JP4464374B2 - マイクロミラー装置および光スイッチ - Google Patents

Description

本発明は、傾斜角が可変なミラーを備えたマイクロミラー装置と、複数のマイクロミラー装置を用いる光スイッチに関するものである。

光スイッチを実現するための技術の一つとして、マイクロミラーを用いたものが提案されている（例えば非特許文献１参照）。
図４は従来の光スイッチの構成例を示す斜視図である。図４において、１ａは入力ポート、１ｂは出力ポート、２ａは入力側マイクロミラーアレイ、２ｂは出力側マイクロミラーアレイである。入力ポート１ａと出力ポート１ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数の光ファイバからなり、マイクロミラーアレイ２ａ，２ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数のマイクロミラー装置３ａ，３ｂからなる。図４における矢印は光ビームの進行方向を示している。

ある入力ポート１ａから出射した光信号は、この入力ポート１ａに対応する入力側マイクロミラーアレイ２ａのマイクロミラー装置３ａにより反射偏向される。マイクロミラー装置３ａのミラーは２軸周りに回動可能なため、マイクロミラー装置３ａの反射光を出力側マイクロミラーアレイ２ｂの任意のマイクロミラー装置３ｂに向けることができる。マイクロミラー装置３ｂのミラーも同様に２軸周りに回動可能なため、ミラーの傾斜角を適当に制御することにより、マイクロミラー装置３ｂの反射光を対応する出力ポート１ｂに向けることができる。したがって、入力側マイクロミラーアレイ２ａと出力側マイクロミラーアレイ２ｂのミラーの傾斜角を適当に制御することにより、２次元的に配列された任意の入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間を接続することができ、光路の切り替えを行うことができる。

光スイッチの構成部品として最も特徴的なものがマイクロミラーアレイ２ａ，２ｂである。このマイクロミラーアレイ２ａ，２ｂを構成するマイクロミラー装置３ａ，３ｂは、例えば非特許文献１に開示されている。図５は、非特許文献１に開示されたマイクロミラー装置の構成を示す分解斜視図、図６は図５のマイクロミラー装置の断面図である。マイクロミラー装置は、ミラーが形成されたミラー基板２００と、電極が形成された電極基板３００とが平行に配設された構造を有する。

ミラー基板２００は、板状の枠部２１０と、枠部２１０の開口内に配設された可動枠２２０と、可動枠２２０の開口内に配設されたミラー２３０とを有する。枠部２１０、トーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ、可動枠２２０およびミラー２３０は、例えば単結晶シリコンで一体形成されている。ミラー２３０の表面には例えば３層のＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ層が形成されている。一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂは、枠部２１０と可動枠２２０とを連結している。可動枠２２０は、一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂを通る図５の可動枠回動軸ｘを軸として回動することができる。同様に、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂは、可動枠２２０とミラー２３０とを連結している。ミラー２３０は、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂを通る図５のミラー回動軸ｙを軸として回動することができる。可動枠回動軸ｘとミラー回動軸ｙとは、互いに直交している。結果として、ミラー２３０は、直交する２軸で回動する。

電極基板３００は、板状の基部３１０と、段丘状の突出部３２０とを有する。基部３１０と突出部３２０は例えば単結晶シリコンからなる。突出部３２０は、基部３１０の上面に形成された角錐台の形状を有する第２テラス３２２と、第２テラス３２２の上面に形成された角錐台の形状を有する第１テラス３２１と、第１テラス３２１の上面に形成された柱状の形状を有するピボット３３０とから構成される。突出部３２０の四隅とこの四隅に続く基部３１０の上面には、４つの電極３４０ａ〜３４０ｄが形成されている。また、基部３１０の上面には、突出部３２０を挟むように並設された一対の凸部３６０ａ，３６０ｂが形成されている。さらに、基部３１０の上面には、配線３７０が形成されており、この配線３７０には、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄを介して電極３４０ａ〜３４０ｄが接続されている。なお、基部３１０の表面には酸化シリコン等からなる絶縁層３１１が形成されており、この絶縁層３１１の上に電極３４０ａ〜３４０ｄ、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄ、配線３７０が形成されている。

