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JP4568623B2 - Short detection device - Google Patents
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JP4568623B2 - Short detection device - Google Patents

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Description

本発明は、対向して配置された一対の平板電極間のショート箇所の位置を検出するショート検出装置に関するものである。   The present invention relates to a short detection device that detects the position of a short portion between a pair of opposed flat plate electrodes.

この種のショート検出装置として、本願発明者は、特開2003−215190号公報に記載されたショート検出装置を既に提案している。このショート検出装置では、対向して配置された一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流供給部が電流を供給している状態において、電圧測定部が、所定のパターンで一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を測定し、検出部が、各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を、電圧測定部によって測定された各電位差に基づいて算出すると共に、算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる測定位置を一対の平板電極間におけるショート箇所の位置として検出する。したがって、このショート検出装置では、一対の平板電極間に複数のショート箇所が存在していたとしても、複数の測定位置について電位差を一回測定するだけで複数のショート箇所の位置を検出することが可能となっている。
特開2003−215190号公報(第4−7頁、第1図)
As this type of short detection device, the present inventor has already proposed a short detection device described in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-215190. In this short detection device, the current supply section supplies a current between a predetermined portion of one flat plate electrode and a predetermined portion of the other flat plate electrode of a pair of flat plate electrodes arranged to face each other. In the state, the voltage measuring unit measures and detects each potential difference between a plurality of measurement positions defined on one plate electrode and one reference point defined on one plate electrode in a predetermined pattern. The unit calculates each voltage gradient between each measurement position and another measurement position adjacent in a predetermined direction based on each potential difference measured by the voltage measurement unit. Based on this, the measurement position that becomes the voltage minimum point is detected as the position of the shorted portion between the pair of plate electrodes. Therefore, in this short detection device, even if there are a plurality of short portions between a pair of flat plate electrodes, it is possible to detect the positions of the plurality of short portions only by measuring the potential difference once at a plurality of measurement positions. It is possible.
JP 2003-215190 A (page 4-7, FIG. 1)

ところで、ショート箇所の位置の測定精度を一層高めたいという要求があり、その要求を満たすためには、各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を一層正確に測定する必要がある。このため、複数の測定位置と一つの基準点との間の各電位差を一層正確に測定する必要がある。この場合、複数の測定位置および基準点の電位が定常状態(変化しない状態)のときには、複数の測定位置と一つの基準点との間の各電位差を一層正確に測定することができるものの、この各電位は、一対の平板電極間に電荷が蓄積されるのに伴い、図3に示すように、まず、最初の期間T1において急上昇し、その後の期間T2において増加率が少しずつ減少しながらゆっくりと上昇する。このため、変化の少ない期間T2であったとしても定常状態にはならない。このような状況下においても、複数の測定位置と一つの基準点との間の各電位差を極めて短時間にすべて測定できるとすれば、この各電位が変化しない状態(定常状態)で測定できることとなるため、この各電位差を一層正確に測定することができる。   By the way, there is a request to further improve the measurement accuracy of the position of the shorted portion, and in order to satisfy the request, each voltage gradient between each measurement position and another measurement position adjacent in a predetermined direction is set. There is a need for more accurate measurements. For this reason, it is necessary to measure each potential difference between a plurality of measurement positions and one reference point more accurately. In this case, when the potentials at a plurality of measurement positions and reference points are in a steady state (a state that does not change), each potential difference between the plurality of measurement positions and one reference point can be measured more accurately. As the electric charges are accumulated between the pair of plate electrodes, each potential first rises rapidly in the first period T1, and then slowly increases while the increase rate decreases little by little in the subsequent period T2. And rise. For this reason, even if it is period T2 with few changes, it will not be in a steady state. Even in such a situation, if all potential differences between a plurality of measurement positions and one reference point can be measured in a very short time, measurement can be performed in a state where each potential does not change (steady state). Therefore, each potential difference can be measured more accurately.

しかしながら、この各電位差を測定する際には、電圧測定部は、予め決められた順序に従って複数の測定位置のうちから1つずつ測定位置を特定すると共に、特定した測定位置と一つの基準点との間の電位差を測定する。このため、電圧測定部が複数の測定位置と一つの基準点との間の各電位差をすべて測定するためには、ある程度の時間が必要となる。つまり、複数の測定位置と一つの基準点との間の各電位差を極めて短時間に測定するのは困難である。したがって、複数の測定位置および一つの基準点の各電位をすべて定常状態(または定常状態とほぼ等価な状態)で測定することも困難となるため、複数の測定位置と一つの基準点との間の各電位差を一層正確に測定することは難しい。この結果、ショート箇所の位置の測定精度を一層高めるのが困難であるという課題が生じている。   However, when measuring each potential difference, the voltage measurement unit specifies a measurement position one by one from a plurality of measurement positions according to a predetermined order, and specifies the specified measurement position and one reference point. Measure the potential difference between. For this reason, a certain amount of time is required for the voltage measuring unit to measure all the potential differences between the plurality of measurement positions and one reference point. That is, it is difficult to measure each potential difference between a plurality of measurement positions and one reference point in a very short time. Therefore, it is difficult to measure all potentials at a plurality of measurement positions and one reference point in a steady state (or a state substantially equivalent to the steady state). It is difficult to more accurately measure each potential difference. As a result, there is a problem that it is difficult to further improve the measurement accuracy of the position of the short portion.

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、ショート箇所の位置を一層正確に検出し得るショート検出装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and a main object of the present invention is to provide a short detection device capable of detecting the position of a short portion more accurately.

上記目的を達成すべく請求項1記載のショート検出装置は、対向して配置された一対の平板電極間におけるショート箇所の位置を検出するショート検出装置であって、前記一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を、当該各測定位置に対して予め設定された第1の順序および当該第1の順序とは逆の第2の順序の両順序に従ってそれぞれ測定する電圧測定部と、前記両順序に従ってそれぞれ測定された前記各測定位置についての前記各電位差の平均値を算出すると共に当該算出した平均値に基づいて前記ショート箇所となる前記測定位置を検出する検出部とを備えている。   In order to achieve the above object, a short detection device according to claim 1 is a short detection device for detecting a position of a short portion between a pair of opposed flat plate electrodes, the short detection device comprising: A current supply section for supplying a current between a predetermined portion of one flat plate electrode and a predetermined portion of the other flat plate electrode; a plurality of measurement positions defined on the one flat plate electrode in a predetermined pattern; A first order preset for each measurement position and a second order opposite to the first order for each potential difference from one reference point defined on one plate electrode A voltage measuring unit for measuring each according to the two orders, and calculating an average value of the potential differences for the measurement positions respectively measured according to the two orders, and calculating the average value based on the calculated average value. And a detector for detecting the measurement position to be over preparative point.

請求項2記載のショート検出装置は、請求項1記載のショート検出装置において、前記検出部は、前記各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を前記算出した平均値に基づいて算出すると共に当該算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる前記測定位置を前記ショート箇所の位置として検出する。   The short detection device according to claim 2 is the short detection device according to claim 1, wherein the detection unit calculates each voltage gradient between each measurement position and another measurement position adjacent in a predetermined direction. The measurement position which is calculated based on the calculated average value and becomes a voltage minimum point based on the calculated voltage gradient is detected as the position of the short portion.

