JP4456731B2

JP4456731B2 - Photosensitive material fixing apparatus and laser beam exposure apparatus

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Publication number: JP4456731B2
Application number: JP2000186675A
Authority: JP
Inventors: 修一清水
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-06-21
Filing date: 2000-06-21
Publication date: 2010-04-28
Anticipated expiration: 2020-06-21
Also published as: JP2002006511A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザビーム露光装置、特にプラズマディスプレイ等の表示部を製作する際に用いるレーザビーム露光装置において、感光材を所定位置に固定する感光材固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイの表示部は、表面パネルと裏面パネルとの２枚の所定の同一規格を有するパネルを重ね合わせて製作する。この表示部を製作するにあたり、まず表面パネルには、透明電極（ＩＴＯ）を描画し、さらに透明電極を描画した方向と平行な方向にバス電極を描画する。裏面パネルには、アドレス電極を描画するとともに、アドレス電極を描画した方向と平行な方向にリブを形成する。ここで表面パネルにおける透明電極とバス電極とは、微細な複数の直線として描かれる。裏面パネルにおけるアドレス電極とリブも同様である。
【０００３】
さらに、上記表面パネルと上記裏面パネルとの描画内容は、両者を重ね合わせたときに互いに直交するように描画されている。例えば、表面パネルにおける透明電極とバス電極とが、該パネルの長手方向に平行な状態で描画される場合、裏面パネルにおけるアドレス電極やリブは、該パネルの長手方向に垂直な状態で描画される。
【０００４】
図１と図２は、従来のレーザビーム露光装置によって、平行な複数本の直線を描いた状態を表している。図１は、レーザビームを連続してオン／オフさせて、パネル上では副走査方向に平行な方向に複数の直線を描いた場合を示しており、図２は、１回の走査中はレーザビームを常にオン状態にさせて、パネル上では主走査方向に平行な方向に複数の直線を描いた場合を示している。図１に示すように、副走査方向に平行な方向に直線を描画する場合、各直線間は、主走査方向においてほぼ等しい幅になり、ムラのない描画結果が得られる。しかし、従来のレーザビーム露光装置は、パネルを副走査方向に移動するにあたり、その副走査方向への送りが一定にならない場合がある。この場合、図２に示すように、主走査方向に平行な方向に直線を描画すると、副走査方向における直線間の幅が均等でなくなり、描画結果にムラが生じてしまう。
【０００５】
上述したように、プラズマディスプレイの表示部を構成する表面パネルと裏面パネルとは、互いに直交する直線を描画しなければならない。しかし従来のレーザ描画装置では、パネルは描画部上の所定の方向にしか配置することができない。従って、従来のレーザビーム露光装置では、表面パネルまたは裏面パネルいずれか一方は、必ず図２に示す描画を行わねばならず、描画結果に必ずムラが生じてしまう。
【０００６】
表面、裏面を問わず、電極の配置にごくわずかでもムラがあるパネルにより製作されたプラズマディスプレイによって表示される画像は、スジ状の明るさの濃淡が発生してしまうため、非常に見づらいという問題点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は上記の事情に鑑み、ムラのない描画結果が得られる任意の向きに、感光材を載置、固定することができる感光材固定装置および、ムラが発生せず常に精度の高い描画をすることができるレーザビーム露光装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【問題を解決するための手段】
このため、請求項１の記載の感光材固定装置は、レーザビーム露光装置において、感光材を固定する感光材固定装置であって、１辺の長さが少なくとも感光材の長辺よりも長く、前記感光材を主走査方向と直交する方向に長手方向が沿う第１の状態で表面に載置できるとともに、前記感光材を主走査方向と平行な方向に長手方向が沿う第２の状態で表面に載置できる描画テーブルと、前記感光材が前記第１の状態または前記第２の状態で前記描画テーブルに載置された状態で、前記感光材の２辺に位置決めするように当て付けられる複数の位置決め手段と、前記感光材を介して前記位置決め手段と対向する位置に配置され、対向する前記位置決め手段の方向へ前記描画テーブル表面と平行に前記感光材を付勢する複数の付勢手段と、を備え、前記付勢手段のうち、少なくとも、前記第１の状態または前記第２の状態で前記感光材を固定する際に前記感光材の固定の妨げとなる位置に配置されるものは、前記描画テーブルの表面以外の場所に配置されることを特徴とする。
【０００９】
上記の構成によれば、レーザビームを連続してオン／オフさせて副走査方向に平行な方向に複数の直線を描くような位置に感光材を配置することができる。つまり、常にムラのない描画結果が得られるような任意の向きに、感光材を載置、固定することができる。
【００１１】
さらに、例えば、第２の状態に固定する時に必要となる付勢手段の配置が、第１の状態に感光材を固定しようとする場合の妨げになる場合であっても、第２の状態に固定する時に必要となる付勢手段は、描画テーブル上にないため、何ら問題なく感光材を任意の向きに固定することが可能になる。
【００１２】
ここで上記付勢手段のうち、少なくとも、上記第１の状態または上記第２の状態で感光材を固定する際にその固定の妨げとなる位置に配置されるものは、描画テーブル下部に格納しておくことが可能である。そして、感光材を付勢する時には、まず、描画テーブルの表面に突出するまで上昇し、描画テーブル表面に付勢手段の少なくとも一部分が突出した後に、感光材を付勢する（請求項３）。
【００１３】
また請求項４に記載の発明によれば、付勢手段として、エアシリンダを使用することが可能である。
【００１４】
請求項５に記載のレーザビーム露光装置は、請求項１ないし４の何れか一項に記載の感光材固定装置を有することを特徴とする。請求項５に記載のレーザビーム露光装置によれば、感光材固定装置によって固定された感光材の状態に応じて描画位置の補正を行うことができる。従って、プラズマディスプレイの表示部のような高い精度が要求される描画内容であっても描画することができる。
【００１５】
請求項６に記載のレーザビーム露光装置は、感光材上における所定位置描画が行われるように描画位置を補正する位置補正手段を有することを特徴とする。上記位置補正手段は、位置決め手段および付勢手段によって固定された感光材の描画テーブル上における位置を計測する位置計測手段を有し、位置計測手段による計測結果に応じて、感光材におけるレーザビームの描画開始位置を補正することが望ましい（請求項７）。
【００１６】
上記位置補正手段は、さらに、感光材の水平方向における傾きを補正するθ補正手段と、主走査方向における描画開始位置を補正するＸ方向補正手段と、主走査方向と直交する方向における描画開始位置を補正するＹ方向補正手段と、を有することが望ましい（請求項８）。上記感光材固定装置とこの３種の補正手段によって、さらに精度の高い描画内容が実現可能になる。
【００１７】
具体的には、θ補正手段は、感光材の水平方向における傾きがなくなるまで描画テーブルを水平方向に回転させる回転手段を少なくとも有する（請求項９）。またＸ方向補正手段は、レーザビームの変調タイミングを変更する変調タイミング変更手段を有する（請求項１０）。Ｙ方向補正手段は、描画テーブルの駆動タイミングを変更する駆動タイミング変更手段を有する（請求項１１）。あるいは、レーザビームの変調タイミングを変更する変調タイミング変更手段を有する（請求項１２）。
【００１８】
請求項１３に記載のレーザビーム露光装置によれば、リニアゲージを上記位置計測手段に使用することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図３は本発明の感光材固定装置を搭載するレーザビーム露光装置１００の概略図である。レーザビーム露光装置１００は、感光材固定装置を備える描画部１０、光源部２０、走査光学部３０、そして基台Ａを有する。レーザビーム露光装置１００は、床面上に基台Ａを据え付けることにより、安定した状態で設置されている。
【００２０】
プラズマディスプレイ表示部の製作過程において、透明電極やアドレス電極等を描画する場合、まず後述する方法により、描画部１０に描画対象である感光材（ここではパネル）を固定する。
【００２１】
パネルが所定の位置に固定されると、描画が開始される。光源部２０から照射されるレーザビームは、走査光学部３０に入射する。走査光学部３０においてレーザビームは、描画データに基づいて生成される変調信号に同期してオン／オフ制御されつつ、ポリゴンミラー等の偏向器によって、偏向される。そしてレーザビームは、描画部１０上で固定されたパネルを所定の方向に走査する。レーザビーム露光装置では、レーザビームを走査させると同時に、露光されるパネルをレーザビームの走査方向と直交する方向へ平行移動させる。これにより所望の描画が行われる。なお、本明細書では前者を主走査方向（各図中、Ｘ方向）、後者を副走査方向（各図中、Ｙ方向）と定義する。また各図中において、Ｘ方向、Ｙ方向いずれにも直交する方向、換言すればレーザビームがパネルに入射する方向をＺ方向で示す。
【００２２】
次に、パネルを描画部１０に固定する方法について詳説する。描画部１０は、走査光学部３０から射出されるレーザビームが描画テーブル４上に垂直に入射する状態（Ｘ−Ｙ平面上）で基台Ａ上に設置されている。描画部１０は、一対のレール１、Ｙテーブル２、θテーブル３、描画テーブル４を有しており、一対のレール１は、基台Ａ上で副走査方向（Ｙ方向）に平行に延びる状態で配設される。一対のレール１上には、Ｙテーブル２が搭載されており、Ｙテーブル２上には、θテーブル３を介して描画テーブル４が設置されている。Ｙテーブル２は、図示しないモータを駆動させることにより、一対のレール１上をＹ方向に移動する。このＹテーブル２の副走査方向への移動に伴って、描画テーブル４は、θテーブル３と共に副走査方向に移動する。これにより、描画時にパネルを副走査方向に移動させることができる。なおθテーブル３は、描画テーブル４の水平面内での回転位置を微調整する。
【００２３】
図４は、描画テーブル４をＺ方向から見た拡大図である。描画テーブル４は、本発明にかかる感光材固定装置を構成する１部材であり、所定の規格を有するパネルを縦置き、横置きいずれの状態でも載置することができる。そのため、描画テーブル４は、Ｘ方向、Ｙ方向ともに少なくともパネルの長辺と同一もしくはそれ以上の長さを有する。本実施形態における描画テーブル４は、一辺がパネルの長辺と同一の長さを有する正方形状を有している。ここで、縦置きとは、パネルをその長手方向を副走査方向に沿わせて載置した状態をいい、横置きとは、該長手方向を主走査方向に沿わせて載置した状態をいうものとする。図４中、破線で描かれた四角形が縦置きしたパネルを示し、一点鎖線で描かれた四角形が横置きしたパネルを示す。なお、パネルは、図示しない搬送手段によって、縦置きまたは横置きのいずれかの向きで描画テーブル４上に載置される。
【００２４】
感光材固定装置は、上記描画テーブル４、および描画テーブル４上に設けられる付勢機構４１ａ〜４１ｆ、当て付けピン４２ａ〜４２ｆを有する。付勢機構４１ａ〜４１ｆ、当て付けピン４２ａ〜４２ｆの各符号において、ａからｃまでのアルファベットが付されたものは、パネルを縦置きするときに使用される部材であり、ｄからｆまでのアルファベットが付されたものがパネルを横置きするときに使用される部材である。さらに感光材固定装置は、リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔを有する。
【００２５】
感光材固定装置のうち、各付勢機構４１ａ〜４１ｆは、精度の高い描画が行われるような所定の位置にパネルを固定するために用いられる付勢手段であり、載置した状態にあるパネルにおける一方の長辺部の両端近傍に２つ（縦置きであれば４１ａ、４１ｂ、横置きであれば４１ｄ、４１ｅ）設けられ、該パネルの一方の短辺部の略中央に１つ（縦置きであれば４１ｃ、横置きであれば４１ｆ）設けられている。
【００２６】
ここで、パネルの短辺部を付勢する付勢機構４１ｃ、４１ｆは、どちらも描画テーブル４の周縁部に設けられる。従って、付勢機構４１ｃ、４１ｆは、従来のレーザビーム露光装置で使用しているものと同一の型を使用しており、所定の方向（当て付けピン４２ｃ、４２ｆの方向）へパネルを付勢することができる。
【００２７】
しかし、パネルの長辺部を付勢する付勢機構４１ａ、４１ｂ、４１ｄ、４１ｅは、描画テーブル４の表面上に設けられるため上記従来のものを使用すると、描画方法によっては、パネルの載置の妨げになる場合がある。例えば、縦置き用の付勢機構４１ａは、パネルを横置きする際の妨げとなる。そこで、付勢機構４１ａ、４１ｂ、４１ｄ、４１ｅは図５や図６に示す構造を有する。
【００２８】
図５は、付勢機構４１ａを拡大した斜視図である。図５中に示す矢印Ｐ_ｎは、符号ｎを付した部材の移動方向を示す。また図６は、付勢機構４１ａの構造を表した側面図である。なお、付勢機構４１ｂ、４１ｄ、４１ｅは、配置方向が異なるものの、構造は図５や図６に示す付勢機構４１ａと同一であるため、ここでは説明を省略する。
【００２９】
図５および図６に示すように、付勢機構４１ａは、θテーブル３上に固定されるエアシリンダ８１、断面形状が凸型である凸型支持材８２、断面形状が凹型である凹型支持材８３、スライドテーブル８４、当て付け部８６、ガイド板８７、プッシャ８９を有する。また描画テーブル４には、当て付け部８６が突出するための開口４４が設けられている。
【００３０】
図６Ａは付勢を行わない、すなわち使用されない時の付勢機構４１ａの状態を表している。図６Ａに示すように、付勢機構４１ａは、描画テーブル４上で行われる描画（この場合パネルを横置きにして行われる描画）の妨げにならぬよう、θテーブル３と描画テーブル４との間に設けられている。