以上のようなミラー基板２００と電極基板３００とは、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが対向配置されるように、枠部２１０の下面と凸部３６０ａ，３６０ｂの上面とを接合することにより、図６に示すようなマイクロミラー装置を構成する。このようなマイクロミラー装置においては、ミラー２３０を接地し、電極３４０ａ〜３４０ｄに正の駆動電圧を与えて、しかも電極３４０ａ〜３４０ｄ間に非対称な電位差を生じさせることにより、ミラー２３０を静電引力で吸引し、ミラー２３０を任意の方向へ回動させることができる。

T.Yamamoto，et al.，「A Three-Dimensional MEMS Optical Switching Module Having 100 Input and 100 Output Ports」，Photonics Technology Letters，IEEE，Vol.15，No.10，p.1360-1362

従来の光スイッチにおいてマイクロミラー装置３ａ，３ｂを制御する制御装置は、光パワーを制御するＶＯＡ（Variabie Optical Attenuator ）の機能を実現する場合、マイクロミラー装置３ａ，３ｂに駆動電圧を供給してミラー２３０に摂動（振動）を与え、駆動電圧と出力光のパワーとの相関関係を求めて、ミラー２３０の最適な傾斜角が得られる最適な駆動電圧（例えば出力光のパワーが最適値となる駆動電圧）を求めるのが一般的である。したがって、従来の光スイッチは、出力ポート１ｂに入射する出力光のパワーを、マイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０の角度で制御していることになる。

しかしながら、従来の光スイッチでは、出力光のパワーの損失が大きくなって、場合によっては出力光のパワーを最適値に制御できない可能性があった。その理由は、従来の光スイッチが専らミラー２３０の角度を制御することによって、出力光のパワーを制御しており、焦点制御をしていないことによる焦点ぼけや出力ポート１ｂにおける光のけられなどが原因で、出力光のパワーがミラー２３０の角度変化に対して急激に変化する可能性があるからである。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、出力光のパワーを最適値に制御することができるマイクロミラー装置および光スイッチを提供することを目的とする。

本発明のマイクロミラー装置は、回動可能に支持されたミラーと、このミラーから離間して配置された複数の電極と、前記ミラーの反射光である出力光のパワーを検知する出力光検知装置と、各電極に共通のバイアス電圧を生成して印加する制御装置とを備え、前記バイアス電圧は、前記出力光のパワーが最適値になるように前記ミラーの上下方向の位置を変化させる電圧であることを特徴とするものである。
また、本発明のマイクロミラー装置の１構成例において、前記制御装置は、前記ミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を前記電極毎に生成する駆動電圧生成手段と、前記出力光のパワーが最適値になるように前記バイアス電圧を生成するバイアス電圧生成手段と、前記バイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を対応する前記電極に印加する加算手段とを有するものである。

また、本発明の光スイッチは、入力光を入力する１つ以上の入力ポートと、出力光を出力する１つ以上の出力ポートと、前記入力ポートを出射した１つ以上の入力光を独立に偏向させて任意の前記出力ポートに選択的に入射させる１つ以上のマイクロミラー装置と、前記出力ポートに入射した出力光のパワーを検知する出力光検知装置と、任意の前記入力ポートと前記出力ポートとの間を接続すべく前記マイクロミラー装置を制御する制御装置とを備え、各マイクロミラー装置は、回動可能に支持されたミラーと、このミラーから離間して配置された複数の電極とをそれぞれ有し、前記制御装置は、接続すべき前記入力ポートと前記出力ポートとの間の光路上にある前記マイクロミラー装置の各電極に共通のバイアス電圧を生成して印加し、前記バイアス電圧は、前記出力光のパワーが最適値になるように前記マイクロミラー装置のミラーの上下方向の位置を変化させる電圧であることを特徴とするものである。
また、本発明の光スイッチの１構成例において、前記制御装置は、前記光路上のマイクロミラー装置のミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を、このマイクロミラー装置の前記電極毎に生成する駆動電圧生成手段と、前記出力光のパワーが最適値になるように前記バイアス電圧を生成するバイアス電圧生成手段と、前記バイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を前記光路上のマイクロミラー装置の対応する前記電極に印加する加算手段とを有するものである。

本発明によれば、ミラーの反射光である出力光のパワーが最適値になるようにマイクロミラー装置の各電極に共通のバイアス電圧を生成して各電極に印加することにより、出力光の焦点を制御することができ、出力光のパワーの急激な変化を抑えることができる。その結果、従来に比べてより適切な光パワーの制御が可能なマイクロミラー装置を実現することができる。

