JP4458310B2

JP4458310B2 - Pellicle storage container and foreign object inspection method thereof

Info

Publication number: JP4458310B2
Application number: JP27358899A
Authority: JP
Inventors: 篤田村; 芳真栗山
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei Corp
Priority date: 1999-09-28
Filing date: 1999-09-28
Publication date: 2010-04-28
Anticipated expiration: 2019-09-28
Also published as: JP2001100394A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納するペリクル収納容器及び該ペリクル収納容器に付着した異物の検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して該フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルはフォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体等の透明な高分子膜からなるペリクル膜を展張して接着し、且つ該枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着される。
【０００４】
ペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクルが破損するのを防止すると共にペリクル膜等にゴミや塵埃等の異物が付着するのを防止するためにペリクルをトレイと蓋とからなる容器に収納して運搬するようになっている。
【０００５】
また、トレイや蓋に異物が付着していると、運搬中等に該容器の内部に収納された製品となるペリクル膜等に異物が転移する虞があり、使用者側で異物が転移したペリクルをフォトマスクやレティクルの表面に貼着して使用した場合、ペリクルからフォトマスクやレティクルに異物が転移して半導体回路パターンに欠損が生じる虞がある。
【０００６】
これを未然に防止するためにトレイ及び蓋は精密洗浄を施して乾燥させた後、全数について異物の目視検査を行う。この目視検査はクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明をトレイ及び蓋の夫々に個別に照射し、目視により白く光って見える異物を粘着材等のクリーニング手段を用いて手作業により除去している。
【０００７】
一方、使用者側では納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査出来ることが望ましく、従来では容器の蓋を無色透明で構成してペリクルの有無の目視検査を容易にしているのが一般であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ペリクル容器の目視検査における作業能率は、異物の背景となる容器の色に依存するため、前述の従来例のように無色透明で構成されたペリクル容器の蓋の目視検査には多大な手間と時間がかかり、目視可能な異物の検査限界も異物の背景となる容器が無色透明の場合では外径２０μｍ程度の異物が目視検査の限界であった。
【０００９】
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクル容器の目視検査における作業能率を向上すると共に目視可能な異物の検査限界を向上することが出来、更には使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査し得るペリクル収納容器及び該ペリクル収納容器に付着した異物の検査方法を提供せんとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明に係るペリクル収納容器は、トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器において、前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下とし、暗室においてハロゲンランプ照明を該蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値８以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるよう構成したことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係るペリクル収納容器に付着した異物検査方法は、トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器に付着した異物検査方法において、前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下で構成され、暗室においてハロゲンランプ照明を前記蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値８以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えることで、該蓋に付着した異物を目視検査することを特徴とする。
【００１２】
本発明は、上述の如く構成したので、異物の背景となるペリクル収納容器の蓋が半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下であるため、目視検査時にクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を蓋に照射した時、目視によりその明度がマンセル値８以下の有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるため目視検査における作業能率を向上することが出来、より小さな外径の異物を目視出来るため目視可能な異物の検査限界を向上することが出来る。
【００１３】
また、前記蓋が半透明の有色であることで、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査することが出来る。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクル収納容器及び該ペリクル収納容器に付着した異物の検査方法の一実施形態を具体的に説明する。図１は本発明に係るペリクル収納容器のトレイを示す図であり、図１（ａ）はトレイの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【００１５】
また、図２は本発明に係るペリクル収納容器の蓋を示す図であり、図２（ａ）は蓋の平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）のＤ−Ｄ断面図、図２（ｄ）は本発明に係るペリクル収納容器の蓋の側面透視図である。また、図３はトレイと蓋とによりペリクルを収納した様子を示す断面説明図である。
【００１６】