請求項1記載のショート検出装置によれば、検出部が第1および第2の順序に従ってそれぞれ測定された各測定位置についての各電位差の平均値に基づいてショート箇所となる測定位置を検出することにより、各測定位置における平均値を測定の順序に左右されない値として算出することができるため、一対の平板電極間のショート位置を一層正確に検出することができる。   According to the short detection device of claim 1, the detection unit detects a measurement position that becomes a short point based on an average value of each potential difference for each measurement position measured according to the first and second orders. Thus, since the average value at each measurement position can be calculated as a value that does not depend on the order of measurement, the short position between the pair of plate electrodes can be detected more accurately.

また、請求項2記載のショート検出装置によれば、検出部が求めた電位差に基づいて算出した電圧勾配に基づいて電圧極小点となる測定位置をショート位置として検出することにより、一対の平板電極間に複数のショート箇所が存在していたとしても、各測定位置について電位差を一回測定するだけで複数のショート箇所の位置(ショート位置)を確実に検出することができる。   According to the short detection device of claim 2, the pair of flat plate electrodes is detected by detecting the measurement position as the voltage minimum point based on the voltage gradient calculated based on the potential difference obtained by the detection unit as the short position. Even if there are a plurality of short portions between them, the positions of the plurality of short portions (short positions) can be reliably detected by measuring the potential difference once for each measurement position.

以下、添付図面を参照して、本発明に係るショート検出装置の最良の形態について説明する。   Hereinafter, the best mode of a short detection device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、図1,2を参照して、ショート検出装置1の構成について説明する。   First, the configuration of the short detection device 1 will be described with reference to FIGS.

このショート検出装置1は、図1に示すように、電流供給部2、電圧測定部3、駆動機構4、演算制御部(本発明における検出部)5、表示部6、複数のプローブ(電圧検出端子)7,7・・、および支持板8を備え、燃料電池内に配設された一対の平板電極EL1,EL2間にショート箇所が存在するときには、一対の平板電極EL1,EL2の面内におけるショート箇所の位置(以下、「ショート位置」ともいう)を検出可能に構成されている。本例では、各平板電極EL1,EL2は一例として同じ大きさの長方形にそれぞれ形成されているものとする。また、平板電極EL1,EL2間に介在する電解質膜ELFは、燃料電池内に実際に配置された状態では導電性を有するが、ショート位置検出対象体の状態では、乾燥して絶縁性を有している。   As shown in FIG. 1, the short detection device 1 includes a current supply unit 2, a voltage measurement unit 3, a drive mechanism 4, an arithmetic control unit (detection unit in the present invention) 5, a display unit 6, a plurality of probes (voltage detection). Terminals) 7, 7... And a support plate 8, and when a short-circuit portion exists between the pair of flat plate electrodes EL 1 and EL 2 disposed in the fuel cell, it is within the plane of the pair of flat plate electrodes EL 1 and EL 2. The position of the short portion (hereinafter also referred to as “short position”) can be detected. In this example, it is assumed that the plate electrodes EL1 and EL2 are formed in rectangular shapes having the same size as an example. The electrolyte membrane ELF interposed between the flat plate electrodes EL1 and EL2 is electrically conductive when it is actually disposed in the fuel cell, but is dry and insulative in the state of the short position detection object. ing.

電流供給部2は、演算制御部5の制御下で、電解質膜ELFを挟んで対向配置される一対の平板電極EL1,EL2のうちの一方の平板電極EL1における所定の部位(電流供給点)Aと他方の平板電極EL2における所定の部位(電流供給点)Bとの間に直流定電流を供給する。本形態では、各電流供給点A,Bは各平板電極EL1,EL2における対向する一つの隅部(一例として図2中の左下の隅部)にそれぞれ設定されている。   The current supply unit 2 is a predetermined portion (current supply point) A in one plate electrode EL1 of the pair of plate electrodes EL1 and EL2 arranged to face each other with the electrolyte membrane ELF interposed therebetween under the control of the arithmetic control unit 5. A constant DC current is supplied between the first flat electrode EL2 and a predetermined portion (current supply point) B of the other plate electrode EL2. In this embodiment, the current supply points A and B are respectively set at one opposing corner of the plate electrodes EL1 and EL2 (as an example, the lower left corner in FIG. 2).

電圧測定部3は、基準点としての平板電極EL1における所定の部位(一例として電流供給点A)と、各プローブ7をそれぞれ接触させた各部位との間の各電位差をそれぞれ測定して電圧データDvとして出力する。この場合、プローブ7を接触させる測定位置MPは、図2に示すように、本発明における所定のパターンの一例として、マトリックスにおける各交点位置に対応させて平板電極EL1上に合計121個(MP(i,j):i=1,2,3,・・・,9,a,b、j=1,2,3,・・・,9,a,b、以下、区別しないときには「測定位置MP」ともいう。)規定されている。これに対応して、これらの交点位置の数と同数のプローブ7が、各交点位置に対応するように同一平面上にマトリックス状に並設された状態で、平板電極EL1と平行に配置された支持板8に取り付けられている。また、電圧測定部3は、対応する各測定位置MPに各プローブ7が接触している状態において、マトリックス状に規定された各測定位置MPの基準点(電流供給点A)との各電位差を、予め決められた第1の順序および第2の順序のいずれか一方の順序で測定する。この場合、第1の順序とは、図2中の左右方向(行方向)に沿って、MP(1,1),MP(1,2),・・,MP(1,a),MP(1,b),MP(2,1),・・,MP(b,a),MP(b,b)との経路でMP(1,1)からMP(b,b)に達する順序をいう。一方、第2の順序とは、第1の順序を逆にたどる順序であって、MP(b,b),MP(b,a),・・,MP(b,2),MP(b,1),MP(a,b),・・,MP(1,2),MP(1,1)との経路でMP(b,b)からMP(1,1)に達する順序をいう。   The voltage measuring unit 3 measures each potential difference between a predetermined part (for example, the current supply point A) of the flat plate electrode EL1 as a reference point and each part where each probe 7 is brought into contact with each other, thereby obtaining voltage data. Output as Dv. In this case, as shown in FIG. 2, the measurement positions MP with which the probe 7 is brought into contact are, as an example of the predetermined pattern in the present invention, a total of 121 (MP ( i, j): i = 1, 2, 3,..., 9, a, b, j = 1, 2, 3,..., 9, a, b. "It is also referred to as"). Correspondingly, the same number of probes 7 as the number of intersection positions are arranged in parallel with the plate electrode EL1 in a matrix on the same plane so as to correspond to each intersection position. It is attached to the support plate 8. In addition, the voltage measurement unit 3 calculates each potential difference from the reference point (current supply point A) of each measurement position MP defined in a matrix in a state where each probe 7 is in contact with each corresponding measurement position MP. The measurement is performed in either one of the first order and the second order that are determined in advance. In this case, the first order refers to MP (1, 1), MP (1, 2),..., MP (1, a), MP (in the horizontal direction (row direction) in FIG. 1, b), MP (2, 1),..., MP (b, a), MP (b, b), the order from MP (1, 1) to MP (b, b). . On the other hand, the second order is an order that reverses the first order, and MP (b, b), MP (b, a),..., MP (b, 2), MP (b, 1), MP (a, b),..., MP (1, 2), MP (1, 1) The order of reaching MP (1, 1) from MP (b, b).