また、本発明では、接続すべき入力ポートと出力ポートとの間の光路上にあるマイクロミラー装置の各電極に共通のバイアス電圧を、出力ポートに入射する出力光のパワーが最適値になるように生成して印加することにより、出力光の焦点を制御することができ、出力光のパワーの急激な変化を抑えることができる。その結果、従来に比べてより適切な光パワーの制御が可能な光スイッチを実現することができる。また、本発明では、従来の光スイッチのように出力光のパワーを最適値に制御できないという問題が生じる可能性を低減することができる。

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る光スイッチの構成を示すブロック図であり、図４と同一の構成には同一の符号を付してある。図１において、４は出力光検知装置、５は制御装置である。入力側マイクロミラー装置３ａと出力側マイクロミラー装置３ｂの各々の機械的な構成は従来と同様であるので、図５、図６の符号を用いて説明する。

入力ポート１ａから出射した入力光は、入力側マイクロミラー装置３ａと出力側マイクロミラー装置３ｂのそれぞれのミラーにより反射され、出力ポート１ｂに入射する。
出力光検知装置４は、出力ポート１ｂ毎に設けられる。各出力光検知装置４は、対応する出力ポート１ｂに入射した出力光のパワーを検出する。
制御装置５は、出力光のパワーが最適な値になるようにマイクロミラー装置３ａ，３ｂに印加する電圧を生成する。

本実施の形態と従来の光スイッチとの大きな相違点は、従来の光スイッチでは各マイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０を所望の角度に制御するための駆動電圧をマイクロミラー装置３ａ，３ｂの電極３４０ａ〜３４０ｄに印加しているのに対して、本実施の形態では各電極３４０ａ〜３４０ｄに共通のバイアス電圧と電極毎の駆動電圧との組み合わせ（加減算）で各電極３４０ａ〜３４０ｄへの印加電圧を決定し、さらにバイアス電圧を出力光のパワーに応じて変化させる点である。

以下、本実施の形態と従来の光スイッチとの相違点についてより詳細に説明する。図２は制御装置５の構成例を示すブロック図である。なお、図２の例では、１つのマイクロミラー装置についてのみ記載している。
制御装置５のミラー電圧印加手段５００は、マイクロミラー装置毎に設けられる。各ミラー電圧印加手段５００は、対応するマイクロミラー装置の枠部２１０とトーションバネ２１１ａ，２１１ｂと可動枠２２０とトーションバネ２２１ａ，２２１ｂとを介してミラー２３０に接地電位を印加する。

制御手段５０１は、どの入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間を接続すべきかを認識している。前述のとおり、任意の入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間を接続するには、入力ポート１ａに対応する入力側マイクロミラー装置３ａと出力ポート１ｂに対応する出力側マイクロミラー装置３ｂのそれぞれのミラー２３０の傾斜角を適当な値に制御する必要がある。そこで、制御手段５０１は、図５に示す回動軸ｘ周りのミラー２３０の傾斜角の目標値Ａｘｒｅｆと回動軸ｙ周りのミラー２３０の傾斜角の目標値Ａｙｒｅｆとをマイクロミラー装置毎に生成して出力する。また、制御手段５０１は、出力ポート１ｂに入射する出力光のパワーを最適な値にするため、出力光のパワーの目標値（最適値）Ｐｒｅｆをマイクロミラー装置毎に生成して出力する。

駆動電圧生成手段５０２は、マイクロミラー装置毎に設けられる。各駆動電圧生成手段５０２は、対応するマイクロミラー装置のミラー２３０の傾斜角の目標値Ａｘｒｅｆ，Ａｙｒｅｆに従って駆動電圧を対応するマイクロミラー装置の電極３４０ａ〜３４０ｄ毎に生成する。図２に示すように、各駆動電圧生成手段５０２は、減算手段５０５，５０６と角度コントローラ５０７とから構成される。