【００３１】
凸型支持材８２は、凸面を凹型支持材８３に対向させ、凸面と逆の面をエアシリンダ８１に面するように配置されている。その凸面と逆の面には、プッシャ８９が接合されている。プッシャ８９は、エアシリンダ８１にエアが注入されないときには、エアシリンダ８１内部に収まっている。凹型支持材８３は、スライドテーブル８４と一体化しており、垂直方向（図６中、Ｚ方向またはＺ方向の逆方向）に移動できる状態で凸型支持材８２と嵌合している（図５中、Ｐ_８３参照）。
【００３２】
スライドテーブル８４は、凹型支持材８３が一体化している面と逆の面に当て付け部８６を有し、またガイドピン８５を両側面（Ｘ−Ｚ面）に有する。ガイド板８７は、スライドテーブル８４を挟む状態でＸ−Ｚ面上に一対設けられており、θテーブル３上に固定されている。ガイド板８７は、各々カム溝８８を有する。カム溝８８は、ガイド板８７の略中央部においてエアシリンダ８１方向から描画テーブル４の開口４４に向かって斜めに所定長さ分延びた後、エアシリンダ８１の付勢方向と平行な方向に所定長さ分延びる形状になっている。カム溝８８にはガイドピン８５が挿入されており、スライドテーブル８４がカム溝８８の形状に沿って移動できるようにしてある。
【００３３】
図６Ｂは、付勢を行う時の付勢機構４１ａの状態を表している。ちなみに他の付勢機構との関係について述べると、縦置きの描画を行う時には、付勢機構４１ａ、４１ｂは図６Ｂの状態にあり、付勢機構４１ｄ、４１ｅは、図６Ａの状態にある。パネルを付勢する場合、走査光学部３０内の制御部３１（図７参照）から送信される信号によって、まずエアシリンダ８１にエアが注入される。これにより、エアシリンダ８１内部にあるプッシャ８９がＸ方向の逆方向（図５中、Ｐ_８９）に平行移動し、支持板８２を同方向（図５中、Ｐ_８２）に移動させる。
【００３４】
凸型支持材８２の移動に伴い、スライドテーブル８４（凹型支持材８３、当て付け部８６）も移動を開始する。ここで、ガイドピン８５がカム溝８８の形状に沿って移動（図５中、Ｐ_８５）することから、スライドテーブル８４は、当て付け部８６が開口４４から突出するまで描画テーブル４に向かって斜めにスライドする。このとき凹型支持材８３は、スライドテーブル８４のスライドを妨げないように、凸型支持材８２の凸面に沿って描画テーブル４方向に移動する（図５中、Ｐ_８３）。
【００３５】
ガイドピン８５がカム溝８８におけるエアシリンダ８１の付勢方向と平行な部分まで移動すると、描画テーブル４上では、当て付け部８６が開口４４から突出する状態になる。この状態になると、スライドテーブル８４はカム溝８８の形状に沿って水平方向（図６中、Ｘ方向またはＸ方向の逆方向）に移動する。これにより描画テーブル４表面では、当て付け部８６が当て付けピン４２ａ方向へ水平移動して載置されたパネルを付勢し続け、当て付け部８６が付勢している辺に対向する辺が当て付けピン４２ａに当接するまでパネルを移動させることができる。
【００３６】
図４に示すように各当て付けピン４２ａ〜４２ｆは、描画テーブル４周縁部にあって、載置されたパネルを挟んで各付勢機構４１ａ〜４１ｆとほぼ対向する位置に隣接して配置されている。従って、当て付けピン４２ａ〜４２ｆは、パネルを、長辺部では少なくとも２箇所で短辺部では少なくとも１箇所で固定する。
【００３７】
当て付けピン４２ａ〜４２ｆは、付勢機構４１ａ〜４１ｆによって描画テーブル４上を移動するパネルを固定する。これにより描画テーブル４上でのパネルの位置決めが行われる。例えば、パネルを縦置きする場合、当て付けピン４２ａ、４２ｂ、４２ｃの全てにパネルを当接させることで位置決めが行われる。
【００３８】
一般にパネルはガラス製が多いため、パネルを傷つけないように当て付けピン４２ａ〜４２ｆには弾力性ある材料を使用する。そのため当て付けピン４２ａ〜４２ｆは、付勢により弾性変形を生じる。上記理由から、付勢機構４１ａ〜４１ｆと当て付けピン４２ａ〜４２ｆとによる位置決めでは、±数１０μｍ〜数１００μｍ程度の位置精度しか得ることができない。該位置精度では、パネルと走査光学系３０との位置関係において描画位置（レーザビームがパネルに入射する位置）が微妙にずれてしまい、プラズマディスプレイの表示部製作時に要求される精度の高い描画を得ることはできない。そこで付勢機構４１ａ〜４１ｆと当て付けピン４２ａ〜４２ｆとによる位置決めが行われると、次に、より精度の高い描画を可能にするため、リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔを用いた補正処理が行われる。
【００３９】
図７は、描画位置の補正処理を行う制御系を表すブロック図である。該制御系は、リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔ、制御部３１、θテーブル３、駆動モータ３４、音響光学素子（ＡＯＭ）３６を有する。θテーブル３、駆動モータ３４、ＡＯＭ３６は、各々ドライバ３２、３３、３５を介して制御部３１に接続されている。
【００４０】
制御部３１は、ドライバ３２に駆動信号を与えることにより、θテーブル３を水平方向に所定量回転させる。またドライバ３３に駆動信号を与えることにより、駆動モータ３４を駆動させ、描画テーブル４をＹ方向に移動させる。制御部３１は、所定の描画データに従って変調信号をドライバ３５に与えることによりＡＯＭ３６を動作させ、光源部２０から照射されるレーザビームを所定のタイミングでオンオフするように変調制御する。
【００４１】
リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔは、所定位置に固定されたパネルの辺の位置を基準として、実際に固定されたパネルの辺のＸ方向またはＹ方向の位置を計測する。リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔは、縦、横いずれかの状態で固定されたパネルの長辺部では少なくとも２箇所、短辺部では少なくとも１箇所で固定位置を計測できるように配置される。例えば図４に示すように、描画テーブル４上でリニアゲージ４３ｐ〜４３ｔは、当て付けピン４２ａ〜４２ｆと隣接する位置に配置される。なお図４に示す当て付けピン４２ｃと当て付けピン４２ｄのように、２以上の当て付けピンが近接して配置される場合には、どちらか一方と隣接する位置にのみリニアゲージ（図４ではリニアゲージ４３ｒ）を配置し、部材数を減らすことも可能である。この場合、リニアゲージ４３ｒは、縦置き時では短辺部の固定位置を計測し、横置き時では長辺部の一端の固定位置を計測する。
【００４２】
図７に示すように、リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔは、パネルの辺の位置を計測すると、制御部３１に計測結果を送信する。制御部３１は、まず計測結果からパネルの水平方向における傾きを計算する。そして計算結果に基づいて生成した駆動信号をドライバ３２に送信し、θテーブル３を水平方向に所定量回転させる。これにより、描画テーブル４上にあるパネルの水平方向における傾きをなくす補正が行われる。
【００４３】
また制御部３１は、計測結果からパネルの副走査方向（Ｙ方向）における位置ずれを計算する。そして計算結果に基づいて描画テーブルの副走査方向の駆動タイミングを変更した駆動信号を生成し、その駆動信号をドライバ３３に送信して駆動モータ３４を駆動させる。これにより、Ｙ方向のパネルのずれをなくす補正が行われる。
【００４４】
さらに制御部３１は、描画時に、計測結果に基づいて生成した変調信号をドライバ３５に送信しＡＯＭ３６を動作させる。該変調信号は、光源部２０から照射されるレーザビームが描画テーブル４上に固定されたパネルの所定位置で描画を行うように変調タイミングを変更した内容になっている。ＡＯＭ３６が該変調信号に応じてレーザビームをオンオフすることにより、Ｘ方向のパネルのずれをなくす補正が行われる。
【００４５】
上記の補正処理により、描画テーブル４上に固定されるパネルの位置精度を数μｍ程度にまで高めることができる。すなわち、精度の高い描画を行うことができる。
【００４６】
パネルが所定位置に固定されると、上記位置精度に関する補正処理が行われつつ、以下のように描画が行われる。
【００４７】
光源２０から照射されたレーザビームは、走査光学部３０において、常に連続的、かつ規則的にオン／オフするように変調制御される。このとき、制御部３１はＸ方向のパネルのずれをなくすような変調信号をドライバ３５に送信し、Ｘ方向の補正を行っている。該変調制御により、１回の走査の描画内容は、露光した箇所と露光していない箇所とが連続的かつ規則的に続く破線模様になる。ここで、走査光学部３０により偏向されたレーザビームは、描画テーブル４上において横置きしたパネル全体を走査できる程度の走査幅を有する。従って、パネルが縦置きされている場合には、１回の走査における走査終了位置付近はオフ制御して、パネルが載置されていない領域にレーザビームが入射することがないようにする。
【００４８】
上記のように変調制御されたレーザビームが走査するとともに、描画テーブル４が駆動モータ３４の駆動により副走査方向に移動する。このとき、制御部３１は、Ｙ方向のパネルのずれをなくすような駆動信号をドライバ３３に送信し、Ｙ方向の補正を行っている。結果として、縦置き、横置きを問わず、パネルには、図１に示すような副走査方向に平行であって、各直線間の幅が主走査方向にほぼ均等である複数の直線を描画することができる。
【００４９】
以上が本発明の実施形態である。本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく趣旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【００５０】
上述した付勢機構、当て付けピン、リニアゲージの数は、使用するパネルの規格すなわち各辺の長さによって変えることができる。但し、当て付けピンは、パネルを挟んで付勢機構と対向する位置にあることが必要とされる。
【００５１】
本実施形態では、描画テーブル４周縁部に設けられる付勢機構４１ｃ、４１ｆは従来型のものを使用し、描画テーブル４表面に設けられる付勢機構４１ａ、４１ｂ、４１ｄ、４１ｅは、図５や図６に示すような構造によって当て付け部８６がスライドするものを使用している。しかし、描画テーブル４表面に設けられる付勢機構のうち、少なくとも描画方法によってパネルの載置の妨げになるおそれがある付勢機構（図４中、４１ａ、４１ｆ）のみが、上記当て付け部がスライドするもの（図５、図６）であれば、本発明を実施することが可能である。
【００５２】
また描画テーブル４の形状や大きさによっては、全ての付勢機構をθテーブル３と描画テーブル４との間に設置し、付勢時に当て付け部８６がスライドする構成（図５、図６）にして部材の統一を図ることも可能である。
【００５３】
さらに描画テーブル４表面に設けられる付勢機構は、パネルの載置の妨げとならないよう、付勢しない時に当て付け部８６が描画テーブル４上に突出した状態になければ、上記構造に限定されなくてもよい。例えば描画テーブル４に対し着脱可能な付勢機構を使用し、描画方法によりパネルの載置の妨げになる場合には描画テーブル４から取り外しておき、付勢時にのみ描画テーブル４上の所定位置に固定することも可能である。また、上記実施形態では、当て付け部８６の描画テーブル４上への突出、および該当て付け部８６によるパネルの付勢は、どちらもエアシリンダ８１からの押圧によって行われているが、エアシリンダ８１とは別の駆動手段を用いて、付勢機構全体を描画テーブル４上に上昇（図６中、Ｚ方向の逆方向）させた後、エアシリンダ８１の押圧によって当て付け部８６でパネルを付勢することも可能である。
【００５４】
上記実施形態では、リニアゲージ４３ｐ〜４３ｔを使用することにより、より正確にパネルの描画テーブルにおける位置の検出を行っているが、該パネルの位置検出手段は、リニアゲージに限定されない。
【００５５】
上記実施形態では、パネルの水平方向の傾きはθテーブル３を回転させることで補正する。パネルにおけるＸ方向の描画位置はＡＯＭ３６での変調タイミングを変更することにより補正する。Ｙ方向の描画位置は駆動モータ３４の駆動タイミングを変更することにより補正する。しかし、補正方法はこれに限定されるものではない。例えば、パネルにおけるＹ方向の描画位置の補正は、計測結果に基づいて修正しつつ変調信号を生成することによっても可能である。
【００５６】
さらに本発明は、上述したように、プラズマディスプレイの表示部を構成するパネルを描画することを主目的としているが、複数の平行な直線であって、各直線間の幅が均等であるものを描画することが要求される感光材であれば、該パネルでなくとも、非常に効果的である。但し、この場合、描画テーブルの大きさや付勢機構等の配置は、描画する感光材に適応させる必要がある。
【００５７】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、レーザビーム露光装置に、該感光材が縦横いずれの向きでも載置、固定できる感光材固定装置を使用することにより、感光材に副走査方向と平行な方向に延びる直線であって各直線間の幅が均等である内容を高い精度で描画できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】感光材のレーザビームによる描画状態を表す。
【図２】感光材のレーザビームの描画状態を表す。
【図３】本発明のレーザビーム露光装置の概略構成図である。
【図４】本発明のレーザビーム露光装置の描画テーブルを表す。
【図５】本発明のレーザビーム露光装置の付勢機構の斜視図である。
【図６】本発明のレーザビーム露光装置の付勢機構の側面図である。
【図７】描画位置の補正処理を行う制御系を表すブロック図である。
【符号の説明】
１０描画部
３ θテーブル
４描画テーブル
２０光源部
３０走査光学部
４１ａ〜４１ｆ付勢機構
４２ａ〜４２ｆ当て付けピン
４３ｐ〜４３ｔリニアゲージ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a laser beam exposure apparatus, and more particularly to a photosensitive material fixing apparatus for fixing a photosensitive material at a predetermined position in a laser beam exposure apparatus used when manufacturing a display unit such as a plasma display.