図１に示すトレイ１及び図２に示す蓋２は、その内部にペリクル３を保持して収納するペリクル収納容器を構成するものであり、図３に示すように、ペリクル膜が上面に接着された枠体３ａの下面がトレイ１の外周部に設けられた台座１ａ上に載置された後、トレイ１の台座１ａよりも更に外周部に設けられた凹形リブ１ｂに蓋２の外周部に設けられた凹形リブ２ａを嵌合することで蓋２の斜壁面２ｂが枠体３ａの上角部に当接してペリクル３が支持され、図示しない係止手段により蓋２がトレイ１に対して係止される。
【００１７】
尚、枠体３ａの下面にはペリクル３をフォトマスクやレティクルに接着するための粘着材が設けてあり、該粘着材の表面にはペリクル３をフォトマスクやレティクルに接着するまで該粘着材を保護する保護フィルムが貼着されている。従って、枠体３ａの下面は粘着材及び保護フィルムを介してトレイ１の台座１ａ上に載置される。
【００１８】
トレイ１及び蓋２の材質としては、例えば、アクリル樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリルニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂やポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等をベースとして所定の色素を所定の割合だけ混合して射出成型や真空成型等の公知の製法により半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下のものを作成することが出来る。
【００１９】
蓋２は有色で且つその明度がマンセル値８以下で構成するのが好ましく、更に好ましくは明度がマンセル値４以下である。また、蓋２は、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクル３の有無を目視により検査するためには半透明であることが好ましい。
【００２０】
ここで、マンセル表色系は、色を色感覚の３属性である色相、明度、彩度によって円筒座標系の三次元空間に尺度化した表色系であり、明度を示す円筒座標系の中心軸（無彩軸）から該中心軸を中心とする円周方向に伸びる枝の方向を色相、該枝の長さを彩度として表し、該枝の高さとなる中心軸方向を明度として表したものである。
【００２１】
明度は無彩色を円筒座標系の中心軸（無彩軸）に置き、その原点となるマンセル値０（黒；０に近いほど暗い色）からマンセル値１０（白；１０に近いほど明るい色）までを順次上方に向かって次第に明るさを増す種々の灰色が感覚的に等しい段階に分割される。そして無彩軸上で明度が所定のマンセル値となる該無彩軸と直交する平面上には同明度の全ての有彩色が配列される。
【００２２】
本実施形態のトレイ１はゴミや塵埃等の異物を最も目視し易い背景色となる黒色で構成しているが、必要に応じて蓋２と同様に半透明の有色でマンセル値８以下で構成しても良い。
【００２３】
上記構成によれば、異物の背景となるペリクル収納容器の蓋２が有色で且つその明度がマンセル値８以下であるため目視検査時にクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を蓋２に照射した時、目視によりその明度がマンセル値８以下の有色の背景から異物が際立って白く光って見えるため目視検査における作業能率を向上することが出来、より小さな外径の異物を目視出来るため目視可能な異物の検査限界を向上することが出来る。
【００２４】
また、蓋２が半透明の有色であることで、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクル３の有無を目視により検査することが出来、使用者側の納品検査等の作業能率を向上することが出来る。
【００２５】
特に、大型のＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに使用される大型ペリクルの収納容器の場合は、容器の面積が広いため目視検査における作業能率や信頼性の向上が著しいものとなる。
【００２６】
以下に本発明に係る蓋２と従来の無色透明の蓋との比較例として、夫々大型ペリクル用収納容器で縦横の寸法が６５３mm×４１９mmの蓋を用意し、クリーンルーム内の暗室において数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を照射して目視検査した場合の一例を示す。
【００２７】
【表１】

【００２８】
上記表１において、従来の蓋は無色透明であり、本発明に係る蓋２は半透明で色相が赤、明度がマンセル値４で構成したものである。外径が４０μｍ以上の異物を目視検査するのに要した時間は従来の無色透明の蓋の場合で平均４０分程度かかったが、マンセル値４の明度で構成した本発明に係る蓋２の場合では平均２０分程度で目視検査が完了した。
【００２９】
また、目視検査の限界として目視可能な異物の外径では、従来の無色透明の蓋の場合で外径が２０μｍ程度以上の異物を目視検査することが可能であったが、マンセル値４の明度で構成した本発明に係る蓋２の場合では外径が１０μｍ程度以上の異物を目視検査することが可能であった。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、異物の背景となるペリクル収納容器の蓋が半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下であるため、目視検査時にクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を蓋に照射した時、目視によりその明度がマンセル値８以下の有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるため目視検査における作業能率を向上することが出来、より小さな外径の異物を目視出来るため目視可能な異物の検査限界を向上することが出来る。
【００３１】
また、蓋が半透明の有色であることで、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はトレイの平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】本発明に係るペリクル収納容器の蓋を示す図であり、（ａ）は蓋の平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図、（ｄ）は本発明に係るペリクル収納容器の蓋の側面透視図である。
【図３】トレイと蓋とによりペリクルを収納した様子を示す断面説明図である。
【符号の説明】
１…トレイ
１ａ…台座
１ｂ…凹形リブ
２…蓋
２ａ…凹形リブ
２ｂ…斜壁面
３…ペリクル
３ａ…枠体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
In the present invention, foreign matter adheres to a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing a semiconductor device such as an IC (integrated circuit), LSI (large scale integrated circuit), TFTLCD (thin film transistor liquid crystal display). The present invention relates to a pellicle storage container that stores a pellicle used for prevention, and a method for inspecting foreign matter adhering to the pellicle storage container .