減算手段５０５は、ミラー２３０の傾斜角の目標値Ａｘｒｅｆから図示しないセンサによって検出された回動軸ｘ周りのミラー２３０の傾斜角Ａｘを減算し、減算手段５０６は、ミラー２３０の傾斜角の目標値Ａｙｒｅｆから図示しないセンサによって検出された回動軸ｙ周りのミラー２３０の傾斜角Ａｙを減算する。
ミラー２３０の傾斜角Ａｘ，Ａｙを検出するには、電極３４０ａ〜３４０ｄとは別に、マイクロミラー装置の基部３１０の絶縁層３１１上に、ミラー２３０と対向するようにセンサ電極を設けておき、ミラー２３０の傾斜角に応じて変化するミラー２３０とセンサ電極との距離に応じた静電容量を検出すればよい。

角度コントローラ５０７は、ミラー２３０の傾斜角Ａｘが目標値Ａｘｒｅｆと一致し、かつミラー２３０の傾斜角Ａｙが目標値Ａｙｒｅｆと一致するように（すなわち減算手段５０５，５０６の出力が零になるように）、駆動電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄ毎に生成する。
なお、本実施の形態では、回動軸ｘ，ｙと電極３４０ａ〜３４０ｄの分割線とが４５度で交差するように配置されているため、回動軸ｘ周りのミラー２３０の回動に関係する電極は３４０ａ，３４０ｃであり、回動軸ｙ周りのミラー２３０の回動に関係する電極は３４０ｂ，３４０ｄである。したがって、減算手段５０５の出力が零になるように電極３４０ａ，３４０ｃへの駆動電圧が生成され、減算手段５０６の出力が零になるように電極３４０ｂ，３４０ｄへの駆動電圧が生成される。こうして、ミラー２３０の傾斜角が所望の値になるように制御される。

次に、バイアス電圧生成手段５０３は、マイクロミラー装置毎に設けられる。各バイアス電圧生成手段５０３は、出力光のパワーの目標値Ｐｒｅｆに従って、対応するマイクロミラー装置の各電極３４０ａ〜３４０ｄに共通のバイアス電圧Ｖｂを生成する。前述のとおり、制御手段５０１は、接続すべき入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間の光路上にあるマイクロミラー装置３ａ，３ｂに対して出力光のパワーの目標値Ｐｒｅｆを出力する。図２に示すように、各バイアス電圧生成手段５０３は、減算手段５０８と光パワーコントローラ５０９とから構成される。

減算手段５０８は、出力光のパワーの目標値Ｐｒｅｆから、この出力光が入射すべき出力ポート１ｂの出力光検知装置４によって検出された出力光のパワーの値Ｐを減算する。
光パワーコントローラ５０９は、出力光のパワーＰが目標値Ｐｒｅｆと一致するように（すなわち減算手段５０８の出力が零になるように）、バイアス電圧Ｖｂを生成する。

電極３４０ａ〜３４０ｄに共通のバイアス電圧Ｖｂを変化させると、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとの距離（図６に示すミラー２３０の上下方向の位置）が変化する。入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間の光路上にあるマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０の上下方向の位置が変化することは、入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間の光路長が変化することを意味する。したがって、バイアス電圧Ｖｂを調整することで、出力光の焦点を制御することができ、焦点ぼけや出力ポート１ｂにおける光のけられなどによる急激な光の損失の変化を回避することができる。

加算手段５０４ａ〜５０４ｄは、各電極に共通のバイアス電圧Ｖｂと駆動電圧生成手段５０２が生成した電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を対応する電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する。

本実施の形態では、従来と同様にマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０の角度を制御すると同時に、出力光のパワーが最適な値になるようにバイアス電圧Ｖｂを制御して、出力光の焦点を制御するため、従来の光スイッチに比べて出力光のパワーの急激な変化を抑えることができ、より適切な光パワーの制御を実現することができる。また、従来の光スイッチのように出力光のパワーを最適値に制御できないという問題が生じる可能性を低減することができる。

なお、図２に示した例では、マイクロミラー装置毎にミラー２３０の傾斜角Ａｘ，Ａｙを検出するセンサが必要になるが、センサを用いることなくミラー２３０の傾斜角を制御することもできる。この場合には、角度コントローラ５０７に、予めミラー２３０の傾斜角と駆動電圧値との関係が設定されたテーブルを設けておく。角度コントローラ５０７は、ミラー２３０の傾斜角の目標値Ａｘｒｅｆ，Ａｙｒｅｆに対応する駆動電圧値をテーブルから取得して、駆動電圧を生成すればよい。