[0002]
[Prior art]
The display unit of the plasma display is manufactured by stacking two panels having a predetermined same standard, that is, a front panel and a back panel. In manufacturing the display unit, first, a transparent electrode (ITO) is drawn on the front panel, and a bus electrode is drawn in a direction parallel to the direction in which the transparent electrode is drawn. On the back panel, address electrodes are drawn, and ribs are formed in a direction parallel to the direction in which the address electrodes are drawn. Here, the transparent electrode and the bus electrode in the front panel are drawn as a plurality of fine straight lines. The same applies to the address electrodes and ribs on the back panel.
[0003]
Furthermore, the drawing contents of the front panel and the back panel are drawn so as to be orthogonal to each other when they are superimposed. For example, when the transparent electrode and the bus electrode on the front panel are drawn in a state parallel to the longitudinal direction of the panel, the address electrodes and ribs on the back panel are drawn in a state perpendicular to the longitudinal direction of the panel. .
[0004]
1 and 2 show a state in which a plurality of parallel straight lines are drawn by a conventional laser beam exposure apparatus. FIG. 1 shows a case where a laser beam is continuously turned on / off and a plurality of straight lines are drawn on the panel in a direction parallel to the sub-scanning direction, and FIG. 2 shows a laser during one scanning. In the figure, the beam is always turned on, and a plurality of straight lines are drawn on the panel in a direction parallel to the main scanning direction. As shown in FIG. 1, when a straight line is drawn in a direction parallel to the sub-scanning direction, the straight lines have substantially the same width in the main scanning direction, and a uniform drawing result is obtained. However, when the conventional laser beam exposure apparatus moves the panel in the sub-scanning direction, the feed in the sub-scanning direction may not be constant. In this case, as shown in FIG. 2, if a straight line is drawn in a direction parallel to the main scanning direction, the width between the straight lines in the sub-scanning direction is not uniform, and the drawing result is uneven.
[0005]
As described above, the front panel and the back panel constituting the display unit of the plasma display must draw straight lines orthogonal to each other. However, in the conventional laser drawing apparatus, the panel can be arranged only in a predetermined direction on the drawing unit. Therefore, in the conventional laser beam exposure apparatus, one of the front panel and the back panel must always perform the drawing shown in FIG. 2, and the drawing result is necessarily uneven.
[0006]
Regardless of the surface or the back surface, the image displayed by the plasma display manufactured by the panel with a slight unevenness in the arrangement of the electrodes is very difficult to see because of the occurrence of streaks of light and shade. There is a point.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, in view of the above circumstances, the present invention provides a photosensitive material fixing device capable of mounting and fixing a photosensitive material in an arbitrary direction in which a uniform drawing result is obtained, and a highly accurate drawing without occurrence of unevenness. An object of the present invention is to provide a laser beam exposure apparatus capable of performing the above.
[0008]
[Means for solving problems]
For this reason, the photosensitive material fixing device according to claim 1 is a photosensitive material fixing device for fixing a photosensitive material in a laser beam exposure apparatus, wherein the length of one side is longer than at least the long side of the photosensitive material, The photosensitive material can be placed on the surface in a first state along the longitudinal direction in a direction orthogonal to the main scanning direction, and the photosensitive material can be placed on the surface in a second state along the longitudinal direction in a direction parallel to the main scanning direction. A drawing table that can be placed on A plurality of positioning means applied so as to be positioned on two sides of the photosensitive material in a state where the photosensitive material is placed on the drawing table in the first state or the second state; A plurality of urging means that are arranged at positions opposed to the positioning means via the urging means and urge the photosensitive material in parallel to the drawing table surface in the direction of the positioning means facing each other. Among them, a part other than the surface of the drawing table is disposed at a position that hinders fixing of the photosensitive material when fixing the photosensitive material in the first state or the second state. Placed in It is characterized by that.
[0009]
According to the above configuration, the photosensitive material can be disposed at a position where a plurality of straight lines are drawn in a direction parallel to the sub-scanning direction by continuously turning on / off the laser beam. That is, the photosensitive material can be placed and fixed in an arbitrary direction so that a consistent drawing result can be obtained.
[0011]
further, For example, even when the arrangement of the urging means necessary when fixing in the second state is an obstacle to fixing the photosensitive material in the first state, the biasing means is fixed in the second state. The biasing means that is sometimes required is not on the drawing table, so that the photosensitive material can be fixed in an arbitrary direction without any problem.
[0012]
Here, among the urging means, at least the one arranged at a position that hinders fixing when fixing the photosensitive material in the first state or the second state is stored in the lower part of the drawing table. It is possible to keep. When the photosensitive material is urged, the photosensitive material is first raised until it protrudes to the surface of the drawing table, and after at least a part of the urging means protrudes to the surface of the drawing table, the photosensitive material is urged ( Claim 3 ).