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, in the manufacture of semiconductor circuit patterns and the like, dust prevention means called a pellicle is disposed on both sides of a photomask or reticle to prevent foreign matter from adhering to the photomask or reticle.
[0003]
The pellicle has a pellicle film made of a transparent polymer film such as nitrocellulose or a cellulose derivative with a thickness of 10 μm or less on one edge surface of a frame of about several millimeters thick having a shape matched to the shape of a photomask or reticle. It is stretched and bonded, and is adhered to the surface of the photomask or reticle via an adhesive material on the other edge surface of the frame.
[0004]
When transporting the pellicle from the manufacturer to the user, the pellicle is a container comprising a tray and a lid in order to prevent the pellicle from being damaged and to prevent foreign matter such as dust and dirt from adhering to the pellicle film. It is designed to be housed and transported.
[0005]
In addition, if foreign matter adheres to the tray or lid, there is a risk that foreign matter may be transferred to the pellicle film or the like that is the product stored inside the container during transportation, etc. When used by being attached to the surface of a photomask or reticle, foreign matter may be transferred from the pellicle to the photomask or reticle to cause defects in the semiconductor circuit pattern.
[0006]
In order to prevent this, the trays and lids are subjected to precision cleaning and dried, and then all of them are visually inspected for foreign matters. In this visual inspection, in a dark room in a clean room, high-intensity halogen lamp illumination of about tens of thousands of lux is individually applied to each of the tray and the lid, and foreign substances that appear to shine white by visual inspection are cleaned using a cleaning means such as an adhesive. It is removed manually.
[0007]
On the other hand, it is desirable that the user can visually inspect the presence or absence of the pellicle stored in the container at the time of delivery inspection, and conventionally, the container lid is made of colorless and transparent to facilitate visual inspection of the presence or absence of the pellicle. It was general.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the work efficiency in the visual inspection of the pellicle container depends on the color of the container that is the background of the foreign matter, the visual inspection of the lid of the pellicle container made of colorless and transparent as in the above-described conventional example is very laborious. It takes a long time, and the inspection limit of the visually observable foreign matter is that the foreign matter having an outer diameter of about 20 μm is the limit of the visual inspection when the container as the background of the foreign matter is colorless and transparent.
[0009]
The present invention solves the above-mentioned problems, and its object is to improve the work efficiency in visual inspection of a pellicle container and improve the inspection limit of visible foreign matter, and further to the user side. The present invention is intended to provide a pellicle storage container capable of visually inspecting the presence or absence of a pellicle stored in the container at the time of delivery inspection, and a method for inspecting foreign matter adhering to the pellicle storage container .
[0010]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, a pellicle storage container according to the present invention is a pellicle storage container for storing a pellicle in which a pellicle film is bonded to a frame body by a tray and a lid, wherein the lid is translucent and has a lightness. When the lid is irradiated with a halogen lamp illumination in a dark room with a Munsell value of 8 or less, the foreign matter adhering to the lid from a translucent and colored background with a brightness of the Munsell value of 8 or less is shining white. It is configured to be visible .
[0011]
Further, the foreign matter inspection method attached to the pellicle storage container according to the present invention is a foreign matter inspection method attached to a pellicle storage container for storing a pellicle having a pellicle film bonded to a frame body by a tray and a lid. It is transparent and has a lightness of Munsell value of 8 or less. When the lamp is irradiated with a halogen lamp in a dark room, the lightness is visually observed from the translucent and colored background of Munsell value of 8 or less. It is characterized by visually inspecting the foreign matter adhering to the lid by making the adhering foreign matter stand out and shine white .
