺シール層33で囲まれた有機EL装置1の内部に隙間なく充填されており、素子基板20Aに対向配置された封止基板31を固定させ、かつ外部からの機械的衝撃に対して緩衝機能を有し、発光層12やガスバリア層19の保護をするものである。
次に、図4を参照して有機EL装置1の周辺部の断面構造を説明する。
図4に示すように、この有機EL装置1の周辺部は、前述した素子基板20Aと封止基板31の間に、電極保護層17、有機緩衝層18、ガスバリア層19、周辺シール層33が順次積層される構成となっている。
有機緩衝層18の厚さは、中央部から周辺端部35にかけて小さくなっている。有機緩衝層18の周辺端部35における素子基板20Aの水平方向に対する仰角(接触角度)αは、20°以下で形成されることが好ましく、特に10°前後で形成されることが好ましい。これにより、有機緩衝層18を被覆するガスバリア層19の応力集中によるクラックや剥離等の損傷を防ぐことができる。
さらに、素子基板20Aと封止基板31の間における周辺シール層33に囲まれた内部に、熱硬化性樹脂からなる充填層34を形成することで、硬化収縮によるガスバリア層19以下の各機能層への影響を抑えつつ、素子基板20A側と封止基板31側との接着性を向上させる。そのため、素子基板20Aと封止基板31の間における周辺シール層33に囲まれた内部に、水分の侵入を防ぐことができる。また、封止基板31が固定され、かつ外部からの機械的衝撃に対して緩衝機能を有し、発光層12やガスバリア層19を保護することができる。
さらに、周辺シール層33と充填層34に有機材料の所定粒径の球状粒子を混合しているため、ガスバリア層19の損傷を防ぐとともに、素子基板20Aと封止基板31との距離を規制できる。そのため、発光層12から着色層37までの光路長を短く一定にすることができる。これにより、トップエミッション構造の場合には、発光層12から出射された光を、ブラックマトリクス層32に入射させることなく、封止基板31の外側に効率良く取り出すことが可能になる。したがって、有機EL装置1の輝度を向上させることができる。
有機緩衝層18の周辺端部35における接触角度αは、20°以下に形成されているため、周辺端部35の立ち上がりを抑え、剥離を防止することができる。また、有機緩衝層18の周辺端部35を覆うガスバリア層19の凹凸を軽減することが可能になり、損傷を抑制することができる。
次に、図5,6を参照して本実施形態における有機EL装置1の製造方法を説明する。ここで、図5は、有機EL装置1の素子基板20A側の工程図であり、図6は、封止基板31側の工程図である。
具体的には、例えば、窒素を含む珪素化合物、すなわち珪素窒化物や珪素酸窒化物などを、ECRスパッタ法やイオンプレーティング法等の高密度プラズマ成膜法により成膜する。
なお、透明無機材料としてのSiO2 などの無機酸化物やLiFやMgF等のアルカリハライドを、真空蒸着法や高密度プラズマ成膜法により積層してもよい。
具体的には、減圧雰囲気下でスクリーン印刷を行った有機緩衝層18を、60〜100℃の範囲で加熱して硬化させる。この時点の問題点として、加熱直後に反応が開始されるまで一時的に粘度が低下する。この時に、有機緩衝層18の形成材料が電極保護層17や陰極11を透過してAlp3 などの発光層12に浸透してダークスポットが発生する。そこで、ある程度硬化が進むまでは低温で放置し、ある程度高粘度化したところで温度を上げて完全硬化させることが好ましい。
具体的には、ECRスパッタ法やイオンプレーティング法などの高密度プラズマ成膜法で形成する。また、形成前には、酸素プラズマ処理によって密着性を向上させると信頼性が向上する。
具体的には、ニードルディスペンス法により前述した紫外線硬化性樹脂材料を封止基板31の周囲に塗布していく。
なお、この塗布方法は、スクリーン印刷法を用いてもよい。
具体的には、ジェットディスペンス法により前述した熱硬化性樹脂材料を塗布していく。
なお、この熱硬化性樹脂材料は、必ずしも封止基板31の全面に塗布する必要はなく、封止基板31上の複数箇所に塗布すればよい。
具体的には、周辺シール層33を仮硬化させる目的で、例えば、照度30MW/cm2 、光量2000MJ/cm2 の紫外線を封止基板31上に照射する。この時、紫外線硬化性樹脂である周辺シール層33のみが硬化され粘度が向上する。
具体的には、この貼り合わせ工程は、真空度が例えば、1Paの真空雰囲気下で行い、加圧600Nで200秒間保持して圧着させる。
具体的には、素子基板20A側と封止基板31側を貼り合わせた状態で大気中において加熱することで、前述した仮硬化した周辺シール層33と、充填層34を熱硬化させる。 なお、素子基板20Aと封止基板31との間には真空の空間が存在しても、大気中で加熱硬化を行うことにより、充填層34がその空間に充填される。以上より、前述した本実施形態における所望の有機EL装置1を得ることができる。
次に、本発明の第2実施形態における有機EL装置2について説明する。なお、本実施形態においては、第1実施形態と同一構成には同一符号を付して説明を省略する。ここで、図7は有機EL装置2を模式的に示す断面図である。図8は、図7の要部(B部)を示す図であって、有機EL装置2の周辺部の構成を説明するための断面図である。
本発明の第2実施形態における、有機EL装置2は、いわゆる「ボトムエミッション構造」であり、発光層12に赤色発光層12R、緑色発光層12Gおよび青色発光層12Bを用いている点が相違している。
発光層12の形成材料として具体的には、高分子材料としては(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。低分子材料としては、Alq3、DPVBiなどのホスト材料、これにナイルレッド、DCM、ルブレン、ぺリレン、ローダミンなどをドープして、またはホスト単独で、蒸着法にて用いることができる。