駆動機構4は、複数のプローブ7が取り付けられた支持板8を支持するためのアーム4aを備え、アーム4aを上下動させて支持板8を平板電極EL1に対して接離動させることにより、全プローブ7を平板電極EL1上の対応する測定位置MPに同時に接触させる。   The drive mechanism 4 includes an arm 4a for supporting a support plate 8 to which a plurality of probes 7 are attached. By moving the arm 4a up and down to move the support plate 8 to and away from the plate electrode EL1, All probes 7 are simultaneously brought into contact with corresponding measurement positions MP on the plate electrode EL1.

演算制御部5は、電流供給部2、電圧測定部3および駆動機構4を制御する。また、演算制御部5は、電圧測定部3から出力される電圧データDvに基づいて第1および第2のショート位置検出処理を実行して、各平板電極EL1,EL2間のショート位置を検出する。また、演算制御部5は、演算制御部5によるショート位置検出の結果を表示部6に表示させる。   The arithmetic control unit 5 controls the current supply unit 2, the voltage measurement unit 3, and the drive mechanism 4. In addition, the arithmetic control unit 5 performs first and second short position detection processing based on the voltage data Dv output from the voltage measurement unit 3 to detect a short position between the plate electrodes EL1 and EL2. . In addition, the calculation control unit 5 causes the display unit 6 to display the result of short position detection by the calculation control unit 5.

次に、ショート検出装置1による一対の平板電極EL1,EL2間のショート検出処理について、図3〜図5を参照して説明する。一例として図2において黒丸印で表示された測定位置MP(6,8)においてショートしているときのショート位置の検出処理動作について説明する。なお、電解質膜ELFを挟んで対向して配置された一対の平板電極EL1,EL2は、図1に示す位置(測定位置)に予め配設されているものとする。   Next, short detection processing between the pair of flat plate electrodes EL1 and EL2 by the short detection device 1 will be described with reference to FIGS. As an example, a short position detection processing operation when there is a short at the measurement position MP (6, 8) indicated by a black circle in FIG. 2 will be described. It is assumed that the pair of flat plate electrodes EL1 and EL2 disposed so as to face each other with the electrolyte membrane ELF interposed therebetween is previously disposed at the position (measurement position) shown in FIG.

まず、図4に示すように、演算制御部5は、駆動機構4を制御することにより、支持板8に取り付けた各プローブ7を、対応する平板電極EL1表面の各測定位置MPに接触させる(ステップ31)。続いて、演算制御部5は、図外の放電回路を作動させることにより、平板電極EL1,EL2に充電されている電荷を放電させる(ステップ32)。  First, as shown in FIG. 4, the arithmetic control unit 5 controls the drive mechanism 4 to bring each probe 7 attached to the support plate 8 into contact with each measurement position MP on the surface of the corresponding plate electrode EL1 ( Step 31). Subsequently, the arithmetic control unit 5 operates the discharge circuit (not shown) to discharge the charges charged in the plate electrodes EL1 and EL2 (step 32).

次いで、演算制御部5は、ショート位置検出処理を実行する(ステップ33)。この処理では、図5に示すように、演算制御部5は、電流供給部2を定電流動作させて、平板電極EL1の電流供給点Aと平板電極EL2の電流供給点Bとの間への直流定電流の供給を開始させる(ステップ41)。次いで、演算制御部5は、電流供給部2による直流定電流の供給の開始から所定時間T3だけ経過した後の期間T4の前半において(図3参照)、電圧測定部3をスキャニング動作させて平板電極EL1表面の各測定位置MPについての第1の電圧データDv1(以下、「電圧データDv1」ともいう)の測定を実行する(ステップ42)。具体的には、電圧測定部3は、第1の順序に従って各プローブ7を予め規定した時間T11の間隔で順次スキャニングして基準点(電流供給点A)と各測定位置MPとの間の電位差(基準点の電位を基準とした各測定位置MPの電圧)を測定し、測定した各測定位置MPにおける電位差を電圧データDv1として演算制御部5に出力する。演算制御部5は、この電圧データDv1を順次取り込み、取り込んだ電圧データDv1をその測定位置MPの位置に関連付けて内部メモリに順次記憶する。   Next, the arithmetic control unit 5 executes a short position detection process (step 33). In this processing, as shown in FIG. 5, the arithmetic control unit 5 operates the current supply unit 2 at a constant current, so that the current supply point A between the plate electrode EL1 and the current supply point B of the plate electrode EL2 is operated. Supply of DC constant current is started (step 41). Next, the arithmetic control unit 5 scans the voltage measuring unit 3 by scanning the voltage measuring unit 3 in the first half of the period T4 after the predetermined time T3 has elapsed from the start of the supply of the DC constant current by the current supplying unit 2 (see FIG. 3). Measurement of first voltage data Dv1 (hereinafter also referred to as “voltage data Dv1”) for each measurement position MP on the surface of the electrode EL1 is executed (step 42). Specifically, the voltage measurement unit 3 sequentially scans each probe 7 at a predetermined time interval T11 in accordance with the first order, and the potential difference between the reference point (current supply point A) and each measurement position MP. (Voltage at each measurement position MP with reference to the potential at the reference point) is measured, and the measured potential difference at each measurement position MP is output to the arithmetic control unit 5 as voltage data Dv1. The arithmetic control unit 5 sequentially captures the voltage data Dv1, and stores the captured voltage data Dv1 in the internal memory in association with the position of the measurement position MP.

引き続き、演算制御部5は、期間T4の後半において(図3参照)、電圧測定部3をスキャニング動作させて平板電極EL1表面の各測定位置MPについての第2の電圧データDv2(以下、「電圧データDv2」ともいう)の測定を実行する(ステップ43)。具体的には、電圧測定部3は、第2の順序に従って各プローブ7を上記の時間T11の間隔で順次スキャニングして基準点(電流供給点A)と各測定位置MPとの間の電位差を測定し、測定した各測定位置MPにおける電位差を電圧データDv2として演算制御部5に出力する。演算制御部5は、この電圧データDv2を順次取り込み、取り込んだ電圧データDv2をその測定位置MPの位置に関連付けて内部メモリに順次記憶する。   Subsequently, in the second half of the period T4 (see FIG. 3), the arithmetic control unit 5 scans the voltage measuring unit 3 to perform second voltage data Dv2 (hereinafter, “voltage” for each measurement position MP on the surface of the plate electrode EL1. Measurement of data Dv2 "is also executed (step 43). Specifically, the voltage measuring unit 3 sequentially scans each probe 7 at the interval of the above time T11 in accordance with the second order to determine the potential difference between the reference point (current supply point A) and each measurement position MP. The measured potential difference at each measurement position MP is output to the arithmetic control unit 5 as voltage data Dv2. The arithmetic control unit 5 sequentially captures the voltage data Dv2, and stores the captured voltage data Dv2 in the internal memory in association with the position of the measurement position MP.