[0013]
Also Claim 4 According to the invention described in (1), it is possible to use an air cylinder as the biasing means.
[0014]
Claim 5 The laser beam exposure apparatus described in Any one of claims 1 to 4 Photosensitive material fixing device according to claim 1 The It is characterized by having. Claim 5 According to the laser beam exposure apparatus described in 1), the drawing position can be corrected in accordance with the state of the photosensitive material fixed by the photosensitive material fixing device. Therefore, it is possible to draw even a drawing content that requires high accuracy such as a display unit of a plasma display.
[0015]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a laser beam exposure apparatus comprising position correction means for correcting a drawing position so that a predetermined position is drawn on a photosensitive material. The position correcting means has a position measuring means for measuring the position of the photosensitive material fixed on the drawing table by the positioning means and the urging means, and according to the measurement result by the position measuring means, the position of the laser beam on the photosensitive material. It is desirable to correct the drawing start position ( Claim 7 ).
[0016]
The position correction means further includes a θ correction means for correcting the inclination of the photosensitive material in the horizontal direction, an X direction correction means for correcting a drawing start position in the main scanning direction, and a drawing start position in a direction orthogonal to the main scanning direction. It is desirable to have Y direction correction means for correcting Claim 8 ). With the photosensitive material fixing device and these three types of correction means, it is possible to realize drawing contents with higher accuracy.
[0017]
Specifically, the θ correction means includes at least a rotation means for rotating the drawing table in the horizontal direction until the horizontal inclination of the photosensitive material disappears ( Claim 9 ). The X direction correcting means includes modulation timing changing means for changing the modulation timing of the laser beam ( Claim 10 ). The Y direction correcting means is a drive timing changing means for changing the drive timing of the drawing table. (Claim 11) . Or Modulation timing changing means for changing the modulation timing of the laser beam is provided.
[0018]
According to the laser beam exposure apparatus of the thirteenth aspect, a linear gauge can be used for the position measuring means.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 3 is a schematic view of a laser beam exposure apparatus 100 equipped with the photosensitive material fixing device of the present invention. The laser beam exposure apparatus 100 includes a drawing unit 10 including a photosensitive material fixing device, a light source unit 20, a scanning optical unit 30, and a base A. The laser beam exposure apparatus 100 is installed in a stable state by installing the base A on the floor surface.
[0020]
When a transparent electrode, an address electrode, or the like is drawn in the manufacturing process of the plasma display display unit, first, a photosensitive material (panel here) to be drawn is fixed to the drawing unit 10 by a method described later.
[0021]
When the panel is fixed at a predetermined position, drawing is started. The laser beam emitted from the light source unit 20 enters the scanning optical unit 30. In the scanning optical unit 30, the laser beam is deflected by a deflector such as a polygon mirror while being controlled on / off in synchronization with a modulation signal generated based on the drawing data. The laser beam scans the panel fixed on the drawing unit 10 in a predetermined direction. In the laser beam exposure apparatus, the laser beam is scanned and simultaneously the panel to be exposed is translated in a direction orthogonal to the scanning direction of the laser beam. Thereby, a desired drawing is performed. In the present specification, the former is defined as a main scanning direction (X direction in each figure), and the latter is defined as a sub-scanning direction (Y direction in each figure). In each figure, the direction orthogonal to both the X direction and the Y direction, in other words, the direction in which the laser beam enters the panel is indicated by the Z direction.
[0022]
Next, a method for fixing the panel to the drawing unit 10 will be described in detail. The drawing unit 10 is installed on the base A in a state where the laser beam emitted from the scanning optical unit 30 is vertically incident on the drawing table 4 (on the XY plane). The drawing unit 10 includes a pair of rails 1, a Y table 2, a θ table 3, and a drawing table 4, and the pair of rails 1 extends in parallel to the sub-scanning direction (Y direction) on the base A. Arranged. A Y table 2 is mounted on the pair of rails 1, and a drawing table 4 is installed on the Y table 2 via a θ table 3. The Y table 2 moves in the Y direction on the pair of rails 1 by driving a motor (not shown). As the Y table 2 moves in the sub-scanning direction, the drawing table 4 moves along with the θ table 3 in the sub-scanning direction. Thereby, the panel can be moved in the sub-scanning direction at the time of drawing. The θ table 3 finely adjusts the rotational position of the drawing table 4 in the horizontal plane.
[0023]
FIG. 4 is an enlarged view of the drawing table 4 as viewed from the Z direction. The drawing table 4 is one member constituting the photosensitive material fixing device according to the present invention, and a panel having a predetermined standard can be placed either vertically or horizontally. Therefore, the drawing table 4 has a length that is at least equal to or longer than the long side of the panel in both the X direction and the Y direction. The drawing table 4 in this embodiment has a square shape with one side having the same length as the long side of the panel. Here, the term “vertical placement” refers to a state in which the panel is placed with its longitudinal direction along the sub-scanning direction, and the term “horizontal placement” refers to a state in which the longitudinal direction is placed along the main scanning direction. Shall. In FIG. 4, a rectangle drawn by a broken line indicates a vertically placed panel, and a rectangle drawn by an alternate long and short dash line indicates a horizontally placed panel. Note that the panel is placed on the drawing table 4 by a conveying means (not shown) in either a portrait orientation or a landscape orientation.