また、赤色発光層12Rの形成材料としては、例えばMEHPPV(ポリ(3−メトキシ6−(3−エチルヘキシル)パラフェニレンビニレン)を、緑色発光層12Gの形成材料としては、例えばポリジオクチルフルオレンとF8BT(ジオクチルフルオレンとベンゾチアジアゾールの交互共重合体)の混合溶液を、青色発光層12Bの形成材料としては、例えばポリジオクチルフルオレンを用いる場合がある。また、このような発光層12については、特にその厚さについては制限がなく、各色毎に好ましい膜厚が調整されている。
次に、図8を参照して有機EL装置2の周辺部の断面構造を説明する。
図8に示すように、有機EL装置2の周辺部は、第1実施形態と同様、有機緩衝層18の厚さは、中央部から周辺端部35にかけて小さくなっている。有機緩衝層18の周辺端部35における素子基板20Aの水平方向に対する仰角(接触角度)αは、20°以下で形成されることが好ましく、特に10°前後で形成されることが好ましい。これにより、有機緩衝層18を被覆するガスバリア層19の応力集中によるクラックや剥離等の損傷を防ぐことができる。
さらに、素子基板20Aと封止基板31の間における周辺シール層33に囲まれた内部に、熱硬化性樹脂からなる充填層34を形成することで、硬化収縮によるガスバリア層19以下の各機能層への影響を抑えつつ、素子基板20A側と封止基板31側との接着性を向上させる。そのため、素子基板20Aと封止基板31の間における周辺シール層33に囲まれた内部に、水分の侵入を防ぐことができる。また、封止基板31が固定され、かつ外部からの機械的衝撃に対して緩衝機能を有し、発光層12やガスバリア層19を保護することができる。
有機緩衝層18の周辺端部35における接触角度αは、20°以下に形成されているため、周辺端部35の立ち上がりを抑え、剥離を防止することができる。また、有機緩衝層18の周辺端部35を覆うガスバリア層19の凹凸を軽減することが可能になり、損傷を抑制することができる。
以上、本発明は、トップエミッション構造あるいはボトムエミッション構造に関らず効果がある。
次に、前記実施形態の有機EL装置を備えた電子機器の例について説明する。
図9(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図9(a)において、符号50は携帯電話本体を示し、符号51は有機EL装置を備えた表示部を示している。
図9(b)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図9(b)において、符号60は情報処理装置、符号61はキーボードなどの入力部、符号63は情報処理本体、符号62は有機EL装置を備えた表示部を示している。
図9(c)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図9(c)において、符号70は時計本体を示し、符号71は有機EL装置を備えたEL表示部を示している。
図9(a)〜(c)に示す電子機器は、先の実施形態に示した有機EL装置が備えられたものであるので、表示特性が良好な電子機器となる。
Claims (11)
- 一対の電極の間に有機発光層を挟持した複数の発光素子を有する素子基板と、
前記素子基板に対向配置された封止基板と、
前記素子基板と前記封止基板との間の周辺部に、前記素子基板と前記封止基板とを固定する周辺シール層と、が設けられた有機エレクトロルミネッセンス装置において、
前記発光素子を被覆する電極保護層と、
前記電極保護層を被覆する有機緩衝層と、
前記有機緩衝層を被覆するガスバリア層と、が形成され、
さらに、前記ガスバリア層は、前記有機緩衝層を覆うように形成され、
前記周辺シール層は、前記ガスバリア層の上層に設けられ、
前記周辺シール層の幅内に前記有機緩衝層の周辺端部が配置され、
前記ガスバリア層は、前記周辺シール層の外周より外側に延在していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記周辺シール層は、紫外線硬化樹脂からなることを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記素子基板と前記封止基板の間における前記周辺シール層に囲まれた内部に、熱硬化性樹脂からなる接着剤層が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記周辺シール層には、前記素子基板と前記封止基板との距離を規制する所定粒径の球状粒子が混合され、前記粒子は有機材料からなることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記接着剤層には、前記素子基板と前記封止基板との距離を規制する所定粒径の球状粒子が混合され、前記粒子は有機材料からなることを特徴とする請求項3記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記封止基板には、複数の着色層及びブラックマトリクス層が形成され、
前記周辺シール層は、前記ブラックマトリクス層と重なるように配置されていることを特徴とする請求項1から請求項5いずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記素子基板には、前記複数の発光素子を区切る画素隔壁が形成され、
前記封止基板には、複数の着色層及びブラックマトリクス層が形成され、
前記周辺シール層は、前記画素隔壁のうち最端部に位置する前記画素隔壁より外側に配置され、
前記ブラックマトリクス層は、前記周辺シール層と、前記画素隔壁のうち最端部に位置する前記画素隔壁との間に設けられ、前記周辺シール層と重なる領域には設けられていないことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記電極保護層と前記ガスバリア層とは、前記有機緩衝層の配置領域の外側において密着していることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 一対の電極の間に有機発光層を挟持した複数の発光素子を有する素子基板と、
前記素子基板に対向配置された封止基板と、が設けられた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記素子基板上に、前記発光素子を被覆する電極保護層を形成する工程と、