次いで、演算制御部5は、内部メモリに記憶されている電圧データDv1,Dv2に基づいて、平板電極EL1表面の電圧分布を算出する(ステップ44)。具体的には、演算制御部5は、各測定位置MPについての電圧データDv1,Dv2を内部メモリから読み出すと共に、電圧データDv1,Dv2の平均値Daveを算出する。また、演算制御部5は、算出した平均値Daveを各測定位置MPにおける最終的な電位差として、その測定位置MPの位置に関連付けて内部メモリに順次記憶する。一例として、測定位置MP(i,j)に対応した行列形式(本例では11行11列の行列形式)で内部メモリに平均値Daveを記憶する。また、演算制御部5は、すべての測定位置MPについての平均値Daveを内部メモリに記憶した後、電流供給部2の定電流動作を停止させると共に、図外の放電回路を作動させることにより、平板電極EL1,EL2に充電されている電荷を放電させる。   Next, the arithmetic control unit 5 calculates the voltage distribution on the surface of the plate electrode EL1 based on the voltage data Dv1 and Dv2 stored in the internal memory (step 44). Specifically, the arithmetic control unit 5 reads the voltage data Dv1, Dv2 for each measurement position MP from the internal memory, and calculates the average value Dave of the voltage data Dv1, Dv2. Further, the arithmetic control unit 5 sequentially stores the calculated average value Dave as the final potential difference at each measurement position MP in association with the position of the measurement position MP in the internal memory. As an example, the average value Dave is stored in the internal memory in a matrix format corresponding to the measurement position MP (i, j) (in this example, a matrix format of 11 rows and 11 columns). Further, the arithmetic control unit 5 stores the average value Dave for all the measurement positions MP in the internal memory, and then stops the constant current operation of the current supply unit 2 and operates the discharge circuit (not shown). The charges charged in the plate electrodes EL1 and EL2 are discharged.

平均値Dave(各測定位置MPにおける最終的な電位差)の算出に際し、平板電極EL1表面の1つの点での電位V(V)は、図3に示す期間T2では、下記式(1)に示すように一次関数で表される。
V=F+Gt ・・・(1)
ここで、F,Gは定数であって平板電極EL1表面の位置毎に相違する。また、tは電流供給部2による直流定電流の供給の開始からの経過時間(sec)を意味する。したがって、例えば、1つの測定位置MPについての電圧データDv1(Dv2)の測定に要する時間をΔtとすると、第1の順序中のN番目の測定位置MPについての電圧データDv1を測定するときのこの測定位置MPでの電位V(=V)は、下記式(2)で表される。
=F+G×N×Δt ・・・(2)
また、このときの基準点(電流供給点A)での電位V(=V)は、下記式(3)で表される。
=F+G×N×Δt ・・・(3)
したがって、N番目の測定位置MPについての電圧データDv1は、上記式(2)から上記式(3)を減算することにより、下記式(4)で表される。
Dv1=V−V
=F+G×N×Δt−(F+G×N×Δt) ・・・(4)
In calculating the average value Dave (final potential difference at each measurement position MP), the potential V (V) at one point on the surface of the plate electrode EL1 is expressed by the following formula (1) in the period T2 shown in FIG. It is expressed as a linear function.
V = F + Gt (1)
Here, F and G are constants and are different for each position on the surface of the plate electrode EL1. Further, t means an elapsed time (sec) from the start of the supply of the DC constant current by the current supply unit 2. Therefore, for example, when the time required to measure the voltage data Dv1 (Dv2) for one measurement position MP is Δt, this measurement when measuring the voltage data Dv1 for the Nth measurement position MP in the first order is performed. The potential V (= V N ) at the position MP is represented by the following formula (2).
V N = F N + G N × N × Δt (2)
Further, the potential V (= V A ) at the reference point (current supply point A) at this time is expressed by the following formula (3).
V A = F A + G A × N × Δt (3)
Therefore, the voltage data Dv1 for the Nth measurement position MP is expressed by the following equation (4) by subtracting the above equation (3) from the above equation (2).
Dv1 = V N −V A
= F N + G N × N × Δt− (F A + G A × N × Δt) (4)

また、第1の順序中のN番目に電圧データDv1を測定する測定位置MPについての電圧データDv2は、測定位置MPの総数をM(本例では121)としたときに、最初の電圧データDv1の測定から(2×M−N+1)番目に測定される。したがって、第1の順序中のN番目の測定位置MPについての電圧データDv2を測定するときのこの測定位置MPでの電位V(=V)は、下記式(5)で表される。
=F+G×(2×M−N+1)×Δt ・・・(5)
また、このときの基準点(電流供給点A)での電位V(=V)は、下記式(6)で表される。
=F+G×(2×M−N+1)×Δt ・・・(6)
これにより、N番目の測定位置MPについての電圧データDv2は、上記式(5)から上記式(6)を減算することにより、下記式(7)で表される。
Dv2=V−V
=F+G×(2×M−N+1)×Δt−(F+G×(2×M−N+1)×Δt) ・・・(7)
The voltage data Dv2 for the measurement position MP at which the voltage data Dv1 is measured Nth in the first order is the first voltage data Dv1 when the total number of measurement positions MP is M (121 in this example). The (2 × M−N + 1) th measurement is performed. Therefore, the potential V (= V N ) at the measurement position MP when measuring the voltage data Dv2 for the Nth measurement position MP in the first order is expressed by the following equation (5).
V N = F N + G N × (2 × M−N + 1) × Δt (5)
Further, the potential V (= V A ) at the reference point (current supply point A) at this time is expressed by the following formula (6).
V A = F A + G A × (2 × M−N + 1) × Δt (6)
Accordingly, the voltage data Dv2 for the Nth measurement position MP is expressed by the following equation (7) by subtracting the above equation (6) from the above equation (5).
Dv2 = V N −V A
= F N + G N × ( 2 × M-N + 1) × Δt- (F A + G A × (2 × M-N + 1) × Δt) ··· (7)