[0024]
The photosensitive material fixing device includes the drawing table 4, biasing mechanisms 41 a to 41 f and abutting pins 42 a to 42 f provided on the drawing table 4. In each of the energizing mechanisms 41a to 41f and the abutting pins 42a to 42f, the letters a to c are attached to the members used when the panel is placed vertically. Those with alphabets are members used when the panel is placed horizontally. Further, the photosensitive material fixing device has linear gauges 43p to 43t.
[0025]
Among the photosensitive material fixing devices, each of the urging mechanisms 41a to 41f is urging means used to fix the panel at a predetermined position where highly accurate drawing is performed, and the panel in a mounted state. In the vicinity of both ends of one long side of the panel (41a, 41b for vertical installation, 41d, 41e for horizontal installation), and one in the approximate center of one short side of the panel (vertical 41c is provided for the horizontal position and 41f) for the horizontal position.
[0026]
Here, the urging mechanisms 41 c and 41 f that urge the short side portion of the panel are both provided at the peripheral portion of the drawing table 4. Therefore, the urging mechanisms 41c and 41f use the same type as that used in the conventional laser beam exposure apparatus, and urge the panel in a predetermined direction (direction of the abutting pins 42c and 42f). can do.
[0027]
However, since the urging mechanisms 41a, 41b, 41d, and 41e for urging the long side portion of the panel are provided on the surface of the drawing table 4, if the above conventional one is used, depending on the drawing method, the placement of the panel May interfere. For example, the urging mechanism 41a for vertical placement is an obstacle when the panel is placed horizontally. Therefore, the urging mechanisms 41a, 41b, 41d, and 41e have the structures shown in FIGS.
[0028]
FIG. 5 is an enlarged perspective view of the urging mechanism 41a. Arrow P shown in FIG. _n Indicates the direction of movement of the member with the symbol n. FIG. 6 is a side view showing the structure of the urging mechanism 41a. Although the urging mechanisms 41b, 41d, and 41e are different in arrangement direction, the structure is the same as that of the urging mechanism 41a shown in FIG. 5 and FIG.
[0029]
As shown in FIGS. 5 and 6, the urging mechanism 41a includes an air cylinder 81 fixed on the θ table 3, a convex support member 82 having a convex cross section, and a concave support member having a concave cross section. 83, a slide table 84, an abutting portion 86, a guide plate 87, and a pusher 89. The drawing table 4 is provided with an opening 44 through which the abutting portion 86 projects.
[0030]
FIG. 6A shows a state of the urging mechanism 41a when urging is not performed, that is, when it is not used. As shown in FIG. 6A, the urging mechanism 41a does not interfere with drawing performed on the drawing table 4 (in this case, drawing performed with the panel placed horizontally) between the θ table 3 and the drawing table 4. It is provided in between.
[0031]
The convex support member 82 is disposed so that the convex surface faces the concave support member 83 and the surface opposite to the convex surface faces the air cylinder 81. A pusher 89 is joined to the surface opposite to the convex surface. The pusher 89 is housed inside the air cylinder 81 when air is not injected into the air cylinder 81. The concave support member 83 is integrated with the slide table 84, and is fitted to the convex support member 82 in a state in which the concave support member 83 can move in the vertical direction (the Z direction or the reverse direction of the Z direction in FIG. 6) (FIG. 5). Medium, P ₈₃ reference).
[0032]
The slide table 84 has an abutting portion 86 on a surface opposite to the surface on which the concave support member 83 is integrated, and has guide pins 85 on both side surfaces (XZ plane). A pair of guide plates 87 are provided on the XZ plane with the slide table 84 interposed therebetween, and are fixed on the θ table 3. Each guide plate 87 has a cam groove 88. The cam groove 88 extends obliquely from the direction of the air cylinder 81 toward the opening 44 of the drawing table 4 at a substantially central portion of the guide plate 87 by a predetermined length, and then is predetermined in a direction parallel to the urging direction of the air cylinder 81. The shape extends for the length. A guide pin 85 is inserted into the cam groove 88 so that the slide table 84 can move along the shape of the cam groove 88.
[0033]
FIG. 6B shows the state of the urging mechanism 41a when urging is performed. Incidentally, the relationship with other urging mechanisms will be described. When performing vertical placement, the urging mechanisms 41a and 41b are in the state of FIG. 6B, and the urging mechanisms 41d and 41e are in the state of FIG. 6A. When the panel is energized, air is first injected into the air cylinder 81 by a signal transmitted from the control unit 31 (see FIG. 7) in the scanning optical unit 30. As a result, the pusher 89 inside the air cylinder 81 moves in the direction opposite to the X direction (in FIG. ₈₉ ) To move the support plate 82 in the same direction (P in FIG. 5). ₈₂ ).
[0034]
As the convex support member 82 moves, the slide table 84 (concave support member 83, abutting portion 86) also starts moving. Here, the guide pin 85 moves along the shape of the cam groove 88 (in FIG. ₈₅ Therefore, the slide table 84 slides obliquely toward the drawing table 4 until the abutting portion 86 protrudes from the opening 44. At this time, the concave support member 83 moves in the direction of the drawing table 4 along the convex surface of the convex support member 82 so as not to prevent the slide table 84 from sliding (P in FIG. 5). ₈₃ ).
[0035]