[0012]
Since the present invention is configured as described above, the lid of the pellicle storage container that is the background of the foreign substance is translucent and has a lightness of 8 or less in the Munsell value. Therefore, in the dark room in the clean room during the visual inspection, When the lid is irradiated with a high-intensity halogen lamp illumination of about lux, the foreign matter adhering to the lid appears to shine brightly from a colored background whose brightness is Munsell value of 8 or less. It is possible to improve, and since a foreign substance having a smaller outer diameter can be visually observed, the inspection limit of the visible foreign substance can be improved.
[0013]
Further, the lid that is translucent colored, can be visually checked whether a pellicle housed in the container in the user's side delivery inspection or the like of.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of a pellicle storage container and a method for inspecting foreign matter attached to the pellicle storage container according to the present invention will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 1 is a view showing a tray of a pellicle storage container according to the present invention, FIG. 1 (a) is a plan view of the tray, FIG. 1 (b) is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. c) is a BB cross-sectional view of FIG.
[0015]
2 is a view showing a lid of the pellicle storage container according to the present invention. FIG. 2 (a) is a plan view of the lid, FIG. 2 (b) is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 2 (c) is a sectional view taken along the line DD of FIG. 2 (a), and FIG. 2 (d) is a side perspective view of the lid of the pellicle storage container according to the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view showing a state where the pellicle is housed by the tray and the lid.
[0016]
The tray 1 shown in FIG. 1 and the lid 2 shown in FIG. 2 constitute a pellicle storage container that holds and stores the pellicle 3 therein. As shown in FIG. 3, the pellicle film is bonded to the upper surface. After the lower surface of the frame 3a is placed on the pedestal 1a provided on the outer peripheral portion of the tray 1, the outer peripheral portion of the lid 2 is formed on the concave rib 1b provided further on the outer peripheral portion than the pedestal 1a of the tray 1. By fitting the concave ribs 2a provided on the lid 2, the inclined wall surface 2b of the lid 2 comes into contact with the upper corner of the frame 3a to support the pellicle 3, and the lid 2 is attached to the tray 1 by a locking means (not shown). It is locked against.
[0017]
An adhesive material for bonding the pellicle 3 to the photomask or reticle is provided on the lower surface of the frame 3a. The adhesive material is applied to the surface of the adhesive material until the pellicle 3 is bonded to the photomask or reticle. A protective film is attached for protection. Therefore, the lower surface of the frame 3a is placed on the pedestal 1a of the tray 1 via the adhesive material and the protective film.
[0018]
Examples of materials for the tray 1 and the lid 2 include acrylic resins, polyethylene terephthalate resins, acrylonitrile / butadiene / styrene resins and polyester resins, olefin resins such as polyethylene and polypropylene, and polystyrene resins such as polystyrene and acrylonitrile / styrene resins. predetermined dye and its lightness semipermeable light colored by a known method such as injection molding, vacuum molding by mixing a predetermined proportion can be created as follows Munsell value 8 as a base and the like.
[0019]
The lid 2 is preferably colored and has a lightness with a Munsell value of 8 or less, more preferably a lightness with a Munsell value of 4 or less. The lid 2 is preferably translucent in order to visually inspect the presence or absence of the pellicle 3 stored in the container at the time of delivery inspection on the user side.
[0020]
Here, the Munsell color system is a color system in which colors are scaled into a three-dimensional space of a cylindrical coordinate system by hue, brightness, and saturation, which are three attributes of color sensation. The direction of the branch extending from the axis (achromatic axis) in the circumferential direction around the central axis is represented by hue, the length of the branch is represented by saturation, and the direction of the central axis that is the height of the branch is represented by lightness. Is.
[0021]
As for the lightness, an achromatic color is placed on the central axis (achromatic axis) of the cylindrical coordinate system, and the Munsell value 0 (black; darker the color closer to 0) to the Munsell value 10 (white; the brighter the color is closer to 10) is the origin. The various grays that gradually increase in brightness toward the upper side are divided into stages of sensory equality. All chromatic colors having the same lightness are arranged on a plane orthogonal to the achromatic axis where the lightness is a predetermined Munsell value on the achromatic axis.
[0022]
Tray 1 of the present embodiment has been configured with black as the most visually easily background color foreign matters such as dust and dirt, as well as the lid 2 as required by the semipermeable light colored below Munsell value 8 It may be configured.