また、第1の順序中のN番目に電圧データDv1を測定する測定位置MPについての平均値Daveは、上記式(4)と式(7)とを用いて、下記式(8)のように表される。
Dave=(Dv1+Dv2)/2
=(F+G×N×Δt−(F+G×N×Δt)+F
+G×(2×M−N+1)×Δt−(F+G×(2×M−N+1)×Δt))/2
=(2×F+2×G×(M+1)×Δt−(2×F+2×G×(M+1)×Δt))/2
=F+G×(M+1)×Δt−(F+G×(M+1)×Δt)・・・(8)
したがって、上記式(8)から明らかなように、平均値Daveには、順序を示すパラメータであるNが含まれていない。このため、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)は、測定の順序に左右されない値として算出される。つまり、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)は、等価的に、複数の測定位置MPと基準点との間の各電位差を順序に応じては変化しない定常状態で測定されたことになる。
The average value Dave for the measurement position MP at which the voltage data Dv1 is measured Nth in the first order is expressed by the following equation (8) using the above equations (4) and (7). expressed.
Dave = (Dv1 + Dv2) / 2
= (F N + G N × N × Δt− (F A + G A × N × Δt) + F N
+ G N × (2 × M−N + 1) × Δt− (F A + G A × (2 × M−N + 1) × Δt)) / 2
= (2 × F N + 2 × G N × (M + 1) × Δt− (2 × F A + 2 × G A × (M + 1) × Δt)) / 2
= F N + G N × (M + 1) × Δt− (F A + G A × (M + 1) × Δt) (8)
Therefore, as is clear from the above equation (8), the average value Dave does not include N which is a parameter indicating the order. For this reason, the final potential difference (average value Dave) at each measurement position MP is calculated as a value that does not depend on the order of measurement. That is, the final potential difference (average value Dave) at each measurement position MP is equivalently measured in a steady state in which each potential difference between the plurality of measurement positions MP and the reference point does not change according to the order. It will be.

演算制御部5は、すべての測定位置MPに対する平均値Daveの算出を完了した後に、隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vs(Vs1,Vs2)を算出する(ステップ45)。具体的には、まず、演算制御部5は、すべての平均値Daveのうちの最大値(絶対値が最大となる値)を検索し、検索した最大値を−100とする規格化を各平均値Daveに対して実行して規格化データDsを求めると共に、求めた規格化データDsを平均値Daveと同様にして、測定位置MP(i,j)に対応した行列形式(本例では11行11列の行列形式)で内部メモリに記憶する。次いで、演算制御部5は、所定の方向に沿って隣接する測定位置MP,MP同士の規格化データDsの差分と相互間の距離Lとに基づき、隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vsを算出する。一例として、演算制御部5は、まず、図2における左右方向(行方向)に沿って隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vs1を所定の方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として算出する。具体的には、演算制御部5は、左方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として電圧勾配Vs1を算出する。つまり、演算制御部5は、測定位置MP(i,j+1)の規格化データDsから左隣の測定位置MP(i,j)の規格化データDsを減算し、この減算値を距離Lで除算して電圧勾配Vs1を求め、行列形式(本例では値(i,j)に対応させた10行10列の行列形式)で内部メモリに記憶する。また、演算制御部5は、図2における上下方向(列方向)に沿って隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vs2を所定の方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として算出する。具体的には、演算制御部5は、下方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として電圧勾配Vs2を算出する。つまり、演算制御部5は、測定位置MP(i+1,j)の規格化データDsから下隣の測定位置MP(i,j)の規格化データDsを減算し、この減算値を距離Lで除算して電圧勾配Vs2を求め、行列形式(本例では値(i,j)に対応させた10行10列の行列形式)で内部メモリに記憶する。  After completing the calculation of the average value Dave for all the measurement positions MP, the arithmetic control unit 5 calculates the voltage gradient Vs (Vs1, Vs2) between the adjacent measurement positions MP, MP (step 45). Specifically, first, the arithmetic control unit 5 searches for the maximum value (value in which the absolute value is the maximum) among all the average values Dave, and sets the average value for which the searched maximum value is −100 for each average. The normalized data Ds is obtained by executing it on the value Dave, and the obtained normalized data Ds is set in a matrix format corresponding to the measurement position MP (i, j) in the same manner as the average value Dave (11 rows in this example). 11-column matrix form) is stored in the internal memory. Next, the arithmetic control unit 5 determines the voltage between the adjacent measurement positions MP and MP based on the difference between the normalized data Ds between the measurement positions MP and MP adjacent in the predetermined direction and the distance L between them. The gradient Vs is calculated. As an example, the arithmetic control unit 5 firstly standardizes data of the measurement position MP in which the voltage gradient Vs1 between the measurement positions MP adjacent to each other along the horizontal direction (row direction) in FIG. Calculation is based on Ds. Specifically, the arithmetic control unit 5 calculates the voltage gradient Vs1 with reference to the normalized data Ds of the measurement position MP positioned in the left direction. That is, the arithmetic control unit 5 subtracts the normalized data Ds of the measurement position MP (i, j) on the left side from the normalized data Ds of the measurement position MP (i, j + 1), and divides this subtracted value by the distance L. Thus, the voltage gradient Vs1 is obtained and stored in the internal memory in a matrix format (in this example, a matrix format of 10 rows and 10 columns corresponding to the values (i, j)). Further, the arithmetic control unit 5 uses the standardized data Ds of the measurement position MP positioned in a predetermined direction as the voltage gradient Vs2 between the measurement positions MP adjacent to each other along the vertical direction (column direction) in FIG. Calculate as Specifically, the arithmetic control unit 5 calculates the voltage gradient Vs2 with reference to the normalized data Ds of the measurement position MP located in the downward direction. That is, the arithmetic control unit 5 subtracts the normalized data Ds of the lower measurement position MP (i, j) from the normalized data Ds of the measurement position MP (i + 1, j), and divides this subtraction value by the distance L. Thus, the voltage gradient Vs2 is obtained and stored in the internal memory in a matrix format (in this example, a matrix format of 10 rows and 10 columns corresponding to the values (i, j)).

次いで、演算制御部5は、各電圧勾配Vs1,Vs2に基づき、電圧極小点となる測定位置MP(ショート位置)を検出する(ステップ46)。具体的には、演算制御部5は、行列形式で記憶されている電圧勾配Vs1に対して、行毎に例えば左方向から右方向に順次検索して、電圧勾配Vs1の極性が反転する測定位置MP(電圧極小点となる測定位置MP)を検出すると共に、行列形式で記憶されている電圧勾配Vs2に対して、列毎に例えば下方向から上方向に順次検索して、電圧勾配Vs2の極性が反転する測定位置MP(電圧極小点となる測定位置MP)を検出し、左右方向および上下方向の両方向の検索において共にショート位置として検出された測定位置MPを最終的なショート位置として特定する。  Next, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP (short position) that is the voltage minimum point based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 (step 46). Specifically, the arithmetic control unit 5 sequentially searches, for example, from the left direction to the right direction for each row with respect to the voltage gradient Vs1 stored in the matrix format, and the measurement position where the polarity of the voltage gradient Vs1 is inverted. While detecting MP (measurement position MP which becomes a voltage minimum point), the voltage gradient Vs2 stored in the matrix format is sequentially searched, for example, from the lower direction to the upper direction for each column, and the polarity of the voltage gradient Vs2 Is detected, and the measurement position MP detected as a short position in both the horizontal and vertical search is specified as the final short position.