前記電極保護層を被覆する有機緩衝層を形成する工程と、
前記有機緩衝層を被覆するガスバリア層を形成する工程と、を有し、
前記封止基板上に、周辺シール層の形成材料を塗布する工程と、
前記周辺シール層の幅内に前記有機緩衝層の周辺端部を配置させるように、かつ、前記ガスバリア層が前記周辺シール層の外周の外側に延在するように、前記素子基板と前記封止基板を貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 前記封止基板上に、複数の着色層及びブラックマトリクス層を形成する工程をさらに有し、
前記封止基板上に周辺シール層を形成する工程は、前記封止基板の周辺部のうち、前記ブラックマトリクス層と重なる位置に前記周辺シール層の形成材料である紫外線硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記周辺シール層の内側に接着剤層の形成材料である熱硬化性樹脂を塗布する工程と、
を有し、
前記素子基板と前記封止基板とを貼り合わせる工程の前に、前記周辺シール層に紫外線照射する工程を有し、
前記素子基板と前記封止基板とを貼り合わせる工程は、前記周辺シール層が硬化中に前記素子基板と前記封止基板を減圧下にて貼り合わせを行なう工程と、
前記周辺シール層及び前記接着剤層を加熱して大気中で硬化させる工程と、を有することを特徴とする請求項9記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006234569A JP4337852B2 (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
| US11/781,600 US7781967B2 (en) | 2006-08-30 | 2007-07-23 | Organic electroluminescence device having an improved barrier structure, and manufacturing method therefore and electronic apparatus |
| KR1020070083884A KR20080020491A (ko) | 2006-08-30 | 2007-08-21 | 유기 el 장치와, 그 제조 방법 및, 전자기기 |
| CN2007101481032A CN101136428B (zh) | 2006-08-30 | 2007-08-28 | 有机电致发光装置和其制造方法及电子设备 |
| TW096131860A TWI462632B (zh) | 2006-08-30 | 2007-08-28 | 有機電激發光裝置和該製造方法及電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006234569A JP4337852B2 (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009116273A Division JP5012848B2 (ja) | 2009-05-13 | 2009-05-13 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008059867A JP2008059867A (ja) | 2008-03-13 |
| JP4337852B2 true JP4337852B2 (ja) | 2009-09-30 |
Family
ID=39150519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006234569A Expired - Fee Related JP4337852B2 (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7781967B2 (ja) |
| JP (1) | JP4337852B2 (ja) |
| KR (1) | KR20080020491A (ja) |
| CN (1) | CN101136428B (ja) |
| TW (1) | TWI462632B (ja) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4329740B2 (ja) * | 2004-10-22 | 2009-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び有機エレクトロルミネッセンス装置 |
| KR100796129B1 (ko) * | 2007-01-30 | 2008-01-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조방법 |
| JP4670875B2 (ja) | 2008-02-13 | 2011-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置 |
| KR101318072B1 (ko) * | 2008-06-04 | 2013-10-15 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광다이오드 표시장치 및 이의 제조 방법 |
| WO2010001831A1 (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-07 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機elパネルおよび有機elパネルの製造方法 |
| WO2010003958A1 (en) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | Dsm Ip Assets B.V. | A laminate and composite layer comprising a substrate and a coating, and a process and apparatus for preparation thereof |