出力光のパワーの目標値（最適値）Ｐｒｅｆの設定方法には、以下の２通りがある。出力光の焦点を制御すると、出力光のパワーは焦点の位置に応じて変動し、ある焦点の位置で極大値をとる。最適値Ｐｒｅｆの設定方法の１つは、この既知の極大値をＰｒｅｆとする方法である。もう１つの方法は、所謂ＶＯＡに対応する方法であり、システムから要求される所望の値を最適値Ｐｒｅｆとする方法である。

［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図３は本発明の第２の実施の形態に係る波長選択スイッチの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、光スイッチの一種である波長選択スイッチ（Wavelength Selective Switch:WSS）に本発明を適用したものである。図３において、６は入力ポート、７ａ，７ｂは出力ポート、８はマイクロミラーアレイ、１０は主レンズ、１１は反射型回折格子、１２は平行化レンズ、１３ａ，１３ｂはそれぞれ出力ポート７ａ，７ｂに設けられた出力光検知装置、１４は制御装置である。マイクロミラーアレイ８は、１次元的に配列された複数のマイクロミラー装置９ａ，９ｂ，９ｃからなる。

入力ポート６は、波長が異なる複数の光信号が多重化された波長多重光信号１５を主レンズ１０に向かって射出する。主レンズ１０を通過した波長多重光信号１５は、反射型回折格子１１に入射する。反射型回折格子１１に入射した波長多重光信号１５は、反射型回折格子１１で反射され、波長が異なる複数の光信号１６ａ，１６ｂ，１６ｃに分波される。分波された各光信号１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、再び主レンズ１０を通って、それぞれ所定のマイクロミラー装置９ａ，９ｂ，９ｃに入射する。

各光信号１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、それぞれ対応するマイクロミラー装置９ａ，９ｂ，９ｃのミラーで反射された後、平行化レンズ１２によって平行化された光信号１７ａ，１７ｂ，１７ｃとなり、主レンズ１０を通って反射型回折格子１１に入射する。そして、各光信号１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、反射型回折格子１１で反射された後、再び主レンズ１０を通って複数の出力ポート７ａ，７ｂのうちのいずれか１つの出力ポートに入射する。図３の例では、マイクロミラー装置９ａ，９ｃで反射された光信号１７ａ，１７ｃが出力ポート７ａに入射し、マイクロミラー装置９ｂで反射された光信号１７ｂが出力ポート７ｂに入射している。

このように、入力ポート６からの波長多重光信号１５を反射型回折格子１１に入射させて複数の光信号に分波した後、分波した各光信号を対応するマイクロミラー装置９ａ，９ｂ，９ｃのミラーに入射させ、このときに各ミラーの向きを制御手段１４によって適宜制御することで、一つの波長の光信号あるいは波長が異なる複数の光信号から構成される光信号の組を一つあるいは複数組抽出して、各組毎に合波して所望の出力ポート７ａ，７ｂに入射させることができる。
なお、図３では、出力ポートは２ポート、マイクロミラー装置は３個で構成されているが、本発明は出力ポートのポート数ないしはマイクロミラー装置の個数で限定されるものではない。望ましい形態の例としては、マイクロミラー装置の数は、入力ポートより入力される光信号の波長数と同数であり、かつ出力ポート数は前記波長数以下とすればよい。

各マイクロミラー装置９ａ，９ｂ，９ｃの構成は、第１の実施の形態のマイクロミラー装置３ａ，３ｂと同じである。
第１の実施の形態と同様に、各出力光検知装置１３ａ，１３ｂは、対応する出力ポート７ａ，７ｂに入射した出力光のパワーを検出する。

第１の実施の形態と同様に、制御装置１４は、マイクロミラー装置９ａのミラーを所望の角度に制御するための駆動電圧を決定すると同時に、マイクロミラー装置９ａの各電極に共通のバイアス電圧を、対応する出力光検知装置１３ａ，１３ｂで検出された出力光のパワーが最適になるように決定して、各電極に共通のバイアス電圧と電極毎の駆動電圧とを組み合わせた電圧をマイクロミラー装置９ａの各電極に印加する。制御装置１４は、他のマイクロミラー装置９ｂ，９ｃについても同様にマイクロミラー装置毎に各電極への印加電圧を決定する。