この場合、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のときには、電流供給点Aから供給された電流は平板電極EL1上において電流供給点Aからショート位置に流れ込む。このため、ショート位置の周囲に位置する複数の測定位置MPについての電圧データDvの内ではショート位置に最も近接する特定の測定位置MPの規格化データDsが最も小さくなる。したがって、この特定の測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの左隣に位置する測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にマイナス極性となり、特定の測定位置MPの右隣に位置する測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にプラス極性となる。同様にして、この特定の測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの下隣に位置する測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にマイナス極性となり、特定の測定位置MPの上隣に位置する測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にプラス極性となる。したがって、演算制御部5は、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のときには、電圧勾配Vs1に対しては、行毎に左方向から右方向に順次検索して、電圧勾配Vs1の極性がマイナス極性からプラス極性に転じる測定位置MPを検出する。また、電圧勾配Vs2に対しては、列毎に下方向から上方向に順次検索して、電圧勾配Vs2の極性がマイナス極性からプラス極性に転じる測定位置MPを検出する。   In this case, when the potential at the current supply point A is higher than the potential at the current supply point B, the current supplied from the current supply point A flows from the current supply point A to the short position on the plate electrode EL1. For this reason, the normalized data Ds of the specific measurement position MP closest to the short position is the smallest among the voltage data Dv for the plurality of measurement positions MP located around the short position. Therefore, it is calculated based on the difference obtained by subtracting the normalized data Ds of the measurement position MP located on the left side of the specific measurement position MP from the normalized data Ds of the specific measurement position MP and the distance L. The polarity of the voltage gradient Vs1 is always negative, and the difference and distance obtained by subtracting the standardized data Ds of the specific measurement position MP from the standardized data Ds of the measurement position MP located immediately to the right of the specific measurement position MP. The polarity of the voltage gradient Vs1 calculated based on L is always positive. Similarly, calculation is performed based on the difference obtained by subtracting the normalized data Ds of the measurement position MP located immediately below the specific measurement position MP from the normalized data Ds of the specific measurement position MP and the distance L. The polarity of the applied voltage gradient Vs1 is always negative, and the difference obtained by subtracting the normalized data Ds of the specific measurement position MP from the normalized data Ds of the measurement position MP located immediately above the specific measurement position MP. The polarity of the voltage gradient Vs1 calculated based on the distance L is always positive. Therefore, when the potential at the current supply point A is higher than the potential at the current supply point B, the arithmetic control unit 5 sequentially searches for the voltage gradient Vs1 from the left direction to the right direction for each row. A measurement position MP at which the polarity of the voltage gradient Vs1 changes from negative polarity to positive polarity is detected. Further, the voltage gradient Vs2 is sequentially searched from the lower direction to the upper direction for each column, and the measurement position MP where the polarity of the voltage gradient Vs2 changes from the negative polarity to the positive polarity is detected.

一方、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも低電位のときには、逆に、平板電極EL1には平板電極EL2側からショート位置を介して電流が流れ込む。このため、平板電極EL1上におけるショート位置の周囲に位置する複数の測定位置MPの電圧データDvの内では、ショート位置に最も近接する特定の測定位置MPの規格化データDsが最も大きくなる。その結果、特定の測定位置MPの左右方向および上下方向に隣接する4つの測定位置MPと特定の測定位置MPとの間の電圧勾配Vs1,Vs2の各極性は、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のときとはそれぞれ逆極性になる。したがって、演算制御部5は、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも低電位のときには、電圧勾配Vs1に対しては、行毎に例えば左方向から右方向に順次検索して、電圧勾配Vs1の極性がプラス極性からマイナス極性に転じる測定位置MPを検出する。また、電圧勾配Vs2に対しては、列毎に例えば下方向から上方向に順次検索して、電圧勾配Vs2の極性がプラス極性からマイナス極性に転じる測定位置MPを検出する。この場合、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のため、演算制御部5は、電圧勾配Vs1,Vs2に対して、マイナス極性からプラス極性に転じる測定位置MPを検出する。   On the other hand, when the potential at the current supply point A is lower than the potential at the current supply point B, conversely, current flows into the plate electrode EL1 from the plate electrode EL2 side through the short position. For this reason, among the voltage data Dv of the plurality of measurement positions MP located around the short position on the plate electrode EL1, the standardized data Ds of the specific measurement position MP closest to the short position is the largest. As a result, the polarities of the voltage gradients Vs1 and Vs2 between the four measurement positions MP adjacent to the specific measurement position MP in the left-right direction and the vertical direction and the specific measurement position MP are as follows. The polarity is opposite to that when the potential is higher than the potential at the supply point B. Therefore, when the potential at the current supply point A is lower than the potential at the current supply point B, the arithmetic control unit 5 sequentially searches for the voltage gradient Vs1 from the left direction to the right direction for each row. Then, the measurement position MP where the polarity of the voltage gradient Vs1 changes from the positive polarity to the negative polarity is detected. Further, for the voltage gradient Vs2, for example, the search is sequentially performed from the lower direction to the upper direction for each column, and the measurement position MP where the polarity of the voltage gradient Vs2 changes from the positive polarity to the negative polarity is detected. In this case, since the potential at the current supply point A is higher than the potential at the current supply point B, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP that changes from the negative polarity to the positive polarity with respect to the voltage gradients Vs1 and Vs2. To do.

また、この例では、測定位置MP(6,8)において平板電極EL1,EL2同士がショートしているため、電圧勾配Vs1に対しては、10行10列の行列形式における6行目(i=6)において、7列目の電圧勾配Vs1(図2における7列目と8列目との間の電圧勾配Vs1)がマイナス極性になり、8列目の電圧勾配Vs1(図2における8列目と9列目との間の電圧勾配Vs1)がプラス極性になる。したがって、演算制御部5は、電圧勾配Vs1に関する電圧極小点として測定位置MP(6,8)を検出し、この測定位置MP(6,8)をショート位置の候補とする。また、電圧勾配Vs2に対しては、10行10列の行列形式における8列目(j=8)において、5行目の電圧勾配Vs2(図2における5行目と6行目との間の電圧勾配Vs2)がマイナス極性になり、6行目の電圧勾配Vs2(図2における6行目と7行目との間の電圧勾配Vs2)がプラス極性になる。したがって、演算制御部5は、電圧勾配Vs2に関する電圧極小点として測定位置MP(6,8)を検出し、この測定位置MP(6,8)をショート位置の候補とする。演算制御部5は、異なる2方向(互いに直交する左右方向および上下方向)に沿った電圧極小点(ショート位置)の検出結果を比較して、測定位置MP(6,8)が両方向の検索において共にショート位置として検出されているため、この測定位置MP(6,8)を最終的なショート位置として特定する。   In this example, since the plate electrodes EL1 and EL2 are short-circuited at the measurement position MP (6, 8), the sixth row (i = 10) in the 10 × 10 matrix format with respect to the voltage gradient Vs1. 6), the voltage gradient Vs1 in the seventh column (voltage gradient Vs1 between the seventh column and the eighth column in FIG. 2) has a negative polarity, and the voltage gradient Vs1 in the eighth column (the eighth column in FIG. 2). And the voltage gradient Vs1) between the 9th column becomes positive polarity. Therefore, the calculation control unit 5 detects the measurement position MP (6, 8) as a voltage minimum point related to the voltage gradient Vs1, and sets the measurement position MP (6, 8) as a short position candidate. For the voltage gradient Vs2, in the eighth column (j = 8) in the 10 × 10 matrix format, the voltage gradient Vs2 in the fifth row (between the fifth and sixth rows in FIG. 2). The voltage gradient Vs2) has a negative polarity, and the voltage gradient Vs2 of the sixth row (the voltage gradient Vs2 between the sixth and seventh rows in FIG. 2) has a positive polarity. Therefore, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP (6, 8) as a voltage minimum point related to the voltage gradient Vs2, and sets the measurement position MP (6, 8) as a short position candidate. The arithmetic control unit 5 compares the detection result of the voltage minimum point (short position) along two different directions (right and left direction and vertical direction perpendicular to each other), and the measurement position MP (6, 8) is searched in both directions. Since both are detected as a short position, this measurement position MP (6, 8) is specified as the final short position.