When the guide pin 85 moves to a portion of the cam groove 88 that is parallel to the urging direction of the air cylinder 81, the abutting portion 86 projects from the opening 44 on the drawing table 4. In this state, the slide table 84 moves in the horizontal direction (X direction in FIG. 6 or the opposite direction to the X direction) along the shape of the cam groove 88. As a result, on the surface of the drawing table 4, the abutting portion 86 continues to urge the panel placed by moving horizontally in the direction of the abutting pin 42a. The panel can be moved until it abuts against the abutting pin 42a.
[0036]
As shown in FIG. 4, the respective abutting pins 42 a to 42 f are arranged at the periphery of the drawing table 4 and adjacent to positions facing the respective urging mechanisms 41 a to 41 f across the placed panel. ing. Accordingly, the abutting pins 42a to 42f fix the panel at least at two places on the long side portion and at least one place on the short side portion.
[0037]
The abutting pins 42a to 42f fix the panel that moves on the drawing table 4 by the urging mechanisms 41a to 41f. As a result, the panel is positioned on the drawing table 4. For example, when the panel is placed vertically, positioning is performed by bringing the panel into contact with all of the abutting pins 42a, 42b, and 42c.
[0038]
Since the panel is generally made of glass, a resilient material is used for the abutting pins 42a to 42f so as not to damage the panel. Therefore, the abutting pins 42a to 42f are elastically deformed by urging. For the above reasons, only positioning accuracy of about ± several tens of μm to several hundreds of μm can be obtained by positioning with the biasing mechanisms 41a to 41f and the abutting pins 42a to 42f. With this positional accuracy, the drawing position (position where the laser beam is incident on the panel) is slightly shifted in the positional relationship between the panel and the scanning optical system 30, and high-precision drawing required when manufacturing the display unit of the plasma display is performed. I can't get it. Therefore, when positioning is performed by the urging mechanisms 41a to 41f and the abutting pins 42a to 42f, correction processing using the linear gauges 43p to 43t is then performed in order to enable drawing with higher accuracy.
[0039]
FIG. 7 is a block diagram illustrating a control system that performs a drawing position correction process. The control system includes linear gauges 43p to 43t, a control unit 31, a θ table 3, a drive motor 34, and an acoustooptic device (AOM) 36. The θ table 3, the drive motor 34, and the AOM 36 are connected to the control unit 31 via drivers 32, 33, and 35, respectively.
[0040]
The control unit 31 rotates the θ table 3 by a predetermined amount in the horizontal direction by giving a drive signal to the driver 32. Further, by supplying a drive signal to the driver 33, the drive motor 34 is driven and the drawing table 4 is moved in the Y direction. The control unit 31 operates the AOM 36 by applying a modulation signal to the driver 35 according to predetermined drawing data, and performs modulation control so that the laser beam emitted from the light source unit 20 is turned on and off at a predetermined timing.
[0041]
The linear gauges 43p to 43t measure the position of the side of the panel that is actually fixed in the X direction or the Y direction with reference to the position of the side of the panel fixed at a predetermined position. The linear gauges 43p to 43t are arranged so that the fixed position can be measured at at least two locations on the long side portion and at least one location on the short side portion of the panel fixed in either the vertical or horizontal state. For example, as shown in FIG. 4, the linear gauges 43 p to 43 t are arranged on the drawing table 4 at positions adjacent to the abutting pins 42 a to 42 f. When two or more abutting pins are arranged close to each other like the abutting pin 42c and the abutting pin 42d shown in FIG. 4, the linear gauge (in FIG. It is also possible to arrange a linear gauge 43r) and reduce the number of members. In this case, the linear gauge 43r measures the fixed position of the short side when vertically placed, and measures the fixed position of one end of the long side when horizontally placed.
[0042]
As illustrated in FIG. 7, the linear gauges 43p to 43t transmit measurement results to the control unit 31 when measuring the positions of the sides of the panel. The control unit 31 first calculates the inclination of the panel in the horizontal direction from the measurement result. A drive signal generated based on the calculation result is transmitted to the driver 32, and the θ table 3 is rotated by a predetermined amount in the horizontal direction. As a result, correction for eliminating the horizontal inclination of the panel on the drawing table 4 is performed.
[0043]
Further, the control unit 31 calculates the positional deviation of the panel in the sub-scanning direction (Y direction) from the measurement result. Based on the calculation result, a drive signal in which the drive timing in the sub-scanning direction of the drawing table is changed is generated, and the drive signal is transmitted to the driver 33 to drive the drive motor 34. As a result, correction for eliminating the panel displacement in the Y direction is performed.
[0044]
Further, at the time of drawing, the control unit 31 transmits a modulation signal generated based on the measurement result to the driver 35 to operate the AOM 36. The modulation signal has a content in which the modulation timing is changed so that the laser beam emitted from the light source unit 20 performs drawing at a predetermined position on the panel fixed on the drawing table 4. The AOM 36 turns on and off the laser beam in accordance with the modulation signal, so that correction for eliminating the panel displacement in the X direction is performed.
[0045]
With the above correction processing, the positional accuracy of the panel fixed on the drawing table 4 can be increased to about several μm. That is, highly accurate drawing can be performed.
[0046]
When the panel is fixed at a predetermined position, drawing is performed as follows while the correction processing related to the position accuracy is performed.
[0047]