前述のとおり、図３の例では、マイクロミラー装置９ａ，９ｃで反射された光信号が出力ポート７ａに入射し、マイクロミラー装置９ｂで反射された光信号が出力ポート７ｂに入射する。したがって、制御装置１４は、出力光検知装置１３ａで検出された出力光のパワーが最適になるようにマイクロミラー装置９ａ，９ｃのバイアス電圧を決定し、出力光検知装置１３ｂで検出された出力光のパワーが最適になるようにマイクロミラー装置９ｂのバイアス電圧を決定することになる。以上のような制御装置１４は、第１の実施の形態で説明した制御装置５と同様の構成で実現することができる。
こうして、本実施の形態によれば、波長選択スイッチにおいて、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。

本発明は、マイクロミラー装置、および複数のマイクロミラー装置を用いる光スイッチに適用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る光スイッチの構成を示すブロック図である。 本発明の第１の実施の形態に係る光スイッチの制御装置の構成例を示すブロック図である。 本発明の第２の実施の形態に係る波長選択スイッチの構成を示すブロック図である。 従来の光スイッチの構成例を示す斜視図である。 マイクロミラー装置の構成を示す分解斜視図である。 図５のマイクロミラー装置の断面図である。

符号の説明

１ａ，６…入力ポート、１ｂ，７ａ，７ｂ…出力ポート、２ａ，２ｂ，８…マイクロミラーアレイ、３ａ，３ｂ，９ａ，９ｂ，９ｃ…マイクロミラー装置、４，１３ａ，１３ｂ…出力光検知装置、５，１４…制御装置、１０…主レンズ、１１…反射型回折格子、１２…平行化レンズ、２００…ミラー基板、２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ…トーションバネ、２２０…可動枠、２３０…ミラー、３００…電極基板、３４０ａ〜３４０ｄ…電極、５００…ミラー電圧印加手段、５０１…制御手段、５０２…駆動電圧生成手段、５０３…バイアス電圧生成手段、５０４ａ〜５０４ｄ…加算手段、５０５，５０６，５０８…減算手段、５０７…角度コントローラ、５０９…光パワーコントローラ。

Claims (4)

1. 回動可能に支持されたミラーと、
   このミラーから離間して配置された複数の電極と、
   前記ミラーの反射光である出力光のパワーを検知する出力光検知装置と、
   各電極に共通のバイアス電圧を生成して印加する制御装置とを備え、
   前記バイアス電圧は、前記出力光のパワーが最適値になるように前記ミラーの上下方向の位置を変化させる電圧であることを特徴とするマイクロミラー装置。
2. 請求項１記載のマイクロミラー装置において、
   前記制御装置は、
   前記ミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を前記電極毎に生成する駆動電圧生成手段と、
   前記出力光のパワーが最適値になるように前記バイアス電圧を生成するバイアス電圧生成手段と、
   前記バイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を対応する前記電極に印加する加算手段とを有することを特徴とするマイクロミラー装置。
3. 入力光を入力する１つ以上の入力ポートと、
   出力光を出力する１つ以上の出力ポートと、
   前記入力ポートを出射した１つ以上の入力光を独立に偏向させて任意の前記出力ポートに選択的に入射させる１つ以上のマイクロミラー装置と、
   前記出力ポートに入射した出力光のパワーを検知する出力光検知装置と、
   任意の前記入力ポートと前記出力ポートとの間を接続すべく前記マイクロミラー装置を制御する制御装置とを備え、
   各マイクロミラー装置は、回動可能に支持されたミラーと、このミラーから離間して配置された複数の電極とをそれぞれ有し、
   前記制御装置は、接続すべき前記入力ポートと前記出力ポートとの間の光路上にある前記マイクロミラー装置の各電極に共通のバイアス電圧を生成して印加し、
   前記バイアス電圧は、前記出力光のパワーが最適値になるように前記マイクロミラー装置のミラーの上下方向の位置を変化させる電圧であることを特徴とする光スイッチ。
4. 請求項３記載の光スイッチにおいて、
   前記制御装置は、
   前記光路上のマイクロミラー装置のミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を、このマイクロミラー装置の前記電極毎に生成する駆動電圧生成手段と、
   前記出力光のパワーが最適値になるように前記バイアス電圧を生成するバイアス電圧生成手段と、
   前記バイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を前記光路上のマイクロミラー装置の対応する前記電極に印加する加算手段とを有することを特徴とする光スイッチ。

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