次いで、演算制御部5は、検出した電圧極小点となる測定位置MP(6,8)に関する情報(位置や数の情報)を表示部6に表示させ(ステップ47)、ショート位置検出処理を終了する。なお、測定位置の分解能の関係上、電圧極小点となる測定位置MPそのものがショート位置となるとは限らないものの、少なくとも電圧極小点となる測定位置MPがすべての測定位置MPの中で実際のショート位置に最も近接している。したがって、両方向の検索において共にショート位置として検出した測定位置MPをショート位置と特定することにより、実質的に、この測定位置MPの極く近傍に存在する実際のショート位置が特定される。   Next, the calculation control unit 5 displays information (position and number information) on the measurement position MP (6, 8) that is the detected voltage minimum point on the display unit 6 (step 47), and ends the short position detection process. To do. Although the measurement position MP itself that is the voltage minimum point is not necessarily a short position because of the resolution of the measurement position, at least the measurement position MP that is the voltage minimum point is an actual short circuit among all the measurement positions MP. Closest to the location. Therefore, by specifying the measurement position MP detected as the short position in both directions of search as the short position, the actual short position that is present in the immediate vicinity of the measurement position MP is substantially specified.

最後に、演算制御部5は、図4に示すように、ステップ34において、駆動機構4を制御することにより、各プローブ7を平板電極EL1から離間させる。これにより、すべてのショート検査が完了する。   Finally, as shown in FIG. 4, the arithmetic control unit 5 controls the drive mechanism 4 in step 34 to separate each probe 7 from the flat plate electrode EL1. This completes all short inspections.

このように、このショート検出装置1によれば、各測定位置MPについての電圧データDv1,Dv2の測定に所定の時間を必要とし、かつ各測定位置MPおよび基準点(電流供給点A)の電位Vが図3に示すように経過時間と共に変動するときにおいても、電圧測定部3が、各測定位置MPについての電圧データDv1(電位差)を各測定位置MPに対して予め設定された第1の順序で測定すると共に第2の順序で各測定位置MPについての電圧データDv2(電位差)を測定し、演算制御部5が、第1の順序および第2の順序にに従ってそれぞれ測定された各測定位置MPについての電圧データDv1,Dv2の平均値Daveを最終的な電位差として算出することにより、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)を測定の順序に左右されない値として算出することができる。つまり、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)を、等価的に測定時刻のずれがない状態(等価的に同時刻)で、つまり順序に応じては変化しない定常状態で測定したことになる。したがって、演算制御部5は、この各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)に基づいて平板電極EL1,EL2間のショート位置を一層正確に検出することができる。   Thus, according to the short detection device 1, a predetermined time is required for the measurement of the voltage data Dv1 and Dv2 for each measurement position MP, and the potentials of the measurement positions MP and the reference point (current supply point A). Even when V fluctuates with the elapsed time as shown in FIG. 3, the voltage measurement unit 3 uses the first voltage data Dv1 (potential difference) for each measurement position MP set in advance for each measurement position MP. The measurement position is measured in order and the voltage data Dv2 (potential difference) for each measurement position MP is measured in the second order, and the measurement control unit 5 measures each measurement position according to the first order and the second order. By calculating the average value Dave of the voltage data Dv1 and Dv2 for MP as the final potential difference, the final potential difference (average value Dave) at each measurement position MP is calculated. It can be calculated as being influenced by values not in constant order. That is, the final potential difference (average value Dave) at each measurement position MP is measured in a state where there is equivalently no shift in measurement time (equivalently at the same time), that is, in a steady state that does not change according to the order. It will be. Therefore, the arithmetic control unit 5 can more accurately detect the short position between the plate electrodes EL1 and EL2 based on the final potential difference (average value Dave) at each measurement position MP.

また、このショート検出装置1によれば、各測定位置MPにおける最終的な電位差(平均値Dave)に基づいて算出した電圧勾配Vs1,Vs2に基づいて電圧極小点となる測定位置MPをショート位置として検出することにより、平板電極EL1,EL2間に複数のショート箇所が存在していたとしても、各測定位置MPについて電位差を一回測定するだけで複数のショート箇所の位置(ショート位置)を確実に検出することができる。   Further, according to the short detection device 1, the measurement position MP that becomes the voltage minimum point based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 calculated based on the final potential difference (average value Dave) at each measurement position MP is set as the short position. By detecting, even if there are a plurality of short locations between the plate electrodes EL1 and EL2, the positions of the plurality of short locations (short positions) can be assured by measuring the potential difference once for each measurement position MP. Can be detected.

なお、本発明は、上記の構成に限定されず、適宜変更することが可能である。例えば、上記のショート検出装置1では、複数の測定位置MPに対応してプローブ7を複数配置する構成を採用しているが、1本のプローブ7を各測定位置MPに順次接触させて各測定位置MPにおける電位差を測定する構成を採用することもできる。この構成によれば、ショート位置を特定するまでの時間が長くなるものの、ショート検出装置1の構成を簡略化することができる結果、装置コストを低減することができる。また、ショート検出装置1では、左右、上下の2方向に沿った電圧勾配Vs1,Vs2に基づいて電圧極小点を検出してショート位置を特定しているが、斜め方向に沿った電圧勾配に基づいて電圧極小点を検出してショート位置を特定する構成を採用することもできる。また、左右、上下の2方向の電圧勾配Vs1,Vs2と斜め方向の電圧勾配との両者に基づいてショート位置を検出する構成を採用することもできる。この構成によれば、ショート位置の検出精度を一層高めることができる。   In addition, this invention is not limited to said structure, It can change suitably. For example, the short detection device 1 described above employs a configuration in which a plurality of probes 7 are arranged corresponding to a plurality of measurement positions MP, but each measurement position MP is sequentially brought into contact with each measurement position MP. A configuration for measuring the potential difference at the position MP can also be adopted. According to this configuration, although the time until the short position is specified becomes long, the configuration of the short detection device 1 can be simplified, and as a result, the device cost can be reduced. Further, in the short detection device 1, the voltage minimum point is detected based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 along the left, right, and upper and lower directions, and the short position is specified, but based on the voltage gradient along the oblique direction. It is also possible to adopt a configuration in which the short position is specified by detecting the voltage minimum point. Further, it is also possible to adopt a configuration in which the short position is detected based on both the left and right, upper and lower voltage gradients Vs1, Vs2 and the diagonal voltage gradient. According to this configuration, the detection accuracy of the short position can be further increased.