The laser beam emitted from the light source 20 is modulated and controlled in the scanning optical unit 30 so as to be continuously and regularly turned on / off. At this time, the control unit 31 transmits a modulation signal that eliminates the displacement of the panel in the X direction to the driver 35 to perform correction in the X direction. Due to the modulation control, the drawing content of one scan becomes a broken line pattern in which exposed portions and unexposed portions are continuously and regularly continued. Here, the laser beam deflected by the scanning optical unit 30 has a scanning width that can scan the entire panel placed horizontally on the drawing table 4. Therefore, when the panel is placed vertically, the vicinity of the scanning end position in one scan is controlled to be off so that the laser beam does not enter a region where the panel is not placed.
[0048]
The laser beam modulated as described above is scanned, and the drawing table 4 is moved in the sub-scanning direction by the drive motor 34. At this time, the control unit 31 transmits a drive signal that eliminates the displacement of the panel in the Y direction to the driver 33 to correct in the Y direction. As a result, regardless of whether it is placed vertically or horizontally, a plurality of straight lines are drawn on the panel in parallel to the sub-scanning direction as shown in FIG. can do.
[0049]
The above is the embodiment of the present invention. The present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
[0050]
The number of urging mechanisms, abutting pins, and linear gauges described above can be changed according to the standard of the panel used, that is, the length of each side. However, the abutting pin is required to be at a position facing the urging mechanism across the panel.
[0051]
In this embodiment, the urging mechanisms 41c and 41f provided on the periphery of the drawing table 4 are of the conventional type, and the urging mechanisms 41a, 41b, 41d and 41e provided on the surface of the drawing table 4 are shown in FIG. A structure in which the abutting portion 86 slides by a structure as shown in FIG. 6 is used. However, among the urging mechanisms provided on the surface of the drawing table 4, only the urging mechanisms (41a and 41f in FIG. 4) that may hinder the placement of the panel depending on at least the drawing method. The present invention can be implemented as long as it slides (FIGS. 5 and 6).
[0052]
Further, depending on the shape and size of the drawing table 4, all the urging mechanisms are installed between the θ table 3 and the drawing table 4, and the abutting portion 86 slides during urging (FIGS. 5 and 6). It is also possible to unify the members.
[0053]
Further, the urging mechanism provided on the surface of the drawing table 4 is not limited to the above structure as long as the abutting portion 86 does not protrude from the drawing table 4 when it is not urged so as not to hinder the placement of the panel. May be. For example, an urging mechanism that can be attached to and detached from the drawing table 4 is used, and if the drawing method hinders the placement of the panel, it is removed from the drawing table 4 and is moved to a predetermined position on the drawing table 4 only at the time of urging. It is also possible to fix. Moreover, in the said embodiment, although the protrusion to the drawing table 4 of the abutting part 86 and the urging | biasing of the panel by the corresponding abutting part 86 are both performed by the press from the air cylinder 81, an air cylinder The entire biasing mechanism is lifted onto the drawing table 4 using a driving means different from 81 (in the reverse direction of the Z direction in FIG. 6), and then the panel is moved by the abutting portion 86 by the pressure of the air cylinder 81. It can also be energized.
[0054]
In the above embodiment, the position of the panel in the drawing table is more accurately detected by using the linear gauges 43p to 43t, but the panel position detection means is not limited to the linear gauge.
[0055]
In the above embodiment, the horizontal inclination of the panel is corrected by rotating the θ table 3. The drawing position in the X direction on the panel is corrected by changing the modulation timing in the AOM 36. The drawing position in the Y direction is corrected by changing the drive timing of the drive motor 34. However, the correction method is not limited to this. For example, correction of the drawing position in the Y direction on the panel can also be performed by generating a modulation signal while correcting based on the measurement result.
[0056]
Furthermore, as described above, the present invention is mainly intended to draw a panel constituting a display unit of a plasma display. However, a plurality of parallel straight lines each having a uniform width between the straight lines are provided. A photosensitive material that is required to be drawn is very effective even if it is not the panel. However, in this case, the size of the drawing table, the arrangement of the urging mechanism and the like need to be adapted to the photosensitive material to be drawn.
[0057]
【The invention's effect】
As described above, the present invention uses a photosensitive material fixing device in which the photosensitive material can be placed and fixed in either a vertical or horizontal direction in a laser beam exposure apparatus, so that the photosensitive material is aligned in a direction parallel to the sub-scanning direction. It is possible to draw with high accuracy contents that are straight lines extending and the widths between the straight lines are equal.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows a drawing state of a photosensitive material by a laser beam.
FIG. 2 shows a drawing state of a laser beam on a photosensitive material.
FIG. 3 is a schematic block diagram of a laser beam exposure apparatus of the present invention.
FIG. 4 shows a drawing table of the laser beam exposure apparatus of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view of an urging mechanism of the laser beam exposure apparatus of the present invention.
FIG. 6 is a side view of an urging mechanism of the laser beam exposure apparatus of the present invention.
FIG. 7 is a block diagram illustrating a control system that performs drawing position correction processing;
[Explanation of symbols]
10 Drawing part
3 θ table
4 Drawing table
20 Light source
30 Scanning optics
41a to 41f biasing mechanism
42a-42f Abutting pin
43p to 43t linear gauge