| JP5124436B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-01-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 有機電子デバイス、有機電子デバイスの製造方法および有機電子デバイスの製造装置 |
| JP2010182634A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置 |
| JP5303315B2 (ja) * | 2009-03-03 | 2013-10-02 | ローム株式会社 | 有機発光素子の製造方法 |
| KR101107158B1 (ko) | 2009-07-10 | 2012-01-25 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
| JPWO2011016126A1 (ja) * | 2009-08-06 | 2013-01-10 | キヤノン株式会社 | 表示装置 |
| JP5477963B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-04-23 | 双葉電子工業株式会社 | 透過型カラー有機el表示装置 |
| CN102455581A (zh) * | 2010-10-15 | 2012-05-16 | 前鼎光电股份有限公司 | 具有均匀照明光学系统的投影装置 |
| JP5565259B2 (ja) * | 2010-10-15 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 照明装置 |
| EP2463661B1 (en) * | 2010-11-15 | 2014-01-08 | F. Hoffmann-La Roche AG | Instrument and method for the automated thermal treatment of liquid samples |
| FR2973941B1 (fr) * | 2011-04-11 | 2013-05-03 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif optoelectronique organique et son procede d'encapsulation. |
| JP6220497B2 (ja) | 2011-06-09 | 2017-10-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
| JP2013109836A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 有機elパネルの製造方法及び有機elパネルの封止装置 |
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Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4114895B2 (ja) | 1998-07-08 | 2008-07-09 | Tdk株式会社 | 有機el表示装置 |
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| JP4138672B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2008-08-27 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法 |
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-
2006
- 2006-08-30 JP JP2006234569A patent/JP4337852B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-07-23 US US11/781,600 patent/US7781967B2/en active Active
- 2007-08-21 KR KR1020070083884A patent/KR20080020491A/ko not_active Abandoned
- 2007-08-28 TW TW096131860A patent/TWI462632B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-08-28 CN CN2007101481032A patent/CN101136428B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008059867A (ja) | 2008-03-13 |
| TW200818975A (en) | 2008-04-16 |
| US20080054785A1 (en) | 2008-03-06 |
| KR20080020491A (ko) | 2008-03-05 |
| TWI462632B (zh) | 2014-11-21 |
| US7781967B2 (en) | 2010-08-24 |
| CN101136428B (zh) | 2011-05-11 |
| CN101136428A (zh) | 2008-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080715 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130710 Year of fee payment: 4 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
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