また、ショート検出装置1では、異なる2方向に沿った電圧勾配Vs1,Vs2に基づいてショート位置を検出する構成を採用して検出精度を高めているが、検出精度よりも検出速度を優先するときには、一方向に沿った電圧勾配Vsのみに基づいてショート位置を検出することもできる。また、ショート検出装置1では、電圧測定部3によって測定された電圧データDvを規格化した規格化データDsに基づいて電圧勾配Vs1,Vs2を算出する構成が採用されているが、この規格化処理を省いて、電圧データDvから電圧勾配Vs1,Vs2を直接的に算出する構成を採用することもできる。   The short detection device 1 employs a configuration in which the short position is detected based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 along two different directions to improve the detection accuracy. However, when priority is given to the detection speed over the detection accuracy. The short position can also be detected based only on the voltage gradient Vs along one direction. The short detection device 1 employs a configuration that calculates the voltage gradients Vs1 and Vs2 based on the normalized data Ds obtained by standardizing the voltage data Dv measured by the voltage measuring unit 3. It is also possible to adopt a configuration that directly calculates the voltage gradients Vs1 and Vs2 from the voltage data Dv.

また、ショート検出装置1では、プローブ7を接触させる複数の測定位置MP,MP・・を図2に示すようにマトリックス状のパターンで平板電極EL1上に規定しているが、正三角形、正方形、平行四辺形および正六角形などの多角形を隣接して配置し、各多角形の頂点に各測定位置MPを対応させることで、規則性を有するパターン上に各測定位置MPを配置することもできる。また、ショート検出装置1では、電圧測定部3による電圧データDvの測定時における基準点を平板電極EL1における電流供給点Aに設定する構成を採用しているが、この基準点を電流供給点Aとは異なる任意の点に設定することもできる。また、ショート検出装置1では、極小点の有無に基づいてショート位置を検出しているが、極小点の有無に代えて、電圧データDv(または規格化データDs)の最も低い測定位置MPをショート位置として検出する構成を採用することもできる。   Further, in the short detection device 1, a plurality of measurement positions MP, MP,... With which the probe 7 is brought into contact are defined on the plate electrode EL1 in a matrix pattern as shown in FIG. It is also possible to arrange each measurement position MP on a regular pattern by arranging polygons such as parallelograms and regular hexagons adjacent to each other and making each measurement position MP correspond to the vertex of each polygon. . Further, the short detection device 1 employs a configuration in which the reference point at the time of measurement of the voltage data Dv by the voltage measurement unit 3 is set to the current supply point A in the plate electrode EL1, but this reference point is used as the current supply point A. It can also be set to any point different from. The short detection device 1 detects the short position based on the presence or absence of the minimum point, but instead of the presence or absence of the minimum point, the measurement position MP having the lowest voltage data Dv (or standardized data Ds) is short-circuited. A configuration for detecting the position can also be adopted.

また、燃料電池における平板電極EL1,EL2間のショート位置を検出する例について説明したが、本発明は他の分野における一対の平板電極間に対するショート位置検出にも有効に適用することができる。また、ショート検出装置1では、電流供給部2と電圧測定部3とを別体に設ける構成を採用しているが、例えば、電圧測定部3内に直流定電流源として電流供給部2を配設すると共に、一点鎖線で示すように電圧測定部3内の電流供給部2と電流供給点Bとを接続し、かつ複数のプローブ7のうちの1本を電流供給用として電流供給部2に接続することにより、電圧測定部3から平板電極EL1,EL2間に直流定電流を供給する構成を採用することもできる。   Moreover, although the example which detects the short position between flat electrode EL1, EL2 in a fuel cell was demonstrated, this invention can be applied effectively also to the short position detection with respect to between a pair of flat plate electrodes in another field | area. The short detection device 1 employs a configuration in which the current supply unit 2 and the voltage measurement unit 3 are provided separately. For example, the current supply unit 2 is arranged as a DC constant current source in the voltage measurement unit 3. And connecting the current supply unit 2 and the current supply point B in the voltage measurement unit 3 as shown by a one-dot chain line, and one of the plurality of probes 7 is used for current supply to the current supply unit 2. By connecting, it is also possible to adopt a configuration in which a DC constant current is supplied from the voltage measuring unit 3 between the plate electrodes EL1, EL2.

ショート検出装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a short detection device 1. FIG. 複数のプローブ7が取り付けられた状態の支持板8の平面図である。It is a top view of the support plate 8 in the state where the some probe 7 was attached. 複数の測定位置MPおよび基準点(電流供給点A)における各電位Vの時間的変化を示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing temporal changes in potentials V at a plurality of measurement positions MP and a reference point (current supply point A). ショート検出装置1におけるショート検出処理のフローチャートである。3 is a flowchart of a short detection process in the short detection device 1. 図4に示すショート位置検出処理のフローチャートである。It is a flowchart of the short position detection process shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 ショート検出装置
2 電流供給部
3 電圧測定部
4 駆動機構
5 演算制御部(本発明における検出部)
7 プローブ
A,B 電流供給点(平板電極EL1,EL2における所定の部位)
Dave 平均値
EL1,EL2 平板電極
MP 測定位置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Short detection apparatus 2 Current supply part 3 Voltage measurement part 4 Drive mechanism 5 Calculation control part (detection part in this invention)
7 Probe A, B Current supply point (predetermined part in the plate electrodes EL1, EL2)
Dave average value EL1, EL2 Plate electrode MP Measurement position

Claims (2)

対向して配置された一対の平板電極間におけるショート箇所の位置を検出するショート検出装置であって、
前記一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、
所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を、当該各測定位置に対して予め設定された第1の順序および当該第1の順序とは逆の第2の順序の両順序に従ってそれぞれ測定する電圧測定部と、
前記両順序に従ってそれぞれ測定された前記各測定位置についての前記各電位差の平均値を算出すると共に当該算出した平均値に基づいて前記ショート箇所となる前記測定位置を検出する検出部とを備えているショート検出装置。
A short detection device for detecting a position of a short portion between a pair of opposed flat plate electrodes,
A current supply section for supplying a current between a predetermined portion of one of the pair of flat plate electrodes and a predetermined portion of the other flat plate electrode;
Each potential difference between a plurality of measurement positions defined on the one plate electrode in a predetermined pattern and one reference point defined on the one plate electrode is set in advance for each measurement position. A voltage measuring unit for measuring according to both the first order and the second order opposite to the first order,
A detection unit that calculates an average value of the potential differences for the measurement positions that are respectively measured according to the two orders and detects the measurement position that is the shorted portion based on the calculated average value. Short detection device.
前記検出部は、前記各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を前記算出した平均値に基づいて算出すると共に当該算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる前記測定位置を前記ショート箇所の位置として検出する請求項1記載のショート検出装置。   The detection unit calculates each voltage gradient between each measurement position and another measurement position adjacent in a predetermined direction based on the calculated average value, and based on the calculated voltage gradient. The short detection device according to claim 1, wherein the measurement position that is a voltage minimum point is detected as the position of the short portion.
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