[0023]
According to the above configuration, the lid 2 of the pellicle storage container that is the background of the foreign matter is colored and the brightness thereof is not more than the Munsell value of 8 or less. When the cover 2 is illuminated, foreign matter appears to shine brightly from a colored background having a Munsell value of 8 or less by visual observation, so that the work efficiency in visual inspection can be improved and foreign matter having a smaller outer diameter. The inspection limit of visible foreign matter can be improved.
[0024]
Further, since the lid 2 is translucent and colored, it can be visually inspected for the presence of the pellicle 3 stored in the container at the time of delivery inspection on the user side, etc. Work efficiency can be improved.
[0025]
In particular, in the case of a large pellicle storage container used for a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing a semiconductor device such as a large TFTLCD (thin film transistor liquid crystal display), visual inspection is performed because the container area is large. The improvement in work efficiency and reliability will be remarkable.
[0026]
As a comparative example of the lid 2 according to the present invention and a conventional colorless and transparent lid, a lid for a large pellicle is prepared with a size of 653 mm × 419 mm in length and width, and about tens of thousands of lux in a dark room in a clean room An example of a visual inspection by irradiating with a high-intensity halogen lamp illumination is shown.
[0027]
[Table 1]

[0028]
In Table 1 above, the conventional lid is colorless and transparent, and the lid 2 according to the present invention is translucent, the hue is red, and the brightness is the Munsell value 4. The time required for visual inspection of foreign matters having an outer diameter of 40 μm or more took about 40 minutes on average in the case of the conventional colorless and transparent lid, but in the case of the lid 2 according to the present invention configured with lightness of Munsell value 4 Then, the visual inspection was completed in about 20 minutes on average.
[0029]
As the limit of visual inspection, it was possible to visually inspect a foreign object having an outer diameter of about 20 μm or more in the case of a conventional colorless and transparent lid, as a limit of visual inspection. In the case of the lid 2 according to the present invention constituted by the above, it was possible to visually inspect foreign matters having an outer diameter of about 10 μm or more.
[0030]
【The invention's effect】
Since the present invention has the above-described configuration and operation, the lid of the pellicle storage container that is the background of the foreign matter is translucent and has a lightness of 8 or less Munsell value. When the lid is irradiated with high-intensity halogen lamp illumination of about tens of thousands of lux, the visual inspection is performed because the foreign matter adhering to the lid is noticeably shining white from a colored background having a Munsell value of 8 or less. As a result, it is possible to improve the inspection efficiency of foreign objects that can be visually observed.
[0031]
In addition, by the cover is translucent colored, it can be visually checked whether a pellicle housed in the container in the user's side during delivery inspection of.
[Brief description of the drawings]
1A is a plan view of a tray, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1A, and FIG. 1C is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
FIGS. 2A and 2B are views showing a lid of a pellicle storage container according to the present invention, wherein FIG. 2A is a plan view of the lid, FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line C-C in FIG. DD sectional drawing and (d) are side perspective views of the lid | cover of the pellicle storage container based on this invention.
FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a pellicle is stored by a tray and a lid.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Tray 1a ... Base 1b ... Concave rib 2 ... Cover 2a ... Concave rib 2b ... Oblique wall surface 3 ... Pellicle 3a ... Frame

Claims

In a pellicle storage container for storing a pellicle in which a pellicle film is bonded to a frame body by a tray and a lid,
The lid has a translucent color and its brightness is set to a Munsell value of 8 or less. When the lid is irradiated with a halogen lamp illumination in a dark room, the brightness is visually observed from a translucent and colored background of the Munsell value of 8 or less. A pellicle storage container characterized in that foreign matter adhering to a lid appears to shine noticeably white .

In the foreign matter inspection method attached to the pellicle storage container for storing the pellicle in which the pellicle film is bonded to the frame body by the tray and the lid ,
The lid is translucent and has a lightness of Munsell value of 8 or less .
When the lamp is irradiated with halogen lamp illumination in a dark room, the foreign matter adhering to the lid from the translucent and colored background whose brightness is not more than the Munsell value of 8 or less is visually shining white. A method for inspecting foreign matter attached to a pellicle storage container, wherein the attached foreign matter is visually inspected .