Claims

In a laser beam exposure apparatus, a photosensitive material fixing device for fixing a photosensitive material,
The length of one side is at least longer than the long side of the photosensitive material, and the photosensitive material can be placed on the surface in a first state along the longitudinal direction in a direction perpendicular to the main scanning direction. A drawing table that can be placed on the surface in a second state along the longitudinal direction in a direction parallel to the direction;
A plurality of positioning means applied so as to be positioned on two sides of the photosensitive material in a state where the photosensitive material is placed on the drawing table in the first state or the second state;
A plurality of biasing means arranged at positions facing the positioning means via the photosensitive material, and biasing the photosensitive material in parallel to the drawing table surface in the direction of the facing positioning means;
With
Among the urging means, at least the one arranged at a position that hinders the fixing of the photosensitive material when fixing the photosensitive material in the first state or the second state is the drawing table. A photosensitive material fixing device, wherein the photosensitive material fixing device is disposed at a place other than the surface .

Among the urging means, at least the one arranged at a position that hinders fixing of the photosensitive material when fixing the photosensitive material in the first state or the second state is based on the drawing table. The photosensitive material fixing device according to claim 1, wherein the photosensitive material fixing device has a detachable structure.

Among the biasing means, at least the one arranged at a position that hinders fixing of the photosensitive material when fixing the photosensitive material in the first state or the second state is the lower part of the drawing table. When energizing the photosensitive material, the photosensitive material is first raised until it protrudes to the surface of the drawing table, and after the at least part of the energizing means protrudes to the surface of the drawing table, the photosensitive material is 2. The photosensitive material fixing device according to claim 1, wherein the photosensitive material fixing device is biased.

4. The photosensitive material fixing device according to claim 1, wherein the urging means includes an air cylinder.

5. A laser beam exposure apparatus comprising the photosensitive material fixing device according to claim 1.

6. The laser beam exposure apparatus according to claim 5, further comprising position correction means for correcting a drawing position so that drawing is performed at a predetermined position on the photosensitive material.

The position correction means has position measurement means for measuring the position of the photosensitive material fixed on the drawing table by the positioning means and the biasing means, and according to the measurement result by the position measurement means, 7. The laser beam exposure apparatus according to claim 6, wherein the position correcting unit corrects the drawing start position of the laser beam on the photosensitive material.

The position correction means further includes a θ correction means for correcting the horizontal inclination of the photosensitive material, an X direction correction means for correcting a drawing start position in the main scanning direction, and a drawing start in a direction orthogonal to the main scanning direction. The laser beam exposure apparatus according to claim 6, further comprising a Y-direction correcting unit that corrects the position.

9. The laser beam exposure apparatus according to claim 8, wherein the θ correction means includes at least rotation means for rotating the drawing table in a horizontal direction until the photosensitive material is not inclined in the horizontal direction.

9. The laser beam exposure apparatus according to claim 8, wherein the X direction correcting means includes modulation timing changing means for changing the modulation timing of the laser beam.

9. The laser beam exposure apparatus according to claim 8, wherein the Y direction correcting unit includes a driving timing changing unit that changes a driving timing of the drawing table.

9. The laser beam exposure apparatus according to claim 8 , wherein the Y direction correcting means includes modulation timing changing means for changing the modulation timing of the laser beam.

The laser beam exposure device according to any one of claims 12 wherein the position measuring means from claim 6, characterized in that it comprises a linear gauge.